JP2003130801A - 蛍光体の検査方法および装置 - Google Patents
蛍光体の検査方法および装置Info
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- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 赤の発光量を大きくして緑や青と同等とする
ことにより、蛍光体の塗布状態を容易に、かつ、短時間
に検査できるようにすること。 【解決手段】 光源にカドミウムと希ガスを発光管内に
封入した２００ｎｍ〜２３０ｎｍの間に輝線を有するシ
ョートアーク型放電ランプ１１ａを使用する。該光源１
１ａから光を、画像表示用基板等の被検査物１０の蛍光
体に照射し、該蛍光体から発生する蛍光をＣＣＤセンサ
１５で受光して表示部１７に表示し蛍光体の欠損等の塗
布状況を検査する。また、ＣＣＤカメラ１５で受光した
画像を制御装置等に入力し、検査を自動化することもで
きる。また、上記ランプ１１ａとして、誘電体バリア放
電を行うための電極と、クリプトンガスと塩素ガスを充
填した放電容器を備えた、２００ｎｍ〜２３０ｎｍの間
に輝線を有する誘電体バリアエキシマ放電ランプを用い
てもよい。
ことにより、蛍光体の塗布状態を容易に、かつ、短時間
に検査できるようにすること。 【解決手段】 光源にカドミウムと希ガスを発光管内に
封入した２００ｎｍ〜２３０ｎｍの間に輝線を有するシ
ョートアーク型放電ランプ１１ａを使用する。該光源１
１ａから光を、画像表示用基板等の被検査物１０の蛍光
体に照射し、該蛍光体から発生する蛍光をＣＣＤセンサ
１５で受光して表示部１７に表示し蛍光体の欠損等の塗
布状況を検査する。また、ＣＣＤカメラ１５で受光した
画像を制御装置等に入力し、検査を自動化することもで
きる。また、上記ランプ１１ａとして、誘電体バリア放
電を行うための電極と、クリプトンガスと塩素ガスを充
填した放電容器を備えた、２００ｎｍ〜２３０ｎｍの間
に輝線を有する誘電体バリアエキシマ放電ランプを用い
てもよい。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、蛍光体の検査方法
および装置に関し、特にＰＤＰ（プラズマ・ディスプレ
イ・パネル）、ＦＥＤ（フィールド・エミッション・デ
ィスプレイ）等の画像表示用基板の検査に使用すること
ができる蛍光体の検査方法および装置に関するものであ
る。
および装置に関し、特にＰＤＰ（プラズマ・ディスプレ
イ・パネル）、ＦＥＤ（フィールド・エミッション・デ
ィスプレイ）等の画像表示用基板の検査に使用すること
ができる蛍光体の検査方法および装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】上記ＰＤＰ、ＦＥＤ等の画像表示用基板
には、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）（以下、Ｒ，Ｇ，
Ｂと略記する）の蛍光体が塗布され、紫外光等を照射
し、これらの蛍光体を発光させることによりカラー画像
を表示する。上記蛍光体に、欠損やむらがあったり、色
の異なる蛍光体が混ざったりすると、所望の特性が得ら
れない。そこで、上記画像表示用基板を製造する際、上
記蛍光体の塗布状態を検査することが行われている。以
下、上記ＰＤＰに塗布される蛍光体の検査を例にして説
明する。図１２に、ＰＤＰの断面図を模式的に示す。Ｐ
ＤＰの構造の概略は同図（ａ）に示すように、リア基板
１０１（ガラス基板：不透明）の上にリブ１０１ａを立
てて、画素（セル）１０２を作り、その上から透明なガ
ラス１０３でふたしたものである。各セルの内側の下面
（リア基板の面）と側面（リブの面）には、Ｒ，Ｇ，Ｂ
の蛍光体が塗布されている。各セル１０２には、キセノ
ンガスが封入されている。セルの上下に電極１０４ａ，
１０４ｂが形成されており、この電極間で放電を行なう
ことにより、キセノンガスが真空紫外光（１４７ｎｍ）
を発光する。蛍光体は、このキセノンガスの発光を励起
光線とし、それぞれの色の蛍光を発する。
には、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）（以下、Ｒ，Ｇ，
Ｂと略記する）の蛍光体が塗布され、紫外光等を照射
し、これらの蛍光体を発光させることによりカラー画像
を表示する。上記蛍光体に、欠損やむらがあったり、色
の異なる蛍光体が混ざったりすると、所望の特性が得ら
れない。そこで、上記画像表示用基板を製造する際、上
記蛍光体の塗布状態を検査することが行われている。以
下、上記ＰＤＰに塗布される蛍光体の検査を例にして説
明する。図１２に、ＰＤＰの断面図を模式的に示す。Ｐ
ＤＰの構造の概略は同図（ａ）に示すように、リア基板
１０１（ガラス基板：不透明）の上にリブ１０１ａを立
てて、画素（セル）１０２を作り、その上から透明なガ
ラス１０３でふたしたものである。各セルの内側の下面
（リア基板の面）と側面（リブの面）には、Ｒ，Ｇ，Ｂ
の蛍光体が塗布されている。各セル１０２には、キセノ
ンガスが封入されている。セルの上下に電極１０４ａ，
１０４ｂが形成されており、この電極間で放電を行なう
ことにより、キセノンガスが真空紫外光（１４７ｎｍ）
を発光する。蛍光体は、このキセノンガスの発光を励起
光線とし、それぞれの色の蛍光を発する。
【０００３】上記ＰＤＰの製造工程においては、基板上
の各セルにＲ，Ｇ，Ｂの蛍光体を塗布後、図１２（ｂ）
に示すように上側のガラス１０３を取り付ける前に、リ
ア基板１０１の各画素に対し蛍光体の塗布が正しく行な
われているか検査する。検査の項目は、次のようなもの
があり、図１３にその例を示す。なお、検査項目を総合
して、以下では塗布状況の検査と呼ぶ場合がある。 (1) 必要な部分に塗れているか。はみ出しや欠損はない
か。 (2) Ｒ，Ｇ，Ｂが境界線で混ざっていないか。 (3) 塗りむらはないか。 蛍光体の塗布状況を検査するためには、蛍光体を発光さ
せなければならない。なぜなら、上記したＲ，Ｇ，Ｂを
発する蛍光体は、可視光下では白色であり、見分けがつ
かないためである。蛍光体を発光させるためには、蛍光
体に励起光を照射する。従来、この励起光の光源とし
て、超高圧水銀ランプまたはキセノンランプを使用して
いた。ところがこれらのランプの光では、Ｇ及びＢの蛍
光体は十分に蛍光を発するが、Ｒの蛍光体はほとんど発
光せず、Ｇ及びＢの蛍光体の１／１０〜１／５０程度の
発光強度しか得ることができなかった。そのため、Ｒと
他の色の混ざりや、はみ出し欠損の区別がつきにくく、
検査に非常に時間がかかっていた。また、ＧやＢに比べ
てＲの光量が小さいため、測定装置の検出限界以下にな
ることがあり、検査の自動化の妨げにもなっていた。
尚、キセノンランプはキセノンガスを放電させて発光さ
せるランプであるが、ランプの発光管であるガラスは１
４７ｎｍの波長の光を透過させないので、キセノンラン
プを使って蛍光体に１４７ｎｍの波長の光を照射するこ
とはできない。
の各セルにＲ，Ｇ，Ｂの蛍光体を塗布後、図１２（ｂ）
に示すように上側のガラス１０３を取り付ける前に、リ
ア基板１０１の各画素に対し蛍光体の塗布が正しく行な
われているか検査する。検査の項目は、次のようなもの
があり、図１３にその例を示す。なお、検査項目を総合
