JP2011088210A - 被接合部材の接合方法およびそれに用いる接合装置 - Google Patents
被接合部材の接合方法およびそれに用いる接合装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011088210A JP2011088210A JP2010214184A JP2010214184A JP2011088210A JP 2011088210 A JP2011088210 A JP 2011088210A JP 2010214184 A JP2010214184 A JP 2010214184A JP 2010214184 A JP2010214184 A JP 2010214184A JP 2011088210 A JP2011088210 A JP 2011088210A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser light
- laser beam
- absorption layer
- members
- continuous wave
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C27/00—Joining pieces of glass to pieces of other inorganic material; Joining glass to glass other than by fusing
- C03C27/06—Joining glass to glass by processes other than fusing
Abstract
【課題】良好な仕上がりで、簡便にかつ安価にガラス製部材などの被接合部材の接合を行なうことができる被接合部材の接合方法およびそれに用いる接合装置を提供する。
【解決手段】2つの被接合部材11a,11bの接合界面(レーザ光吸収層12)にレーザ光を照射する接合装置1に、レーザ光の焦点の位置をレーザ光吸収層から所定寸法だけ離隔させて、連続発振レーザ光を照射するレーザ照射部23と、照射に際して、両部材11a,11bの接触面全体に対して、圧縮方向に略均等な面圧を加える加圧部51を有する保持部25を設ける。これにより、接触面全体に対して、圧縮方向に略均等な面圧を加えながら、焦点をレーザ光吸収層から所定寸法だけ離隔させて連続発振レーザ光を照射して、両部材11a,11bを良好な仕上がりで、簡便にかつ安価に接合させる。
【選択図】 図1
【解決手段】2つの被接合部材11a,11bの接合界面(レーザ光吸収層12)にレーザ光を照射する接合装置1に、レーザ光の焦点の位置をレーザ光吸収層から所定寸法だけ離隔させて、連続発振レーザ光を照射するレーザ照射部23と、照射に際して、両部材11a,11bの接触面全体に対して、圧縮方向に略均等な面圧を加える加圧部51を有する保持部25を設ける。これにより、接触面全体に対して、圧縮方向に略均等な面圧を加えながら、焦点をレーザ光吸収層から所定寸法だけ離隔させて連続発振レーザ光を照射して、両部材11a,11bを良好な仕上がりで、簡便にかつ安価に接合させる。
【選択図】 図1
Description
本発明は、被接合部材の接合方法およびそれに用いる接合装置に関する。
液晶ディスプレイ、有機ELディスプレイなど表示デバイスでは、接合され、かつ封止された2つのガラス製部材間に、画像の表示に用いられる素子(液晶素子や有機エレクトロルミネッセンス素子)などが配置されている。
これらのガラス製部材の接合は、例えば、レーザ光により2つのガラス製部材を溶融させることにより行なわれている(例えば、特許文献1を参照)。
特許文献1には、2つのガラス製部材の接合面それぞれに塗布したレーザ光吸収材にパルス発振レーザ光を集光し、レーザ光吸収材の吸収熱によってガラス製部材同士を溶融させて接合させる方法が記載されている。また、特許文献1に記載の方法では、被接合部材の接合部にクラックが生じることを防ぐために、高温雰囲気中でガラス製部材の接合が行なわれている。
特許文献1には、2つのガラス製部材の接合面それぞれに塗布したレーザ光吸収材にパルス発振レーザ光を集光し、レーザ光吸収材の吸収熱によってガラス製部材同士を溶融させて接合させる方法が記載されている。また、特許文献1に記載の方法では、被接合部材の接合部にクラックが生じることを防ぐために、高温雰囲気中でガラス製部材の接合が行なわれている。
しかしながら、特許文献1に記載の方法では、パルス発振レーザ光が用いられ、高温雰囲気中でガラス製部材の接合が行なわれるため、連続光からパルス発振光へ変換させるミラーや、高温雰囲気を保つための設備などを備えた高価な装置を用いる必要がある。また、特許文献1に記載の方法では、パルス発振レーザ光をレーザ光吸収材に集光させるため、当該パルス発振レーザ光の焦点の範囲は、接合面に塗布したレーザ光吸収材からなる層の範囲に限定される。そのため、パルス発振レーザ光を照射する際、焦点の位置あわせに高い精度が必要となり、最適な加工品質を確保することが困難である場合がある。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、良好な仕上がりで、簡便にかつ安価にガラス製部材などの被接合部材の接合を行なうことができる被接合部材の接合方法およびそれに用いる接合装置を提供することを目的とする。
本発明の非接合部材の接合方法は、下記工程(A)〜(C):
(A) 2つの被接合部材のうちの一方の部材の接合側表面に、レーザ光を吸収する材料からなるレーザ光吸収層を形成する工程
(B) 前記一方の被接合部材のレーザ光吸収層上に、他方の被接合部材を重ね合わせる工程
(C) レーザ光吸収層を介して両被接合部材が接触する接触面全体に対して、圧縮方向に略均等な面圧を加えながら、レーザ光の焦点をレーザ光吸収層から所定寸法だけ離隔させて当該連続発振レーザ光を前記レーザ光吸収層に照射して加熱し、両被接合部材を互いに接合させる工程
を含む方法である。
(A) 2つの被接合部材のうちの一方の部材の接合側表面に、レーザ光を吸収する材料からなるレーザ光吸収層を形成する工程
(B) 前記一方の被接合部材のレーザ光吸収層上に、他方の被接合部材を重ね合わせる工程
(C) レーザ光吸収層を介して両被接合部材が接触する接触面全体に対して、圧縮方向に略均等な面圧を加えながら、レーザ光の焦点をレーザ光吸収層から所定寸法だけ離隔させて当該連続発振レーザ光を前記レーザ光吸収層に照射して加熱し、両被接合部材を互いに接合させる工程
を含む方法である。
本発明の接合方法は、レーザ光として、連続発振レーザ光が用いられている。
したがって、パルス発振レーザ光を用いる場合のように、レーザ光吸収層に焦点を合わせるのではなく、レーザ光吸収層から所定寸法だけ離隔させて連続発振レーザ光を照射することにより、効率よくかつ良好な仕上がりで被接合部材を接合させることができる。
また、これにより、レーザ光吸収層への過度のレーザ光の集中を抑制し、被接合部材における過度の加熱を抑制することができるので、常温雰囲気で被接合部材の接合を行なった場合でも、クラックの発生を抑制でき、良好な仕上がりを確保することができる。
したがって、パルス発振レーザ光を用いる場合のように、レーザ光吸収層に焦点を合わせるのではなく、レーザ光吸収層から所定寸法だけ離隔させて連続発振レーザ光を照射することにより、効率よくかつ良好な仕上がりで被接合部材を接合させることができる。
