JP2000337997A - 蛍光面検査装置 - Google Patents
蛍光面検査装置Info
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- JP2000337997A JP2000337997A JP15046499A JP15046499A JP2000337997A JP 2000337997 A JP2000337997 A JP 2000337997A JP 15046499 A JP15046499 A JP 15046499A JP 15046499 A JP15046499 A JP 15046499A JP 2000337997 A JP2000337997 A JP 2000337997A
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- mask
- fluorescent plane
- light
- fluorescent
- plasma display
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- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
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- Testing, Inspecting, Measuring Of Stereoscopic Televisions And Televisions (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】プラズマディスプレイ基板の蛍光面検査法法を
提供する。 【解決手段】蛍光面が形成されたプラズマディスプレイ
基板に対し、その被測定部以外を遮蔽するマスク、そし
て当該基板とマスクの位置合わせ装置、マスク越しに蛍
光面に紫外線を照射する光源、蛍光面からの可視光の発
光を受光する受光装置、光源と受光部を蛍光面に沿って
走査させる装置、そして受光部で得られた結果と基準デ
ータとの比較装置から構成することを特徴とする。
提供する。 【解決手段】蛍光面が形成されたプラズマディスプレイ
基板に対し、その被測定部以外を遮蔽するマスク、そし
て当該基板とマスクの位置合わせ装置、マスク越しに蛍
光面に紫外線を照射する光源、蛍光面からの可視光の発
光を受光する受光装置、光源と受光部を蛍光面に沿って
走査させる装置、そして受光部で得られた結果と基準デ
ータとの比較装置から構成することを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はプラズマディスプレ
イ基板の蛍光面検査装置に関する。
イ基板の蛍光面検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】大型平面ディスプレイとして近年注目さ
れているプラズマディスプレイ（以下、ＰＤＰと表記す
る）はブラウン管と同じく蛍光体を用いた自発光型のデ
ィスプレイデバイスである。
れているプラズマディスプレイ（以下、ＰＤＰと表記す
る）はブラウン管と同じく蛍光体を用いた自発光型のデ
ィスプレイデバイスである。
【０００３】現在のカラーＰＤＰは図１に示すように、
基板１０上、すなわち基板表面及び基板上に形成された
リブ壁面に蛍光面２０を形成するのが一般的である。
基板１０上、すなわち基板表面及び基板上に形成された
リブ壁面に蛍光面２０を形成するのが一般的である。
【０００４】蛍光面は画質を決める重要な要素であり、
蛍光面の欠陥の検査をどのように行うかは重要な問題で
ある。
蛍光面の欠陥の検査をどのように行うかは重要な問題で
ある。
【０００５】その一手段として、可視光による検査があ
る。ところで、蛍光体は一般に白色のため、従来のよう
に、リブが黒色であれば色の違いがはっきりしているた
め検査が可能である。しかし、最近では、効率向上のた
め、白色のリブが用いられることが多い。
る。ところで、蛍光体は一般に白色のため、従来のよう
に、リブが黒色であれば色の違いがはっきりしているた
め検査が可能である。しかし、最近では、効率向上のた
め、白色のリブが用いられることが多い。
【０００６】この場合、検査すべき蛍光面と、その背景
となるリブの双方が白色であるため、可視光による検査
は困難である。
となるリブの双方が白色であるため、可視光による検査
は困難である。
【０００７】このため、この場合、可視光のかわりに紫
外線を用い、紫外線により励起された蛍光体から発せら
れる可視光により、検査を行えばよい。
外線を用い、紫外線により励起された蛍光体から発せら
れる可視光により、検査を行えばよい。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、画面サ
イズが非常に大きいこと、および蛍光面がＲＧＢのスト
ライプ状に形成されることから、単に紫外線照射するだ
けでは、実際の検査は非常に困難である。
イズが非常に大きいこと、および蛍光面がＲＧＢのスト
ライプ状に形成されることから、単に紫外線照射するだ
けでは、実際の検査は非常に困難である。
【０００９】本発明はこのような問題点を解決するため
になされたものであり、その課題とするところは、カラ
ーＰＤＰ基板の蛍光面の検査方法を提供することにあ
