TW480347B - Microlithographic reduction objective, projection exposure equipment and process - Google Patents

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TW480347B
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TW088119509A
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Karl-Heinz Schuster
Helmut Beierl
Gerhard Furter
Alois Herkommer
Gregor Klem
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Zeiss Stiftung
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Description

480347 --- A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（/) 本發明係有關一種微石版印刷縮小物鏡，如申請專利 範圍第1項所述，其係一純高功率折射物鏡，尤其是針對 深紫外線波長範圍高解析度之微石版印刷所需之發明。 此種具兩光腰的折射物鏡己由E. Glatzel所發表文章「微 5 石版印刷新透鏡」SHE，第237, 310卷(1980)中所描述，自 此之後，並不斷被進一步硏發。荷蘭ASML公司所販售之 晶圓掃描曝光器及晶圓掃描器PAS中之物鏡即爲Carl Zeiss 公司所發明。 Tropel公司於1991年推出之此種物鏡參見〗.扎；^1^1^ 10 所發表文章「光舉石版印刷-三十年及三層次」SHE,第 3049卷，14-27 (1997)之第16圖。此種投影物鏡的各類變化 參見下述專利申請案，例如EP 0 712 019-A (美國申請號 08/337 647，1994 年 11 月 10 日），EP 0 717 299-A，EP 0 721 150-A，EP 0 732 605-A，EP 0 770 895-A，（美專利號 US 15 5,781,278), EP 0 828 172-A ° 較小數値孔徑之類似物鏡參見蘇聯專利SU 1 659 955-A， EP 0 742 492-A(圖3)，US美國專利5，105,075(圖2及圖4)， US 5,260,832 (圖 9)及德國專利 DD"299 017-A。 【發明目的】 :, 20 本發明之目的在於提供一種物鏡，尤其以大像場，高 解析度及小總長而超越現行技術，且對於影像誤差校正， 尤其對於失真，即使採用不同種類的曝光（如不同相干度 .之曝光）及採用顯著縮小光闌（對較大範圍景深之曝光） 亦能保持穩定。。 (請先閱讀背面之注意事寫本頁) 裝 訂· •f 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 480347 Α7 五、發明說明（又） 又本發明之目的由申請專利範圍第1項，第2項及第11 項中任一項所述之物鏡而達成。 本發明目的藉著下述微石版印刷投影物鏡排列之方式 而達成，物鏡設有正折光功率之第一組透鏡(LG1)，具負折 5 光功率之第二組透鏡(LG2)，具正折光功率之第三組透鏡 (LG3)，具負折光功率之第四組透鏡(LG4)，具正折光功率之 第五組透鏡(LG5)。在影像側之數値孔徑大於0.65，最好是 大於0.68,系統光闌(AS)設在第五組透鏡中，且該組透鏡(LG5) 之至少設置兩透鏡在系統光闌(AS)前方。 10 最佳之情況是，該第五組透鏡(LG5)至少由13個透鏡 組成(L18-L31)。 最佳之情況是，使具正折光功率之第一組透鏡(LG1)構 成光束之第一光腹(B1)，具負折光功率之第二組透鏡(LG2) 構成光束之第一光腰(T1)，具正折光功率之第三組透鏡(LG3) 15 構成光束之第二光腹(B2)，具負折光功率之第四組透鏡(LG4) 構成光束之第二光腰(T2)，具正折光功率之第五組透鏡(LG5) 構成光束之第三光腹(B3)。 系統光闌(AS)設在第五組透鏡中，在此光束具有最大 直徑，同時與之相鄰之透鏡(L22)與(L21，L23)亦具有最大直 20 徑。 光闌設在第五組透鏡光束之第二光腹圍。弟五組透 鏡加上系統光闌設置於內扮演十分重要的角色。現行技術 中所重視的光腰設置，尤其是第一個光腰，在此變爲不重 要，如實施例所示。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項IRc寫本頁) 裝 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 480347 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（3 ) 、 __ ， · ' >v I ; , . , - ' 1 整體之設計之重心是達成高解析度而同時致力於增高 數値孔徑是。基本上，關鍵在於系統光闌與成像面間’尤 其物鏡總長及透鏡直徑最好是能保持某程度的小尺寸’同 ( ' .丨 時要能配合於現行投影曝光設/備之設計、製造及成本因素。 5 故申請專利範圍第3 ¾至第9項及第12項提出了第五 組透鏡之最佳實施例' 如申請專利範圍第10項所述，其特徵在於物鏡光闌之 縮小，是藉著對不同的成像誤差，.採以個別單獨減低其誤 差，而不同於具固定孔徑的物鏡，採用平均消除方式處理 10 大的誤差。其優點在於，使用者可視實際驛用而決定解析 度與景深之間關係而獲得最佳化情況。 又申請專利範圍第13項至第16項。申請專利範圍第 項或第18項之投影曝光設備均提出此物鏡之最佳應用實 例。其特徵在於應用範圍，特別重要的是申請專利範圍第18 15 項成像效果對照明設定變化之大公差。 