TW495560B - Ultraviolet irradiation device - Google Patents

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495560 A7 __B7___ 五、發明說明（< ) [發明背景】 (請先閱讀背面之注意事項再本頁) 本發明為有關一種紫外光線照射裝置，像利用介電質 障物放電燈管（亦稱準分子雷射管），對半導體金屬或高 分子化合物等的表面進行洗淨或改質等者。 介電質障物放電燈管（準分子雷射管）偽由燈管内封入 氣體(的種類而放射光線的波長不同。例如，其放射光線 之中心波長在入氣體為氙1 7 2 n m，氯化氪時2 2 2 n m，氯化 氙時308nm〇 尤其是封入氙的介電質障物放電燈管，會放射真空紫 外光線的波長1 7 2 II in之光線。因此，在含有氧氣的環境 中照射時，氧分子（〇 2 )將該光線吸收，生成氧原子（〇 ) 或臭氧（〇 3 )等的活性氧種。 ，線' 又，波長1 7 2 n m光線之光子能是約7 . 2 e V，比眾多的有 機物之結合能量大。因此，由於照射1 7 2 n m的光線切斷 有機化合物的化學結合，由所生成的活性氧種可氧化分 解排除。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 此方法，為眾所知的紫外光線臭氧洗淨法，作為有機 物洗淨方法逐漸普及於半導體積體電路或液晶的製造過 程中。又，作為金屬污染排除方法，將紫外光線照射於 氯氣中來生成氯離子，使該氯離子與附#在基板表面的 金屬作反應生成氯化物，並利用蒸氣壓力的差異來揮發 排除之方法，或將紫外光線照射於含氟的氣體，由生成 的氮離子，將矽晶圓上的自然氧化膜排除等方法已有實 用化的進展。 -3 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 495560 A7 B7_ 五、發明說明（> ) (請先閱讀背面之注意事項再本頁) 半導體積體電路，年年在提高其積體度，而在積體電 路製造過程中有機化合物污染的容許位準也越來越高。 現在，積體電路基板的矽晶圓片之直徑傺2 G 0 in ηι為主流 ，直徑3 0 0 in m者也慢慢的開始流通。 欲除去有機物污染採用介電質障物放電燈管時，傺將 光線照射於此等尺寸的基板，因而需要排列多數的介電 質障物放電燈管。例如，第1 A圖及第1 B圔所示，作為直 .2 G Q mm矽晶圓用之紫外光線照射裝置，市面上銷售有使 用多數支之長230ιπηι的燈管12Q以相隔適當間隔的裝置。 該面照射總括式紫外光線照射裝置，如所照射的被加工 物之尺寸變大時，由需要將光線照射於被加工物全體所 以所用燈管的支數也變多。 然而，如第1圖所示實施例燈管之支數為多數支時， 在燈管壽命的更換時，需要將所要求支數分更換為新品 之燈管。 -丨線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 又，如採用多數支燈管時燈管驅動（點燈）電路也需要 同樣數目，其成本會很高。再者，在光線之照射分佈均 勻性之點，由於排列多數支的燈管，所以在燈管正下方 與各燈管之間其被照射的光線強度不同。因此，雖然設 置了反射鏡但照射於被加工物的光線之光量會發生不均。 解決這種問題的手段，僳使用1支介電質障物放電燈 管，使被加工物或介電質障物放電燈管一邊以直線性掃 描一邊進行照射之方法。在此方法中，由於只使用1支 介電質障物放電燈管，因而可減低由於燈管壽命的更換 -4- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 495560 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7___五、發明說明P ) 時之成本。又，以1支燈管作直線性掃描也可使照射於 被加工物的光線之光量均勻。 然而，於使被加工物或燈管以直線性掃描之方法，需 要以紫外光線照射於被加工面的全地區。因此，需要使 此等掃描的距離與被加上物的直徑間等或其以上。 又，由於使介電質障物燈管以直線性掃描，需要在其 兩側的導軌及其他的支撐機構，其結果，裝置變成大型 化而高價。 