JP3466069B2 - ガス放電パネル及びその製造方法 - Google Patents

ガス放電パネル及びその製造方法

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JP3466069B2
JP3466069B2 JP34463697A JP34463697A JP3466069B2 JP 3466069 B2 JP3466069 B2 JP 3466069B2 JP 34463697 A JP34463697 A JP 34463697A JP 34463697 A JP34463697 A JP 34463697A JP 3466069 B2 JP3466069 B2 JP 3466069B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガス放電パネル及
びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来から、ガス放電パネルの一例として
は図7で示すようなAC型のプラズマディスプレイパネ
ル(以下、PDPという)が知られている。
【0003】以下図面を参照しながら、従来のPDPの
パネル構成とその動作を説明する。
【0004】図20は、従来のPDPの模式的な断面斜
視図である。
【0005】同図において、4はフロント基板(上部パ
ネル基板とも呼ぶ)であり、8はバック基板(下部パネ
ル基板とも呼ぶ)である。外囲器10は、フロント基板
4とバック基板8とが対向配置され、その外周端縁部の
間には、ガス放電用空間を形成するために低融点ガラス
からなる封着部材9(図21参照)により封着されてお
り、その密閉空間に、300Torrから500Tor
rの希ガス(ヘリウム及びキセノンの混合ガス)が封入
された構成である。
【0006】フロント基板4は、フロントパネルガラス
201と、そのフロントパネルガラス201上にパター
ン形成された表示電極1と、それを覆う様に形成された
誘電体膜2と、その上に形成されるMgO保護膜3から
構成されている。
【0007】一方、バック基板8は、バックパネルガラ
ス202と、バックパネルガラス202の表面にパター
ン形成されたアドレス電極5(データ電極とも呼ぶ)
と、それを覆うように成膜形成された誘電体6と、複数
のリブからなる隔壁7と、それらリブ同士の間に塗布さ
れたRGBの蛍光体11a〜11cから構成されてい
る。ここで、隔壁7は、上記ガス放電用空間を区切るた
めの手段である。このようにして区切られた空間部12
が発光領域となるものであり、蛍光体11は、この発光
領域毎に塗布されている。又、隔壁7のリブとアドレス
電極5とは同一方向に形成されており、表示電極1はア
ドレス電極5と直交している。
【0008】以上のように構成された外囲器10は、ア
ドレス電極5,表示電極1に適当なタイミングで電圧を
印加することにより、表示画素に相当する、隔壁7で区
切られた空間部12で放電が起こり、紫外線が発生し、
その紫外線に励起されたRGB蛍光体11a〜cから可
視光が放出されそれが画像として表示されるのである。
【0009】尚、フロントパネルガラスとバックパネル
ガラスは内部に、放電ガスを封入して、封着されている
が、一般には封入された放電ガス圧力が大気圧より低い
ため、内側に向けて大気圧によって押される状態とな
り、隔壁7の上端部即ち各リブの頂点とフロントパネル
ガラス201の内面とが接触しており、フロントパネル
ガラス201とバックパネルガラス202の間隙を保持
している。従って、隔壁7の上端部とフロントパネルガ
ラス201の内面とは接着する必要がなく、単に接触さ
せる構造である。
【0010】次に、このような従来のPDPの製造方法
について図面を参照しながら述べる。
【0011】図21は、図20で示したものと同じ従来
のPDPの模式的な部分的な断面斜視図である。
【0012】図21に示す様に、フロント基板4につい
ては、ガラス基板201上に電極1を形成し、それを覆
って誘電体2を成膜し、焼成し、その上に保護膜(Mg
O)3をEB蒸着によって成膜して製作する。
【0013】又、バック基板8については、ガラス基板
202上に電極5を形成し、それを覆って誘電体膜6を
成膜し、焼成し、その上一面に印刷によって隔壁材料を
成膜した後、サンドブラストによって、隔壁7を形成し
ない部分を削り取り、焼成工程を経てライン状になった
隔壁7を形成する。その後、隔壁7のリブ間に印刷法等
によって蛍光体11を充填し、乾燥し、焼成して製作す
る。
【0014】このようにして完成したフロント基板4と
バック基板8は、周囲に低融点ガラスを封着部材9とし
て塗布した後、焼成することで封着し、チップ管(配管
部材とも呼ぶ)13より真空引きをした後、希ガスを封
入し、チップオフし、PDPを完成させるものである。
【0015】次に、チップ管13を用いた希ガスの封入
と、チップオフについて、図21,20を用いて更に詳
細に述べる。
【0016】すなわち、図21に示すように、従来のP
DP(ガス封入後の器)を製造する際には、下部パネル
基板8に形成された貫通孔8aを通じて外囲器10内の
ガス放電用空間と連通する配管部材13を下部パネル基
板8の外部位置に取り付ける。次に、この配管部材13
を介して、外囲器(ガス封入前の器)10内の排気及び
放電ガスの封入を実行した後、配管部材13の封止に伴
って外囲器10の内部を密封することが行われている。
【0017】ここで、この配管部材13を封止する場
合、図22(a)で示すように、ガスバーナ14などを
用いて、配管部材13の封じ切り部分13aを外部から
加熱しながら軟化及び溶融させる。その後、図22
(b)で示すように、軟化及び溶融した封じ切り部分1
3aの下側部分を外囲器10から遠ざける方向に移動さ
せることによって配管部材13の材料収縮を生じさせた
後、図22(c)で示すように、配管部材13を溶断す
るという方法が行われている。この様に従来の場合、外
囲器10の内圧よりも大気圧の方が高いため、材料収縮
が生じた配管部材13の封じ切り部分13aは、配管の
内壁部が収縮して完全に閉塞されることになる。
【0018】尚、下部パネル基板8には外囲器10内の
排気時及び放電ガスの封入時に使用された配管部材13
が封止部材9と同等の材料を用いて接着されたままで残
っている。
【0019】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような従来のPDPの構成では、フロント基板4とバッ
ク基板8は、その周辺が封着用のフリットガラス(封着
部材9)によって固定されているものの、大部分は外側
から加わる大気圧とフロント基板とバック基板間に封入
された1気圧以下の気体との圧力差によってフロント基
板が隔壁に押さえつけられる形で固定され、その形状が
保たれている。
【0020】又、封入される気体は一般には300To
rrから500Torrであり大気圧760Torrと
の差はそれほど大きくない。
【0021】そのため、例えば、飛行機等に従来のPD
Pを搭載していて、飛行機内部の気圧が通常の大気圧に
比べて非常に低下する様な飛行条件となった場合、従来
のPDPの構成では、PDPの中央部においてフロント
基板の内面が隔壁の上端部から浮き上がり、クロストー
クが生じると言う課題があった。
【0022】又、通常の大気圧下においても、PDPに
振動が加わると、一時的にフロント基板が隔壁と離れる
ため、クロストークが生じて、画像が乱れるという課題
もあった。
【0023】このため、従来のPDPの構成では、電
車、バス等の乗り物に搭載した場合、振動などにより画
像が乱れる等の課題を有していた。
【0024】更に、従来のPDPの製造過程においては
多くの焼成工程を有しており、多くの電気炉が必要であ
るために、光熱費が非常に高くつき、省エネルギーによ
る効率的な生産を実現し難いという課題もあった。
【0025】一方、上述した従来のPDPの構成では、
必ずしも十分に満足すべき輝度を得ることができないと
いう課題があった。輝度の向上を実現するためには、外
囲器10内に封入された放電ガスの内圧を500Tor
rを越える程度以上にまで高める必要があると考えられ
ている。
【0026】しかしながら、従来の構造では、外囲器1
0内における放電ガスの内圧を760Torr〜100
0Torrまで高めた場合には、下部パネル基板8上に
形成された隔壁7の上端部と上部パネル基板4との間に
隙間が発生したり、あるいは、上部パネル基板4及び下
部パネル基板8が外側に向かって膨らんだりする。
【0027】その結果、隔壁7のリブによって仕切られ
ていた、互いに隣接している空間部12同士が、上記隙
間のためにつながってしまい、クロストークが生じる
等、かえってPDPの表示品位を劣化させてしまうとい
う課題を有していた。また、外囲器10内に封入された
放電ガスの内圧が大気圧に近いものであったり、大気圧
以上となっている場合には、上述した従来の製造方法で
述べた様な、封入ガス圧よりも高い圧力である大気圧を
利用した封止方法は、もはや採用することができないと
いう課題も有った。
【0028】本発明は、上述した従来のプラズマディス
プレイパネルのこのような課題を考慮し、従来に比べて
クロストークが生じにくく、より安定した画像を形成出
来るガス放電パネルとその製造方法を提供することを目
的とする。
【0029】又、本発明は、上述した従来のプラズマデ
ィスプレイパネルの製造方法のこのような課題を考慮
し、焼成工程の数を従来に比べて低減出来るガス放電パ
ネルの製造方法を提供することを目的とする。
【0030】又、本発明は、上述した従来のプラズマデ
