KR100885563B1 - 글래스 패키지 제조방법 및 그 밀봉장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명에는 완전 밀봉된 글래스 패키지를 제조하기 위해 이용될 수 있는 밀봉장치 및 방법이 기술되어 있다. 1실시예에 있어서, 완전 밀봉된 글래스 패키지는 주위의 환경(예컨대, 산소, 습기)에 민감한 박막소자를 보호하는데 적합하다. 그와 같은 글래스 패키지의 몇몇 예로는 유기발광다이오드(OLED) 디스플레이, 센서, 및 다른 광학소자가 있다. 본 발명은 예로서 OLED 디스플레이를 이용하여 기술되어 있다.

Description

글래스 패키지 제조방법 및 그 밀봉장치{A MANUFACTURING A GLASS PACKAGE AND A DEVICE FOR SEALING THEREOF}
본 발명은 주위 환경(예컨대, 산소, 습기)에 민감한 박막소자를 보호하는데 적합한 글래스 패키지를 완전 밀봉하기 위한 방법에 관한 것이다. 그와 같은 글래스 패키지의 몇몇 예로는 유기발광다이오드(OLED: Organic Light Emitting Diodes) 디스플레이, 센서, 및 그 외의 광학소자가 있다. 본 발명은 OLED 디스플레이를 예로 하여 기술한다.
유기발광다이오드(OLED)는 이들의 사용 목적 및 폭 넓은 다양한 발광소자의 잠재적인 사용 목적 때문에 최근 아주 많은 연구가 이루어지고 있다. 예컨대, 싱글 OLED가 불연속 발광소자에 사용되거나 이들 OLED의 어레이가 조명 응용 또는 평판-패널 디스플레이 응용(예컨대, OLED 디스플레이)에 사용될 수 있다. OLED 디스플레이는 매우 밝으며 양호한 색 대비 및 넓은 시야각을 갖는 것으로 잘 알려져 있다. 그러나, OLED 디스플레이 및 특히 그 안에 위치된 전극 및 유기층은 주위의 환경으로부터 OLED 디스플레이 내로 누설하는 산소 및 습기와의 상호작용에 의 해 붕괴되기 쉽다. OLED 디스플레이 내에 위치된 전극 및 유기층이 주위의 환경으로부터 완전 밀봉되면 상기 OLED 디스플레이의 수명이 크게 증가될 수 있다. 불행하게도, OLED 디스플레이를 완전 밀봉하기 위한 밀봉 처리기술을 발전시키는데 어려움을 겪고 있다. OLED 디스플레이를 적절하게 밀봉하는데 어려움을 야기하는 몇가지 요인을 이하에 간략히 기술하였다:
ㆍ 허메틱 실(hermetic seal)은 산소(10-3cc/m2/day) 및 물(10-6g/m2/day)에 대한 차단성을 제공해야 한다.
ㆍ 허메틱 실의 크기는 OLED 디스플레이의 크기에 역효과를 갖지 않도록 최소(예컨대, ＜2mm)가 되어야 한다.
ㆍ 밀봉 처리 동안 발생된 온도는 OLED 디스플레이 내의 물질(예컨대, 전극 및 유기층)을 손상시키지 않아야 한다. 예컨대, OLED 디스플레이의 실로부터 약 1-2mm에 위치된 OLED의 첫번째 픽셀은 밀봉 처리 동안 100℃ 이상으로 가열되지 않아야 한다.
ㆍ 밀봉 처리 동안 방출된 가스는 OLED 디스플레이 내의 상기 물질을 오염시키지 않아야 한다.
ㆍ 허메틱 실은 OLED 디스플레이를 삽입하기 위한 전기적 커넥션(예컨대, 박막 크롬 전극)이 가능해야 한다.
현재, OLED 디스플레이를 밀봉하기 위한 방식 중 하나는 특정 파장의 광에서 높게 흡수하는 물질로 도핑된 유리재(frit)를 가열하여 연화(softening)시킴으로써 허메틱 실을 형성하는 방식이 있다. 특히, 고출력의 레이저가, 그 위에 유리재를 갖춘 제1기판 플레이트(커버 글레스)와 그 위에 OLED를 갖춘 제2기판 플레이트(기판 글래스) 사이에 허메틱 실을 형성하기 위해, 유리재를 가열하여 연화시키는데 사용된다. 통상, 유리재는 ~1mm의 폭과 ~6-100㎛의 두께를 갖는다. 만약 상기 유리재의 흡수성과 두께가 균일하면, 그 유리재 내의 균일한 온도 상승을 야기하는 일정한 레이저 에너지 및 이동속도로 밀봉이 행해질 수 있다. 그러나, 상기 유리재가 비교적 얇으면, 100%의 레이저 에너지가 유리재에 의해 흡수되지 않고, 대신 일부의 레이저 에너지가 흡수되거나 소정 지점을 가로질러 OLED에 부착된 금속전극에 의해 반사된다. 종종 얇은 유리재를 사용하는 것이 바람직하고, 그 금속전극이 베어(bare) 기판 글래스와는 다른 반사 및 흡수 특성 뿐만 아니라 다른 열전도성을 갖기 때문에, 이것은 밀봉 처리 동안 유리재 내에 불균일한 온도 분포를 생성할 수 있다. 상기 유리재 내의 불균일한 온도 분포는 상기 커버 글래스와 기판 글래스간 완전한 밀봉 결합을 방해하거나 저하시키는 크랙, 잔여 스트레스 및/또는 얇게 갈라짐을 야기할 수 있다.
이러한 밀봉 문제를 해결하기 위해, 본 발명의 양수인은 2005년 3월 30일에 출원된 "Method for Backside Sealing Organic Light Emitting Diode(OLED) Displays"로 명칭된 미국특허출원 제11/095,144호에 개시된 몇개의 다른 밀봉기술을 개발했다(이 문서의 내용은 여기에 참조로 반영된다). 비록 이들 밀봉기술이 잘 실시된다고 할 지라도 OLED 디스플레이(또는 글래스 패키지)를 완전하게 밀봉하기 위해 사용될 수 있는 새로우면서 향상된 밀봉기술을 발전시킬 것을 여전히 희망 하고 있다. 이러한 특정의 필요성 및 그 외의 다른 필요성은 본 발명의 밀봉장치 및 밀봉방법에 의해 만족될 것이다.
본 발명은 밀봉장치 및 완전 밀봉 OLED 디스플레이를 제조하기 위한 방법을 포함한다. 1실시예에 있어서, 밀봉방법은 다음과 같은 단계를 포함한다:
(a) 레이저를 이용하여, 비밀봉 OLED 디스플레이 내에 위치된 유리재 쪽으로 레이저 빔을 방향지우는 단계; (b) 2개의 기판 플레이트 사이에 위치된 유리재, 전극이 없는 영역, 및 전극이 차지한 영역에 걸친 밀봉 라인 상에 거의 일정한 속도로 레이저 빔이 이동하도록 상기 레이저(또는 상기 비밀봉 OLED 디스플레이)를 이동시키는 단계; (c) 유리재를 용융시켜 상기 2개의 기판 플레이트를 연결하는 허메틱 실을 형성하게 하기 위해 상기 레이저 빔이 상기 유리재에 적절한 레이저 에너지를 전달하도록 거의 일정한 속도로 레이저 빔이 이동하면서 상기 레이저의 출력을 조절하는 단계; (d) 2개의 기판 플레이트 사이에 존재하는 전극에 걸쳐 상기 레이저 빔이 현재 위치되어 있는지의 여부와 상기 2개의 기판 플레이트 상의 굴곡된 일부의 밀봉 라인에 걸쳐 상기 레이저 빔이 현재 위치되어 있는지의 여부에 의해 상기 밀봉 라인을 따라 소정 지점에 필요한 것으로 변경하기 위해 레이저 출력이 제어될 수 있도록 상기 이동 단계와 조절 단계를 동시에 수행하는 단계; 및 (e) 상기 레이저의 출력이 상기 조절 단계 동안 소정 지점에서 최대 또는 최소가 되면, 상기 2개의 기판 플레이트 상의 밀봉 라인을 따라 상기 레이저 빔이 이동되는 속도는 상기 유리재를 용융시켜 상기 2개의 기판 플레이트를 연결하는 허메틱 실을 형성하게 하기 위해 상기 유리재에 적절한 레이저 에너지를 상기 레이저 빔이 계속해서 전달할 수 있도록 변경될 수 있다.