又，難於使介電質障物放電燈管與被加工物之間密閉 ，使用氯氣或氟氣等之腐蝕性氣體困難。 由此種背景，再者，又提案有一種將被加工物以可旋 轉地支撐在支撐台上，使被加工物一邊相對於介電質障 物放電燈管旋轉，一邊進行處理之裝置（例如，待開平 9 - 9 2 6 3 4號公報）。 於該先前的裝置，比起介電質障物放電燈管的直線性 掃描時，可使裝置構成簡略。由此，可使裝置小型化。 一方面，使紫外光線的照射範圍一邊相對於被加工物 旋轉時，因應於自其旋轉中心的距離被加工物與燈管的 相對速度會變化，因此，於介電質障物放電燈管的長度 方向之照射光量為一定時，隨箸自旋轉中心之距離愈大 ，對被加工物面的累積光量越少。其結果，不能進行均 勻地該表面處理。 為了對付此問題，在上逑特開平9 - 9 2 6 3 4號公報中的 第5圖及其說明所示的方法，傺配置形成使大致三角形 -5 - (請先閱讀背面之注意事項再^^本頁) 裝 士 · -丨線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 495560 A7 B7 五、發明說明（4 於 域應 區因 的 ， 過此 通由 線並 光 〇 外板 紫光 之遮 狀的 下 以 域 區 過 通 線 光 外 紫 稱 心 中 轉 ΙΒΓ 旋 自 用 離 距 整 外 紫 的 狀 形 〇 角 量三 光逑 積上 累由 之藉 線 ， 光驗 外實 紫的 的等 面人 之明 物發 工由 加 ， 被而 達然 到 旋並 自量 由光 ，積 上累 密的 嚴上 在面 ，之 時物 線工 为 力 外被 紫在 射曉 照知 行確 進明 域離 區距 過的 通心 線中 光轉 度 寬 的 1—I ΊΧ 管 燈 放 物 障 質 電 介 於 示 所 圖 A ο 4 定第 一 如 成偽 會此 不 得利處 獲，面 ，此表 驗由的 實 。匂 於果均 。結行 定的進 一 少能 為越不 非量並 而光 ， 山積時 為累板 佈其光 分，遮 以開的 傺離狀 度越形 強心角 光中三 的轉述 向旋上 方從用 要 槪 之 〇 明 理發 裝轉 射旋 照邊 線一 光的 外相 紫管 種燈 一 電 供放 提物 於障 傺質 δ ， UfAr 的介 目對 的物 明 Η 發加 本被 ，使 此偽 因 ， 置 之性 線質 光均 外的 紫理 的處 面面 表表 物高 Η 提 加可 被 ， 對此 使由 際定 之一 線於 光近 外接 紫量 射光 照積 來累 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂·- ;線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 照 ， 面置 工裝 加射 被照 的線 物光 工外 加紫 被之 對質 傺改 明或 發淨 本洗 ，其 的行 目進 述來 上線 成光 達外 為紫 射 障質使 質電由 電介並 介到 ， 的來盤 度面轉 長工的 上加下 以被射 徑其照 直使線 大，光 最物外 之工紫 面加的 工被射 加置照 被載所 有 ·，管 具管燈 : 燈電 備電放 具放物 傺物障 範固 射及 照 ； 之源 線動 光驅 外之 紫盤 與轉 心該 中動 轉驅 旋轉 其旋 使 ； 管者 燈致 電 一 放致 物大 障心 質中 電的 介圍 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 495560 A7 B7 五、發明說明（ 紫面 其工 由加 ，被 射的 照物 之工 線加 光被 外達 紫到 的整 管調 燈來 電狀 放形 物的 障域 質區 電過 介通 由線 在光 定外 狀對 形為 之線 域心 區中 過向 通方 線度 光長 外的 紫圍 該範 ， 射 片照 光之 濾線 的光 量外 光紫 線述 光上 外對 紫傺 之 ， 通圍 線範 光射 外照 紫線 成光 形外 向紫 方於 度近 寬靠 的少 域至 區 ， 過分 通線 線各 光的 外限 紫界 該之 在域 ， 區 稱過 照者 之現 線呈 光致 外大 紫線 述曲 上次 於二 點的 基數 為變 線為 心 r 中離 述距 上的 以向 ，方 分度 部長 央圍 中範 之射 管燈 燈電 電放 放物 物障 障質 質電 電介 介述 對上 物由 工行 加進 被邊 述 一 上 ， 使轉 ，旋 此作 由邊 並 一 的 線 光 外 紫 之 管 燈 電 放 物 障 質 電 介 自 將 此 由 ο 射 照 對 的 射 相管照 之 限 界 向 方 度 寬 的 域 區 過 通 〇線 區光 地外 全紫 之在 面成 Η 形 加 ， 被時 述此 上於 於 部基 央作 中線 之心 圍中 範之 射向 照方 之度 線寬 光的 外圍 紫範 述射 上照 近線 靠光 Lr 其 夕 少紫 至述 ，上 分對 線 ， 各分 m 致 線 Θ 曲丨 之 近量 附光 心 積. 