JP5306759B2 - 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法及び磁気ディスクの製造方法 - Google Patents
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すなわち、本発明は以下の構成を有する。
(構成1)研磨砥粒を含む研磨液を用いて、ガラス基板を研磨する研磨工程を有する磁気ディスク用ガラス基板の製造方法であって、前記研磨液中に、該研磨液の溶媒の摩擦係数が水と同等以上になるように、ノニオン系界面活性剤を添加することを特徴とする磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
(構成3)前記ガラス基板は、ロードアンロード方式の磁気記録装置に搭載される磁気ディスクに用いるガラス基板であることを特徴とする構成1又は2に記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
本発明に係る磁気ディスク用ガラス基板の製造方法は、研磨砥粒を含む研磨液を用いて、ガラス基板を研磨する研磨工程を有し、前記研磨液中に、該研磨液の溶媒の摩擦係数が該溶媒を水と同等以上になるように、ノニオン系界面活性剤を添加することを特徴とするものである。
研磨液の溶媒を水とした場合の摩擦係数は通常0.7以下であるため、本発明においては、上記界面活性剤を添加した研磨液の溶媒の摩擦係数は0.7以上(好ましくは0.7よりも大きい)であることが好ましい。研磨液中に添加する上記界面活性剤の添加量によっても溶媒の摩擦係数を調節することができるが、摩擦係数が大きいと、図3(c)に示すように、基板主表面の最外周部がやや盛り上がった形状に形成される傾向がある。但し、この場合においても、主表面の平滑面を外周側へ拡張させることが可能であり、場合によっては端面の研磨工程によって端面形状を最終的に調整することが可能である。
二つの物体が接触している際に、その接触面の方向に働く力にて質量を持った物質が動いている時、その物質の進行方向逆向きに働く力を摩擦力といい、荷重をP、比例定数をμとし、摩擦力をFとすると、F=μPとなり、μが摩擦係数となる。
具体的には、図5に示すように、試験材の板状ガラス21の上に、測定対象の溶媒を適量垂らし、下記の鋼球22を載せ、バウデン試験機にて荷重(P)をかけ、図示する矢印方向に摺動させると、動摩擦係数の変動が大きくなるとスティックスリップが発生し、図6に示すようなチャートに波形が確認できるので、摩擦力(F)を実測して、上式より摩擦係数を算定することができる。この際の測定条件は以下のとおりである。
試験材:ソーダガラス
鋼球:φ5mmガラス球
負荷荷重(P):100g
摺動距離:25mm
摺動速度:4.0mm/sec
試験温度:室温
評価方法:摺動20回のうち、4〜20回の摩擦係数の平均値を採用
なお、バウデン摩擦係数測定法は、点接触の摺動試験で動摩擦係数を測定でき、テストピース材質、面圧・速度を実機に合わせることが可能である。
例えば図4は、ガラス基板の鏡面研磨工程に用いることができる遊星歯車方式の両面研磨装置の概略構成を示す縦断面図である。図4に示す両面研磨装置は、太陽歯車2と、その外方に同心円状に配置される内歯歯車3と、太陽歯車2及び内歯歯車3に噛み合い、太陽歯車2や内歯歯車3の回転に応じて公転及び自転するキャリア4と、このキャリア4に保持された被研磨加工物1を挟持可能な研磨布7がそれぞれ貼着された上定盤5及び下定盤6と、上定盤5と下定盤6との間に研磨液を供給する研磨液供給部(図示せず)とを備えている。
また、本発明において表面粗さ(例えば、最大粗さRmax、算術平均粗さRa)は、原子間力顕微鏡(AFM)で測定したときに得られる表面形状の表面粗さとすることが好ましい。
(実施例1)
以下の(1)粗ラッピング工程(粗研削工程)、(2)形状加工工程、(3)精ラッピング工程(精研削工程)、(4)端面研磨工程、(5)主表面研磨工程、(6)化学強化工程、を経て本実施例の磁気ディスク用ガラス基板を製造した。
まず、溶融ガラスから上型、下型、胴型を用いたダイレクトプレスにより直径66mmφ、厚さ1.5mmのアルミノシリケートガラスからなるガラス基板を得た。なお、この場合、ダイレクトプレス以外に、ダウンドロー法やフロート法で形成したシートガラスから研削砥石で切り出してガラス基板を得てもよい。このアルミノシリケートガラスとしては、SiO2:58〜75重量%、Al2O3:5〜23重量%、Li2O:3〜10重量%、Na2O:4〜13重量%を含有する化学強化用ガラスを使用した。次いで、ガラス基板に寸法精度及び形状精度の向上させるためラッピング工程を行った。このラッピング工程は両面ラッピング装置を用い、粒度#400の砥粒を用いて行なった。具体的には、はじめに粒度#400のアルミナ砥粒を用い、荷重を100kg程度に設定して、上記ラッピング装置のサンギアとインターナルギアを回転させることによって、キャリア内に収納したガラス基板の両面を面精度0〜1μm、表面粗さ(Rmax)6μm程度にラッピングした。
次に、円筒状の砥石を用いてガラス基板の中央部分に孔を空けると共に、外周端面の研削をして直径を65mmφとした後、外周端面および内周端面に所定の面取り加工を施した。このときのガラス基板端面の表面粗さは、Rmaxで4μm程度であった。なお、一般に、2.5インチ型HDD(ハードディスクドライブ)では、外径が65mmの磁気ディスクを用いる。
(3)精ラッピング工程
次に、砥粒の粒度を#1000に変え、ガラス基板表面をラッピングすることにより、表面粗さをRmaxで2μm程度、Raで0.2μm程度とした。上記ラッピング工程を終えたガラス基板を、中性洗剤、水の各洗浄槽(超音波印加)に順次浸漬して、超音波洗浄を行なった。
