TW469476B - Plasma display panel, method and device for manufacturing the same - Google Patents

Description

469476 A7 __B7_ 五、發明說明（）

[技術領域J 本發明僳關於電漿顯示面板，其製迪方法及其製造裝 置，尤其是闘於具有分隔電漿顯示面板放電區域隔牆的 電漿顯示面板，其製造方法及其製造裝置β [背景技術] 從前，對於影像顯示裝置而言雖多用CRT ,但在CRT具 有外形體稹大重量大，需要高電壓等的缺點，近年，開 發發光二極體（LED)或液晶顯示裝置（LCD),電漿顯示面 板（PDP),或電槳位址液晶（PALC)等的平面影像顯示装 置，逐漸擴大這®的利用範圍。 其中，隨磐多媒體的滲透，作為資訊的介面用於大型 畫面用彩色顯示裝置等的電漿顯示面板，具有利用電漿 發光的單純構造，以大型畫面，高畫質，輕量薄型不受 設置場所等限制的影像顯示裝置而言將來備受注目。 這種電漿顯示面板，具備兩片的平坦絶緣基板和具有 以區隔其空間的隔牆包圍微少空間的放電顯示單元，依 分別配置於這些放電顯示單元内的一對放電電捶，和配 置於其底部的位址電極之間的放電使茌空間内發生電漿 ,依位址電極執行放電顯示單元的發光開闋，在上逑空‘ 間具有封人稀有氣體等可放電氣體的氣密構造β 電漿係藉由以遴擇方式在前述對向的放電電極間附加 電壓而發生，依自該電漿放出的真空紫外線使形成於放 電顯示單元内的螢光體發光，作為影像頴示裝置的發光 元件利用。 本紙張尺度適用令國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 ----- 訂----I 1 I ί 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 469476 ΚΙ ____Β7_____ 2 五、發明說明（） 因此，如欲執行前逑開關，雖必霈在前述放電電極間 附加電壓，但如果放電顯示單元的靜電容量大，由於增 大前述放電電極間的驅動電流，因此昇高電漿顯示面板 坤耗電量，有所諝電源設備大型化的缺點》 而且，上逑構造的電漿顯示面板，雖然裝置的構造犟 純可實現高精細化，但由於放電顯示單元内的各電極或 螢光體，直接暴露於所發生的電漿（因此受濺射作用表 面産生劣化，有所謂容易降低發光效率的間題》 於是，為消除這樣的各種問題，提案降低放電顯示單 元的靜電容量，為防止因所發生電漿的電極或螢光體的 劣化，在放電顯示單元内對向的電極上形成介電體層， 以介電體層保護各電槿的表面使提高電發顯示面被的耐 久性（參閲特開平8-77930號公報，特開平7-57630號公 報Κ 通常，對於以均勻的厚度在放電顯示單元的位址電極 上形成介電體層的方法而言，具有藉由印刷糊質介電體 由糊質表面的電手作用獲得厚度的均勻化和平坦性的方 法。 但，為確保介電體層的均勻厚度和平坦性使用低流動 性的糊質介電體，如果想在具有一般性10 左右厚度 的電極模型上形成5pm左右厚度的介電體層，由於在電 極模型存在的部份和不存在的部份具有凹凸，因此印刷 形成的介電體表面産生凹凸，所獲得的介電體層不能獲 得厚度的均勻性。 H 4 — 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事頊再填寫本頁) 裝--------11--I------ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 4 6 9 4 7 6 B7____ - 3 五、發明說明（) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 而且，如果重視介電體層的平坦性，使用高電平性的 窵有流動性的糊質介電體，即位址電極上的介電體層的 厚度不足，具有産生所諝位址電極局部露出事態的顧康 ，所獲得的厚度也具有偏差，以均勻的厚度形成平坦性 優良的介電體層，造成非常困難》 由於位於隔牆間的位址電極，形成於表^面的介電髏層 的厚度或平坦性，具有如前述饍差，因此館存於介電體 的電荷量分別不同，它因按照每放電顯示單元控制發光 的電壓不同，而具有所諝不能潁示安定正確發光的問題》 並且，由於依印刷法形成介電體層，會增加一値電漿 潁示面板的背面板製造過程，並旦隔牆形成材料和介電 體層材料不同，因此在生産性上或在衬料成本上&有改 善的必要。 而且，對於統一形成隔牆和介電醴層的方法而言，雖 提案使用隔牆形狀的凹模將隔牆形成材料以壓機成肜的 方法，但介電體層的厚度必露由模具和基板的空隙控制 ,如果産生空隙就不能獲得充份的壓機壓力，隔牆形成 材料不能正確進入隔牆形狀的模具内。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 而且，預先將介電體層的厚度部形成於模具方面，在 模具的加工方面困難。逾且，如果具有玻璃基板的厚度 起伏或模具的加壓不勻，卽不能使模具和基板的空隙一 定，介電體層的厚度不能形成均勻。 而且，為構成放電顯示單元的隔牆，偽由絶緣物所成 ，一般而言雖使用以鉛玻璃連接金屬無機氣化物者等， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 經濟邨智慧財產局員工消費合作社印製 469476 A7 __ B7 —·-- " 4 " -------五、發明說明（） 但己知其隔脑的各種製造方法，現在噴砂法成為主流 (有關隔牆製造方法的公知例，參閲龜矢月刊LCD intelligence 1 3 9 7年 8 月號 57 頁等）β 本方法傷以規定的厚度在基板塗敷隔牆形成材料以後 ，遮蔽必要的部份，藉由在此部份噴眇削掉不褥要的隔 艢形成材料，形成隔猶的方法。 一般而言，在背面基板上形成屬於放電顯示單元構成 要素的隔牆，介電體，以及電極。 在現行的製造程序，傜如第1圖所示，藉由（1>在玻 璃基板1上形成電極2的過程，（2)在電極2上形成介 電體層3的過程，（3)在介電體層3上形成隔牆4的過 程，亦即，依電極介電體3 —隔牆4的順序形成，製 造如第1圃所示的背面基板β 然後，由於在傾別的過程包含基板燒製過程，因此基 板尺寸按照毎各過程變動。 因此，從高精細化等的要求，如果尺寸精度的要求廉 格，即由於基扳燒製的基板尺寸變化産生所謂電極和隔 膪的配合位置造成困難的問題。 而且，如果査素節距造成狹窄，即容易産生所諝在電 棰形成過程的電極間短路等缺陷的間題。 —般而言，隔牆雖形成分別獨立的柱，但隨箸顯示的 高精細化，高精度化，為增大開口率，而要求隔牆寬度 更細小β 此時，如果隔牆形成分別獨立的柱，即産生所諝隔艢 -6 - (請先®讀背面之注意事項再填寫本頁) /裝 ----1 訂 ii 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐〉 4 6 9 4 7 6 A7 '___B7_ 一 5 ~~~"~ 五、發明說明（） 越細，越容易使隔牆傾倒的間題。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 而且，如欲提高各畫素的發光亮度，雖只要提高螢光 體本身的發光亮度即可，但對於其以外的手段而言，使 反射從螢光體放射的光線，朝外部取出更多的光線也可 以。 因此，形成於背面基板的隔牆最好以反射率高的白色 材料形成，同時在隔牆間的電極上也形成白色的介電體 儘量提高基板的反射率〇 而且，介電體最好是儘可能抑制能見光透過於基板背 面的厚度〇 但，如果限制驅動電壓，亦即，增厚介電體即會伴随 箸它産生提髙驅動電壓的間題，而通常介電體的厚度俗 10〜15# m程度。 因此，對於在使用這種背面基板製造的電漿顯示面板 而言因往背面基板背面透過的發光光線多，有所謂不能 獲得充份亮度的問題β 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 一方面，作為薄型而且大畫面的顯示，如市售25吋的 電漿位址液晶，又如在展示會等發表4 2时的電漿位址液 晶（副本伸一，"P A L C的製造程序’’，月刊F P D I n t e 11 i g e n c e ，vol.6(1398)pp.79-8 3等）0 上逑被實用化的電漿位址液晶面板，因採用如特開平 4-265931號所記載以厚膜印刷法為主體的程序，而形成 適合量産化及大盡面化。 第2圖及第3圖表示此習用型的電漿顯示面板一構成 —7 — 本紙張尺度適用辛國國家標準（CNS>A4規格（210 X 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 469476 . A7 ._B7_ , g _~ ~五、發明說明（） 例。如第2圖及第3圃所示，在電漿基板10形成陽極11 和陰極12以後，形成隔牆13,並依玻璃料密封使用介電 體薄板玻璃14封閉，於真空排氣後封入放電氣體^對於 CF基板15形成R，G,B的CF層16和黑色花紋17以後，形成 信號電極18。將此電漿基板ΠΪ和附有CF玻璃基板15夾持 隔板拈合，注入液晶19。最後配置偏光板20及背光燈21 ，完成電漿位址液晶面板， 在這裡，再詳細參閲第3圖所示的面板構造和第4画 所示的面板製造過程圃，說明有關本發明的習用型電漿 基板的構造和製造方法。此外，在42吋的電漿位址液晶 面板隔牆的節距為1.092 mm。 首先，洗滌、乾燥具有排氣管連接用孔的低膨率玻 璃基板。其次以網販印刷法用塗板塗敷、糊質Ni電極乾 燥裝設成5 0// m的N i電極層。在這裡N i電極用糊質主要 由金靥Ni粉末及低融點玻璃，氧化防止劑，熱分解性良 好的粘合劑樹脂（乙烯纖維素等）及於適用於網販印刷時 具備流變特性的溶劑（醋酸丁基卡必醇或α -萜品醇等） 所成。接著粘貼乾膠膜（DF),曝光、潁像形成電路圖案 以後，依噴砂法消除不需要部份的Ni電棰材料，剝離DF 。因此可完成相當於放電空間的陽槿及陰極的花紋狀Hi 電極模型。另外由於以H i電極真空封閉困難，因此以網 版印刷法形成封閉部及端子電極部所用的糊質Ag電極。 此外，為防止在電漿通道端部的異常放電以網販印刷塗 敷覆蓋糊質玻璃。 <請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

'•V 裝 • iu 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 4 6 9 476 A7 B7 --- 7 五、發明說明（) 接箸將作為電漿單元壁的隔牆用糊質以網販印刷法多 次塗敷、乾燥，層合至250# in程度，再予以燒製》在這 裡的隔牆用糊質僳以低融點玻璃，熱分解性良好的粘合 _樹脂（乙烯激維素等）及適合於網版印刷時具備流變待 性的溶劑（醋酸丁基卡必醇或α -萜品醇等）及黑色顔料 為主要成份》此外，在隔牆用糊質中含有黑色顔料，是 因為燒製後的隔脑欲成為黑色，如後所述係為防止在隔 牆側面的光線反射，最後為將隔牆的高度設定為2〇〇#ra ±2# ra以内而且使上端面光滑而研磨隔牆頂部。充份洗 滌以免留下研磨渣《此外，隔牆燒製後的Ni電極的厚度 傺約40；um,寬度約100#«。以放電部約lOSOiem形成電 阻5 0 0 Ω程度β 由於此Ni電極不是純粹的金屬而是和低融點玻璃料的玻 璃金屬陶瓷狀態，因此燒製後的電阻傑數為金屬Ni的20 倍以上。因此，不能縮小電極的寬度，而且不能減少厚 度》由於不能縮小電極的寬度，因此不能降低開口率， 來自背光燈的光線利用率降低》此外如42时HDTV規格對 於隔牆間隔〇 . 485mm節距來説開口率變成40¾以下形成嚴 重的缺點。 而且，在燒製後為使Ni電極材料為40#ηι左右的厚度， 荏此基板上均匀層合DF很因難β因此，使用將隔牆頂部 的高度及形狀，以DF的厚度可簡單實施隔牆高度控制的 困難度高的糊質埋入法。是其缺黠。 而且，對於AC型電漿顯示面板（PDP)的隔牆形成法而 本紙張尺度適用中囤國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

?裝------- 訂·！ — I 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 4 6 9 4 7 6 B7_____ 五、發明說明（） 言，以量産製造具有實铺的噴砂法形成隔牆，被介 層覆蓋之電漿潁示面板的電樯，雖於形成隔牆時不會受 噴砂的損傷，但由於在PAL C露出電棰，會因噴砂而受損 傷，並不是太適合的方法.因此未被實施- 從上述事情看來，不得不使用於尺寸精度上具有阉S 的網販印躏法來形成隔艢。如42时V6 A規格，如果隔牖 間隔僳1.0 32 mm節距，尚可取空白部份，在霄極間形成 隔餹，但如42时HDTV規格，對於隔鵃間隔fl.485ma節距 而言由於配合位置精度需要±10#·以内，因此成為廉 重的缺黏。 而且，在習用型的構造，如前述，形成黑色隔繭。那 是為了抑制因在隔艢的賴面反射會引起迷光而降低銳& 的影響β結果，由黑色隔牆遮光，限制開口率，産生不 能提高背光燈利用效率的駸重缺點β 而且，因和黑色隔牆成垂直方向的視野角度受限制， 即所讀百桀窗效果，樓管臁用廣角方式的液晶，仍有不 能充份蓮用其優點的間題ρ為克服此點，在待開平11-212068號，提案實施以下所說明對策的新穎電漿位址液 晶面板的構造。 取代上逑黑色隔牆形成透明的隔蘑β藉此，可防止因 百窠窗效果所産生的狹窄視野角化β此時，藉由對於透 明隔脯使用表面凹凸少的材料，可抑制因光線散亂造成 的對比降低β並且，背面玻瑰基板槲的偏光板的配置偽 為使其穿透軸方向對於前述透明隔腌形成方向成£1°或 *10- 本紙張尺度適用中國國家標竿（CNS)A4規格（210 X 297公釐） — ----*------ο 裝--------訂---------線 t t*J ·- (諳先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 469476 Α7 Β7 五、發明說明（） 90° ,而且，配置前述玻璃基板刨的偏光板使其穿透軸 方向與背面玻瑭基板侧的偏光板的穿透軸方向正交，藉 由將前逑透明隔牆製成對於背面玻璃基板垂直站立的 構造，可防止穿透前述透明隔牆峙光線的偏光面回轉。 結果，認為因使用透明隔牆而較習用黑色隔牆的面板 ，不會降低對比，可提高背光燈的利用效率，而且具有 視野角寬敞的面板 然而，此背面玻璃基板的製造方法，和依前逑習用厚 膜印刷方法的電漿位址液晶的隔牆基板製造方法並没有 不闻，只不過是將黑色隔牆形成用的湖質玻璃置換為透 明隔牆形成用的糊質玻璃β因此，亦如前述，在製造方 法上有嚴重缺點β 而且，如在電漿顯示面板的製造技術即可明白，關於 現在由反覆的厚膜印刷方法所形成的隔牆，無論如何控 制糊質隔牆的流變特性，對於玻璃基板以2 5 0>ut«的高度 垂直豎立隔牆儘管屬於實驗室級之水準仍然不切實際， 何況是對於42时規格的玻璃基板250私η的高度均勻豎立 垂直隔牆也不可能β而且，有闊由反覆印刷法的倒面段 差，建立對策仍然困難。 如上述，以將隔牆和.介電體層一起成形的方法而言， 雖提案使用隔牆形狀的凹模以壓機成形方式將隔牆形成 材料成形的方法，但有關使用此種凹模形成凸模塑方法 的問題説明如下： 使用凹板，在剛性販形成凸模型時第一個造成問題的 -1 1- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