して、以下では塗布状況の検査と呼ぶ場合がある。 (1) 必要な部分に塗れているか。はみ出しや欠損はない
か。 (2) Ｒ，Ｇ，Ｂが境界線で混ざっていないか。 (3) 塗りむらはないか。 蛍光体の塗布状況を検査するためには、蛍光体を発光さ
せなければならない。なぜなら、上記したＲ，Ｇ，Ｂを
発する蛍光体は、可視光下では白色であり、見分けがつ
かないためである。蛍光体を発光させるためには、蛍光
体に励起光を照射する。従来、この励起光の光源とし
て、超高圧水銀ランプまたはキセノンランプを使用して
いた。ところがこれらのランプの光では、Ｇ及びＢの蛍
光体は十分に蛍光を発するが、Ｒの蛍光体はほとんど発
光せず、Ｇ及びＢの蛍光体の１／１０〜１／５０程度の
発光強度しか得ることができなかった。そのため、Ｒと
他の色の混ざりや、はみ出し欠損の区別がつきにくく、
検査に非常に時間がかかっていた。また、ＧやＢに比べ
てＲの光量が小さいため、測定装置の検出限界以下にな
ることがあり、検査の自動化の妨げにもなっていた。
尚、キセノンランプはキセノンガスを放電させて発光さ
せるランプであるが、ランプの発光管であるガラスは１
４７ｎｍの波長の光を透過させないので、キセノンラン
プを使って蛍光体に１４７ｎｍの波長の光を照射するこ
とはできない。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】Ｒの発光が暗い理由
は、Ｒの蛍光体の励起に必要なエネルギーが、Ｂの蛍光
体またはＧの蛍光体の励起に必要なエネルギーよりも大
きいためである。前記した超高圧水銀ランプやキセノン
ランプからの光では、ＢやＧの蛍光体を励起することが
できるが、Ｒの蛍光体を十分に励起することができな
い。Ｒの蛍光体としては、例えば、一般式（Ｙ1-a-b Ｇ
ｄa Ｅｕb ）2 Ｏ3 （但し、０＜ａ≦０．９０、０．０
１≦ｂ≦０．２０）で表される希土類金属の多元系酸化
物や、一般式（Ｙ，Ｇｄ，Ｅｕ）ＢＯ3 または（Ｙ，Ｇ
ｄ）ＢＯ3 で表される希土類金属の多元系硼酸化物が多
用される。現状は、いずれも励起エネルギーに関しては
同様であり、超高圧水銀ランプやキセノンランプからの
光では、十分な蛍光が得られなかった。本発明は上記し
た事情を考慮してなされたものであって、本発明の目的
は、赤（Ｒ）の発光量を大きくして緑（Ｇ）や青（Ｂ）
と同等とすることにより、蛍光体の塗布状態を容易に、
かつ、短時間に検査できるようにするとともに、蛍光体
の塗布状態を自動的に検査することを可能とすることで
ある。
は、Ｒの蛍光体の励起に必要なエネルギーが、Ｂの蛍光
体またはＧの蛍光体の励起に必要なエネルギーよりも大
きいためである。前記した超高圧水銀ランプやキセノン
ランプからの光では、ＢやＧの蛍光体を励起することが
できるが、Ｒの蛍光体を十分に励起することができな
い。Ｒの蛍光体としては、例えば、一般式（Ｙ1-a-b Ｇ
ｄa Ｅｕb ）2 Ｏ3 （但し、０＜ａ≦０．９０、０．０
１≦ｂ≦０．２０）で表される希土類金属の多元系酸化
物や、一般式（Ｙ，Ｇｄ，Ｅｕ）ＢＯ3 または（Ｙ，Ｇ
ｄ）ＢＯ3 で表される希土類金属の多元系硼酸化物が多
用される。現状は、いずれも励起エネルギーに関しては
同様であり、超高圧水銀ランプやキセノンランプからの
光では、十分な蛍光が得られなかった。本発明は上記し
た事情を考慮してなされたものであって、本発明の目的
は、赤（Ｒ）の発光量を大きくして緑（Ｇ）や青（Ｂ）
と同等とすることにより、蛍光体の塗布状態を容易に、
かつ、短時間に検査できるようにするとともに、蛍光体
の塗布状態を自動的に検査することを可能とすることで
ある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】Ｒの蛍光体を十分に励起
するためには、超高圧水銀ランプやキセノンランプから
放射される光の波長よりも、短い波長の光を励起光とし
て用いることが考えられる。波長が短くなると、その分
エネルギーが大きくなる。そこで、種々検討した結果、
波長が２３０ｎｍ以下の光を放射する光源を使用すれ
ば、Ｒの蛍光体の発光量を大きくし、Ｇ，Ｂの蛍光体と
同等とすることができることがわかった。しかし、波長
が２００ｎｍ以下の場合には、大量にオゾンが発生する
ので、空気中で使用することが困難であり、検査装置の
光源として用いるのは適当でない。したがって、蛍光体
の検査に際しては、２００ｎｍ〜２３０ｎｍの波長の光
を、十分な放射強度で発光できるランプを使用するのが
望ましい。そこで、このようなランプについて検討した
ところ、以下の(a)(b)のランプが上記条件を満たしてい
ることがわかった。 (a) 少なくともカドミウムと希ガスを発光管内に封入し
た２００ｎｍ〜２３０ｎｍの間に輝線を有するショート
アーク型放電ランプ。このようなランプは、例えば後述
する特許第２７７５６９４号公報（特開平６−３１８４
４９号公報）、特許第３０２０３９７号公報（特開平７
−２１９８０号公報）等に記載されている。このような
ランプは、波長が２１５ｎｍ付近に発光スペクトルを有
する。 (b) 誘電体バリア放電を行うための電極と、クリプトン
ガスと塩素ガスを充填した放電容器と、該誘電体バリア
放電によって発生したクリプトンクロライドエキシマ分
子から放射される光を取り出す、２００ｎｍ〜２３０ｎ
ｍの間に輝線を有する誘電体バリアエキシマ放電ラン
プ。このようなランプは、例えば後述する特許第３１７
１００４号公報等に記載されるランプが知られている。
このようなランプは、波長が２２２ｎｍ付近に発光スペ
クトルを有する。なお、波長が２００ｎｍ以下の光を発
光する誘電体バリアエキシマ放電ランプも知られている
が、このようなランプを使用すると、前記したように大
量のオゾンが発生するので、検査装置には事実上使用で
きない。上記ランプを励起光源として用いて上記蛍光体
を照明したところ、Ｇ、Ｂと同様の光量でＲの蛍光体も
発光した。これにより検査を容易にかつ短時間に行うこ
とができるようになった。また、上記ランプを使用し
て、以下のように蛍光体の検査装置を構成することがで
きる。 （１）光源に上記(a) または(b) のランプを使用する。
そして、該光源から光を蛍光体に照射し、該蛍光体から
発生する蛍光をＣＣＤセンサ等で受光して表示装置等に
表示し蛍光体の欠損等の塗布状況を検査する。また、Ｃ
ＣＤセンサで受光した画像を制御装置に入力し、検査を
自動化することもできる。 （２）光源に棒状の上記(b) のランプを使用する。そし
て、該ランプから放射される光を集光する樋状のミラー
で集光して、蛍光体に照射し、蛍光体から発生する光を
ＣＣＤセンサで受光する。そして、上記ランプからの光
が上記蛍光体塗布面全面に照射されるように、上記検査
対象となる蛍光体塗布面、もしくは、上記誘電体バリア
エキシマ放電ランプおよびＣＣＤセンサを相対的に移動
させる。ＣＣＤセンサにより受光した画像は表示装置等
に表示され、蛍光体の欠損等の塗布状況が検査される。
また、ＣＣＤセンサで受光した画像を制御装置に入力
し、検査を自動化することもできる。 （３）光源に上記(a) のランプを使用する。そして、該
ランプから放射される光を集光鏡で集光して導光ファイ
バで蛍光体塗布面に導き、蛍光体に照射し、蛍光体から
発生する光をＣＣＤセンサで受光する。そして、上記ラ
ンプからの光が上記蛍光体塗布面全面に照射されるよう
に、上記検査対象となる蛍光体塗布面、もしくは、導光