본 발명은 이하 수반되는 도면을 참조하여 상세히 설명한 상세한 설명에 의해 보다 잘 이해될 수 있을 것이다.
도 1a 및 1b는 각각 본 발명의 제1실시예에 따른 밀봉장치 및 완전 밀봉된 OLED 디스플레이의 기본 구성을 설명하는 상면도 및 횡단측면도,
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 도 1a 및 1b에 나타낸 완전 밀봉된 OLED 디스플레이를 제조하기 위한 바람직한 밀봉방법의 단계를 설명하는 순서도,
도 3a 및 3b는 본 발명의 제1실시예에 따른 도 2에 나타낸 밀봉방법과 관련된 이동 단계를 강화하기 위해 사용될 수 있는 추가적인 특징을 설명하는데 도움을 주기 위해 사용되는 도면,
도 4a 내지 4d는 본 발명의 제1실시예에 따른 도 2에 나타낸 밀봉방법과 관련된 몇가지 다른 특징을 보다 상세히 설명하는데 도움을 주기 위해 사용되는 몇개의 다른 그래프를 수반한 예시의 OLED 디스플레이를 나타낸 도면,
도 5a 내지 5e는 본 발명의 제1실시예에 따른 2개의 기판(OLED 및 전극을 포함하지 않은)을 도 2에 나타낸 밀봉방법이 어떻게 잘 완전하게 밀봉하게 하는지를 테스트하기 위해 수행된 몇개의 실험과 관련된 도면 및 그래프,
도 6은 본 발명의 제2실시예에 따른 OLED 디스플레이를 완전하게 밀봉하기 위해 사용될 수 있는 밀봉장치의 기본 구성을 나타낸 횡단측면도이다.
도 1 내지 5는 본 발명의 제1실시예에 따른 밀봉장치(100) 및 밀봉방법(200)이 어떻게 OLED 디스플레이(102)를 완전하게 밀봉하도록 사용될 수 있는지를 설명하기 위한 도면이다. 비록 밀봉장치(100) 및 밀봉방법(200)이 완전 밀봉 OLED 디스플레이(102)의 제조와 관련하여 이하 기술했을 지라도, 동일한 밀봉장치(100) 및 밀봉방법(200)이 2개의 글래스 플레이트의 밀봉을 필요로 하는 또 다른 응용에도 사용될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 밀봉장치(100) 및 밀봉방법(200)은 제한된 방식으로 해석되지 않을 것이다.
도 1a 및 1b는 각각 본 발명에 따른 밀봉장치(100) 및 완전 밀봉 OLED 디스플레이(102)의 기본 구성을 설명하는 상면도 및 횡단측면도를 나타낸다. 도 1a에 나타낸 바와 같이, 밀봉장치(100)는 컴퓨터(104; 밀봉방법(200)을 수행하기 위해 그 안에 저장된 명령을 처리하는), 레이저(106; 또는 다른 가열원), 및 플랫폼(비밀봉 OLED 디스플레이(102)가 탑재된)을 포함한다. 1실시예에 있어서, 레이저(106)는 810nm의 파장에서 동작하는 비극성 멀티-모드 다이오드 어레이 소스를 갖는 반도체 레이저일 수 있다. 본 발명의 실시예에 사용된 예시의 반도체 레이저(106)는 ~0.3mm 직경의 스폿 크기에 ~60와트(watts)까지 다중의 출력레벨을 제공할 수 있다.
도 1a 및 1b에 나타낸 바와 같이, 상기 OLED 디스플레이(102)는 커버 플레이트(110; 제1글래스 플레이트), 유리재(116), 다수의 OLED(112)/전극(114), 및 기판 플레이트(118; 제2글래스 플레이트)의 다층 샌드위치를 포함한다. 상기 OLED 디스플레이(102)는 2개의 플레이트 110과 118 사이에 위치된 OLED(112)를 보호하는 허메틱 실(120; 상기 유리재(116)로 형성된)을 갖춘다. 상기 허메틱 실(120)은 통상 상기 OLED 디스플레이(102)의 바깥쪽 끝의 안쪽에만 위치한다. 그리고, 상기 OLED(112)는 허메틱 실(120)의 둘레 내에 위치한다. 볼 수 있는 바와 같이, 상기 OLED(112)에 연결된 전극(114)이 상기 허메틱 실(120)을 통해 연장됨으로써 외부장치(도시 생략)에 연결될 수 있다. 이들 전극(114; 예컨대, 불투명 금속전극)의 존재는 상기 2개의 플레이트 110과 118 사이에 허메틱 실(120)을 형성하는 것을 어렵게 할 수 있다. 이는 밀봉 처리 동안 상기 2개의 플레이트 110과 118간 비밀봉 접합을 이끌 수 있는 상기 유리재(108)에서의 불균일한 온도 분포를 야기하는 전극(114)에 의해 상기 레이저(106)로부터의 일부 레이저 에너지가 흡수되거나 반사되는 각기 다른 패턴 및 다른 광학적/열적 특성을 상기 전극(114)이 갖기 때문이다. 본 발명의 밀봉장치(100) 및 밀봉방법(200)을 이용하여 이러한 문제를 어떻게 해결할지에 대해 도 2 내지 5를 참조하여 이하 기술한다.
도 2는 완전 밀봉 OLED 디스플레이(102)를 제조하기 위한 바람직한 방법(200)의 단계를 기술하는 순서도이다. 단계 202에서 시작하게 되는데, 상기 밀봉장치(100)의 레이저(106)를 이용하여 상기 비밀봉 OLED 디스플레이(102) 상의 밀봉 라인(124) 쪽으로 특히 2개의 기판 플레이트 110과 118 사이에 위치된 유리 재(116) 쪽으로 상기 레이저 빔(122)이 향하게 한다. 단계 204에서, 유리재(116), 전극(114)이 없는 영역, 및 상기 2개의 글래스 플레이트 110과 118 사이에 위치된 OLED(112)에 연결된 전극(114)이 차지한 영역에 걸친 밀봉 라인(124) 상에 거의 일정한 속도로 상기 레이저 빔(122)이 이동하도록 상기 밀봉장치(100)는 레이저(106; 또는 비밀봉 OLED 디스플레이(102))를 이동시킨다. 단계 206에서, 상기 밀봉장치(100)는, 상기 유리재(116)를 용융시켜 상기 2개의 글래스 플레이트 110과 118을 연결하는 허메틱 실(120)을 형성하게 하는 유리재(116)에 상기 레이저 빔(122)이 충분한 레이저 에너지(너무 많거나 적지 않은 레이저 에너지)를 전달할 수 있도록 상기 밀봉 라인(124)을 따라 거의 일정한 속도로 상기 레이저 빔(122)이 이동하면서 상기 레이저(106)의 출력을 조절한다. 단계 208에서, 상기 밀봉장치(100)는 2개의 기판 플레이트 110과 118 사이에 존재하는 전극(114)에 걸쳐 상기 레이저 빔(122)이 현재 위치되어 있는지의 여부와 상기 2개의 기판 플레이트 110과 118 사이의 굴곡된 일부의 유리재(116; 또는 밀봉 라인(124))에 걸쳐 상기 레이저 빔이 현재 위치되어 있는지의 여부에 의해 상기 밀봉 라인(124)을 따라 소정 지점에 필요한 선형 또는 비선형 방식으로 변경하기 위해 레이저(106) 출력이 제어될 수 있도록 상기 이동 단계(204)와 조절 단계(206)를 동시에 수행한다. 단계 210에서, 상기 밀봉장치(100)는, 상기 유리재(116)를 용융시켜 상기 2개의 기판 플레이트 110과 118 사이에 허메틱 실(120)을 형성하게 하기 위해 상기 유리재(116)에 충분한 레이저 에너지(너무 크거나 작지 않은 레이저 에너지)를 상기 레이저 빔(122)이 계속해서 전달할 수 있도록, 상기 레이저(106)가 상기 조절 단계(206) 동안 소정 지점에서 최대 또는 최소의 출력량이 되면 상기 2개의 기판 플레이트(110, 118) 상의 밀봉 라인(124)을 따라 상기 레이저 빔(122)이 이동되는 속도를 능동적으로 변경한다. 이들 특징과 밀봉방법(200)과 관련된 몇몇 추가적인 특징에 대한 상세한 설명은 이하 도 3 내지 5를 참조하여 기술한다.
