TW500973B - Process for controlling a gap between a workpicece in proximity exposure and a proximity exposure device - Google Patents

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500973 ϋί>^"ΐ：'.·'ΐ·ΐΐ·ΜΜΐι II .....................................|Γ|| Ί‘._響 ^^7 Β7 至為) 〔發明所屬之技術領域〕 對半導體裝置、印刷基板、LCD製造等，施行將含 有紫外光的曝光光線，透過光罩照射到工件上，且將光罩 圖案轉印到工件上之曝光工程。本發明係有關於一種針對 使用在上述曝光工程的近接式曝光裝置之光罩與工件之間 隙控制方法及近接式曝光裝置。 〔習知之技術〕 一般所謂的近接式曝光裝置，乃爲將工件相對於光罩 成爲平行，並只離開所定距離而予配置之，且透過光罩照 射曝光光線，將形成在光罩的光罩圖案，轉印到工件之曝 光裝置。因而，於曝光時，乃在光罩與工件之間設置所定 間隙，要求將兩者平行地配置。 於第5圖表示本發明前提的近接式曝光裝置的基本構 成。 於同圖中，形成光罩圖案之光罩Μ，乃利用真空吸附 等保持在光罩載置台MS。在光罩圖案MS的上方，設置 間隙測定器1，間隙測定器1乃利用間隙測定器驅動機構 2，在上下方向被驅動（就間隙測定器方面，例如參照曰 本特願平9—75564號）。 工件載置台W S乃利用真空吸附等保持工件W。設有 工件載置台WS之光罩載置台部，乃具有如以下的多段構 造。 亦即，在基板上，透過第1移動機構D1 (以下 (請先聞讀背齡之注意事項再填寫本頁) 钉--