ィスプレイパネルのこのような課題を考慮し、従来に比
べて輝度を高く出来るガス放電パネル及びその製造方法
を提供することを目的とする。
【0031】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の本発明
は、1パネル基板と、前記第1パネル基板と対向す
2パネル基板と、前記第1と第2パネル基板との間に
ガス放電用空間を形成するために双方の基板の外周端縁
部間に設けられた封着部と、前記第2パネル基板に設け
られた、前記ガス放電用空間を区切る隔壁とを備え、前
記隔壁の上端部が、前記第1パネル基板の内面に接着部
材を介して接着されており、前記ガス放電用空間には7
60Torrを越える圧力の放電ガスが封入されている
ガス放電パネルである。
【0032】請求項2記載の本発明は、前記接着には、
光透過性の材料を含む接着部材が用いられている請求項
1記載のガス放電パネルである。
【0033】請求項3記載の本発明は、前記接着には、
光吸収性の材料を含む接着部材が用いられており、且
つ、前記隔壁の材料が光反射性材料を含むものである請
求項1記載のガス放電パネルである。
【0034】請求項4記載の本発明は、前記隔壁の上端
部と前記第1パネル基板との接着部の幅は、前記区切ら
れたガス放電用空間における発光領域に前記接着部がは
み出さない様に調整されている請求項1、2又は3に記
載のガス放電パネルである。
【0035】請求項5記載の本発明は、前記接着には、
溶融性ガラスを含む接着部材が用いられていることを特
徴とする請求項1記載のガス放電パネルである。
【0036】請求項6記載の本発明は、前記接着部材の
軟化点が、前記隔壁の軟化点より低い請求項1記載のガ
ス放電パネルである。
【0037】請求項7記載の本発明は、前記接着部材と
前記隔壁の軟化点の差が、20℃以上200℃以下であ
る請求項6記載のガス放電パネルである。
【0038】請求項8記載の本発明は、前記隔壁の上端
部に穴部を有し、前記接着部材が前記穴部に浸透してい
る請求項5記載のガス放電パネルである。
【0039】請求項9記載の本発明は、前記隔壁が、溶
射法により形成されたものである請求項5又は8記載の
ガス放電パネルである。
【0040】請求項10記載の本発明は、前記隔壁の上
端部の表面、及び、前記第1パネル基板の内面の内、前
記上端部と接着されている部位の表面の少なくとも一方
の表面が、凹凸形状である請求項1又は5記載のガス放
電パネルである。
【0041】請求項11記載の本発明は、前記隔壁の上
端部の全部又は一部が、前記第1パネル基板の内面に接
着されている請求項1記載のガス放電パネルである。
【0042】請求項12記載の本発明は、前記隔壁は、
平行に配置された複数の長板状のリブであり、前記接着
には、前記リブの長手方向と実質上直交する方向にライ
ン状に形成された接着部材が用いられている請求項11
記載のガス放電パネルである。
【0043】請求項13記載の本発明は、前記接着部材
は、光吸収性の材料を含む請求項12記載のガス放電パ
ネルである。
【0044】請求項14記載の本発明は、前記隔壁の上
端部の一部が、前記第1パネル基板の内面に接着されて
いるとは、前記隔壁の上端部の内、前記第1電極の近傍
で前記接着がされている請求項11、12又は13に記
載のガス放電パネルである。
【0045】請求項15記載の本発明は、前記隔壁の上
端部に凹状の窪みが形成されており、前記接着は、前記
窪みを利用してなされている請求項1記載のガス放電パ
ネルである。
【0046】請求項16記載の本発明は、前記隔壁と前
記第2パネル基板は、フリットガラスにより接着されて
いる請求項1記載のガス放電パネルである。
【0047】
【0048】請求項17記載の本発明は、1パネル基
板と、前記第パネル基板と対向する第2パネル基板と、
前記第1と第2パネル基板との間にガス放電用空間を形
成するための、それら双方の基板の外周端縁部の間に設
けられた封着部と、前記第2パネル基板に設けられた、
前記ガス放電用空間を区切る隔壁とを備え、前記隔壁の
上端部が、前記第1パネル基板の内面に接着部材を介し
て接着されており、前記ガス放電用空間には、760T
orrを越える圧力の放電ガスが封入されたガス放電パ
ネルの製造方法であって、前記隔壁の上端部と前記第1
パネル基板との接着に利用する接着部材を、前記隔壁の
上端部又は前記第1パネル基板の内面に設ける工程と、
少なくとも前記接着部材の設けられた部位に圧力がかか
る様に、前記対向する前記第1パネル基板及び/又は前
記第2パネル基板に対して加圧し、前記ガス放電用空間
を形成する封着工程と、を備えたガス放電パネルの製造
方法である。
【0049】
【0050】
【0051】請求項18記載の本発明は、前記加圧は
前記第パネル基板に緩衝部材を介在させて行う請求項
記載のガス放電パネルの製造方法である。
【0052】
【0053】
【0054】
【0055】
【0056】
【0057】
【0058】
【0059】請求項19記載の本発明は、第1パネル基
板と、前記第1パネル基板と対向する第2パネル基板
と、前記第1と第2パネル基板との間にガス放電用空間
を形成するための、それら双方の基板の外周端縁部の間
に設けられた封着部と、前記第2パネル基板に設けられ
た、前記ガス放電用空間を区切る隔壁とを備え、前記隔
壁の上端部が、前記第1パネルと接着部材を介して接着
されており、前記ガス放電用空間には760Torrを
越える圧力の放電ガスが封入されたガス放電パネルの製
造方法であって、前記隔壁を前記第2パネル基板上に形
成する隔壁形成工程と、前記隔壁の上端部に溶融性ガラ
スペーストを塗布する塗布工程と、前記溶融性ガラスペ
ーストを焼成する焼成工程と、を備え、前記隔壁の一部
が光反射性を有し、前記溶融性ガラスペーストが光吸収
性を有することを特徴とするガス放電パネルの製造方法
である。
【0060】請求項20記載の本発明は、前記接着部材
を、前記隔壁の上端部又は前記第1パネル基板の内面に
設ける工程では、スクリーン印刷法を利用することを特
徴とする請求項17記載のガス放電パネルの製造方法で
ある。
【0061】請求項21記載の本発明は、前記スクリー
ン印刷法に用いるスクリーンマスクが、パターン形状を
有していないことを特徴とする請求項19記載のガス放
電パネルの製造方法である。
【0062】
【0063】
【0064】
【0065】
【0066】
【0067】
【0068】
【0069】
【0070】
【0071】
【発明の実施の形態】以下、本発明のガス放電パネル及
びその製造方法に係る実施の形態を図面に基づいて説明
する。 (実施の形態1)図1は本発明のガス放電パネルの一実
施の形態であるプラズマディスプレイパネル(PDP)
の概略部分断面を示す図である。同図を用いて本実施の
形態のPDPの構成について述べる。
【0072】本実施の形態では、本発明の接着部材とし
てのフリットガラス31を用いた点等を除いて、図20
を用いて説明した従来のPDPの構成と基本的に同じで
ある。フリットガラス31については後述する。
【0073】即ち、図1において、21はフロントパネ
ルガラスであり、22はバックパネルガラスである。フ
ロントパネルガラス21には、表示電極24がパターニ
ングされており、その上部に誘電体膜28と保護膜29
が積層されており、フロント基板104を構成してい
る。
【0074】一方、バック基板108は、バックパネル
ガラス22とその上部にパターニングされたアドレス電
極23、隔壁30、蛍光体25から構成されている。隔
壁30は、アドレス電極23を覆う誘電体膜と一体的に
構成され、本実施の形態ではアルミナを溶射して形成し
たものである。尚、上述の通り、隔壁30が、誘電体膜
と一体的に構成されている点も図20の構成と異なるも
のである。隔壁30は板状の複数のリブから構成されて
いる。
【0075】PDP100は、上記フロント基板104
とバック基板108とが対向配置され、その外周端縁部
の間には、ガス放電用空間を形成するために低融点ガラ
スからなる封着部材(図示省略)により封着されてお
り、その密閉空間に、300Torrから500Tor
rの希ガス(ヘリウム及びキセノンの混合ガス)が封入
された構成である。又、隔壁30は、上記ガス放電用空
間を区切るための手段である。このようにして区切られ
た空間部112が発光領域となる。
【0076】次に、本実施の形態の特徴であるフリット
ガラス31について述べる。
【0077】フリットガラス31は、製造工程におい
て、隔壁30の上端部に予め塗布されている。そして、
フロント基板104とバック基板108を対向配置し
て、パネルを封着することにより、溶融したフリットガ
ラス31を介して、フロント基板104の内面と隔壁3
0の上端部とが接着されるものである。
【0078】又、隔壁30の表面には、小さな穴が若干
存在する。これらの穴は、隔壁30を溶射方法により形
成する場合に出来るものである。フリットガラス31
は、溶融時に隔壁30の上記穴に浸透するため、隔壁3
0の強度が増し、かつ双方の基板104,108間の接
着力は大きくなる。
【0079】尚、隔壁30及び隔壁30と一体となった
誘電体は、それぞれ印刷等によって作製可能である。ま
た隔壁30とその下部の誘電体は同一材料でも別材料で
も良い。
【0080】これにより、クロストークや画像の乱れが
少なく、良好な画質を実現する事ができる。
【0081】また、この様な構成であれば、封入ガス圧
を大気圧以上にあげることが可能であり、その場合高輝
度で、効率の高いPDPが実現できる。 (実施の形態2)図2は、本発明のガス放電パネルの第
2の実施の形態であるPDPの概略部分断面を示すもの