また、これにより、レーザ光吸収層への過度のレーザ光の集中を抑制し、被接合部材における過度の加熱を抑制することができるので、常温雰囲気で被接合部材の接合を行なった場合でも、クラックの発生を抑制でき、良好な仕上がりを確保することができる。
さらに、レーザ光吸収層から焦点を離隔させて連続発振レーザ光を照射するため、レーザ光吸収層内に焦点を合わせる従来の方法に比べて、焦点の位置を広範囲に設定することができ、レーザ光の焦点の位置あわせが容易になる。
また、本発明の接合方法では、連続発振レーザ光の照射に際して、2つの被接合部材がレーザ光吸収層を介して接触する接触面全体に対して、圧縮方向に略均等な面圧を加える。これにより、一方の被接合部材に設けたレーザ光吸収層における連続発振レーザ光の吸収熱が他方の被接合部材にも効率よく伝導する。したがって、2つの被接合部材の両方の部材の接合側表面に、レーザ光吸収層を形成させる必要がなく、工程を削減することが可能になる。
本発明の接合方法においては、被接合部材として、ガラス製の板状部材を用いることができる。
また、本発明の接合方法においては、連続発振レーザ光の収束角度を2〜4°に設定し、かつ焦点をレーザ光吸収層から4〜6mm離隔させて、当該連続発振レーザ光を前記レーザ光吸収層に照射することが好ましい。
さらに、本発明の接合方法においては、連続発振レーザ光の焦点径を15〜20μmに設定して、当該連続発振レーザ光を前記レーザ光吸収層に照射することが好ましい。
また、連続発振レーザ光の周波数が少なくとも1000Hzであることが好ましい。
連続発振レーザ光の出力が17〜60Wであることが好ましい。
また、本発明の接合方法においては、連続発振レーザ光の収束角度を2〜4°に設定し、かつ焦点をレーザ光吸収層から4〜6mm離隔させて、当該連続発振レーザ光を前記レーザ光吸収層に照射することが好ましい。
さらに、本発明の接合方法においては、連続発振レーザ光の焦点径を15〜20μmに設定して、当該連続発振レーザ光を前記レーザ光吸収層に照射することが好ましい。
また、連続発振レーザ光の周波数が少なくとも1000Hzであることが好ましい。
連続発振レーザ光の出力が17〜60Wであることが好ましい。
また、本発明の接合方法においては、レーザ光吸収層に対する連続発振レーザ光の照射位置を10〜80mm/sの移動速度で移動させながら、連続発振レーザ光をレーザ光吸収層に照射することが好ましい。これにより、接合を確実に行なうとともに、被接合部材の接合部を良好な加工品質のものとすることができる。
本発明の接合装置は、レーザ光を透過する材料からなる2つの被接合部材の接合界面にレーザ光を吸収する材料からなるレーザ光吸収層を介在させ、このレーザ光吸収層にレーザ光を照射することにより両被接合部材を接合する接合装置であって、レーザ光の焦点の位置をレーザ光吸収層から所定寸法だけ離隔させて、当該連続発振レーザ光をレーザ光吸収層に照射するレーザ照射部と、レーザ光を透過する材料からなり、レーザ光を照射する際に、レーザ光吸収層を介してこれらの被接合部材が接触する接触面全体に対して、圧縮方向に略均等な面圧を加える加圧部を有する、被接合部材を保持するための保持部とを備えていることを特徴としている。
本発明の接合装置によれば、加圧部が、レーザ光吸収層を介して2つの被接合部材が接触する接触面全体に対して、圧縮方向に略均等な面圧を加え、レーザ照射部が、レーザ光の焦点の位置をレーザ光吸収層から所定寸法だけ離隔させて、連続発振レーザ光を照射する。
そのため、レーザ光吸収層を介して両被接合部材が接触する接触面全体に対して、圧縮方向に略均等な面圧を加えながら、レーザ光の焦点をレーザ光吸収層から所定寸法だけ離隔させて当該連続発振レーザ光を前記レーザ光吸収層に照射して加熱し、両被接合部材を互いに接合させることができる。
したがって、本発明の接合装置によれば、前記接合方法と同様の作用効果を奏することができる。
そのため、レーザ光吸収層を介して両被接合部材が接触する接触面全体に対して、圧縮方向に略均等な面圧を加えながら、レーザ光の焦点をレーザ光吸収層から所定寸法だけ離隔させて当該連続発振レーザ光を前記レーザ光吸収層に照射して加熱し、両被接合部材を互いに接合させることができる。
したがって、本発明の接合装置によれば、前記接合方法と同様の作用効果を奏することができる。
本発明の被接合部材の接合方法およびそれに用いる接合装置によれば、良好な仕上がりで、簡便にかつ安価にガラス製部材などの被接合部材の接合を行なうことができる。
[被接合部材の接合装置の構成]
以下、本発明の一実施の形態に係る被接合部材の接合装置について添付図面を参照しながら説明する。図1は、本発明の一実施形態に係る被接合部材の接合装置の構成を示す概略説明図である。なお、以下においては、液晶パネルなどに用いることができるガラス製の板状部材(以下、「ガラス製部材」という)を接合する接合装置を例として挙げて説明する。
以下、本発明の一実施の形態に係る被接合部材の接合装置について添付図面を参照しながら説明する。図1は、本発明の一実施形態に係る被接合部材の接合装置の構成を示す概略説明図である。なお、以下においては、液晶パネルなどに用いることができるガラス製の板状部材(以下、「ガラス製部材」という)を接合する接合装置を例として挙げて説明する。
本実施形態に係る接合装置1は、連続発振レーザ光を発生させるレーザ発振部21と、連続発振レーザ光を伝送する光ファイバー22と、連続発振レーザ光の焦点の位置をガラス製部材11a,11bの接合界面(すなわち、レーザ光吸収層12)から所定寸法だけ離隔させて、当該連続発振レーザ光をレーザ光吸収層12に照射するレーザ照射部23と、このレーザ照射部23を移動可能に保持するアーム部24と、ガラス製部材11a,11bを保持する保持部25とを備えている。
なお、本明細書において、「連続発振レーザ光」には、レーザ光出力が連続的であるレーザ光のみならず、励起源を連続的に点灯させることにより生じる少なくとも1000Hzであり、パルス幅が0.1ms未満(例えば、15ns)のレーザ光をも含む。
図1に示される接合装置1では、レーザ照射部23は、保持部25の上方に位置するように設けられている。
レーザ発振部21は、図2に示されるように、YAGレーザロッド101と、レーザ光を全反射するリアミラー102と、レーザ光を部分的に反射するフロントミラー103と、フロントミラー103から出力されたレーザ光を集光するレンズ104と、励起光を発生させる励起光源105と、励起光源105の電源106とを備えている。
なお、レーザ発振部21には、通常、YAGレーザロッド101や励起光源105を冷却するための冷却装置が設けられるが、図2においては、図の簡略化の観点から、省略している。
なお、レーザ発振部21には、通常、YAGレーザロッド101や励起光源105を冷却するための冷却装置が設けられるが、図2においては、図の簡略化の観点から、省略している。
YAGレーザロッド101は、Y3Al5O12の母材結晶にネオジウムイオンをドープして得られたレーザ結晶からなる。このYAGレーザロッド101は、励起光により励起されることにより放射光を生じる。
YAGレーザロッド101の軸方向一端側には、リアミラー102が設置されており、軸方向他端側には、フロントミラー103が設置されている。