Lf 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -4- 500973 A7 B7 五、發明説明fe ) 稱Z 1移動機構）來設置第1載置台z S (以下稱Z載置 台ZS)，在z載置台ZS上，透過第2移動機構D2( 以下稱Z 2移動機構）來設置工件載置台WB。Z 1移動 機構D1，乃於上下方向使Z載置台ZS移動。 ‘ Z載置台Z S的驅動機構係例如如以下般的構成。 如第5圖所示，其設有中間移動載置台11 ，透過滾 珠等轉動構件，而能夠移動地安裝在基板B P上。被設在 Z載置台Z S下部三處的斜面1 2 (在第5圖可觀看其中 兩個），乃透過滾珠14等轉動構件而被載置於被設在中 間移動載置台1 1的對應位置三處的斜面1 3上。 此外，Z載置台Z S也是透過軸承1 6等構件而被安 裝在垂直地被安裝在基板BP的導桿1 5。導桿1 5乃製 作成：Z載置台Z S，在Z方向移動時，不會在XY方向 (X係例如同圏的左右方向，Y係對面同圖紙面而垂直的 方向）移動，加以限制分別在X方向、Y方向的移動方向 。同圖的導桿1 5係限制X方向的移動，對此，在9 0 ° 方向設有限制Y方向移動之導桿。 若中間移動載置台1 1利用中間移動載置台驅動機構 1 7，來移動基板B P的話，Z載置台Z S就會沿著Z載 置台ZS的斜面，移動到Z方向。此時，Z載置台ZS會 沿著導桿1 5加以移動，所以只會在Z方向移動，並不會 在X Y方向移動。此外，將三處的斜面的傾斜做成相同， 所以依然是保持水平而移動至Z方向。Z載置台Z S的移 動行程，通常爲5 0 Omm。 本紙張尺度適用中國國家標準（CMS ) A4規格（210X297公釐） !!ί ^— |奢| (請先聞讀背齋之注意事項再填寫本頁) n n n n · 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -5· 500973 A7 £7_；_ 五、發明説明fe ) 因此，利用Z1移動機構D1，使Z載置台ZS在Z 方向平行移動，就可在光罩與工件之間設定所定的間隙。 然而，只令Z載置台Z S垂直移動，工件載置台WS有可 能會相對於曝光裝置或光罩等而傾斜。此傾斜無法利用 z 1移動機構D 1做修正，所以設有Z 2移動機構D 2。 Z 2移動機構D 2係將工件載置台WS做擺動移動、 調整。例如，如第5圖，將工件載置台W S，利用設有可 在Z方向移動的工件載置台支持構件2 0 a的工件支持部 20，以三點做支持，將各工件載置台支持構件20a， 利用驅動部2 0 b予以獨立，而使之在Z方向移動。藉此 ，製作成工件載置台WS被擺動，Z載置台Z S不會相對 於曝光裝置、光罩等而傾斜。 各工件載置台支持部2 0的工件載置台支持構件 2 0 a，可利用設有伺服馬達等的驅動部2 0 b被驅動， 就能夠高精度稍微的移動。而移動速度慢，各工件載置台 支持構件2 0 a的移動行程爲1至2mm。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 其次，根據第6圖、第7圖，說明第5圖所示的裝置 動作。 (1 )爲了輕易搬入、搬出工件W的關係，工件載置 台WS係在下方移動。光罩Μ與工件載置台WS的間隔， 考慮到工件搬送用鉤爪3的厚度或工件W S的撓度，至少 需要5 0mm左右。 (2 )如第6圖所示，工件W是利用工件搬送用鉤爪 3被保持，並被搬送|ΐ工件載置台WS上。在工件載置台 本紙張尺度適用中國國家檬準（CNS ) A4規格（21〇X297公釐） -6 - 500973 A7 ___B7 五、發明説明i ) (請先閲讀背命之注意事項再填寫本頁) 部’爲了在搬送用鉤爪3與工件載置台WS之間，交付工 件W’故設有交付針腳4(第5圖並未表示）。搬送鉤爪 3下降，工件W就會被交付到交付針腳4，搬送鉤爪3就 會予以退避。 (3 )如第7圖所示’將工件w與光罩Μ的間隔，製 作成所定的曝光間隔，並利用Ζ 1移動機構D 1，讓工件 載置台W S在短時間做上昇。藉此工件載置台做上昇 ，工件W就會自交付針腳4，被交付到工件載置台w S。 上述所定的曝光間隙’乃因處理的使用條件而異，但 通常要求在1 0 0 /zm以下。