KR101099620B1 - 약액 저장 탱크 및 이를 구비하는 약액 공급 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 약액 공급 배관에 다단 타공판을 구비하는 약액 저장 탱크 및 이를 구비하는 약액 공급 장치에 관한 것이다. 약액 공급 배관은 약액 저장 탱크 내부에 설치된다. 약액 공급 배관은 대체로 약액 저장 탱크의 상측으로부터 하측 방향으로 설치된다. 다단 타공판은 약액 공급 배관의 중앙 부분에 설치된다. 다단 타공판은 복수 개의 플레이트들이 상호 이격되어 적층된다. 플레이트들 각각에는 복수 개의 관통홀들이 형성된다. 이러한 다단 타공판은 약액 저장 탱크로 공급되는 약액의 유속을 감소시킴으로써, 약액 저장 탱크 내부에서의 약액 충돌, 소용돌이 및 진동을 억제할 수 있다. 본 발명에 의하면, 다단 타공판을 이용하여 약액의 기포 발생을 최소화할 수 있다.

Description

약액 저장 탱크 및 이를 구비하는 약액 공급 장치{CHEMICAL STORAGE TANK AND CHEMICAL SUPPLY APPARATUS WITH IT}
본 발명은 약액 공급 장치에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로 다단 타공판을 이용한 약액 공급 배관을 구비하는 약액 저장 탱크 및 이를 구비하는 약액 공급 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자 및 평판 표시 장치 등을 제조하는 공정에는 다양한 약액들을 이용하여 기판을 처리한다. 기판 처리 장치는 다양한 약액을 공급하는 약액 공급 장치와 연결된다. 약액 공급 장치는 펌프 등을 이용하여 약액을 저장하는 약액 저장 탱크로부터 약액을 기판 처리 장치로 공급하고, 사용된 약액을 다시 약액 저장 탱크 또는 약액 회수 탱크로 회수하는 구조를 가진다.
이 때, 약액 저장 탱크로부터 기판 처리 장치로 공급되는 약액에는 기포 등이 포함되는 경우가 빈번한데, 이는 기판 처리 장치의 공정 불량 및 공정 수율을 저하시키는 원인이 된다.
일반적인 약액 저장 탱크는 약액 공급원으로부터 약액 저장 탱크로 공급되는 약액이 높은 위치에서 공급되므로 위치 에너지가 운동 에너지로 전환되어, 약액 저장 탱크 내부에서 많은 량의 미세 기포가 발생된다. 또한 공급되는 약액의 유속으로 인하여 약액 저장 탱크 내부에서 바닥면과 충돌되어 소용돌이가 발생된다. 그 결과, 약액의 빠른 공급 속도로 인하여 약액 저장 탱크 내부에 큰 진동이 발생된다.
본 발명의 목적은 내부에 기포 발생을 억제하기 위한 약액 저장 탱크 및 이를 구비하는 약액 공급 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 다단 타공판을 이용하는 약액 공급 배관을 구비하는 약액 저장 탱크 및 이를 구비하는 약액 공급 장치를 제공하는 것이다.
상기 목적들을 달성하기 위한, 본 발명의 약액 저장 탱크는, 다단 타공판을 구비하는데 그 한 특징이 있다. 이와 같은 약액 저장 탱크는 내부에 저장되는 약액에 기포 발생을 최소화할 수 있다.
이 특징에 따른 본 발명의 약액 저장 탱크는, 상부측에 배치되는 공급 포트와; 상기 공급 포트에 연결되고, 외부로부터 약액을 공급받아서 상기 약액 저장 탱크로 배출하는 약액 공급 배관 및; 상기 약액 공급 배관에 설치되어 상기 공급 포트로부터 유입되는 약액의 유속을 감소시키는 다단 타공판을 포함한다.