It 1 κ I n n 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 69 47 6 Α7 Β7 五、發明說明（） 是，由於通常凹販也是剛性體，因此發生雙方有緊貼不 充份的部份，從該部份的販轉錄墨水於被印刷物造成不 充份，發生轉錄不良缺陷β對於其對策而言，具有掲示 释特開平4-34551號公報的方法。在本方法，雖以對於 玻璃基板等形成模型為對象，但在凹販的凹部以外的販 面形成排斥墨水之橡膠彈性層。印刷時橡膠層因印刷之 壓力而變形，對於玻璃基板等的厚度不勻或表面具有一 些凹凸的剛性板一面緊貼一面墨水從販轉移於基板。因 此，認為可獲得缺陷少的模型。 但，轉錄時墨水雖與墨水的粘度有關，但由於在販的 大致一半以下的深度分裂，因此所獲得的凸模型的厚度 變薄。而且，可獲得的凸模型的形狀也受墨水分製的影 響〇 不使凹販内墨水發生分裂的方法，已經掲示於待開昭 5 7- 8 7 3 1 8號公報。其方法傜將所使用的墨水（糊質）作為 紫外線硬化，電子線硬化組成，所謂將凹販内的墨水硬 化轉錄者。為提高凹版的脫模性，也掲示在凹販（内）裝 設矽等。 其次，在特開平4-35389號公報，可以說是掲示了在 特開平4-34551號公報所掲示的技術改良法。亦即，因 將凹部的内面以矽酮橡膠或聚四氟乙烯的剝離性材質而 形成者，而提高轉錄性，如果預先將粘接層設置於如玻 璃基板具有剛性的被印刷物的表面，即將墨水硬化以後 可轉錄，所獲得的凸模型的形狀也較優良。 -12- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公楚） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) '裝-------1訂---- 緣. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 469476 A7 B7 1 1 五、發明說明（） 但，由於凹部的内面排斥墨水，屬於具有睨槙性的面 ，因此墨水進入凹部以後墨水滾輪從版分離時，附著於 墨水滾輪方面，有所諝從凹部脱離的間題。 在此特開平4-35989號所掲示的技術，傺在待開昭Μ-ΐ 3 7 9 8 9號公報 所示的 印刷板 和印刷 方法的 改良。 後者， 在販的表面没有墨水排斥層，以硬質的如鍍鉻材料或不 銹鋼板等的材料形成》此時，如果使用刮刀抹墨水，儘 管凹部的内面傜和墨水不親和的性質，有時表面的硬質 層的Β部内面和墨水親和，可抹墨水》由於襯背材傜伸 縮性，因此依加壓達成推出墨水作用，暫時没有轉錄墨 水於剛性板的問題。而且，為改善形狀，可在販内使墨 水硬化，如上逑雖可將墨水硬化物推出於被印刷物方面 ，但不能對於被印刷物的表面賦與阽接劑轉錄。因為販 面和被印刷物會因粘接劑而粘按。 為避免粘接，如果使用砂樹脂或氟樹腊，將版的表面 對於墨水或拈接材製成脱模性，由於以刮刀刮掉墨水時 因其樹脂柔軟，因此會造成受傷，耐久性相當低的問題。 改良該抹墨水法者，就是待開平4 Μ 0 9 3 6號公報，特 開平5-24117 5號公報所記載的方法。亦即，以具有脱模 性的薄膜將墨水推入凹部内的方法》如果依本方法，儘 管硬化凹部的墨水時，或不硬化時，仍然不會被刮掉凹 部的墨水，或被凹部輪轉滾輪取掉》 但，僅表示抹墨水和硬化的方法，未表示其裝置。並 且，抹墨水於凹版時，有另一種問題《那就是氣泡的捲 -1 3 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公楚） (請先„閲讀背面之注意事項再填寫本頁) '裝 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 469476 _B7___________ 12 五、發明說明（） 入，Η販的販深度變深，模型就變成微細’ 墨水的 粘度，填充速度越快，越容易發生。對於此問題往上面 所示的申請專利並没有任何記載》 .茲説明有關以輪轉方式連缠製造平面上的電獎顯不面 板的隔牆方法如下：以公知技術而言’有特_$8-32U58號公報，特開平1G-1Q1373號公報所掲示的技術。 第5圖〜第7圔表示特開平8-321258號所掲示的方法 等，但本公報所掲示的技術，以下列兩過程為要件。 (1) 使用形成由電漿顯示面板的隔牆部的腑模用形狀 所成之販凹部71的凹販54，使含有玻璁料的電離放射線 硬化樹腊53至少镇充於該凹販54的販凹部71，同時使接 臌薄膜基材61,趁該薄膜基材61接觸凹販54的期商照射 電離放射線51,其介在於該薄膜基板61之間的上逑電離 放射線硬化型樹脂53以後，從凹部剝離該薄膜基材61和 該電離放射線硬化樹脂靥5 3的過程。 (2) 在電漿顯示面板基板的表面緊貼上述該薄膜基材 上具有阻檔層部的彤狀之被硬化的電離放射線硬化型樹 脂靥面以後，燒製的過程。 亦即，為獲得所希望的隔牆形狀，以（1)首先將它形 成於薄膜基板上，其次以（2)轉錄於玻璃基板上。 上述製造方法的問題，（1)首先形成於薄膜上，將它 轉錄因此確保倥置精度（尺寸精度）相當困難。因為，隔 牆必需對準進入其間的電極和位置，要求精度±5〜10 # m/n程度。 -14- 本紙張尺度適用t國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） —>·--->-------,裝--------訂---------線.}1 <請¾閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 6 9 4 7 6 a? ___B7_ 五、發明說明（） 在第5 隔牐的縱向和薄膜的縱向正交0如果朝第 5圖所示的方向彤成隔牆時，直接影驟薄膜的伸縮，例 如在實用例所使用的聚酯薄膜，轉錄畤朝縱向實施精密 构拉伸控制，調整聚酯薄膜的延伸，必需調節隔牆的節 距。 而且如果將隔牆形成於第5圖所示的正交方向，亦卽 ，朝隔牆的縱向和薄膜的縱向一致的方向，仍然餺要横 向的精密張力控制。此時，為防止發生隔牆的斷線等的 缺陷仍然需要薄膜縱向的張力。纏繞也相當困難。如第 6圖所示，轉錄於薄膜上以後，最好是製成平面β (2) 而且，從背面基板觀看時，隔牆的形狀最好是梯 形，但如果屬於如第6圖及第7圓所示的形狀，由於凹 販的形狀接近表面的部分變窄，因此從凹販剝離硬化的 隔牆材非常困難^容易脱模的形狀時形成反掸形。 (3) 對於本方法也會造成的問題，就是氣泡的滲透^ 但，對於此點，在上述公報卻没有任何記載。 其次，對於特開平U - 1 01 3 7 3，靥於非常籠統，概念 !|---,------、裝--------訂---------線 r-r ,—'/ t : 丨.' <請先M讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 利一τί面 不張 專I 平 只主 請Η 括 ，是 申 3 包 β 外不 此 3 也及以也 於01為提者 ， 括-1認有料且 包10，也材而 也平 式報性 C 法開 轉公塑已 方特 輪逑可而 置在 是上熱逑 裝示 僅，用陳 的表 不形使以 明圖 利情除加 發 8 專此報法 本第 請於公方 。 申 關 此 的 利份 本但，知 專部 在，説已 請一 ，形來中 申的。且情結集 的法圖而的總是 性方的 狀 過 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 4 69 47 6 A7 B7 14 五、發明說明（） 在特定的組合可獲得頴著的效果。 但，不能得知有關將習用方法宵際加以具體化的裝置 。其基本理由為，因為有儘管在構想上可獲得，但實用 上有困難，或相當不容易存在確保精度的具體裝置，或 耐久性不足等的問題》 例如，對於供給於滾輪的墨水，刮掉位於不需要郜份 墨水的方法，在持開平1G_1Q1373號公報，如第8 _所 示以稱為刮刀的構件刮掉。但，如果採用該方法，若非 滾輪的表面的硬度相當高，而且滑動性良好*在經濟面 上會損傷凹販的表面❶因此，在照相凹販印刷，使两規 定鍍鉻表面的金屬滾輪。而在塑膠滾輪亦具有此構想， 雖考慮到各種的優點，但由於硬度不足而磨損因此未被 使用。 在特開平10-101373號公報所示的技術，對於滾輪的 表面硬度或耐磨耗性並沒有任何記載。但，在實施例以 室溫硬化型矽材UTV141)形成矽酮橡膠模，在實施例使 用。由於RTV的橡膠硬度只有HO,因此認為實際上在耐 久性方面有疑盧。一方面，販硬時，不能印刷於玻璃基 請 先. 閱 讀 背 面 之 注 意 事 項 再 填 本 頁 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 40細示 具 供精顯 仍 提高漿 窄 ，的電 變 於元的 度 在單越 寬 的示卓 牆. 目顯性 隔 1 電久 管 第放耐 儘 ，現， 供 成實光 提 所可發 於6-題-的 在-1 課易確。， 述容正法的 上化示方目 。於面顯造 2 上鑑畫定製第 體係大穩其的 剛明的可及明 的發上，，發 等本以化板本 板 时度面 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） A7 4 6 9 47 6 五、發明說明（） 有不傾倒的隔牆，對於背面基板背面的發光光線洩漏少 ，電極和隔牆的位置關傺正確，而且沒有電極的斷線， 短路的電槳顯示面板^ 本發明的第3目的，在於提供對於玻璃基板可垂直豎 立透明隔牆，而且可光滑地形成其透明隔牆側面的電漿 位址液晶面扳構造其製造方法。 本發明的第4目的，在於提供可依凹販輪轉方式，將 具有厚度的凸模型，再_性良好地直接形成於剛性扳的 具有量産性的方法及裝置。 [發明之掲示] 依發明第1樣態的第1彤態，即提供一種電漿頌示面 板其具備有背面基板，和配置於此背面基板上的隔牆， 和裝設於由前逑背面基板上的前述隔脑匾隔區域的電極 ，和包覆此電極的介電體層，前逑隔腌及介電體層偽由 包活同一低融點玻璃料所形成的β 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 依本發明第1樣態的第2形態，卽提供一種具備形成 隔牆及介電體層過程的電漿顯示面板之製造方法在隔牆 形成用凹販，填充包括前述糊狀隔牆彤成材料的過程 將琪充有前逑糊狀隔牆形成材料的隔牆形成用凹販重g 於基板，將前逑糊狀的隔牆形成材料轉錄於前述基板上 的過程，及藉由加熱轉錄於前述基板上的糊}^ 材料，燒掉其有機成份，同時使玻璃料燒結^ Η列舉本發明第1樣態的理想實施樣態如 (1)介電體層的膜厚應茌5〜50# nu -17* 本紙張尺度適用尹國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） A7 469 47 6 B7 _____ *~' Γδ 五、發明說明（） (2) 介電體層的膜厚應在5〜2D# me (3) 介電體層應具有由隔牆形成材料所成的層，和由 與隔牆形成材料不同低融點的玻璃糊所成的層之兩層構 埤β

(4) 介電體層的膜厚應在5〜20/um，介電體層應具有 由隔牆形成材料所成的層和由與隔牆形成材料不同的低 融點玻璃糊所成的層之闱層構造Q (5) 將糊狀的隔牆形成材料填充於隔牆形成用凹販， 同時在凹版上形成一定厚度的介電體層，應轉錄於基板 上。 依本發明的第2樣態，即提供具備背面基板，和配置 於此背面基板上的隔牆，和裝設於由前述隔牆區_領域 的電極，前逑隔脑僳由和前述背面基板接觸的底部構造 ，和從此底部朝上方突出的上部構造所成的凹模結構體 ，前述電極被配置於前逑凹模的開口部底部的電漿顆示 面板β 依本發明的第1樣態，因為由裝設於以背面板和該背 面板上一體化的隔牆所包圍的放電頴示單元底部的介電 體所成的介電體層，其厚度最適化且形成均勻，因此形 成介電體層的介電體電荷量被均勻化，為控制每放電顯 示單元發光的電壓大致相同，可達成穩定的正確發光顏 不0 而且，形成介電體層的介電體形成材料，僳和形成隔 牆的材料相同，並且由於可和隔牆同時形成，因此在電 -1 8 _ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請<閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝——訂i — ！·!線^'y * i· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 4 6 9 4 7 6 ___B7__ pj 五、發明說明（) 漿潁示面板的製造過程，可提高生産生，減少成本。 玆列舉本發明第2樣態的理想實施樣態如下： (1) 電極以外的部份的能見光反射率，在未塗敷螢光 體的狀態應在50¾以上，最好70¾以上。 (2) 在凹模的結構體的開口部的底部形成凹部，應在 其凹部配置電極。 (3) 電極的寬度躔和前述凹模的結構體的開口部的底 部尺寸相同。 (4) 電極應由金颶線或金屬板所成。 (5) 凹模'的結構體的底部構造的厚度，應在凹部的上 部構造的寬度以上。 (6) 形成於凹模的結構體的開口部底部的凹部底部的 厚度，應在凹部的上部構造的寬度以上。 (7) 在凹模的結構體的底部形成介電體層，前逑凹模 的結構體的底部構造的厚度，和前逑介電體層的厚度的 和，應在前逑凹部的上部構造的寬度以上》 依本發明的第3樣態的第1形態，即提供具備背面基 板，和形成於此背面基板上的透明介電體層，和形成於 此透明介電體層上，由和前述透明介電體層同一材料所 成的透明隔牆，和形成於前逑透明介電體層上的陽極， 和形成於前逑透明介電體層上陰極的電漿位址液晶面板 的背面板β 玆列舉本發明的第3樣態的第1形態的理想實施樣態 如下： -19- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請t閱讀背面之注§項再填寫本頁) 裝------- 訂 ------線·^I · 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 Μ濟部智慧財產局員工消費合作社印製 469476 Α7 Β7 18 五、發明說明（） (1) 透明介電體層的膜厚應在3〜15# m。 (2) 透明隔牆的侧面和前述背面基板所成的角度應在 85 ° 〜95° 0 (3 )透明隔牆的側面的表面粗度應在1 # ®以内，大致 光學平面。 (4)陽極及陰極應由同一材料所成〇 . (5)陽極及陰極，應由含有以上的厚膜或電鍍膜 所成。 (6) 陽極及陰極，應由含有A18Q 3：以上的厚膜或蒸鍍膜 所成。 (7) 陽極和陰極中，至少陰極應具有兩層構造。 (8) 如申請專利範圍第16〜19項中任何一項所記載的 電漿位址液晶面板的背面板β (9) 依具有感光性的同一材料將陽極及陰極作為底層 電極形成，應至少在陰極實施對於放電氣體陽離子具有 耐濺射性，含有Ni8 0%以上的保護電鍍。 (10) 底層電極應使用慼光性A g糊形成β 依本發明的第3樣態的第2形態，卽提供具備在基板 表面塗敷含有玻璃料糊狀隔牆彩成材料的過程，藉由隔 牆形成用凹販，冲壓前逑基板表面的糊狀的隔牆形成材 料，形成隔牆模型的過程，藉由加熱前述隔牆模型使燒 掉有機成份，同時藉由使燒結玻璃料形成透明隔牆及透 明介電體層的過程，及在前逑透明介電體層上形成陰極 以及陽極過程的電漿位址液晶面板的背面板的製造方法。 _ 2 0 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） —..----------".裝--------訂---------線'V {請先、閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 469476 B7_ 19 五、發明說明（） 而且，依本發明的第3樣態的第3形態，即提供具備 在隔牆形成用凹販埋入含有玻璃料的糊狀隔牆形成材料 ，同時在凹販上彤成一定厚度介電體層的過程，將埋入 _述隔牆形成材料的隔牆形成用凹販重簦於基板，將前 述糊狀的隔牆彤成材料轉錄於前逑基扳上，在基板上形 成隔牆模型的過程，藉由加熱前述隔牆模型使燒掉有機 成份，同時藉由使燒結玻璃料形成透明隔牆及透明介電 體層的過程，及在前述透明介電體層上形成陰極以及陽 極過程的電漿位址液晶面板的背面板的製造方法。 玆列舉本發明的第3樣態的第2形態和第3形態的理 想實施樣態如下： (1) 陽極及陰極應依無電解電鍍法形成。 (2) 陽極及陰極應塗敷糊質厚膜，塗敷液體光致抗蝕 劑，形成圖案依噴砂形成電極模型，依燒製形成。 (3) 陽極及陰極應依感光性糊質法形成。 (4) 陽極及陰極應依蒸鍍法形成β (5) 陽極和陰極中，至少陰極具有兩層構造，兩層構 造的底層電極，應藉由依耐電漿陽離子濺射的材料實施 電解電鍍形成。 如果依本發明的第4樣態的第1形態，即提供具備在 剛性板的表面形成電離放射線硬化型樹脂組成物的硬化 凹凸模型之輪轉方式的凹凸模型形成裝置，將作為目的 之凹凸模型，作為具有脱模性表面的凸凹模型。在凹版 輪轉滾輪和茌前逑凹販輪轉滾輪和具有脱模性的電離放 *-21- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） r (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) i I I I I —1 · f 1 ------ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 469476 Α7 Β7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 2 Ο 五、發明說明（） 射線透射薄膜之間一面將電離放射線硬化性樹脂組成物 維持規定的厚度一面連缠地夾入的機構，和以夾入的狀 態照射電離放射線的機構，和硬化電離放射線硬化性樹 P組成物以後，從上述凹版輪轉滾輪表面剝離電離放射 線透射薄膜的機構，和將前述剛性板供給於前述凹販輪 轉滾輸上，和藉由電離放射線照射硬化的電離放射硬化 性樹脂組成物，一面保持規定的校準精度一面使重昼加 壓狀態的機構，和使形成加壓狀態以後，從上述凹販輪 轉滾輪表面剝離前逑剛性板機構的凹凸模型形成裝置β 而且，依本發明的第4樣態的第2形態，卽提供具備 為在剛性板的表面形成電離放射線硬化型樹脂組成物的 硬化凹凸模型的輪轉方式的凹凸模型形成方法，而將目 的之凹凸模型，作成具有脱模性表面的凸凹模型，在凹 版輪轉滾輪和具有脫模性電離放射線透射薄膜之間一面 將電離放射線硬化性樹脂組成物維持規定的厚度一面連 灌地夾入的過程，以夾入的狀態照射電離放射線的過程 ，硬化電離放射線硬化性樹脂組成物以後，從前述凹販 輪轉滾輪表面剝離電離放射線透射薄膜的過程，將前逑 削性板供給於前述凹販輪轉滾輪上，和藉由電離放射線 照射硬化的電離放射線硬化性樹脂組成物，一面保持$ 定的校準精度一面重曼使形成加壓狀態的過程，及使形 成加壓狀態以後，從前述凹販輸轉滾輪剝離前述剛性板 過程的凹凸模型形成方法。 玆列擧本發明的第4樣態的第1及第2形態的理想實 -22- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 -----訂---------線3-1· 4 6 9 4 7 6 A7 B7 2 1 五、發明說明（） 施樣態如下： U)凹販輪轉滾輪的表面應由矽樹脂所成。 (2 )在供給於凹販輪轉滾輪上的剛性板，應再具備預 先塗敷粘接劑或膠接劑的機構或過程。 (3 )在使硬化的電離放射線硬化性樹脂組成物的表面， 應再具備塗敷轉錄用樹脂的機構或過程。 (4)具有脱模性的電離放射線透射薄膜的寬度，應較 前逑凹販輪轉滾輪的寬度寬。 (5 )在凹販輪轉滾輪和具有脱模性的電離放射線透射 薄膜之間一面將電離放射線硬化性樹膈組成物維持規定 的厚度一面連續地夾入的機構或過程，應在具有脫模性 的電離放射線透射薄膜的表面預先塗敷電離放射線硬化 性樹脂組成物，和凹版輪轉滾輪重璺的機構或過程。 (6)在具有脫模性的電離放射線透射薄膜的表面應再 具備預先塗敷粘接劑或膠接劑的機構或過程。 (7 )在凹販輪轉滾輪和前述電離放射線硬化性樹脂組 成樹開始接觸的部份應再具備供給液體的機構或過程。 (8 )在凹販輪轉浪輸和前述剛性板開始接觸的部份應 再具備供給液體部份的機構或過程。 (9)剛性板的移動機構，具有固定剛性板的機構，應 隨箸導軌移動的Χ-Υ-0工作搐。 (1 〇 )對於凹板輸轉滾輪和前逑剛性板的雙方，應在對 應的位置形成校準記號，預先將凹販的校準記號轉錄於 前述剛性板，計量轉錄於剛性板的凹販校準記號和剛性 -2 3 " 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝-------訂-------線'、 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 6 9 4 7 6 A7 _B7_ — ： 五、發明說明（） 板的校準記號的位置偏離，調節因應它固定剛性板的 Χ-Υ-0工作檣的位置，實施校準。 [圔示之簡單說明] .第1圖僳表示一般電漿顯示基板背面板的剖面圖。 第2圔係說明電漿位址液晶面板構造的斜視圖。 第3圚係說明電漿位址液晶面板構造的剖面圔。 第4圔僳表示習用電漿位址液晶面板的背面板製迫過 程圖。 第5〜7圖偽表示習用電漿顯示面板的隔牆的形成方 法及隔牆形狀圖。 第8圖僳表示習用電漿顯示面板的隔牆形成方法的圖。 第9圖條表示用於本發明第1樣態的隔牆形成用凹販 一例的圖， 第10圖微表示在用於本發明第1樣態的隔藏形成用凹 版瑱充隔牆用材料的狀態圖β 第11圖傲表示彤成本發明的第1樣態電極模型的玻璃 基板和填充隔牆形成用材料的隔牆形成用凹販對準位置 的狀態圖。 第12圖偽表示使用本發明的第1樣態的膠接劑或粘接 劑等轉錄過程圔。 第13函傺表示本發明的第1樣態的介電體層在兩層構 造時的基板上形成介電體層的狀態圖。 第14圖傺表示本發明的第1樣態的介電體層在兩層構 造時的凹販上形成介電體層部份的狀態圖a "24- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） <請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) Μ--------訂---------線·Λ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 6 9 4 7 6 A7 B7 2 3 五、發明說明（ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 凹 。的面 面面面 面面面 面構其 用 圖板 觜 背 背 背 背背背#板板 成的'面的 的的的 的的的 的面面 形.板背板 板板板 板板板 板晶晶 牆 面的 基 基.基 基 基 基 基 基 液 液 隔 背板 示 示 示 示 示 示 示 示 址 址 態 後基 顯 顯 顯 顯 顯顯顯 顯位位 樣 製示 漿 漿 漿 漿 漿 漿 漿 漿 漿 漿 1 燒顆電 電電電 電電電 電電電 第 的漿的 的的的 的的的 的的的 明 態電態 態態態 態態態 態態態 發 樣的樣 樣樣樣 樣樣樣 樣樣樣 ,κ. ^ 1 £. 2 2 2 2 2 2 2 2 3 3 於第樣 第第第 第第第 第第 第 第 用明2 明 明明明 明明明 明明明 離 發第 發。發。發。發。發。發。發。發。發 發 剝本明 本圖本園本圖本圖本.圖本圖本圔本圔本 本 示 示發 示面示面示面示面示面示面示面示面示 示 表。表本 表剖表剖表剖表剖表剖表剖表剖表剖表 表 偽圖像傺 像的傷的傜的偽的傜的傺的傜的條的傜 偽 圖態圖圖。圖例圖例圔例圖例圖例圔例圃例圃例圔 β圔 1狀1 1圖1他1他2他2他22他23他24他25他26圖27 第的第第面第其第其第其第其第其第其第其第其第的第 販 .剖 板板板 板板板 板板造 ，(請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS〉A4規格（210 X 297公釐） A7 469476 B7_ 2 4 五、發明說明（） 他例構造的圖。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 第28圔像表示本發明第3樣態的透明隔牆及介電體層 製作過程的圓。 第29圖傺表示本發明笫3樣態的電極製作過程的圖。 第30圔傈表示本發明第3樣態的透明隔牆及介電體靥 的其他例的製造過程圖 第31圔傺表示本發明第3樣態的電極其他例的製作過 程層。 第32圔僳表示有關本發明第4樣態凹凸模型彤成装置 的圖。 [為實施發明之最佳形態] 玆參閲圖式，說明本發明的各種實施形態如下： 首先，一面參閲圖式一面説明有關本發明的第1漾態 ，電漿顯示面板用基板的介電體層及其製造方法。 如第3圖所示，隔牆形成用凹販101,具有隔脑的相 逆形狀，對於隔牆形成用凹販1Q1而言，可使用金屬凹 販，樹脃凹販等，對於形狀而言以圓筒販或平板的狀態 使用〇 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 對於金屬凹販的典型例而言，有如用於凹販印刷的銅 販將其雕刻或腐蝕者。對於樹脂凹版而言，有在成為凹 瓯主模的金屬凸版填充樹脂影印凹販的方法，或介由光 掩楔硬化，感光性樹脂顯像而形成凹販的方法。 如第10圖所示，在此隔牆形成用凹販101,填充隔牆 形成材料10 2以便可同時形成介電體層103。具體來說不 -2 6 -本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 469476 A7 ______B7 τι 五、發明說明（） (請δ讀背面之注§項再填寫本頁) 僅是藉由刮刀片塗敷，滾輪壓機，平躔機，網販印刷， 浪輪塗敷等將隔牆形成材料1〇2填充於隔牆形成用凹販 101的溝，而且使在販上形成均勻厚度的層。因此，同 時在隔牆形成用凹販101的頂部彤成介電體層lfl3e 因採用這種方法，而可防止在凹販充填糊質時可防止 刮刀Η刮掉凹販内的糊，或氣泡捲入糊中，凹部内的殘 留糊等問題》 而且，介電體層1G3的膜厚，如果太薄即露出電棰部 份，不能連成扮演介電體層1〇3的角色，如果太厚即於 燒製基板時造成破裂或裂痕的原因β