る。
になされたものであり、その課題とするところは、カラ
ーＰＤＰ基板の蛍光面の検査方法を提供することにあ
る。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明はこの課題を解決
するため、 （１）蛍光面が形成されたＰＤＰ基板の被測定部以外を
遮蔽するマスク （２）ＰＤＰ基板とマスクの位置合わせ装置 （３）ＰＤＰ基板に対し、マスク越しに紫外線を照射す
る光源 （４）蛍光面の可視光の発光画像の受光装置 （５）光源と受光部を蛍光面に沿って走査させる装置 （６）受光部で得られた発光画像と基準画像の比較装置 以上（１）から（６）までを具備することを特徴とする
蛍光面検査装置を提供する。
するため、 （１）蛍光面が形成されたＰＤＰ基板の被測定部以外を
遮蔽するマスク （２）ＰＤＰ基板とマスクの位置合わせ装置 （３）ＰＤＰ基板に対し、マスク越しに紫外線を照射す
る光源 （４）蛍光面の可視光の発光画像の受光装置 （５）光源と受光部を蛍光面に沿って走査させる装置 （６）受光部で得られた発光画像と基準画像の比較装置 以上（１）から（６）までを具備することを特徴とする
蛍光面検査装置を提供する。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について、図
面を参照して説明する。図２は、本発明の蛍光面検査装
置の構成を示すブロック図、図３は、本発明の蛍光面検
査装置の概略図である。
面を参照して説明する。図２は、本発明の蛍光面検査装
置の構成を示すブロック図、図３は、本発明の蛍光面検
査装置の概略図である。
【００１２】本発明の蛍光面検査装置は、図２のブロッ
ク図に示すように、被検査対象である蛍光面２０が形成
されたＰＤＰ基板１０に対し、その被測定部以外を遮蔽
するマスク３０、そして当該基板１０とマスク３０の位
置合わせ装置４０、マスク３０越しに蛍光面に紫外線を
照射する光源５０、蛍光面からの可視光の発光を受光す
る受光装置６０、光源と受光部を蛍光面に沿って走査さ
せる装置７０、そして受光部６０で得られた結果と基準
データとの比較装置８０からなる。
ク図に示すように、被検査対象である蛍光面２０が形成
されたＰＤＰ基板１０に対し、その被測定部以外を遮蔽
するマスク３０、そして当該基板１０とマスク３０の位
置合わせ装置４０、マスク３０越しに蛍光面に紫外線を
照射する光源５０、蛍光面からの可視光の発光を受光す
る受光装置６０、光源と受光部を蛍光面に沿って走査さ
せる装置７０、そして受光部６０で得られた結果と基準
データとの比較装置８０からなる。
【００１３】図３を参照しながら、本発明の蛍光面検査
装置の動作について説明する。
装置の動作について説明する。
【００１４】基板１０は、ステージ９０に真空吸着等の
手段により固定され、マスク３０と平行に重ね合わされ
るように支持される。マスクとしては、通常のガラスマ
スクが使用できる。なお、この際、基板もしくはマスク
の破損を避けるため、両者は１００μm 程度の間隙を有
することが望ましい。
手段により固定され、マスク３０と平行に重ね合わされ
るように支持される。マスクとしては、通常のガラスマ
スクが使用できる。なお、この際、基板もしくはマスク
の破損を避けるため、両者は１００μm 程度の間隙を有
することが望ましい。
【００１５】そして、位置合わせ装置４０により、マス
ク３０の開口部は基板１０の所定の蛍光面と重なり合う
位置で正確に位置合わせされ、被測定部以外の部分はマ
スクにより遮蔽される。位置合わせの方法としては種々
の方法が考えられるが、基板の大面積化に対しては、基
板上の位置合わせマークと、マスク上のそれに対応する
位置に形成された位置合わせマークをそれぞれの四隅に
形成して、４点で位置合わせすることが望ましい。
ク３０の開口部は基板１０の所定の蛍光面と重なり合う
位置で正確に位置合わせされ、被測定部以外の部分はマ
スクにより遮蔽される。位置合わせの方法としては種々
の方法が考えられるが、基板の大面積化に対しては、基
板上の位置合わせマークと、マスク上のそれに対応する
位置に形成された位置合わせマークをそれぞれの四隅に
形成して、４点で位置合わせすることが望ましい。
【００１６】位置合わせをおこなったのち、光源５０よ
り紫外線照射して、蛍光面を発光させる。そして、その
発光を受光装置６０で受ける。光源５０にはブラックラ
イト等の紫外線発生源が考えられるが、フィルタを介し
て可視光をできるだけカットした状態で紫外線照射でき
ることが望ましい。また、受光装置としては公知のＣＣ
Ｄカメラ等が利用できる。
り紫外線照射して、蛍光面を発光させる。そして、その
発光を受光装置６０で受ける。光源５０にはブラックラ
イト等の紫外線発生源が考えられるが、フィルタを介し
て可視光をできるだけカットした状態で紫外線照射でき
ることが望ましい。また、受光装置としては公知のＣＣ
Ｄカメラ等が利用できる。
【００１７】そして、光源５０と受光装置６０は、移動
装置７０により基板面上を全面走査して、比較装置８０
により、所定の画像と比較することにより蛍光面の良否
を判定する。
装置７０により基板面上を全面走査して、比較装置８０
により、所定の画像と比較することにより蛍光面の良否
を判定する。
【００１８】以上の動作を各色の蛍光面ごとに行うこと
により、蛍光面が検査できた。
により、蛍光面が検査できた。