한 실시예에 있어서, 상기 다단 타공판은; 상기 복수 개의 플레이트가 상호 이격되게 적층되고, 상기 플레이트 각각에 복수 개의 관통홀들을 제공한다.
다른 실시예에 있어서, 상기 관통홀들은 상기 플레이트들 간에 상호 어긋나게 배치된다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 약액 공급 배관은; 상기 공급 포트에 연결되고 상기 약액 저장 탱크 내부에 설치되는 제 1 공급 배관과; 상기 제 1 공급 배관에 연결되고, 상기 다단 타공판이 설치된 제 2 공급 배관 및; 상기 제 2 공급 배관에 연결되어 상기 약액 저장 탱크 내부로 약액을 배출하는 제 3 공급 배관을 포함한다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 제 1 내지 제 3 공급 배관은 상기 약액 저장 탱크의 상부에서 하부 방향을 향하도록 상기 약액 저장 탱크 내부에 설치된다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 제 2 공급 배관은; 일단이 상기 제 1 공급 배관에 연결되고, 타단이 상기 제 3 공급 배관에 연결되는 몸체와; 상기 몸체 내부에 설치되고, 복수 개의 관통홀들이 각각 형성되는 복수 개의 플레이트들을 포함하되; 상기 다단 타공판은 상기 플레이트들에 의해 형성된다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 플레이트들은 상호 일정 간격으로 이격되는 제 1 내지 제 3 플레이트들을 포함한다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 제 1 내지 상기 제 3 플레이트들 각각은 상기 관통홀들이 인접하게 배치되는 플레이트의 관통홀과 상호 어긋나게 배치된다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 다단 타공판이 설치된 약액 저장 탱크를 구비하는 약액 공급 장치가 제공된다. 이와 같은 본 발명의 약액 공급 장치는 다단 타공판에 의해 공급되는 약액의 기포 발생을 억제할 수 있다.
이 특징의 약액 공급 장치는, 적어도 하나의 약액 공급부와; 상기 약액 공급부로부터 약액을 공급받아서 저장하는 약액 저장 탱크 및; 상기 약액 공급부와 상기 약액 저장 탱크를 연결하는 약액 공급 라인을 포함하되; 상기 약액 저장 탱크는; 상기 약액 공급 라인이 연결되는 공급 포트와; 상기 공급 포트에 연결되고, 상기 약액 저장 탱크 내부에 설치되어 상기 약액 공급 라인으로부터 약액을 공급받아서 상기 약액 저장 탱크로 배출하는 약액 공급 배관 및; 상기 약액 공급 배관에 설치되어 상기 공급 포트로부터 유입되는 약액의 유속을 감소시키는 다단 타공판을 포함한다.
한 실시예에 있어서, 상기 공급 포트는 상기 약액 저장 탱크의 상측에 구비되고; 상기 약액 공급 배관은 상기 약액 저장 탱크의 상부에서 하부 방향을 향하도록 설치된다.
다른 실시예에 있어서, 상기 다단 타공판은; 상기 약액 공급 배관의 중앙 부분에 복수 개의 플레이트가 상호 이격되게 적층되고, 상기 플레이트 각각에 복수 개의 관통홀들을 제공하되; 상기 관통홀들은 상호 인접하는 상기 플레이트들 간에 상호 어긋나게 배치된다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 약액 공급 배관은; 상기 약액 저장 탱크로 배출하는 출력단이 굴곡진 형태로 제공된다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 약액 저장 탱크는 약액 공급부로부터 공급되는 약액의 유속을 감소시키는 다단 타공판을 제공함으로써, 약액 저장 탱크 내부와의 충돌, 소용돌이 및 진동을 억제할 수 있다.