ファイバ及びＣＣＤセンサを、相対的に移動させる。Ｃ
ＣＤセンサにより受光した画像は表示装置等に表示さ
れ、蛍光体の欠損等の塗布状況が検査される。また、Ｃ
ＣＤセンサで受光した画像を制御装置に入力し、検査を
自動化することもできる。上記のように、ランプからの
光が上記蛍光体塗布面全面に照射されるように、上記検
査対象となる蛍光体塗布面、もしくは、上記ランプまた
は導光ファイバおよびＣＣＤセンサを相対的に移動させ
ることにより、短時間で被検査物の検査を行うことがで
きる。特に、棒状の誘電体バリアエキシマ放電ランプを
使用することにより、一回の走査でランプからの光を蛍
光体塗布面全面に照射することができ、短時間に検査を
行うことができる。また、検査を自動化すれば、目視で
検査する場合に比べ、一層検査時間を短縮することが可
能となる。
するためには、超高圧水銀ランプやキセノンランプから
放射される光の波長よりも、短い波長の光を励起光とし
て用いることが考えられる。波長が短くなると、その分
エネルギーが大きくなる。そこで、種々検討した結果、
波長が２３０ｎｍ以下の光を放射する光源を使用すれ
ば、Ｒの蛍光体の発光量を大きくし、Ｇ，Ｂの蛍光体と
同等とすることができることがわかった。しかし、波長
が２００ｎｍ以下の場合には、大量にオゾンが発生する
ので、空気中で使用することが困難であり、検査装置の
光源として用いるのは適当でない。したがって、蛍光体
の検査に際しては、２００ｎｍ〜２３０ｎｍの波長の光
を、十分な放射強度で発光できるランプを使用するのが
望ましい。そこで、このようなランプについて検討した
ところ、以下の(a)(b)のランプが上記条件を満たしてい
ることがわかった。 (a) 少なくともカドミウムと希ガスを発光管内に封入し
た２００ｎｍ〜２３０ｎｍの間に輝線を有するショート
アーク型放電ランプ。このようなランプは、例えば後述
する特許第２７７５６９４号公報（特開平６−３１８４
４９号公報）、特許第３０２０３９７号公報（特開平７
−２１９８０号公報）等に記載されている。このような
ランプは、波長が２１５ｎｍ付近に発光スペクトルを有
する。 (b) 誘電体バリア放電を行うための電極と、クリプトン
ガスと塩素ガスを充填した放電容器と、該誘電体バリア
放電によって発生したクリプトンクロライドエキシマ分
子から放射される光を取り出す、２００ｎｍ〜２３０ｎ
ｍの間に輝線を有する誘電体バリアエキシマ放電ラン
プ。このようなランプは、例えば後述する特許第３１７
１００４号公報等に記載されるランプが知られている。
このようなランプは、波長が２２２ｎｍ付近に発光スペ
クトルを有する。なお、波長が２００ｎｍ以下の光を発
光する誘電体バリアエキシマ放電ランプも知られている
が、このようなランプを使用すると、前記したように大
量のオゾンが発生するので、検査装置には事実上使用で
きない。上記ランプを励起光源として用いて上記蛍光体
を照明したところ、Ｇ、Ｂと同様の光量でＲの蛍光体も
発光した。これにより検査を容易にかつ短時間に行うこ
とができるようになった。また、上記ランプを使用し
て、以下のように蛍光体の検査装置を構成することがで
きる。 （１）光源に上記(a) または(b) のランプを使用する。
そして、該光源から光を蛍光体に照射し、該蛍光体から
発生する蛍光をＣＣＤセンサ等で受光して表示装置等に
表示し蛍光体の欠損等の塗布状況を検査する。また、Ｃ
ＣＤセンサで受光した画像を制御装置に入力し、検査を
自動化することもできる。 （２）光源に棒状の上記(b) のランプを使用する。そし
て、該ランプから放射される光を集光する樋状のミラー
で集光して、蛍光体に照射し、蛍光体から発生する光を
ＣＣＤセンサで受光する。そして、上記ランプからの光
が上記蛍光体塗布面全面に照射されるように、上記検査
対象となる蛍光体塗布面、もしくは、上記誘電体バリア
エキシマ放電ランプおよびＣＣＤセンサを相対的に移動
させる。ＣＣＤセンサにより受光した画像は表示装置等
に表示され、蛍光体の欠損等の塗布状況が検査される。
また、ＣＣＤセンサで受光した画像を制御装置に入力
し、検査を自動化することもできる。 （３）光源に上記(a) のランプを使用する。そして、該
ランプから放射される光を集光鏡で集光して導光ファイ
バで蛍光体塗布面に導き、蛍光体に照射し、蛍光体から
発生する光をＣＣＤセンサで受光する。そして、上記ラ
ンプからの光が上記蛍光体塗布面全面に照射されるよう
に、上記検査対象となる蛍光体塗布面、もしくは、導光
ファイバ及びＣＣＤセンサを、相対的に移動させる。Ｃ
ＣＤセンサにより受光した画像は表示装置等に表示さ
れ、蛍光体の欠損等の塗布状況が検査される。また、Ｃ
ＣＤセンサで受光した画像を制御装置に入力し、検査を
自動化することもできる。上記のように、ランプからの
光が上記蛍光体塗布面全面に照射されるように、上記検
査対象となる蛍光体塗布面、もしくは、上記ランプまた
は導光ファイバおよびＣＣＤセンサを相対的に移動させ
ることにより、短時間で被検査物の検査を行うことがで
きる。特に、棒状の誘電体バリアエキシマ放電ランプを
使用することにより、一回の走査でランプからの光を蛍
光体塗布面全面に照射することができ、短時間に検査を
行うことができる。また、検査を自動化すれば、目視で
検査する場合に比べ、一層検査時間を短縮することが可
能となる。
【０００６】
【発明の実施の形態】図１に、本発明の第１の実施例の
蛍光体の検査装置の概略構成を示す。本実施例は、前記
カドミウムと希ガスを発光管内に封入した２００ｎｍ〜
２３０ｎｍの間に輝線を有するショートアーク型放電ラ
ンプ（以下では、この放電ランプを、カドミウムランプ
と略記する）を用いた実施例を示す。同図において、光
出射部１１には、上記カドミウムランプ１１ａと該カド
ミウムランプ１１ａからの光を反射する集光鏡１１ｂが
設けられている。集光鏡１１ｂにより集光された光は、
導光ファイバ１２によって検査を行う被検査物１０（こ
こでは、画像表示用基板に塗布された蛍光体）の近辺に
まで導かれる。導光ファイバ１２の光出射端には、複数
のレンズからなるレンズユニット１３が取り付けられて
おり、出射する光を整形する。蛍光体に照射された光
は、蛍光体に対して励起光として働き、蛍光体は、それ
ぞれの色の蛍光を発生する。発生した蛍光は、レンズ１
４によりＣＣＤセンサ１５に結像される。ＣＣＤセンサ
１５は、発生している蛍光の色と光量に応じた信号を、
制御部１６に出力し、制御部１６は、この信号に基き、
ディスプレイなどの表示部１７に表示する。目視で検査
を行う場合には、検査者は、上記表示部１７を見て、前
記したように、蛍光体に、はみ出しや欠損、むら、混ざ
り等がないかの検査作業を行う。
蛍光体の検査装置の概略構成を示す。本実施例は、前記
カドミウムと希ガスを発光管内に封入した２００ｎｍ〜
２３０ｎｍの間に輝線を有するショートアーク型放電ラ
ンプ（以下では、この放電ランプを、カドミウムランプ
と略記する）を用いた実施例を示す。同図において、光
出射部１１には、上記カドミウムランプ１１ａと該カド
ミウムランプ１１ａからの光を反射する集光鏡１１ｂが
設けられている。集光鏡１１ｂにより集光された光は、
導光ファイバ１２によって検査を行う被検査物１０（こ
こでは、画像表示用基板に塗布された蛍光体）の近辺に
まで導かれる。導光ファイバ１２の光出射端には、複数
のレンズからなるレンズユニット１３が取り付けられて
