TW478971B - Rinsing tank with ultra clean liquid - Google Patents

Description

478971 A7 _ B7 五、發明說明（ί) 本項發明是有關一種用於以超潔淨液體來淸洗的淸洗 槽，其中包含有一個被一包封件所限制的淸洗室，此包封 件於底端部份被配置有一個具有一被連結至第一加壓淸潔 液供應系統之多孔底板的擴散裝置，而且於上側部份被配 置有一個溢流槽，此溢流槽被用來接收充滿著從被淸洗物 品處淸除出來之微粒或污染物的淸洗液體。 相關技術狀況： 第一種已知之淸洗槽的作動是藉由位於骜淸洗槽上側 部份之溢流管所產生的溢流作用。清洗室內被充滿超潔淨 去離子水，直到溢流管的高度位置。塡充作用的施行是藉 由一個位於該淸洗槽底端之中央部位處的入水管。溢流入 溢流管內的水流是藉由一排水管之作用而被排出。包含於 淸洗室內容器中之基板的淸洗是藉由該淸洗槽之簡易塡充 作用而得到。US-A-5,485,861號專利的圖3描述此種裝置 需要相當大量的去離子水。當水流上升時，在淸洗室內所 產生的紊流作用會干擾到水流之固定循環，因而破壞了水 流的淸洗特性。 第二種已知之淸洗槽的作動是藉由位於該淸洗槽底端 之可移動式擋板所產生的快速排水作用。此淸洗槽首先被 充滿去離子水，然後，在可移動式擋板已被開啓之後，去 離子水是藉由重力的作用而被排出。以高速往下流動的水 流會洗掉在基板上所出現之污染元件。此種淸洗槽亦需要 消耗大量的去離子水。 4 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 χ 297公釐） -n n ϋ 1 n n ϋ n ϋ ϋ ϋ « n I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -訂--------. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 478971 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（>) US-A-5,485,861號專利顯示出一個與圖1和圖2相類 似之裝置，但是其中水流的排出是經由被配置於淸洗槽底 端處之與排水管相連結的孔洞。 發明目的： 本項發明之目的是得到用於以超潔淨液體來淸洗的淸 洗槽，使得在消耗非常少量液體之狀況下，能夠得到包含 於該淸洗槽內之物品的最佳淸洗效果。 依照本項發明之裝置，其特徵爲淸洗室另外包含有： -若干個被連結至一第二加壓液體供應系統的往外突 出噴管或噴嘴，該噴管本身係沿著擴散裝置之多孔底板周 圍而分佈， -一個被安置接近溢流槽和具有漸縮管型式的轉向裝 置，用以將從噴管流出之上升水流轉向至淸洗室的中央部 位，導致液體的往下循環被設計用來移除污染物和微粒， -以及用於將水流反向的機構，此機構的作動是藉由 底板之第一供水系統所產生的液壓活塞作用，迫使淸洗液 體往上朝向溢流槽流動。 依照本項發明之一項特色，轉向裝置組成溢流槽的內 部表面，而且包封件包含有至少二個延伸於底板與轉向裝 置之間的傾斜側邊表面。噴管或噴嘴在淸洗室內可以被適 宜地導引朝向包封件側邊表面的方向或是朝向另一已預先 設定的方向。 依照本項發明之另一項特色，擴散裝置的底板承載著 5 ------------A__w^-----„— —訂--------- Φ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 478971 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（4 ) 一個分流元件，用以導引往下流的水流朝向包封件的側邊 方向。此分流元件的型式是一個於底板之中央部份內延伸 的漸擴管，而且其形狀是一個具有一依靠在底板上之底座 和一方向朝向即將被淸洗物品之頂端的角柱形狀。 即將被淸洗之物品是由通常使用於半導體、微系統和 平面式螢幕產業中的基板所組成’其中主要是砂晶、砷化 鎵、鍺、石英或玻璃基板，或是其他類似材料，該基板在 淸洗室內的容器中以相互平行之方式被配置。 依照本項發明之另一項特色，音響天線會在淸洗液體 內產生音波振動。 圖示簡單說明： 從僅做爲一非限制用實例和由隨附圖形所表示之本項 發明實施例的下列描述內容中，可以淸楚得知本項發明的 其他優點和特色，其中： 圖1爲依照本項發明之淸洗槽的橫剖面視圖； 圖2顯示被配置於如圖1所示淸洗槽底端處之擴散裝 置的立體視圖； 圖3爲圖2的正視圖； 圖4和圖5分別表示沿著圖3中直線4〜4和5— 5所 取的橫剖面視圖； 圖6說明如圖1所示之淸洗槽的作動原理； 圖7爲與圖1相同的視圖，其中說明本項發明之另一 項實施例； 6 氏張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公髮)~" ---- ------------ΛΨ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 丨tri^------- 478971 A7 B7 五、發明說明（+ 圖8表示如圖7所示之淸洗槽供水系統的橫剖面視圖 圖9爲如圖7所示之擴散用底板的正視圖。 