中累 勺 勺 0 β 圍予 範給 射式 照下 該之 過向 通方 傺線 。 長 心 想 延中理 其該較 ， 沿 ， 準由者 Γ /—\ 定 -ϋ n ϋ ri ϋ ϋ ϋ I ϋ ϋ I · I ϋ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 線- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 中 式

C L±J (0 27r 向 方 度 寬 的 度線 強軸 光的 的管 管燈 燈 電 電放 放物 物障 障質 質電 電介 介從 : 於 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 495560 A7 B7 五、發明說明（6 線紫 又分 之 限 界 的 向 〇 方 離度 距寬 之之 心域 中區 轉過 旋通 的置 物裝 。工射 離加照 距被逑 之從上 : 成 r 形 上 到 於 至 不 並 在結離 ，連距 心所定 中分規 的線隔 圍該相 範此成 射彼形 照鄰側 之相兩 置由心 裝向中 射方的 照度圍 述寛範 之射 域照 區述 過上 通在 線此 光由 LT έ 夕 远 的 器 色 濾 在 Ρ 開 域 。區 想過 理通 為線 者光 域外 區紫 過述 通上 線 ， 光是 外好 紫最 個 ， 2 又 的 的 管 燈 電 放 物 障 質 電 介 逑 上 由 少 至 備 具 明 發 .本 。者 縫再 開 其 。而 室源 mil 理勤 處驅 之及 絶盤 隔轉 部述 外上 封容 密收 部可 外少 從至 圍 ， 範備 射 具 照明 之發 線本 光 ， 外又 紫 以 裝 體 框 該 對 和 燈 ， 電體 放蓋 物閉 障關 質來 電體 介框 逑對 ，上可 體有 ， 框定況 的固狀 口少種 開至此 方，在 上體 蓋。密 的者所 口器部 開色外 其濾 閉及 關管 可 從 1 置 裝 射 照 線 光 外 紫 的 往 以 示 表 傺 ο TJ ， 想明圖 理説1Β 為單第 室簡及 理之圖 處式1Α 的圖第 [ «β 0¾ (請先閱讀背面之注意事項再本頁) . -線- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 置 裝 射 照 線 光 外 紫 明 發 本 關 示 C 表 圖 傺 面 ， 側 圖 . Β 及 2 面第 平及 之圖 J A 伊 2 施第 實 面 側 略 概 置 裝 射 照 線 光 外 〇 紫 圖之 面態 俱狀 及體 圖蓋 面開 正打 成傺 構圖 略 3 概第 之 圖 tic 強 光 的 管 燈 電 放 物 障 質 IfStT 介 示 表 傺 圖 B 4 第 及 圖 A 4 第 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 495560 A7 B7 五、發明說明（ 平 之 管 燈 電 放 物 障 質 電 介 的 物Η 被 對 43 示 表 〇 係 圖圖 佈 5 分第 度 圖 面 平 態 形 施 實1 的 片 光 濾 光 。調 圔示 偽表 關 置圖 位 6 的第 面 圖 面 平 形 情 置 放 之 片 Ο 光 5 圖濾分 大光線 放調的 部的縫 A 圖開 的 6 形 圖第山 〇〇 Ι7Γ成 第表構 偽係係 圖圔圖 7 8 9 第第第 線 曲 次二 之 之 is 之 ηα 1Χ 5 分 線 的 線 曲 次二 有 具 用 使 明 發 本 依 傺 圖 ο ο 1 表第 圖 擬 模 由 時 器 。 