【００１９】
【発明の効果】以上に示したように、本発明の蛍光面検
査装置によれば、所定のマスクにより各色の蛍光面ごと
に分離した状態で紫外線によりＰＤＰ基板の蛍光面を検
査する。このため、白色リブ上に形成された白色の蛍光
面のように、リブと蛍光面のコントラストが小さく可視
光では検査が困難な場合であっても検査が可能となっ
た。
査装置によれば、所定のマスクにより各色の蛍光面ごと
に分離した状態で紫外線によりＰＤＰ基板の蛍光面を検
査する。このため、白色リブ上に形成された白色の蛍光
面のように、リブと蛍光面のコントラストが小さく可視
光では検査が困難な場合であっても検査が可能となっ
た。
【図面の簡単な説明】
【図１】被検査物であるＰＤＰ基板の概略図である。
【図２】本発明の蛍光面検査装置の構成を示すブロック
図である。
図である。
【図３】本発明の蛍光面検査装置の概略図である。
１０・・・ＰＤＰ基板 ２０・・・蛍光面 ３０・・・マスク ４０・・・位置あわせ装置 ５０・・・光源 ６０・・・受光装置 ７０・・・移動装置 ８０・・・比較装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｊ 11/02 Ｈ０１Ｊ 11/02 Ｂ ５Ｃ０６１ Ｈ０４Ｎ 17/04 Ｈ０４Ｎ 17/04 Ｚ ５Ｇ４３５ Ｆターム(参考） 2F065 AA49 BB27 CC25 DD09 FF42 FF61 GG01 GG21 HH12 JJ03 JJ08 JJ26 LL30 MM07 PP02 QQ23 RR08 TT02 2G065 AA11 AB04 AB11 AB18 AB27 BA05 CA30 2G086 EE12 5C012 AA09 BE03 5C040 GG10 JA26 MA23 MA26 5C061 BB01 BB02 BB09 CC05 EE21 5G435 AA19 BB06 KK05 KK10
Claims (1)
- 【請求項１】プラズマディスプレイ基板の蛍光面検査装
置において、 （１）蛍光面が形成されたプラズマディスプレイ基板の
被測定部以外を遮蔽するマスク （２）プラズマディスプレイ基板とマスクの位置合わせ
装置 （３）プラズマディスプレイ基板に対し、マスク越しに
紫外線を照射する光源 （４）蛍光面の可視光の発光画像の受光装置 （５）受光部で得られた発光画像と基準画像の比較装置 （６）光源と受光部を蛍光面に沿って移動させる装置 以上（１）から（６）までを具備することを特徴とする
蛍光面検査装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15046499A JP2000337997A (ja) | 1999-05-28 | 1999-05-28 | 蛍光面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15046499A JP2000337997A (ja) | 1999-05-28 | 1999-05-28 | 蛍光面検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000337997A true JP2000337997A (ja) | 2000-12-08 |
Family
ID=15497499
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15046499A Pending JP2000337997A (ja) | 1999-05-28 | 1999-05-28 | 蛍光面検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000337997A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002071023A1 (fr) * | 2001-03-06 | 2002-09-12 | Toray Industries, Inc. | Procede et dispositif de controle, et procede de fabrication d'un panneau d'affichage |
| KR100437031B1 (ko) * | 2001-12-27 | 2004-06-23 | 엘지전자 주식회사 | 플라즈마 진공자외선을 이용한 형광체 검사장치 및 방법 |
-
1999
- 1999-05-28 JP JP15046499A patent/JP2000337997A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002071023A1 (fr) * | 2001-03-06 | 2002-09-12 | Toray Industries, Inc. | Procede et dispositif de controle, et procede de fabrication d'un panneau d'affichage |
| KR100437031B1 (ko) * | 2001-12-27 | 2004-06-23 | 엘지전자 주식회사 | 플라즈마 진공자외선을 이용한 형광체 검사장치 및 방법 |
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