おり、出射する光を整形する。蛍光体に照射された光
は、蛍光体に対して励起光として働き、蛍光体は、それ
ぞれの色の蛍光を発生する。発生した蛍光は、レンズ１
４によりＣＣＤセンサ１５に結像される。ＣＣＤセンサ
１５は、発生している蛍光の色と光量に応じた信号を、
制御部１６に出力し、制御部１６は、この信号に基き、
ディスプレイなどの表示部１７に表示する。目視で検査
を行う場合には、検査者は、上記表示部１７を見て、前
記したように、蛍光体に、はみ出しや欠損、むら、混ざ
り等がないかの検査作業を行う。
【０００７】また、検査を自動化して、装置により検査
を自動的行う場合には、例えば、図２（ａ）に示すよう
に、ＣＣＤセンサ１５の前にＲ，Ｇ，ＢのフィルタＦ１
〜Ｆ３とフィルタ交換／退避手段１９を設ける。そし
て、フィルタ交換／退避手段１９により、Ｒ，Ｇ，Ｂの
フィルタＦ１〜Ｆ３を切り替えて、Ｒ，Ｇ，Ｂのそれぞ
れの画像をＣＣＤセンサ１５により受像し、画像処理部
１８により画像の処理を行い、制御部１６に入力する。
制御部１６には、予め、検査結果に対して許容される範
囲が入力されており、制御部１６は、Ｒ，Ｇ，Ｂのそれ
ぞれの画像について、欠損、むら等が上記許容範囲にあ
るかを調べるとともに、それらの画像を重ねて、重複、
はみ出しが許容範囲内であるかを調べ、被検査物１０の
合否を判定する。導光ファイバ１２、レンズユニット１
３、上記レンズ１４及びＣＣＤセンサ１５、もしくは被
検査物１０を紙面の左右および／または垂直方向にスキ
ャンすることにより、被検査物１０全面の画像をＣＣＤ
センサ１５に取り込むことができる。なお、導光ファイ
バ１２を移動させる場合は，光照射部１１に例えばＸＹ
移動機構を設け、光照射部１１と導光ファイバ１２とを
一体として移動するように構成しても良い。また、図２
（ｂ）に示すように、３台のＣＣＤセンサの前にそれぞ
れＲ，Ｇ，ＢのフィルタＦ１〜Ｆ３を設け、ビームスプ
リッタＢＳ等により、各ＣＣＤセンサにより受像された
画像を上記画像処理部１８に入力して、上記と同様に、
合否を判定するようにしてもよい。
を自動的行う場合には、例えば、図２（ａ）に示すよう
に、ＣＣＤセンサ１５の前にＲ，Ｇ，ＢのフィルタＦ１
〜Ｆ３とフィルタ交換／退避手段１９を設ける。そし
て、フィルタ交換／退避手段１９により、Ｒ，Ｇ，Ｂの
フィルタＦ１〜Ｆ３を切り替えて、Ｒ，Ｇ，Ｂのそれぞ
れの画像をＣＣＤセンサ１５により受像し、画像処理部
１８により画像の処理を行い、制御部１６に入力する。
制御部１６には、予め、検査結果に対して許容される範
囲が入力されており、制御部１６は、Ｒ，Ｇ，Ｂのそれ
ぞれの画像について、欠損、むら等が上記許容範囲にあ
るかを調べるとともに、それらの画像を重ねて、重複、
はみ出しが許容範囲内であるかを調べ、被検査物１０の
合否を判定する。導光ファイバ１２、レンズユニット１
３、上記レンズ１４及びＣＣＤセンサ１５、もしくは被
検査物１０を紙面の左右および／または垂直方向にスキ
ャンすることにより、被検査物１０全面の画像をＣＣＤ
センサ１５に取り込むことができる。なお、導光ファイ
バ１２を移動させる場合は，光照射部１１に例えばＸＹ
移動機構を設け、光照射部１１と導光ファイバ１２とを
一体として移動するように構成しても良い。また、図２
（ｂ）に示すように、３台のＣＣＤセンサの前にそれぞ
れＲ，Ｇ，ＢのフィルタＦ１〜Ｆ３を設け、ビームスプ
リッタＢＳ等により、各ＣＣＤセンサにより受像された
画像を上記画像処理部１８に入力して、上記と同様に、
合否を判定するようにしてもよい。
【０００８】図３に本実施例で使用されるショートアー
ク型のカドミウムランプの構成例を示す。同図に示すよ
うに、石英製の発光管３０内に陰極３１と陽極３２が所
定距離離間して配置され、発光管の両端に口金３３，３
４が装着されている。上記発光管３０内には、例えばア
ルゴンと０．３ｍｇ／ｃｍ3 の金属カドミウムが封入さ
れている。アルゴンの封入圧力は約０．３ＭＰａ（常温
換算）である。図４に上記カドミウムランプのスペクト
ル分布を示す。なお、同図の横軸は波長（ｎｍ）、縦軸
は相対分光放射照度（任意単位）である。同図に示すよ
うに、上記構成のカドミウムランプは、波長が２１５ｎ
ｍ付近に輝線を有しており、これにより、前記したよう
に、Ｇ、Ｂと同様の光量でＲの蛍光体を発光させること
ができる。なお、図示されていないが、上記構成のカド
ミウムランプは、波長が２００ｎｍ以下での光量は小さ
く、オゾンが大量に発生することはない。図５、図６に
前記したキセノンランプ、超高圧水銀ランプのスペクト
ル分布を示す。なお、図５、図６の横軸は波長（ｎ
ｍ）、縦軸は図４と同様、相対分光放射照度（任意単
位）である。図５、図６に示すように、キセノンラン
プ、超高圧水銀ランプは、波長２００〜２３０ｎｍ付近
で、相対分光放射照度がほぼ０となり、Ｒの蛍光体を十
分に励起することができない。
ク型のカドミウムランプの構成例を示す。同図に示すよ
うに、石英製の発光管３０内に陰極３１と陽極３２が所
定距離離間して配置され、発光管の両端に口金３３，３
４が装着されている。上記発光管３０内には、例えばア
ルゴンと０．３ｍｇ／ｃｍ3 の金属カドミウムが封入さ
れている。アルゴンの封入圧力は約０．３ＭＰａ（常温
換算）である。図４に上記カドミウムランプのスペクト
ル分布を示す。なお、同図の横軸は波長（ｎｍ）、縦軸
は相対分光放射照度（任意単位）である。同図に示すよ
うに、上記構成のカドミウムランプは、波長が２１５ｎ
ｍ付近に輝線を有しており、これにより、前記したよう
に、Ｇ、Ｂと同様の光量でＲの蛍光体を発光させること
ができる。なお、図示されていないが、上記構成のカド
ミウムランプは、波長が２００ｎｍ以下での光量は小さ
く、オゾンが大量に発生することはない。図５、図６に
前記したキセノンランプ、超高圧水銀ランプのスペクト
ル分布を示す。なお、図５、図６の横軸は波長（ｎ
ｍ）、縦軸は図４と同様、相対分光放射照度（任意単
位）である。図５、図６に示すように、キセノンラン
プ、超高圧水銀ランプは、波長２００〜２３０ｎｍ付近
で、相対分光放射照度がほぼ０となり、Ｒの蛍光体を十
分に励起することができない。
【０００９】なお、上記波長２００〜２３０ｎｍ付近に
輝線を有するカドミウムランプは、例えば、特開平６−
３１８４４９号公報、特開平７−５０１５４号公報、特
開平７−５０１５３号公報、特開平７−２１９８０号公
報、特開平８−１９５１８６号公報等に開示されてお
り、これらに開示されたカドミウムランプを使用するこ
ともできる。上記特開平６−３１８４４９号公報に記載
のものは、発光管内に主発光物質として、動作時の分圧
が３×１０3 Ｐａ〜１．３×１０5 Ｐａとなる量のカド
ミウムを封入したものであり、また、特開平７−５０１
５４号公報、特開平７−２１９８０号公報に記載のもの
は、発光管内に定常点灯時の圧力が１４ｋＰａ〜２００
ｋＰａの範囲となる金属カドミウムを封入したものであ
る。また、特開平７−５０１５３号公報に記載のもの
は、発光管内に定常点灯状態において、全てが蒸発する
量のカドミウムを封入したものであり、特開平７−１９
５１８６号公報に記載のものは、発光管内に定常点灯時
の圧力が２ｋＰａ〜２００ｋＰａの範囲となる金属カド
ミウムを封入したものであり、これらのランプを使用し
ても、上記と同様、２００ｎｍ〜２３０ｎｍの間に輝線
を有する光を発光することができる。なお、キセノンラ