光表 濾圖 光的 調較 的比 分來 線佈 狀分 線量 直光 有射 具照 與的 ，物 器工 光加 濾被 光對 果大 效放 之的 域圖 區 7 光第 遮於 的應 器對 光之 濾板 光光 調濾 明光 發調 本於 證應 驗對 為用 像較 圖比 11用 第作 所 片 光 濾 光 § 和 Η 光 濾 光 S 明 發 本 依 傺 圖 Β 2 1Χ 第 及 A 2 ΊΜ 〇 第 圖 態 形 施 實 一 的 明 發 本 。!]明 明 表 ® 説 圖1¾面 SI照 施 光 u« 實 导圭 ， 照；下 示U以 表 - — — ΙΓΙΙ-ΓΙ — — — — · I — (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) . -_線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 線 光 外 紫 射 照 圓 晶 矽 例 為 置 裝 射 照 線 光 外 紫 0 I ο 的 30質 的改 物於 加至 被乃 為淨 作洗 對面 是表 下其 以行 進 置 裝 射 照 線 光 LT 夕 紫 的 明 發 本 示 所 圖 B 2 第 Ο 及 明圔 發 2 本第 明如 說 内 11其 管在 燈 ， 電器 放容 物閉 障密 質傺 δ 2 IpUT 1i 介室 備 管 具燈 部 〇 2 内 1 其室 在管 ，燈 射 雷 子 分 準 有 填 充 部 易 的容 丨不 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格(210 X 297公釐） 495560 Α7 Β7 五、發明說明（#) 吸收光線的氮氣或氬氣等之憶性氣體。由此，可抑制從 介電質障物放電燈管1 1之紫外光線在燈管室1 2内之衰減 程度。設置在燈管室12内的介電質障物放電燈管11具有 大致圓柱狀之外形，自其圓周面放射紫外光線。 於一實施例其燈管内之封入氣體傺氙氣，予照射172nm 的紫外光線。當然於本發明，作為封入氣體其他者，例 如，亦可充瑱氟化氖（l〇8nm)、氬（126nm)、氪（146nm) 、氟（154nm)、氯化氬（175nm)、氟化氬（193nm)等者。 又，也可使用紫外光線作為發光區域而充瑱氯化氪 (222nm)、氟化氪（248nm)、氯化氙（308nro)、氟化氙 (351ηιπ)者。 在燈管室12的下面，設有作為光線射出口的透光構件 1 3。從介電質障物放電燈管1 1所發光的紫外光線乃穿透 透光構件1 3照射於被加工物W。 作為透光構件1 3，傺使用於廣幅度波長區域具有優異 透光性的石英玻璃為理想。燈管室12，又在其内部具有 反射鏡14。反射鏡14僳覆蓋介電質障物放電燈管11的上 部及側部，將介電質障物放電燈管1 1的向上方及側方照 射之光線往下方，即朝向被加工物W聚光。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在上述透光構件1 3的上部具有調光據光器1 5。調光濾 光器15偽於介電質障物放電燈管11之長度方向，用來調 整照射到被加工物W側的累積光量者。有關調光濾光器 1 5的具體構成及功能，於後述之。 紫外光線照射裝置1 〇，燈管室1 2下方具有載置被加工 -1 0 _ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 495560 A7 B7 五、發明說明（？ 置 1 裝置 降裝 升降 的升 下由 其。 由轉 可旋 16所 盤17 轉達 〇 馬 6 1 轉 盤旋 轉由 形可 圓時 之同 定， 固降 而升 W 可 J 7 物 1 W ，以 物升並 Η 上 〇 加被13 6 被 1 件 的台構 内轉光 19後透 室 W 述 理物上 處工於 於加近 進被接 搬載面 將搭工 可 。加 ，上被 降16的 下盤 W 之轉物 16於 Η 盤載加 轉搭被 的可使