YAGレーザロッド101の軸方向一端側には、リアミラー102が設置されており、軸方向他端側には、フロントミラー103が設置されている。
レーザ発振部21では、電源106より連続電圧が励起光源105にかけられることにより、励起光源105が励起光を発する。この励起光によって、YAGレーザロッド101が励起され、種々の方向に向けて放射光が放射される。生じた放射光のうち、進行方向がYAGレーザロッド101の軸方向と平行である光が、YAGレーザロッド内において、リアミラー102とフロントミラー103との間を繰り返し往復し、誘導放出により増幅される。これにより、レーザ発振部21よりレーザ光が発振される。
レーザ光は、フロントミラー103から取り出され、レンズ104で集光される。
レーザ光は、フロントミラー103から取り出され、レンズ104で集光される。
レンズ104は、集光されたレーザ光が、光ファイバー24の一端に接続された入射部107に入射できるように、入射部107に対して位置あわせして設置されている。これにより、入射部107に入射したレーザ光は、この光ファイバー22を介して出力部108側に伝送される。
レーザ照射部23は、出力部108からのレーザ光を両ガラス製部材11a,11b間に介在するレーザ光吸収層12に照射するための加工ヘッド31と、加工ヘッド31を保持するホルダー32と、ホルダー32を上下方向に移動可能に保持して、レーザ光の焦点の位置を制御する焦点調節部33とを備えている。レーザ照射部23によれば、このように構成されているため、連続発振レーザ光の焦点の位置をレーザ光吸収層から所定寸法だけ離隔させて、当該連続発振レーザ光を接合界面に照射することができる。
加工ヘッド31には、前記出力部108が接続されている。そして、加工ヘッド31は、光ファイバーを介して伝送された連続発振レーザ光を集光するレンズを有している(図示せず)。
この加工ヘッド31は、ホルダー32によって、上下方向に移動可能に保持されている。さらに、このホルダー32は、焦点調節部33によって、上下方向に移動可能に保持されている。
したがって、加工ヘッド31は、レーザ光の焦点の位置をセットする際には、スライド機構部34と、焦点調節部33とによって支えられることになるため、加工ヘッド31のぶれを抑制することができる。
この加工ヘッド31は、ホルダー32によって、上下方向に移動可能に保持されている。さらに、このホルダー32は、焦点調節部33によって、上下方向に移動可能に保持されている。
したがって、加工ヘッド31は、レーザ光の焦点の位置をセットする際には、スライド機構部34と、焦点調節部33とによって支えられることになるため、加工ヘッド31のぶれを抑制することができる。
ホルダー32には、図3に示されるように、スライド機構部34が設けられている。このスライド機構部34は、アーム部24の先端部41に設けられたガイド部35に上下方向に移動可能に嵌合している。
焦点調節部33は、ガラス製部材11a,11bの接合に際して、ホルダー32を上下方向の位置を制御することにより、加工ヘッド31の上下方向の位置を所定の位置にセットする(図4参照)。
ホルダー32の位置を下方に位置するように制御したときには、連続発振レーザ光の焦点の位置Fを、接合界面であるレーザ光吸収層12の下方に所定寸法だけ離隔させて、連続発振レーザ光をレーザ光吸収層12に照射することができる(図4(a)参照)。
一方、ホルダー32の位置を上方に位置するように制御したときには、連続発振レーザ光の焦点の位置Fを、レーザ光吸収層12の上方に所定寸法だけ離隔させて、連続発振レーザ光をレーザ光吸収層12に照射することができる(図4(a)参照)。
ホルダー32の位置を下方に位置するように制御したときには、連続発振レーザ光の焦点の位置Fを、接合界面であるレーザ光吸収層12の下方に所定寸法だけ離隔させて、連続発振レーザ光をレーザ光吸収層12に照射することができる(図4(a)参照)。
一方、ホルダー32の位置を上方に位置するように制御したときには、連続発振レーザ光の焦点の位置Fを、レーザ光吸収層12の上方に所定寸法だけ離隔させて、連続発振レーザ光をレーザ光吸収層12に照射することができる(図4(a)参照)。
アーム部24は、図3に示されるように、第1、第2および第3のアーム本体43,45,47が、回転リング部42,44,46,48を介して連結された多関節アームを形成している。このアーム部24は、焦点調節部33が固定された先端部41を、x軸、y軸およびz軸上に位置あわせをするように構成されている。
これにより、レーザ光吸収層12に対する連続発振レーザ光の照射位置を移動させながら、連続発振レーザ光をレーザ光吸収層12に連続的に照射することができる。
これにより、レーザ光吸収層12に対する連続発振レーザ光の照射位置を移動させながら、連続発振レーザ光をレーザ光吸収層12に連続的に照射することができる。
保持部25は、ガラス製部材11a,11bに対して面圧を加える加圧部51と、この加圧部51の下方に設けられ、ガラス製部材11a,11bを載置する加工台52とを備えている。加圧部51は、シリンダ部53により、上下方向に動かすことができるようになっている。
加圧部51は、加工台52との間の距離を狭めるように移動する。これにより、加圧部51と加工台52との間に配置されたガラス製部材11a,11bがレーザ光吸収層12を介して接触している接触面全体に対して略均等な面圧を圧縮方向に加えることができる。
加圧部51は、加工台52との間の距離を狭めるように移動する。これにより、加圧部51と加工台52との間に配置されたガラス製部材11a,11bがレーザ光吸収層12を介して接触している接触面全体に対して略均等な面圧を圧縮方向に加えることができる。
加圧部51は、ガラス製部材11a,11bの少なくともレーザ光を照射する対象となる部分に対応する部分がレーザ光を透過させる材料(ガラス、石英ガラスなど)から構成されたものである。したがって、加圧部51の上方よりレーザ光を照射しても、加圧部51によりレーザ光が遮られずに、レーザ光吸収層12に照射することができる。
本実施形態の接合装置では、加圧部51による面圧の負荷と、レーザ照射部23からのレーザ光の照射とが同時に行なわれるように、レーザ発振部21と、レーザ照射部23と、加圧部51とが制御されている。
これらの制御は、コンピュータなどにより行なうことができる。
これらの制御は、コンピュータなどにより行なうことができる。
また、本実施形態の接合装置では、保持部25の加工台52におけるガラス製部材11a,11bを載置する側の表面には、セラミックヒータ52aが設けられている(図5参照)。そして、このセラミックヒータ52aには、両ガラス製部材11a,11b間に介在するレーザ光吸収層12に当該セラミックヒータ52aから熱を伝導するための熱伝導部52bが設けられている。
これにより、本実施形態の接合装置では、連続発振レーザ光をレーザ光吸収層12に照射するとともに、ガラス製部材11a,11bを加熱することにより、ガラス製部材11a,11bにおけるクラックの発生を抑制することができる。
これにより、本実施形態の接合装置では、連続発振レーザ光をレーザ光吸収層12に照射するとともに、ガラス製部材11a,11bを加熱することにより、ガラス製部材11a,11bにおけるクラックの発生を抑制することができる。
[被接合部材の接合方法の処理手順]