又申請專利範圍第19項之製造方法係利甩您戆之良好 校正，在生產製造程序不伺的連續曝光中，能夠彈性設定 照明及孔徑大小。因此，在單獨一個投影曝光設備下可採 不同光罩準行曝光，或在生產線上，根據本發明之多個不 20同的投影曝光設備下進行，亦可與其他投影曝光設備合倂 r v 使用。 ， 以下將依據附圖詳細說明本發明。 (請先閱讀背面之注意事項^寫本頁) » 裝 訂· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 480347 A7 ______B7____ 五、發明説明（冬） 圖1係第一實施例之透鏡截面圖。 圖2係第二實施例之透鏡截面圖。 圖3係第三實施例之透鏡截面圖。 圖係圖1不同像高弧矢截面之橫向像差。 5 ，圖5a-c係圖1不同像高子午截面之橫向像差。 圖6係第四實施例之透鏡截面圖。 圖7係本發明投影曝光設備之一實施例。 【本發明之實施例詳細說明】 10 本發明投影物鏡之主要需求配置在圖1至圖3及圖6 之實施例中描述，係爲針對具有波長248.38 nm.激元雷射之 深紫外線微石版印刷，且其物鏡全爲石英玻璃透鏡。其焦 距在圖2,圖3,圖6中爲1000 mm，在圖1達1150 mm，這 15 爲實際上可以製造及應用之基礎。數値孔徑0.70 (圖2,圖3, 圖6)及0.80 (圖1)明顯高於習知，顯示出本發明之潛力， 並使微石版印刷之解析度在大量生產條件下可低於〇·18μιη 及其以下。該解析度在此之前尙無法存在於光學石版印刷 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 領域。 — — 20 像高2YB=27.2mm時，NA=Q.70可得到極高的光導値 LLW=NA-2YB=19.04。因此物鏡可適甩於像場爲8 X 26 mm2 之掃描器。 ’ 此處値得注意的是’像側數値孔徑由〇·63增大至0.70 (圖2,圖3,圖6)較由〇·45增大至0.6困難得多。因已知若 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210 X 297公釐） 480347 A 7 B7 五、發明説明（夕） 空氣中NA=L0時，所有成像誤差皆達到一極點，且越接近 此値，誤差値陡然升，更難被校正。故圖1之實施例以NA=0.8 而爲一優良之設計。 參閱圖1實施例之透鏡資料列於表1中。係有關設有31 5 個透鏡L1至L31及一平板PI ’ P1則做爲晶圓側易於更換 之防護窗。 所有像高低於13 m λ之RMS誤差顯示本發明優良之成 像效果。 至於，本發明有關各組透鏡之構成敘述如下： 10 透鏡L1至L5構成第一組透鏡LG1，光束之第一光腹 Β1在透鏡L4的背面。一負透鏡L2提供所需光束之寬度。 負透鏡L6至L9組成第二組透鏡LG2，其在透鏡L7背 表面構成第一光腰Τ1。此組透鏡LG2主要的是凹向光腰之 彎月形透鏡L6及L9。 15 第三組透鏡LG3包含5個正透鏡L10至L14，其外側 的透鏡L10及L14各爲凹彎月形透鏡，以及包含凹向負像 側之彎月形透鏡L15。具局部最大光束直徑之第二光腹Β2 形成於透鏡L12背面。 經濟部中央標率局員工消費合作社印製 第四組透鏡LG4由兩負透鏡L16及L17組成。第二光 20 腰Τ2形成於透鏡L16背面。此處構成一強雙凸空氣透鏡。 第五組透鏡LG5由14個透鏡L18至L31組成，爲本發 明透鏡之最重要部份。 透鏡L22前方設置有系統光闌AS。透鏡L22前面上形. 成第三光腹B3，其光束直徑(308.0 mm)只略大於光闌直徑 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 480347 A7 B7 五、發明説明（彡） (306·3 mm) 〇 依據本發明，光腹B3範圍的光偏射係藉由多個設在光 闌AS兩側較強且相對較薄的正透鏡L19至L23所完成。在 此區域的球面低度校正因此而可縮至最小，同時，由於使 5用數量較少，較強而薄的透鏡，所以總長則可縮短。。 利用此方法亦可減少由於光闌或使用不同曝光設定所 造成之不同影像誤差。設在發散光程的兩透鏡L19及L20， 後者具較大折光功率。透鏡L21及L22具均勻分佈的折光 功率，兩者間之光程幾乎平行。透鏡L21至L23處理大部 1〇份的系統折射能力而僅具微小之球面過度校正，折光功率， 並避免經由修正數値孔徑及照明種類所產生誤差之問題 (NA-sigma問題）。因此，可在不同的照明設定及孔徑設. 定下，達到絕佳之影像品質。 第五組透鏡LG5的第一個透鏡L18是一弱折射能力厚 15 彎月形透鏡，凹向物側。此處以球面過度校正空氣透鏡分 隔，雖然可減緩後接透鏡之校正作用，但卻不利地增加了 總長。 經濟部中央檩準局員工消費合作社印製 透鏡L24與雙凸透鏡L25僅以一狹小空氣縫隙隔離， 在實質上形成一弱折射厚彎月形透鏡。其以球面過度校正 2〇方式平衡前置透鏡L18至L23相對應之作用。此處分成兩 部份L24及L25之設計可得到最短的總長。這是在系統光 闌AS影像側唯一的兩個凹向物側的透鏡。 厚透鏡L18及分開之彎月形透鏡L24, L25相對的優點 可由彎月形透鏡的周圍不同環境及作用區域明顯看出。L18 __ 9 本紙張尺度填用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 480347 A7 •ί Λ ____Β7_·__ 五、發明説明（孑） 輕度負載地設在發散光路中。所有光線實質上正常地逋過 、透鏡面。彎月形透鏡L18主要作爲Petzval元件，麼縮物鏡^ * ... - 1的Petzval總和、此功能亦能分佈在附近，而使物鏡之厚度 可減少，. π / 5 相對的，分離爲兩爺份之彎月形透鏡L24、，L25 IT相反 地設在會聚光路中，且中度至重度負載，它鼻責局部之球 面過度校正。若將兩物鏡採而爲合一的設計時’厚度則必 須增加。以一輕度負載的空氣縫隙而形成兩分離彎月透 鏡提供了半徑及厚度上之縮減。如此而戚功地設置厚度小 10 的兩透鏡L24, L25及減少總厚度。 兩負彎月形透鏡L29及L30及最後的聚光透鏡1^1在 :文獻中部份被稱作第六組透鏡。 / ， 弧矢傾斜球面像差之校正在大孔徑的問題中特別困 難。藉上述對光闌區域所採之措施可減少此問題，但並未 15能完全解決。爲校正弧矢傾斜球面像差，故在光闌AS與像 ^ IM間之像場有效範圍中，提高個別正透鏡(L26, L27, L28, L31) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 及負透鏡(L29/L30)之折光功率’而採用補償較局序影像誤 一 差以校正其球面像差。然而此亦會造成光闌附近透鏡L19 : 至丄25直徑相當大。故透鏡L29之折光功率高，其前方之 20 三正透鏡L26至L28則相對的配置爲正折射能力。由於三 ^ . 透鏡曲率而得的大自由空間，使得此處葡差光的正弦i角可 維持在高數値孔徑0.80之値以下。負彎月形透鏡L29的高 曲率使得在其前後方出現球面過度校正的空氣縫隙。 - 主截面以外之影像誤差校正會因孔徑增大而變得極困 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 480347 A7 ___、 _B7___ 五、發明説明（分） 難。爲進行此種校正，則在第三組透鏡LG3第二光腹B2區 域位置，對折射能力做最佳化的調整。透鏡L14及1^15將 光束導向第二光腰T2，形成極爲有利的Petzval校正，因而 節省了空間。正如同對透鏡L18所採之方式。第三組透鏡LG3 5 之正透鏡L10至L13與負的第四組透鏡LG4之折光功率因 此而可減低。 L14之正折光功率改善45。孔徑切面的影像誤差。藉由 L15之負折光功率，使得具有球面過度校正透鏡L16及L17 之負的第四組透鏡LG4折光功率減低，使得孔徑與像場區 1〇 域的誤差減少。 兩單透鏡L14, L15在此明顯較一厚彎月形透鏡優良， 在曝光而言，改善了影像誤差之校正.，另一方面則可改善: 了透鏡之冷卻問題，冷卻問題在縫形像場掃描器中稱爲“辑 • ............ … 鏡熱”（尤其是在193 nm波長時），即由於高輻射功率所 15 產生不可忽視之熱吸收。這些特點亦可在下述之實施例相 對的找到。 實施例2, 3, 6採用略小之孔徑NA=0.7。焦距於是縮短 爲 10Q0 mm 〇 經濟部中央樣隼局員工消費合作社印製 在圖2及表2之第二實施例中顯示，設計除前二組透 20 LG1及LG2外無多大變化。第一組透鏡中，最前面兩透 鏡201及202與圖1之位置互換。第二組透鏡在負透鏡206 與208至210之間增設了一正透鏡207。此組透鏡之設計， 不論有或沒有正透鏡，在現行技術中被視爲極重要，參見 專利EP 0 770 895-A (無正透鏡)及EP 0 717 299-A (有正透 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 480347 A7 B7 一 -- ------------------- — 五、發明説明（7 ) 鏡）。 第五組透鏡尤其顯示相同的性質特徵，但由於孔徑縮 小，透鏡直徑大爲減少。 相較於彎月形透鏡L24/L25，此處透鏡.225, 226之空氣 5縫隙明顯彎度較小。圖1所述L24/L25之球面過度校正主要 功能則保持不變。 在圖3及表3之第三實施例中，第一組透鏡如同第二 實施例。第二組透鏡LG2之正透鏡308則改設在兩對負透 鏡 306, 307 與 309, 310 之間。 10 第五組透鏡LG5由於將圖1之透鏡L24及L25合倂爲 一厚彎月形透鏡325，而減爲13個透鏡。此配置同樣可得 到與將透鏡分爲L24及L25兩個時之相同良好影像效果。 在圖2及圖3兩實施例中，除封閉的平板P2外，尙設 一接近光闌之平板P1。該平板可被利用作爲切趾瀘板。 15 良好影像誤差校正己在圖1之實施例中詳細說明。圖4a 至4c顯示弧矢橫向偏差DZS，是13.6，9.6及0 mm像筒之 半孔徑角度DW’的函數。圖5a至5c顯示對應之子午截面 DYM。 經濟部令夬檩準局員工消費合作社印製 表4列出不同像高時主要光束Vhs之失真（最大像高 20 Y’=13.6 mm之分數）其中所有像高最高爲1.5nm。 表5顯示出不同數値孔徑NA設定下Vhs失真Δν之偏 差及相干度sigma。値爲0.35-0.70及0·50·0·85的環形孔徑 照明亦列入考量。此偏差之最大値爲4.7 nm，大部份爲3 nm 以下。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 480347 A7 B7 五、發明説明 整體而言，失真値皆低於10 nm以下，既使採用不同 之設定皆於6 nm以下，大部份爲更低。這些値係與物鏡極 高的ΝΑ=0·8 有關。當NA 較小時，失真較小。 故本設計對於數値孔徑ΝΑ之改變（縮小光闌）及照 5明設定之改變(sigma)具極佳穩定性。 , 在圖6及表6所示實施例與上迦實施例不同之處主要 在於實光闌位置由25 mm小幅改變爲15 mm。其方法爲， 以切向截面之像散校正部份補償光瞳之彎曲像（光闌）。 如此可縮小光闌而不改變光闌AS之位置。影像比例爲1:4， 10 數値孔徑NA=0.70。 整體而言，本實施例六之結構與圖1之實施例相同， 祗是透鏡624與625間的空氣縫隙僅呈微小彎曲狀。 圖7顯示具根據本發明投影物鏡之投影曝光設備的一 • , ^ 個實施例。適當照明系統B如專利EP 0 747 772-A (美國序 15 號08/658,605)所提出者。 其中雷射1是深紫外線(DUV)微石版印刷常用波長—248 nm KrF激元雷射。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 且，一光束擴展器14，例如專利DE-A 41 24 311中之 鏡組配置，作用在於減少相干及增大光束截面。 负 第一繞射光學光柵元件9構成物鏡2之物平面·，該物 鏡之出射光瞳設有一第二繞射光學光柵元件8。 一耦合光學元件4將光導至一玻璃棒5之入射面5e， 該玻璃棒藉內部的多重反射而將光混合及均勻化。