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上述調光濾光Η 1 5，傺設置於介電質障物放電燈管 1 1與透光構件1 3之間。如第8圖所示，透光構件1 3由限 制光線透射範圍的框架7 Q所支撐。介電質障物放電燈管 1 1的軸線，在該長方形狀之透光構件1 3的寬度方向中央 被一致。調光濾光片1 5傺使其中心0與透光構件1 3的中 心一致，重疊於其上配量。由於在透光構件1 3上配置調 光濾光Η 1 5，構成上述V字形開縫的線分5 1 a及框架7 0 的内壁所圍繞形成紫外光線通過區域7 U 由第8圖可明瞭，從介電質障物放電燈管1 1所照射的 -14- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 請. 先 閱 讀 背” 之 注 意 頁 訂 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 495560 A7 B7_ 五、發明說明（A ) 紫外光線，在燈管兩端惻並不受到調光濾光片1 5的限制 ，會投射到透光構件1 3側，亦即被加工物V側。可是， 於其中央附近其一部分受到該限制，不能到達被加工物 W 。由此，使被加工物W對於介電質障物放電燈管11相 對的一邊作旋轉，一邊進行照射紫外光線時，在被加工 物1上各點的紫外光線累積光量大致成一定。 尚，上述調光濾光片15，最好是選定不腐蝕的材質 (例如，不銹鋼）或施予表面處理，以使其不致於由於介 電質障物放電燈管1 1的紫外光線照射所腐触者。也可將 調光濾光片1 5施予鏍等的電鍍處理，或以特氟隆等的氟 樹脂成形調光據光片1 5。 為了達成本發明的目的雖對調光濾光片1 5的厚度無限 制，但以1 mm以下，最好是0.5·左右。 接著，說明於上述調光濾光片15構成V字形開縫51的 線分51a之具體的形狀。 上述調光濾光片1 5，傺從介電質障物放電燈管1 1發光 ，需要使照射於被加工物W表面各點的累積光量為均勻 之功能。被加工物W被旋轉時，在被加工物W上各點的 移動速度是比例於其自旋轉中心之距離。越離開旋轉中 心越增加。因而，如紫外光線的照射寬度為一定時，被 加工物W上各點通過紫外光線照射範圍之時間，越離開 自被加工物之旋轉中心越短。其結果，累積光量變小。 又，如第4A圖所示，介電質障物放電燈管11的寬度方 向之光強度分佈，傺以山形狀而不一樣。加以考慮此等 -1 5- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------------------訂-----------線 (請先閱讀背面之注意事項再本頁) 495560 A7 _B7___五、發明說明（4 ) 些點後，予決定構成上述V字形開縫5 1之線分5 1 a。 於本發明，各線分5 1 a偽對紫外光線照射範圍的寛度 方向中心線C為基準，其延長在通過該照射範圍中心附 近為曲線m ( r )，由沿中心線C方向之下式給予的累積光 量E ( r )成大致一定者來給予。 E{r) 2兀r (1) 式中，P(s):介電質障物放電燈管的光強度 s :於從介電質障物放電燈管的軸線於寬度方向 的距離。 r :從被加工物的旋轉中心之距離。 將其根據說明如下。 今假設介電質障物放電燈管1 1的光強度分佈在其寛度 方向為一定，此時在其正下方以速度v [mm/sec]直線性 通過的被加工物W受到的累積光量E ，使紫外光線的分 佈寬度為a[mm]、光強度為P [mW/cm2 ]時，可由下式表 r 閱 !· 面 之 注 意 h 頁 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 轉 表 旋b,式 1 { f 1 變 管 β 由 2)燈min可 • 電 r 則 • 放離 ， 物距e] 障之sc 質心t[ 電中為 j介轉間 2 對旋時 cmw從要 J/物會所 [m工度圏 V加速一 / 被動轉 a)，移 W X 明，物 (P發果I丄 = 本結加 。E 在該被 r 示 。設示 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 495560 A7 B7 _ 五、發明說明（A ) ν = 2 π ν /1 [mni/sec] ...(3) 在此，介電質障物放電燈管1 1的光強度分佈，實際上 傺如第4 A圖的V字形，因而將其分佈函數化後加以積分 即可。因此，設光強度分佈為P ( s )時（s是從軸線之寬 度方向之距離），累積光量E可由下式表示。 E = ^P{s)ds!v ...