TW509922B - Method for the production of glass substrates for magnetic recording mediums - Google Patents

Description

509922 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（1 ) 【發明領域】 本發明係關於磁性記錄媒體用玻璃基板之製造方法， 尤關於一種磁性記錄媒體用玻璃基板之製造方法，其不會 在磁性記錄層側的玻璃基板之表面的周邊上產生可觀的邊 緣下陷狀況（edge-sagging)，故該玻璃基板乃是平滑並且均 勻的，即使在該磁性記錄層側的玻璃基板之表面的最外圍 區域亦然，故存在於玻璃基板上之表面瑕疵的數量，在實 質上乃是非常的少。 【習知技術】 對於習知的磁性記錄媒體用基板而言，吾人一直以來 所使用的主要基板，係以在|g合金的金屬板上鍍上一層鎳_ 磷（Ni-P)的方式來加以製備，並隨即在多重的步驟程序 中，將被鍍之金屬板的主要表面予以磨光。 然而’磁碟記錄裝置（magnetic disk<<irec〇rding deviee) 近來甚至被用在如筆記型個人電腦的手提式個人電腦中， 同時，該磁性記錄媒體應該以不小於1〇,〇〇〇 rpm的高轉速 來轉動，以便改善該磁碟記錄裝置的反應速度。職是之故， 吾人所開發的磁碟記錄媒體用基板，必須具有高耐受力以 承受此等嚴苛的狀況。對於可以滿足上述要求的基板而 吕，玻璃基板一直是吾人所採用的材質。 舉例而言’此等吾人所主要採用的磁性記錄媒體用玻 璃基板係包括化學強化玻璃基板或結晶玻璃基板，前者的 強度係藉由化學強化處理來加以改良，而後者的製備則是 藉由將玻璃材質予以熔化和鑄模以形成玻璃基板，並將該 本ϋ尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21G x 2 - ^ } 1 312693 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁各攔)

509922 A7 B7 五、發明説听（1 2 ) 玻璃基板長時間維持在600 °C到800 °C的高溫，以部分地隔 離出在該基板或玻璃基質（vitreous matrix)中的結晶相。 舉例而言，該化學強化玻璃基板係藉由以下步驟而 得：將玻璃材質予以熔化，並將該熔化物形成為化學強化 玻璃基板用的玻璃基板，接著，對該玻璃基板施行研磨和 磨光處理，並將其浸入如硝酸鈉和硝酸鉀的溶鹽中，俾在 該基板的表面上形成一壓縮的緊壓層。該結晶玻璃係包含 >有40到80%的結晶相和20到60%的非晶矽玻璃相，同 時其強度係藉由該結晶相的作用而得以改善。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁各攔) 因為磁碟記錄裝置的儲存容量已經愈來愈大，吾人已 經觀察到的趨勢即為，在磁性記錄媒體用之玻璃基板的表 面上形成一磁性記錄層，即使是在磁性記錄層侧的基板之 外圍邊緣的鄰近區域亦然，而該形成的外圍邊緣區域亦作 為磁性記錄層之用，以便改良每個磁性記錄媒體的記錄容 量。職是之故’建立具有高平滑度的磁性記錄媒體乃是當 |務之急’即使在其外圍邊緣的鄰近區域亦然。另外，磁性 吞己錄媒體的元件报明顯地必須要小型化以增加記錄密度， 因此’磁性記錄媒體用玻璃基板上的瑕疵也必須要更小， 故瑕疵的數量也應實質地減少。 在磨光步驟中，磁性記錄媒體用之玻璃基板的製作， 係根據眾所熟知的方法來將此等玻璃材質加以研磨和磨光 而成，然而，想運用下列方式來穩定地產生玻璃基板（其 邊緣下陷的程度係落在一定的範圍内），還是有相當的困 難’而每些方式為：使用如泡沫聚氨酯型態（foamed 1 本紙張尺度適用中國國家標準規格⑽χ297公楚）- 2 312693 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 509922 A7 B7 __ .................. 五、發明説听（3 ) polyurethane type)的硬磨蚀布，或如絨面革型態（suede type)的軟磨蝕布；及使用如下所述之研磨液，亦即包含有 約數個百分比的含鈽研磨料，而該研磨料的平均粒子大小 約在0 · 5到2 /z m之間。 