另外，隔牆107及介電體層103，因使螢光體的發光反 射而提高亮度，喜歡用自色，其反射率高者較理想。因 此，對於隔牆彤成衬料102,添加Ti02 , Zr〇2，Al2 〇 等的白色顔料，低融點玻璃和白色顔料的比例，從燒製 過程的隔牆107的形狀的維持，隔牆1Q7的緊緻性等而通 常添加3〜30U 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 將這種隔牆形成材料102用於電極的保護層103時，如 欲獲得充份的反射率，則介電體層103的膜厚需要5# Β 以上》又，如果達到50# m以上會有位址電壓不能上昇 或設定位址不正確之虔而不理想β 從上逑理由，介電體層103的膜厚最好5-50#·，但 特別是降低位址電壓，儘量降低驅動電路的動作電壓， 如果考慮降低介電體的成本，最好在20# κ以下。 對於镇充於隔牆形成用凹販101的隔牆形成材料102而 -27-本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐〉 A7 469476 B7_ 2 6 五、發明說明（） 言，由於必需填充於凹版，最好具有流動性的糊狀。然 後，對於硬化狀態而言，可選擇蒸發硬化型，熱硬化型 ，雙液硬化型，紫外線，電子線，X射線等的電離放射 縛硬化型等。因此，對於隔牆形成材料而言，由依燒製 燒結的無機粉末成份，和賦予糊狀的流動性硬化後為保 持隔牆形狀的有機成份所成。 對於無機成份而言，在代表PbO-B2 03 -Si02的低融 點玻璃的粉末，為顯示光反射性可添加A1203, Ti02 ,Zr02等的白色顔料。但，為調整隔牆的色調等，不 一定限於添加顔料。 對於有機成份而言，雖因硬化狀態而異，但最好可在 玻璃軟化溫度以下去除粘合劑。蒸發硬化型者，句使用 使通用的天然樹脂，半合成樹脂，合成樹脂溶解於溶劑 的樹脂溶液。在熱硬化型，雙液硬化型，電離放射線硬 化盥，可依反應性樹脂，反應性單體等和聚合起始劑的 組合逹成硬化狀態。而且，組合這些硬化形態兩種以上 也坷以。 其次，將隔牆形成材料102镇充於隔牆形成用凹販101 以後，如第11画所示，預先實施包覆形成電極模型 的玻璃基板104的定位，然後在玻璃基板上，轉錄隔 艢彤成材料此時，具有使硬化隔塍形成材料2以 後轉錄於玻瑭基板的方法，和以未硬化的狀態使和 玻璃基板104接觸，以其狀態使隔牆形成材料1D 2硬化的 方法，雖可選擇任何的方法，但為避免在凹販内産生隔 -28- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） (請先„閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝--------訂---------線i' 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 469476 A7 B7 _ - :~27 五、發明說明（） 牆材料的轉錄殘留，最好預先硬化隔牆材料以後，才轉 錄。 在前者的轉錄方法，稱如第12圔所示，在隔牆形成材 _ 102和玻璃基板104之間需要膠接劑或粘接劑等106。 在後者的轉錄方法，為使在玻璃基板IfH上硬化，雖不 需要膠接劑或粘接劑等106,但為謀求提高強度使用膠 接劑或粘接劑等1 D 6也可以。 此外，如第13圖所示，在預先形成於背面板的電極模 型上形成由和隔牆形成材料不同低融點湖質玻璃所成的 介電體靥也可以<»或如第14圖所示，在隔艢的成形模 101的凹部填充隔牆形成材料以便可同時形成介電體層， 在其上形成由和一層隔牆形成材料不同的低融點釉質玻 璃所成的介電體層10 8也珩以。此外，此時，介電體層 變成依隔牆形成材料和隔牆同時形成的介電體層103和 依與隔牆形成材料不同的低融點湖質玻璁形成的介電體 層108的兩層構造β 視介電體層部份的厚度或隔牆形成材料，因玻璃基板 上的電極模型的凹凸，而燒製介電體層及隔牆時，有時 會發生裂痕或破裂β如欲防止這種裂痕或破裂，即在形 成於玻璃基板上的電極模型上，形成由和隔牆形成材料 不同低融點糊質玻璃所成的介電體層才有效，藉由吸收 因電極的凹凸，加以光滑化可防止裂痕或破裂。 此外，這種低融點糊質玻璃最好僅由不添加無機混合 料的低融點玻璃料所成的糊，如果軟化點較隔牆形成材 -29- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 I !丨I丨訂·----i —線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 28469476 A7 B7 五、發明說明（ 料低者，使用市售的介電體猢也無妨。 然後，如第15圔所示，燒製轉錄隔牆107的玻璃基板 104,使有機成份消失，藉由燒固玻璃成份，如第16圖 戸万示，可形成具備無機物的隔牆1G 7及介電體層1Q3的電 漿顯示面板的背面板。 按照如上述，依本發明的第1樣態，利用介電體層 103和隔牆107靥於同一材料的方法，可製造電漿顯示面 板的背面板。 Η表示本發明的第1樣態具體的實施例如下： 此外，本發明並不限定於後逑任何實施例^ [實施例1〗 隔牆形成用凹販僳使用下列者〇 凹販形態：聚苯乙烯製，平面樹脂凹阪 溝形狀：花紋狀，寬度30#ιβ,深度2flfljum，節距140 (諳先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 隔牆形成材料，偽以輪軋機充份攪拌下列組成獲得。 PbO-B 2 03 -Si02糸低融點玻璃粉末 重量比62¾ A1 2 〇 a 重量比12¾ T i 0 2 重量比8 % 二乙二醇二甲基丙稀酸酯 重量比10% 2 -羥基丙基丙稀酸酯 重童比7¾ 二苯基酮 重量比U 依輪壓機將以這種方式獲得的隔牆形成材料，填充於 具有屬於隔牆相逆形狀凹模的聚苯乙烯製的平面凹販， "30- }裝----- - 訂------—--- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 469476 A7 B7 2 9 五、發明說明（ 同時形成隔牆部份和介電體層部份。然後，以2000ml/cra2 的條件將紫外線照射於隔牆形成材料。 (請^閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 其次，以5 # in的厚度全面塗敷丙烯酸樹脂条粘接劑在 玻璃基板上，將镇充有隔牆形成材料的凹販定位接觸， 以5 Kgf/cm2的壓力實施平冲壓。 以後，剝離凹販，以5 8 0 °C燒製3 0分鐘，結果可形成 介電體層部份的厚度係10 且均勻的背面板。 [實施例2 ] 隔牆形成用凹販僳使用下列者。 凹販形態：矽酮橡膠製，平面樹脂凹板 溝形狀：花紋狀，寬度3〇Am,深度200；«ιη3節距140 μ D1 隔牆形成材料，藉由以輪軋機充份攪拌下列組成獲得。 PbO-B 2 0 3 -SiO 2条低融點玻璃粉末 重童比62¾ A 1 2 〇 a 重量比1 2 %

Ti〇 2 重童比8¾ 二乙二醇二甲基丙稀酸酯 重量比10% 2 -羥基丙基丙稀酸酯 重量比7¾ 二苯基酮 重量比1%_ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 依刮刀片將以這種方式槙得的隔牆形成材料，填充於 具有靥於隔牆逆形狀凹模的矽酮橡膠製平面凹販，同時 形成隔牆部份和介電體層部份〇然後，以2G0〇Bil/cm2 的條件將紫外線照射於隔牆形成材料。 其次，作為粘接劑在以厚度5/im全面塗敷丙烯酸樹脂 -31- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 4 6 9 47 6 A7 B7 30 五、發明說明（ 糸粘接劑的玻璃基板上，定位接觸填充隔牆形成材料的 凹販，以5 Kgf/cm2的壓力實施平沖壓。 以後，剝離凹販，以5 8 ΟΌ燒製3 0分鐘，結果可形成 介電體層部份的厚度係10/ί IB而均勻的背面板。 [實施例3 I 作為隔牆形成用凹販，使用下列者β 凹販形態：砂酮橡膠製，平面樹脂凹板 溝形狀：花紋狀，寬度50只《1，深度150#in，節距150 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 μ m 隔牆 PbO-A 1 2 T i 0 ： 二乙 2-羧 二苯 以刮 於具有 時形成 的條件 其次 糸粘接 凹販， 以後 形成材料，藉 B 2 0 a - S i 0 2 二醇二甲基丙 基丙基丙稀酸 基_ 刀片將以此這 屬於隔牆逆形 隔脯部份和介 將紫外線照射 ，作為粘接劑 劑的玻璃基板 以 5 Kgf/cia2 ，剝離凹販， 由以輪軋機充份攪拌下列組成獲得 条低融點玻璃粉末 重量比62% 重畺比1 2 % 重量比8¾ 稀酸酯 重量比1 0 % 醋 重量比7¾ 重量比1 % 種方式獲得的隔牆形成材料，填充 狀凹模的聚苯乙烯製平面凹販，同 電體層部份。然後，以2〇〇0ral/cm2 於隔牆形成材料。 在以厚度5# m金面塗敷丙烯酸樹脂 上，定位接觸槙充隔牆形成材料的 的壓力實施平冲壓。 以58(TC燒製30分鐘，結果可形成 -3 2 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先酊讀背面之注意事項再填寫本頁) 舞. A7 469476 ____B7___ ___ — 五、發明說明（） 介電體層部份的厚度傺8# 111而均句.的背面板。 [實施例4 ] 作為隔脑形成用凹販，使用下列者。 凹販形態：聚苯乙烯製，平面樹腊凹板 溝形狀：花紋狀，寬度50/Um，深度15〇jUB，節距150 μ m 隔牆形成材料，藉由以輪&機充份擬伴下列紐成獲得β

Pb0-B203-Si02条低融點玻璃粉末 重量比62X

Al 2 0 3 重量比12¾ 重量比8%

二乙二醇二甲基丙稀酸酯 重量比10X

2-羥基丙基丙稀酸酯 重量tbU

二苯基酮 重：SbblX 依網販印刷將以這種方式獲得的隔牆瑕成財料，填充 於具有藤於隔牆逆形狀凹模的聚苯乙稀製的平面凹販， 同時形成隔牆部份和介電體層部份β然後，以2〇〇0®1/cn 的條件將紫外線照射於隔牆形成用材料。 其次，作為粘接劑在以厚度5#m全面塗敷丙嫌酸樹脂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 的 料 材 成 形 牆 隔。 充鼯 填冲 觸平 接施 位實 定力 ，一158 上的以 板 2 ， 基cm販 璃f/凹 玻Kg離 的 5 斜 劑以， 接，後 粘販以 条凹 製 燒 °c 2 動 度驅 厚板 的面 份作 部製 層板 體面始 電背閬 介此電 係 壓 電 格 一規 4 )A s) N (c 準 標 家 國 國 中 用 適 度 尺 張 紙 本 成 形 可 果 結。 ，板 鐘面 分背 30的 勻 均 而 像 壓 電 以放 ，址 外位 此， |釐 公 97 469 47 ¾ A7 B7 3 2 五、發明說明（ [實施例5 j 作為隔牆形成用凹版，使用下列者》 凹販形態：聚苯乙烯製，平面樹脂凹板 溝形狀：花紋狀，寬度SDaiii,深度l5Q#in，節距150 μ m 隔牆形成材料，藉由以輪軋機充份攪拌下列組成獲得。 PbO-B 2 〇3 -Si02糸低融點玻璃粉末 重量比62% A 1 2 〇 a 重量比12%

TiO 2 重量比8 % 二乙二醇二甲基丙稀酸酯 重童比1035 2 -羥基丙基丙稀酸酯 重量比7¾ 二苯基酮 重量比1 % 依網版印刷將以這種方式獲得的隔牆形成材料，填充 於具有屬於隔牆逆形狀凹模的聚苯乙烯製的平面凹販， 同時形成隔牆部份和介電體層部份。然後，以2Qfl0nil/cm 的條件將紫外線照射於隔牆形成用材料。 其次，作為粘接劑在以厚度5 # m金面塗敷丙烯酸樹脂 条粘接劑的玻璃基板上，定倥接觸镇充隔牆形成材料的 凹阪，以5 Kgf/cm 2的壓力實施平冲壓β ' 以後，剝離凹販，以580 °C燒製30分鐘，結果可形成 介電體層部份的厚度40απι而均勻的背面板。此外，以 此背面板製作面板驅動，結果位址電壓需要607，位址 放電開始電壓係2 5 0 V。 [實施例6 3 3 4- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）

諳 晃· 閱' 讀 背/ © 之 注 意 事 項 再 I裝 本 頁 I I 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 469 476 A7 B7 3 3 五、發明說明（ 作為隔牖形成用凹販，使用下列者。 凹販形態：矽酮橡膠製，平面樹脂凹板 溝形狀：花紋狀，寬度7〇αιβ，深度175αιη，節距360 Μ 隔牆形成材料，藉 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 P b 0 - B 2 〇 a A 1 2 〇 a T iO 2 二乙二酵二 2 -羥基丙基 二苯基_ 依輪軋機充 同的介電體層 P b 0 - B 2 0 3 乙烯纖維素 丁基卡必醇 由輪壓機將 具有颶於隔牆 時彤成隔牆部 的條件將紫外 其次，以非 5々m形成和隔 層的玻璃基板 酸樹脂条粘接 由以輪軋機充份攪拌下列組成獲得 -Si02条低融點玻璃粉末 重量比62¾ 重量比1 2 X 重最比Μ 甲基丙稀酸酯 重量比10¾ 丙稀酸醋 重置比7JJ 重量比IX 份攪拌下列組成，作為和隔牆形成材料不 材料。 -Si02条低融點玻璐粉末 醋酸 以這種方式獲得的隔牆形成 逆形狀凹模的矽酮橡膠製的 份和介電髏層部份β然後， 線照射於隔牆形成用材料β 附著形成電極模型，在依網 牆形成材料不同低融點玻璁 上，作為粘接劑以厚度5 # η 劑。然後，定位接觸填充隔 重量比6 0 % 重量比1 5 3： 重量irb 2 5¾ 材料，填充於 平面凹販，同 以 2000tnl/cm2 販印刷以膜厚 糊所成介電體 金面塗敷丙烯 牆形成材料的 {猜^閲讀背面之注意事項再填寫本頁) Μ 0 ----訂---------終 -35- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐〉 4 69 476 A7 B7 五、發明說明（ <請先閱讀背面之fi意事項再填寫本頁) 凹販和玻璃基板，以5 Kgf/cm2的壓力實施平沖壓β 以後，剝離凹販，以580 °C燒製3Q分鐘，結果可形成 介電體層部份的厚度ΙΟ^ιη而均勻的背面板。 [實施例7 ] 作為隔牆形成用凹販，使用下列者。 凹販形態：矽酮橡腠製，平面樹脂凹板 溝形狀：花紋狀，寬度70/ίΐη,深度175Λίΐη,節距360 μ m 隔牆形成材料，藉由以輪軋機充份搔拌下列組成獲得 PbO-B 2 〇3 -Si02条低融點玻璃粉末 重量比62% A 1 2 〇 a 重量比12¾