曝光間隙愈窄所以曝光精度 (解像能力）就愈精良。 (4 )爲了平行取出光罩Μ與工件w，故利用第5圖 所示的間隙測定器，在複數處（例如三處）加以測定光罩 Μ與工件W的間隔，由該測定値，將光罩μ與工件W製作 成平行’利用Ζ 2移動機器D 2，使工件載置台w S擺動 移動而予以調整。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (5 )利用間隙測定器1確認光罩μ與工件W成爲平 行後，將曝光光線，透過光罩Μ加以照射、曝光。 (6 )曝光結束後，工件載置台利用ζ 1移動機構 D 1予以下降時，工件W就會被交付到交付針腳4。搬送 用鉤爪3會被插入工件載置台部，處理完的工件就會從交 付針腳4，被交付到搬送用鉤爪3，而自工件載置台部被 搬出。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ29?公釐） -7 - 500973 A7 B7 五、發明説明) 〔發明欲解決之問題〕 近年工件尺寸有大型化傾向。特別是在液晶基板的領 域方面，500mmx650mm至 650mmx83〇 mm的大型基板正逐漸成爲主流。而爲了能完成高精度的 曝光，故而要求製作5 0 μ m以下的曝光間隙。 一旦工件大型化，曝光間隙變窄時，使工件載置台 W S上昇到曝光間隙（例如光罩與工件的間隔爲4 0 // m )之後，加以測定間隙量，擺動工件W來進行平行調整的 話，工件W的端部會造成引起衝突到光罩Μ。一旦工件w 接觸到光罩Μ，即會產生灰麈，還會引起傷及昂貴的光罩 之問題。 工件W的端部衝突到光罩Μ的理由乃如以下所述。 組裝工件載置台W S各零件之際，將工件載置台W S 、Ζ 1移動機構Dl、Ζ2移動機構D2，製作成相對於 光罩Μ而成爲平行，例如將所謂的墊片的薄板構件，夾在 安裝部分，予以改變高度方向的位置等等，而來進行調整 〇 然而，因此種機械式方法的平行調整，對於曝光大型 液晶基板裝置的大型工件載置台的情形下，作業麻煩而龐 大，在5 0 0 # m的範圍會有傾斜的情況。進而，一般大 型玻璃板的厚度公差爲土 5 0 //m。 因而，一旦工件載置台WS —氣移動到比將機械式平 行調整的精度（5 0 0 //m)與玻璃板厚度的公差（土 5 0 /i m )加起來的i圍更窄的間隙，例如5 5 0 μ m以 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) I— ml m HI Is m 訂一· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 500973 A7 B7___ 五、發明説明fe ) — 下，工件W的端部就會有衝突到光罩μ的情形。 爲了防止此種工件W與光罩Μ的接觸，故假設以設有 上述間隙（5 0 0 μ m )以上的間隙的狀態來進行平行的 取出，之後，設定在更窄的間隙之後，再度重覆進行平行 的取出，而製作成進行平行地形成完成最終目的的4 0 μ m的間隙。 然而這需要多次重覆間隙測定與平行調整的測定，對 曝光間隙的設定很花時間，而對其測定、調整的作業需要 多加熟練。 一方面，也提案一如記載在日本特開平4一 3 0 7 5 5 0號公報的間隙控制方法。這是所謂的在比曝 光間隙位置更下面的位置，進行粗略的平行調整，接著再 在曝光間隙位置，進行微細的平行調整方法。 但是，即使採用記載在上述特開平4 _ 3 0 7 5 5 0 號公報的間隙控制方法，一旦工件W大型化，就會發生如 以下的問題點。 (1 )記載在上述特開平4 一 3 0 7 5 5 0號公報的 實施例，係將進行粗略平行調整的位置，製作成光罩Μ與 工件W的間隔設定爲1 0 0 的位置。此種粗略平行調 整與微細的平行調整的兩階段調整，在曝光比較小型的基 板的情況下’對接近到1 〇 〇 M m左右間隔完成平行調整 之際是很有效，但如先前所做的說明，大型基板的情形下 ，無法從比那更大的間隙（5 5 0 // m )開始做平行調整 ，工件W的端部就會fe突到光罩Μ。‘ 本紙張尺度適用中國國家標準（ CNS ) A4規格（210X297公釐) ~Γ (請4-閲讀背斯之注意事項再填寫本頁)