ンプより短い波長の光を放射するランプとして、重水素
ランプが知られているが、重水素ランプ場合は、光量が
小さいため、蛍光体の発光も少なく、従来と同様に暗い
発光しか得られない。
輝線を有するカドミウムランプは、例えば、特開平６−
３１８４４９号公報、特開平７−５０１５４号公報、特
開平７−５０１５３号公報、特開平７−２１９８０号公
報、特開平８−１９５１８６号公報等に開示されてお
り、これらに開示されたカドミウムランプを使用するこ
ともできる。上記特開平６−３１８４４９号公報に記載
のものは、発光管内に主発光物質として、動作時の分圧
が３×１０3 Ｐａ〜１．３×１０5 Ｐａとなる量のカド
ミウムを封入したものであり、また、特開平７−５０１
５４号公報、特開平７−２１９８０号公報に記載のもの
は、発光管内に定常点灯時の圧力が１４ｋＰａ〜２００
ｋＰａの範囲となる金属カドミウムを封入したものであ
る。また、特開平７−５０１５３号公報に記載のもの
は、発光管内に定常点灯状態において、全てが蒸発する
量のカドミウムを封入したものであり、特開平７−１９
５１８６号公報に記載のものは、発光管内に定常点灯時
の圧力が２ｋＰａ〜２００ｋＰａの範囲となる金属カド
ミウムを封入したものであり、これらのランプを使用し
ても、上記と同様、２００ｎｍ〜２３０ｎｍの間に輝線
を有する光を発光することができる。なお、キセノンラ
ンプより短い波長の光を放射するランプとして、重水素
ランプが知られているが、重水素ランプ場合は、光量が
小さいため、蛍光体の発光も少なく、従来と同様に暗い
発光しか得られない。
【００１０】次に本発明の第２の実施例について説明す
る。本実施例は上記２００ｎｍ〜２３０ｎｍの間に輝線
を有するランプとして、棒状の誘電体バリアエキシマ放
電ランプを用いた実施例である。図７は本実施例の蛍光
体の検査装置の概略構成を示す。同図は誘電体バリア放
電ランプの管軸に対して直角方向の断面図を示してい
る。同図において、光出射部２１には、棒状の誘電体バ
リアエキシマ放電ランプ２１ａと、該ランプ２１ａの光
を被検査物１０（ここでは、画像表示用基板に塗布され
た蛍光体）方向に反射する樋状のミラー２１ｂが設けら
れている。なお、誘電体バリアエキシマ放電ランプ２１
ａの図７の紙面垂直方向の長さは、図７の紙面垂直方向
の被検査物１０の長さより長い。誘電体バリアエキシマ
放電ランプ２１ａから放射され、被検査物１０の蛍光体
に照射される光は、蛍光体に対して励起光として働き、
蛍光体は、それぞれの色の蛍光を発生する。発生した蛍
光は、レンズ１４によりＣＣＤセンサ１５に結像され
る。
る。本実施例は上記２００ｎｍ〜２３０ｎｍの間に輝線
を有するランプとして、棒状の誘電体バリアエキシマ放
電ランプを用いた実施例である。図７は本実施例の蛍光
体の検査装置の概略構成を示す。同図は誘電体バリア放
電ランプの管軸に対して直角方向の断面図を示してい
る。同図において、光出射部２１には、棒状の誘電体バ
リアエキシマ放電ランプ２１ａと、該ランプ２１ａの光
を被検査物１０（ここでは、画像表示用基板に塗布され
た蛍光体）方向に反射する樋状のミラー２１ｂが設けら
れている。なお、誘電体バリアエキシマ放電ランプ２１
ａの図７の紙面垂直方向の長さは、図７の紙面垂直方向
の被検査物１０の長さより長い。誘電体バリアエキシマ
放電ランプ２１ａから放射され、被検査物１０の蛍光体
に照射される光は、蛍光体に対して励起光として働き、
蛍光体は、それぞれの色の蛍光を発生する。発生した蛍
光は、レンズ１４によりＣＣＤセンサ１５に結像され
る。
【００１１】ＣＣＤセンサ１５の前にはＲ，Ｇ，Ｂのフ
ィルタＦ１〜Ｆ３と、フィルタ交換／退避手段１９とが
設けられ、Ｒ，Ｇ，Ｂのそれぞれの画像がＣＣＤセンサ
１５により受像される。ＣＣＤセンサ１５として図７の
紙面垂直方向の被検査物１０の長さに等しいかそれより
長いラインセンサを用い、上記光出射部２１、上記レン
ズ１４およびＣＣＤセンサ１５、もしくは、被検査物１
０を紙面の左右方向にスキャンすることにより、一回の
スキャンで被検査物１０全面の画像をＣＣＤセンサ１５
に取り込むことができる。ＣＣＤセンサ１５の前にＲ，
Ｇ，ＢのフィルタＦ１〜Ｆ３とフィルタ交換／退避手段
１９が設けられ、前記したように、フィルタ交換／退避
手段１９により、Ｒ，Ｇ，ＢのフィルタＦ１〜Ｆ３を切
り替える。ＣＣＤセンサ１５で受像したＲ，Ｇ，Ｂのそ
れぞれの画像は、画像処理部１８により画像処理され制
御部１６に入力する。制御部１６は、前記したように
Ｒ，Ｇ，Ｂのそれぞれの画像について、欠損、むら等が
上記許容範囲にあるかを調べるとともに、それらの画像
を重ねて、重複、はみ出しが許容範囲内であるかを調べ
被検査物の合否を判定する。また、前記図２（ｂ）に示
したように、３台のＣＣＤセンサの前にそれぞれＲ，
Ｇ，ＢのフィルタＦ１〜Ｆ３が設け、ビームスプリッタ
ＢＳ等により、各ＣＣＤセンサにより受像された画像を
上記画像処理部１８に入力して、上記と同様に、合否を
判定するようにしてもよい。なお、目視で検査を行う場
合には、前記したように表示部に画像を表示し、検査者
が蛍光体にはみ出しや欠損、むら、混ざり等がないかの
検査作業を行う。
ィルタＦ１〜Ｆ３と、フィルタ交換／退避手段１９とが
設けられ、Ｒ，Ｇ，Ｂのそれぞれの画像がＣＣＤセンサ
１５により受像される。ＣＣＤセンサ１５として図７の
紙面垂直方向の被検査物１０の長さに等しいかそれより
長いラインセンサを用い、上記光出射部２１、上記レン
ズ１４およびＣＣＤセンサ１５、もしくは、被検査物１
０を紙面の左右方向にスキャンすることにより、一回の
スキャンで被検査物１０全面の画像をＣＣＤセンサ１５
に取り込むことができる。ＣＣＤセンサ１５の前にＲ，
Ｇ，ＢのフィルタＦ１〜Ｆ３とフィルタ交換／退避手段
１９が設けられ、前記したように、フィルタ交換／退避
手段１９により、Ｒ，Ｇ，ＢのフィルタＦ１〜Ｆ３を切
り替える。ＣＣＤセンサ１５で受像したＲ，Ｇ，Ｂのそ
れぞれの画像は、画像処理部１８により画像処理され制
御部１６に入力する。制御部１６は、前記したように
Ｒ，Ｇ，Ｂのそれぞれの画像について、欠損、むら等が
上記許容範囲にあるかを調べるとともに、それらの画像
を重ねて、重複、はみ出しが許容範囲内であるかを調べ
被検査物の合否を判定する。また、前記図２（ｂ）に示
したように、３台のＣＣＤセンサの前にそれぞれＲ，
Ｇ，ＢのフィルタＦ１〜Ｆ３が設け、ビームスプリッタ
ＢＳ等により、各ＣＣＤセンサにより受像された画像を
上記画像処理部１８に入力して、上記と同様に、合否を
判定するようにしてもよい。なお、目視で検査を行う場
合には、前記したように表示部に画像を表示し、検査者
が蛍光体にはみ出しや欠損、むら、混ざり等がないかの
検査作業を行う。
【００１２】上記誘電体バリア放電ランプ２１ａとして
は、例えば、特許第３１７１００号公報の図１に開示さ
れるランプを使用することができる。図８に上記誘電体
バリアエキシマ放電ランプの構成例を示す。同図におい
て、放電容器４１は石英ガラス製であり、内側管４２、
外側管４３を同軸に配置して中空円筒状にしたものであ
る。内側管４２、外側管４３は誘電体バリヤ放電の誘電
体を兼用しており、ＯＨ基濃度５ｐｐｍ以下の石英ガラ
スからなっている。また、それぞれその外面に光を透過
する金属網からなる電極４４，４５が設けられている。
放電空間４０には、放電用ガスとしてクリプトンガスと