つぎに、本発明の一実施形態に係る被接合部材の接合方法の処理手順について添付図面を参照しながら説明する。図6は、本発明の一実施形態に係る被接合部材の接合方法の処理手順を示す工程図である。なお、以下においては、液晶パネルなどに用いることができるガラス製部材を接合する場合の処理手順を例として挙げて説明する。
つぎに、本発明の一実施形態に係る被接合部材の接合方法の処理手順について添付図面を参照しながら説明する。図6は、本発明の一実施形態に係る被接合部材の接合方法の処理手順を示す工程図である。なお、以下においては、液晶パネルなどに用いることができるガラス製部材を接合する場合の処理手順を例として挙げて説明する。
本実施形態の接合方法では、まず、ガラス製部材11aを接合装置1の加工台52上に載置し(図6(a)参照)、このガラス製部材11aの接合側表面に、レーザ光を吸収する材料であるモリブデンからなるレーザ光吸収層12を形成する(図6(b)参照)。
ガラス製部材の厚さは、ガラス製部材の接合体の用途により異なるが、例えば、液晶パネル用のガラス製部材の場合、例えば、0.4〜1.4mmである。
レーザ光吸収層12は、レーザ光を吸収する材料であるモリブデンをガラス製部材11aの接合側表面に塗布すること、ガラス製部材11aの接合側表面にモリブデンを蒸着させることなどにより容易に形成させることができる。
かかるモリブデンは、レーザ光の吸収率が高いという性質を有する。
したがって、モリブデンによれば、両ガラス製部材11a,11bを互いに良好に溶着接合させることができる。
このレーザ光吸収層12は、ガラス製部材11a,11bの接合界面となる。
かかるモリブデンは、レーザ光の吸収率が高いという性質を有する。
したがって、モリブデンによれば、両ガラス製部材11a,11bを互いに良好に溶着接合させることができる。
このレーザ光吸収層12は、ガラス製部材11a,11bの接合界面となる。
レーザ光吸収層12の厚さは、ガラス製部材の種類などに応じて適宜設定することができるが、レーザ光を効率よく吸収させ、ガラス製部材同士の接合が可能な程度の熱を確保する観点から、通常、1〜20μmである。
また、レーザ光吸収層12の幅は、連続発振レーザ光の出力、ガラス製部材の大きさなどに応じて適宜設定することができる。
本実施形態の接合方法では、つぎに、前記ガラス製部材11a上に形成されたレーザ光吸収層12上に、ガラス製部材11bを重ね合わせ(図6(c)参照)、ガラス製部材11a,11bがレーザ光吸収層21を介して接触する接触面全体に対して、圧縮方向(ガラス製部材11a,11bが互いに近づく方向)に略均等な面圧を加える(図6(d)参照)。
このとき、得られる接合体の用途に応じて、ガラス製部材11a,11b間には、素子、電極、スペーサなどをさらに介在させることができる。
このとき、得られる接合体の用途に応じて、ガラス製部材11a,11b間には、素子、電極、スペーサなどをさらに介在させることができる。
面圧は、レーザ光吸収層21を介してガラス製部材11a,11b同士を十分に密着させることができる程度の圧力であればよい。
本実施形態の接合方法では、その後、前記接触面全体に対して略均等な面圧を加えながら、連続発振レーザ光の焦点Fを、レーザ光吸収層12から所定寸法だけ離隔させて当該連続発振レーザ光をレーザ光吸収層12に照射して加熱し、両ガラス製部材11a,11bを互いに接合させる(図6(e)参照)。
本実施形態の接合方法では、レーザ光として、連続発振レーザ光が用いられているため、パルス発振レーザ光を用いる場合に比べて、より安価な装置を用いることができる。
本実施形態の接合方法では、連続発振レーザ光の照射に際して、前記接触面全体に対して略均等な面圧を加えているため、接合対象となるガラス製部材11a,11bが、レーザ光吸収層12を介して密着した状態となる。
これにより、本実施形態の接合方法では、接合対象となるガラス製部材の両方の接合側表面にレーザ光吸収層12を形成させなくても、ガラス製部材のいずれか一方の接合側表面に形成させた1つのレーザ光吸収層12を介して、ガラス製部材11a,11bのいずれをも効率よく加熱し、互いに接合させることができる。
したがって、本実施形態の接合方法によれば、従来のように、接合対象となるガラス製部材の両方の接合側表面にレーザ光吸収層12を形成させる方法に比べて、工程を削減することができる。
これにより、本実施形態の接合方法では、接合対象となるガラス製部材の両方の接合側表面にレーザ光吸収層12を形成させなくても、ガラス製部材のいずれか一方の接合側表面に形成させた1つのレーザ光吸収層12を介して、ガラス製部材11a,11bのいずれをも効率よく加熱し、互いに接合させることができる。
したがって、本実施形態の接合方法によれば、従来のように、接合対象となるガラス製部材の両方の接合側表面にレーザ光吸収層12を形成させる方法に比べて、工程を削減することができる。
なお、従来、2つの被接合部材の接合界面にレーザ光吸収層を介在させ、このレーザ光吸収層にレーザ光を照射することによりガラス製部材11a,11bを接合する場合には、レーザ光吸収層を効率よく加熱して、両部材を加熱・溶融させる観点から、図7に示されるように、レーザ光の焦点が、レーザ光吸収層12に位置するようにされている(図中、レーザ光L3および焦点F3を参照)。そのため、レーザ光を照射するに際して、レーザ光の焦点の位置あわせに高い精度が要求される。
しかしながら、本実施形態の接合方法では、レーザ光吸収層12への連続発振レーザ光の照射に際して、連続発振レーザ光L1,L2の焦点(F1,F2)をレーザ光吸収層12から所定寸法だけ離隔させて当該連続発振レーザ光L1,L2をレーザ光吸収層12に照射する。これにより、従来の方法に比べて、レーザ光の焦点の位置あわせが容易になり、しかも、より効率よくかつ良好な仕上がりでガラス製部材11a,11bを接合させることができる。
このとき、連続発振レーザ光の焦点は、保持部25上において、レーザ光吸収層12の層外、具体的には、レーザ光吸収層12のよりも上方または下方、好ましくはガラス製部材11aよりも上方またはガラス製部材11bよりも下方に位置するように設定される。
しかしながら、本実施形態の接合方法では、レーザ光吸収層12への連続発振レーザ光の照射に際して、連続発振レーザ光L1,L2の焦点(F1,F2)をレーザ光吸収層12から所定寸法だけ離隔させて当該連続発振レーザ光L1,L2をレーザ光吸収層12に照射する。これにより、従来の方法に比べて、レーザ光の焦点の位置あわせが容易になり、しかも、より効率よくかつ良好な仕上がりでガラス製部材11a,11bを接合させることができる。
このとき、連続発振レーザ光の焦点は、保持部25上において、レーザ光吸収層12の層外、具体的には、レーザ光吸収層12のよりも上方または下方、好ましくはガラス製部材11aよりも上方またはガラス製部材11bよりも下方に位置するように設定される。
また、本実施形態の接合方法では、連続発振レーザ光の収束角度(図7中、θ)は、2〜4°であることが好ましい。
この場合、レーザ光吸収層12の位置(図7中、位置A)から焦点(図7中、位置BまたはC)までの距離(図7中、距離aまたはb)は、4〜7mmであることが好ましい。
これにより、レーザ光吸収層12への過度のレーザ光の集中を抑制しながら、ガラス製部材11a,11bを接合するのに十分な温度にレーザ光吸収層12を加熱することができる。