直接在 在出射面5a處設一中間場平面，該平面上設一遮蔽罩系統 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇X297公釐） 480347 Α7 Β7 五、發明説明（//) (REMA) 51，即一可調整之場光闌。後接之REMA物鏡6， 包含透鏡組61，63, 65、偏向鏡64及光瞳平面62，將遮蔽罩 系統51之中間場平面成像於遮蔽罩7上。 在晶圓掃描器中，一條狹長照明，即一長寬比1:2至1:8 5 之矩形，照在遮蔽罩7上並藉掃瞄連續照明一晶片之整個 結構場。照明極爲均勻且邊緣分明（只在垂直於掃瞄方向 的方向上）。 玻璃棒5前方部分之最佳實施例中，尤其是光學光柵 元件8及9，須採用不僅能使入射口 5e照明均勻，而且能 10 以最高效率，亦即在入射口 5e附近之光線皆無細微的損失。 如專利DE 44 21 053所述，物鏡2是一變焦物鏡（可 移動透鏡22)，具一有可調整之一對旋轉三稜鏡21。焦距 長度延伸三倍範圍，可產生一般値約爲0.3S σ‘0.9的部 份相關照明。 15 藉由該對旋轉三稜鏡21之調整，因而可以增加設置環 形孔徑照明。再者，特殊形狀之照明可以藉由增設之光闌 或該對旋轉三稜鏡21之特殊角錐形且而產生。。 經濟部中央標準局員Η消費合作社印製 具有透鏡組LG1至LG5的微石版印刷投影物鏡ρ設在 遮蔽罩7與晶圓9之間，而遮蔽罩7與晶圓9上設有之掃瞄 20裝置71，91及習知之周邊裝置。 本紙張尺度適用中國國家榡準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 480347 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 B7 五、發明說明（U ) 【圖號說明】 L1-L31透鏡 201-232 透鏡 301-331 透鏡 5 601-631 透鏡 LG1第一組透鏡 LG2第二組透鏡 LG3第三組透鏡 LG4第四組透鏡 10 LG5第五組透鏡 Pl，P2平板 AS光闌 IM影像 15 OB 物 1雷射 2 物鏡 21旋轉三稜鏡 4耦合光學元件 20 5 玻璃棒 5e入射面 5a出射面 51遮蔽罩系統 6 REMA物鏡 (請先閱讀背面之注意事項\?^寫本頁) I!裝 •線. 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 480347 A7 _B7 五、發明說明（广3 ) 61，63, 65透鏡組 62光瞳平面 64偏向鏡 7 遮蔽罩 5 8, 9光學光柵元件 14光束擴展器 71，91掃瞄裝置 B照明系統 P投影物鏡 (請先閱讀背面之注意事項3寫本頁) I!裝 訂： 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 480347 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（/#) No. r (mm) 表一 d (mm) Quarzglas =石英玻璃 表中逗點=小數點 r(mm)=曲率半徑（毫米） d(mm>厚度（毫米） Η廳(mm) Ob 20,147 LI -2471,057 13,126 Quarzglas -247,584 7,640 L2 -163,307 10,000 Quarzglas 327,943 7,757 L3 662,693 22,614 Quarzglas -209,088 ,750 L4 350,222 21,378 Quarzglas -416,285 ,750 76,9 L5 265,534 26,426 Quarzglas -413,278 ,750 L6 197,069 10,000 Quarzglas 111,439 26,308 L7 -583,382 10,000 Quarzglas 63,0 166,249 24,524 L8 -200,161 10,000 Quarzglas 362,426 28,860 L9 -126,683 12,696 Quarzglas -1228,324 16,242 L10 -227,900 23,521 Quarzglas -170,208 ,750 Lll 47071,771 38,438 Quarzglas -233,889 ,750 L12 987,385 38,363 Quarzglas -316,598 ，750 123,3 L13 332,464 39,596 Quarzglas -738,425 1,005 I 衣-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21 OX 297公釐）/ 7
IX 480347 A7 B7 五、發明説明（/5) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 L14 270,193 25,935 Quarzglas 1414,789 2,982 L15 176,884 18,578 Quarzglas 131,204 47,520 L16 -248,290 10,000 Quarzglas 146,085 49,811 76,5 L17 -130,140 10,000 Quarzglas 1307,156 41,204 L18 -132,994 35,292 Quarzglas -167,225 ,813 L19 -328,933 24,010 Quarzglas -237,606 ,864 L20 17258,370 43,549 Quarzglas -329,484 9,091 L21 2237,627 40,932 Quarzglas -473,604 10,000 AS ，750 153,1 L22 632,745 28,431 Quarzglas 154,9 -3192,952 ,750 L23 259,148 45,432 Quarzglas 1097,996 57,012 L24 -268,055 24,571 Quarzglas * -312,384 ,902 L25 -334,579 23,847 Quarzglas -288,740 ，750 L26 226,326 28,117 Quarzglas 547,657 ,750 L27 122,960 34,861 Quarzglas 225,966 ,750 L28 117,965 21,109 Quarzglas 174,068 13,226 L29 348,448 10,000 Quarzglas (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 4. ，1T. 