(4) 在本發明，有一部分的紫外光線由上述調光濾光片1 5 所遮住，於對應於V字形開縫5 1之開口寬度的範圍，將 此作定積分。在此，將V字形開縫5 1的線分5 1 a定義為 如第9圖通過被加工物W的旋轉中心0之二次曲線m ( r ) 。從介電質障物放電燈管1 1之光線由調光濾光片1 5所遮 住，其V字形開鏠5 1的開口寬度傺由r值不同。因此， 在被加工物W上各點所受到的累積光量可從0到m ( r )的 定積分求得。 本發明的調光濾光片1 5的V字形開縫5 1，具有由第9 圔曲線所定義的區域8 0之4倍大小。因此，將上述定積 分作4倍，就可得上述式（1 )。 其次，參照第2圖説明依有關本發明紫外光線照射裝 置1 0，來進行被加工物W的洗淨及表面改質之步驟。 由升降裝置17使轉盤16下降的狀態，開放閘閥23，以 機器人手臂等（未圖示）將被加工物W搬進處室1 9。然後 ，被加工物W的中心與轉盤1 6的旋轉中心為一致，將被 加工物W放在轉盤16上，由夾頭裝置（未圖示）固定。接 箸，拉出機器人手臂，關閉閘閥門2 3。 -1 7 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再 --- 本頁) 線： 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 495560 A7 B7 五、發明說明（士 接著，使轉盤1 6上升，將其上的被加工物接近於燈 管室1 2的透光構件1 3。使處理室1 9内的大氣換成腐蝕性 氣體後，起動旋轉馬達1 8，使置放於轉盤1 6上的被加工 物旋轉。一邊繼續此旋轉一邊起動介電質障物放電燈管 1 1，以規定時間進行對被加工物照射紫外光線。 (實施例） 其次，依據上述式（1)，具體的算出上述調光濾光片 1 5的線分5 1 a的實施例表示如次。 於本紫外光線照射裝置所用的介電質障物放電燈管 1 1，測量光強度分佈，傺為其分佈在頂點的光強度為 10mw/cm2而由下所表示者。 請 先 閱 讀 背 面 之 注 意 事 項 頁 P(s) 250 s2+l〇 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 光強度分佈，傺依如次的二次曲線表示，因而上述線 分5 1 a亦以二次曲線由下式所定義。 m(r)^x0i2 + yi + z ...(6) 然後，撿討各種式（6 )中之變數χ、y、z之值，儘量選 ¾Z 光， 積3 累 II 勺 y 白 義1， 定00 所 ο 、—»S 1 二 ( X 式到 述得 上 ， 使例 定施 義 定 所 式 下 由 線 曲 次 實分 在線 。述 者上 定成 一 構 為， 分 線 之 線 曲 次 二 的 片 光 濾 光 之 分 線 狀 線 (7直 式有 述具 上和 據>, 依丨 有 具 用 使片 ，光 著濾 接光 Si® 例 施 實 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 495560 A7 _B7___ 五、發明說明（Q) (習知例）時，以模擬試驗比較對被加工物的照射光量分 佈。 設定條件以第8圖所示裝置，其介電質障物放電燈管 1 1的直徑D L = 3 0 m m、透光構件1 3的長度L w = 3 5 3 · 5 m m、 寬度Dw = 90mm、調光濾光片15的長度L；p=210niffi。 本實施例的V字形開縫51之線分51 a是以上逑式（1)的 二次曲線構成，並使習知例的線分由下式的直線構成。 (8) 請 先 閱 讀 背 面 之 注 意 事 項

H 〇 加圖 被10 對第 的於 向示 方表 徑果 半結 在其 ο 〇 心擬 中模 轉作 旋佈 從分 態之 狀量 各光 於射 ，照 後的 然 W 物 接實 一 越由致 ，用大 時使量 片 ，光 光地射 濾對照 光相何 51!