である。同図を用いて、以下に本実施の形態のPDPの
構成について述べる。
【0082】本実施の形態のPDPの構成は、隔壁50
の底部がフリットガラス52によりバック基板108側
に接着されている点を除いては、図1に示した構成とほ
ぼ同じであり、その説明を省略する。
【0083】隔壁50は、その底部50bと上端部50
aにフリットガラス31、52があらかじめ塗布されて
いる。
【0084】フロント基板21の内面と隔壁50の上端
部50aとの接着に用いるためのフリットガラス31
は、隔壁50の上端部50aにあらかじめ塗布しても良
いし、あるいは、フロント基板21の内面にあらかじめ
パターン塗布し、隔壁50と接着させても良い。
【0085】一方、隔壁50と誘電体53との間のフリ
ットガラス52は、隔壁50の材料と誘電体膜53の材
料が異なる場合で、双方の接着力が比較的弱いときに有
効である。更に、フリットガラス52が、隔壁50に形
成された上記穴にしみ込むことにより、隔壁50を強化
する働きがある。このフリットガラス52は隔壁50を
形成する際に同時に形成しても良いし、あらかじめ誘電
体53の上にパターニングし、その上に隔壁50を形成
しても良い。このように本実施の形態によれば、実施の
形態1と同様の効果を発揮する。 (実施の形態3)図3(a)〜図3(e)は、本発明の
ガス放電パネルの製造方法の一実施の形態の概略工程を
示した図である。同図を用いて、以下に本実施の形態の
PDPの製造方法について述べる。
【0086】図3(a)に示すように、61はアドレス
電極であり、62は、バックパネルガラスである。この
工程では、アドレス電極61が、バックパネルガラス6
2の表面にパターニング形成される。
【0087】次に、図3(b)に示すように、63は誘
電体膜であり、誘電体膜63が、アドレス電極61及び
バックパネルガラス62の表面を覆って塗布される。
【0088】その後、図3(c)に示すように、誘電体
膜63の表面にレジスト64を塗布し、露光する事によ
ってパターニングする。
【0089】次に、図3(d)に示すように、レジスト
64の抜けた所に、溶射方法によってアルミナを主成分
とする隔壁65を埋め込み、その後フリットガラス66
を埋め込む。尚、フリットガラス66は溶射によって埋
め込んでも良いし、他の方法、例えば印刷や単なるスキ
ージングによって埋め込んでも良い。
【0090】その後、図3(e)に示すように、その後
レジスト64を剥離し、隔壁65の上端部にフリットガ
ラス66が塗布されたものが残る。
【0091】以上のような一連の工程を経て作られたバ
ック基板は、フロント基板と対向配置させ、焼成工程を
へて封着し、ガス封入を行う。
【0092】以上の方法によって、非常に簡便に、フロ
ント基板とバック基板が隔壁65の上端部によって接着
された、上記実施の形態1,2で述べたものと同様の構
成のPDPが得られる。
【0093】このような方法を取ることによって隔壁の
焼成工程が不要になり、省エネルギー性が得られる。
【0094】また、溶射方法による隔壁の形成およびフ
リットガラスの塗布が完了したものに、蛍光体を隔壁6
5のリブ同士の間に塗布し、蛍光体の焼成と両基板の接
着および封着を同時に行うことにより、焼成工程が1つ
に出来る。
【0095】即ち、従来の場合では、隔壁の焼成工程
と、蛍光体の焼成工程と、パネル全体の封着時に行う焼
成工程がそれぞれ独立して設けられていたのに対して、
本実施の形態によれば、焼成工程を2工程削減できるこ
とになり、設備削減と光熱費削減に大きな効果が期待で
きる。
【0096】又、隔壁の材料として溶融性ガラスを含む
場合は、焼成工程が必要となるが、その焼成工程を、パ
ネル全体の封着時の焼成工程と同時に行うことにより、
上記の場合と同様、従来に比べて焼成工程を2工程削減
出来るものである。
【0097】又、隔壁の上端部とフロント基板の内面と
の接着に利用する接着部材が、溶融性ガラスと有機バイ
ンダーと有機溶剤とを含む場合は、その接着部材に含ま
れる有機バインダーと有機溶剤を除去するために、仮焼
成による加熱が必要となる。この仮焼成工程は、接着部
材を塗布した後で、且つ、パネルを封着する前に設けら
れている。 (実施の形態4)図4(a)〜図4(e)は、本発明の
ガス放電パネルの製造方法の一実施の形態の概略工程を
示した図である。同図を用いて、以下に本実施の形態の
PDPの製造方法について述べる。
【0098】図4(a)に示すように、71はアドレス
電極であり、72は誘電体、73はバックパネルガラス
である。誘電体72の上部に、隔壁74を形成するため
の材料であるアルミナとフリットガラスの混合物を一面
成膜(図中では、符号701を付した)した。
【0099】その後、図4(b)に示すように、フリッ
トガラス75の一面成膜を行う。隔壁74とフリットガ
ラス75は溶射法によって成膜される。
【0100】尚、フリットガラス75については、印刷
法等の方法によって塗布を行い、焼成を行って良い。
【0101】その後、図4(c)に示すように、レジス
ト76もしくはドライフィルム等の露光を行い、パター
ニングを行う。
【0102】しかる後、図4(d)に示すように、サン
ドブラストによって、レジスト76の付着していない部
分を除去することにより、隔壁74を形成する。この隔
壁74の上端部には、図4(b)で述べたフリットガラ
スの膜が付着している。
【0103】その後、図4(e)に示すように、フロン
ト基板とバック基板と封着部材を用いてパネルを組み立
て、焼成によって封着を行い、同時に隔壁74との接着
も行う。この様に、上記封着と、隔壁74の上端部とフ
ロント基板の内面との接着とは、製造工程における省エ
ネルギーの実現という観点からは、同時に行うのが良い
が、それぞれ別々の工程に行っても勿論良い。
【0104】また、蛍光体78の塗布は隔壁74形成後
に行うが、その蛍光体78の焼成を、上記封着時に行っ
ても良いし、封着前に個別に行っても良い。
【0105】この製造方法によっても焼成工程を削減で
きることになり、設備削減と光熱費削減に大きな効果を
発揮する。
【0106】また、本実施の形態では、隔壁の材料とし
て、アルミナにフリットガラスを混合しているため、封
着時にフリットガラスがアルミナの空孔を埋めるため、
空隙率が小さくなり、アウトガスの少ない隔壁が実現で
きる。そのため、不純物ガスによる汚染を減少し、パネ
ルの長寿命化が期待できる。 (実施の形態5)図5は、本発明のガス放電パネルの製
造方法の一実施の形態である、溶射方法による隔壁の形
成方法の概略説明図である。同図を用いて、以下に本実
施の形態の溶射方法について述べる。
【0107】図5に示すように、81は溶射トーチ、8
2は冷却ガスである。冷却ガス82は溶射の再発生する
無駄な熱を冷却し、基板温度を200℃以下に保つこと
ができる。83は原料粉であり、隔壁84を形成する材
料とフリットガラス87を粉状で供給する。86はドラ
イフィルムであり、隔壁を形成したくない場所をマスク
する。85はバックパネルガラスであり、89はアドレ
ス電極、88は誘電体膜である。
【0108】溶射トーチ81から溶融して噴出した原料
粉83のうち隔壁材料はあらかじめ露光、現像されたド
ライフィルム86の隙間に成膜され、間隙深さの6割程
度の深さまで成膜し、その後フリットガラス87を溶射
し成膜する。溶射は冷却ガス82によって冷却しながら
行われるので、ドライフィルム86はダメージのない温
度まで冷却される。その後ドライフィルムを剥離するこ
とによって隔壁84上部にフリットガラス87が成膜さ
れたものが得られる。
【0109】本実施の形態によって、非常に簡便な方法
で、隔壁の形成が出来、その隔壁の上端部にフリットガ
ラスを成膜したものが得られ、焼成工程の削減および、
設備削減と光熱費削減に大きな効果を発揮するものであ
る。
【0110】このように本実施の形態によれば、フロン
ト基板とバック基板が互いに接着された状態となるた
め、PDPの内圧が上がった場合でも、従来の様に、パ
ネル中央部でパネルが膨らむことがない。
【0111】また振動が加わった時にも、フロント基板
とバック基板の質量の差による共鳴周波数の差から、互
いに別の振動を起こすことがない。
【0112】従って、本実施の形態によれば、飛行機の
中等の様な、気圧が不安定になりやすい場所や、気圧の
低い場所、あるいは、非常に振動の多い環境において
も、クロストークや画像の乱れが少なく、良好な画質を
実現する事ができる。
【0113】また、上記の様な構成であれば、封入ガス
圧を大気圧以上にあげることが可能となり、これによっ
て輝度が高く、効率の高いPDPが実現できる。
【0114】それに加えて本発明の製造方法の実施によ
って、焼成工程を大幅に削減できることになり、設備削
減と光熱費削減に大きな効果が期待できる。
【0115】上記それぞれの実施の形態において述べた
ことから明らかなように、本発明のPDPは、例えば、
バック基板もしくはフロント基板上に形成された隔壁
が、もう一方の基板とフリットガラスによって接着され
た構成を備えたものである。又、その製造方法は、例え
ば、隔壁形成が溶射法によってなされると共に、その上
端部に塗布すべきフリットガラスも溶射法によって形成
され、隔壁とフロント基板の接着、フロント基板とバッ
ク基板との封着、蛍光体の焼成を一度に行うものであ
る。
【0116】従って、フロント基板とバック基板が隔壁
の上部でフリットガラスを介して接着されているため
に、パネル内の気体の圧力が外気圧より大きくなっても
パネルが割れることも、パネルが膨れることもない。そ
のためクロストーク等の問題が生ずるということがなく