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐）/， 480347 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明 (/^) 60,716 11,148 L30 73,830 10,069 Quarzglas 55,083 ，750 L31 49,652 24,194 Quarzglas 358,744 4,390 P1 00 2,492 Quarzglas 00 13,082 IM 13,6 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣· IT. 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐）/彳 480347 A7 B7 五、發明説明（/7) 表二 經濟部中央標準局員工消費合作社印製
No. r (mm) d (mm) Ob 16,403 201 -135,127 8,261 Quarzglas 444J47 6,467 202 2236,824 25,206 Quarzglas -162,634 ,750 203 614,107 18,869 Quarzglas -359,473 ，767 204 296,810 20,742 Quarzglas -800,016 ，828 205 273,478 21,990 Quarzglas -784,045 ,753 206 158,758 15,580 Quarzglas 92,816 26,614 207 -5054,350 11，927 Quarzglas -272,904 2,399 208 -324,986 6,943 Quarzglas 136,767 20,167 209 -260,466 7,605 Quarzglas 192,638 30,771 210 -103,229 8,994 Quarzglas -2019,310 13,398 211 -206,341 17,802 Quarzglas -138,999 ，751 212 958,350 42,708 Quarzglas -166,018 ,750 213 407,944 29,112 Quarzglas -547,681 ,750 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
、1T 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐）>夕 480347 A7 B7 五、發明説明矿） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 214 202,874 32,883 Quarzglas -2504,913 1,264 215 211,073 13,084 Quarzglas 294,918 1,324 216 159,796 15,645 Quarzglas 111,543 36,908 217 -255,208 10,239 Quarzglas 127,421 40，141 218 -120,165 9,745 Quarzglas 1795,197 27,676 219 -127,485 34,689 Quarzglas -146,296 1，681 220 -317,078 20,599 Quarzglas -245,933 ,762 221 3679,928 30,729 Quarzglas -292,519 ,650 P1 00 5,009 Quarzglas 00 17,000 AS 25,000 222 801,236 27,052 Quarzglas -632,990 ，750 223 551,359 25,021 Quarzglas -1150,052 ,751 224 194,154 32,180 Quarzglas 591,161 34,477 225 -287,051 10,385 Quarzglas 3278,663 2,220 226 3516,772 30,035 Quarzglas -295,907 ,763 227 262,200 19,612 Quarzglas 1177,101 ,822 228 99,415 26,707 Quarzglas ---·------- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ΓΓ1Ρ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐）二/ 480347 A7 B7 五、發明説明u?) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 229 191,643 105,014 230 128,146 391,872 231 55,094 78,459 232 56,684 46,211 Ρ2 632,773 00 ΙΜ 00 ,753 16,537 Quarzglas 12,829 7,165 Quarzglas 10,778 12,612 Quarzglas ,777 22,360 Quarzglas 2,119 1，935 Quarzglas (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) —MW.