當磨光機器的製造者在製造一雙面磨光裝置以將磁性 記錄媒體用玻璃基板予以磨光時，該製造者通常可藉由完 成全程的磨光程序，而將該裝置之表面檯的表面平滑度調 整到不大於50//m的程度。然而，在將上表面檯和下表面 檯安裝到實際所使用的雙面磨光裝置時，還是無法修正表 面檯的表面平滑度。職是之故，其平滑度已籍由磨光機器 之製造者加以調整過的表面擾，不需要經過任何修改或調 整即可使用。一般而言，在此等雙面磨光裝置中所用的磨 钱布是一種具有彈性的材質，因此，在某種程度上，表面 檯之表面的變形可因磨蝕布的彈性來加以緩解。然而，如 果磨光步驟在將一磨蝕布黏附到表面檯的表面後進行，該 表面檯的表面會因為在使用期間所施加到該處的壓力和由 磨光操作所產生的熱能而產生變形，同時，該變形程度在 早期階段可達到不小於1 〇〇 # m的程度。在此等狀況下， 表面檯之表面的變形量會比磨蝕布的彈性量還要大，因 此’該表面檯之表面的變形則無法藉由磨蝕布的彈性來予 以緩解。結果，表面檯之表面狀況（平滑度）的改變或變 形會對磨蝕布的表面狀況產生很大的影響，同時，在裝設 到上表面檯的磨蝕布表面和裝設到下表面檯的磨蝕布表面 兩者之間的並行關連性變成混亂失序之際，磨光操作仍然 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁各攔)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格⑽X 297公楚） 3 312693 509922 A7 B7 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 if 社 印 製 4 312693 五、發明説明（4 繼續進行。如此一來，完成磨光程序之預期程度所花費的 時間即會延長（如此也會導致磨蝕布所能磨光的玻璃基板 之數量的減少）。這種情況也會導致玻璃基板上之表面瑕疵 的產生，同時，也會變成邊緣下陷的主要原因。 【發明之綜合說明】 如果可在將上表面檯和下表面檯用以磨光磁性記錄媒 體用玻璃基板的雙面磨光裝置上時’將表面檯的表面加以 磨光來改善該表面的平滑度，即可輕易地解決上述的問 題。 因此’本發明的一目的即是提供一種磁性記錄媒體用 玻璃基板的有效製造方法，使該玻璃基板不會在磁性記錄 層侧的表面周邊上產生任何顯著的邊緣下陷狀況，即使是 在鄰近磁性記錄層側的表面的最外圍區域中，也是很平滑 的，同時，其也不會有明顯程度的表面瑕疵。 本發明的發明人已經進行各種研究而意圖達到上述之 目的，並發現本發明的上述目的可藉由將習知之眾人所熟 習的方法來加以改良而達成，其包含有將磁性記錄媒體用 玻璃基板重疊到一預期的厚度，然後將該玻璃基板予以磨 光的步驟，使得•在將上表面檯和下表面檯裝設到用以磨 光此等玻璃基板之雙面磨光裝置時，可將該上表面檯和下 表面檯的表面輕易地加以磨光；同時，磨蝕布的外表面之 平⑺度精度，則可藉由將這些磨蝕布分別黏附到其對應之 上表面铋和下表面檯的表面來加以改善；同時，磨蝕布之 外表面的表面精度可藉由將這些磨蝕布一起摩擦而進一步 尺度適种國國家標^297公楚-) ^•訂------—------------線 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁各攔) 509922 A7 B7

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 改善。如此即告完成本發明。 根據本發明的第一實施樣態，提供一種磁性記錄媒體 用玻璃基板的製造方法，該方法包含有··在將上表面檯和 下表面檯安裝到用以磨光玻璃基板之雙面磨光裝置上時， 將一修正用的磨餘板爽在該雙面磨光裝置的上表面檯和下 表面檯之間，然後使該上表面檯和該下表面檯以相反的方 向轉動同時供應冷卻水，以對這些表面檯的表面進行磨光 並使該表面檯的平滑度達到不大於3〇vm的程度；接著， 將磨韻布分別黏附到該上表面檯和該下表面檯；接下來， 重複進行磁性記錄媒體用玻璃基板之表面的磨光作業。 