500973 A7 B7 五、發明説明（7 ) (2 )因而，進行多次在粗略的平行調整位置的間隙 測定和平行調整，還有在曝光間隙位置的間隙測定和平行 調整，甚至爲了最後確認的間隙測定。 必須多次重覆此種間隙測定與平行調整的工程，對曝 光間隙的設定很花時間。而對間隙測定、平行調整的作業 需要很熟練。 (3 )因此在曝光處理以外，造成長時間使用工件載 置台，所以結果會造成裝置處理能力惡化。 本發明乃爲有鑑於上述情形之發明，本發明目的在於 提供一減少曝光間隙測定與平行調整的工程，且即使工件 大型化，光罩與工件還是不會接觸，而能控制光罩與工件 的間隙，更不須熟練間隙調整作業之近接式曝光之光罩與 工件之間隙控制方法及近接式曝光裝置。 〔用以解決課題之手段〕 爲解決上述課題，關於本發明，乃於曝光裝置製造時 ’只是藉由利用工件載置台的墊片等的機械式方法的調整 ’製作成利用工件載置台的移動控制進行中斷調整的位置 調整。 亦即，將工件載置台的移動機構由第1移動機構、和 以配置在利用第1移動機構被驅動的載置台上，使工件載 置台在上下方向移動，調整其傾斜的複數工件載置台支持 部製成之第2移動機構予以構成，在多處測定光罩下面與 配置在工件載置台上岛工件上面的間隙量，由該間隙量， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請也聞讀背*-之注意事項再填寫本頁) t 1#.. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -10 - 500973 A7 __B7 _ 五、發明説明fe ) 將工件載置台製作成相對於光罩而成爲平行，當移動上述 複數個工件載置台支持部時，分別以各工件載置台支持部 的位置爲平行原點，登錄在控制部。 然後，在裝置使用開始時，構成使上述工件支持部， 移動到登錄到上述控制部的平行原點的狀態而予待機，於 工件曝光時，在工件載置台上載置保持工件，且以上述第 1移動機構上昇到校準間隙位置，利用上述第2移動機構 的工件支持部，設置平行光罩與工件間的曝光間隙，而予 以曝光。 因此，關於本發明，乃爲可減曝光間隙測定與平行調 整的工程，而即使工件大型化，光罩與工件還是不會接觸 到。甚至不需要熟練，就能簡單地平行取出光罩與工件。 〔發明之實施形態〕 第1圖係表示本發明之實施例圖。工件載置台WS的 驅動機構，係與前述第5圖所示者同，其動作基本上亦同 〇 於同圖中，與前述第5圖所示者相同者，乃附上同一 符號，於本實施例中，在控制部5設有記憶部5 c，在此 記憶著將工件載置台W S，相對於光罩Μ而做成平行的各 工件載置台支持構件2 0 a的位置（以下稱此爲平行原點 )° 第2圖至第3圖係光罩Μ、工件載置台WS及Z 2移 動機構D 2之放大圖/第4圆係表示工件載置台支持部 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規袼（210X297公釐） m HI I · t (請先閲讀背釙之注意事項再填寫本頁) 當 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 _11 _ 500973 A7 B7 五、發明説明) 2 0與間隙測定器1之配置圖。如第2圖至第3圖所示， 在各工件載置台支持部2 0乃設有檢測工件載置台支持構 件20a位置之感應器20c，感應器20c的輸出乃被 傳送至第1圖所示的控制部5。工件載置台支持構件 ‘ 2 0 a，能用例如附有編碼器伺服馬達加以驅動，可將該 編碼輸出做爲上述慼應器2 0 c的輸出而用之。 而如第4圖所示，於本實施例_中，工件載置台支持部 2 0係被配置在Z載置台Z S上的三處，而在安裝工件載 置台支持部2 0位置的垂直上方設有間隙測定1。 以下參照第2圖至第3圖，說明關於本實施例的間隙 調整。 (1)曝光處理前的調整操作 首先，在裝置調整階段進行以下的（1 )至（9 )的 調整。 (1) 最初，各支持部2 0的支持構件2 0 a係在行程終 端（最下面的狀態）的狀態。在此狀態，利用墊片等來進 行相對於光罩Μ，做工件載置台WS的機械式平行調整。 (2) 第.2圖係表示結束上述機械式平行調整之狀態。如 此，裝置的各驅動機構的移動部是在行程終端，以結束裝 置零件組裝階段的位置調整的狀態做爲機械原點。在此階 段的平行調整精度，乃如前所述，有5 0 〇 # m的誤差。 (3) 接著，利用驅動Z 2移動機構D 2，進行平行調整 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請也閲讀背面之注意事項再填寫本頁) t ,ΜΨ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -12- 500973 A7 B7 五、發明説明（1〇 ) (4) 首先，在工件載置台，8載置與實際工件ψ同厚度 的虛工件W d (空白玻璃）。裝置是在機械原點的狀態， 驅動Z 1移動機構D 1，利用間隙測定器1，使工件載置 台W S上昇到可以測定光罩μ與虛工件W d的間隙間隔位 置（例如間隔6 0 0 /i m )。 (5) 利用間隙測定器1，於第2圖之a、b、c三處， 測定光罩Μ與虛工件W d的間隙間隔1、m、η (關於進 行測定的a、b、c三處的位置乃參照第4圆） (6) 測定値假定爲 1 = 6 5 0 //m、m+6 3 0 μπι、 η = 6 0 0 /im。藉此，得知工件載置台WS相對於光罩 M’在a至c點中，傾斜50/im。l=m=n時，工件 載置台W S相對於光罩Μ爲平行，所以相對於a點的工件 載置台支持構件2 0 a如上昇5 0 /im，相對於b點的X 件載置台支持構件2 0 a如上昇3 0 μπι，乃將各工件載 置台支持構件2 0 a的移動量輸入到控制部5。 (7) 控制部5的Z 2移動機構控制手段5 b，係驅動驅 動部2 0 b的伺服馬達，使工件載置台支持構件2 0 a移 動到上述移動量相當於安裝在工件載置台支持部2 0的伺 服馬達的編碼輸出的脈衝數。 移動後，再度利用間隙測定器1，測定光罩Μ與工件 W的間隔。然後，重覆上述調整、測定，直到平行度爲容 許範圍爲止。 (8) 於第3圖表示結束相對光罩Μ的工件載置台WS平 行度調整的狀態。