この場合、レーザ光吸収層12の位置(図7中、位置A)から焦点(図7中、位置BまたはC)までの距離(図7中、距離aまたはb)は、4〜7mmであることが好ましい。
これにより、レーザ光吸収層12への過度のレーザ光の集中を抑制しながら、ガラス製部材11a,11bを接合するのに十分な温度にレーザ光吸収層12を加熱することができる。
連続発振レーザ光の波長は、効率よくガラス製部材11a,11bを接合させることができる範囲であればよい。かかる連続発振レーザ光の波長は、好ましくは1060〜1080の範囲内で設定することができ、例えば、通常、レーザ発振部に採用されていることが多い波長である1064nmまたは1075nmとすることができる。
連続発振レーザ光の焦点径は、連続発振レーザ光の波長に依存して異なるが、より効率よくガラス製部材11a,11bを接合させる観点から、15〜25μmが好ましい。
連続発振レーザ光の焦点径は、連続発振レーザ光の波長に依存して異なるが、より効率よくガラス製部材11a,11bを接合させる観点から、15〜25μmが好ましい。
また、連続発振レーザ光の周波数は、連続発振レーザ光の周波数は、より効率よくかつ良好な仕上がりでガラス製部材11a,11bを接合させる観点から、少なくとも1000Hzであることが好ましい。
連続発振レーザ光の出力は、ガラス製部材11a,11bの接合を十分に行なう観点から、17W以上が好ましい。なお、連続発振レーザ光の出力の上限は、レーザ発振部の性能により最大出力が異なるため、一概に決定することができないが、例えば、60W以下、好ましくは50W以下、より好ましくは20W以下とすることができる。
なお、連続発振レーザ光の出力は、レーザ光吸収層12の角部近辺の領域M,O(図8参照)において、辺部の領域N(図8参照)よりも下げることが好ましい。これにより、ガラス製部材11a,11bにおけるクラックの発生を抑制することができる。
なお、連続発振レーザ光の出力は、レーザ光吸収層12の角部近辺の領域M,O(図8参照)において、辺部の領域N(図8参照)よりも下げることが好ましい。これにより、ガラス製部材11a,11bにおけるクラックの発生を抑制することができる。
ガラス製部材11a,11bの接合に際しては、レーザ光吸収層12に対する連続発振レーザ光の照射位置を移動させながら、連続発振レーザ光をレーザ光吸収層12に連続的に照射することができる。
連続発振レーザ光の照射位置の移動速度は、連続発振レーザ光の出力、用いられるガラス製部材における熱伝導度や耐熱強度などに応じて、適宜設定することができる。前記移動速度は、例えば、連続発振レーザ光の出力が17〜60Wである場合、当該ガラス製部材の接合部の加工品質を良好なものとする観点から、10mm/s以上、好ましくは11mm/s以上であり、接合を確実に行なう観点から、80mm/s以下、好ましくは20mm/s以下、より好ましくは19mm/s以下である。
[その他の変形例]
本発明の接合装置および接合方法では、被接合部材として、ガラス、石英などのレーザ光を透過する材料からなる部材を用いることができる。
また、レーザ光吸収層を構成する材料として、遷移金属や他の合金などのレーザ光を吸収する材料を用いることもできる。この場合、レーザ光吸収層12は、レーザ光を吸収する材料をガラス製部材の接合側表面に塗布、蒸着させることなどにより形成させることができる。かかるレーザ光を吸収する材料は、被接合部材の融点以上の融点を有する金属や合金であればよい。かかる材料としては、例えば、鉄、クロム、タングステンなどが挙げられる。
本発明の接合装置および接合方法では、被接合部材として、ガラス、石英などのレーザ光を透過する材料からなる部材を用いることができる。
また、レーザ光吸収層を構成する材料として、遷移金属や他の合金などのレーザ光を吸収する材料を用いることもできる。この場合、レーザ光吸収層12は、レーザ光を吸収する材料をガラス製部材の接合側表面に塗布、蒸着させることなどにより形成させることができる。かかるレーザ光を吸収する材料は、被接合部材の融点以上の融点を有する金属や合金であればよい。かかる材料としては、例えば、鉄、クロム、タングステンなどが挙げられる。
また、本発明の接合装置では、レーザ照射部は、保持部の下方に位置するように設けてもよい。この場合、図1に示される接合装置1の加工台52に対応する部材を、前記レーザ光を吸収する材料により構成すればよい。
さらに、レーザ発振部は、ファイバーレーザ発振部であってもよい(図9参照)。このファイバーレーザ発振部61は、励起光を発生させる励起光源201と、励起光を入射し、かつレーザ光(レーザ発振光)を反射する二色性ミラー202と、レーザ光を増幅する光ファイバー203と、レーザ光の一部を透過させ、残りのレーザ光を反射するファイバー回折格子204とから構成されている。
なお、図9においては、励起光源201の電源は、省略している。
かかるファイバーレーザ発振部61では、レーザ光の増幅が光ファイバー203内で行なわれている。この光ファイバーは、ファイバーレーザ発振部61において、束ねて設置することができるため、レーザ光を増幅するための光路長を確保するためのスペースを小さくすることができる。したがって、かかるファイバーレーザ発振部61を用いた場合、接合装置をより小型化することができる。
さらに、レーザ発振部は、ファイバーレーザ発振部であってもよい(図9参照)。このファイバーレーザ発振部61は、励起光を発生させる励起光源201と、励起光を入射し、かつレーザ光(レーザ発振光)を反射する二色性ミラー202と、レーザ光を増幅する光ファイバー203と、レーザ光の一部を透過させ、残りのレーザ光を反射するファイバー回折格子204とから構成されている。
なお、図9においては、励起光源201の電源は、省略している。
かかるファイバーレーザ発振部61では、レーザ光の増幅が光ファイバー203内で行なわれている。この光ファイバーは、ファイバーレーザ発振部61において、束ねて設置することができるため、レーザ光を増幅するための光路長を確保するためのスペースを小さくすることができる。したがって、かかるファイバーレーザ発振部61を用いた場合、接合装置をより小型化することができる。
以下、実施例などにより本発明の接合装置および接合方法の作用効果を検証するが、本発明は、かかる実施例により限定されるものではない。
(製造例1)
ガラス製部材A(無アルカリガラス、厚さ:0.7mm)の一方の表面に、スパッタリング法によって、モリブデンからなるレーザ光吸収層(厚さ:1μm、幅10μm)を形成し、ガラス製部材Bを得た。
ガラス製部材A(無アルカリガラス、厚さ:0.7mm)の一方の表面に、スパッタリング法によって、モリブデンからなるレーザ光吸収層(厚さ:1μm、幅10μm)を形成し、ガラス製部材Bを得た。
(実施例1および2)
図1に示される接合装置1の保持部25上で、前記ガラス製部材Aと、ガラス製部材Bとを、レーザ光吸収層が両ガラス製部材の内側に位置し、ガラス製部材A,Bの接合界面に介在するように重ね合わせた。これらのガラス製部材A,Bがレーザ光吸収層を介して接触する接触面全体に対して、圧縮方向に略均等な面圧を加えた。そして、前記面圧の負荷下に、レーザ光の収束角度を2.5°とし、レーザ光の焦点における光径を22μmとし、この焦点をレーザ光吸収層の5mm下方に位置するようにし、連続発振YAGレーザ光(波長:1064nm、周波数:1000Hz、出力:17W)を、照射位置の移動速度が15mm/sとなるように移動させながら照射し、ガラス製部材A,Bを接合した。得られた接合体を実施例1の試料とした。