根據本發明的第二實施樣態，提供一種磁性記錄媒體 用玻璃基板的製造方法，該方法包含有：在將上表面檯和 下表面檯安裝到用以磨光玻璃基板之雙面磨光裝置上時， 將一修正用的磨餘板夾在該雙面磨光裝置的上表面檯和下 表面檯之間，然後使該上表面檯和該下表面檯以相反的方 向轉動同時供應冷卻水，以對這些表面檯的表面進行磨光 並使該表面檯的平滑度達到不大於3〇以瓜的程度；接著， 將磨蚀布分別黏附到該上表面檯和該下表面檯，且將修正 用的磨蝕板夾在上磨蝕布和下磨蝕布之間，並在不供應任 何冷卻水的狀況下，使上表面檯和下表面檯連同磨蝕布一 起轉動’以改善磨蚀布外表面的平滑精度；接下來，重複 進行磁性記錄媒體用玻璃基板之表面的磨光作業。 根據本發明的第二實施樣態’提供一種磁性記錄媒體 用玻璃基板的製造方法，該方法包含有：在將上表面檯和 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公楚） 5 312693 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁各攔) .氯 -訂· .線 509922 A7 B7 五、發明説明、（6 ) 下表面檯安裝到用以磨光玻璃基板之雙面磨光裝置上時， 將一修正用的·磨蝕板夾在該雙面磨光裝置的上表面檯和下 表面檯之間，然後使該上表面檯和該下表面檯以相反的方 向轉動同時供應冷卻水，以對這些表面檯的表面進行磨光 並使該表面檯的平滑度達到不大於3〇#111的程度；接著， 將磨#布分別黏附到該上表面檯和該下表面檯，且將修正 用的磨蝕板夾在上磨蝕布和下磨蝕布之間，並在不供應任 >何冷卻水的狀況下，使上表面檯和下表面檯連同磨蝕布一 起轉動，來改善磨蝕布外表面的平滑精度，接著，在不使 用任何修正用之磨蝕板的狀況下，藉由使上表面檯和下表 面檯連同磨姓布一起轉動來摩擦上磨姓布和下磨姓布，以 進一步改善磨蝕布外表面之平滑精度，·接下來，重複進行 磁性記錄媒體用玻璃基板之表面的磨光作業。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁各攔) 在根據本發明而實施之磁性記錄媒體用玻璃基板的製 造方法中’玻璃基板的磨光作業係依照上述實施例1、2、 丨或3來重複實施後，將磨餘布予以移除，然後再從頭開始 重複依照上述實施例1、2、或3的製造方法。 【較佳實施例】 本發明在以下將會有更詳細的說明。 根據本發明而實施的製造方法，可使用的修正用的磨 餘板可為·結合金屬的磨輪’結合樹脂的磨輪，結合玻璃 材料的磨輪，而這些磨輪所包含的研磨粒可為鑽石、立方 晶系之氮化硼、碳化硼、碳化石夕、氧化錯和铭。 如以上所述，當磨光機器的製造者於製造用來將磁性 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公楚） 6 312693 509922 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説#( 7 ) 記錄媒體用玻璃基板予以磨光的雙面磨光裝置時，一般而 吕，該製造者在完成全程的磨光程序後，可將該裝置的表 面檯之表面平滑度調整到不大於5〇//m的程度。在這個關 連性中，本發明的發明人發現，必須將表面檯之表面的平 滑度控制在不大於30#m的程度，才能達到上述的目的。 藉由使用如上面所列之修正用的磨蝕板，在將上表面檯和 下表面檯安裝到用以磨光磁性記錄媒體用玻璃基板之雙面 磨光裝置上時，將該磨蝕板夾在上表面檯和下表面檯之 間’然後使該上表面檯和該下表面檯以相反的方向轉動同 時供應冷卻水，以對這些表面檯的表面進行磨光，藉由這 種方式’該表面檯之表面的平滑度可輕易地被調整為不大 於30#m，而且在較佳狀況下，係不大於1〇//m。 在根據本發明而實施之製造方法中，磨蝕布可為那些 在磨敍步驟中所通用者，詳言之，可使用如泡沫聚氨酯型 態的硬磨蝕布或者如絨面革型態的軟磨蝕布，然而，在較 佳狀況下應該使用硬磨姓布，因為使用硬磨餘布可輕易地 防止任何邊緣下陷的發生，並且可讓磨光作業以高磨光速 度來進行。 對於用來將磨兹布黏附到表面檯之表面上的方式而 言，吾人可考慮使用黏劑，但還有一個相當方便的方式即 疋’在實際使用磨餘布前使用雙面膠帶，事先將雙面膠帶 黏貼在磨蝕布的背面，以將磨蝕布固定於磨光裝置的上表 面檯和下表面檯。 如上所述，在將磨蝕布黏附到表面檯的表面時，可重 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁各攔) m .