^ 口 o 的多置 例增位 知漸其 習逐論 用量無 使光 ， ， 射 時 瞭照片 明其光 可，濾 圖心光 1 中調 第轉的 從旋例 近施 定 照 參 ✓ίν 2 5 域 區 光 遮 央 中 述 上 對 5 1Χ Μ 光 據 光 於 次 其 線- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 光 0 χ=口 的 2 5 域 區 光 遮 央 〇 中 果在 結圖 的 7 證第 撿如 示 ， 表件 果條 效定 之設 勺 \1/ /ΠΡ 圖先 7 以 第 設$對 不SI量 旋i ，至損 圖\d際 11P 實 第 a ， 如 5 合 和分場 ，線個 丨的各 5 之 縫丨 開 Η 形 光字 濾 V 片 例 施 實 例 較 比 遮 該 心 中 加 被 濾I Tfcr目 « ^ ^ 光&工 是 D 度 寬 之 2 5 域 .區 光 遮 的 例 施 實 於 此 在 長 延 而 圖 該 在 ο 表 圖 佈 分 量 光 身 照 之 時 例 較 bb 是 圖 A 2 一—I 第 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 495560 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 _ B7_五、發明說明（d ) 顯示於旋轉中心附近的照射光量比其他區域變成極大。 一方面，第1 2 B圖，傺具有遮光區域5 2的實施例時之 照射光量分佈圖表。並由本圔表可明暸，在實施例時， 由該遮光區域5 2有效地抑制在旋轉中心附近的照射光量 ，並減低為與其他區域大致同量。由此，可撿證上述遮 光區域5 2之效果。 以上，依圖面說明本發明之實施形態及實施例，本發 明之適用範圍顯然並不限定於上述實施形態所示之事項 。有關本發明的紫外光線照射方法及裝置，除了對矽晶 圓Η的洗淨或表面改質之外，也可使用於半導體光蝕刻 用玻璃製光罩或液晶甩玻璃基板的有機物污染之排除。 於本發明，上述調光濾光片1 5的透光區域表示由開縫 所形成的實施例，但構成對應於上述V字形開縫5 1之區 域由透光性構件來構成亦可。 又，也可將透光構件1 3上的上述紫外光線通過區域7 1 以外之區域，處理成不透射紫外光線。又，於本實施形 態以被加工物W為圓形狀來表示，但只要是可容納在介 電質障物放電燈管1 1的照射範圍的各種形狀者作被加工 物W 0 如上述依本發明，使被加工物對介電質障物放電燈管 一邊作相對旋轉一邊照射紫外光線的紫外光線照射裝置 ，可使對被加工物表面的紫外光線之累積光量接近於一 定，並由此可提高表面處理之等質性。 又，形成於上述紫外光線通過區域之寛度方向的界限 -2 0 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •% · |線· 國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 495560 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 ___B7_五、發明說明（β ) 之線分段，並不到上逑紫外光線的 逑紫外光線通過區域的寬度方向由 接。由此，在上述照射範圍中心的 離的2個紫外光線通過區域。其結 心的照射光量變多，可使遍及於被 致一定之光量。 又，於本發明具備由介電質障物 從外部作密閉的處理室。由此，在 性氣體。此結果，可利用本紫外光 路製造過程的除去金屬污染、除去 含有氟有機物為了除去低介電常數 子，在減壓氨氣璟境中的真空紫外 參考符號之説明 10 .....紫外光線照射裝置 11 .....介電質障物放電燈管（準 12 .....燈管室 13 .....透光構件 1 4 .....反射鏡 1 5 .....調光濾光器片 16 .....轉盤 17 .....升降裝置 18 ......馬達 1 9 .....處理室 2 0.....框體 -2 1 - 表紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 照射範圍之中心，在上 相鄰彼此該線分所連 兩側形成相隔規定距 果，可防止在旋轉中 加工物全地區照射大 放電燈管之照射範圍 處理室内可充填腐蝕 線照射裝置於積體電 自然氧化膜，再者由 層間絶緣膜表面氟原 光線照射等目的。 分子雷射燈管 請 先 閱 讀 背 之 注 意 事 項 再 頁 495560 A7 B7 五、發明說明（) 2 0a. ——分離壁 2 1.. ..·蓋體 2 2.. ...機械室 2 3.. ...控制閥門 2 4.. ..·排氣管 5 1.. ...r字形開 5 1a. ——線分 5 2 .. ...遮光區域 7 0 .. ..·框架 7 1.· ...紫外光線 0… ..旋轉中心 W… ..被加工物 ί· 閱 讀 背. 之 注 意 事 項 m 本. 頁 訂 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）