飛行機等に搭載した場合でも良好な画像が得られかつ安
全性も高い。またパネルに振動等が加わってもフロント
基板とバック基板が接着されているために各基板がたわ
むことがなく、電車、自動車等の中でも、良好な画像が
得られる。また、本発明の実施により内部に封入する放
電ガスの圧力を大気圧以上にあげることができるため
に、高輝度で、効率の高いPDPが実現できる。
【0117】一方、従来と異なって、隔壁とフロント基
板の接着、フロント基板とバック基板との封着、蛍光体
の焼成を同時に行うことにより、焼成工程の数を低減で
き、PDPを製作するための電気エネルギーが削減さ
れ、低コスト化が図れるものである。
【0118】以下、本発明のガス放電パネル及びその製
造方法に係る実施の形態を図面に基づいて説明する。 (実施の形態6)図6は、本発明のガス放電パネルの一
実施の形態に係るPDPの要部構成を簡略化して示す破
断斜視図、図7はその変形例に係る断面図、図8は本実
施の形態に係るPDPの製造方法における、配管部材を
封止する方法を示す説明図である。図9ないし図11
は、配管部材を封止する方法、及び配管部材の封止手順
の第1変形例ないし第3変形例を示す説明図である。
【0119】尚、本実施の形態のPDPの全体構成は、
図20,図21で述べた従来のPDPと基本的に同じ部
分が多いので、図20,図21で述べたものと同一もし
くは相当する部品、あるいは部分には同一符号を付して
いる。
【0120】図6に示すように、本実施の形態に係る外
囲器10は、上部パネル基板4と下部パネル基板8とを
対向配置して、両パネル基板4,8の外周端縁部同士を
低融点ガラスからなる封着部材9により封着され、内部
に放電用空間を形成する構成である。
【0121】上部パネル基板4は、複数本の表示電極1
とともに、これらの表示電極1を覆う低融点ガラス製の
誘電体層2及び酸化マグネシウムからなる薄膜状の保護
層3が内表面上に形成されたガラス製の基板である。
又、下部パネル基板8は、表示電極1とは直交する向き
に沿って配置された複数本のデータ電極5及び低融点ガ
ラス製の誘電体層6が内表面上に形成され、かつ、この
誘電体層6上の所定位置毎には発光領域を区画する低融
点ガラス製の隔壁7が並列形成されたガラス製の基板で
ある。
【0122】そして、これら隔壁7の最上端部には、融
点が500〜600℃の材料からなる隔壁7よりも融点
の低いフリットガラス(融点450℃程度)や水ガラス
などのような低融点材料からなる接着部材15が設けら
れており、下部パネル基板8上に形成された隔壁7と上
部パネル基板4とは接着部材15を介したうえで互いに
接着されている。
【0123】なお、接着部材15の形成材料としては、
吸湿性及びアウトガスの低い紫外線接着剤や真空装置で
の一般的なシール材を用いることも可能である。ここで
は、製造工程上の都合を考慮したうえで接着部材15の
材料が隔壁7よりも低融点であるとしているが、製造工
程上の差し支えがなければ、融点の限定されない一般的
な接着剤を使用することも可能である。また、この接着
部材15は、隔壁7のリブの全長にわたって設けられて
いなくても良い。即ち、所定位置毎に分離した状態で接
着部材15が設けられていてもよいことは勿論である。
【0124】ところで、図7で示すように、上部パネル
基板4の誘電体層2上における接着対象部分2a、つま
り、接着部材15を介したうえで隔壁7の上端部と接着
される所定部分と、下部パネル基板8の誘電体層6上に
おける隔壁7の形成部分6a、つまり、誘電体層2と誘
電体層6のそれぞれの所定部分2a,6aの双方、もし
くは、何れか一方を微細な凹凸が形成された粗面部分と
しても良い。このような構成により、粗面であることに
よってアンカー効果が発揮される。
【0125】即ち、薄膜状の保護膜3及び接着部材15
を介しながら上部パネル基板4の誘電体層2と隔壁7の
上端部との間における接着強度、及び、下部パネル基板
8の誘電体層6と隔壁7の底部との間における接着強度
がそれぞれ増すことになる。
【0126】なお、この様な粗面部分を設けるには、マ
スクでもって粗面化が不要な部分を覆ったうえでのサン
ドブラスト処理を実行するというような一般的な手法を
用いればよい。また、この場合、下部パネル基板8の誘
電体層6は蛍光体11により覆われるのであるから、誘
電体層6についてはその全面に対する粗面化を実行して
おくことも可能である。
【0127】さらに、隔壁7によって区画された各発光
領域毎の誘電体層6上にはカラー表示を実現するための
蛍光体11が塗布されている。又、上部パネル基板4と
下部パネル基板8上の隔壁7とが接着部材15を介して
接着された外囲器10の内部にはヘリウム、キセノン及
び、ネオン等を混合してなる放電ガスが500Torr
を越える内圧、例えば、760Torrや1000To
rrの内圧にしたうえで封入されている。
【0128】また、この場合、図6に示すように、下部
パネル基板8の所定の部位には、外囲器10内の排気時
及び放電ガスの封入時に使用された配管部材13が封着
部材9と同等の材料を用いて接着されたままで残ってい
る。
【0129】又、本構成によれば、外囲器10の外周囲
圧力、つまり、大気圧より外囲器10の内圧が高くなっ
ていたとしても、上部パネル基板4及び下部パネル基板
8同士を隔壁7の最上端部に設けられた接着部材15に
より接着している。そのため、発光領域となる隣接する
各空間部12同士が隙間を介して連通することがなく、
隣接する空間部12同士の分離は確実に確保されている
ことになり、これらのパネル基板4,8が外側に膨らん
で変形したりすることは生じない。
【0130】なお、ここではPDPが備える外囲器10
内に500Torrを越える圧力の放電ガスを封入する
としているが、必ずしも、放電ガスの封入圧力が500
Torrを越えていなければないらないというわけでは
なく、封入圧力が500Torr以下であってもよいこ
とは勿論である。
【0131】すなわち、PDPは航空機や電車などにお
いても使用されており、航空機が急上昇や急下降を行っ
た場合の気圧変化や走行中の電車で生じた振動がPDP
に対して加わることもあるが、外囲器10を構成する上
部パネル基板4及び下部パネル基板8同士を隔壁7の最
上端に設けられた接着部材15でもって接着しておけ
ば、気圧変化や振動が作用した場合にも外囲器10が外
向きに膨れ上がって変形することは起こり得ないことと
なる。
【0132】次に、本発明のガス放電パネルの製造方法
に係る一実施の形態として、上記構成のPDPの製造方
法を図面用いて説明する。
【0133】まず、表示電極1,誘電体層2及び保護層
3が形成された上部パネル基板4と、データ電極5,誘
電体層6及び隔壁7が形成され、かつ、蛍光体11が塗
布された下部パネル基板8とをそれぞれ製造する。
【0134】そして、それら双方のパネル基板を用意し
たうえ、下部パネル基板8における隔壁7の最上端部に
対してフリットガラスなどのような低融点材料からなる
接着部材15を設けることを実行する。
【0135】なお、接着部材15を設ける際にはスクリ
ーン印刷やスタンパを用いた転写などの手法を採用する
ことが行われるが、リフトオフなどの手法によって接着
部材15を設けたうえで蛍光体11を塗布することも可
能である。また、複数回にわたるスクリーン印刷などに
よって隔壁7を形成するのであれば、最上端に位置する
層のみをフリットガラスなどで形成することによって接
着部材15を設けることも可能であり、あるいは、下部
パネル基板8上の隔壁7と対応する上部パネル基板4上
の所定部位に接着部材15となるべきフリットガラスな
どを塗布することも可能である。ところで、スクリーン
印刷においては、隔壁7の最上端に当接するスクリーン
版に対して予め所定粘度の接着材料が通過するパターン
を形成しておくのが一般的であるが、スクリーン版その
ものを全面にわたって接着材料が通過するようにしてお
いたうえでのスクリーン印刷によって隔壁7の最上端の
みに接着部材15を設けるようにしてもよいことは勿論
である。
【0136】次に、上述の様にして接着部材15が設け
られた隔壁7を介し、上部パネル基板4と下部パネル基
板8とを互いに対向配置し、かつ、これら両パネル基板
4,8の外周端縁部同士の間に封着部材9を介在させた
うえで加熱する。これにより、上部パネル基板4及び下
部パネル基板8の外周端縁部同士が封着部材9によって
封着されて、その結果として外囲器10が構成される。
その際の加熱工程において溶融した接着部材15により
上部パネル基板4と下部パネル基板8とは互いに接着さ
れる。
【0137】さらに、外囲器10を構成している下部パ
ネル基板8に形成された貫通孔8aを通じて外囲器10
内と連通する配管部材13を下部パネル基板8の外部位
置に取り付ける。
【0138】そして、この配管部材13を介して外囲器
10内の排気処理と放電ガスの封入処理とを実行する。
【0139】その後、配管部材13を封止することによ
って外囲器10の内部を密封すると、図6で示したPD
Pが完成する。
【0140】ところで、500Torrを越える圧力の
放電ガスを外囲器10内に封入した場合、配管部材13
の封止は、例えば、図8に示すような方法により実行さ
れる。
【0141】すなわち、図8に示す様に、まず、外囲器
10を構成する下部パネル基板8に設けられた貫通孔8
aを通じて外囲器10内と連通する配管部材13を下部
パネル基板8に取り付ける。そして、配管部材13が取
り付けられた外囲器10を高圧チャンバ16内の所定位
置に載置して、高周波加熱器や電熱ヒータなどの加熱手
段17を配管部材13における封じ切り部分13aの外
周囲に沿って配置する。