図1に示される接合装置1の保持部25上で、前記ガラス製部材Aと、ガラス製部材Bとを、レーザ光吸収層が両ガラス製部材の内側に位置し、ガラス製部材A,Bの接合界面に介在するように重ね合わせた。これらのガラス製部材A,Bがレーザ光吸収層を介して接触する接触面全体に対して、圧縮方向に略均等な面圧を加えた。そして、前記面圧の負荷下に、レーザ光の収束角度を2.5°とし、レーザ光の焦点における光径を22μmとし、この焦点をレーザ光吸収層の5mm下方に位置するようにし、連続発振YAGレーザ光(波長:1064nm、周波数:1000Hz、出力:17W)を、照射位置の移動速度が15mm/sとなるように移動させながら照射し、ガラス製部材A,Bを接合した。得られた接合体を実施例1の試料とした。
また、レーザ光の焦点の位置をレーザ光吸収層の5mm上方としたことを除き、実施例1と同様に操作を行なって、実施例2の試料を得た。
(比較例1)
ガラス製部材Aと、ガラス製部材Bとを、レーザ光吸収層が内側に位置し、ガラス製部材A,Bの接合界面に介在するように重ね合わせた。レーザ光の焦点がレーザ光吸収層内に位置するようにし、実施例1と同様に操作を行なって、比較例1の試料を得た。
ガラス製部材Aと、ガラス製部材Bとを、レーザ光吸収層が内側に位置し、ガラス製部材A,Bの接合界面に介在するように重ね合わせた。レーザ光の焦点がレーザ光吸収層内に位置するようにし、実施例1と同様に操作を行なって、比較例1の試料を得た。
(試験例1)
実施例1〜2および比較例1の試料それぞれにおいて、ガラス製部材A,B間の接合の有無を観察した。
実施例1〜2および比較例1の試料それぞれにおいて、ガラス製部材A,B間の接合の有無を観察した。
その結果、実施例1および2の試料では、ガラス製部材A,Bが互いに強固に、かつ良好に溶着接合していることが確認された。一方、比較例1の試料では、ガラス製部材A,Bは、接合していないことが確認された。
これらの結果から、ガラス製部材A,Bがレーザ光吸収層を介して接触する接触面全体に対して、圧縮方向に略均等な面圧を加えながら、レーザ光の焦点がレーザ光吸収層から5mmずれるようにして、連続発振YAGレーザ光を照射した場合、ガラス製部材A,Bを良好な仕上がりで接合することができることがわかる。
(製造例2)
ガラス製部材A(無アルカリガラス、厚さ:0.4mm)の一方の表面に、スパッタリング法によって、モリブデンからなるレーザ光吸収層(厚さ:1μm、幅10μm)を形成し、ガラス製部材Cを得た。
ガラス製部材A(無アルカリガラス、厚さ:0.4mm)の一方の表面に、スパッタリング法によって、モリブデンからなるレーザ光吸収層(厚さ:1μm、幅10μm)を形成し、ガラス製部材Cを得た。
(実験例1)
ガラス製部材Bに代えてガラス製部材Cを用い、かつレーザ光の焦点の位置をレーザ光吸収層から、下方に4mm(−4mm)(実験番号:1)、下方に5mm(−5mm)(実験番号:2)、下方に6mm(−6mm)(実験番号:3)、下方に7mm(−7mm)(実験番号:4)、下方に8mm(−8mm)(実験番号:5)、下方に9mm(−9mm)(実験番号:6)、下方に10mm(−10mm)(実験番号:7)、上方に6mm(+6mm)(実験番号:8)にそれぞれ位置するように離隔させたことを除いて、実施例1と同様に操作を行なって、実験番号1〜8の試料を得た。
ガラス製部材Bに代えてガラス製部材Cを用い、かつレーザ光の焦点の位置をレーザ光吸収層から、下方に4mm(−4mm)(実験番号:1)、下方に5mm(−5mm)(実験番号:2)、下方に6mm(−6mm)(実験番号:3)、下方に7mm(−7mm)(実験番号:4)、下方に8mm(−8mm)(実験番号:5)、下方に9mm(−9mm)(実験番号:6)、下方に10mm(−10mm)(実験番号:7)、上方に6mm(+6mm)(実験番号:8)にそれぞれ位置するように離隔させたことを除いて、実施例1と同様に操作を行なって、実験番号1〜8の試料を得た。
得られた試料において、ガラス製部材A,C間の接合の程度およびガラス製部材A,Cの表面における溶着痕の有無を肉眼および光学顕微鏡にて観察した。これらの結果を表1に示す。なお、表中、ガラス製部材A,C間の接合の程度について、○は良好、△は可、×は不良を示す。
その結果、表1に示されるように、レーザ光の焦点の位置をレーザ光吸収層から4〜7mm離隔させた場合(実験番号1〜4および8)、良好な接合状態で、しかも表面溶着痕のない接合体を得ることができることがわかる。
また、実験例1で得られた試料の代表例(実験番号8)の接合部分の角部近辺の領域の表面を光学顕微鏡により観察した結果を示す図面代用写真を図10(a)に示し、前記接合部分の辺部の表面を光学顕微鏡で観察した結果を示す図面代用写真を図10(b)に示し、前記接合部分を厚さ方向に切断した断面を光学顕微鏡で観察した結果を示す図面代用写真を図10(c)に示す。
その結果、図10に示されるように、実験番号8の試料は、接合部分の角部近辺の領域(図10(a)参照)および辺部(図10(b)参照)のいずれにおいても、良好な仕上がりを得ることができることがわかる。さらに、図10(c)に示された結果から、接合部分において、融解し溶着することにより、良好な状態で接合していることがわかる(矢印部分を参照)。
また、実験番号1〜4の各試料も、実験番号8の試料と同等に、良好な仕上がりであった。
また、実験番号1〜4の各試料も、実験番号8の試料と同等に、良好な仕上がりであった。
(実施例3)
波長:1064nmの連続発振YAGレーザ光に代えて、波長:1075nmの連続発振YAGレーザ光を用い、実施例1と同様に操作を行なって、実施例3の試料を得た。そして、得られた試料について、実験例1と同様にして、ガラス製部材A,C間の接合の程度およびガラス製部材A,Cの表面における溶着痕の有無を肉眼および光学顕微鏡にて観察した。
その結果、実施例1と同様に、接合部分において、良好な状態で接合し、良好な仕上がりの試料を得ることができることが確認された。
波長:1064nmの連続発振YAGレーザ光に代えて、波長:1075nmの連続発振YAGレーザ光を用い、実施例1と同様に操作を行なって、実施例3の試料を得た。そして、得られた試料について、実験例1と同様にして、ガラス製部材A,C間の接合の程度およびガラス製部材A,Cの表面における溶着痕の有無を肉眼および光学顕微鏡にて観察した。
その結果、実施例1と同様に、接合部分において、良好な状態で接合し、良好な仕上がりの試料を得ることができることが確認された。
(試験例2)
ガラス製部材Bに代えてガラス製部材Cを用いたこと、レーザ出力を15、20、30、40、50、60、70、80、90および100Wのいずれかにしたことおよびレーザ照射位置の移動速度を10、20、30、40、50、60、70、80、90および100mm/sのいずれかにしたことを除き、実施例1と同様に操作を行ない、ガラス製部材A,C間の接合の程度を肉眼および光学顕微鏡にて観察した。レーザ出力の違いによるガラス製部材A,C間の接合の程度を観察した結果を表2、レーザ照射位置の移動速度の違いによるガラス製部材A,C間の接合の程度を観察した結果を表3に示す。なお、表2において、移動速度を10〜100mm/sの範囲内で変動させたときに、実験番号8の試料と同等の良好な接合が見られたときのレーザ出力を○、良好な接合が見られなかったときのレーザ出力を×とした。また、表3において、レーザ出力を15〜100Wの範囲内で変動させたときに、実験番号8の試料と同等の良好な接合が見られたときの移動速度を○、良好な接合が見られなかったときの移動速度を×とした。