Ti〇 2 重量比8% 二乙二醇二甲基丙稀酸酯 重量比10¾ 2 -羥基丙基丙稀酸酯 重量比7¾ 二苯基酮 重量比1% 依輪軋機充份攪拌下列組成，作為和隔牆彤成材料不 同的介電體層材料。

PbO-B 2 〇3 -Si02条低融點玻璃粉末 重量比60¾ 乙烯纖雒素 重量比15¾ 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 丁基卡必醇醋酸 重量比2 5 % 由輪壓機將以此方式獲得的隔牆形成材料，填充於具 有屬於隔牆逆形狀凹模的矽酮橡膠製平面凹販，同時形 成隔牆部份和介電體層部份。然後，以2000nil/cin2的 條件將紫外線照射於隔牆形成材料。 -36-本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格<210 X 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 6 9 4 7 6 Α7 _____Β7 五、發明說明（ 接著，以膜厚依網販印刷將和隔牆形成材料不同 的介電體層材料，印刷於形成隔牆部份和介電體層部份 的凹販上》其次，在預先形成電極棋型的玻璃基板上， 作為拈接劑以厚度5# m金面塗敷丙烯酸樹脂条粘接劑。 然後，定位接觸填充隔牆形成材料的凹販和玻璃基板， 以5 K g f / c m 2的壓力實施平冲壓 以後，剝離凹販，以5 8 0 -c燒製3 〇分鐘，結果可形成 介電體層部份的厚度m而均勾的背面板。 [比較例1 ] 作為隔牆形成用凹版，使用下列者。 凹販形態：聚苯乙稀製，平面樹脂凹板 溝彤狀：花紋狀，寬度50«m,深度Wbra,節距15〇 μ m 隔牆形成材料，藉由以輪軋機充份攪拌下列組成獲得。 μ〇-β2 〇3 -Si〇2条低融點玻璃粉末 重量比62Χ A 1 2 〇 3 重最比1 2 !ϊ

TiO 2 重量比8¾ 二乙二醇二甲基丙稀酸酯 S 重量比1 0 S； 2-羥基丙基丙稀酸酯 重量比7 3； ·

二苯基酸 重置tbU 依網販印刷將以這種方式褸得的隔牆形成材料填充 於具有屬於隔牆逆形狀凹模的聚苯乙烯製的平面凹販， 同時形成隔牆部份和介電體曆部份β然後以 的條件將紫外線照射於隔牆形成材料β -37- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先1閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝--------訂---------線' 469476 A7 B7 3 6 節距1 50 五、發明說明（ 其次，作為粘接劑往以膜厚5# m全面塗敷丙烯酸樹脂 糸粘接劑的玻璃基板上，定位接觸填充隔牆形成材料的 凹販，以5 Kgf/cm2的壓力實施平沖壓。 .以後，剝離凹販，以5 8 (TC燒製3 0分鐘，結果可形成 介電體層部份的厚度6〇απι而均匀的背面板，但於燒製 時在隔牆部份及介電體層部份發生多處裂痕或破裂，不 能獲得作為背面板的良品。

[比較例2 I 作為隔牆形成用凹販，使用下列者a 凹販形態：聚苯乙烯製，平面樹脂凹板 溝彤狀：花紋狀，寬度50/ίΐη,深度150#d Μ 隔牆形成材料，藉由以輪軋機充份攪拌下列組成獲得 PbO-B 2 〇3 -Si02条低融點玻璁粉末 重量比62¾ A1 2 〇 3 重量比1 2 % T i 〇 2 重量比8 3； 二乙二醇二甲基丙稀酸酯 重量比10% 2 -羥基丙基丙稀酸酯 重量比7¾

二苯基_ 重量l;fcU 由刮刀片將以此方式獲得的隔牆形成材料，填充於具 有靥於隔牆逆形狀凹模的聚苯乙烯製平面凹販，同時形 成隔牆部份和介電體層部份。然後，以200Gml/cin2的 條件將紫外線照射於隔牆形成材料。 其次，作為粘接劑在以膜厚5# m全面塗敷丙烯酸樹脂 -38- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先，閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ^裝--------訂---------線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 469476 Α7 Β7 37 五、發明說明（） 条粘接劑的玻璃基板上，定位接觸填充隔牆形成材料的 凹販，以5 Kgf/cm2的壓力實施平冲壓。 以後，剝離凹販，以58(TC燒製30分鐘，結果雖可形 咦介電體層部份2//ια的苛面板，但以刮刀片將隔牆形成 材料填充於凹販時介電體靥部份不能填充一部份，具有 露出電極的部扮。 如上述，若依有關本發明第1樣態的電漿頭示面板的 隔牆及介電髒層的形成方法，因使用隔牆形成用凹販同 時以同一材料形成隔牖及介電體層，而可提供製造過程 簡便，材料成本也低廉的電漿顯示面板用背面板。 玆參閲圖式説明有關本發明的第2樣態如下：此外， 在圃式雖僅表示隔牆3排份，但實際上由視電漿顱示面 板規格的規定數量的隔牆排列構成基板β 在本發明的第2樣態，隔牆並不是作為分別獨立的柱 構成，而是如第17圔所示，由將底部作為共通的形狀， 亦即，隔牆具有凹模形狀的構造部所成β 亦卽，在玻璃基板201上，形成具有凹模形狀的隔牆 202，在此隔牆2Q2的凹部内配置電極2Q3,並且形成由 介電體層204包覆凹部内電極203上的構造。 如果依這種隔牆2D2的構造，由於底部形成共通，因 此儘管隔牆寬度變窄仍然不容易傾倒》而且，由於電極 形成於其凹部内部，因此形成隔牆以後可形成電極2〇3 。結果電極20 3等於可形成於預先依隔牆20 2隔開的部份 ，可抑制發生電極203的短路。 -39- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)Α4規格（210 X 297公楚） 〈請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -^裝--------訂！---線、 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 469476 A7 B7 38 五、發明說明（ 而且，藉由具有能見光的反射率以上的材料’構 成隔牆，可增多從各放電單元取出的光線。其理由是， 因為螢光髏的發光中，因由隔牆反射漏出於背面板背面 f,而可增加貢獻顯示的成份》 在第1 3圖所示的構造，凹部再形成於構成隔牆2 0 2的 凹模結構體的凹部内側的底部，在其凹部配置電極203 。如果依這種構造，卽於形成隔牆202時，規定電極203 和隔牆2 G 2的相對位置關偽。因此，可獲得電極2 〇 3和隔 腌2G2的相對位置關傺正確的電漿顯示面板。 在第19圖所示的構造，將電極2C3的寬度設定為和鄰 接的隔牆2 0 2底部間的距離（凹部的尺寸）相同。如果$ 這種構造，即可獲得不必考慮電極20 3和隔牆20 2相對位 置關條的電漿顯示面板。 在第20圖所示的構造，作為電極203使用金屬線或金 屬板。亦卽，由於將預先成肜的金屬線等作為電極使胃 ,因此不容易引起電極203的斷線，而且可獲得容易發 現的電漿顯示面板。而且，由於不需要電極燒製過程， 因此可減少過程數。 在第21圖所示的構造，作為電極203使用金规線或金 屬板。亦即，由於將預先成形的金屬線等作為電極2〇3 使用，因此不容易引起電極203的斷線，而且可獲得容 易發現的電漿顯示面板。而且，由於不露要電極燒製過 程，因此可減少過程數。 而且，由於依阻擂層的形狀決定阻擋層和電極的柑# —4 0 — 参紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (諳先•閲讀背面之注^#項再填寫本頁) .裝--------訂---------線一、 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 469476 B7 ___________ 3 9 五、發明說明（） 位置關傺，因此具有所謂簡化形成電極時的定位過程的 效果。 在第22圖所示的構造，構成隔牆202的凹模結構賭底 萍的厚度D ，形成凹部的構造部的寬度d以上。如果依 這種構造，凹部的上部構造部，亦即，等於一般的電漿 顯示的胆檔靥所稱和阻檔層的寬度同等以上的厚度層， 存在於本樣態凹模構造的底部。 因此，滲透於基板背面的光線，變成和隔牆202的摻 透光線苘等或它以下，亦即，事實上不造成間題的程度β 在第23圖所示的構造，形成於構成隔牆202的凹模結 構體内側底部的凹部厚度D ，規定凹部的上部構造部的 寬度d以上&如果依這種構造，渗透於基板背面的光線 ，變成和阻檔層202的滲透光線同等或它以下，亦即， 事實上不造成間題的程度β 在第24圖及第25圖所示的構造，構成隔牖2 0 2的凹模 結構髏底部的厚度和介電體靥204的厚度的和D ,規定 凹部的上部構造部的寬度d以上。如果依這種構造，滲 透於基板背面的光線，變成和阻擋靥202的滲透光線同 等或它以下，亦即，事實上不造成問題的程度。 玆説明有關本發明第2樣態的實施例如下： [實施例8 ] 在玻璃基板上依網販印刷法以2 0 0 ϋ的厚度塗1^ ® @ 用隔牆糊（日本電氣玻璃製PLS- 3 5 5 0 )β 然後，層合具有耐噴砂性的厚度25/fin的乾膜Μ11® -4 1 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） {請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝！ —訂i I------線、 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 169 47 6 A7 B7 4 0 五、發明說明（） 製 業Η 化 應 京 東 度以 寬燈 ， I "水 壓 15高 距用 節使 有 ，〇 具模層 由掩護 介光保 的膜. 型 模 紋 花 度□ 開 m 乾 逑 前 光 曝 1 -J 2 使 έί的 後 m 光 A 曝50 度 寬 Μ 只 ο 5 距 節 像 析 液 溶 水 鈉 酸 磺 X 2 ο 用 型 模 層 護 保 的 型 模 層 護 保 成 形 彤 成 狀 形 的 模 凹 以， ο 置糊 裝牆 砂隔 噴板 用基 使谜 前 製 業Η 化 應 京 東 /fv 液 離 *Μϋ Ο BF燥. 用乾 使洗 ，水 後-然後 以 層 護 保 離 剝 得 獲 板 基 的 層 護 保 ο f牆 斜隔 製 R ^狀 0°形 8 fc 5 模 凹 的 示 所 圄 7 li 第 如 以 爐 製 燒 風 熱 以 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 對於此隔牆使用網販印刷，在基板全面塗敷感光性銀 糊（杜邦製 FODEL DC2Q2}。 此外，塗敷時，擠壓的無規角度規定20度。 前述銀糊乾燥後，為形成電極模型，介由具有節距 150# m,寬度30# m的開口寛度的花紋模型及電極抽出 用端子模型的光掩模，使用髙壓水銀燈以2QD[raJ/cm2 ] 曝光前述乾膜保護層。 曝光後，使用0 . 2 %磺酸鈉水溶液，析像電極節距1 5 0 寬度30ΑΠ1的花紋模型，及從此處抽出的端子模型。 然後，以熱風燒製耱以550°C燒製形成電極模型的基 板，獲得電極。 依網販印刷在形成前述電極的基板將介電體湖 -4.2 ~ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 4 6 9 4 7 6 A7 B7 ** 4 1五、發明說明（）(UORITAKE製 NP-7921J)塗敷於基板全面。此外，塗敷 時，擠壓的無規角度規定20度β 然後，以熱風燒製爐以530 °C燒製塗敷介電體的基板 2 G分鐘，獲得如第17圔所示形成阻檔層，電極，介電體 的基板β實施所獲得的基板評估，結果未發生電極間的短路。 而且，不能確認隔牆的靠坻，傾倒等。 在此基板依網販倒入紅，綠，藍的螢光體燒製，完成 莆面基板。接替，準備依序在玻璃基板形成透明電極， 通路電極，透明介電體，M gO保護膜的前面基板，粘合 兩者以後，按照常法，實施真空排氣，氣體封入製作電 漿顯示面板。 例 施 實 糊 牆 隔 用 眇 噴 為 作 」u b 量 5 3 料 璃 玻 % ο 9 比 量1C »b t 钛量 b s /Ί 重 氧液 拌溶 擬素 機雒 L β 0. 0 輪烯 以乙 作 ， JC % 製 ο 介 極 C 電 度.’ 厚層 的措 β 阻 作 20製 成程 敷過 塗的 它同 將相 法1 刷例 印施 販實 網和 依依 , 它 糊將 的 的 外 以 部 極 電 坩 ο 2 傷 度 厚 的 部 底 ％ 牆50 隔係 的率 模射 凹反 。光 體見 置 &U "*"ΛΗΛ (請先'閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝— II訂-!—線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ，電粘 製明， 燒透板 板成基 基形面 此板前 入基的 注璃膜 髏玻護 光在保 蛮序 g 的依Μ 藍備> ，準 緣 ， ，箸 紅接 將 β 刷板 印基 販面 網背 依成 完極 體 電 介 明 透 極 電 路 通 作 製 入 封 體 氣 氣 排 空 真 施 實 法 常 照 按 0 ，板 後面 以示 者顯 兩漿 合 電 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） A7 469476 B7 . - ~ ~ 五、發明說明（) [實施例ΙΟΙ 依網販印刷法在玻璃基板上塗敷噴砂用隔牆糊（曰本 電氣玻璃製 Ρ {< S - 3 5 5 (〇 2 0 ju m的厚度。 然後，層合具有耐噴砂性的厚度25#b的開口寬度乾 膜保護層（東京應化工業製 B F - 7 0 3 )。 為形成電極配置部，介由具有節距Ι50#ιη，寬度30AB 厢口寬度花纹模型及電極抽出用端子模型的光掩模，使 用高壓水銀燈以200[mJ/c«2 ]曝光前述乾膜保護層β 曝光後使用0.2%硪酸鈉水溶液，析像電極節距150// m ，寬度30 a m的花紋模型，及端子模型。 依綑版印刷法在前Μ隔牆糊上形成前逑保護層模型的 基板上再塗敷噴砂用隔牆糊（日本電氣玻璃製 PLS-3550) 1 8 0 # . m 0 然後，靥合具有耐噴砂性的厚度25# π的乾膜保護層 (東京應化工業製 BF-703)。 為形成阻檔層模型，介由具有節距150# m，寬度50# m 的開口寬度花紋模型的光掩模，使用髙壓水銀燈以200 [mJ/cm 2 ]曝光前逑乾膜保護層„ 此外，此曝光時，和先前的電極模型的曝光朝光紋的_ 横向僅使移動節距？m曝光。 曝光後使用0.2¾碩酸鈉水溶液，節距150 win,寬度50 # οι的保護層模型。 使用噴砂裝置（不二製作所製），將形成保護層模型的 前逑基板，不需要的隔牆糊刮掉至首先形成模型的乾膜 -44 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） {請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝---- 訂---------線「 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 469476 _B7_ 五、發明說明（） 保護層處，將隔牆糊成形凹模形狀β 然後，使用B F剝離液（東京應化工業製），·剝離保護層 以後，水洗乾燥。 .由於因保護層剝離，而被剝離首先形成模型的保護層 ，結果在構成隔牆的凹模結構體的凹部内側的底部形成 作為電極配置部的凹部》 以熱風燒製爐以580 °C燒製剝離保護層的基板20分鐘， 獲得如第3圖所示的凹模形狀及凹部内側的底部再形成 屬於電極配置部凹部的隔牆β 使用網販印刷在此隔壁，在感光性糊質銀（杜邦製 F 0 D E L DC202)塗敷於基板金面。 此外，塗敷時，擠壓的無規角度規定20度。 乾燥前述銀糊以後，為形成電極模型，將具有節距150 Am,寬度的開口寬度的花紋模型及電氣抽出用端 子模型的光掩模定位於前述電極配置部以後，使用高壓 水銀燈以200[mJ/cm2 ]曝光。 曝光後，使用0 . 2 Si磺酸鈉水溶液，析像電極節距1 5 0 知ιπ，寬度30//m的花紋模型，及從此處抽出的端子模型。 然後，以熱風燒製爐以550 °C燒製形成電極模型的基 板，獲得電極。 依網阪印刷在形成前述電極的基板隔牆凹部内塗敷介 電體糊（N0RITAKE製 NP-7 9 7 2 J)。此外，塗敷時，擠壓 的角度規定2 Q度。 然後，以熱風燒製爐以53(TC燒製塗敷介電體的基板 -4 5 一 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2M X 297公釐） _-'、1 I I I 丨丨丨丨 1J)裝------- 訂！線Nj'1 (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 6 9 4 7 6 A7 B7 4 4 五、發明說明（） 20分鐘，獲得形成如第18®所形成阻措®’電極’介 電體的基板。 依綱販印刷將紅，線，胃光=睹注A此S板燒製， 窍成背面基板。接著，準偏^^玻璃®板依序形成透明11 極，通路電極，透明介電體’ Mg〇保護膜的前面基板’ 粘合兩者以後，按照常法’實施真空排氣’封人氣體製 作電漿顯示面板》 實施所獲得的面板’評估，结果未發生電極間的短路。 而且，不能確認隔壁的靠近’傾倒等。 然後，電極和隔牆的相對位置關條’涵蓋面内全域一 定，金部從隔牆的横向中點朝花紋的横向在僅離開75ΛίΜ 的位置配置電極的横向中1占。 ί實施例11 ] 依網販印刷法以20# m厚度在玻璃基板上塗敷噴砂用 隔牆糊（日本電氣玻璃製PLS-355())20;U 18的厚度。 然後，層合具有耐噴砂性的厚度25#m的乾膜保護層 (東京應化工業製BF-7fl3)e 為形成電極配置部，介由具有節距150<ϋ1π，寬度100 a m的開口寬度的花紋模型及電極抽出用端子模型的究 掩模，使用高壓水銀燈以2卩0〖Kj/cro2 ]曝先前述乾膜保 護層。 曝光後使用0.2¾磺酸銷水溶液，電極節距l50；um，寬 度100# m的花紋模型，及端子模型》 依網版印刷法以25# m的厚度再度塗敷隔牆糊° ** 4 6 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閲讀背面之迮意事項再填寫本頁) 丄，，：裝--------訂---------線 469476 A7 B7 4 5 五、發明說明（ 然後，僅較端子模型内側的部份，依網販印刷法，再 度以m的厚度塗敷前述隔牆糊。 然後，在基板全面層合具有耐噴砂性的厚度2 5 # m乾 燥薄膜保護層（東京應化工業製 BF-7G3)。 面 之 注 意 事 項 再 填 本 頁 為形成阻檔層模型，介由具有節距15〇απι，寬度50# 的開口寬度的花紋模型光掩模，使用高壓水銀燈以200 [mJ/cm2]曝光前述乾膜保護層β 此外，其曝先時，和先前的曝光朝光紋的横向僅使移 動節距1 5 0 # m曝光β 曝充後使用ϋ·2ίϊ磺酸鈉水溶液，析像節距150# m，寬 度5 0 m的保護層模型。 使用噴砂裝置（不二製作所製），削掉不需要的肜成保 護層模型的前逑基板隔牆糊，至首先形成模型的乾膜保 護層處，將隔牆糊成形凹模形狀。 然後，使用B F剝離液（東京應化工業製），剝離保護層 以後，水洗乾燥。 以熱風燒製爐以5 8 (TC燒製剝離保護層的基板2 D分鐘， 獲得形成如第1 9圔所示的凹模形狀及端子部凹部的阻檔 層〇 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 使用墨水噴射印刷機在此隔牆，將糊質銀填充於該凹 部〇 然後，以熱風燒製爐以55(TC燒製形成電極模型的基 板2 0分鐘，獲得電極。 在形成前述電極的基板依網販印刷將介電體糊 (Ν0ΕΙΤΑΚΕ製 NP- 7 9 7 2 J)塗敷於隔牆凹部内。此外，塗 -47 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） A7 469476 B7 46 ~' ~ ' 五、發明說明（） 敷時，擠壓的無規角規定20度。 然後，以熱風燒製爐以530°C燒製塗敷介電體糊的基 板20分鐘，獲得如第19圖所示的基板。 [實施例1 2】 依和實施例8相同的過程，製作由凹模的結構體所成 的隔牆。 然後，將線徑3Q# m的42-6合金線（42wt3：Ni-6wtXCr-52%wtXFe)作為電極，配置於凹部内側的底部。 在配置前逑電極的基板依網販印刷將介電體糊 UORITAKS製0P-7 9 7 2 J)塗敷於隔牆凹部内。此外，塗 敷時，擠壓的無規角度規定20度。 然後，以熱風燒製爐以53D°C,燒製塗敷介電體的基 板20分鐘，獲得如第2D圖所示的電漿顯示基板。 在此基板依網版印刷注入紅，綠，藍的螢光體燒製， 完成背面基板。接著，準備在玻璃基板依序形成透明電 槿，通路電極，透明介電體，MgO保護膜的前面基板， 粘合兩者以後，按照常法，實施真空排氣，封入氣體製 作電繼顯示面板。 [實施例1 3 ] 依和實施例10相同的過程，製作為凹模的結構體的凹 部内側的底部再形成凹部的隔牆。 然後，將線徑 30# m的 42-6合金線（42ΐα%Νί-6ΐί1;ί!(：Γ-52%wt%Fe)作為電極，套入形成於凹部内側底部的凹部。 在形成前述電極的基板依網販印刷將介電體糊 -48- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝------ 訂---------線、 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 4 69 47 6 B7_ 4 7 五、發明說明（） (ΝΟϋΙΤΑΚΕ製 NP-7972J)塗敷於隔牆凹部内。此外，塗 敷時，擠壓的無規角度規定20度。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 然後，以熱風燒製爐以530°C,燒製塗敷介電體的基 棒2卩分鐘，獲得如第21圖所示的電漿顯示基板。 在此基板依網販印刷注入紅，綠，藍的螢光體燒製， 完成背面基板。接署，準備在玻璃基板依序形成透明電 極，通路電極，透明介電體，MgO保護膜的前面基板， 粘合兩者以後，按照常法，實施真空排氣，封入氣體製 作電漿顯示面板。 [實施例1 4 ] 依網販印刷法將噴砂用隔牆甩糊（日本電氣玻璃製 P L S - 3 5 5 Q )塗敷於玻璃基板上7 〇 a m的厚度。 然後，層合具有耐噴砂性的厚度2 5 # m的乾膜保護層 (東京應化工業製 BF-703)。 為形成電極配置部，介由具有節距150# m,寬度100 # m的開口寬度的花紋模型及電極抽出用端子模型的光 掩模，使用高壓水銀燈以200[raJ/cm2 ]曝光前逑乾膜保 護層。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 曝光後，使用0 . 2 %磺酸鈉水溶液，析橡電極節距1 5 0 寬度lDQ/um的花紋模型，及端子模型。 依網販印刷法再度塗敷隔牆糊2 5 # in的厚度。 然後，僅較端子模型内側的部份，依網販印刷法，再 度塗敷前述隔牆糊160# m的厚度。 然後，將具有耐噴砂性的厚度25#ί!的乾燥薄膜保護 -4 9 -本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 469476 A7 B7 48 五、發明說明（ 製 業Η 化 應 京 東 靥 面 全 板 基 於 合 層 ο 5 度 寬 ο 5 IX 距 節 有 具 由 介 型 模 層 擋 阻 成 形 為 以 燈 ΒΚ I 水 壓 高 用 使 模 掩 光 型 模 紋 花 的 度 寬 Ρ 開 的 層 護 保 膜 乾 述 前 光 曝 距 節 使 僅 向 横 的 紋 光 朝 光 曝 的 前 先 和 時 光 曝 , 必 F 5 夕 7 此動 移 光 曝 度 寬 ^ ο 5 X 距 節 液 溶 水 鈉 酸 碳 % 2 ο 用 使 後 光 曝 型 模 層 售 11^1 保 的 m 保護 成保 形膜 的乾 要的 需型 不模 掉成 削形 I,先 丨首 至 糊 牆 隔 板 基 置述 裝前 砂的 噴型 用模 使層 t-BP- 護 & 所 作 製 二 不 狀 形 的 模 .凹 形液 成離 糊.剝 牆BF 隔用 將使 處後 之然 層 製 業Η 化 應 京 東 層 護 .保 tttt- 離 剝 <請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 燥 乾 洗 水 後 以 板 8 基 S40 的ufl度 0 00^0 保 上 剝 凹 冑tip， 燒gm 寬/ί oc5 ο ί 5 58度約 以厚度 爐的厚 製層的。 燒檔部牆 風阻下隔 熱果部的 以結凹狀 α 得形 鐘獲 分， 模 凹 的 製 邦 杜 /V 艮 金 質 糊 性 光 0 將 *=τ 0 印 販 網 用 使 搐 _Η_Γ 隔 此 在 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 定 規 度 角 規 無 。的 面壓 金擠 板， 基時 於敷 敷塗 塗， 2 外 2 此 1端 距用 節出 有抽 具氣 將電 -及 型型 模模 極紋 電花 成的 形度 為寬 ，Ο 後開 燥的 乾 gx i 質 糊 述 前 J =4. ο 3 度 寛 用 使 後 以 置 位 準 對 部 〇 置光 配曝 U 極 電m2 述/C 前H1J 在0[ 模20 掩以 光燈 的銀 型水 模壓 子髙 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 469476 A7 _B7_ 五、發明說明（） 然後，以熱風燒製爐以55(TC,燒製形成電極模型的 基板2 0分鐘獲得電極。 在電極的基板依網販印刷在隔牆凹部内塗敷介電體糊 (NORITAKEM NP- 7 9 7 2 J) 0 此外，塗敷時，擠壓的無規角度規定2 0度β 然後，以熱風燒製爐以53(TC,燒製塗敷介電體的基 板2 Q分鐘，獲得如第2 2圃所示的基板β 依網販印刷將紅，線，藍的螢光體注入此基板燒製， 完成背面基板。接著，準備在此基板形成透明電極，通 路電極，透明介電體，Mg 0保護膜的前面基板，粘合兩 者以後，按照常法，實施真空排氣，封入氣體製作電漿 顯示面板。 實施所獲得的面板評估，結果未發生電掻間的短路。 而且，也不能確認隔壁的靠近，傾倒等^ [實施例1 5 ] 作為形成隔牆的裝置，使用預先肜成隔牆及電極配置 部逆形狀的凹販，將隔牆糊填充於此凹販，將該糊轉錄 於規定的基板β 結果獲得凹部上部寬度50#®，肜成於凹部底部的凹 部厚度70# m的成形體。 然後，燒製此成形體，結果寬度，厚度都變成燒製前 的約8 0 3；，獲得成為隔牆的凹部上部寬度4 0 # in，成為電 極配置部形成於凹部底部的凹部厚度約55 # la的凹模形 狀的隔牆。 -51- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) :裝---- 訂---------線、 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 6 9 476 Α7 Β7 ' 50 五、發明說明（） 在此隔牆使用網販印刷，將鹼可溶型的糊質銀（杜邦 製FODEL DC202)塗敷於基板金面。 此外，塗敷時，擠壓的無規角度規定2 〇度》 乾燥前述棚質銀以後，噴霧0.2%的磺酸鈉水潘$$$ A 丨僅凹 凹部底部和塗敷於再形成凹部的糊質銀厚度％ 部底部的凹部留下糊質電極形成電極模型β 然後，以熱風燒製爐以550 °C,燒製此棊板2 得電極。 在形成前述電極的基板依網阪印刷將介麓 (N0RITAKE製 NP-7972J)塗敷於隔牆凹部内。此外塗敷 時，擠壓的無規角度規定20度。 然後，以熱風燒製爐以5 30 -C,燒製塗敷介®胃09® 板20分鐘，獲得如第23圖所示的基板。 在此基板依網販印刷注入红，綠，藍的螢光1 完成背面基板。接著，準備依序在玻璃基板形 極，通路電極，透明介電體，M g0保護膜的前® β ’ \ 箱體作 合兩者以後，按照常法，實施真空排氣，封人％ 電漿顯示面板β [實施例1 6 ] 作為形成隔牆的裝置，使用預先形成隔牆逆 版，在此凹販填充隔牆糊，將該糊轉錄於規定 結果獲得凹部上部寬度50#ιιι,在凹部底部 的成形體β _ 然後，燒製此成形體，結果寬度，厚度都變成胃#Μ "52-