또한 본 발명의 약액 공급 장치는 다단 타공판을 이용하여 약액 저장 탱크 내부에서 발생되는 기포를 최소화할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 약액 공급 장치의 개략적인 구성을 도시한 블럭도;
도 2는 도 1에 도시된 약액 저장 탱크의 구성을 도시한 도면;
도 3은 도 2에 도시된 약액 공급 배관의 구성을 도시한 사시도;
도 4는 도 3에 도시된 약액 공급 배관의 구성을 도시한 사시도; 그리고
도 5는 도 2에 도시된 약액 공급 배관의 구성을 도시한 단면도이다.
본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 서술하는 실시예로 인해 한정되어지는 것으로 해석되어서는 안된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 구성 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.
이하 첨부된 도 1 내지 도 5를 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 약액 공급 장치의 개략적인 구성을 도시한 블럭도이다.
도 1을 참조하면, 약액 공급 장치(100)는 다양한 약액들을 공급하는 약액 공급부(102)와 기판 처리 장치(104) 사이에 배치되는 약액 저장 탱크(110)를 포함한다.
약액 공급부(102)는 예를 들어, 약액 공급원, 약액 공급 탱크 등으로 구비되며, 약액 공급 라인(112)을 통해 약액 저장 탱크(110)로 약액을 공급한다.
약액 저장 탱크(110)는 약액 공급 라인(112)을 통해 약액 공급부(102)와 연결되고, 약액 배출 라인(114)을 통해 기판 처리 장치(104)와 연결된다. 약액 저장 탱크(110)는 약액 공급부(102)로부터 약액을 공급받아서 내부에 저장한다. 약액 저장 탱크(110)는 저장된 약액을 기판 처리 장치(104)로 공급한다.
그리고 기판 처리 장치(104)는 약액 배출 라인(114)과 연결되는 약액 공급 장치(미도시됨) 예를 들어, 노즐 등을 이용하여 기판으로 약액을 공급하여 공정을 처리한다. 이 때, 약액 저장 탱크(110)로부터 공급되는 약액에는 기포가 포함될 수 있으며, 이러한 기포는 공정에 영향을 끼지게 되므로, 기포 발생을 억제할 필요가 있다.
따라서 본 발명의 약액 저장 탱크(110)는 기포 발생을 최소화하기 위하여, 약액 공급 라인(112)에 연결되고, 약액 저장 탱크(110) 내부로 약액을 배출하는 약액 공급 배관(112a) 상에 다단 타공판(도 3의 124)을 구비한다.
구체적으로 도 2를 참조하면, 약액 저장 탱크(110)는 내부에 약액을 수용, 저장한다. 약액 저장 탱크(110)는 상측에 배치되고, 약액 공급 라인(112)과 연결되는 적어도 하나의 공급 포트(112b)와, 일측에 배치되고, 약액 배출 라인(114)과 연결되는 배출 포트(114a) 및, 약액 저장 탱크(110) 내부에 위치되고, 공급 포트(112b)와 연결되어 약액 저장 탱크(110) 내부로 약액을 배출하는 약액 공급 배관(112a)을 포함한다. 이 실시예에서 공급 포트(112b)는 약액 저장 탱크(110)의 상부측에 위치되고, 배출 포트(114a)는 약액 저장 탱크(110)의 하부측에 위치된다.
약액 공급 배관(112a : 116, 118, 120)은 공급 포트(112b)와 연결되는 제 1 공급 배관(116)과, 제 1 공급 배관(116)에 연결되고, 다단 타공판(도 3의 124)이 설치된 제 2 공급 배관(120) 및, 제 2 공급 배관(120)에 연결되어 약액 저장 탱크(110)로 약액을 배출하는 제 3 공급 배관(118)을 포함한다. 이러한 약액 공급 배관(112a)은 대체적으로 상부에서 하부 방향을 향하도록 약액 저장 탱크(110) 내부에 설치된다.