ガラス製部材Bに代えてガラス製部材Cを用いたこと、レーザ出力を15、20、30、40、50、60、70、80、90および100Wのいずれかにしたことおよびレーザ照射位置の移動速度を10、20、30、40、50、60、70、80、90および100mm/sのいずれかにしたことを除き、実施例1と同様に操作を行ない、ガラス製部材A,C間の接合の程度を肉眼および光学顕微鏡にて観察した。レーザ出力の違いによるガラス製部材A,C間の接合の程度を観察した結果を表2、レーザ照射位置の移動速度の違いによるガラス製部材A,C間の接合の程度を観察した結果を表3に示す。なお、表2において、移動速度を10〜100mm/sの範囲内で変動させたときに、実験番号8の試料と同等の良好な接合が見られたときのレーザ出力を○、良好な接合が見られなかったときのレーザ出力を×とした。また、表3において、レーザ出力を15〜100Wの範囲内で変動させたときに、実験番号8の試料と同等の良好な接合が見られたときの移動速度を○、良好な接合が見られなかったときの移動速度を×とした。
以上のように、実施例および試験例の結果から、レーザ出力は17〜60Wの範囲であるのが好ましく、レーザ照射位置の移動速度は、10〜80mm/sが好ましいことがわかる。
1 接合装置;11a,11b 被接合部材ガラス製部材;12 接合界面レーザ光吸収層;23 レーザ照射部;25 保持部;51 加圧部
Claims (8)
- 下記工程(A)〜(C)を含む、被接合部材の接合方法。
(A) 2つの被接合部材のうちの一方の部材の接合側表面に、レーザ光を吸収する材料からなるレーザ光吸収層を形成する工程
(B) 前記一方の被接合部材のレーザ光吸収層上に、他方の被接合部材を重ね合わせる工程
(C) レーザ光吸収層を介して両被接合部材が接触する接触面全体に対して、圧縮方向に略均等な面圧を加えながら、連続発振レーザ光の焦点を前記レーザ光吸収層から所定寸法だけ離隔させて当該連続発振レーザ光を前記レーザ光吸収層に照射して加熱し、両被接合部材を互いに接合させる工程 - 前記被接合部材がガラス製の板状部材である請求項1に記載の接合方法。
- 連続発振レーザ光の収束角度を2〜4°に設定し、かつ焦点をレーザ光吸収層から4〜6mm離隔させて、当該連続発振レーザ光を前記レーザ光吸収層に照射する請求項1または2に記載の接合方法。
- 連続発振レーザ光の焦点径を15〜25μmに設定して、当該連続発振レーザ光を前記レーザ光吸収層に照射する請求項1〜3のいずれかに記載の接合方法。
- 連続発振レーザ光の周波数が少なくとも1000Hzである請求項1〜4のいずれかに記載の接合方法。
- 連続発振レーザ光の出力が17〜60Wである請求項1〜5のいずれかに記載の接合方法。
- レーザ光吸収層に対する連続発振レーザ光の照射位置を、10〜80mm/sの移動速度で移動させながら、連続発振レーザ光をレーザ光吸収層に照射する請求項6に記載の接合方法。
- レーザ光を透過する材料からなる2つの被接合部材の接合界面にレーザ光を吸収する材料からなるレーザ光吸収層を介在させ、このレーザ光吸収層にレーザ光を照射することにより両被接合部材を接合する接合装置であって、
レーザ光の焦点の位置を前記レーザ光吸収層から所定寸法だけ離隔させて、当該連続発振レーザ光を前記レーザ光吸収層に照射するレーザ照射部と、
レーザ光を透過する材料からなり、レーザ光を照射する際に、レーザ光吸収層を介してこれらの被接合部材が接触する接触面全体に対して、圧縮方向に略均等な面圧を加える加圧部を有する、被接合部材を保持するための保持部と
を備えていることを特徴とする接合装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010214184A JP2011088210A (ja) | 2009-09-25 | 2010-09-24 | 被接合部材の接合方法およびそれに用いる接合装置 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009220692 | 2009-09-25 | ||
JP2010214184A JP2011088210A (ja) | 2009-09-25 | 2010-09-24 | 被接合部材の接合方法およびそれに用いる接合装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011088210A true JP2011088210A (ja) | 2011-05-06 |
Family
ID=43778788
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010214184A Pending JP2011088210A (ja) | 2009-09-25 | 2010-09-24 | 被接合部材の接合方法およびそれに用いる接合装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US20110072854A1 (ja) |
JP (1) | JP2011088210A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015030625A (ja) * | 2013-07-31 | 2015-02-16 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | レーザ光によるガラス基板融着方法及びレーザ加工装置 |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102583986B (zh) * | 2012-01-21 | 2014-05-14 | 扬州大学 | 真空玻璃激光侧封装置 |
US10418596B2 (en) * | 2017-08-16 | 2019-09-17 | Wuhan China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co., Ltd. | OLED display panel manufacturing method and device thereof |
CN108609841B (zh) * | 2018-04-10 | 2020-05-19 | 华中科技大学 | 一种适用于玻璃的焊接方法 |
CN109626802B (zh) * | 2018-12-18 | 2023-10-03 | 泗县微腾知识产权运营有限公司 | 一种玻璃高温压制结合成型工序码垛系统 |
CN109665704B (zh) * | 2018-12-18 | 2023-12-15 | 山西利虎玻璃(集团)有限公司 | 一种玻璃成型工艺 |
CN111702330A (zh) * | 2020-05-15 | 2020-09-25 | 华南师范大学 | 一种镀铜玻璃的焊接系统及焊接方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006524419A (ja) * | 2003-04-16 | 2006-10-26 | コーニング インコーポレイテッド | フリットにより密封されたガラスパッケージおよびその製造方法 |