訂. -線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 312693 A7 B7 五、發明説明、（8 ) 複地對磁性記錄媒體用玻璃基板進行磨光，然而，在較佳 狀況下’應該要在使用該黏附到表面檯表面之磨蝕布來進 行磨光步驟時，管理或監測在上磨蝕布和下磨蝕布之間的 平行度’以及管理或監測這些磨蝕布的平滑度。對於用來 管理這些物理性質的方法而言，修正用的磨蝕板係如同對 表面檯進行修正般而夾在上磨蝕布和下磨蝕部之間，而磨 儀布之外表面的平滑精度，可在沒有施加任何冷卻水的狀 況下藉由使上表面檯和下表面檯連同該磨姓布一起轉動 來加以改善，藉以改良平行。在這個階段，更具有效率的 方式即為控制夾在上磨蝕布和下磨蝕布之間的修正用磨蝕 板的旋轉方向。接下來，在較佳狀況下，在沒有使用任何 修正用磨蝕板的狀況下，係藉由將上表面檯和下表面檯連 同這些磨#布一起轉動而使上磨银布和下磨姓布相互摩 擦’以進一步改善磨蝕布之外表面的平滑精度，並且更進 一步改良平行度。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁各攔) 如上所述，如果磁性記錄媒體用玻璃基板係藉由適當 地管理表面檯之表面的平滑度、和磨蝕布的平滑度、以及 其平行度來加以磨光，將其所產生的玻璃基板與利用一般 磨光方式而獲得的玻璃基板相比較，前者發生邊緣下陷的 程度即很顯著的降低。 在這個實施樣態中，如果對磁性記錄媒體用玻璃基板 重複地磨光，在一般狀況下，通常是在一開始或者重複磨 光操作一定次數之後，將4個修正用的磨蝕板夾在上磨蝕 布和下磨蝕布之間，接著，磨蝕布的外表面則藉由將上表 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公笼） 8 312693 509922 A7 B7 五 發明説明、（ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 面檯和下表面檯以相反的方向轉動來加以磨光，以便控制 磨飯布的表面。這也是本發明之製造方法所採用的較佳方 式。 另外，根據本發明而實施之製造方法所使用的磨光材 料，係為在一般磨光操作中所使用的那些材料，例如，其 可為含有鈽的磨光材料，而其平均粒子大小係從〇5到2 # m之間，這些材料係以含有數百分比固態含量的磨光材 料之磨光液（polishing liqnid)的型態而被使用。 接下來，本發明將參照以下的實例和比較例來做更詳 細的說明，但本發明的範圍並不侷限於這些特定實例之 中。 在以下的實例和比較例中，邊緣下陷及平滑度可藉由 以下方法來加以評估： 平滑度： 一測量工具係由組裝3個刻度测量儀（Dial Gage)而成 (最小刻度：1 # m ; MITSUTOYO Κ· Κ·有售），故可同時 決疋位於表面檯的三個位置上的平滑度，而該三個位置係 勿別位於距離表面檯外圍起的5〇 mm、2〇〇 mm和3 50 mm 之處’該表面檯係裝設在用以磨光磁性記錄媒體用玻璃基 板的雙面磨光裝置，而該刻度測量儀在參考板上係被設定 為歸零的位置，接著，即可決定在圓周上以9〇〇為間隔之 4個位置上的平滑度（總共有12個位置），同時其最大值 則被定義為吾人所要的平滑度。 邊緣下陷： 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 9 312693 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁各攔) 氯 •訂. 線 A7 B7 五、發明説明 在國際碟片驅動設備和材料（IDEMA，Internationai

Disk Drive Equipment and Material)標準，文件編號 D2- 91中所定義之”下凹（RoiLo^，，（其值為負）和，，上凸（s]d Jump) ’（其值為正）值的大小，係利用Surf c〇m 59〇A (一 種唱針之表面粗糙度的測試器，東京Seimitsu股份有限公 司有售）來加以測量，而在距離參考線315 mm處之對應 位置上的偏差量（am)，係被假設為所要的邊緣下陷值。 因此，即可決定三個玻璃基板的邊緣下陷值（每個基板各 有一個位置），並求得該三個測量值的平均值。 