【0142】そして、配管部材13を利用して外囲器1
0内の排気を実行し、更にこの外囲器10の内部に対し
て放電ガスを内圧が500Torrを越える所要の内圧
となるまで封入する。
【0143】その後、高圧チャンバ16の内圧を外囲器
10内に封入された放電ガスの内圧よりも高く設定す
る。
【0144】これにより、外囲器10の内圧よりも高圧
チャンバ16の内圧の方が高くなっているため、従来の
形態と同様の手順により配管部材13の封止を実行しう
ることになる。
【0145】即ち、配管部材13の封じ切り部分13a
を加熱手段17によって加熱しながら軟化及び溶融さ
せ、かつ、封じ切り部分13aよりも下側部分を外囲器
10から遠ざけて溶断させると、溶断された配管部材1
3の封じ切り部分13aは閉塞されることになり、配管
部材13の封止に伴って外囲器10の内部は密封され
る。なお、ここでは、外囲器10全体の外周囲圧力を放
電ガスの内圧よりも高圧としておいたうえで配管部材1
3を封止するとしているが、このように大掛かりな方法
を採用する必要はないのであり、少なくとも配管部材1
3の外周囲圧力を外囲器10内に封入された放電ガスの
内圧よりも高圧としておくだけのことによっても従来の
形態におけると同様な配管部材13の封止が実行可能と
なることは勿論である。
【0146】次に、配管部材13を封止する方法及び手
順の変形例を、図9ないし図11に基づいて説明する。
【0147】まず、図9(a)〜図9(c)は配管部材
13を封止する方法及び手順の第1変形例を示してい
る。
【0148】この方法を採用するにあたっては、封止用
治具17、つまり、配管部材13の径方向に沿って対向
する少なくとも2方向から配管部材13を径方向に沿っ
て押圧する断面視半円形状や三角形状などの突起17a
が形成され、かつ、突起17aを介したうえで配管部材
13を加熱する機能を具備してなる封止用治具17が用
いられる。すなわち、この方法においては、一方側のパ
ネル基板である下部パネル基板8に形成された貫通孔8
aを通じて外囲器10内と連通する配管部材13を取り
付け、かつ、配管部材13を介したうえで外囲器10内
の排気と放電ガスの封入とを実行した後、図9(a)で
示すように、配管部材13の封じ切り部分13aに対し
て封止用治具17の突起17aを当てつけた後、図9
(b)で示すように、封止用治具17の突起17aによ
り配管部材13をその径方向に沿って押圧しながら加熱
したうえ、図9(c)で示すように、加熱に伴って軟化
及び溶融した配管部材13を溶断することが行われる。
そして、この方法を採用した場合には、大気圧よりも外
囲器10の内圧の方が高いにも拘わらず、加熱に伴って
軟化及び溶融した配管部材13の突起17aにより押圧
される結果として封じ切り部分13aが閉塞させられる
ため、配管部材13の封止を容易に行えることとなり、
外囲器10が密封されたこととなる。
【0149】また、図10で示す第2変形例のように、
配管部材13に対して円筒形状の加熱用治具18を外嵌
し、かつ、ガスバーナ14などにより加熱用治具18を
加熱することによって配管部材13の封じ切り部分13
aを軟化及び溶融させたうえ、封じ切り部分13aの下
側部分を矢印方向へ押し付けて、外囲器10へと近づけ
ながら封じ切り部分13aを捩り切るような手法で配管
部材13を封止することも可能である。なお、ここでの
加熱用治具18は、大気圧よりも内圧の高い配管部材1
3が外方へ向かって膨らむのを防止しうるものであれば
よいのであり、図示省略しているが、金属網などを用い
て作製されたものであってもよい。ところで、この加熱
用治具18が配管部材13と固着することが起こった場
合には、この加熱用治具18を配管部材13に固着させ
たままで残しておくことになるが、加熱用治具18が残
されていても何らの不都合を生じないことは勿論であ
る。
【0150】さらにまた、図11(a),図11(b)
で示すような配管部材13の封止方法を、以上の封止方
法に代えて採用することも可能である。
【0151】すなわち、この第3変形例に係る方法で
は、一方側のパネル基板である下部パネル基板8に形成
された貫通孔8aを通じて外囲器10内と連通する配管
部材13を取り付け、かつ、配管部材13を介したうえ
で外囲器10内の排気と放電ガスの封入とを順次実行し
た後、図11(a)で示すように、配管部材13よりも
低融点材料からなる短棒形状などとして作製されたうえ
で配管部材13内に収納されていた封止用部材19を外
部からガスバーナ14などでもって加熱しながら溶融さ
せたうえ、図11(b)で示すように、配管部材13を
閉塞したうえで封止することが行われる。そして、封止
用部材19でもって封止された配管部材13の不要部分
は、切断などのような手法を採用したうえで除去され
る。なお、この際における封止用部材19は、予め配管
部材13内に収納されていたものであっても、下部パネ
ル基板8に取り付け済みの配管部材13内に投入して収
納されたものであってもよく、また、黒色顔料などが混
入されていて熱吸収性に優れており、レーザ光の照射に
よって溶融させられるものであってもよい。
【0152】なお、以上述べた封入ガス圧として500
Torr以下の放電ガスが外囲器10内に封入される場
合であれば、従来同様の手順からなる製造方法を採用す
るのが一般的である。しかし、その様な場合、つまり製
造時における外囲器10の内圧の方が外圧よりも低い場
合でも、本実施の形態の方法を採用しても勿論良い。
【0153】以上述べたことから明らかなように、本発
明に係るガス放電パネルは、例えば、外囲器を構成する
パネル基板同士が隔壁の最上端に設けられた接着部材を
介したうえで接着されていることを特徴とするものであ
り、この際における外囲器内には500Torrを越え
る圧力の放電ガスが封入されていることもある。なお、
ここでの接着部材は、隔壁よりも低融点材料からなるも
のであることが好ましい。そして、パネル基板同士を接
着してなる構成の外囲器を採用した際には、外囲器が外
向きに膨れ上がって変形することは起こり得なくなり、
また、500Torrを越える圧力の放電ガスを外囲器
内に封入した構成を採用した際には、ガス放電パネルの
輝度が向上するという利点が得られる。このようにガス
放電パネルの輝度が向上するのは、ガス放電効率の向上
によるものである。
【0154】 一方、本発明に係るガス放電パネルの製造
方法は、例えば、製造時における外囲器の内圧の方が外
圧よりも高い場合の製造方法であって、少なくとも配管
部材の外周囲圧力を外囲器内に封入された放電ガスの内
圧よりも高圧状態としたうえで配管部材を封止する、ま
たは、配管部材の径方向に沿って対向する少なくとも2
方向から配管部材を押圧しながら加熱したうえで配管部
材を封止する、あるいは、配管部材内に収納された封止
用部材を溶融させることによって配管部材を封止するこ
とを特徴としている。そして、これらの製造方法によれ
ば、外囲器の内圧の方が外圧よりも高い場合であって
も、配管部材の封止を容易かつ確実に実行しうることに
なる。
【0155】以上説明したように、本発明に係るガス放
電パネルによれば、例えば、外囲器を構成するパネル基
板同士が隔壁の最上端に設けられた接着部材を介したう
えで接着された構成となっているので、隔壁とパネル基
板との間に隙間が発生したり、外囲器が外向きに膨れ上
がって変形することは起こり得ないという効果が得られ
る。そこで、500Torrを越える圧力の放電ガスを
外囲器内に封入しておいても何ら不都合は生じないこと
になり、ガス放電パネルにおける輝度向上を実現できる
ことになる。
【0156】また、本発明に係るガス放電パネルの製造
方法によれば、例えば、製造時の外囲器内に封入された
放電ガスの内圧が大気圧に近かったり、大気圧以上とな
っている場合であっても配管部材を容易かつ安定的に封
止しうることとなる結果、輝度の向上したガス放電パネ
ルを容易に作製できるという効果が得られる。
【0157】ところで、以上述べた実施の形態では、隔
壁7の上端部への接着部材15の形成手段としては、例
えばスクリーン印刷等が考えられる。しかしながら、隔
壁7の最上端部は非常に細くて長い領域であり、その上
に接着部材15を均一に形成することが難しい場合があ
る。
【0158】又、隔壁7は印刷やリフトオフ又はサンド
ブラスト等の方法で形成されるが、その最上端部が凹凸
形状となっている場合がある。特に隔壁7の最上端部に
おける凹部には、接着部材が形成されない場合があり、
その部分は上部パネル基板4と隔壁7の接着ができず、
その部分については表示品位の劣化につながる事も考え
られる。
【0159】又、接着部材15の形成量が多い場合、又
は接着部材15が隔壁7の幅を越えて形成された場合、
接着後の接着部材15の幅は隔壁7の幅よりも大きくな
り、その部分について、上部パネル基板4の外側から見
た発光領域を狭め、輝度の低下をまねくことも考えられ
る。
【0160】一方、従来の封着部材9はパネル基板の外
周縁端にのみ形成されており、封着の際にはパネル基板
の外周端縁部のみを加圧していた。しかしながら、変形
を容易に防止できる外囲器を実現するには、上述した通
り、接着部材15により隔壁7と上部パネル基板4の接
着を確実に行う必要があるが、この様な構成でも、外周
縁端部のみの加圧では、パネル基板の内側の表示領域内
において十分確実な接着は実現できない場合も考えられ
る。
【0161】そこで、こられの点を考慮して、PDPの
変形をより確実に防止することができるとともに、輝度
向上を実現することが可能なガス放電パネルとその製造
方法について、以下に述べる。
【0162】図12は、接着部材15の塗布について説