JP2008524872A (ja) * | 2005-12-06 | 2008-07-10 | コーニング インコーポレイテッド | ディスプレイ素子を密封する方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5489321A (en) * | 1994-07-14 | 1996-02-06 | Midwest Research Institute | Welding/sealing glass-enclosed space in a vacuum |
TW517356B (en) * | 2001-10-09 | 2003-01-11 | Delta Optoelectronics Inc | Package structure of display device and its packaging method |
EP1405712B1 (de) * | 2002-10-02 | 2004-07-21 | Leister Process Technologies | Verfahren und Vorrichtung zum Bearbeiten von Werkstücken mittels eines Laserstrahls |
US9138913B2 (en) * | 2005-09-08 | 2015-09-22 | Imra America, Inc. | Transparent material processing with an ultrashort pulse laser |
TWI327757B (en) * | 2005-12-06 | 2010-07-21 | Corning Inc | System and method for frit sealing glass packages |
US20080124558A1 (en) * | 2006-08-18 | 2008-05-29 | Heather Debra Boek | Boro-silicate glass frits for hermetic sealing of light emitting device displays |
JP5342286B2 (ja) * | 2008-05-16 | 2013-11-13 | 日東電工株式会社 | シート接合体の製造方法及びシート接合体 |
-
2010
- 2010-09-24 US US12/890,346 patent/US20110072854A1/en not_active Abandoned
- 2010-09-24 JP JP2010214184A patent/JP2011088210A/ja active Pending
-
2012
- 2012-08-17 US US13/589,005 patent/US20120304700A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006524419A (ja) * | 2003-04-16 | 2006-10-26 | コーニング インコーポレイテッド | フリットにより密封されたガラスパッケージおよびその製造方法 |
JP2008524872A (ja) * | 2005-12-06 | 2008-07-10 | コーニング インコーポレイテッド | ディスプレイ素子を密封する方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015030625A (ja) * | 2013-07-31 | 2015-02-16 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | レーザ光によるガラス基板融着方法及びレーザ加工装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20110072854A1 (en) | 2011-03-31 |
US20120304700A1 (en) | 2012-12-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2011088210A (ja) | 被接合部材の接合方法およびそれに用いる接合装置 | |
JP5580826B2 (ja) | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 | |
JP4175636B2 (ja) | ガラスの切断方法 | |
KR20120022787A (ko) | 하이브리드 용접방법 및 하이브리드 용접장치 | |
JP2009226643A (ja) | 接合方法及び接合体 | |
JP2013086180A (ja) | 溶接用レーザ装置 | |
JP3935186B2 (ja) | 半導体基板の切断方法 | |
WO2004080643A1 (ja) | レーザ加工方法 | |
JP4256840B2 (ja) | レーザ切断方法及びその装置 | |
JP4709482B2 (ja) | 超短光パルスによる透明材料の接合方法、物質接合装置、接合物質 | |
JP2010274328A (ja) | レーザ加工方法及びレーザ加工装置 | |
JP4167094B2 (ja) | レーザ加工方法 | |
WO2012063348A1 (ja) | レーザ加工方法及び装置 | |
JP5862088B2 (ja) | レーザによる割断方法、およびレーザ割断装置 | |
WO2012050098A1 (ja) | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 | |
US20160207144A1 (en) | Laser processing apparatus | |
JP2010099708A (ja) | 被切断材の切断面処理方法および装置 | |
JP2009297759A (ja) | レーザ接合方法及びレーザ加工装置 | |
TWI651279B (zh) | 利用雷射光之玻璃基板熔接方法及雷射加工裝置 | |
JP6141715B2 (ja) | レーザ光によるガラス基板融着方法 | |
JP2007301672A (ja) | 透明材料の加工方法及び加工装置 | |
TWI491574B (zh) | 脆性工件之切斷方法及切斷裝置 | |
JP2003117674A (ja) | レーザ溶着装置 | |
JP2005178288A (ja) | 脆性材料の割断方法とその装置 | |
JP4202853B2 (ja) | レーザ溶接方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130917 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140624 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140701 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20141104 |