(4)端面研磨工程
次いで、ブラシ研磨により、ガラス基板を回転させながらガラス基板の端面(内周、外周)の表面の粗さを、Rmaxで1μm、Raで0.3μm程度に研磨した。そして、上記端面研磨を終えたガラス基板の表面を水洗浄した。
次に、上述したラッピング工程で残留した傷や歪みの除去するための第1研磨工程を前述の図4に示す両面研磨装置を用いて行なった。両面研磨装置においては、研磨布7として研磨パッドが貼り付けられた上下研磨定盤5,6の間にキャリア4により保持したガラス基板を密着させ、このキャリア4を太陽歯車2と内歯歯車3とに噛合させ、上記ガラス基板を上下定盤5,6によって挟圧する。その後、研磨パッドとガラス基板の研磨面との間に研磨液を供給して回転させることによって、ガラス基板が定盤5,6上で自転しながら公転して両面を同時に研磨加工するものである。具体的には、ポリシャとして硬質ポリシャ(硬質発泡ウレタン)を用い、第1研磨工程を実施した。研磨液としては酸化セリウムを研磨剤として10重量%分散したRO水中にさらにエタノール系の低分子量のノニオン界面活性剤を0.1モル/リットル添加した。研磨液の溶媒の摩擦係数は0.8であった。なお、このノニオン界面活性剤を添加していない場合の溶媒の摩擦係数は0.7である。上記第1研磨工程を終えたガラス基板を、中性洗剤、純水、純水、IPA(イソプロピルアルコール)、IPA(蒸気乾燥)の各洗浄槽に順次浸漬して、超音波洗浄し、乾燥した。
鏡面研磨を終えたガラス基板の表面を原子間力顕微鏡(AFM)及び電子顕微鏡で分析したところ、鏡面状であり、凸状の表面欠陥は観察されなかった。そして、端部形状は従来のように丸まることなく、良好な形状に制御できていた。
次に、上記洗浄を終えたガラス基板に化学強化を施した。化学強化は硝酸カリウムと硝酸ナトリウムの混合した化学強化液を用意し、この化学強化溶液を380℃に加熱し、上記洗浄・乾燥済みのガラス基板を約4時間浸漬して化学強化処理を行なった。化学強化を終えたガラス基板を硫酸、中性洗剤、純水、純水、IPA、IPA(蒸気乾燥)の各洗浄槽に順次浸漬して、超音波洗浄し、乾燥した。
また、上記工程を経て得られたガラス基板の主表面の表面粗さを原子間力顕微鏡(AFM)にて測定したところ、Rmax=2.13nm、Ra=0.20nmと超平滑な表面を持つガラス基板を得た。また、そのガラス基板の表面を原子間力顕微鏡(AFM)及び電子顕微鏡で分析したところ、鏡面状であり、凸状の表面欠陥は観察されなかった。
また、得られたガラス基板の外径は65mm、内径は20mm、板厚は0.635mmであった。
こうして、本実施例の磁気ディスク用ガラス基板を得た。
上記ガラス基板上に、Cr合金からなる付着層、CoTaZr合金からなる軟磁性層、Ruからなる下地層、CoCrPt合金からなる垂直磁気記録層、保護層、潤滑層を順次成膜した。
保護層は、磁気記録層が磁気ヘッドとの接触によって劣化することを防止するためのもので、膜厚5nmの水素化カーボンからなり、耐磨耗性が得られる。潤滑層は、パーフルオロポリエーテルの液体潤滑剤をディップ法により形成し、膜厚は0.9nmである。
(比較例)
実施例1の(5)主表面研磨工程における第1研磨及び第2研磨において、研磨液中にノニオン界面活性剤を添加していないものを使用して、研磨処理を行った。この点以外は、実施例1と同様にして磁気ディスク用ガラス基板を製造した。研磨処理後の基板端面は前述の図3(a)のように丸まった形状となっていた。
更にこの比較例によるガラス基板を用いて実施例1と同様に磁気ディスクを製造した。得られた磁気ディスクにおいては、基板の端部形状の関係から、磁気ヘッドの浮上領域を上記実施例よりも内側の領域までしか保証できない。
4 キャリア
5 上定盤
6 下定盤
7 研磨布(研磨パッド)
11 基板の主表面
12,13 基板の端面
Claims (6)
- 研磨砥粒を含む研磨液を用いて、ガラス基板を研磨する研磨工程を有する磁気ディスク用ガラス基板の製造方法であって、
前記ガラス基板を構成するガラスはアルミノシリケートガラスであり、
前記研磨砥粒をコロイダルシリカとし、
前記研磨液中に、該研磨液の溶媒の摩擦係数が0.8以上になるように、エタノール系のノニオン系界面活性剤を添加することを特徴とする磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。 - 前記コロイダルシリカの平均粒径は20〜500nmであることを特徴とする請求項1に記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
- 前記研磨パッドは、スウェードの発泡ポリウレタン製で、アスカーC硬度が60〜80であることを特徴とする請求項1又は2に記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
- 前記研磨工程の前に、酸化セリウムを研磨砥粒として含む研磨液を用いて前記ガラス基板を研磨する第1研磨工程を含み、該第1研磨工程においても研磨液中にエタノール系のノニオン系界面活性剤を添加して研磨液の溶媒の摩擦係数を0.8以上とすることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
- 前記ガラス基板は、ロードアンロード方式の磁気記録装置に搭載される磁気ディスクに用いるガラス基板であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
- 請求項1乃至5のいずれか一項に記載の製造方法によって得られた磁気ディスク用ガラス基板上に、少なくとも磁性層を形成することを特徴とする磁気ディスクの製造方法。
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