，1T
本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐）>工 480347 A7 B7 五、發明説明U〇) 表三 經濟部中央標準局員工消費合作社印製
No. r (mm) d (mm) Ob 16,402 301 -129,495 8,261 Quarzglas 498,546 5,177 302 2910,308 25,398 Quarzglas -156,581 ,050 303 634,336 18,854 Quarzglas -347,330 ,301 304 306,046 18,385 Quarzglas -737,998 ,348 305 271,858 21,701 Quarzglas -702,302 ，776 306 156,163 17,879 Quarzglas 92,619 25,370 307 -2510,654 8,958 Quarzglas 139,288 19,325 308 -302,813 11，398 Quarzglas -154,794 5,090 309 -167,161 7,960 Quarzglas 178,376 32,638 310 -103,339 9,166 Quarzglas -1706,866 12,661 311 -202,377 17,389 Quarzglas -140,454 ，651 312 987,948 43,015 Quarzglas -166,809 ,650 313 410,646 29,373 Quarzglas -550,047 ,651 ---------衣-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) T.-— -0 本紙条尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 480347 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（』/) 314 205,772 33,049 Quarzglas -2521,253 ，6514 315 213,410 13，198 Quarzglas 290,632 2,731 316 . 163,855 18,894 Quarzglas 111,910 36,126 317 -254,971 9,329 Quarzglas 125,915 38,073 318 -120,961 9,708 Quarzglas 1713,294 25,896 319 -128,631 34,802 Quarzglas -148,294 2,087 320 -321,227 19,897 Quarzglas -242,281 ，618 321 2663,658 30,600 Quarzglas -296,524 ,681 P1 00 4,588 Quarzglas 00 17,000 AS 322 799,643 27,212 Quarzglas -634,102 ，705 323 524,124 26,037 Quarzglas -1088,912 ，650 324 194,184 32,260 Quarzglas 593,348 32,929 325 -291,552 42,741 Quarzglas ! -300,355 ，729 326 262,260 19,800 Quarzglas 1149,322 ,701 327 101,103 27，117 Quarzglas 197,398 ,637 328 105,683 17,553 Quarzglas (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣. 1T. 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）之伞 480347 A7 B7 五、發明説明 經濟部中央標準局員工消費合作社印製
131,192 LU64 329 445,739 7,334 Quarzglas 56,924 10,924 330 78,549 13,969 Quarzglas 56,171 1,161 331 46,702 22,163 Quarzglas 689,875 2,680 P2 00 1,749 Quarzglas 00 11,991 IM (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 480347 A7 B7 五、發明説明P多） 表四
Vhs (nm) 1/8_2/8_4/8_6/8_1 U 1，5 0,1 〇,9 0,7 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 480347 A7 B7 五、發明説明（Jf) 表五 △V(mn) ΝΑ Sigma 1/8 2/8 4/8 6/8 1 0,80 0,35 3,6 2,2 1,3 3,9 -1,2 0,80 0,50 3,3 2,2 3,2 -1,3 0,80 0,70 3,0 1，6 〇，1 1，7 -1,4 0,80 0,90 2,5 0,7 -1,2 0,9 -0,7 0,80 0,35 - 0,70 2J 1,4 -0,3 058 -1,5 0?80 0,50 - 0,85 2,2 0,3 -2,0 -0,2 -0,6 0,70 0,50 2,9 2,7 3,0 4,5 -1，8 0,70 0,70 2,6 2，1 1，7 2,7 -2,0 0,70 0,90 2,5 1,5 0,6 1，7 -1,5 0,70 0,35 - 0,70 2,6 2,0 1?4 2,0 -1,9 0,70 0,50 - 0,85 2,4 1，3 -0,1 0,6 -1,6 0,60 0,70 3,3 3,6 4?2 4,7 -1,2 0,60 