도 3a 및 3b는 본 발명에 따른 밀봉방법(200)의 이동 단계(204)를 강화하기 위해 사용될 수 있는 추가적인 특징을 설명하는데 도움을 주기 위해 사용될 수 있는 도면이다. 상기 단계 204는 OLED 디스플레이(102) 내의 허메틱 실(120)의 형성에 악영향을 줄 수 있는 시작/정지 결함 초래의 방지에 도움을 주는 오버랩핑 방식을 수행하여 강화될 수 있다(또한, 도 5a 내지 5e와 관련하여 이하 기술한 실험결과를 참조). 오버랩핑 방식을 수행하기 위해, 밀봉장치(100)는, 상기 레이저 빔(122)이 최초 상기 밀봉 라인(124) 상의 시작지점 "a"에서 방향지워지고, 상기 2개의 기판 플레이트(110, 118)의 전체 둘레를 둘러싸는 상기 밀봉 라인(124)을 걸쳐 통과한 후, 정지지점 "b"에 도달할 때까지 상기 시작지점 "a"와 오버랩핑 부분 "ℓ"을 걸쳐 통과하도록 시계방향 방식(또는 반시계방향 방식)으로 레이저(106)를 이동시킨다. 이러한 오버랩핑 방식은 상기 유리재(116)를 용융시켜 상기 2개의 기판 플레이트 110과 118 사이에 허메틱 실(120)을 형성하게 하기 위해 상기 유리재(116)에 충분한 레이저 에너지가 전달되는 것을 보장함으로써 허메틱 실(120)에서의 시작/정지 결함의 초래를 방지하는데 도움을 준다. 상기 레이저(106)로부터 상기 오버랩핑 부분 "ℓ"에 출력된 실제 출력은 실험에 의해 결정될 수 있으며, 보통 레이저(106)의 최대 출력을 초과할 수 없지만, 만약 초과할 경우에는 속도가 필 요한 만큼 감소될 수 있어 상기 2개의 기판 플레이트 110과 118 사이에는 허메틱 실(120)이 여전히 형성될 수 있다. 이하, 상기 밀봉방법(200)과 오버랩핑 이동 단계(204)를 이용하여, 예시의 레이저 출력 프로파일에 대해 도 3b를 참조하여 기술한다.
도 3b에 나타낸 바와 같이, 레이저(106)가 최초 출력되고 시작지점 "a"에서 밀봉이 시작된다. 다음에, 레이저(106)는 레이저 빔(122)이 오버랩핑 부분 "ℓ"의 끝에 도달하기 전에 출력을 풀(full) 출력으로 상승시킨다. 이 지점 이후, 상기 레이저(106)의 출력레벨은 9개의 다른 전극(114)에서 또는 근방에서 그리고 OLED 디스플레이(102)의 4개의 커브에서 또는 근방에서 저출력을 갖도록 조절된다. 일단 레이저 빔(122)이 시작지점 "a"에 다시 도달하면 상기 레이저(106)는 상기 레이저 빔(122)을 2차 시기 동안 상기 오버랩핑 부분 "ℓ"을 걸쳐 상기 정지지점 "b" 쪽으로 이동시키면서 출력을 무(no) 출력으로 하강시킨다. 볼 수 있는 바와 같이, 오버랩핑 부분 "ℓ"은 첫번째 통과 동안 출력을 최초 상승시키는데 사용되고, 이후 상기 레이저 빔(122)의 두번째 통과 동안 출력을 하강시키는데 사용된다. 상기 레이저 출력레벨이 공지되고 또 밀봉처리에 이용된 밀봉속도가 공지될 경우 상기 오버랩핑 부분 "ℓ"의 거리가 결정될 수 있다. 예컨대, 밀봉속도가 20mm/s이고 레이저 출력이 -50W/s의 기울기에서 35W(풀 출력레벨)에서 0W로 감소되면, 14mm의 긴 오버랩핑 부분 "ℓ"의 결과를 가져온다. 물론, 그것은 레이저 빔(122)에 의해 오버랩핑될 전체 오버랩핑 부분 "ℓ"에 필요하지 않으며, 상기 오버랩핑 부분 "ℓ" 내에서 풀 출력으로 상승시키거나 풀 출력으로부터 하강시킬 필요도 없 다.
도 3a 및 3b에 나타낸 예에 있어서, 사용된 밀봉 패턴은 라운드된 직사각형 패턴이고 레이저(106)는 0°의 접점(x-방향의)에서 곧바로 유리재(116)의 밀봉이 시작되도록 동작된다. 또한, 레이저(106)는 90°의 접점(y-방향의)에서 곧바로 유리재(116)의 밀봉이 시작되도록 동작된다. 나타낸 바와 같이, 레이저 빔(122)이 실제로 2개의 기판(110, 118) 상의 밀봉 라인(124; 유리재(116)) 쪽으로 방향지워지기 전에 레이저(106)가 동작되어 밀봉 라인(124; 유리재(116)) 바깥쪽으로 이동되는 종래의 밀봉기술에 의한 실질적인 개선이 있는 밀봉이 곧바로 밀봉 라인(124; 유리재(116)) 상에서 시작되도록 레이저(106)가 동작된다. 다음에, 본 발명에 따른 밀봉방법(200) 및 오버랩핑 이동 단계(204)를 이용하여 밀봉될 수 있는 또 다른 OLED 디스플레이(102')에 대해 기술한다.
도 4a 내지 4d는 본 발명에 따른 밀봉방법(200)과 관련된 몇몇 다른 특징을 좀더 상세히 설명하는데 도움을 주기 위해 사용되는 몇개의 다른 그래프를 수반한 예시의 OLED 디스플레이(102')를 나타낸다. 이러한 예시의 OLED 디스플레이(102')는 유리재(116')를 용융시켜 2개의 기판 플레이트 110'과 118' 사이에 허메틱 실(120')을 형성하게 하기 위해 상기 유리재(116')에 충분한 레이저 에너지가 전달되는 것을 보장하도록 선형 방식 또는 비선형 방식으로 레이저(106)의 출력이 조절되는 4개의 전극(114a', 114b', 114c', 114d') 및 4개의 코너(115a', 115b', 115c', 115d')를 갖춘다. 특히, 글래스-유리재-글래스 영역 및 글래스-유리재-전극-글래스 영역으로 결합된 이들 각각의 물질들은 이후 출력 프로파일을 형성하는 데 사용되는 16개의 부분으로 그 둘레가 분할될 필요가 있다. 도 4b에 있어서, 출력 프로파일은 시계방향 방식으로 밀봉이 이루어졌다는 가정 하에 생성된다. 레이저 출력 조절은 제어신호가 컴퓨터(104; 도 1a 참조) 내의 입력/출력 보드의 아날로그 출력포트로부터 레이저(106)로 보내지는 이 레이저(106)를 통한 직접 아날로그 제어를 이용함으로써 달성될 수 있다.