塩素ガスが封入されている。封入ガス圧力は、例えば１
３．３ｋＰａ以上、１３３ｋＰａ以下であり、塩素濃度
は、クリプトンに対して０．１容量％以上、２容量％以
下である。なお、上記電極４５を、蒸着によって形成し
たアルミニウム膜に変えてもよい。アルミニウム膜はク
リプトンのエキシマ分子から放射される紫外線を効率よ
く反射する。
は、例えば、特許第３１７１００号公報の図１に開示さ
れるランプを使用することができる。図８に上記誘電体
バリアエキシマ放電ランプの構成例を示す。同図におい
て、放電容器４１は石英ガラス製であり、内側管４２、
外側管４３を同軸に配置して中空円筒状にしたものであ
る。内側管４２、外側管４３は誘電体バリヤ放電の誘電
体を兼用しており、ＯＨ基濃度５ｐｐｍ以下の石英ガラ
スからなっている。また、それぞれその外面に光を透過
する金属網からなる電極４４，４５が設けられている。
放電空間４０には、放電用ガスとしてクリプトンガスと
塩素ガスが封入されている。封入ガス圧力は、例えば１
３．３ｋＰａ以上、１３３ｋＰａ以下であり、塩素濃度
は、クリプトンに対して０．１容量％以上、２容量％以
下である。なお、上記電極４５を、蒸着によって形成し
たアルミニウム膜に変えてもよい。アルミニウム膜はク
リプトンのエキシマ分子から放射される紫外線を効率よ
く反射する。
【００１３】図９に上記誘電体バリアエキシマ放電ラン
プのスペクトル分布を示す。なお、同図の横軸は波長
（ｎｍ）、縦軸は相対分光放射照度（任意単位）であ
る。同図に示すように、上記構成の誘電体バリアエキシ
マ放電ランプは、波長が２２２ｎｍ付近に輝線を有して
おり、これにより、前記したように、Ｇ、Ｂと同様の光
量でＲの蛍光体を発光させることができる。なお、同図
に示すように上記構成の誘電体バリアエキシマ放電ラン
プは、波長が２００ｎｍ以下での光量は小さく、オゾン
が大量に発生することはない。本実施例においては、上
記のように、棒状の誘電体バリアエキシマ放電ランプを
使用し、光出射部２１、上記レンズ１４およびＣＣＤセ
ンサ１５、もしくは、被検査物１０をスキャンして、誘
電体バリアエキシマ放電ランプから放射される光を被検
査物の全面に照射しているので、一回のスキャンで被検
査物１０の全面の画像を画像処理部１８に取り込むこと
ができ、短時間で被検査物の検査を行うことができる。
特に検査を自動化すれば、目視で検査する場合に比べ、
一層検査時間を短縮することが可能である。
プのスペクトル分布を示す。なお、同図の横軸は波長
（ｎｍ）、縦軸は相対分光放射照度（任意単位）であ
る。同図に示すように、上記構成の誘電体バリアエキシ
マ放電ランプは、波長が２２２ｎｍ付近に輝線を有して
おり、これにより、前記したように、Ｇ、Ｂと同様の光
量でＲの蛍光体を発光させることができる。なお、同図
に示すように上記構成の誘電体バリアエキシマ放電ラン
プは、波長が２００ｎｍ以下での光量は小さく、オゾン
が大量に発生することはない。本実施例においては、上
記のように、棒状の誘電体バリアエキシマ放電ランプを
使用し、光出射部２１、上記レンズ１４およびＣＣＤセ
ンサ１５、もしくは、被検査物１０をスキャンして、誘
電体バリアエキシマ放電ランプから放射される光を被検
査物の全面に照射しているので、一回のスキャンで被検
査物１０の全面の画像を画像処理部１８に取り込むこと
ができ、短時間で被検査物の検査を行うことができる。
特に検査を自動化すれば、目視で検査する場合に比べ、
一層検査時間を短縮することが可能である。
【００１４】上記実施例では棒状の誘電体バリアエキシ
マ放電ランプを用いる場合について説明したが、前記し
た特許第３１７１００号公報に開示されるヘッドオン型
の誘電体バリアエキシマ放電ランプを使用することもで
きる。図１０に上記ヘッドオン型の誘電体バリアエキシ
マ放電ランプの構成例を示す。同図において、放電容器
５１は石英ガラス製であり、内側管５２と外側管５３を
同軸に配置して、中空円筒状の放電空間５０を形成して
いる。内側管５２、外側管５３は誘電体バリヤ放電の誘
電体を兼用しており、ＯＨ基濃度５ｐｐｍ以下の石英ガ
ラスからなっている。外側管５３の一端には、ＯＨ基濃
度７００ｐｐｍ以下の石英ガラスの円盤からなる光取り
出し窓部材５４が溶着により設けられている。なお、光
取り出し窓部材５４は直接放電にさらされないのでＯＨ
基濃度が管材に比べ高くてもよい。内側管５２、外側管
５３を密閉する他端部には光反射板５６が設けられてい
る。外側管５３の外面にアルミニウムを蒸着することに
よって、光反射板を兼ねた電極５５が設けられ、該電極
５５は光取り出し窓部材５４に接するまで延長して設け
られている。内側管５２の放電空間５０と反対側の外面
にアルミニウムを蒸着することによって、光反射板を兼
ねた電極５７が設けられている。放電容器５１の放電空
間５０には、図８に示したランプと同様、放電用ガスと
してクリプトンガスと塩素ガスが封入されている。封入
ガス圧力は、例えば１３．３ｋＰａ以上、１３３ｋＰａ
以下であり、塩素濃度は、クリプトンに対して０．１容
量％以上、２容量％以下である。
マ放電ランプを用いる場合について説明したが、前記し
た特許第３１７１００号公報に開示されるヘッドオン型
の誘電体バリアエキシマ放電ランプを使用することもで
きる。図１０に上記ヘッドオン型の誘電体バリアエキシ
マ放電ランプの構成例を示す。同図において、放電容器
５１は石英ガラス製であり、内側管５２と外側管５３を
同軸に配置して、中空円筒状の放電空間５０を形成して
いる。内側管５２、外側管５３は誘電体バリヤ放電の誘
電体を兼用しており、ＯＨ基濃度５ｐｐｍ以下の石英ガ
ラスからなっている。外側管５３の一端には、ＯＨ基濃
度７００ｐｐｍ以下の石英ガラスの円盤からなる光取り
出し窓部材５４が溶着により設けられている。なお、光
取り出し窓部材５４は直接放電にさらされないのでＯＨ
基濃度が管材に比べ高くてもよい。内側管５２、外側管
５３を密閉する他端部には光反射板５６が設けられてい
る。外側管５３の外面にアルミニウムを蒸着することに
よって、光反射板を兼ねた電極５５が設けられ、該電極
５５は光取り出し窓部材５４に接するまで延長して設け
られている。内側管５２の放電空間５０と反対側の外面
にアルミニウムを蒸着することによって、光反射板を兼
ねた電極５７が設けられている。放電容器５１の放電空
間５０には、図８に示したランプと同様、放電用ガスと
してクリプトンガスと塩素ガスが封入されている。封入
ガス圧力は、例えば１３．３ｋＰａ以上、１３３ｋＰａ
以下であり、塩素濃度は、クリプトンに対して０．１容
量％以上、２容量％以下である。
【００１５】図１０に示す誘電体バリアエキシマ放電ラ
ンプのスペクトル分布は、前記図９と同様であり、波長
が２２２ｎｍ付近に輝線を有している。これにより、前
記したように、Ｇ、Ｂと同様の光量でＲの蛍光体を発光
させることができる。図１１に上記ヘッドオン型の誘電
体バリアエキシマ放電ランプを用いた場合の検査装置の
構成例を示す。検査装置の構成は、前記図１に示したも
のと同様であり、図１に示した、カドミウムランプ１１
ａ、集光鏡１１ｂ、導光ファイバ１２をヘッドオン型の
誘電体バリアエキシマ放電ランプ６１に置き換えたもの
である。ヘッドオン型の誘電体バリアエキシマ放電ラン
プ６１から放射される光は、前記したように、被検査物
１０の蛍光体に照射される。蛍光体に照射された光は、