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先Μ'讀背面之注意事項再填寫本頁〕 、裝 ----訂---------線、' 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 469476 A7 _____B7_______ . ' ' 五、發明說明（） 的約8(3¾，獲得凹部上部寬度40#!«,凹部底部的厚度約 40# m的凹模形狀的隔牆。 在此隔牆使用網販印刷，將感光性糊質銀（杜邦製 PODEL DC 2 0 2 )塗敷於基板金面。 此外，塗敷時，擠壓的無規角度規定20度。 乾燥前述糊質銀以後，為形成電搔模型，將具有節距 i50#m，寬度30；uin的開口寬度的花紋模型及電氣抽出 用端子模型的光掩模對準位置於前述電極配置部以後， 使用高壓水銀燈以2G0[mJ/c)n2 ]曝光。 然後，以熱風燒製爐以55Q°C，燒製形成電極模型的 基板2 Q分鐘獲得電極β 在形成前逑電極的基板依網販印刷將介電體糊 (N0RITAKE製 NP-7972J)塗敷於隔牆凹部内。此外，塗 敷時，擠壓的無規角度規定20度。 然後，以熱風燒製紱以530 °C,燒製塗敷介電體的基 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 板 基 的 示 CM· 0 圖«, 4 2 第10 如約 得成 攆變 果度 結厚 ，的 鐘體 分電 20介 板僅 時 此 外 此 下 部 凹 層 擋 阻 於 成 形 和 度 厚 的 m /i ο 5 約 成 變 計 合 部 凹 的 部 裝--------訂---------線( 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ，電 製明 燒透 體成 光形 螢板 的基 藍璃 -玻 線在 -序 紅依 入備 注準 刷 ! 印著 販接 網。 依板 板基 基面 此背 在成 由兀 氣 空 真 Mg施 ，實 體 ， 電法 介常 明照 透按。 ，，板 極後面 電以示 路者顯 通兩漿 板 基 面 前 的 膜 護 倮 製 體 氣 入 封 例 施 (CN 準 標 家 國 國 中 用 適 度 張 紙 本 驗 一 S97 A7 4 6 9 4 7 6 B7 ___ — 五、發明說明（） 作為形成隔牆的裝置，使用預先形成隔牆及形成電極 逆形狀的凹販，在此凹販填充隔膪糊，將該糊轉錄於規 定的基板。 .結果獲得凹部上部寬度形成於凹部的厚度50 # ra的成形體。 然後，燒製此成形體，結果寬度，厚度都變成約80%, 獲得成為隔牆的凹部上部寬度4D#b,成為電極配置部 形成於凹部底部的凹部厚度約40 #ra的凹模形狀的隔牆。 在此隔牆使用綑販印刷，將鹸可溶型的糊質銀（杜邦製 F 0 D E L D C 2 0 2 )塗敷於基板全面。 此外，塗敷時，擠壓的無規角度規定2 0度。 乾燥前述糊質銀以後，噴辍0.2¾的磺酸鈉水溶液利用 凹部底部和塗敷於再形成凹部的棚質銀厚度的差別僅凹 部底部的B部留下糊質電極形成電極模型* 然後，以熱風燒製爐以55(TC,燒製此基板2 0分鐘獲 得電極。 在形成前述電極的基板依綑販印刷將介電體糊 (Ν0ΕΙΤΑΚΕ製 NP-7972J)塗敷於隔牆Ο部内。此外，塗 敷時，擠壓的無規角度規定20度。 然後，以熱風燒製爐以530 °C,燒製塗敷介電體的基 板2 Q分鐘，結果僅介電體的厚度變成約和彤成 於阻措凹部下部的凹部合計變成約的厚度，獲得 如第25圖所示的基板β 在此基板依網販印刷注入紅，綠，藍的螢光體燒製， "54" 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） —?---V-------^裝--------訂-------1* 線-r <請先‘閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 469476 A7 B7 53 五、發明說明（） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 完成背面基板β接著，準備依序在玻璃基板形成透明電 極，通路電極，透明介電體，M gO保護膜的前面基板，粘 合兩者以後，按照常法，實施真空排氣，封入氣體製作 漿顯示面板〇 如以上所示，若依本發明的第2樣態，即可獲得如下 的效果β (1)可獲得具有儘管隔牆寛度變窄仍不會傾倒隔牆的 電漿顯示面板β (2>可獲得發光光線線洩漏於背面基板的背面少的電 漿顯示面板。 (3) 可獲得電棰和隔腩的位置關偽正確的電漿顯示面 板。 (4) 可獲得沒有電極的斷線，短路的電漿顯示面板。 玆説明有關本發明第3樣態如下： 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在本發明第3樣態，如第26圖及第27圔所示，在背 面玻璃基板301上，介由透明介電體302，裝設陽極303 ，陰極304,透明隔牆305，在使和這些對向封閉薄板玻 璃306的電漿位址液晶面板，提供以同一材料形成透明 隔牆305及透明介電體302為待徽的電漿位址液晶面板的 背面板。 在這種電漿位址液晶面板的背面板，可將透明介電體 的膜厚設定為3〜lSjum。 此外，所謂在透明隔牆及透明介電體的「透明j ，係 指作為介電體層形成時的後背光燈的摻透率形成95¾以 -55-本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 6 9 47 6 A7 ___B7___ 54 五、發明說明（） 上的狀態。 而且，可將透明隔牆的御面和背面玻璃基板所成的角 度設定為8 5度〜95度。在85度〜95度以外，因為回轉櫥 米面，降低對比所以不理想β 而且，可將透明隔牆的側面的表面粗度設定為和 以内大致光學平面。如果表面粗度在1a*®以内，卽抑制 散亂光，有效地利用滲透光及反射光，雖然理想，但如 果表面粗度茌以上，即增多在表面的散亂，擾亂橱 光面降低對比，不理想β 而且，可藉由同一材料構成形成於透明介電體上的陽 極以及陰極。由於依同一材料構成陽極及陰極，可簡化 製造過程，因此理想β 此時，對於構成陽極及陰極的材料而言，對於放電氣 體陽離子可使用具有耐醆射性，含有Ni80JS以上的厚膜 或電鍍材料β 含有SSi803i以上的材料，因具有耐濺射性之點而雖理 想，但在未瞞80¾，卽降低耐濺射性，升高抵抗電阻傺 數，消失表面的均勻性，變成放電不一樣，而不理想。 而且，作為構成陽極及陰搔的材料可使用對於放電氣 髅陽離子具有耐濺射性，含有A180S；以上的厚膜或噴鍍 膜。 含有Ai8(U以上的材料，因具有所謂耐濺性之點而雖 理想，怛在8(U以下，降低耐濺射性，提高電阻傜數， 淌失表面的均勻性，放電變成不一樣，而不理想。 —5 6 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 X 297公釐） <請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ----丨—丨訂--------- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 69 47 6_b7____- ----- 一_ ™ g g 五、發明說明（) 而且，形成於透明介電體層上的陽楗和陰極中，至少 可將陰極作為兩層構造。本構造表示於第27_。 在第1靥304a使用電阻低的材料，因在第2層304 b作 辑具有耐濺射性的材料，而可降低全髏的電阻值，結果 可將電極變細，可提高開口率。 而且，以具有感先性的同一材料作為底層電極形成陽 極及陰極，至少在陰極可作為對於放電氣體陽離子實施 具有耐濺射性含有Ni8G%以上保護電鍍的構造 而且，可使用感光性糊質Ag形成底層電極》由於感先 性糊質Ag,大量用於電漿顯示面板的製造，因此具有成 本價值，而且過程也被確立，具有所諝容易處理的優點》 而且，在本發明的第3樣態，也提供製造上述電漿位 址液晶面板背面板的方法。亦即，將猢狀的形成隔牆材 料塗敷於規定量玻璃基板上，依形成隔牆用凹販冲壓形 成隔牆模型以後，藉由以高溫加熱使燒掉有機成份，間 時藉由使燒結玻璃料形成前述透明隔牆及透明介電體層 以後，形成陰極以及陽極。 而且，將糊狀的隔牆形成材料埋入規定置隔牆形成用 凹販，照舊保持形狀將其材料轉錄於玻璁基板上以後，' 藉由以高溫加熱使燒掉有機成份，同時藉由使燒結玻璃 料形成前述透明隔牆及透明介電體層以後，提供形成陰 極以及陽極為待徴的電漿位址液晶面板的背面板製造方 法〇 此時，作為形成陽極及陰極的方法，可使用無電解電 -57 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先W讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂---------線、 4 6 9 4 7 6 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 敷， 糊 。作砂耐 成形形糊。厚次 意率 時 塗型 性 法，噴子 形在糊膜聯成製 注品 壓關 糊模 光 鍍時，離 ，要膜厚關形燒 要成 電開 膜極 感 噴造法陽。法只厚的有前少 需慮 動漿 厚電 用 用構鍍漿層方，由極本之減 理考 驅電 敷成 使 使層電電鍍造糊，電成牆同 處較 的於 塗形 可 可兩場有電製璁且成低隔相 對，β板對 ，砂 ， ，你電具護板玻而形降製逑 於者序面 , 法噴 法 法極無依保面的。和和燒上 由極程的時 方依 方 方陰述由設背用行因，在和 ，電擇在類 的， 的 的少上藉裝的止進，數，， 弱成選現種 極且 極 極至用，可板防以製次時者 脆形斷慮的 陰並。陰 陰中使法，面電可燒製極極 性才判考體8-及，法及 及極，鍍鍍晶放都的燒電陰。械後當，氣-5 極射方極 極陰法噴電液常時糊少成和聯機以適料電 陽濺的陽 陽及方或解址異隨璃減形極關牆牆好材放 成後製成 成極的，電位的即玻而湖陽有隔隔最極及 ) 形以燒形 形陽極法施漿部-述行膜製本的成，電流 為層用為 為述電糊實電端後前進厚燒成前形廉逑電 ( 作護使作 作上層性料的兩型，時砍時低製時低上電 明 ，保可， ，，底光材上元模時同，同降燎有本，放 說 。且光，且 且且成慼的以單極極製且，和，此成且 ， 明 法而體後並。並而形，射在漿電電燒而糊，但因總而冲 發鍍 液以 法 為法濺 電成成的 膜數 ，的 脈 4Γ. ... 、、· . i—-,—'1 — —L--裝--------訂 --------線(' y <請先k讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用_國固家標準（CNS)A4規格（210 X 297公笼） A7 469 476 B7____ ---- 5? 1 五、發明說明（) 的陽離子的醆射最好具有耐性的Ni或A1或如硼化綱的物 質。但，將來如果因控制驅動方法而可逹成減少前述濺 射的激烈度及次數，即可依這呰達成將電阻低的A u，A g ,Cu等的金屬材料或合金等作為陰極照舊使用。因此， 電極材料從濺射的容易性，開口率，端子取出，和玻璃 的密封性及製造成本之點，只要適當選擇即可。 而且，上逑Hi及Α1厚膜糊的塗敷方法，無論依網販印 刷法的板式印刷，或依沖壓塗敷器的塗敷也可以β對於 前逑厚膜糊而言，用於電漿顯示面板開發者也無妨β具 有如杜邦製的陰極用糊質Ni9538, NORITAKE製的陰極糊 質 Ni ί!Ρ92δ4, NORITAKE 製的陰極用橄質 A1 P9203。 而且，上述絨光性電極的塗敷方法，無論依網販印刷 法的板式印刷，或依沖壓塗敷器的塗敷也可以β對於感 光性棚質電極而言，用於電漿顙示面板開發者也無妨。 只要是如感光性Ag電極，即在鹼顯像型具有杜邦的fordel DC2G2，太陽墨水製造的TR2912，T81952等，而且在水顯 像型具有80RITAKE的NP4701。 而且，對於透明隔牆形成用材料而言，雖可使用由低 融黠玻璃料和透明無機混合料及粘合劑所成的糊狀材料 ，但為用於塗放於上述玻璃基板，或埋人隔牆形成用凹 販，可添加溶劑用於調整粘度β而且，透明無機潺合料 ,視情形，不一定需要β 此外，對於透明無機混合料而言，可列出S i 0 2粉末 或Al2 03 -B2 03 -Si〇2条玻璃粉末，其添加量最好5 -59- 本纸張尺度適用_國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 」裝I! 1訂*--!丨-線：' 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 6 9 4 7 6 A7 k B7 58 五、發明說明（） ~ 30重量S?程度。 而且，糊的硬化方法，考慮轉錄過程以後，作為粘合 劑可使用熱硬化樹脂或感光性樹脂等實施。 .而且，對於隔牆形成用凹販而言，考慮過程，可適當 分開使用金屬楔具，陶瓷模具，電離放射線硬化性樹脂 板凹販，矽酮橡膠凹販9 例如，在上逑玻璃基板上塗敷隔牆形成用糊，依隔牆 形成用凹販用於冲壓方法的隔牆形成用凹販，可忍受成 形隔牆形成用糊時的壓機壓力的金屬模具或陶瓷模具更 合適。 對於金颺楔具而言，可依電子雕刻，腐蝕，軋機推壓 ,回轉車床切削，電鐙法等的技巧形成。而且，對於陶 瓷模具而言，可依回轉車床切削，金厩模具壓機成形法 ，泥擬法等的技巧形成。 而且，為提高隔牆形狀形成後的脫模時的脱模性，對 於金屬模具或陶瓷模具的凹販實施矽薄膜加工，氟薄膜 加工等也有效 而且，在將上述隔牆形成用糊用於埋入隔牆形成用凹 眼的隔牆形成用凹販，除上述金屬模具或陶瓷模具以外 ，可使用電離放射線硬化性樹脂板凹版或矽_橡膠凹販。 對於上述金屬模具或陶瓷模具的缺點而言，具有所諝 製造一個模具花費成本的問題，對於生産能力雖有界限 ，怛在上逑電離放射線硬化性樹脂板凹販或矽酮橡膠凹 販，複製容易，更適合大量生産》 -6 0 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填窝本頁〕 !| 訂·！ ！線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 469476 B7 _ 5 9 " ~ 五、發明說明（） 具體上，對於這些凹販而言，由於可從如下的隔牆形 狀的凸模主模轉錄形成，因此可配合所希望的隔牆形狀 模型適當選擇製造凸模主模。亦卽，依車床切削形成於 金靥滾輪的隔牆形狀的凸模主模，以刀削等形成於平板 的隔牆形狀的凸模主槙，將乾膜粘阽於平板基板依光蝕 法形成的凸模主模等較有效。 對於將糊狀的隔牆形成材料塗敷於規定量玻璃基板上 的方法而言，無論依網版印刷法的板式印刷，或依冲壓 塗敷器的塗敷都可以。或層合加工成薄膜狀的材料也可 以。對於壓機方法而言，平壓機，輪壓機較合適。並且 作為氣泡捲人對策在真空箱内實施沖壓較有效。 以後，依熱或紫外線使糊乾燥以後，因脱模，燒製而 可同時形成透明隔牆和透明介電體層。此時，透明介電 體層的厚度，俗由平壓機或輪壓機的壓力及加壓時間， 糊的硬度決定》 因為玻璃料徑的閫傺，如果燒製前的厚度較5/ira薄， 即出現没有糊的地方，或於燒製後容易産生不勻。而且 ,燒製後的膜厚15# m以上時，滲透率即降低為95¾以下 ，降低背光燈的利用效率。 因為這呰事情，而最好適當決定上逑壓機條件及隔牆 形成用糊的組成，以便燒製後的透明介電體膜厚形成3 〜15# m的範圍β 對於將糊狀的隔牆形成材料埋入規定量隔牆彤成用凹 販的方法而言，依網販印刷，沖壓塗敷，刮刀Η塗敷， -61- 本紙張尺度適用令國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） IJ---r-------裝--------訂---------線:)r 、 ί :· (請5fe.,閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 469476 A7 B7 6 Ο 五、發明說明（） 滾輪塗敷，輪壓機，平壓機等的塗敷較合適β並且，作 為氣泡對策在真空箱内實施塗敷也有效。 此時，透明介電體層的厚度，傜由糊的流變特性和過 程的壓力以及速度決定。因為玻璃料徑的關像，如果硬 化前的厚度較5# m薄，即出現没有糊的地方，或於燒製 後容易産生不勻。而且如果燒製後的膜厚超過15# m, 滲透率即降低為95%以下，降低背光燈的利用效率。 因這些事情，而最好適當決定上述壓機條件及隔牆形 成用糊的組成，以便燒製後的透明介電體膜厚形成3〜 1 5 ra的範圍。 其次，雖實施轉錄於玻璃基板上，但此時，具有使隔 牆材料硬化以後轉錄於玻璃基板的方法，和以未硬化的 狀態照醤使和玻璃基板接觸，以其狀態使隔牆形成材料 硬化的方法，可選擇任何方法。 在前者的轉錄方法，對於隔牆形成材料和玻璃基板之 間使用膠接劑或粘接劑。在後者的轉錄方法，為使在玻 璐基板上硬化而不需要膠接劑或粘接劑等，但為使脱模 時的模型轉錄形更完善而使用膠接劑或粘接劑等也有效 。以後，因脱模，燒製而可冏時形成透明隔牆和透明介 電體層。 按照以上的方法，依本發明的第3樣態，可以同一材 料形成透明隔牆及透明介電體層^並且，藉由在此透明 介電體層上形成陽極及陰極，完成電漿位址液晶面板的 背面板。 形成電極雖可在燒製透明隔牆及透明介電體層之前實 —6 2 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝--------訂-丨·_ι!1-線； 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 469476 A7 B7 6 1 五、發明說明（） 施，但如果考慮過程的安定性，還是在燒製後實施較合 適。 形成陽極及陰極時，對於使用無電解電鍍方法時將電 揮加以模型化的方法而言，以下的方法較合適。 亦即，對於第1的方法而言，在全面實施無電解電鍍 以後，塗敷液體光保護層，使用屛蔽曝光顯像以後，依 腐蝕加工消除電鍍膜的不需要部份，可獲得電槿模型形 狀。 對於第2的方法而言，塗敷液體光保護層，使用屏蔽 曝光及顯像以後，僅消除電鍍膜的需要部份，在全面塗 敷電鍍催化劑以後，刹離保護層，僅電極模型形狀形成 電鍍催.化劑以後，可依無電解電鍍形成規定的電極形狀 的電鍍β由於是電鍍因此不需要燒製。 形成陽極及陰極的方法羼於使用厚膜糊的方法時，厚 膜糊的塗敷，無論依網販印刷法的板式印刷，或依沖壓 塗敷器的塗敷都可以。而且，液體光保護層的塗敷，無 論依網販印刷法的板式印刷，或依沖壓塗敷器的塗敷都 可以。 在本方法，使用玻璃屛蔽曝光保護層，顯像媵射以後 ，雖利用電阻的保護層依噴砂形成電極模型，但不是噴 眇而是液體研磨也無妨。因最後燒製而成為電極。 形成陽極及陰極的方法靥於感光性糊法時，可以通常 的方法依玻璃屏蔽曝光形成模型，因燒製而成為電極。 形成陽掻及陰極的方法屬於以噴鍍法形成電極模型的 -6 3 一 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .'裝--------訂---------線〔 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 469476 B7 6 2 五、發明說明（） 方法時，使用液體保護層屏蔽不需要部份噴鍍的方法或 使用金屬屏蔽遮蔽不需要部份噴鍍的方法較合適。而且 ，儘管透明隔牆的側面的遮腋不充份，但由於視透明隔 蹿形狀而茌側面不容易附著噴鍍金屬，因此儘管附箸薄 時，仍可以腐蝕液簡單消除僅不需要部份。由於是噴鍍 膜，因此不需要燒製。 在實施電解電鍍的方法，因利用被模型化的電極端子 流通通常的電流而可在僅需要的部份形成保護電鍍膜。 由於是電鍍因此不需要燒製。 按照如上述，依本發明的第3樣態，以同一材料形成 透明隔牆及透明介電體層以後，藉由在透明介電體層上 形成陽極及陰極完成電漿位址液晶面板的背面板β Ε說明有關本發明3實施樣態的實施例如下：此外， 本發明不限定於任何實施例。 [實施例1 8 ] 依第28圖所示的透明隔牆、介電體層的製造方法和第 29圖所示的電極製造方法，製作具有第26圃所示面板； 構造的42时VS Α電漿位址液晶面板的背面玻璃基板玆 詳細說明面板的製作過程如下； 隔牆形成用凹販的規格 凹販形態：壓機用金屬模具凹模 溝肜狀 ：花紋狀 寬度100 # π 深度 2 5 0 // m ,節距 1 0 9 2 # m -64- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) * ί r— n n I .^1 一 5’ I n 1 n I ^ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 469476 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（） 在上述金屬模具表面塗敷氣樹01 ’ 機用金屬模具使用β 隔牆形成用糊的組成 .低融點玻璃料：Pbo-B 2 G 3 -Ηΰ 2 以下） 透明無機混合料：A 1 2 〇 3 ~ » 2 〇 3 (1 A IE以下） 粘合劑：乙烯纖維素 粘合劑：熱硬化性環氣樹脂 粘度調整用溶劑：醋酸丁基卡;必^ 以輸軋機充份攪伴上逑組成，作為隔牆形成用糊。 洗滌及乾燥具有排氣管連接用孔的低膨脹率玻璃基板 。依網販印刷以板式塗敷方式塗敷上述透明隔猫形成用 糊30AIH厚度。以120°C乾燥溶劑，形成25和"*厚度的大 致均勻的膜。 使用具有上述凹部的金羼模具，以i〇MPa的壓力實施 此膜的平沖壓，於加壓後1分鐘後以i60°c加熱2分鐘： 使環氧樹脂熱硬化，減壓，依真空吸附從壓機金羼模具 脫模玻璃基板β 結果形成250/« m高度，lfl0〆a寬，度節距1〇92# 111的透 明隔牆形狀，同時以同時形成透明介電體層°藉 由以燒製爐以6Q0O保持30分鐘燒製，透明隔膪完成以 所希望的200# m高度對於80# m寬度的玻璃基板和88度 大致垂直而且倒面在1 以内的光滑透明隔牆》 改良脱模性作為壓 条玻璃粉末（3卢in 7 0%質量比 条玻璃粉末 10¾質量比 5 5S質量比 5 ：«質量比 1 0 %質量比