0,90 3,0 2,9 2,8 3，1 1J 0,60 0,35 - 0,70 3,2 3?5 4,1 4?5 -1,3 0,60 0,50 - 0,85 2,8 2J 2?5 2,5 -2,1 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 罐衣. ,ιτ 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐） 480347 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明 表六 No. r (mm) d (mm) Glas Ob 36,005 601 -1823,618 15,518 Quarzglas -214,169 ^ 10,000 602 -134,291 7,959 Quarzglas 328,009 6,376 603 783,388 26,523 Quarzglas -163,805 ，600 604 325,109 20,797 Quarzglas -499,168 1,554 605 224,560 24,840 Quarzglas -403,777 ，600 606 142,336 9,000 Quarzglas 86,765 23,991 607 6387,721 7,700 Quarzglas 148,713 21,860 608 -185,678 8,702 Quarzglas 237,204 30,008 609 -104,297 9,327 Quarzglas -1975,424 12,221 610 -247,819 17,715 Quarzglas -152,409 ,605 611 1278,476 40,457 Quarzglas -163,350 ，778 612 697,475 28,012 Quarzglas -346,153 2,152 613 232,015 28,068 Quarzglas -3080,194 • 2,606 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） •裝. 訂 i線 480347 A7 B7 五、發明説明 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 614 219,153 21?134 Quarzglas 434,184 9,007 615 155,091 13,742 Quarzglas 103,553 34,406 616 -207,801 8,900 Quarzglas 131,833 35,789 617 -118,245 9,299 Quarzglas 1262,191 27,280 618 -121,674 42,860 Quarzglas -151,749 ,825 619 -366,282 20,128 Quarzglas -236,249 ，838 620 2355,228 31,331 Quarzglas -296,219 2,500 P61 00 6,000 Quarzglas 00 12,554 AS 621 774,283 29,041 Quarzglas -782,899 ,671 622 456,969 28,257 Quarzglas -1483,609 ,603 623 227,145 30,951 Quarzglas 658,547 36,122 624 -271,535 15,659 Quarzglas -997,381 4,388 625 -1479,857 27,590 Quarzglas -288,684 ，604 626 259,988 22,958 Quarzglas 1614,379 ,600 627 105,026 29,360 Quarzglas 205,658 ，600 628 110,916 16,573 Quarzglas 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）>$ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 480347 A7 B7 五、發明説明（>Υ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 139,712 13,012 629 499,538 8,300 Quarzglas 56,675 9,260 630 75,908 17,815 Quarzglas 51,831 ,995 631 43,727 19,096 Quarzglas 499,293 2,954 P62 00 2,000 Quarzglas 00 12,000 Im (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）jo

Claims (1)

  1. 480347 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 Α8 Β8 C8 D8 六、申請專利範圍 89年11月修正本 1. 一種微石版印刷投影物鏡，包括一透鏡配置，其由 具正折光功率之第一組透鏡(LG1)， 具負折光功率之第二組透鏡(LG2)， 具正折光功率之第二組透鏡(LG3)， 5 具負折光功率之第四組透鏡(LG4)， 具正折光功率之第五組透鏡(LG5) 組成，其特徵在於， 像側數値孔徑大於0.65’最好是大於0.68,系統光闌(AS) 設在第五組透鏡中，且該組透鏡(LG5)之至少兩透鏡位 1〇 在系統光闌(AS)前方。 2. —種微石版印刷投影物鏡，包括一透鏡配置，其由 具正折光功率之第一組透鏡(LG1)，具負折光功率之第 二組透鏡(LG2)，具正折光功率之第三組透鏡(LG3)， 15 ·具負折光功率之第四組透鏡(LG4)，具正折光功率之第 五組透鏡(LG5)組成，其特徵在於，系統光闌設在第五 組透鏡(LG5)中，該組透鏡(LG5)之至少兩透鏡(L18，L19, L20, L21)位在系統光闌(AS)前方，且該組透鏡(LG5)至 少由13個透鏡(L18-L31)組成。 