OLED 디스플레이(102')를 밀봉하기 위해, 레이저(106)와 상기 OLED 디스플레이(102') 상의 밀봉 라인(124')간 상대적 이동이 실현되어야 한다(도 2의 단계 204, 206 및 208 참조). 이것은 레이저(106)를 이동시키거나 2개의 기판 플레이트(110', 118')를 이동시킴으로써 달성될 수 있지만, 상기 어느 쪽이든, 상기 레이저(106) 출력 제어는 OLED 디스플레이(102') 상의 밀봉 라인(124')을 따라 다른 지점으로 변경하기로 되어 있는 곳만 레이저 출력을 변경하는 동작과 동시에 수행되어야 한다. 상기 밀봉장치(100)가 상기 레이저(106)를 통한 상기 동작 및 출력 제어를 동시에 수행하기 위해 이용할 수 있는 몇개의 다른 방법이 있다. 예컨대, 상기 밀봉장치(100)는 인코더/타이밍 방법(400a) 또는 필드-프로그램가능 게이트 어레이(FPGA; Field-Programmable Gate Array) 방법(400b)을 이용함으로써(도 1a 참조) 상기 레이저(106)를 통한 상기 동작 및 출력 제어를 동시에 수행할 수 있다.
상기 인코더/타이밍 방법(400a)에 있어서, 상기 밀봉장치(100)는 동작 제어를 위해 사용된 동작 클럭(404a)을 시작하고 레이저 출력 제어를 위해 사용된 레이저 클럭(404b)을 시작하도록 상기 컴퓨터(104)에 펄스를 보내기 위해 레이저 시작 지점 "1"에서 기능하는 동작 시스템 인코더(402; 예컨대 도 1a에 나타낸 바와 같이 플랫폼(108)에 부착된)를 포함한다(도 4c 및 4d 참조). 상기 클럭(404a 및 404b)이 정확한 클럭 레이트(clock rate)를 갖는다고 가정하면, 상기 인코더/타이밍 방법(400a)은 레이저(106)의 출력 조절과 함께 레이저(106)/OLED 디스플레이(102')의 동작을 동시에 수행할 수 있다. 또한, 인코더/타이밍 방법(400a)은 레이저 출력이 레이저(106)/OLED 디스플레이(102')의 동작 분해능(motion resolution)보다 높은 공간 분해능(spatial resolution)으로 변경되는 것을 가능하게 한다(도 4d 참조). 미세한 공간 분해능은 각 스테이지가 어느 한 지점에서 또 다른 지점으로 이동하는 동안 다수의 출력 변경 지점을 삽입함으로써 레이저 출력이 동작 제어보다 빠르게 변경되는 것을 가능하게 한다(예컨대, 도 4d에서 한번의 동작 변경 동안 다섯번의 레이저 출력 변경이 이루어질 수 있다).
또한, 상기 공간 분해능-동작 분해능간 관계는 다음 식으로 나타낼 수 있다: 레이저 아날로그 제어의 클럭 주기 = (동작 갱신 주기) × (레이저 출력 제어의 요구된 공간 분해능)/(동작 분해능), 여기서 레이저 아날로그 제어의 속도는 보통 끝수를 잘라내고 가장 가까운 정수로 한다. 예컨대, OLED 디스플레이(102')는 20mm/s의 속도로 밀봉되고, 그 동작 갱신속도(어느 한 지점에서 또 다른 지점으로)는 10ms라 하자. 그러면, 동작 분해능 = 밀봉속도(20mm/s)*동작 갱신속도(10ms) = 0.2mm = 200㎛. 그리고, 레이저 출력 제어의 공간 분해능을 10㎛라 하면, 레이저 아날로그 제어 클럭 주기 = 10ms*10㎛/200㎛ = 0.5ms. 따라서, 레이저 제어속도 = 1/0.5ms = 2KHz. 물론, 레이저 출력 조절 제어의 공간 분해능이 밀봉속도와 독립될 수 있다는 것을 알 수 있다.
상기 인코더/타이밍 방법(400a)은 각기 다른 타입의 OLED 디스플레이(각기 다른 전극 배치/구성을 갖는)를 밀봉할 때 아주 많은 유연성을 제공할 수 있다. 예컨대, 동작 시작의 인코더 신호는 레이저 출력 제어 및 동작 제어의 시작을 동시에 수행하는데 사용된다. 그리고, 다음 밀봉 동안, 레이저(106)의 동작 및 출력 제어는 각각의 소정 동작 및 출력 제어 프로파일(여기서, 출력 제어 프로파일은 실험적으로 결정될 수 있다)에 따른다. 그러나, OLED 디스플레이에 동일한 유리재 배치를 연속적으로 사용하게 되면, FPGA 방법(400b)은 레이저(106)를 통한 동작 및 아날로그 출력 제어를 동시에 수행하기 위한 바람직한 방식이 필요하다. 상기 FPGA 방법(400b)은 특별 구성의 입력/출력(I/O) 하드웨어의 사용을 포함한다. 기본적으로, 상기 특별 구성의 I/O 하드웨어는 한 타입의 OLED 디스플레이(102)를 밀봉하기 위해 특별히 구성된다. 이러한 특별 구성의 하드웨어에 있어서, 고정된 공간 간격이 상기 레이저 출력을 동시에 수행할 수 있도록 트래버스(traverse)된(각각의 축 또는 2개의 축 사이, 또는 다수의 축, 예컨대 증분벡터 길이가 트래버스된) 것을 결정하기 위해 2개의 인코더 신호(x-축과 y-축과 관련된)를 모니터할 수 있는 능력을 갖는 것이 바람직하다. 이러한 방식에 있어서, 레이저(106)는 절대위치 및/또는 속도로 일치될 것이며, 상기 밀봉방법(200)을 수행하기 위한 다양한 진보된 제어방식이 추구될 것이다. 상기 FPGA 방법(400b)은 실제로 "알고리즘"이 소프트웨어에 대비되는 "하드웨어"에서 수행되는 속도로 인해 바람직하고, 그와 같은 "알고리즘"은 단일 클럭 싸이클(예컨대, 80MHz)에서 실행될 수 있다.
또한, 동작 갱신속도와 동일한 아날로그 출력 갱신속도를 갖는 레이저/로봇 동작 제어 시스템을 이용할 수 있다. 그와 같이, 본 발명에서 상기와 같은 타입의 레이저/로봇 동작 제어 시스템의 이용은 동작 및 아날로그 출력 갱신이 묶여질 수 있기 때문에 동작 제어와 레이저 출력 제어의 외부적인 동시성을 필요로 하지 않는다는 것을 의미한다. 그러나, 동작 갱신속도가 보통 ms레벨이기 때문에, 비교적 빠른 속도로 밀봉할 때 비교적 낮은 레이저 공간 분해능이 고려될 것이다. 예컨대, 밀봉속도가 100mm/s이고 동작 및 아날로그 출력 제어가 1ms레벨로 함께 갱신되면, 레이저 공간 분해능은 동작 공간 분해능을 초과하지 못한다. 이는 바람직하지 않다.
도 5a 내지 5e는 밀봉방법(200; 오버랩핑 이동 단계 204 및 인코더/타이밍 방법 400a를 포함하는)이 어떻게 2개의 글래스 기판(OLED(112) 및 전극(114) 없이)을 완전하게 밀봉하는지를 시험하기 위해 도입된 몇몇 실험 및 그 결과와 관련된 도면 및 그리프이다. 도 5a(종래기술)는 2개의 글래스 기판을 밀봉하기 위해 사용된 고정된 레이저 출력에 의한 통상의 레이저 시작/정지 처리과정을 설명하는 도면이다. 그 결과 밀봉된 글래스 패키지에 대해 레이저가 시작되고/정지된 지점 "P1"에서 높은 국부적인 스트레스를 나타낸 편광계를 이용하여 스트레스 분석 테스트를 수행한다. 또한, 기계적인 앤티클래스틱 벤딩(anticlastic bending) 분석 테스트에서는 "통상의" 레이저 시작/정지 위치 "P1"이 파손에 대한 주요 원인인 것으로 드러나고 있다. 39번의 다른 테스트에서, 그 파손의 95%가 레이저 시작/정지 지점 "P"에서 기원되었고, 파손의 5%가 유리재(116)의 분배 시작/정지에서 기원되 었다.