明するための平面図である。又、図14はその変形例に
係る平面図である。図13は本実施の形態に係るPDP
の接着部材の材料粒子径と隔壁幅の関係を説明するため
の、模式的に描いた断面図である。図17は封着の際の
加圧方法を示す断面図、図18及び図19は、それぞれ
封着の際に加圧する具体的方法を示す断面図である。
【0163】なお、本実施の形態におけるPDPの全体
構成は、図6で述べたものと基本的に同じであるので、
以下の説明において、互いに同一もしくは相当する部
品、部分には図6と同一符号を付し、その説明を省略す
る。
【0164】本実施の形態に係るPDPは、図6で説明
した通りである。
【0165】即ち、隔壁7の最上端部には、図12に示
すように透明材料からなる接着部材15が、隔壁7の長
手方向に沿ってライン状に設けられている。下部パネル
基板8上に形成された隔壁7と上部パネル基板4とは接
着部材15を介して互いに接着されている。
【0166】隔壁7の最上端に形成した接着部材は、上
述した様に、塗布量のムラなどにより部分的に隔壁幅か
らはみ出すことが考えられる。又、上部パネル基板4と
接着した際、塗布量が多いときには、接着部材は隔壁頂
部で押し広げられ、隔壁幅を越えて発光領域にはみ出す
ことがある。
【0167】しかしながら、本接着部材15は透明な材
料であるために、発光領域に多少はみ出しても、発光を
遮ることがなく、表示特性、特に輝度の劣化をまねかな
い。
【0168】さらに、隔壁7によって区画された各発光
領域毎の誘電体層6上には、カラー表示を実現するため
の蛍光体11が塗布されている。そして、上部パネル基
板4と下部パネル基板8上の隔壁7とが接着部材15を
介して接着された外囲器10の内部にはヘリウム、キセ
ノン及び、ネオン等を混合してなる放電ガスが500T
orrを越える内圧、例えば、760Torrや100
0Torrの内圧とされた上で封入されている。
【0169】次に、接着部材15についての変形例を図
13を用いて説明する。
【0170】従来、接着部材として使用するフリットガ
ラスは酸化鉛等の材料に、熱特性を調整するとともにガ
ラス基板との接着強度を得るためにセラミックス等のフ
ィラーが含まれている。
【0171】図13では、隔壁7の幅Wに対して、接着
部材15に含まれるフィラー等の材料の最大粒子経Dは
Wを越えない場合を示している。この場合、接着部材1
5は最大粒子が隔壁7の中央に位置する場合は隔壁幅か
らはみ出さず、また、最大粒子が隔壁7の中央から多少
ずれて形成されても大きく隔壁幅からはみ出すことはな
く、隔壁7と上部パネル4の接着後、表示領域を接着部
材15で覆うことなく、表示特性の良好なPDPを実現
できる。尚、この場合重要なことは、接着後に隔壁の上
端部の幅から大きくはみ出さない様にすることであり、
上記の構成であればそれが実現出来る。ここで、隔壁の
上端部の幅から大きくはみ出さない様にするとは、各空
間部12(図6参照)の蛍光領域を実質上減少させる様
な幅にならない程度にすることを意味する。この蛍光領
域は、各空間部12に塗布された蛍光体11の塗布領域
によって決まるものである。
【0172】尚、図示していないが、隔壁と上部パネル
基板の間に5μmを越えるすき間がある場合には、パネ
ル点灯時にクロストーク等の表示劣化が生じる。
【0173】一方、接着部材の含有粒子のサイズが大き
いと、接着部材の形成ムラが生じやすく、最大粒子の存
在する部位のみで隔壁と上部パネルが接着する可能性が
ある。従って、接着部材の中の最大粒子の粒径は、5μ
m以下であることが一層望ましい。尚、本実施の形態で
は、隔壁のリブの幅W(図13参照)は40μm程度で
ある。
【0174】さらに、接着部材15についての別の変形
例に係るPDPを、図14を用いて説明する。
【0175】前述の接着部材15は、隔壁7の最上端部
に設けられていたが、この例では、上部パネル基板4の
内表面上にライン状に設けられている。即ち、本接着部
材15は、図14に示す様に、下部パネル基板8上に形
成された隔壁7と概交差する方向に(例えば、隔壁7の
延設方向(長手方向)とほぼ直交するように)、対をな
して配設された表示電極1群と、それに隣接する表示電
極1群との中央部にライン状に設けられている。
【0176】尚、この場合、接着部材15の形成方法
は、スクリーン印刷でもよいし、ディスペンサー等で描
画してもかまわない。そして接着部材15と隔壁7が交
差する部分で対向する両パネル基板4、8が接着されて
いる。ここで、接着部材15は平面上に形成するため、
容易に形成できるとともに、隔壁7と接着部材15はと
もにライン状であり、かつ互いに概交差するため、封着
の際の位置あわせも容易となる。又、接着もより確実と
なる。
【0177】また、この接着部材15は隔壁7の長手方
向に隣接する画素を視覚的に分離する機能をも備えてお
り、外囲器10が外向きに膨れ上がって変形することを
防ぐとともに、コントラストの向上にも有効である。
【0178】本実施例では、接着部材15を上部パネル
基板4の内表面のみに形成する場合を示したが、下部パ
ネル基板8上に形成された隔壁7の最上端にも接着部材
15を形成しても何ら問題なく、確実な接着を行うには
接着部分に接着部材が十分形成されることになりより有
効である。
【0179】また、図13および図14で示した接着部
材15が光吸収材料からなる場合、PDPコントラスト
をさらに向上させることはいうまでもない。
【0180】さらに、接着部材15の別の変形例にかか
るPDPを、図15を用いて説明する。前述の接着部材
15は隔壁7の最上端のほとんどの部分に設け、上部パ
ネル基板4とを接着していたが、必ずしもほとんどの部
分で接着する必要はなく、図15に示す様に一部の接着
でも効果を発揮する。
【0181】これらの接着は、繰り返し述べられている
ように、パネルが外向きに膨れ上がって変形することを
防ぐ効果があることはもちろんであるが、隔壁の最上端
に生じる上部パネル基板との隙間を接着部材で埋め、各
放電セル(放電空間)を完全に仕切ることで、放電セル
間のクロストークを防止する作用効果もある。
【0182】この際、接着する部分と接着しない部分は
任意に選ぶことができるが、図15に示すように、隔壁
の上端部の内、表示電極1と交差している部分及びその
近傍の部位に接着部材15を設けることがより望まし
い。この様な部位では、より大きな放電が起こっている
からである。
【0183】なお、図15では、表示電極1の近傍部分
すべてで一様に接着している例を示したが、必ずしも一
様である必要はなく、クロストークが起こりやすい部分
のみを接着したり、あるいは部分的に隔壁の最上端をラ
イン状に接着してもかまわない。
【0184】ここで、本実施の形態に係わる別の実施例
を図16を用いて説明する。本実施の形態に係わるPD
Pは従来の形態と同じく、内表面上に複数本の表示電極
1が形成された上部パネル基板4と、表示電極1とは直
行する向きに配置された複数本のデータ電極5と隔壁7
を内表面に形成した下部パネル基板8とを対向配置した
うえで両パネルの外周縁部同士を低融点ガラスからなる
接着部材15でもって封止してなる構成の外囲器を備え
ている。そして、これら隔壁7の最上端は凹状の溝を有
しており、その溝を埋めるように接着部材15が設けら
れており、上部パネル基板4と隔壁7は、接着部材15
を介して接合している。なお、前記の隔壁7は例えば次
のように形成する。下部パネル基板8上に、樹脂被覆層
としてドライフィルムレジストをラミネートし、露光マ
スクを用いて選択的に露光後、現像処理を行いネガパタ
ーンを設ける。さらにそのパターンの開口部にスキージ
などを用いて樹脂被覆層の最表面と同じ高さまでペース
トを埋め込む。その後、その下部パネル基板8を乾燥
し、ペーストの中の溶剤を除去すると、ペーストは中央
部がくぼんた凹形状となる。この形状は、ペーストに含
まれる溶剤の量、フィラーの量、または樹脂被覆層の開
口形状によってコントロールすることができる。他に、
機械的に隔壁7の最上端を剔るか、もしくは、レーザー
光線を照射するなどの方法で凹状に加工することも可能
である。こうして形成された隔壁7の凹部に接着部材1
5を形成すると、隔壁7と接着部材15の接合面積が増
加し、接合強度が増すとともに接着部材15の隔壁幅か
らのはみ出しの減少により見かけの発光面積を増大させ
ることができる。
【0185】次に、本実施の形態に係るPDPの製造方
法を手順に従って説明する。
【0186】まず、表示電極1,誘電体層2及び保護層
3が形成された上部パネル基板4と、データ電極5,誘
電体層6及び隔壁7が形成され、かつ、蛍光体11が塗
布された下部パネル基板8とを用意したうえ、隔壁7の
最上端にフリットガラスなどのような低融点材料からな
る接着部材15を設ける。
【0187】なお、接着部材15を設ける際にはスクリ
ーン印刷やスタンパを用いた転写などの手法を採用する
ことが行われるが、リフトオフなどの手法によって塗布
することも可能である。あるいは、隔壁7の最上端部に
位置する層のみをフリットガラスなどで形成することに
よって接着部材15を設けることも可能である。又は、
下部パネル基板8上の隔壁7と対応する上部パネル基板
4上の所定部位に接着部材15となるべきフリットガラ
スなどを塗布することも可能である。
【0188】ところで、スクリーン印刷においては、隔
壁7の最上端に当接するスクリーン版に対して予め所定
粘度の接着材料が通過するパターンを形成しておくのが
一般的であるが、スクリーン版そのものを全面にわたっ
て接着材料が通過するようにしておいた上でのスクリー
ン印刷によって隔壁7の最上端のみに接着部材15を設