제 2 공급 배관(120)은 도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 내부에 다단 타공판(124)이 설치된다. 즉, 제 2 공급 배관(120)은 일단(122a)이 제 1 공급 배관(116)에 연결되고, 타단(122b)이 제 3 공급 배관(118)에 연결되는 몸체(122)와, 몸체(122) 내부에 설치되고, 복수 개의 관통홀(126 : 126a ~ 126c)들이 형성되는 제 1 내지 제 3 플레이트(124 : 124a ~ 124c)들을 포함한다. 따라서 다단 타공판(124)은 제 1 내지 제 3 플레이트(124a ~ 124c)들에 의해 형성된다.
몸체(122)는 대체적으로 제 1 및 제 3 공급 배관(116, 118)과 유사한 형태, 크기 및 재질로 구비된다. 제 1 내지 제 3 플레이트(124 : 124a ~ 124c)들 또한 몸체(122)와 동일한 재질로 구비될 수 있다. 또 관통홀(126 : 126a ~ 126c)들 각각은 제 1 내지 제 3 플레이트(124 : 124a ~ 124c)들 각각에 복수 개의 직선 형태로 배치되어 있으나, 제 1 내지 제 3 플레이트(124 : 124a ~ 124c)들 각각에 배플 형태로 제공될 수 있다.
이러한 다단 타공판(124)은 기포 발생을 최소화하기 위하여, 제 1 내지 제 3 플레이트(124a ~ 124c)들 간에 상호 일정 간격으로 이격되고, 제 1 플레이트(124a)의 관통홀(126a)들과 제 2 플레이트(124b)의 관통홀(126b)들은 상호 어긋나게 배치되고, 제 2 플레이트(124b)의 관통홀(126b)들과 제 3 플레이트(124c)의 관통홀(126c)들은 상호 어긋나게 배치된다. 다단 타공판(124)은 약액 공급 배관(112a)을 통해 약액 저장 탱크(110)로 공급되는 유속을 감소시킨다.
그러므로 다단 타공판(124)은 공급되는 약액의 위치 에너지 및 운동 에너지를 감소시켜서 약액 저장 탱크(110) 내부에서 약액의 출렁거림을 억제한다. 그 결과, 약액 저장 탱크(110) 내부의 약액에 미세 기포의 발생을 최소화할 수 있다.
또 제 3 공급 배관(118)은 예를 들어, 출구단이 J 자형의 굴곡진 형태(elbow)로 제공되어, 약액 저장 탱크(110)의 내부 바닥면과의 충돌 및 소용돌이를 최소화함으로써, 약액 저장 탱크(110) 내부의 약액에서 미세 기포가 발생되는 것을 2 차적으로 억제한다.
이상에서, 본 발명에 따른 약액 저장 탱크 및 이를 구비하는 약액 공급 장치의 구성 및 작용을 상세한 설명과 도면에 따라 도시하였지만, 이는 실시예를 들어 설명한 것에 불과하며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능하다.
100 : 약액 공급 장치
110 : 약액 저장 탱크
112 : 약액 공급 라인
112a : 약액 공급 배관
112b : 공급 포트
114 : 약액 배출 라인
114a : 배출 포트
116 : 제 1 공급 배관
118 : 제 3 공급 배관
120 : 제 2 공급 배관

Claims (12)

  1. 약액 저장 탱크에 있어서:
    상부측에 배치되는 공급 포트와;
    상기 공급 포트에 연결되고, 외부로부터 약액을 공급받아서 상기 약액 저장 탱크로 배출하는 약액 공급 배관 및;
    상기 약액 공급 배관에 설치되어 상기 공급 포트로부터 유입되는 약액의 유속을 감소시키는 다단 타공판을 포함하되;
    상기 약액 공급 배관은;
    상기 공급 포트에 연결되고 상기 약액 저장 탱크 내부에 설치되는 제 1 공급 배관과;
    상기 제 1 공급 배관에 연결되고, 상기 다단 타공판이 설치된 제 2 공급 배관 및;
    상기 제 2 공급 배관에 연결되어 상기 약액 저장 탱크 내부로 약액을 배출하는 제 3 공급 배관을 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 저장 탱크.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 다단 타공판은;
    복수 개의 플레이트가 상호 이격되게 적층되고, 상기 플레이트 각각에 복수 개의 관통홀들을 제공하는 것을 특징으로 하는 약액 저장 탱크.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 관통홀들은 상기 플레이트들 간에 상호 어긋나게 배치되는 것을 특징으로 하는 약액 저장 탱크.