반대로, 도 5b는 조절된 레이저 출력에 의한 새로운 가변가능 레이저 출력 시작/정지 처리과정을 설명하는 도면이다(도 2 또한 참조). 기본적으로, 가변가능 레이저 출력은 지점 "P2"에서 스트레스를 발생시키기 보다는 오히려 광범위한 영역에 걸쳐 잔여 스트레스를 분포시킬 수 있다. 이를 달성하기 위해, 상기 레이저 출력이, 상기 통상의 레이저 시작/정지 처리과정(도 5a 참조)의 지점 "P1"에서 행해진 바와 같이 완전 밀봉 출력으로 상기 동일한 유리재 위치로 갑자기 입수 및 출수하기 보다는 오히려 상기 레이저 시작/정지 지점 "P2"를 형성하도록 서서히 상승한 다음 하강한다. 상기 가변가능 출력 레이저 시작/정지 처리과정에 의해 밀봉된 글래스 플레이트는 상기 통상의 레이저 시작/정지 처리과정에 의해 밀봉된 글래스 플레이트와 비교하면 기계적인 강도에 있어 ~25% 향상된다. 특히, 상기 편광계 분석 테스트에서는 상기 "통상의" 레이저 시작/정지 지점 "P1"과 비교하면 상기 레이저 시작/정지 지점 "P2"에서 또는 근방에서 상당히 낮은 스트레스 레벨을 나타냈다. 그리고, 기계적인 앤티클래스틱 벤딩 분석 테스트에서는 상기 레이저 시작/정지 지점 "P2"가 더 이상 파손에 대한 주요 원인이 아닌 것으로 드러났다. 39번의 다른 테스트에서, 그 파손의 93%가 유리재 분배 시작/정지에서 기원되었고, 그 외의 파손의 7%가 밀봉 라인(124; 레이저 시작/정지 지점 "P2")을 따라 다른 위치에서 기원되었다.
더욱이, 추가의 실험에서는 상기 가변가능 레이저 출력 시작/정지 처리가 밀봉된 글래스 기판의 최대 부하 성능을 증대시키는 것으로 나타났다(도 5c 참조). 도 5c에 있어서, ■는 풀 출력(full power) 가변가능 레이저 출력 시작/정지 처리를 이용한 하나의 유리재 패턴을 갖는 테스트된 샘플(Corning Inc. glass sold under name EAGLE®)을 나타내고(여기서, mean = 19.8, std.dev. = 1.19), ○는 통상의 레이저 출력 시작/정지 처리를 이용한 하나의 유리재 패턴을 갖는 테스트된 샘플을 나타내며(여기서, mean = 15.9, std.dev. = 1.53), △는 통상의 레이저 출력 시작/정지 처리를 이용한 다수의 유리재 패턴을 갖는 테스트된 샘플을 나타낸다(여기서, mean = 15.3, std.dev. = 1.27). 이들 실험결과는 가변가능 출력 레이저 시작/정지 처리 또한 밀봉된 글래스 패키지(예컨대, OLED 디스플레이)의 기계적인 강도를 증가시키는데 양호한 방식인 것을 드러낸다.
더욱이, 또 다른 실험에서는 밀봉방법(200)이 2개의 기판(110, 118)의 코너 근방에 위치한 OLED(112)에 대한 잠재적인 열적 손상을 감소시키도록 코너에서 레이저 출력을 감소시키는 것을 보여주고 있다. 도 5d는 상기 레이저 출력 및 레이저 속도가 변하지 않을 경우 코너 주위에 밀봉온도가 선형 엣지(edge)에 걸친 밀봉온도보다 높은 ~200℃가 될 수 있다는 것을 설명하는 사진이다. 따라서, 이들 결과는 2개 기판의 코너에서 밀봉할 때 상기 밀봉방법(200)이 레이저 출력(예컨대, 38W 밀봉 출력에 대해 ~3-5W)을 감소시키는 것을 권고한다. 예컨대, 도 5e는 레이저 출력이 감소되는 코너의 구획 a, b, c 및 d를 나타낸다(원할 경우, 레이저 출력은 지점 "d" 이후의 거리에서 원래의 레벨로 되돌아가 증가될 수 있다). 동작에 있어서, 컴퓨터(104) 및 소프트웨어는 레이저 출력레벨이 "a"와 "d" 사이에 출력레벨을 선형적으로 삽입함으로써 "a"와 "b"에서와 같은 커브의 반지름에 걸친 다 수의 위치에 지정될 수 있게 한다. 원할 경우, 레이저 출력이 코너 주위에서 감소되는 양이 상기 코너에서 동일한 레이저 상주시간을 유지시키게 할 수 있는 1-w/2/R과 같은 몇가지 방식의 식을 이용하여 계산될 수 있다(이러한 실험에 있어서, w = 1mm이고 R = 1.5mm이다). 코너에서 출력레벨을 감소시키는 이점은 이것이 허메틱 실(120)의 기계적인 강도를 증가시키게 함과 더불어 OLED(112)의 열적인 손상을 방지할 수 있게 한다는 것이다.
결국, 실험은 일정한 레이저 출력을 인가할 때 통상 유리재(116)/전극(114) 영역에 걸친 온도가 유리재(116)/비전극 영역에 걸친 온도보다 높다는 것을 보여준다. 일반적으로 전극(114)이 양호한 열전도체이기 때문에, 전극(114) 근방의 OLED(112)는 열적으로 영향받을 수 있다. 그래서, 레이저 출력이 전극(114)에서 빠르게 감소되고 비전극 영역에서 보다 높게 차지하면, 밀봉 라인(124)을 따라 OLED(112) 근방에 온도가 조절될 수 있다.
도 6은 본 발명의 제2실시예에 따른 OLED 디스플레이(102)를 완전 밀봉하기 위해 사용될 수 있는 밀봉장치(100')의 기본 구성을 나타내는 횡단측면도이다. 본 실시예에 있어서는, 상기 새로운 밀봉장치(100')가 레이저 빔(122')의 형태와 강도를 변경시키기 위해 사용되는 레이저 포커싱 유닛(600)이 부착된 레이저(106)를 갖춘 것을 제외하고는 상술한 밀봉장치(100)와 동일한 구성요소를 갖는다. 예컨대, 상기 레이저 포커싱 유닛(600)은 유리재(116)에 상기 레이저 빔(122')을 포커싱 또는 디포커싱함으로써 상기 레이저 빔(122')의 형태와 강도를 변경하기 위해 조절된 구경을 갖출 수 있다(디포커스 레이저 빔(122')은 도 6에 도시되어 있다). 또한, 밀봉장치(100')는 상술한 바와 같은 밀봉방법(200)을 수행하지만, 본 실시예에서는 단계 210(상기 레이저(106)가 최대 또는 최소의 출력량에 도달하면 상기 밀봉 라인(124)을 따라 상기 레이저 빔(122)이 이동되는 속도를 능동적으로 변경)을 수행하는 대신, 상기 레이저 포커싱 유닛(600)은 유리재(116)를 용융시켜 2개의 기판 플레이트 110과 118을 연결하는 허메틱 실(120)을 형성하게 하기 위해 상기 유리재(116)에 충분한 레이저 에너지(너무 많거나 작지 않은 레이저 에너지)를 상기 레이저 빔(122')이 계속해서 전달하도록 상기 레이저 빔(122')의 형태 및 출력강도를 능동적으로 조절한다.