けるようにしてもよいことは勿論である。
【0189】次に、上述のようにして接着部材15が設
けられた隔壁7を介して、上部パネル基板4と下部パネ
ル基板8とを互いに対向配置し、かつ、これら両パネル
基板4,8の外周端縁同士間に封着部材9を介在させ
る。
【0190】この場合、図17に示すように、両パネル
基板の外表面から内表面にむけて加圧しながら加熱する
と、周縁部では上部パネル基板4及び下部パネル基板8
の外周端縁部同士が封着部材9により封着される。それ
と同時に、中央の表示部では加熱によって溶融した接着
部材15で上部パネル基板4と下部パネル基板8とは互
いに接着され、結果として外囲器10が構成されたこと
になる。
【0191】さらに、外囲器10を構成している下部パ
ネル基板8に形成された貫通孔8aを通じて外囲器10
内と連通する配管部材13を下部パネル基板8の外部位
置に取り付けたうえ、この配管部材13を介して外囲器
10内の排気処理と放電ガスの封入処理とを実行した
後、配管部材13を封止することによって外囲器10の
内部を密封すると、図6で示したPDPが完成する。
【0192】ところで、上部パネル基板4と下部パネル
基板8の接着の際の加圧は、例えば図18に示すような
方法で実施される。
【0193】すなわち、まず外囲器10を構成する上部
パネル基板4と下部パネル基板8を所定の位置関係に合
わせて仮固定したうえで平坦な台16上に設置する。
【0194】次に、所定の押圧部位に押圧治具23を複
数個設置する。この押圧治具23はバネ受けA(2
0)、バネ受けB(22)、バネ21、ボルト19から
なり、バネ受けA(20)とバネ受けB(22)は分離
しており、その間にバネ21をはさみこんだものであ
る。
【0195】尚、バネ21の加圧力は、バネ受けB(2
2)の位置をボルト19で調整することができる。この
押圧治具23を、外囲器10と、台16に支柱17を介
して固定した枠体18との間に、押圧治具23の全長が
その間隔より大きくなるようにバネ受けB(22)の位
置をボルト19によって調整して挿入する。こうして、
バネ21は圧縮力を加えた形で設置されるために、両パ
ネル基板には押圧力が加わわる。
【0196】接着部材15および封着部材9を構成する
フリットガラスは通常450度に加熱して溶融して使用
するが、ここで使用するバネ21は、450度にてもそ
のバネ性を失わない材料を使用することはいうまでもな
い。例えばインコネル材を用いる。
【0197】次に加圧方法の変形例を図19を用いて説
明する。まず、外囲器10を構成する上部パネル基板4
と下部パネル基板8を所定の位置関係に合わせて仮固定
したうえで、平坦な台16上に設置する点は前記実施例
と同じである。次に450度の加熱状態でも性質を変え
ないような弾力性のある緩衝材24を外囲器10の上部
でその全面を覆うように設置する。ここで、緩衝材24
としてはスチールウールのようなものが有効である。
【0198】次に所定の重量で均一な板厚を有する、外
囲器全面を覆う大きさの板材25を外囲器10上部の緩
衝材24の上に設置する。ここで緩衝材24は板材24
と外囲器10の間に異物等を挟む必要性は、部分的に押
圧力が変わり外囲器10を構成する上部パネル基板4と
下部パネル基板8のギャップを不均一にさせる場合があ
るとともに、異物が大きい場合は局所的に力が加わり、
外囲器10の破壊につながる可能性があるためである。
【0199】以上説明したように、本発明に係るガス放
電パネルによれば、例えば、外囲器を構成する上部パネ
ル基板と下部パネル基板は接着部材を介したうえで接着
されているので、500Torrを越える圧力の放電ガ
スを外囲器内に封入しても、隔壁とパネル基板との間に
隙間が発生したり、外囲器が外向きに膨れ上がって変形
することは起こり得ないという効果が得られる。
【0200】その上、接着部材は隔壁幅からはみ出さな
いか、はみ出しても透明な部材を使用しているため、パ
ネルの特性を下げることもない。また、隔壁と垂直に交
わる方向に接着部材を形成すると、隔壁方向に隣接する
画素を分離することができ、コントラストが向上する効
果も得られる。
【0201】また、本発明に係るガス放電パネルの製造
方法によれば、例えば、外囲器全面にわたって隔壁と対
向するパネル基板との接着を均一に実現できる結果、輝
度の向上したガス放電パネルを容易に作製できるという
効果が得られる。
【0202】尚、上記実施の形態では、PDPにおい
て、誘電体膜を有する場合について述べたが、これに限
らず例えば、誘電体膜が無い構成でもよい。
【0203】又、上記実施の形態においては、ガス放電
パネルがAC型のPDPであるとしているが、ガス放電
パネルがAC型のPDPに限られることはなく、DC型
のPDPについても本発明の適用が可能となることは勿
論である。
【0204】又、本発明の第1パネル基板及び第2パネ
ル基板は、上記実施の形態では、それぞれ、フロント基
板及びバック基板に対応していたが、これに限らず例え
ば、本発明の第1パネル基板がバック基板に対応し、又
第2パネル基板がフロント基板に対応する構成でも良
い。この場合、隔壁の底部は、フロント基板の内面に設
けられており、隔壁の上端部は、バック基板の内面と接
着されている構成となる。
【0205】又、上記実施の形態では、接着部材を用い
ることを前提にして説明したが、これに限らず、例え
ば、図5で述べた例、図8〜図9で述べた例に関して
は、接着部材の使用を前提しない構成でも良い。即ち、
その場合、例えば、図5で述べた上記例の変形例とし
て、第1電極を有する第1パネル基板と、前記第1パネ
ル基板と対向する、第2電極を有する第2パネル基板
と、前記第1と第2パネル基板との間にガス放電用空間
を形成するための、それら双方の基板の外周端縁部の間
に設けられた封着部と、前記第2パネル基板に設けられ
た、前記ガス放電用空間を区切る隔壁とを備えたガス放
電パネルの製造方法であって、前記第2パネル基板上に
設けられた感光性材料を露光して溝部を形成する工程
と、前記隔壁を形成するための誘電体材料又はフリット
ガラスを、溶射法により前記形成された溝部に埋め込む
溶射工程とを備え、前記溶射工程では、溶射ノズルから
噴出する材料の流れに沿って、前記第2パネル基板を冷
却する冷却用ガスを流すことを特徴とするガス放電パネ
ルの製造方法が挙げられる。又、この製造方法では、上
記ガス放電パネルは、前記第2電極を覆う誘電体膜を有
し、前記誘電体膜及び前記隔壁の材料がアルミナである
ことが望ましい。これにより、上記と同様の効果を発揮
する。又、例えば、図8〜図9で述べた上記例の変形例
として、第1電極を有する第1パネル基板と、前記第1
パネル基板と対向する、第2電極を有する第2パネル基
板と、前記第1と第2パネル基板との間にガス放電用空
間を形成するための、それら双方の基板の外周端縁部の
間に設けられた封着部と、前記第2パネル基板に設けら
れた、前記ガス放電用空間を区切る隔壁とを備えたガス
放電パネルの製造方法であって、前記第1パネル基板と
前記第2パネル基板と前記封着部とを利用して前記ガス
放電パネルを組み立てる組立工程と、前記第1又は第2
パネル基板に形成されている貫通孔を介して前記ガス放
電用空間と連通する配管部材を、前記貫通孔を有するパ
ネル基板に取り付ける工程と、前記配管部材を利用し
て、前記ガス放電用空間に放電用ガスを封入する封入工
程と、前記配管部材の周囲圧力を、前記封入された放電
用ガスの内圧よりも高くして、前記配管部材を封止する
封止工程とを備えたことを特徴とするガス放電パネルの
製造方法が挙げられる。これにより、従来とは別の製造
方法が提供出来るという効果がある。
【0206】
【発明の効果】以上説明したところから明らかなよう
に、本発明は、従来に比べてクロストークが生じにく
く、より安定した画像を形成出来るガス放電パネルとそ
の製造方法を提供出来る。
【0207】又、本発明は、焼成工程の数を従来に比べ
て低減出来るガス放電パネルの製造方法を提供出来る。
【0208】又、本発明は、従来に比べて輝度を高く出
来るガス放電パネル及びその製造方法を提供出来る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例におけるラズマディスプ
レイパネルの概略部分断面図
【図2】本発明の第2の実施例におけるラズマディスプ
レイパネルの概略部分断面図
【図3】(a)〜(e):本発明の第3の実施例におけ
るプラズマディスプレイパネルの製造方法の概略工程図
【図4】(a)〜(e):本発明の第4の実施例におけ
るプラズマディスプレイパネルの製造方法の概略工程図
【図5】本発明の実施例における溶射による隔壁の形成
方法を示す概略図
【図6】本実施の形態に係るPDPの要部構成を簡略化
して示す破断斜視図
【図7】図6に示す構成の変形例に係る断面図
【図8】本実施の形態に係るPDPの配管部材を封止す
る方法を示す説明図
【図9】(a)〜(c):本実施の形態に係るPDPの
配管部材を封止する方法及び手順の第1変形例を示す説
明図
【図10】本実施の形態に係るPDPの配管部材を封止
する方法及び手順の第2変形例を示す説明図
【図11】(a)〜(b):本実施の形態に係るPDP
の配管部材を封止する方法及び手順の第3変形例を示す
説明図
【図12】本実施の形態に係るPDPの接着部材を示す
平面図
【図13】本実施の形態の接着部材の粒径に関する説明
のための模式的な断面図
【図14】本実施の形態の接着部材の塗布方法に関する
変形例に係る平面図
【図15】本実施の形態の接着部材の塗布方法に関する
別の例に係る平面図
【図16】本実施の形態の隔壁の上端部の形状に関する
別の例に係る平面図