f例1和比趟例1 根據一般的磁性記錄媒體用玻璃基板之製造程序，一 石夕酸鐘結晶玻璃板（K. K· OHARA所製造的TS-10SX;其 玻璃係包含有70到80%的石英-二氧化矽，而其餘部分則 由非晶矽相所組成）必須進行内徑和外徑的處理，並需進 行重疊步驟以形成大量的圈餅狀（d〇ughnut_like)基板，此 圈餅狀基板具有65 mm的外徑，2 0 mm的内徑，及〇 68 mm 的厚度。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 包含有鑽石細粒的顆粒（該鑽石細粒的大小係在4 〇 到60//m的範圍中，且散佈於鎳合金的基質中）係以每邊 有60個顆粒的密度而裝設在直徑為42〇mm的鋁合金板之 兩側，以形成修正用的磨蝕板。所產生的修正用磨蝕板（有 4個磨餘板）在將上表面檯和下表面檯安裝在16B雙面磨 光裝置（Hamai股份有限公司有售）上時被夹在該雙面磨 光裝置的上表面檯和下表面檯之間，然後使上表面檯和下 10 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁各攔) 312693 斯922 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明'(11 ) ' 〜 表面檯以相反的方向轉動同時供應冷卻水，以對這些表面 檯進行磨光。其中，磨光操作係在以下的條件下進行：上 表面檯和下表面檯的轉數係分別設定為20rpm，•所施加的 負載為1470N ;而磨光時間則設定為20分鐘。 在進行磨光前，表面檯之表面的平滑度係為4〇#m， 但進行磨光後，所觀察到的平滑度則有改善，其值係為Μ U m 〇 以雙面膠帶將磨蝕布，MHC丨5 A (泡沫氨基鉀酸酯； Rodel NitU股份有限公司有售）貼附到表面平滑度經過改 善的表面檯的表面。在重複對磁性記錄媒體用玻璃基板進 行磨光之前，上述之修正用磨蝕板（有4個磨蝕板）係夾 在上磨餘布和下磨蝕布之間，且該上表面檯和下表面檯以 相反的方向轉動並同時供應冷卻水，來對磨蝕布的外表面 進行磨光’以便控制磨蝕布的表面。其中，磨光操作係在 以下的條件下進行··上表面檯和下表面檯的轉數係分別設 疋為60 rpm ;所施加的負載為98〇 n ;而磨光時間則設定 為20分鐘。 接著’上述之圈餅狀的基板係使用一磨光材料Mirek 8〇1 (其係含有CeC^的研磨料，Mitsui採礦和精煉股份有 限公司有售；D5〇==1.5 #m)來加以磨光。其中，磨光操作 係在以下的條件下進行：上表面檯和下表面檯的轉數係分 別設定為40 rpm ;所施加的負載為98〇 Pa ;研磨量則是每 面15 μπι。此磨光操作重複5次，並決定每個磨光操作的 邊緣下陷狀況。其所得到的結果係列於以下的表格1中： f請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁各棚)

M 訂. -線 本紙張尺度適用中國國家標準（cns)a^^ti〇x297公麥） 11 312693 509922 产 A7 參 B7 五、發明説明'(l2 ) 表格1 磨光操作次數 下凹值（/z m ) 1 0 2 0 3 0.025 4 5 0.025 0.05 另外，除了以雙面膠帶將MHC 1 5 A (泡沫型態的氨基 鉀酸酯，Rodel Nitta股份有限公司有售）黏附到表面平滑 度未經改善的表面檯之表面外，以與上述相同的程序磨光 上述之圈餅狀基板。此磨光操作重複5次，並決定每個磨 光操作的邊緣下陷狀況。其所獲得的結果係列於以下的表 格2中： 表袼2 磨光操作次數 下凹值（# m) 1 —> 〇72 ~ 2 0.15 3 0.25 4 5 0.25 0.3 實例2 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 以與實例1相同的條件磨光1 6B雙面磨光裝置（Hamai 股份有限公司有售）的上表面檯和下表面檯。在這個階段， 沿著表面檯的徑向所決定的表面檯之表面平滑度為l〇# m ° 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x297公愛） 以雙面膠帶將磨蝕布，MHC15A (泡沫型態的氨基鉀 酸酯；RodelNitta股份有限公司有售）貼附到表面平滑度 經過改善的表面檯的表面。