본 발명은 상기 OLED 디스플레이(102, 102') 상의 소정 위치에서 레이저 출력을 적시에 정확하게 변경하도록 레이저/OLED 디스플레이(102)의 거의 일정한 동작과 레이저 출력을 상기 밀봉장치(100, 100')가 동시에 수행하는 밀봉방법(200)과 관련된 것이라는 것은 상기의 기술로부터 당업자라면 충분히 알 수 있을 것이다. 이러한 가변가능 출력 밀봉방법(200)은 다음의 단계를 포함하는 몇가지 다른 특징을 갖는다: 예컨대,
(1) 레이저 시작/정지 영역에 잔여 스트레스를 감소시키기 위해, 그 시작/정지 영역에 걸친 레이저 출력을 상승/하강 및 오버랩핑하는 단계;
(2) 코너 근방에 위치된 OLED(112)에 대한 열적 손상의 기회를 감소시키기 위해 코너에서의 레이저 출력을 감소시키는 단계; 및
(3) 전극(114)에 대한 열적 손상의 기회를 감소시키고 상기 전극(114)에서 OLED(112)로 문제의 열을 전달할 기회를 감소시키기 위해, 그들 자신의 전극(114) 에 걸친 레이저 출력을 감소시키는 단계를 포함한다.
또한, 상기 가변가능 출력 밀봉방법(200)은 다음과 같은 많은 다른 이점 및 특징을 갖는다:
ㆍ 상기 레이저 출력 조절방식은 글래스-유리재-글래스 및 글래스-유리재-전극-글래스 외의 물질을 포함하는 응용물을 밀봉하기 위한 레이저 출력을 제어하기 위해 이용될 수 있다.
ㆍ 상기 레이저 아날로그 출력 제어가 충분히 빠르므로 상기 레이저 출력 조절은 양호한 공간 분해능을 갖는다. 예컨대, 몇몇 레이저(106)는 100 micron seconds보다 짧은 출력 변경 지연을 갖는데 사용될 수 있으며, 이것은 밀봉속도가 5mm/s일 때 0.5 micron 보다 좋은 공간 분해능을 갖게할 수 있다는 것을 의미한다.
ㆍ 상기 레이저 출력 조절방식은 목표 2D 밀봉 위치에 레이저 출력레벨을 정확하게 변경할 수 있도록 OLED 디스플레이의 위치와 레이저 출력간 일치성을 필요로 한다. OLED 밀봉에 있어서, 출력 프로파일(profile)은 제조환경에서 실제 밀봉동작을 수행하기 전에 실험적으로 얻어질 수 있다. 상기 밀봉 시스템(100, 100')은 다음의 출력 제어 프로파일을 따르고 원할 경우 글래스-유리재-글래스 영역과 글래스-유리재-전극-글래스 영역에 걸쳐 각기 다른 레이저 출력 필요조건에 부합할 수 있도록 피드백 메카니즘도 이용할 수 있다. 상기 출력 제어 프로파일(상기 피드백 메카니즘 없이)은 보통 반복성을 야기하여 강한 밀봉을 제공하는 오픈-루프(open-loop) 밀봉방법(200)을 수행하는데 이용될 수 있다.
ㆍ 상기 레이저 출력 조절방식은, OLED 디스플레이(102, 102') 내의 전 극(114)에 걸쳐 마스크를 적절히 위치/배열하기가 매우 어려워질 수 있기 때문에, 마스크를 이용하는 방법보다 양호한 밀봉 해결책이다.
ㆍ 상기 레이저 출력 조절방식은, 기계적인 시스템이 즉시 속도를 변경할 수 없기 때문에, 가변가능 속도를 이용하는 방법보다 양호한 밀봉 해결책이다. 예컨대, 상기 가변가능 속도 방법은 원하지 않는 전이영역을 발생시킬 수 있는 긴 전이시간을 필요로 할 수 있다. 그러나, 상기 가변가능 속도 방법은 레이저(106)가 최대 출력 제한에 도달하거나 최소 출력 제한에 도달할 때면 언제라도 본 발명에 여전히 사용된다(도 2의 단계 210 참조).
ㆍ 또한, 상기 레이저 출력 조절방식은 신속한 "택티클 타임(tactical time)" 완료 요구조건(OLED 디스플레이(102, 102')의 크기에 상관없이 보통 4분 범위에 있는)에 부합하도록 OLED 유리재 밀봉 처리 속도를 증가시킬 수 있다. 또한, 상기 레이저 출력 조절방식은 레이저(106)가 어느 한 유리재 패턴(어느 한 OLED 디스플레이 내의)에서 또 다른 유리재 패턴(또 다른 OLED 디스플레이 내의)으로 이동할 때 발생하는 대기모드를 촉진한다. 더욱이, 상기 레이저 출력 조절방식은 대규모 기판 OLED 유리재 밀봉에 대한 패턴 인덱싱(indexing) 시간을 감소시키게 할 뿐만 아니라 상기 레이저(106)가 온(ON)모드에서 열 쇼크를 받지 않게 하는 대기모드로 돌아가도록 스위치되는 최소 지연시간을 갖는 것에 특징이 있다.
ㆍ 상기 밀봉방법(200)은 유리재의 원조 없이 2개의 글래스 기판을 함께 밀봉하는데 이용될 수 있다. 이 경우, 상기 글래스 기판 중 어느 하나가 유리재를 도핑하는데 사용된 동일한 물질로 도핑됨으로써 그 도핑된 글래스 시트는 레이 저(106)로부터 열을 흡수할 수 있게 된다.
ㆍ 서로 밀봉될 수 있는 글래스 플레이트 110과 118은 Corning Inc.에 의해 제조된 Code 1737 glass plates 및 EAGLE 200TM glass plates가 될 수 있다. 또는, 상기 글래스 플레이트(110, 118)는, 예컨대 Asahi Glass Co.(예컨대, OA10 glass 및 OA21 glass), Nippon Electric Glass Co., NHTechno 및 Samsung Corning Precision Glass Co.와 같은 회사들에 의해 제조될 수 있다. 상기 OLED 적용에 있어서는 상기 2개의 기판 플레이트(110, 118)는 동일하거나 유사한 열팽창 계수(CTE: Coefficient of Thermal Expansion)를 갖는 것이 보다 바람직하다.
ㆍ 상기 전극(114)은 불투명, 반사성, 흡수성, 투과성 또는 이들의 조합 중 어느 것이든 될 수 있다.
ㆍ 상기 유리재(116)는 예컨대 철, 동, 바나듐, 네오디뮴을 포함하는 그룹으로부터 선택된 다수의 흡수 이온을 포함하는 저온 글래스 유리재가 될 수 있다. 또한, 유리재(116)는 2개의 글래스 플레이트(110, 118)의 열팽창 계수와 일치 또는 거의 일치하도록 그 유리재(116)의 열팽창 계수를 낮게 하는 필러(예컨대, 역전 필러(inversion filler), 첨가 필러(additive filler))로 도핑된다. 본 출원에 사용되는 몇가지 예시의 유리재(116) 구성에 대한 좀더 상세한 설명이 미국특허출원 제10/823,331호 및 제10/414,653호에 기술되어 있다(이들 문서의 기술내용은 여기에 참조로 반영된다).
본 발명을 상기와 같은 특정 실시예로 기술했을 지라도, 본 발명은 상술한 바와 같은 특정 실시예로 한정하는 것이 아니라, 본 발명의 목적 및 배경을 이탈하지 않는 범위 내에서 다양하게 변형하여 실시할 수 있는 것은 물론이다.