上i案例的情形，分別從行程終端（亦 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 讀 閲 讀 背 之 注 意 事 項 再 i 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -13» 500973 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（π ) 魏 即機械原點）加以移動a點的支持構件5 0 y m，b點的 支持構件3 0 # m。以此狀態的各工件載置台支持構件 2 0 a的位置做爲平行原點。 (9) 以對於上述機械原點的平行原點位置，亦即，關於 a點的支持構件爲5 0 # m，關於b點的支持構件爲3 0 ，關於c點爲〇 /zm，做爲各工件載置台支持構件的 補正値，而予以登錄在控制部5的記憶部5 c。裝置的調 整階段進行到此爲止。 實際使用曝光裝置時，乃準備以下（10)(11)。 (10) 實際使用曝光裝置時，一旦啓動裝匱，控制部5就 會驅動Z 2移動機構D 2的各工件載置台支持部2 0，利 用感應器檢測機械原點後，根據登錄的補正値，使各工件 載置台支持構件2 0 a移動到平行原點。藉此，相對光罩 Μ的工件載置台W的平行度，就爲結束微調整的狀態而予 待機。 (11) 利用此微調整，特別不需要熟練，就可一邊防止工 件與光罩的接觸，一邊調整爲了一氣上昇到1 〇 〇 以 下的間隙處而予以平行的條件。在該狀態等待工件。 (2)工件之曝光處理動作 (1) 應設定光罩與工件的曝光間隙，例如爲4 0 // m， 被預先記億在控制部5的記憶部5 c。 (2) 工件W是被載置在工件載置台WS。 (3) 利用控制部5 ^ Z 1移動機構控制手段5 a，驅動 0 (請Α閱讀背Φ-之注意事項再填寫本頁) 1.............. in In In n —ϋ--- 0 m m· 1JW nn mi β L# 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐） -14 - 500973 A7 ______Β7_____ 五、發明説明（12 ) (請先M讀背餘之注意事項再填寫本頁) z 1移動機構D 1的中間移動載置台1 1，Z載置台z S 則在Z方向移動。其結果，工件載置台WS則在Z方向移 動，工件載置台WS乃以快速的速度上昇到光罩Μ與工件 W調整位置（校準）的第1階段的1至3倍倍率的校準顯 ‘微鏡焦點深度內的校準間隙（例如1 〇 〇 // m )。 再者，1至3倍倍率，係指被觀測物（校準記號）的 像在校準顯微鏡的C CD照相機上放大1至3倍而投影的 〇 (4) 如上所述，相對工件載置台WS的光罩Μ的平行度 的微調整，乃利用前述的平行原點。因而，在此產生問題 的是工件W的平行度（厚度的誤差）。工件W的平行度（ 厚度的誤差）約爲5 0 //m，所以即使讓載置工件W的工 件載置台W S，上昇到校準間隙（1 0 0 // m )，也不必 擔心工件W會衝突到光罩Μ。 (5) 甚至一旦基板大型化，基板彎曲變大，光罩Μ與工 件W的校準，係依序先就光罩Μ與工件W的間隙寬爲 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 3 0 0 /i m方面，利用1至3倍的校準顯微鏡進行位置調 整，接著就間隙寬爲1 0 0 # m至曝光間隙（例如4 0 /2 m )方面，利用1 0倍的校準顯微鏡進行位置調整。 (6) 進行光罩Μ與工件W的XY方向的位置調整。在光 罩Μ及工件W設有校準記號，利用圖未表示的校準顯微鏡 ，檢測光罩Μ與工件W的校準記號，如光罩Μ與工件W爲 重疊，就在ΧΥΘ方向移動光罩載置台MS或工件載置台 WS，來進行位置調整。 ‘ -15- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 500973 A7 B7 五、發明説明（13 ) (6) 間隙測定器1是利用間隙測定器驅動機構2做移動 的，測定光罩Μ與工件W的間隔。測定位置係在如第4圖 所示的工件載置台支持部2 0的垂直上方的a、b、c三 處。 (7) 測定對應a、b、c三處的間隙間隔1、m、η , 且將測定値傳送至控制部5。測定値假定爲1 = 1 3 6 /im、m=146//m、n = 160#m。 控制部5乃由各間隙的測定値，進行減去設定的曝光 間隙的數値的演算。亦即： a 點=1 35/im— 40/im=9 5/zm b 點=145#m-40/im=l 〇5#m c 點=1 60//m-40/im=l 20//m (8) 自上述演算結果，控制部5的Z 2移動機構控制.手 段5 b，係製作爲對應各處的工件載置台支持構件2 〇 a 只移動上述的距離，將信號輸至各驅動部2 0 b。各點分 別移動，a 點= 95//m，b 點=l〇5//m，c 點= 1 2 0 // m 〇 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 一旦a點上昇移動9 5 /im，對應a點的工件載置台 支持構件2 0 a就停止移動。在那時點移動到b點及c點 。b點及c點分別達到移動量時，對應各處的工件載置台 支持構件2 0 a就停止移動。 (9) 工件載置台W S乃一邊進行光罩Μ與工件W的平行 調整，一邊到達曝先間隙。 (10) 爲了確認，故用間隙測定器1，在a、b、c三 »16- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 500973 A7 B7 五、發明説明（14 ) 處測定光罩Μ與工件W的間隔。 (11)測定的間隙寬度數値，是相對於設定曝光間隙而成 爲容許範圍的話，就可進行曝光處理。若容許範圍外，就 再度使工件載置台支持構件2 0 a移動，進行平行調整。 間隙間隔是將此重覆到進入容許範圍爲止。 〔發明之效果〕 如以上說明，關於本發明方面，在裝置的調整階段， 移動控制工件載置台移動機構，且進行相對於光罩的工件 載置台的平行度微調整*以其微調整位置作爲平行原點， 予以登錄到控制部的記憶部，於裝置使用開始時，使工件 載置台驅動機構移動到平行原點，於是成爲待機，所以將 相對於工件的光罩的平行調整的位置，只考慮工件的厚度 公差即可。 因而，即使工件大型化，工件還是不會接觸到光罩， 能以比較快速的速度使工件載置台上昇到接近光罩的平行 調整位置。因此，能縮短平行調整的時間，達成處理能力 的提升。而不需要熟練，就可進行光罩與工件的平行取出