【図17】本実施の形態に係るPDPの封着する方法を
示す概略図
【図18】本実施の形態の封着時の加圧方法を示す断面
【図19】本実施の形態の封着時の加圧方法の変形例を
示す断面図
【図20】従来のプラズマディスプレイパネル部分の斜
視断面図
【図21】従来の形態に係るPDPの要部構成を簡略化
して示す破断斜視図
【図22】(a)〜(c):従来の形態に係るPDPの
配管部材を封止する手順を示す説明図
【符号の説明】
1 表示電極 2,6 誘電体膜 3 保護膜 4 上部パネル基板(フロント基板) 5 アドレス電極 7 隔壁 8 下部パネル基板(バック基板) 10 外囲器 11 蛍光体 12 空間部 13 配管部材 15 接着部材 19 封止用部材
フロントページの続き (31)優先権主張番号 特願平9−281716 (32)優先日 平成9年10月15日(1997.10.15) (33)優先権主張国 日本(JP) (31)優先権主張番号 特願平9−314938 (32)優先日 平成9年11月17日(1997.11.17) (33)優先権主張国 日本(JP) (72)発明者 安井 秀明 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (72)発明者 工藤 眞壽 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (72)発明者 塩川 晃 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (72)発明者 日比野 純一 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (72)発明者 東野 秀隆 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (72)発明者 野々村 欽造 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (72)発明者 鈴木 茂夫 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (72)発明者 青木 正樹 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (56)参考文献 特開 平8−185802(JP,A) 特開 平3−263731(JP,A) 特開 平2−242548(JP,A) 特開 平6−150830(JP,A) 特開 平6−267424(JP,A) 特開 平5−225910(JP,A) 特開 平8−162029(JP,A) 特開 平6−251704(JP,A) 特開 平6−208334(JP,A) 特公 昭32−3827(JP,B1) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01J 11/02 H01J 9/02

Claims (21)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1パネル基板と、 前記第1パネル基板と対向する第2パネル基板と、 前記第1と第2パネル基板との間にガス放電用空間を形
    成するために双方の基板の外周端縁部間に設けられた封
    着部と、 前記第2パネル基板に設けられた、前記ガス放電用空間
    を区切る隔壁とを備え、 前記隔壁の上端部が、前記第1パネル基板の内面に接着
    部材を介して接着されており、前記ガス放電用空間には
    760Torrを越える圧力の放電ガスが封入されてい
    ることを特徴とするガス放電パネル。
  2. 【請求項2】 前記接着には、光透過性の材料を含む接
    着部材が用いられていることを特徴とする請求項1記載
    のガス放電パネル。
  3. 【請求項3】 前記接着には、光吸収性の材料を含む接
    着部材が用いられており、且 つ、前記隔壁の材料が光反射性材料を含むものであるこ
    とを特徴とする請求項1記載のガス放電パネル。
  4. 【請求項4】 前記隔壁の上端部と前記第1パネル基板
    との接着部の幅は、前記区切られたガス放電用空間にお
    ける発光領域に前記接着部がはみ出さない様に調整され
    ていることを特徴とする請求項1、2又は3に記載のガ
    ス放電パネル。
  5. 【請求項5】 前記接着には、溶融性ガラスを含む接着
    部材が用いられていることを特徴とする請求項1記載の
    ガス放電パネル。
  6. 【請求項6】 前記接着部材の軟化点が、前記隔壁の軟
    化点より低いことを特徴とする請求項1記載のガス放電
    パネル。
  7. 【請求項7】 前記接着部材と前記隔壁の軟化点の差
    が、20℃以上200℃以下であることを特徴とする請
    求項6記載のガス放電パネル。
  8. 【請求項8】 前記隔壁の上端部に穴部を有し、前記接
    着部材が前記穴部に浸透していることを特徴とする請求
    項5記載のガス放電パネル。
  9. 【請求項9】 前記隔壁が、溶射法により形成されたも
    のであることを特徴とする請求項5又は8記載のガス放
    電パネル。
  10. 【請求項10】 前記隔壁の上端部の表面、及び、前記
    第1パネル基板の内面の内、前記上端部と接着されてい
    る部位の表面の少なくとも一方の表面が、凹凸形状であ
    ることを特徴とする請求項1又は5記載のガス放電パネ
    ル。
  11. 【請求項11】 前記隔壁の上端部の全部又は一部が、
    前記第1パネル基板の内面に接着されていることを特徴
    とする請求項1記載のガス放電パネル。
  12. 【請求項12】 前記隔壁は、平行に配置された複数の
    長板状のリブであり、 前記接着には、前記リブの長手
    方向と実質上直交する方向にライン状に形成された接着
    部材が用いられていることを特徴とする請求項11記載
    のガス放電パネル。
  13. 【請求項13】 前記接着部材は、光吸収性の材料を含
    むことを特徴とする請求項12記載のガス放電パネル。
  14. 【請求項14】 前記隔壁の上端部の一部が、前記第1
    パネル基板の内面に接着されているとは、前記隔壁の上
    端部の内、前記第1電極の近傍で前記接着がされている
    ことを特徴とする請求項11、12又は13に記載のガ
    ス放電パネル。
  15. 【請求項15】 前記隔壁の上端部に凹状の窪みが形成
    されており、 前記接着は、前記窪みを利用してなされていることを特
    徴とする請求項1記載のガス放電パネル。
  16. 【請求項16】 前記隔壁と前記第2パネル基板は、フ
    リットガラスにより接着されていることを特徴とする請
    求項1記載のガス放電パネル。
  17. 【請求項17】 第1パネル基板と、前記第パネル基板
    と対向する第2パネル基板と、 前記第1と第2パネル基板との間にガス放電用空間を形
    成するための、それら双方の基板の外周端縁部の間に設
    けられた封着部と、前記第2パネル基板に設けられた、
    前記ガス放電用空間を区切る隔壁とを備え、前記隔壁の
    上端部が、前記第1パネル基板の内面に接着部材を介し
    て接着されており、前記ガス放電用空間には、760T
    orrを越える圧力の放電ガスが封入されたガス放電パ
    ネルの製造方法であって、 前記隔壁の上端部と前記第1パネル基板との接着に利用
    する接着部材を、前記隔壁の上端部又は前記第1パネル
    基板の内面に設ける工程と、 少なくとも前記接着部材の設けられた部位に圧力がかか
    る様に、前記対向する前記第1パネル基板及び/又は前
    記第2パネル基板に対して加圧し、前記ガス放電用空間
    を形成する封着工程と、 を備えたことを特徴とするガス放電パネルの製造方法。
  18. 【請求項18】 前記加圧は、前記第パネル基板に緩衝
    部材を介在させて行うことを特徴とする請求項17記載
    のガス放電パネルの製造方法。
  19. 【請求項19】 第1パネル基板と、 前記第1パネル基板と対向する第2パネル基板と、 前記第1と第2パネル基板との間にガス放電用空間を形
    成するための、それら双方の基板の外周端縁部の間に設
    けられた封着部と、 前記第2パネル基板に設けられた、前記ガス放電用空間
    を区切る隔壁とを備え、前記隔壁の上端部が、前記第1
    パネルと接着部材を介して接着されており、前記ガス放
    電用空間には760Torrを越える圧力の放電ガスが
    封入されたガス放電パネルの製造方法であって、 前記隔壁を前記第2パネル基板上に形成する隔壁形成工
    程と、 前記隔壁の上端部に溶融性ガラスペーストを塗布する塗
    布工程と、前記溶融性ガラスペーストを焼成する焼成工
    程と、を備え、 前記隔壁の一部が光反射性を有し、前記溶融性ガラスペ
    ーストが光吸収性を有することを特徴とするガス放電パ
    ネルの製造方法。
  20. 【請求項20】 前記接着部材を、前記隔壁の上端部又
    は前記第1パネル基板の内面に設ける工程では、スクリ
    ーン印刷法を利用することを特徴とする請求項17記載
    のガス放電パネルの製造方法。
  21. 【請求項21】 前記スクリーン印刷法に用いるスクリ
    ーンマスクが、パターン形状を有していないことを特徴
    とする請求項19記載のガス放電パネルの製造方法。
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