-SiO (請先閱讀背面之注$項再填寫本頁) --------訂_--------線、 .fi Fi _ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 469 47 6 a? B7 64 五、發明說明（） 而且，作為透明介電體屜形成12#ra的滲透率95¾的光 滑的膜。 洙滌及乾燥上逑透明隔牆和已經燒製透明介電髅的玻 璃基板β在這裡，以降低ΝΟίϊΙΤΑΚΕ製陰極用糊質Ni NP 9 28 4 的粘度目的，添加醋酸丁基卡必醇10¾質量bb»以網販 印刷法以板式塗敷方法塗敷此糊質 藉由降低粘度，對於透明隔牆側面幾乎不會附箸糊， 在透明隔牆底部積存糊。乾燥此糊；裝設60# <«厚度的 糊質Hi層。 接著，塗敷東京應化工業社製的感光性液體保護廇 0 F P R 8 fl 0，乾燥以後，使用玻璃屛蔽，從玻璃面採取鄰 近空隙3 0 0 a 1 (來自隔牆上面的空隙形成1 0 0和a )，以平 行光曝光，而且顯像，濺射。 此外，使用此玻璃屛蔽的模型，燒製後的電極寬度形 成100>uin,而且因為塗敷後述異常放電防止覆蓋玻璃的 關僳，設計成以使可在自隔牆模型端起5 以内的内_ 形成Hi厚膜電極β 其次，依噴砂法消除不霈要部份的Hi電極材料以後， 剝離保護層β在此過程可完金消除附著於側面的糊質N i。 因此，完成相當於放電空間的陽極及陰極的花紋狀N i電 極模型。 並且，在Ni電極由於真空封閉困難，因此以如下的方 式封閉部及端子電極部用形成Ag電極。亦即，依網販印 刷法，在上述N i厚膜糊的端部，封閉部及端子電極部的 -6 6 - 本紙張尺度適用中囤國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐〉 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本買> -Λ裝--------訂---------線(. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 469476 B7_ 6 5 ~ 五、發明說明（） 範圍以板式塗敷法，塗敷太陽墨水（股）製的感光性Ag電 極糊TR2312,裝設12#πι的糊質Ag電極層。 接著，在鄰近配合玻璃屛蔽，以500ittJ/cm2的照射量 -光。玻璃屏蔽的電極模型，偽Ni厚膜糊的端部，封閉 部和端子取出部。此外，電極寬度偽100/inu 其次，依輸送機式噴霧顯像機，以23°C的0.4wt% N a 2 C 0 3水溶液，以噴霧壓力0 . 1 Μ P a實施顯像5分鐘， 水洗，乾燥，形成模型。 並且，為防止在電漿單元端部的異常放電，從隔牆端 部5 mm朝外側以1 0 ram的寬度以網販印刷，塗敷覆蓋玻璃 湖。以燒製爐以581TC保持30分鐘，燒製糊質Ni,糊質Ag 及覆蓋玻璃糊〇 此外，燒製後的Ni電極厚度像4〇αιπ, Ag電極的厚度 約6#ω,寬度都是約iQ0#m。電阻包活放電部的Ni、端 子部的Ag約1 0 0 0 mm形成500Ω程度。因此，對於電阻值 而言，充份達成規格。因此，可形成第20圔所示的電漿 基板。 [實施例i 9 ] 依第30圖所示的透明隔牆、介電體層的製造方法和第' 31圖所示的電極製造方法，製作具有第27圖所示面板構 造的42时HDTV電漿位址液晶面板的背面玻璃基板。玆說 明詳細的面扳製作過程如下： 隔牆形成用凹販的規格 凹版形態：平板狀矽_橡膠凹販 -6 7- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -----··,-------''，:' 裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 4 6 9 476 a? __B7 _五、發明說明（） 溝形狀：花纹狀 寬度60 a m 深度2 5 0 # m，節距4 8 5 yu b 利用上述矽酮橡膠凹版的脱模性作為轉錄用凹販使用 Ο 隔牆形成用糊材料的組成 低融點玻璃料：P b 0 - B 2 0 3 - S i 0 2条玻璃粉末（3 A m 以下） 7U質量比 透明無機混合料：Al2 03 -B2 03 -Si02条玻瑰粉末 {ΙΑ b以下） 1 OX質量比 粘合劑：紫外線硬化樹脂：二乙二醇二甲基丙烯酸酯 8 X質量比 粘合劑：紫外線硬化樹脂：2-羥基丙基丙烯酸酯 6 3；質量比 粘合劑：開始_:二苯基明 1«質量比 粘度調整用溶劑：醋酸丁基卡必醇 5X質量比 以輪軋機充份攪伴上逑組成，作為隔睡形成用棚。 洗滌及乾燥具有排氣管連接用孔的低膨脹率玻璃基板 。依刮刀片將上述透明隔艟形成用锎《充於上述矽嗣橡 _製的平面凹板，以無氣泡埋入深度25(Mn的凹販，同 時以厚度7# Hi形成成為透明介電體層的膜以後，和上述 玻璃基板轱合以O.IMPa的壓力實施平冲壓β 其次，從壓機裝置取出此粘合的凹販和玻璃基板，以 紫外線照射裝置從玻璃基板側以IOOQbiJ/cb2的照射量 -6 8 ~ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ---ill 訂—--1線 本紙張尺度適用t國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） A7 469476 B7_ 6 7 五、發明說明（) 的條件照射，使隔牆糊以紫外線硬化，從破璃基板脫模 矽酮橡膠凹販。因此，形成250/iii高度，60/iia寬度， 節距485^111的透明隔牆形狀，同時以？同時形成透明 介電體層。 藉由以燒製爐以6t)(rc保持3卩分鐘燒製，透明隔牆完 成所希望的20D# in高度對於45// πι寬度的玻璃基板和88 度大致垂直而且侧®在以内光滑的透明隔牆，而且 ，作為透明介電體層完成5；« ra的滲透率97¾的光滑的膜。 洗滌及乾燥上述透明隔牆和已經燒製透明介電體的玻 璃基板。作為感光性糊質電極，使用太陽墨水（股）製的 感光性糊質A g電極Τ β 2 9 1 2。 其次，以網販印刷以板式塗敷法塗敷及乾燥此瑚，裝 設12#m的糊質Ag電極層。接著，以縱型曝光機在鄰近 配合玻璃屏蔽，以lOOQntJ/cm2的照射量曝光。玻璃屏 蔽的電極模型，俗端子取出部和電漿單元部的陽極及陰 極的全部。此外，電漿單元部的電極寬度俗4〇ΛίΙΗβ 其次，依輸送機式噴霧潁像機，以23°C的&