Claims (21)

  1. 글래스 패키지를 제조하기 위한 방법에 있어서,
    가열원을 이용하여, 적어도 하나의 소자와 함께 2개의 기판 플레이트 사이에 위치된 유리재 쪽으로 레이저 빔을 방향지우는 단계;
    상기 2개의 기판 플레이트의 밀봉 라인 상에 일정한 속도로 상기 레이저 빔이 이동하도록 상기 가열원 또는 상기 2개의 기판 플레이트를 이동시키는 단계;
    상기 유리재가 상기 2개의 기판 플레이트를 연결하는 허메틱 실을 형성하게 하기 위해 상기 레이저 빔이 상기 유리재에 충분한 가열원 에너지를 전달하도록 일정한 속도로 레이저 빔을 이동시키면서 상기 가열원의 출력을 조절하는 단계; 및
    상기 가열원의 출력이 상기 조절 단계 동안 소정 지점에서 최대 또는 최소가 되면, 상기 유리재가 상기 2개의 기판 플레이트를 연결하는 허메틱 실을 형성하게 하기 위해 상기 유리재에 충분한 가열원 에너지를 상기 레이저 빔이 계속해서 전달하도록 상기 2개의 기판 플레이트 상의 밀봉 라인을 따라 상기 레이저 빔이 이동하는 속도를 변경하는 단계를 구비하여 이루어지며,
    상기 밀봉 라인은 상기 2개의 기판 플레이트 사이에 위치된 상기 유리재, 다수의 전극이 없는 영역, 및 다수의 전극이 차지한 영역을 포함하는 것을 특징으로 하는 글래스 패키지 제조방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 2개의 기판 플레이트 사이의 전극에 걸쳐 상기 레이저 빔이 현재 위치되어 있는지의 여부와 상기 2개의 기판 플레이트 상의 굴곡된 일부의 밀봉 라인에 걸쳐 상기 레이저 빔이 현재 위치되어 있는지의 여부에 의해 상기 밀봉 라인을 따라 소정 지점에 필요한 것으로 선형 또는 비선형 방식으로 변경하기 위해 상기 가열원의 출력이 제어될 수 있도록 상기 이동 단계와 조절 단계를 동시에 수행하는 단계를 더 구비하여 이루어진 것을 특징으로 하는 글래스 패키지 제조방법.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 이동 단계는, 상기 유리재가 상기 2개의 기판 플레이트를 연결하는 허메틱 실을 형성하게 하도록 상기 유리재에 충분한 가열원 에너지가 전달되는 것을 보장하기 위해, 상기 빔의 이동이 상기 2개의 기판 플레이트의 밀봉 라인 상의 시작지점에서 시작하고, 상기 2개의 기판 플레이트의 둘레를 둘러싸는 상기 밀봉 라인을 걸쳐 통과한 후, 상기 밀봉 라인 상의 시작지점을 통과하여 다시 상기 밀봉 라인의 소정 부분을 통과하는 오버랩핑 이동 단계를 더 구비하여 이루어진 것을 특징으로 하는 글래스 패키지 제조방법.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 동시 수행 단계는, 동작 인코더 시스템을 이용하여, 상기 가열원의 출력을 동작 분해능보다 높은 공간 분해능으로 변경시키는 단계를 더 구비하여 이루어지며,
    상기 빔의 다수의 출력 제어 변경은 상기 2개의 기판 플레이트 상의 밀봉 라인을 따라 상기 빔이 상기 밀봉 라인의 어느 한 지점에서 또 다른 지점으로 이동되게 하면서 수행되는 것을 특징으로 하는 글래스 패키지 제조방법.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 동시 수행 단계는, 필드-프로그램가능 게이트 어레이(FPGA) 시스템을 이용하여, 상기 가열원의 출력을 동작 분해능보다 높은 공간 분해능으로 변경시키는 단계를 더 구비하여 이루어지며,
    상기 빔의 다수의 출력 제어 변경은 상기 2개의 기판 플레이트 상의 밀봉 라인을 따라 상기 빔이 상기 밀봉 라인의 어느 한 지점에서 또 다른 지점으로 이동되게 하면서 수행되는 것을 특징으로 하는 글래스 패키지 제조방법.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 조절 단계는, 소정의 출력 프로파일을 이용하여, 상기 유리재가 상기 2개의 기판 플레이트를 연결하는 허메틱 실을 형성하게 하기 위해 상기 유리재에 충분한 가열원 에너지를 전달하도록 상기 빔이 밀봉 라인을 따라 이동하면서 상기 가열원의 출력의 변경을 제어하는 단계를 더 구비하여 이루어진 것을 특징으로 하는 글래스 패키지 제조방법.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 조절 단계는, 피드백 메카니즘을 이용하여, 상기 유리재가 상기 2개의 기판 플레이트를 연결하는 허메틱 실을 형성하게 하기 위해 상기 유리재에 충분한 가열원을 전달하도록 상기 빔이 밀봉 라인을 따라 이동하면서 상기 가열원의 출력의 변경을 제어하는 단계를 더 구비하여 이루어진 것을 특징으로 하는 글래스 패키지 제조방법.
  8. 글래스 패키지를 밀봉하기 위한 장치에 있어서,
    2개의 기판 플레이트 사이에 위치된 유리재 및 적어도 하나의 소자로 이루어진 비밀봉 글래스 패키지가 탑재된 플랫폼;
    컴퓨터; 및
    가열원을 구비하여 구성되며,
    상기 컴퓨터는;
    상기 유리재 쪽으로 레이저 빔을 방출하도록 상기 가열원을 방향지우고,
    상기 2개의 기판 플레이트의 밀봉 라인 상에 일정한 속도로 상기 레이저 빔이 이동하도록 상기 가열원 또는 상기 2개의 기판 플레이트를 이동시키며,
    상기 유리재가 상기 2개의 기판 플레이트를 연결하는 허메틱 실을 형성하게 하기 위해 상기 레이저 빔이 상기 유리재에 충분한 가열원 에너지를 전달하도록 일정한 속도로 레이저 빔을 이동시키면서 상기 가열원의 출력을 조절하고,
    상기 가열원의 출력이 상기 조절 단계 동안 소정 지점에서 최대 또는 최소가 되면, 상기 유리재가 상기 2개의 기판 플레이트를 연결하는 허메틱 실을 형성하게 하기 위해 상기 유리재에 충분한 가열원 에너지를 상기 레이저 빔이 계속해서 전달하도록 상기 2개의 기판 플레이트 상의 밀봉 라인을 따라 상기 레이저 빔이 이동하는 속도를 변경하기 위해 상기 컴퓨터 내에 저장된 명령을 처리하며,
    상기 밀봉 라인은 상기 2개의 기판 플레이트 사이에 위치된 상기 유리재, 다수의 전극이 없는 영역, 및 다수의 전극이 차지한 영역을 포함하는 것을 특징으로 하는 글래스 패키지 밀봉장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 컴퓨터는, 상기 2개의 기판 플레이트 사이의 전극에 걸쳐 상기 레이저 빔이 현재 위치되어 있는지의 여부와 상기 2개의 기판 플레이트 상의 굴곡된 일부의 밀봉 라인에 걸쳐 상기 레이저 빔이 현재 위치되어 있는지의 여부에 의해 상기 밀봉 라인을 따라 소정 지점에 필요한 것으로 선형 또는 비선형 방식으로 변경하기 위해 상기 가열원의 출력이 제어될 수 있도록 상기 이동 동작과 조절 동작을 동시에 수행하는 것을 특징으로 하는 글래스 패키지 밀봉장치.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 컴퓨터는, 상기 유리재가 상기 2개의 기판 플레이트를 연결하는 허메틱 실을 형성하게 하도록 상기 유리재에 충분한 가열원 에너지가 전달되는 것을 보장하기 위해, 상기 빔의 이동이 상기 2개의 기판 플레이트의 밀봉 라인 상의 시작지점에서 시작하고, 상기 빔이 상기 2개의 기판 플레이트의 둘레를 둘러싸는 상기 밀봉 라인을 걸쳐 통과한 후, 상기 빔이 상기 밀봉 라인 상의 시작지점을 통과하여 다시 상기 밀봉 라인의 소정 부분을 통과함으로써 이동 동작을 수행하는 것을 특징으로 하는 글래스 패키지 밀봉장치.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 컴퓨터는, 이 컴퓨터가 상기 가열원의 출력을 동작 분해능보다 높은 공간 분해능으로 변경시킬 수 있게 하는 동작 인코더 시스템과 인터페이싱하여 상기 동시 동작을 수행하며,
    상기 빔의 다수의 출력 제어 변경은 상기 2개의 기판 플레이트 상의 밀봉 라인을 따라 상기 빔이 상기 밀봉 라인의 어느 한 지점에서 또 다른 지점으로 이동되게 하면서 수행되는 것을 특징으로 하는 글래스 패키지 밀봉장치.