蛍光体に対して励起光として働き、蛍光体は、それぞれ
の色の蛍光を発生する。発生した蛍光は、前記したよう
にレンズ１４により、ＣＣＤセンサ１５に結像される。
ＣＣＤセンサ１５は、発生している蛍光の色と光量に応
じた信号を、制御部１６に出力し、制御部１６は、この
信号に基き、ディスプレイなどの表示部１７に表示す
る。目視で検査を行う場合には、検査者は、上記表示部
１７を見て、前記したように、蛍光体に、はみ出しや欠
損、むら、混ざり等がないかの検査作業を行う。また、
前記したように、検査を自動化することもできる。
ンプのスペクトル分布は、前記図９と同様であり、波長
が２２２ｎｍ付近に輝線を有している。これにより、前
記したように、Ｇ、Ｂと同様の光量でＲの蛍光体を発光
させることができる。図１１に上記ヘッドオン型の誘電
体バリアエキシマ放電ランプを用いた場合の検査装置の
構成例を示す。検査装置の構成は、前記図１に示したも
のと同様であり、図１に示した、カドミウムランプ１１
ａ、集光鏡１１ｂ、導光ファイバ１２をヘッドオン型の
誘電体バリアエキシマ放電ランプ６１に置き換えたもの
である。ヘッドオン型の誘電体バリアエキシマ放電ラン
プ６１から放射される光は、前記したように、被検査物
１０の蛍光体に照射される。蛍光体に照射された光は、
蛍光体に対して励起光として働き、蛍光体は、それぞれ
の色の蛍光を発生する。発生した蛍光は、前記したよう
にレンズ１４により、ＣＣＤセンサ１５に結像される。
ＣＣＤセンサ１５は、発生している蛍光の色と光量に応
じた信号を、制御部１６に出力し、制御部１６は、この
信号に基き、ディスプレイなどの表示部１７に表示す
る。目視で検査を行う場合には、検査者は、上記表示部
１７を見て、前記したように、蛍光体に、はみ出しや欠
損、むら、混ざり等がないかの検査作業を行う。また、
前記したように、検査を自動化することもできる。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明において
は、以下の効果を得ることができる。 （１）蛍光体の励起光としてカドミウムと希ガスを発光
管内に封入した２００ｎｍ〜２３０ｎｍの間に輝線を有
するショートアーク型放電ランプ、もしくは、誘電体バ
リア放電を行うための電極と、クリプトンガスと塩素ガ
スを充填した放電容器とを備え、誘電体バリア放電によ
って発生したクリプトンクロライドエキシマ分子から放
射される光を取り出す２００ｎｍ〜２３０ｎｍの間に輝
線を有する誘電体バリアエキシマ放電ランプが放射する
光を用いて、蛍光体を検査するようにしたので、緑
（Ｇ）と青（Ｂ）だけでなく赤（Ｒ）の蛍光体も緑
（Ｇ）及び青（Ｂ）と同程度（緑（Ｇ）及び青（Ｂ）の
蛍光発光強度の１／２〜２倍程度）の光量で発光させる
ことができる。このため、Ｒと他の色の混ざりや、はみ
出し欠損の区別が容易で、検査時間を短縮化することが
できる。 （２）赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）が同等の光量で発
光するので、ＣＣＤセンサ等でそれぞれの発光を受光す
ることができる。このため、画像処理装置等を用いて自
動化した検査が可能になる。 （３）上記ランプとして少なくともカドミウムと希ガス
を発光管内に封入した２００ｎｍ〜２３０ｎｍの間に輝
線を有するショートアーク型放電ランプ、もしくは、棒
状の誘電体バリアエキシマ放電ランプを用い、少なくと
もカドミウムと希ガスを発光管内に封入した２００ｎｍ
〜２３０ｎｍの間に輝線を有するショートアーク型放電
ランプ、または、誘電体バリアエキシマ放電ランプから
の光が上記蛍光体塗布面全面に照射されるように、上記
検査対象となる蛍光体塗布面、もしくは、上記ショート
アーク型放電ランプからの光を導く導光ファイバ、また
は、上記誘電体バリアエキシマ放電ランプおよびＣＣＤ
センサを、相対的に移動させることにより、短時間で被
検査物の検査を行うことができる。特に検査を自動化す
れば、目視で検査する場合に比べ、一層検査時間を短縮
することが可能となる。
は、以下の効果を得ることができる。 （１）蛍光体の励起光としてカドミウムと希ガスを発光
管内に封入した２００ｎｍ〜２３０ｎｍの間に輝線を有
するショートアーク型放電ランプ、もしくは、誘電体バ
リア放電を行うための電極と、クリプトンガスと塩素ガ
スを充填した放電容器とを備え、誘電体バリア放電によ
って発生したクリプトンクロライドエキシマ分子から放
射される光を取り出す２００ｎｍ〜２３０ｎｍの間に輝
線を有する誘電体バリアエキシマ放電ランプが放射する
光を用いて、蛍光体を検査するようにしたので、緑
（Ｇ）と青（Ｂ）だけでなく赤（Ｒ）の蛍光体も緑
（Ｇ）及び青（Ｂ）と同程度（緑（Ｇ）及び青（Ｂ）の
蛍光発光強度の１／２〜２倍程度）の光量で発光させる
ことができる。このため、Ｒと他の色の混ざりや、はみ
出し欠損の区別が容易で、検査時間を短縮化することが
できる。 （２）赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）が同等の光量で発
光するので、ＣＣＤセンサ等でそれぞれの発光を受光す
ることができる。このため、画像処理装置等を用いて自
動化した検査が可能になる。 （３）上記ランプとして少なくともカドミウムと希ガス
を発光管内に封入した２００ｎｍ〜２３０ｎｍの間に輝
線を有するショートアーク型放電ランプ、もしくは、棒
状の誘電体バリアエキシマ放電ランプを用い、少なくと
もカドミウムと希ガスを発光管内に封入した２００ｎｍ
〜２３０ｎｍの間に輝線を有するショートアーク型放電
ランプ、または、誘電体バリアエキシマ放電ランプから
の光が上記蛍光体塗布面全面に照射されるように、上記
検査対象となる蛍光体塗布面、もしくは、上記ショート
アーク型放電ランプからの光を導く導光ファイバ、また
は、上記誘電体バリアエキシマ放電ランプおよびＣＣＤ
センサを、相対的に移動させることにより、短時間で被
検査物の検査を行うことができる。特に検査を自動化す
れば、目視で検査する場合に比べ、一層検査時間を短縮
することが可能となる。
【図１】本発明の第１の実施例の蛍光体の検査装置の概
略構成を示す図である。
略構成を示す図である。
【図２】図１の検査装置において検査を自動的に行う場
合の構成例を示す図である。
合の構成例を示す図である。
【図３】第１の実施例で使用されるショートアーク型の
カドミウムランプの構成例を示す図である。
カドミウムランプの構成例を示す図である。
【図４】図３に示すカドミウムランプのスペクトル分布
を示す図である。
を示す図である。
【図５】キセノンランプのスペクトル分布を示す図であ
る。
る。
【図６】超高圧水銀ランプのスペクトル分布を示す図で
ある。
ある。
【図７】本発明の第２の実施例の蛍光体の検査装置の概
略構成を示す図である。
略構成を示す図である。
【図８】第２の実施例で使用される誘電体バリアエキシ
マ放電ランプの構成例を示す図である。
マ放電ランプの構成例を示す図である。
【図９】図８に示す誘電体バリアエキシマ放電ランプの
スペクトル分布を示す図である。
スペクトル分布を示す図である。
【図１０】ヘッドオン型の誘電体バリアエキシマ放電ラ
ンプの構成例を示す図である。
ンプの構成例を示す図である。
【図１１】ヘッドオン型の誘電体バリアエキシマ放電ラ
ンプを用いた検査装置の構成例を示す図である。