Na2C03水溶液，以噴霃壓力O.IMPa實施顯像5分鐘， 水洗，乾燥，形成模型。 並且，為防止在電漿單元端部的異常放電，從隔牆端 部5 ram朝外側以10mm的寬度以網販印刷，塗敷覆蓋玻璃 糊。以燒製爐以580°C保持30分鐘，燒製糊質Ag及覆蓋玻‘ 璃糊。 此外，燒製後的Ag電極厚度約m,寬度都約40# m -69- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS>A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ------LK·---I---1 訂.！--線. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -J - 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4. 6 9 47 6 a? B7 ______ -- Γδ ' 五、發明說明（） 。電阻約ΙΟΟΟηιιπ形成300Ω程度β因此在這裡作為電阻 值已經充份逹成規格。 並且，為從陽離子濺射保護放電部陰極電極，使用氨 華擴酸Ni電鑛液，以約的厚度依電解電鑛將形成 於電漿單元部的陰極部份。因此，陰極電極的高度形成 約IOaib，寛度形成約50/im。因此，可完成第27圖所示 的電漿基板。完成開口率803ί的非常良好者〇 如以上所説明，藉由依有闊本發明第3樣態的製造方 法形成隔牆及電極，出現如下列的效果。 亦即，由於探用透明隔牆，因此提高開口率，面板變 亮，而且，擴大隔牆和垂直方向的視野角。由於可將隔 牆高度適用容易均勻的凹販製造方法，因此不需襄研磨 等，増加成品率，及産品的安定性。在使用凹販的過程 對於和電極的校準雖有困難點，但由於在這裡於形成隔 牆後附電極，因此完成校準精確度良好的面板》 茲參閲圖式説明有闘本發明的第4樣態如下： 本發明的第4樣態，提供為在如電漿顯示面板或電漿 位址液晶用基板的剛性板表面形成電離放射線硬化型樹 脂組成物的硬化凹凸模型的輪轉方式的凹凸模型形成裝 置《本裝置偽具有下列U)〜（6)的機構及構造為其特徵〇 (1) 將目的之凹凸模型，作為由脫模性的表面所成的 凸凹模型具有的凹販輪轉滾輪， (2) 在凹販輪轉滾輪和具有脱模性的電離放射線滲透 膜之間一面以規定的厚度維持電離放射線硬化性樹脂組 -70- 本紙張尺度適用尹國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .、裝 - ---- -- 訂--------•線(一 4 6 9 47 6 a? ___B7_ — ： 五、發明說明（） 成物，一面連續夾入機構， (3) 以夾入的狀態照射電離放射線的機構， (4) 硬化電離放射線硬化性樹脂組成物以後，從該凹 职輪轉滾輪剝離電離放射線滲透膜的機構， (5 )將剛性板供給於該凹販輪轉浪輪上，依電離放射 線照射硬化的電離放射線硬化性樹脂組成物，和一面保 持規定的校準精度一面重鲞設定為加壓狀態的機構， (6)設定為加壓狀態以後，從該凹販輪轉滾輸表面剝 離剛性板的機構。 在以上的凹凸模型形成裝置，所諝電離放射線，傺指 具有勵磁紫外線，X射線，電子線等的空氣或分子設定 為電離狀態能力的放射線。而且，所謂電離放射線硬化 性樹脂組成物，條指包括依電離放射绵硬化反應樹脂的 組成物。 所謂脱模性的表面，你指坷極容易使電離放射線硬化 性樹腊組成物的硬化物脱模的表面。例如，矽樹脂，氟 樹脂，聚烯烴樹脂，聚酯樹脂。這些樹脂只要形成於凹 販的表面即可，實際上作為基材板使用鋁，不銹鋼，錁 合金銅合金的金屬板，或聚酯樹脂等的塑膠膜，在其上 形成上述脱模性材的凹模型。 對於凹販的形成方法而言，具有升降法，使用主模的 鑲入法。在這裡所謂升降法，係指以希望的模型將相反 的模型形成於被印刷物的上面，以全面塗敷及硬化脱模 材，最後藉由剝離相反模型，形成目的之凹販的方法。 -71- 本紙張尺度適用t國國家標準（CNS)A4規格（2J0 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) Μ------ 訂--------線^y. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 6 9 4 7 6 A7 _____B7__ 五、發明說明（） 具有為追蹤剛性板彈性的靥厚度，雖因剛性板的厚度 不均（批間，基板間，基板内}而異，但只少在厚度不勻 的範圍需要在具有彈性的狀態。通常認為凹販模型的變 P無妨的範圍，（厚度不勻的範圍寬度）+ (販深度2~5倍 的厚度）較適當》 數值上，靥於電漿顯示面板基板時傺0.5〜3mme 對於將凹販的表面設定為脱模性的方法而言，具有在 凹販輸轉滾輪基板的上面直接形成砂樹脂凹凸模型的方 法，和在具有可撓性的基板上形成矽樹脂的凹凸模型， 將此模型纏繞於凹版輪轉滾輪基板上的方法。對於纏燒 的方法而言，雖是以輟接劑或粘劑粘貼的方法，以磁力 ，電力，真空等吸附的方法，在輪轉式印刷機使用的方 法，但具有以夾具晈住的方法》 電離放射線滲透膜的種類，具有聚酯，聚醯胺等β厚 度你30# in〜1G0# η較容易使用。形成於該膜表面具有 脱模性的膜材質條矽樹脂較佳。市面上出售在聚酯膜的 表面塗敷砂樹脂的脱模膜，多半可使用。 電離放射線硬化性樹脂組成物的組成，視用途分別， 表不下列實施例。但，粘度，流動性，必需可填充於凹 販〇 對於一面將電離放射線硬化性樹脂組成物維持規定的 厚度一面連續夾入的機構而言，如第23圖所示，通常在 薄膜401和凹版輪轉滾輸402開始合攏的部份和開始分開 的部份後面設置背托滾輪403a、4〇3h而且，為調整薄 -7 2- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1' _ I I 丨 I 訂--------- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） A7 4 6 9 476 _B7____ 7 1 五、發明說明（） 膜401的張力，需要張力調整滾輪404a〜4D4d等。 對於有關以夾入的狀態照射電離放射線的機構40 5實 施的形態而言，首先對於紫外線照射裝置來説，最好凹 陴輪轉滾輪的橫向的照度均勻，設置於為使用如紫外線 硬化墨水的膠販印刷機的紫外線照射裝置或f u j en&司 的無極紫外線照射裝置較合適。 對於配置而言通常如第32圖所示β 對於從該凹版輪轉滾輪4 0 2表面，剝離硬化後的機構 而言通常是依背托滾輪403a、403be 對於需要精密校準時的機構，像由將剛性板4 0 6$給 於凹販輪轉滾輪402上，依電離放射線硬化的電離放射 線硬化性樹脂組成物，和一面保持規定的校準精度一面 重曼設定為加壓狀態的機構4 0 7提供。 對於設定為加壓狀態以後，從該凹販輪轉滾輪4 〇 2表 面剝離剛性板406的機構而言，通常是導軌 凹販輪轉滾輪的脱模性的表面材，可作為矽樹脂。此 時，由於作為矽樹脂的種類，用於取模的室溫硬化型的 橡膠，形成凹版也注入主模，因硬化而可製作，因此非 常理想β在習用技術的說明中，用於面合板製造的室溫 硬化型的矽酮橡膠材，雖如東芝矽公司的TSE3540較理 想，但可再使用其他的室溫硬化型橡膠可縮型的矽酮橡 膠等。 贐注意之點，傜不得因所使用的電離放射線硬化性樹脂 組成物而泡脹。 -73- 本紙張尺度適用尹國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ，裝-------訂---I!--線、 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 69 47 6 A7 B7 7 2 五、發明說明（） 可在供給於凹販輪轉滾輪上的剛性板，預先塗敷粘接 劑、膠接劑。此時，如果首先在全面形成粘接材，卽在 轉錄的凸模型以外的部份留下粘接性。將此粘接性用於 另外的目的，雖只要形成消失粘接性的狀態即可，但通 常附替橡膠等而不方便。為解決此問題，最好使用以紫 外線等硬化的粘接劑。 對於化學組成而言，具有紫外線硬化型的粘接劑。膠 接劑時，在粘合之前必需實施加熱，溶劑噴霧等的處理 以便可獲得從Β販抽出電離放射線硬化性樹脂組成物充 份的膠接力。 可在硬化的樹脂組成物表面，塗敷轉錄用樹脂。此時 ，可使用如第32圖所示的滾輪塗敷構造409。轉錄用樹 脂組成物，不附箸於矽酮橡膠上，僅附著於電離放射線 硬化性樹脂組成物硬化的部份β對於轉錄用樹脂而言， 可使用前逑轉錄用者。 可較凹販輪轉滾輪的寬度擴大電離放射線驂透膜的寬 度。此時，從較凹販輪轉滾輸寬度最低5cm程度至最高 15cm程度寬敞者容易使用，如果在推出於此上面的電離 放射線硬化性樹脂組成物預先設定為不照射電離放射線 的構造，卽可回收此構造再使用。 在具有供給於裝置脱模性的電離放射線滲透膜的表面 ,可預先塗敷電離放射線硬化性樹脂組成物。它的目的 在於防止氣泡的滲透和供給適當量的糊 對於塗敷方法而言，最好是滾輪塗敷，冲模塗敷，小 -74™ 本紙張尺度適用t國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (諳先閲讀背面之注f項再填寫本頁) 裝 *---I I--訂---I I I I I f 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 469476 A7 ____B7___ 7 3 五、發明說明（） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 刀塗敷。對於防止塗敷高粘度糊時的，膜和糊的介面氣 泡縿透的方法而言，最好是在前的薄膜表面形成薄又低 钻度液體層的方法\對於低粘度的液體而言，具有如水。 .塗敷量應調整以使儘量減少溘出於電離放射線滲透膜 兩邊的糊量》 可預先將粘接劑或膠接劑，塗敷於具有脫模性的電離 放射線滲透膜的表面。它等於取代將粘接劑或膠接劑塗 敷於剛性板。有時在其粘接劑或膠接劑上，再塗敷電離 放射線硬化性樹脂組成物。此時，只要粘接劑、膠接劑 層是液狀，即防止其間的氣泡滲透β對於塗敷方法而言 ，滾輪塗敷，沖模塗敷，小刀塗敷較理想》有時在塗敷 後乾燥溶劑，或照射紫外線聚合，提高粘接力、_接力。 可在凹販輪轉滾輪和電離放射線硬化性樹脂組成物開 始接觸的部份，裝設供給液體的機構410。此機構傈為 防止在此部位滲透氣泡的機構。對於液體的種類而言， 需要不膨脹、溶解凹販表面。對於電離放射線硬化性樹 脂組成物，如果少儘管膨脹、溶解者仍無妨，有時這樣 較佳。實際上，具有添加水，甲醇或乙醇或異丙醇的水， 酒精類。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 可在凹販輪轉滾輪和剛性板開始接觸的部份，裝設供 給液體的機構411。此機構的目的等，和在上述凹販輪 轉滾輪和電離放射線硬化性樹脂組成物開始接觸的部份 供給液體的機構相同β但，視剛性板的種類，也可以供 給於剛性板作為膜狀，和凹販配合的方式。 -75-本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） A7 469476 ____JB7_ 五、發明說明（） 剛性板的移動機構，具有固定剛性板的機構412，可 作為按照導軌4Q8移動的Χ-Υ-0工作檯。此時，必需朝 上提起剛性板，具有宾空吸附機構的PY-0工作楼較合 痺。對於導軌的種類而言直線導件較理想。而且，對於 移動使用球型螺栓，空氣滑動器等的驅勤力β而且雖降 低一些精度但可使用時間皮帶。 作為具有剛性板移動機構的凹凸模型形成方法，對於 凹版和剛性板雙方，在因應的位置形成校準記號，預 先將凹版的校準記號轉錄於剛性板，計量轉錄於剛性板 的凹板校準記號和剛性板的校準記號的位置槭移，調節 因應此位置偏移固定剛性板的Χ-Υ-0工作接的位置，可 使用校準的方法 這是對於凹販和剛性板雙方，形成於因應位置的校準 記號中，形成於凹版者坷轉錄於剛性板的方式。具體上 ，最好可以和所希望的凹模型部同一過程製作者 而且，填充於校準記號凹部的材料，篠電離放射線硬 化性樹脂組成物，由於硬化以後轉錄者，形狀正確因此 理想a但，由於重要的是平面肜狀正確，因此有時僅校 準記號部份，使用如沒有水的膠販印刷用販。 電離放射線硬化性樹脂組成物也適合形成微細的模型 ，而且可使用顔色適合計量的顔色。 校準方法傑預先將凹販的校準記號轉錄於剛性板，計 置轉錄於剛性板的凹販校準記號和剛性板的校準記號的 位置偏離，調節因應此位置偏離固定剛性板的Χ-Υ-0工 -76- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公f ) {請先"讀背面之注意事項再填寫本頁) •v叢—---訂---- 線or· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 469 47 6 A7 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 B7 _ — 75五、發明說明（） 作檯的位置校準的方法。 對於本發明的第4樣態具有作為對象ϋ性的基板而言 ，具有玻璃板，印刷電路樣基板，對於預備處理而言， a備塗敷或形成模型者也無妨β 氣泡的滲透耪由以液體封閉而可完金防止β此時，在 構造上非常有利的是颺於輪轉方式β照射霉離放射線硬 化以後，將硬化樹脂留在凹販上，因使用剝離性薄膜而 可達成。對於轉錄雉使用粘接剤，但由於凹版的表面僳 矽酮橡暖，因此瞟接蝌不會附著於矽酮橡膠，可朝刚性 板方面和硬化樹脂一起轉錄。 玆參閲圈式說明有開本發明的第4樣態的實施例如下·· [實施例20] 玆敘逑製造電漿顯示的背面基板隔艢的情形。 對於裝置而言，規定具備以下的機構。 (1) 凹販輪轉滾輪的直徑3G0nffl，寬度lOOOmB, £3販板 纏繞設定方式。 (2) 作為在脫模性薄膜的上面塗敷隔牆用糊的裝置， 使用缝隙塗敷器的頭部。 (3) 電離放射線照射裝置— Ι/V照射裝置。製造廠僳 FUJ0N公司，5kWSe附為不照射規定部以外的遮光牖。 (4) X-Y-0工作檯附真空吸附裝置。附校準記號位置 檢測機構，及依其數據的設定位置自動修正機構。附位 置的瞟販功能β校準精度±3#111。 (5) 玻璃基板移動轉錄機構：接受以玻璃基板位置設 -77- ί—.-·-------rh--------訂---------線 ί 1 (請先’閱續背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 4 6 9 4 7 6 A7 B7 7 6 五、發明說明（） 定用Χ-Υ-0工作接（由移勤用皮帶和固定於該皮帶上的 工作檯所成，工作檯僳由具有可固定玻璃基板或解除固 定功能者所成）設定位置的玻璃基板，固定，通過轉錄 部，移動至接受部，在接受部解除固定的皮帶機構》 所需要部份係載置於直線導件移動〇驅動力僳被設定 以使凹阪輪轉滾輪和皮帶形成同連的齒輪-鍵條機構。 設置可在轉錄場所設置附加所需要壓力的背托滾輪。由 於電極和隔牆的間隔的精度規格傜±5# B,轉錄起動位 置的精度±10flyU m程度，因此皮帶駸禁横向的蛇行β所 以，所需要部份的皮帶載置於直線導體移動 所使用的材料 (1) 脱模性薄膜：聚醅膜厚度30 Am，矽樹脂糸的脱模 材塗敷〇 (2) 對於防止氣泡滲透用機構的供給液體-♦水 (3) 剛性板：電漿顯示面板用玻璃基板，旭玻璃製ΡΟΖ 0 0 , 規格 8 5 0 X 6 5 0 n m (因應 4 : 3 型 4 0 吋 > 厚度 3 m in 。 電極 部，相同已經校準形成。對於轉錄所希望領域的粘接劑 塗敷劑（丙烯酸条，厚度50；um)己經層合保護膜。 (4 )凹販板：因應平面狀凹販纏繞方式—基板4 2合金， 厚度3G0#m凹販部矽酮橡膠，室溫硬化取模用（東芝矽 T S Ε 3 5 4 G )注模品e厚度2 a hi。校準記號部，ϋ A Ρ販。對 於墊板使用橡膠板（厚度Q.Smm)隔牆的寬度70#111,高度 180#1〇，節距43Mme此外，隔牆的方向，朝和凹販輪 轉的回轉方向平行的方向設定〇這種方法容易對於凹部 ~ 7 8 _ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ,Μ ----訂---------線(')丨. 469476 A7 B7 77 五、發明說明（ 經濟部智慧財產局貝工消費合作社印製 «充撕，氣泡的逋透也少，轉錄順利，更容易確保位置 精度。 (5)隔牆用紫外線硬化型糊：下列表 [表" 硼矽酸鉛玻璃料 氧化鋁 附加乙烯氣山梨糖醇琛己丙烯酸（η=15) 乙烯酵#400 t-丁基憩磨 丁基苯酞 將真空脱泡的隔牖用紫外線硬化型期壓送於狹缝塗敷 器的頭部，推出於脱模性薄膜的上面，塗敷。厚度换80 A m,此厚度傺符合夾入置的厚度。夾入滾輪和凹版輪 轉滾輪的間隔，僳使用間隔調整機構設定50私η。 而且，使用脱模性薄膜的張力諝整滾輪，将張力設定 B . 5 fc g/c m β此張力值偽將夾入的糊厚度設定5 0 # 的欺 值，依實驗決定。夾入速度，亦即凹販的回轉周速你50 CB/秒。 紫外線照射量傜IOOb^U和剛性板的粘合背托滾輪的 壓力俤2kg/ciBe此外，剛性材上的保護膜，傺於秸合前 剝離，將垃圾的附箸抑制為最低限度。液體規定水，供 給方法規定噴霧β 校準的方法 (1>設定預備基板，以便在CCD觀察条的視野中，進入 表示組成 重量比6 8S： 重暈比1 2 5J 重量比8 % 重量比8 X 重量比2 X 重量比2 χ 請 先 閲 t* 背 面 之 注 意 事 項 再 填 窝 頁 -79 本紙張尺度適用t國围家標準（CNS)A4規格（210 X 297公« ) 469476 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 B7 __________ 78五、發明說明（） 和電極同時形成的校準記號（記載為電極校準記號），將 此記號作為臨時原點。 (2 )以此狀態開始轉錄。亦卽，以真空吸附的狀態照 薺在X -卜0工作檯，固定於移動用皮帶（此時移動用皮 帶靜止 >,其次解除X-Υ-θ工作檀的真空吸附，並且， 以歷縮空氣（以針）使漂浮1〜2mme在這裡開始皮帶的移 動，通過轉錄部將玻璃基板，移動於基板接受部。隔牆 校準記號被轉錄於預備基板》 (3) 將該預備基板恢復於開始位置，計量電極校準記 號{臨時原點）和隔牆校準記號（真實原點）的位置偏離， 設定膠販量以使每次將臨時原點移動於真實原點β (4) 設定正式基板β機械傜首先檢測電極校準記號， 捋此記號移動於臨時原點。其次，僅膠版量移動此原點 。以這種方式，重壘真實的原點（隔牆校準記號）和電極 校準記號。 (5) 以此狀態，和預備基板時相同，將正式基板固定 於搬蓮皮帶，如果透過轉錄過程，隔牆即轉錄於規定的 位置。 (6) 以後，依序透過正式用的基板。後處理 轉錄後的基板在未塗敷膠接劑的部份，有時硬化的糊 自滾輸剝離載道。使用消除垃圾用粘附滾輪剝掉此糊。 (2 )以後燒製。結果 "*80- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先，閱讀背面之注$項再填窝本頁) ，裝 tr---------線 4 6 9 476 A7 B7 明 說 明 發 五 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 形狀：和凹版的形狀一致。但介電體部份的厚度10土 5 /i m 〇 閱 讀 背 面 之 注 意 事 項 再 填 寫 頁 缺陷：滲透氣泡，填充不足，因轉錄不足的隔牆部， 探有其他部份的缺陷。 和電極的校準精度，和轉錄平行的方向，± 2 0 # ffi 和轉錄垂直的方向，±5#m以内 隔牆的蛇行—R± 5# m 此外，電漿位址液晶顯示（PALC)的背面板的隔牆的形 成，也可使用本模樣的裝置和在這裡所逑的方法製造。 而且，世可用於PDP和PALC的糊配線，電極形成。 參考符號說明 1,14.....玻璃基板 2,12,203.....電極 3 , 1 0 3,1 0 8,2 0 4 .....介電體層 4 , 1 3 , 1 0 7 , 2 0 2 .....隔腩 10.....電漿基板 14.....介電髏薄玻璃 15. ..CF基板，玻璃基板 16 .....CF 層 17 .....黑-fS紋 18 .....信號電極 19 .....液晶 2 0.....偏光板 2 1.....背光燈 -8 1 _ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 469476 B7 80 — 五、發明說明（） 5 3.· .電離放射線硬化性樹脂 54 .. .凹販 6 1… .薄膜基1 '4 7 1.. .販凹部 10 1. ..嗝牆 形 成 用 B 版 102. ..隔牆 形 成 材 料 10 3. ..保護 暦 10 6. ..粘接 劑 9 膠 接 劑 4 0 1, ..薄膜 4 0 2 . - ..凹販 輪 轉 滾 輪 4 0 3 a ，4 03b.·. •- 背 托 滾 輪 4 0 4 a ，4 04b… 張 力 調 整滾輪 4 0 6 . ..剛性 板 4 0 7 , 4 1 0,411, 4 1 2 . * - · 機構 4 0 8 . ..導軌 4 0 9 . ..滾輪 塗 敷 構 造 -82- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝--------訂---------線 i 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）