Claims (1)

1. 495560 六、申請專初範圍 第 88120522 號 六申請專利範圍： 紫外光線照射裝置」專利案 (90年12月28日修正） 1 . 一種紫外光線照射裝置，係對被加工面照射紫外光線 ，來進行其洗淨或改質，其特徵爲具備： 具有該被加工面最大直徑以上長度的介電質障物放 電燈管； 可承載該被加工物，使其被加工面來到介電質障物 放電燈管所照射的紫外光線之照射下的轉盤，並使其 旋轉中心和該紫外光線照射範圍的中心大致一致； 旋轉驅動該轉盤之驅動源；及 固定在由介電質障物放電燈管的紫外光線之照射下 ，使到達至被加工物之被加工面的紫外光線之光量， 由其紫外光線通過區域之形成來調整的濾色器，該紫 外光線通過區域之形狀，乃對紫外光線之照射範圍之 長度方向的中心線爲對稱，於該紫外光線通過區域的 寬度方向形成紫外光線通過區域之界限的各線分中， 至少靠近紫外光線照射範圍之中央部分，以中心線爲 基點於紫外光線照射範圍之長度方向的距離r爲變數 之二次曲線大致呈現者； 並於此，使被加工物一邊相對於介電質障物放電燈 管旋轉，一邊由介電質障物放電燈管進行照射，由自 介電質障物放電燈管之紫外光線照射於被加工面之全 495560 六、申請專利範圍 地區。 2 ·如申請專利範圍第1項之紫外光線照射裝置，其中形 成紫外光線通過區域的寬度方向界限之各線分中至少 有其靠近紫外光線之照射範圍中央的部分，以對紫外 光線之照射範圍的寬度方向中心線爲基準，其延長係 爲通過該照射範圍的中心附近之曲線m ( r )，而由沿中 心線方向之下式所給予的累積光量E( r )成大致一定者 所給予。 E{r) 2TCr • · (1) 式中，P ( s ):介電質障物放電燈管的光強度 s :從介電質障物放電燈管的軸線在寬度方向 的距離。 r :從被加工物的旋轉中心之距離。 3 ·如申請專利範圍第1項之紫外光線照射裝置，其中形 成紫外光線通過區域寬度方向的界限之線分，並不會 至~紫外光線之照射範圍的中心，在其相鄰於紫外光 線通過區域之寬度方向的該彼此線分連結，由此在照 射範圍的中心兩側形成相隔規定距離之2個紫外光線 通過區域。 4 ·如申請專利範圍第2項之紫外光線照射裝置，其中形 成紫外光線通過區域寬度方向的界限之線分，並不會 495560 六、申請專利範圍 至一紫外光線之照射範圍的中心，在其相鄰於紫外光 線通過區域之寬度方向的該彼此線分連結，由此在照 射範圍的中心兩側形成相隔規定距離之2個紫外光線 通過區域。 5 .如申請專利範圍第1項之紫外光線照射裝置，其中該 紫外光線通過區域，係開口於濾色器的開縫。 6 .如申請專利範圍第2項之紫外光線照射裝置，其中該 紫外光線通過區域，係開口於濾色器的開縫。 7 .如申請專利範圍第3項之紫外光線照射裝置，其中該 紫外光線通過區域，係開口於濾色器的開縫。 8 ·如申請專利範圍第4項之紫外光線照射裝置，其中該 紫外光線通過區域，係開口於濾色器的開縫。 9 ·如申請專利範圍第1〜8項中任一項之紫外光線照射裝 置，其中更具備； 至少使介電質障物放電燈管的紫外光線之照射範圍 從外部密閉的處理室。 1 0 ·如申請專利範圍第丨〜8項中任一項之紫外光線照射裝 置，其中更具備： 至少使收容轉盤及驅動源的上方作開口的框體；及 對該框體，使其開口開閉安裝的蓋體，至少固定有介 電質障物放電燈管及濾色器。 1 1 .如申請專利範圍第9項之紫外光線照射裝置，其中更 具備： 495560 六、申請專利範圍 至少使收容轉盤及驅動源的上方作開口的框體；及 對該框體，使其開口開閉安裝的蓋體，至少固定有介 電質障物放電燈管及濾色器。 1 2 .如申請專利範圍第1 0項之紫外光線照射裝置，其中對 該框體使蓋體關閉，形成從外部密閉的處理室。 1 3 .如申請專利範圍第1 1項之紫外光線照射裝置，其中對 該框體使蓋體關閉，形成從外部密閉的處理室。