20 3·如申請專利範圍第丨項或第2項所述之微石版印刷投 影物鏡，其中系統光闌(AS)設在兩聚光透鏡(L21，L22) 之間，且像側直接接另一聚光透鏡(L23)。 - * . 為 --------------裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公^ 480347 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 4.如申請專利範圍第1項或第2項所述之微石版印刷投 影物鏡，其中第五組透鏡(LG5)的第一個透鏡(L18)是一 凹向物側的弱折射彎月形透鏡。 5 5.如申請專利範圍第1項或第2項所述之微石版印刷投 影物鏡，其中系統光闌(AS)後方只有一個凹向物側的 透鏡(225, 325)。 6. 根據申請專利範圍第5項之所述之微石版印刷投影物 1〇 鏡，其中凹向物側的透鏡(325)是一厚彎月形透鏡。 7. 根據申請專利範圍第5項之所述之微石版印刷投影物 鏡，其中凹向物側的透鏡(225)隔一狹小空氣縫隙接一 聚光透鏡(226)。 15 8. 根據申請專利範圍第7項所述之微石版印刷投影物 鏡，其中空氣縫隙凹向物側。 9. 根據申請專利範圍第1項或第2項所述之微石版印刷 2〇 投影物鏡，其中系統光闌(AS)後方只有一對凹向物側 的透鏡(L24，L25)，其以一狹小空氣縫隙彼此隔開。 10·根據申請專利範圍第9項所述之微石版印刷投影物 鏡，其中空氣縫隙凹向物側。 --------------裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 480347 A8 B8 g_ 六、申請專利範圍 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 11·—種微結構元件製造法，其使用具申請專利範圍第10 項之所述特徵之一投影曝光設備，應用微石版印刷多 次曝光，其中不同的曝光可設定不同的照明方式及/或 5 數値孔徑。 12·根據申請專利範圍第1項或第2項所述之微石版印刷 投影物鏡，其中縮小光闌至數値孔徑的70%時，失真 在10 nm以下，最好是6 nm以下。 10 13. —種微石版印刷投影物鏡，包括一透鏡配置，其由 具正折光功率之第一組透鏡(LG1)， 構成第一光腹(B1)， 具負折光功率之第二組透鏡(LG2)， 15 構成第一光腰(T1)， 具正折光功率之第三組透鏡(LG3)， 構成第二光腹(B2)， 具負折光功率之第四組透鏡(LG4)， 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 構成第二光腰(T2)， 2〇 具正折光功率之第五組透鏡(LG5)， 構成第三光腹(B3)， 組成，其特徵在於， 系統光闌(AS)設在第五組透鏡中，且光束在透鏡(L22) 與相鄰兩透鏡(L21，L23)區域中具最大直徑。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 480347 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 14. 根據申請專利範圍第1項、第2項或第13項所述之微 石版印刷投影物鏡’其中系統光闌(AS)設在第五組透 鏡(LG5)的兩聚光透鏡(L21，L22)之間。 5 15. 根據申請專利範圍第1項、第2項或第13項所述之微 石版印刷投影物鏡，其中第二組透鏡(LG2)至少包括兩 負透鏡(206, 208-210)及一正透鏡(207)。 10丨6.根據申請專利範圍第1項、第2項或第13項所述之微 石版印刷投影物鏡，其中第一透鏡(201)凹向物側。 17. 根據申請專利範圍第1項、第2項或第13項所述之微 石版印刷投影物鏡，其中在第四組透鏡(LG4)範圍處有 15 三個負透鏡(L15-L17)圍繞第二光腰(T2)。 18. 根據申請專利範圍第1項、第2項或第13項所述之微 石版印刷投影物鏡，其中最後一個透鏡(L31)前方之所 有透鏡邊光i角之正弦(smiedge)小於物側數値孔徑(NA) 2〇 即(siniedge <NA)。 19. 一種微石版印刷投影曝光設備，包括 一光源(1)，尤其是深紫外線激元雷射 一照明系統(B)， -------34__ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） • 调 * --------------裝--------tri^-------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 480347 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 一遮蔽罩支撐及調整系統(7, 71) ’ 一根據申請專利範圍第1項至16項其中至少一項所述 之微石版印刷投影物鏡(P)，及一物支撐及調整系統(9, 91)。 5 20. 根據申請專利範圍第16項之投影曝光設備，其中照明 系統(B)產生不同的照明方式’尤其是不同相干度的照 明，且投影物鏡(P)在不同照明方式下使失真維持在10 nm以下，最好是6 nm以下。 10 21. —種微結構元件製造法，其使用具申請專利範圍第19 項之所述特徵之一投影曝光設備，應用微石版印刷多 次曝光，其中不同的曝光可設定不同的照明方式及/或 數値孔徑。 15 ------I-------^-------IV——------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 35 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）
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