  4. 삭제
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 내지 제 3 공급 배관은 상기 약액 저장 탱크의 상부에서 하부 방향을 향하도록 상기 약액 저장 탱크 내부에 설치되는 것을 특징으로 하는 약액 저장 탱크.
  6. 제 1 항 또는 제 5 항에 있어서,
    상기 제 2 공급 배관은;
    일단이 상기 제 1 공급 배관에 연결되고, 타단이 상기 제 3 공급 배관에 연결되는 몸체와;
    상기 몸체 내부에 설치되고, 복수 개의 관통홀들이 각각 형성되는 복수 개의 플레이트들을 포함하되;
    상기 다단 타공판은 상기 플레이트들에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 약액 저장 탱크.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 플레이트들은 상호 일정 간격으로 이격되는 제 1 내지 제 3 플레이트들을 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 저장 탱크.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 제 1 내지 상기 제 3 플레이트들 각각은 상기 관통홀들이 인접하게 배치되는 플레이트의 관통홀과 상호 어긋나게 배치되는 것을 특징으로 하는 약액 저장 탱크.
  9. 약액 공급 장치에 있어서:
    적어도 하나의 약액 공급부와;
    상기 약액 공급부로부터 약액을 공급받아서 저장하는 약액 저장 탱크 및;
    상기 약액 공급부와 상기 약액 저장 탱크를 연결하는 약액 공급 라인을 포함하되;
    상기 약액 저장 탱크는;
    상기 약액 공급 라인이 연결되는 공급 포트와;
    상기 공급 포트에 연결되고, 상기 약액 저장 탱크 내부에 설치되어 상기 약액 공급 라인으로부터 약액을 공급받아서 상기 약액 저장 탱크로 배출하는 약액 공급 배관 및;
    상기 약액 공급 배관에 설치되어 상기 공급 포트로부터 유입되는 약액의 유속을 감소시키는 다단 타공판을 포함하되;
    상기 공급 포트는 상기 약액 저장 탱크의 상측에 구비되고,
    상기 약액 공급 배관은 상기 약액 저장 탱크의 상부에서 하부 방향을 향하도록 설치되는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
  10. 삭제
  11. 약액 공급 장치에 있어서:
    적어도 하나의 약액 공급부와;
    상기 약액 공급부로부터 약액을 공급받아서 저장하는 약액 저장 탱크 및;
    상기 약액 공급부와 상기 약액 저장 탱크를 연결하는 약액 공급 라인을 포함하되;
    상기 약액 저장 탱크는;
    상기 약액 공급 라인이 연결되는 공급 포트와;
    상기 공급 포트에 연결되고, 상기 약액 저장 탱크 내부에 설치되어 상기 약액 공급 라인으로부터 약액을 공급받아서 상기 약액 저장 탱크로 배출하는 약액 공급 배관 및;
    상기 약액 공급 배관에 설치되어 상기 공급 포트로부터 유입되는 약액의 유속을 감소시키는 다단 타공판을 포함하되;
    상기 다단 타공판은;
    상기 약액 공급 배관의 중앙 부분에 복수 개의 플레이트가 상호 이격되게 적층되고, 상기 플레이트 각각에 복수 개의 관통홀들을 제공하되;
    상기 관통홀들은 상호 인접하는 상기 플레이트들 간에 상호 어긋나게 배치되는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 약액 공급 배관은;
    상기 약액 저장 탱크로 배출하는 출력단이 굴곡진 형태로 제공하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
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