I 背I 面-I 之 注 項 再 f 本 頁

I II 訂! I 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 〔圖面之簡單說明〕 第1圖係表示本發明之實施例圖。 第2圖係表示關於本發明實施例結束機械式平行調整 之狀態圖。 f 本紙張尺度適用中國國家樣準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 17 500973 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 _B7_*_ 五、發明説明（15 ) 第3圔係表示關於本發明實施例完成光罩與工件載置 台的平行度調整之狀態圖。 第4圆係表示工件載置台支持部與間隙測定器之配置 圖。 • 第5圖係表示本發明前提的近接式曝光裝置之基本構 成圖。 . 第6圖係表示將工件搬送至工件載置台WS之狀態圖 〇 第7圖係表示使工件載置台上昇之狀態圖。、 〔符號之說明〕 間隙測定器 間隙測定器驅動機構 工件搬送用鉤爪 · 交付針腳 控制部 Z 1移動機構控制手段 Z 2移動機構控制手段 記憶部 中間移動載置台 斜面 滾珠 導桿 軸承 . 本紙張歧賴t ®目家縣(CNS ) A4規格（210X 297公釐) 71—" """ (請I聞讀背面之注意事項再填寫本頁)

訂一·

500973 A7 B7 五、發明説明（16 )

1 7 2 0 2 0a 2 0b 2 0c Μ MS W W d W S D 1 D 2 Z S 中間移動載置台驅動機構 工件載置台支持部 工件載置台支持構件 驅動部 感應器 光罩 光罩載置台 工件 虛工件 工件載置台 Z 1移動機構（第1移動機構） Z 2移動機構（第2移動機構） Z載置台（第1載置台）