元件符號說明： 10.淸洗槽 12.擴散裝置 14.包封件 16.轉向裝置 18.溢流槽 20.淸洗室 22.容器 24.基板 26.底板 28·孔滴 30.周邊凸緣 32.噴射水噴管 32a.噴嘴 34.側邊表面 36.側邊表面 38.側邊表面 40.側邊表面 42.分流元件 44.第一供水系統 45.入水孔 46.第二供水系統 48.入水孔 50.溢流管 52.排水口 54.去離子水處理設備 100.淸洗槽 ------------------r---訂 -------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 較佳實施例詳細說明： 在此參考圖1到圖5，其中淸洗槽1〇於其底端包含有 一個用於擴散超潔淨液體（例如是去離子水）的擴散裝置 12，一個其頂端部份具有一轉向裝置16和一溢流槽18的 包封件Μ則被連結至該擴散裝置。被包封件14限制住之 7 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格（210 X 297公釐了 ' 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 478971 A7 B7 五、發明說明（<) 淸洗室20的內部被安置有一個甩於容納即將被淸洗之基板 24的容器22。 水流擴散裝置12是由一個被安置於容器22下方之具 有若干列孔洞28的底板26和一個承載有若干噴射水噴管 32的周邊凸緣30所共同組成。包封件14包含有二個以一 已預先設定角度傾斜和接合至二平行垂直表面38 ' 40的側 邊表面34、36。噴管32以交錯方式而沿著凸緣30 ’延伸 於淸洗槽之四個表面34、36、38、40的方向。依照淸洗槽 種類的不同，被安置於有表面38、4〇存在之側邊上的噴管 32可以被刪除。 型式爲一漸擴管的分流元件42被固定至底板26上’ 用以往下流的水流導引朝向淸洗槽1〇之傾斜側邊處。此角 柱形狀的分流元件42是以與二側邊表面34、36保持平行 之方式而延伸於底板26的中央部份。角柱的底座是由底板 26所支撐，而且頂端被導引朝向容器22的底座。 一個第一供水系統44被連結到至少一個與底板26相 連接的入水孔45，而且一個第二供水系統46被連結至與 凸緣30之噴管32相連接的入水孔48。 轉向裝置16會形成溢流槽18之內部表面的整合部份 ，而且組成一個用於與包封件14之側邊表面34、36共同 形成一鈍角的漸縮管。此轉向裝置16被用來以一往下循環 運動之方式，將從噴管32流出之淸洗用水流導引朝向淸洗 槽20的中央。 溢流槽18會接收使用過的淸洗用水，而且此溢流槽是 8 本紙張尺度適用中國國家標準（cns)a4規格（210 χ 297公釐） ----------------„— ^--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 478971 A7 B7 五、發明說明（b) 藉由管路之作用而被連結至排水系統或一回收處理設備。 淸洗循環於圖6中加以說明，而且是以下列之方式來 施行： 藉由從第一供水系統44之多孔底板26的孔洞28和 從第二供水系統46之噴管32所產生的較低水流速度之作 用’淸洗室20內始終被充滿例如是水的超潔淨液體，直到 溢流槽18之溢流管50的高度位置爲止。在容納有即將被 淸洗之基板24的容器22被插入之前，噴管32或底板26 的流速會增加，用以淸洗水的表面，除去任何灰塵微粒或 污染物。 隨後，帶有基板24的容器22會被安置於淸洗室20 內，而且噴管32的第一供水閥會被開啓，用以於橫向噴管 32之出口處得到一已預先設定的水流速度。噴射水流係沿 著包封件14之側邊表面34、36、38、40的內部壁面而流 動，而且藉由漸縮管型式轉向裝置16之作用，而於上側部 份被轉向，產生如箭頭F1所示之循環流動。此項結果導致 往下流動的水流被設計用來淸除掉出現在基板24之表面上 的污染物和微粒。 被消除掉的污染物和微粒被容納於淸洗用液體內。在 大約1分鐘左右的淸洗時間完成之後，噴管32的第一供水 閥會被關閉，同時，多孔底板26的第二供水閥隨後會被開 啓，使得加壓的潔淨水能夠經由底端而被流入。由於液壓 活塞作用會迫使容納有污染物的廢水依照箭頭F2所示之方 向往上流動，水流運動的狀況因而被加以反向。