  12. 제9항에 있어서,
    상기 컴퓨터는, 이 컴퓨터가 상기 가열원의 출력을 동작 분해능보다 높은 공간 분해능으로 변경시킬 수 있게 하는 필드-프로그램가능 게이트 어레이(FPGA) 시스템과 인터페이싱하여 상기 동시 동작을 수행하며,
    상기 빔의 다수의 출력 제어 변경은 상기 2개의 기판 플레이트 상의 밀봉 라인을 따라 상기 빔이 상기 밀봉 라인의 어느 한 지점에서 또 다른 지점으로 이동되게 하면서 수행되는 것을 특징으로 하는 글래스 패키지 밀봉장치.
  13. 제8항에 있어서,
    상기 유리재가 상기 2개의 기판 플레이트를 연결하는 허메틱 실을 형성하게 하기 위해 상기 유리재에 충분한 가열원 에너지를 전달하도록 상기 빔이 밀봉 라인을 따라 이동하면서 상기 가열원의 출력의 변경을 제어하도록 소정의 출력 프로파일을 이용하여 상기 조절 동작을 수행하는 것을 특징으로 하는 글래스 패키지 밀봉장치.
  14. 제8항에 있어서,
    상기 유리재가 상기 2개의 기판 플레이트를 연결하는 허메틱 실을 형성하게 하기 위해 상기 유리재에 충분한 가열원을 전달하도록 상기 빔이 밀봉 라인을 따라 이동하면서 상기 가열원의 출력의 변경을 제어하도록 피드백 메카니즘을 이용하여 상기 출력 조절 동작을 수행하는 것을 특징으로 하는 글래스 패키지 밀봉장치.
  15. 글래스 패키지를 제조하기 위한 방법에 있어서,
    가열원을 이용하여, 적어도 하나의 소자와 함께 2개의 기판 플레이트 사이에 위치된 유리재 쪽으로 레이저 빔을 방향지우는 단계;
    상기 2개의 기판 플레이트의 밀봉 라인 상에 일정한 속도로 상기 레이저 빔이 이동하도록 상기 가열원 또는 상기 2개의 기판 플레이트를 이동시키는 단계;
    상기 유리재가 상기 2개의 기판 플레이트를 연결하는 허메틱 실을 형성하게 하기 위해 상기 레이저 빔이 상기 유리재에 충분한 가열원 에너지를 전달하도록 일정한 속도로 레이저 빔을 이동시키면서 상기 가열원의 출력을 조절하는 단계; 및
    상기 가열원의 출력이 상기 조절 단계 동안 소정 지점에서 최대 또는 최소가 되면, 상기 유리재가 상기 2개의 기판 플레이트를 연결하는 허메틱 실을 형성하게 하기 위해 상기 유리재에 충분한 가열원 에너지를 상기 레이저 빔이 계속해서 전달하도록 상기 레이저 빔의 출력강도를 조절하도록 상기 가열원의 출력으로 광 포커싱 유닛을 제어하는 단계를 구비하여 이루어지며,
    상기 밀봉 라인은 상기 2개의 기판 플레이트 사이에 위치된 상기 유리재, 다수의 전극이 없는 영역, 및 다수의 전극이 차지한 영역을 포함하는 것을 특징으로 하는 글래스 패키지 제조방법.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 2개의 기판 플레이트 사이의 전극에 걸쳐 상기 레이저 빔이 현재 위치되어 있는지의 여부와 상기 2개의 기판 플레이트 상의 굴곡된 일부의 밀봉 라인에 걸쳐 상기 레이저 빔이 현재 위치되어 있는지의 여부에 의해 상기 밀봉 라인을 따라 소정 지점에 필요한 것으로 선형 또는 비선형 방식으로 변경하기 위해 상기 가열원의 출력이 제어될 수 있도록 상기 이동 단계와 조절 단계를 동시에 수행하는 단계를 더 구비하여 이루어진 것을 특징으로 하는 글래스 패키지 제조방법.
  17. 제15항에 있어서,
    상기 이동 단계는, 상기 유리재가 상기 2개의 기판 플레이트를 연결하는 허메틱 실을 형성하게 하도록 상기 유리재에 충분한 가열원 에너지가 전달되는 것을 보장하기 위해, 상기 빔의 이동이 상기 2개의 기판 플레이트의 밀봉 라인 상의 시작지점에서 시작하고, 상기 2개의 기판 플레이트의 둘레를 둘러싸는 상기 밀봉 라인을 걸쳐 통과한 후, 상기 밀봉 라인 상의 시작지점을 통과하여 다시 상기 밀봉 라인의 소정 부분을 통과하는 오버랩핑 이동 단계를 더 구비하여 이루어진 것을 특징으로 하는 글래스 패키지 제조방법.
  18. 제16항에 있어서,
    상기 동시 수행 단계는, 동작 인코더 시스템을 이용하여, 상기 가열원의 출력을 동작 분해능보다 높은 공간 분해능으로 변경시키는 단계를 더 구비하여 이루어지며,
    상기 빔의 다수의 출력 제어 변경은 상기 2개의 기판 플레이트 상의 밀봉 라인을 따라 상기 빔이 상기 밀봉 라인의 어느 한 지점에서 또 다른 지점으로 이동되게 하면서 수행되는 것을 특징으로 하는 글래스 패키지 제조방법.
  19. 제16항에 있어서,
    상기 동시 수행 단계는, 필드-프로그램가능 게이트 어레이(FPGA) 시스템을 이용하여, 상기 가열원의 출력을 동작 분해능보다 높은 공간 분해능으로 변경시키는 단계를 더 구비하여 이루어지며,
    상기 빔의 다수의 출력 제어 변경은 상기 2개의 기판 플레이트 상의 밀봉 라인을 따라 상기 빔이 상기 밀봉 라인의 어느 한 지점에서 또 다른 지점으로 이동되게 하면서 수행되는 것을 특징으로 하는 글래스 패키지 제조방법.
  20. 제15항에 있어서,
    상기 조절 단계는, 소정의 출력 프로파일을 이용하여, 상기 유리재가 상기 2개의 기판 플레이트를 연결하는 허메틱 실을 형성하게 하기 위해 상기 유리재에 충분한 가열원 에너지를 전달하도록 상기 빔이 밀봉 라인을 따라 이동하면서 상기 가열원의 출력의 변경을 제어하는 단계를 더 구비하여 이루어진 것을 특징으로 하는 글래스 패키지 제조방법.
  21. 제15항에 있어서,
    상기 조절 단계는, 피드백 메카니즘을 이용하여, 상기 유리재가 상기 2개의 기판 플레이트를 연결하는 허메틱 실을 형성하게 하기 위해 상기 유리재에 충분한 가열원을 전달하도록 상기 빔이 밀봉 라인을 따라 이동하면서 상기 가열원의 출력 의 변경을 제어하는 단계를 더 구비하여 이루어진 것을 특징으로 하는 글래스 패키지 제조방법.
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