I 閲 《 讀背I 面- 之 注 項 再 填

I 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -19-

Claims (1)

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   第8 8 1 0 6 5 6 4號專利申請案 中.文申請專利範_修正本 民國9 0年1 2月修正 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1、一種近接式曝光之光罩與工件之間隙控制方法，針 對用光罩載置台來支持形成圖案的光罩； 在該光罩下方的工件載置台上載置工件而予以保持； 在上述工件的上面與上述光罩的下面之間，隔著7斤定“的 間隙，利用校準顯微鏡，觀察被印在光罩之光罩校準記號'1、 和被印在工件的工件校準記號，以光罩校準記號與工件校準 記號能夠重疊之方式來使光罩及/或工件移動，調整光罩與 X件的位置調整； 從上述光罩的上方，照射曝光光線，將形成在該光罩的 圖案，轉印在上述工件之近接式曝光之光罩與工件之間隙控 制方法，其特徵爲： 以使第1載置台上下移動之第1移動機構、和配置在利 用第1移動機構被驅動載置台上，使上述工件載置台在上下 方向移動，調整其傾斜之複數工件載置台支持部製成之第2 移動機構加以構成工件載置台之移動機構； 利用上述第1移動機構，使：Γ件載置台上昇到可測定配 置在里工件載置台上的工件上之間隙量的位置_，在 多處測定間隙量； 由該間隙量，將工件載置台製作成相對於光罩而成爲平 行，使上述第2移動機構的上述工件載置台的複數支持部移 本紙張尺JL逍用中國國家樑丰（CNS ) A4規格(210X297公釐） (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁)

   裝^--- 着 « ml tli ml Is n 0 500973 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 i_____:·ϊίϋ 動時，以各工件載置台支持部的位置做爲平行原點，而予以 登錄在控制部； 於裝置使用開始時，使上述各工件載置台支持部，移動 到登錄在上述控制部的平行原點的狀態而予待機； 於曝光時，在工件載置台上，載置工件而予以保持，將 工件載置台以上述第1移動機構上昇到校準間隙位置，之後 ’在複數處測定間隙量，且根據該間隙量，利用第2移動機 構一邊調整工件載置台的傾斜一邊使工件上昇到與光·罩平 的曝光間隙位置而予以曝光。 * .地‘ 2、一種近接式曝光裝置，針對接近光罩與工件，將曝 光光線透過光罩，照射在工件上，將光罩圖案轉印到工件之 近接式曝光裝置，其特徵爲具有： 測定光罩與工件的間隙量之間隱測定機構、和 相Μ於基台，使第1載置台在上下方向移動之第1移動 機構、和 具備有相對於上述第1載置台，使工件載置台在上下方 向移動，調整其傾斜的複數工件載置台支持部之第2移動機 構、和 控制上述第1移動機構、第2移動機構的驅動之控制部 I述工件載置台支持部係具備有：與上述工件載置台一 起一體移動的工件載置台支持構件和驅動該工件載置台構件 之驅動部、和檢測上述工件載置台支持部的上下方向位置之 位置撿測手段； 本紙張尺度逋用中國國家梂準（CMS ) Α4規格（210X297公釐） tuB nn ins Kn— n·.··· I Bin In— ts— <請先闥讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 管 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -2- 500973 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 丨4 /f 」Ί ；- . '…> 1 而上述控制部係具備有：登錄工件載置台相對於光罩而 成爲平行的各工件載置台支持構件的平行原點位置之記億手 段； 上述控制部係於裝置使用開始時，使各工件載置台支持 構件，移動到被登錄在上述記憶手段的平行原點位置的狀態 而予待機，於工件曝光時.，驅動上述第1移動機構，使工件 載置台接近光罩，之後，藉由間隙測定機構在複數處測定間 隙量，利用上述第2移動機構一邊調整工件載置台的傾科t 邊使之上昇。 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝‘ 訂--- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度逋用t__家梂準（CNS ) A4规格（210X297公釐）