溢流至溢 9 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂---- Φ, 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 478971 A7 B7 五、發明說明（1 ) 流槽18內的廢水則被輸送到排水口 52。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 在經由第一供水系統44之多孔底板26而得到的一定 淸洗時間完成之後，第二供水閥會被關閉，同時，在一個 或更多個額外操作循.環中’相同的處理程序則會被再一次 啓動。 在藉由液壓活塞作用而產生之淸洗作用的末期，帶有 潔淨過基板24的容器22會被移開。該淸洗槽會再一次被 供應較小流動速度的淸洗液體’直到新的基板淸洗循環被 施行爲止，受到污染的水可以被輸送至用於回收廢水的去 離子水處理設備54再循環。 藉由第二供水系統46之噴管32和藉由因爲第一供水 系統44之多孔底板26產生液壓活塞作用所導致的另一種 液體流動方式’使得在消耗非常少量液體和所花費工作循 環時間較短之狀況下，即可得到最佳的淸洗效果。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在如圖7到圖9所示之淸洗槽100的另一項實施例中 ，底板26上的噴管32已被除去’而是以被連結至第二供 水系統46之簡易校正過孔洞型式的噴嘴32來取代。另外 ，在擴散用底板26之中央部份處的分流元件42亦被刪除 〇 音響天線可以被用來在淸洗液體內產生音波振動。 當然，亦可以在一開始時就採用液壓活塞作用來將上 述之淸洗循環加以反向。 10 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱）

Claims (1)

1. 478971 A8B8C8D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 1·一種用於以超潔淨液體來淸洗的淸洗槽，其中包含 有： · -一個淸洗室’其被一包封件所限制，此包封件於底 端部份被配置有一個具有一被連結至第一加壓液體供應系 統之多孔底板的擴散裝置，而且於上側部份被配置有一個 溢流槽’該溢流槽被用來接收充滿著從被淸洗物品處淸除 出來之微粒或污染物的淸洗液體， -複數個噴出機構，其等連接至一第二加壓液體供應 系統，且沿著擴散裝置之多孔底板的周緣分佈.， --個轉向裝置，其被安置接近溢流槽和具有漸縮管 型式，用以裝從噴出機構流出之上升水流轉向至淸洗室的 中央部位，導致被設計用來移除污染物和微粒之液體的往 下循環， -以及用於將水流反向的機構，該機構的作動是藉由 底板之第一供水系統所產生的液壓活塞作用，迫使淸洗液 體往上朝向溢流槽流動。 2.如申請專利範圍第1項之淸洗槽，其中轉向裝置組 成溢流槽的內部表面。 3·如申請專利範圍第1項之淸洗槽，其中包封件包含 有至少二個延伸於底板與轉向裝置之間的傾斜側邊表面。 4·如申請專利範圍第1項之淸洗槽，其中噴出機構是 藉由在淸洗室內被導引朝向一已預先設定方向之噴嘴或噴 射器所形成。 5.如申請專利範圍第1項之淸洗槽，其中擴散裝置的 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） --------------Ψ------1 1訂-------- S*. (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 478971 09888 ABCD τ、申請專利範圍 底板承載著一個分流元件，用以導引往下流的水流朝向包 封件的至少二側邊。 6·如申請專利範圍第5項之淸洗槽，其中分流元件的 型式是一個於底板之中央部份內延伸的漸擴管。 7.如申請專利範圍第6項之淸洗槽，其中分流元件的 形狀是一個具有一依靠在底板上之底座和一方向朝向即將 被淸洗物品之頂端的角柱形狀。 8·如申請專利範圍第1項之淸洗槽，其中即將被淸洗 之物品是平的，而且在淸洗室內的容器中以_互平行之方 式被配置。 9. 如申請專利範圍第8項之淸洗槽，其中即將被淸洗 之物品是半導體和微系統產業中特別是石英或砂晶製$的 基板，或是由平面式螢幕產業中特別是由玻璃 所組成。 & 10. 如申請專利範圍第1項之淸洗槽，其中音響天，線I 在淸洗液體內產生音波振動。 ^ -------0^------- —訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 度 尺 張 紙 _本 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製