接著，將實例1中所使用的^ 12 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁各攔) 312693 509922 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明、（13 ) 正用磨姓板（有4個磨蚀板）夾在上磨姓布和下磨餘布之 間’且使該上表面檯和下表面檯以相反的方向轉動並同時 供應冷卻水，來對磨蝕布的外表面進行磨光，以改善磨餘 布的表面平滑度。其中，磨光操作係在以下的條件下進行： 上表面檯和下表面檯的轉數係分別設定為2〇 Γρπχ ;所施加 的負載為1470Ν ;而磨光時間則設定為30分鐘。 在重複對磁性記錄媒體用玻璃基板進行磨光之前，將 上述之修正用磨蝕板（有4個磨蝕板）夹在上磨蝕布和下 磨姓布之間，且使該上表面檯和下表面檯以相反的方向轉 動並同時供應冷卻水，來對磨餘布的外表面進行磨光，以 便控制磨餘布的表面。其中，磨光操作係在以下的條件下 進行··上表面檯和下表面檯的轉數係分別設定為6〇 rpm ; 所施加的負載為980 N ;而磨光時間則設定為2〇分鐘。 接著，上述之圈餅狀的基板係使用一磨光材料Mirek 8〇1 (其係含有Ce〇2的研磨料，Mitsui採礦和精煉股份有 限公司有售；〇5〇=1 來加以磨光。其中，磨光操作 係在以下的條件下進行：上表面檯和下表面檯的轉數係分 別設定為40 rpm ;所施加的負載為98〇 pa ;研磨量則是每 面15#m。此磨光操作重複5次，並決定每個磨光操作的 邊緣下陷狀況。其所得到的結果係列於下列的表格3中： 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 13 312693 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁各攔) -訂. 線 509922

五、發明説晛( 表格

實例3 以與實例1相同的條件磨光16只錐 匕一 雙面磨光裝置（Hamai 版伤有限公司有售）的上表面檯和 Γ衣面& ,同時，以鱼 實例2相同的條件磨光磨蝕布的外表面，以改善其平滑〃 度。接¥，上磨蚀布和下磨餘布則在沒有使用任何修正用 磨韻板的狀況下，藉由將上表面檯和下表面檯連同磨姑布 一起轉動而達到相互摩擦的效果，以便改良磨蝕布之外表 面的平滑精度。其中，磨光操作係在以下的條件下進行： 上表面檯和下表面檯的轉數係分別設定為3〇 rpm ;所施加 的負載為980N ;而磨光時間則設定為1〇分鐘。 ， 在重複對磁性§己錄媒體用玻璃基板進行磨光之前，將 上述之修正用磨蝕板（有4個磨蝕板）夾在上磨蝕布和下 磨餘布之間’且使該上表面檯和下表面檯以相反的方向轉 動並同時供應冷卻水，來對磨蝕布的外表面進行磨光，以 便控制磨蝕布的表面。其中，磨光操作係在以下的條件下 進行：上表面檯和下表面檯的轉數係分別設定為60 rpm ; 所施加的負載為980 N ;而磨光時間則設定為20分鐘。 接著，上述之圈餅狀的基板係使用一磨光材料Mirek 801 (其係含有Ce02的研磨料，Mitsui採礦和精煉股份有 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁各攔) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 私紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇χ297么、釐） 312693 面1 5 # m此磨光操作重複5次，並決定每個磨光操作的 邊緣下陷狀況。其所得到的結果係列於下列的表格4中： 表格4 磨光操作次數 1 下凹值（# m) 1 — 0 2 0 3 0 4 5 0 0 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明'(15 限公司有隹：—1C 、 。 5〇一 ·5 # 111 )來加以磨光。其中，磨光操作 糸在X下的條件下進行：上表面檯和下表面檯的轉數係分 另J «又疋為40 rpm，所施加的負載為980 ;研磨量則是每 如以上之洋細說明’根據本發明而實施之製造方 法’可有效率地製造優良的磁性記錄媒體用玻璃基板。其 所產生的磁性記錄媒體用玻璃基板並沒有顯著的邊緣下陷 現象’即使在磁性記錄層側之玻璃基板表面的周邊區域亦 然，該玻璃基板的表面也具有極佳的平滑度或平整度及均 勻度，即使在鄰近於磁性記錄層側的最外圍之區域亦然， 同時’該玻璃基板並沒有大量的表面瑕龜。 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁各攔)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇χ297公爱） 15 312693