Claims (1)

1. 469476 六、申請專利範圍 第89102310號「電漿顯示面板，其製造方法及其製造裝置」專利案 (90年7月20日修正） 7\申請專利範圍： 1_ 一種電發顯示面板，其中具備背面基板， 和配置於此背面基板上的隔牆， 煩請委員明示 年月 日所提之 4^^1^-^.5^^.1-^-.7^1 —-...i TJ 一 ΓJ.l! h. . J · · * 和裝置於前述背面基板上的由前述隔牆所區隔領域 上的電極， 和覆蓋此電極的介電體層， 前述隔牆及介電體層，係由包括同一低融點玻璃料 的隔牆形成材料形成者》 2. 如申請專利範圍第1項所記載的電漿顯示面板，其中 前述介電體層的膜厚係5〜50 M m者。 3. 如申請專利範圍第1或2項所記載的電漿顯示面板， 其中前述介電體層的膜厚係5〜2 0 ；tz m者。 4. 如申請專利範圍第1項所記載的電漿顯示面板，其中 前述介電體層，係具有由前述隔牆形成材料所成的層 和由與前述隔牆形成材料不同的低融點玻璃所成的層 兩層構造者。 5. 如申請專利範圍第1項所記載的電漿顯示面板，其中 前述介電體層的膜厚係5〜20 前述介電體層，係 具有由前述隔牆形成材料所成的層和由與前述隔牆形 成材料不同的低融點玻璃所成的層兩層構造者。 6.—種電漿顯示面板之製造方法，其中具備在隔牆形成 用凹版，塡充包括玻璃料的糊狀隔牆形成材料的製程 4 6 9 476 六、申請專利範圍 ，將塡充前述糊狀隔牆形成材料的隔牆形成用凹 聲於基板，將前述糊狀的隔牆形成材料轉錄於前述_ 板上的製程， 及藉由加熱轉錄於前述基板上的糊狀隔牆形成材料 使燒掉有機成份，同時使燒結玻璃料，利用此玻璃# 形成隔牆及介電體層的製程者》 7. 如申請專利範圍第6項所記載的電漿顯示面板之製造 方法，其中將糊狀的隔牆形成材料塡充於隔牆形成用 凹版，同時在該凹版上形成一定厚度的介電體層，轉 印於基板上者 8. —種電漿顯示面板，其中具備背面基板， 和在此背面基板上裝設於隔牆， 和由前述隔牆區隔領.域的《極， 前述隔牆係由和前述背面基板_接觸_的.庭_部構造，和 從此低部突出於上_方1的上部櫸造所成的凹模結構體， ' —... 前述電極被配置於前述凹模的開口部的底部者。 9. 如申請專利範圍第8項所記載的電漿顯示面板，其中 前述電極以外的部份的能見光反射率，在未塗敷螢光 體的狀態係50%以上者。 10. 如申請專利範圍第S項所記載的電漿顯示面板，其 中在前述凹模的結構體的開口部的底部形成凹部，在 該凹部配置電極者。 11. 如申請專利範圍第8項所記載的電漿顯示面板，其 中前述電極的寬度和前述凹模的結構體的開口部的底 4 69 476 六、申請專利範圍 部尺寸相同者。 12.如申請專利範圍第8或10項所記載的電漿顯示面板， 其中前述電極係由金屬線或金屬板所成者。 1 3 如申請專利範圍第8項所記載的電漿顯示面板，其 中則述凹模的結構體的底部構造的厚度，係凹部的上 部構造的寬度以上者。 14·如申請専利範圍第8項所記載的電漿顯示面板，其 中形成於前述凹模的結構體的開口部底部的凹部底部 的厚度，係凹部的上部構造的寬度以上者。 15. 如申請專利範圍第8或10項所記載的電漿顯示面板， 其中在前述凹模的結構體的底部形成介電體層，前述 凹模的結構體的底部構造的厚度，和前述介電體層的 厚度的和，係在_述凹部的上部構造的寬度以上者。 16, —種電漿位址液晶面板之背面板，其中具備背面基 板， 和在此背面基板上形成的透明介電體層， 和由形成於此透明介電體層上的前述透明介電體層 同一材料所成的透明隔牆， 和形成於前述介電體層的陽極， 和形成於前述介電體層的陰極賓。 1 7 .如申請專利範圍第1 6項所記載的電漿位址液晶面板 之背面板，其中前述透明介電體層的膜厚係3〜15vra 者。 1 8 .如申請專利範圍第1 6或1 7項所記載的電漿位址液晶 ^9 476 、申請專利範圍 面板之背面板，其中前述透明隔牆的側面和前述背面 基板所形成的角度係85°〜95°者。 19.如申請專利範圍第16項所記載的電漿位址液晶面板 之背面板，其中前述透明隔牆的側面的表面粗度係在 Ι/zra以內，大致光學平面者。 20 .如申請專利範圍第1 6所記載的電漿位址液晶面板之 背面板，其中前述陽極及陰極係由同一材料所成者。 21.如申請專利範圍第20項所記載的電漿位址液晶面板 之背面板，其中前述陽極及陰極，係由含有Ni 80%以 < --· 上的厚膜或電鍍膜所成者。 22 .如申請專利範圍第20項所記載的電漿位址液晶面板 之背面板，其中前述陽極及陰極，係由含有Ag80%以 上的厚膜或噴鍍膜所成者。 23.如申請專利範圍第16項所記載的電漿位址液晶面板 之背面板，其中前述陽極及陰極，至少陰極具有兩層 構造者。 24 .如申請專利範圍第23項所記載的電漿位址液晶面板 之背面板，其中依具有感光性的同一材料作爲底層電 極形成前述陽極及陰極，至少在陰極對於放電氣體陽 離子具有耐濺射性，實施含有Ni 80%以上的保護電鍍 者。 25 .如申請專利範圍第24項所記載的電漿位址液晶面板 之背面板，其中前述底層電極係使用感光性糊質Ag形 成者。 -4- 469476 26.—種電漿位址液晶面板之背面板之製造方法，其中具 備在基板表面塗敷含有玻璃料的糊狀隔牆形成材料的 製程， 依隔牆形成用凹版，沖壓前述基板表面的糊狀的隔 牆形成材料，形成隔牆模型的製程， 藉由加熱前述隔牆模型使燒掉有機成份，同時藉由 使燒結玻璃料形成透明隔牆及透明介電體層的製程， 及在前述透明介電體層上形成陽極及陰極的製程者。 27·—種電漿位址液晶面板之背面板之製造方法，其中具 備在隔牆形成用凹版埋入含有玻璃料的糊狀隔牆形成 材料，同時在前述凹版上形成一定厚度介電體層的製 程， 將埋入前述隔牆形成材料的隔牆形成用凹版重疊於 基板，將前述糊狀的隔牆形成材料轉錄於前述基板上， 在基板上形成隔牆模型的製程， 藉由加熱前述隔牆模型使燒掉有機成份，同時藉由 使燒結玻璃料彤成透明隔牆及透明介電體層的製程， 及在前述透明介電體層上形成陽極及陰極的製程者。 28 ·如申請專利範圍第26或27項所記載的電漿位址液晶 面板之背面板之製造方法，其中前述陽極及陰極係依 無電解電鍍法形成者。 29 .如申請專利範圍第26或27項所記載的電漿位址液晶 面板之背面板之製造方法，其中前述陽極及陰極，係 藉由塗敷厚膜糊，塗敷液體保護層，濺射，依噴砂形 成電極模型，燒製形成者。 46 9 476 、申請專利範圍 30 .如申請專利範圍第26或27項所記載的電漿位址液晶 面板之背面板之製造方法，其中前述陽極及陰極係依 感光性糊法形成者。 31. 如申請專利範圍第26或27項所記載的電漿位址液晶 面板之背面板之製造方法，其中前述陽極及陰極係依 噴鍍法形成者。 32. 如申請專利範圍第28項所記載的電漿位址液晶面板 之背面板之製造方法，其中前述陽極和陰極中，至少 陰極具有兩層構造，前述兩層構造的底層電極，藉由 依具有電漿陽離子耐濺射的材料實施電解電鍍形成. 者。 33 . —種凹凸模型形成裝置，係爲在剛性板的表面形成電 離放射線硬化型樹脂組成物的硬化凹凸模型的輪轉方 式的凹凸模型形成裝置， 其中具備將目的之凹凸模型，作爲由脫模性的表面 所成的凸凹模型具f的凹版輪轉滾輪， 和在前述凹版輪轉滾輪和具#脫模性的電離放射線 滲透膜之間一面維持規定的厚度一面連續夾入電離放 射線硬化性樹脂組成物的機構， 和以夾入的狀態照射電離放射線的機構，和硬化電離 放射線硬化性樹脂組成物以後，從前述凹版輪轉滾輪 表面剝離電離放射線滲透膜的機構， 和將前述剛性板供給於前述凹版輪轉滾輪上，依電 離放射線照射硬化的電離放射線硬化性樹脂組成物， 469 476 六、申請專利範圍 一面保持規定的校準精度一面重疊設定爲加壓狀態的 機構， 和設定爲加壓狀態以後，從前述凹版輪轉滾輪的表 面剝離前述剛性板的機構者。 34 ·如申請專利範圍第33項所記載的凹凸模型形成裝置， 其中前述凹版輪轉滾輪的表面係由矽樹脂所成者。 35.如申請專利範圍第33或34項所記載的凹凸模型形成 裝置，其中在供給於前述凹版輪轉滾輪上的剛性板， 再具備預先塗敷粘接劑或膠接劑的機構者。 36 .如申請專利範圍第33或34項所記載的凹凸模型彤成 裝置，其中在使硬化的電離放射線硬化性樹脂組成物 的表面再具備塗敷轉錄用樹脂的機構者。 37.如申請.専利範圍第33或34項所記載的凹凸模型形成 裝置，其中具有前述脫模性的電離放射線滲透膜寬度， 較前述凹版輪轉滾輪的寬度寬敞者。 3 8 .如申請專利範圔第3 3或3 4項所記載的凹凸模型形 成裝置，其中在具有前述凹版輪轉滾輪和脫模性的電 離放射線湊透膜之間一面維持規定的厚度一面連續夾 入電離放射線硬化性樹脂組成物的機構，預先在具有 前述脫膜性的電離放射線滲透膜的表面塗敷電離放射 線硬化性樹脂組成物，和前述凹版輪轉滾輪重疊的機 構者。 39.如申請專利範圍第33或34項所記載的凹凸模型形成 裝置，其中在具有前述脫模性的電離放射線滲透膜的 469476 六、ΐ請專利範圍 表面再具備預先塗敷粘接劑或膠接劑的機構者° 40. 如申請專利範圍第33或34項所記載的凹凸模型形成 裝置，其中在前述凹版.輪轉滾輪和開始接觸前述電離 放射線硬化性樹脂組成物的部份再具備供給液體的機 構者。 41. 如申請專利範圍第33或34項所記載的凹凸模型形成 裝置，其中在前述凹版輪轉滾輪和前述剛性板開始接 觸的部分再具備供給液體的機構者。 42. 如申請專利範圍第33或34項所記載的凹凸模型形成 裝置，其中前述剛性板的移動機構，具有固定前述剛 性板的機構，隨著導軌移動的Χ-Υ-Θ工作檯者。 43. —種凹凸模型形成方法，係在剛性板的表面形成電離 放射線硬化型樹脂組成物的硬化凹凸模型的輪轉方式 的凹凸模型形成方法， 其中將作爲目的之凹凸模型，由具有脫模性表面所 成凸凹模型，一面具凹版輪轉滚輪和脫膜性的電離放 射線滲透膜之間維持規定厚度，一'面連續夾入電離放 射線硬化性樹脂組成物， 以夾入的狀態照射電離放射線， 硬化電離放射線硬化性樹脂組成物以後，從前述凹 版輪轉滾輪表面剝離電離放射線滲透膜，將前述剛性板 供給於前述凹版輪轉滾輪上，依電離放射線照射硬化 的電離放射線硬化性樹脂組成物，和一面保持規定的 校準精度，一面重疊設定爲加壓狀態， 469 476 六、申請專利範圍 及設定爲加壓狀態以後，從前述凹版輪轉滾輪表面 剝離前述剛性板者。 44. 如申請專利範圍第43項所記載的凹凸模型形成方法， 其中前述凹版輪轉滾輪的表面係由矽樹脂所成者。 45. 如申請專利範圍第43或44項所記載的凹凸模型形成 方法，其中在供給於前述凹版輪轉滾輪上的剛性板， 再具備預先塗敷粘接劑或膠接劑的製程者> 46 .如申請專利範圍第43或44項所記載的凹凸模型形成 方法，其中在使硬化的電離放射線硬化性樹脂組成物 的表面再具備塗敷轉錄用樹脂的製程者。 47 ·如申請專利範圍第43或44項所記載的凹凸模型形成 方法，其中具有前述脫模性電離放射線滲透膜的寬 度，係較前述凹版模型輪轉滾輪的寬度寬敞者。 48 .如申請專利範圍第43或44項所記載的凹凸模型形成 方法，其中在前述凹版輪轉滾輪和具有脫模性的電離 放射線滲透膜之間，一面維持規定的厚度，一面連續 夾入電離放射線硬化性樹脂組成物的過程，在具有前 述脫模性電離放射線滲透膜的表面預先塗敷電離放射 線硬化性樹脂組成物，和前述凹版輪轉滾輪重疊的製 程者》 49 .如申請專利範圍第43或44項所記載的凹凸模型形成 方法，其中在具有前述脫模性的電離放射線滲透膜的 表面再具備預先塗敷粘接劑或膠接劑的製程者。 4 6 9 4.7 6 六、申請專利範圍 50 ,如申請專利範圍第43或44項所記載的凹凸模型形成 方法，其中在前述凹版輪轉滾輪和前述電離放射線硬 化性樹脂組成物開始接觸的部份再具備供給液的製程 者。 5 1 .如申請專利範圍第43或44項所記載的凹凸模型形成 方法，其中在前述凹版輪轉滾輪和前述剛性板開始接 觸的部份再具備供給液的製程者。 52 .如申請專利範圍第43或44項所記載的凹凸模型形成 方法，其中前述剛性板的移動，具有固定前述剛性板 的機構，依隨著導軌移動的Χ-Υ-0工作檯實施者。 53 如申請專利範圍第43或44項所記載的凹凸模型形成 方法，其中對於前述凹版輪轉滾輪和前述剛性板雙 方，在因應的位置形成校準記號，預先將凹版的校準 記號轉錄於前述剛性板，計量轉錄於前述剛性板的凹 版校準記號和前述剛性板的校準記號的位置偏離，調 整因應位置偏離固定前述剛性板的Χ-Υ-0工作檯的位 置，校準者。 -10-