ンプを用いた検査装置の構成例を示す図である。
【図１２】ＰＤＰの断面図および基板上の蛍光体の検査
を説明する図である。
を説明する図である。
【図１３】蛍光体の検査項目を説明する図である。
１０ 被検査物
１１ 光出射部
１１ａ カドミウムランプ
１１ｂ 集光鏡
１２ 導光ファイバ
１３ レンズユニット
１４ レンズ
１５ ＣＣＤセンサ
１６ 制御部
１７ 表示部
１８ 画像処理部
１９ フィルタ交換／退避手段
２１ 光出射部
２１ａ 誘電体バリアエキシマ放電ランプ
２１ｂ 樋状のミラー
Ｆ１〜Ｆ３ フィルタ
１１１
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 2G051 AA73 AA90 AB02 AB12 BA05
BA20 BB17 CA03 CA04 CB10
DA01 DA06 EA17 EB01 EB02
FA10
2G086 EE12
4H001 CA01 CA06 XA05 XA08 XA39
XA64 YA63
Claims (6)
- 【請求項１】 蛍光体に光を照射して蛍光を発光させ、
発光した蛍光により、蛍光体を検査する蛍光体の検査方
法であって、 蛍光体に光を照射する光源として、 少なくともカドミウムと希ガスを発光管内に封入した２
００ｎｍ〜２３０ｎｍの間に輝線を有するショートアー
ク型放電ランプを用いたことを特徴とする蛍光体の検査
方法。 - 【請求項２】 蛍光体に光を照射して蛍光を発光させ、
発光した蛍光により、蛍光体を検査する蛍光体の検査方
法であって、 蛍光体に光を照射する光源として、 誘電体バリア放電を行うための電極と、クリプトンガス
と塩素ガスを充填した放電容器とを備え、誘電体バリア
放電によって発生したクリプトンクロライドエキシマ分
子から放射される光を取り出す、２００ｎｍ〜２３０ｎ
ｍの間に輝線を有する誘電体バリアエキシマ放電ランプ
を用いたことを特徴とする蛍光体の検査方法。 - 【請求項３】 上記蛍光体は、画像表示用基板に塗布さ
れた蛍光体であることを特徴とする請求項１または請求
項２の蛍光体の検査方法。 - 【請求項４】 光源から光を蛍光体に照射し、該蛍光体
から発生する蛍光を観察して、蛍光体の欠損等の塗布状
況を検査する蛍光体の検査装置であって、 上記光源として、少なくともカドミウムと希ガスを発光
管内に封入した２００ｎｍ〜２３０ｎｍの間に輝線を有
するショートアーク型放電ランプ、もしくは、誘電体バ
リア放電を行うための電極と、クリプトンガスと塩素ガ
スを充填した放電容器とを備え、誘電体バリア放電によ
って発生したクリプトンクロライドエキシマ分子から放
射される光を取り出す、２００ｎｍ〜２３０ｎｍの間に
輝線を有する誘電体バリアエキシマ放電ランプを用いた
ことを特徴とする蛍光体の検査装置。 - 【請求項５】 光源から光を蛍光体に照射し、該蛍光体
から発生する蛍光を観察して、蛍光体の欠損等の塗布状
況を検査する蛍光体の検査装置であって、 上記検査装置は、誘電体バリア放電を行うための電極
と、クリプトンガスと塩素ガスを充填した放電容器とを
備え、誘電体バリア放電によって発生したクリプトンク
ロライドエキシマ分子から放射される光を取り出す、２
００ｎｍ〜２３０ｎｍの間に輝線を有する棒状の誘電体
バリアエキシマ放電ランプと、 上記誘電体バリアエキシマ放電ランプから放射される光
を集光する樋状のミラーと、 上記蛍光体から発生する蛍光を受光するＣＣＤセンサ
と、 上記誘電体バリアエキシマ放電ランプからの光が上記蛍
光体塗布面全面に照射されるように、上記検査対象とな
る蛍光体塗布面、もしくは、上記誘電体バリアエキシマ
放電ランプおよびＣＣＤセンサを、相対的に移動させる
手段とを備えることを特徴とする蛍光体の検査装置。 - 【請求項６】 光源から光を蛍光体に照射し、該蛍光体
から発生する蛍光を観察して蛍光体の欠損などの塗布状
況を検査する蛍光体の検査装置であって、 上記検査装置は、少なくともカドミウムと希ガスを発光
管内に封入した２００ｎｍ〜２３０ｎｍの間に輝線を有
するショートアーク型放電ランプと、 上記ランプからの光を反射する集光鏡とを備えた光照射
部と、上記光照射部からの光を、上記蛍光体塗布面に導
く導光ファイバと、 上記蛍光体から発生する蛍光を受光するＣＣＤセンサ
と、 光照射部からの光が上記蛍光体塗布面全面に照射される
ように、上記検査対象となる塗布面、もしくは、導光フ
ァイバ及びＣＣＤセンサを、相対的に移動させる手段と
を備えることを特徴とする蛍光体の検査装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001323399A JP2003130801A (ja) | 2001-10-22 | 2001-10-22 | 蛍光体の検査方法および装置 |
| TW091117991A TW567307B (en) | 2001-10-22 | 2002-08-09 | Process for testing of fluophors and device for the same |
| KR1020020063875A KR20030033939A (ko) | 2001-10-22 | 2002-10-18 | 형광체의 검사 방법 및 장치 |
| US10/274,992 US6828568B2 (en) | 2001-10-22 | 2002-10-22 | Process for testing of fluophors and device for carrying out the process |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001323399A JP2003130801A (ja) | 2001-10-22 | 2001-10-22 | 蛍光体の検査方法および装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003130801A true JP2003130801A (ja) | 2003-05-08 |
Family
ID=19140291
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001323399A Pending JP2003130801A (ja) | 2001-10-22 | 2001-10-22 | 蛍光体の検査方法および装置 |
Country Status (4)
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| JP (1) | JP2003130801A (ja) |
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2001
- 2001-10-22 JP JP2001323399A patent/JP2003130801A/ja active Pending
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- 2002-10-22 US US10/274,992 patent/US6828568B2/en not_active Expired - Fee Related
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