Claims (1)

1. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 509922 C8 -~~一 _^_ ^_ 六、申請專利#範圍 l 一種磁性記錄媒體用玻璃基板的製造方法，包含有以下 步驟：在將上表面檯和下表面檯安裝到用以磨光該玻璃 基板的雙面磨光裝置上時，將一修正用的磨蝕板夾在該 雙面磨光裝置的上表面檯和下表面檯之間，然後使該上 表面檯和該下表面檯以相反的方向轉動同時供應冷卻 水’以對這些表面檯的表面進行磨光並使該表面檯的平 滑度達到不大於30 # m的程度；接著，將磨蝕布分別黏 ί 附到該上表面檯和該下表面檯，·接下來，重複進行該磁 性記錄媒體用玻璃基板之表面的磨光作業。 2· —種磁性記錄媒體用玻璃基板的製造方法，包含有以下 步驟·在將上表面檯和下表面檯安裝到用以磨光讓玻璃 基板的雙面磨光裝置上時，將一修正用的磨餘板夾在該 雙面磨光裝置的上表面檯和下表面檯之間，然後使該上 表面檯和該下表面檯以相反的方向轉動同時供應冷卻 水，以對這些表面檯的表面進行磨光並使該表面檯的平 > 滑度達到不大於30 # m的程度;揍著，將磨飯布分別 黏附到該上表面檯和該下表面檯，且將修正用的磨蝕板 夹在上磨蝕布和下磨蝕布之間，並在不供應任何冷卻水 的狀況下’使上表面檯和下表面檯連同磨姓布一起轉 動，以改善磨姓布外表面的平滑精度；接下來，重複進 行該磁性記錄媒體用玻璃基板之表面的磨光作業。 3· —種磁性記錄媒體用玻璃基板的製造方法，包含有以下 步驟：在將上表面檯和下表面檯安裝到用以磨光該玻璃 基板的雙面磨光裝置上時，將一修正用的磨蝕板夹在該 II Μ --------^-----1!!^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 χ 297公釐） 16 312693 509922 六、申請專利範圍 雙面磨光裝置的上表面檯和下表面檯之間，然後使該上 表面檯和該下表面檯以相反的方向轉動同時供應冷卻 水，以對這些表面檯的表面進行磨光並使該表面檯的平 滑度達到不大於30# m的程度；接著，將磨敍布分別 黏附到該上表面檯和該下表面檯，且將修正用的磨蝕板 夾在上磨蝕布和下磨蝕布之間，並在不供應任何冷卻水 的狀況下，使上表面檯和下表面檯連同磨蝕布一起轉 動，來改善磨蝕布外表面的平滑着度，接著，在不使用 任何修正用之磨蝕板的狀況下，藉由使上表面檯和下表 面檯連同磨蝕布一起轉動來摩擦上蘑蝕布和下磨蝕 布，以進一步改善磨蝕布外表面之平滑精度；接下來， 重複進行磁性3己錄媒體用玻璃基板之表面的磨光作 業。 4·如申明專利範圍第1、2或3項之磁性記錄媒體用玻璃 基板的製造方法，其中，該破璃基板的磨光作業係依照 上述之申請專利範圍第丨、2、或3項的方法來重複實 施後’將磨蝕布予以移除，然後再從頭開始重複申請專 利範圍第1、2、或3項的製造方法。 5·如申請專利範圍第！到3項中之任一項的製造方法，其 中，該磨蝕板可為結合金屬的磨輪或結合樹脂的磨輪， 員 製 而這些磨輪所包含的研磨粒可為鑽石、立方晶系之氮化 硼、碳化硼、碳化矽、氧化锆及鋁。 6·如申凊專利範圍第4項之製造方法，其中，該磨蝕板可 為〜口金屬的磨輪或結合樹脂的磨輪，而這些磨輪所包 312693 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ΐ紙張尺度適财國^^75^4規格咖χ 297公爱j---w 509922 D8 六、申請專利#範圍 含的研磨粒可為鑽石、立方晶系之氮化硼、碳化硼、碳 化石夕、氧化誥及銘。 A -------------裝 - - ------訂· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -線- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 18 312693