JP4709482B2 - 超短光パルスによる透明材料の接合方法、物質接合装置、接合物質 - Google Patents

超短光パルスによる透明材料の接合方法、物質接合装置、接合物質 Download PDF

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Description

本発明は、短時間パルス幅で所定位置に焦点を形成するレーザービームによる多光子吸収現象を生成させて2つの物質を接合する接合方法、物質接合装置、接合物質に関するものであって、特に、超短光パルスを、外部から狭持された2つの同種材料あるいは異種材料間に集光照射して外部から圧力を加えることにより、透明材料を接合することができるものに関する。
従来より、2つの同種物質又は異種物質を接合する方法が種々存在する。このうち特に、特許文献1に開示された方法は、接合する部材間にレーザー光を吸収する吸光材を介挿し、吸光材にレーザー光を照射することにより吸光材を加熱し、熱伝導により2つの部材を接合界面のみで溶接するというものである。
また、特許文献2には、短時間パルス幅で所定位置に焦点を形成するレーザービームによる多光子吸収現象を利用し、物質のアブレーション(切断)ないし材料構造における物性の変性など内外両面の態様を変更する手法が開示されている。
特開2003−170290号公報 特表平09−511688号公報
しかし、特許文献1に開示された方法では、部材間に吸光材を塗布あるいは添付あるいは製膜により介挿する手間が必要となるという問題、吸光材により部材の透過率などの光学的特性を減少させるという問題、吸光材にレーザー光を照射するために、吸光材では1光子吸収現象による反応が生じ、レーザー光を照射した全ての部分において光物理現象や光化学過程が起きるため、接合部において空間選択性をもたせた微小な接合が困難であるという問題が考えられる。
また、特許文献2に開示された手法では、物質の接合に関したものではない。
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、物質の非吸収性波長をもつ短時間パルス幅で所定位置に焦点を形成するレーザービームによる物質の非線形吸収現象を利用し、互いに積層する物質を接合界面のみで接合する方法及びこの方法を利用する物質の接合装置を提供することにある。
上記課題を解決するために、本発明にあっては、短時間パルス幅で所定位置に焦点を形成するレーザービームによる多光子吸収現象を生成させて2つの物質を接合する方法である。具体的には、2つの物質を直接積層させた状態で積層方向接近側に圧力を付与し、前記2つの物質の試料間でアブレーションが生じないようにその間隙が照射されるレーザービームの中心波長の4分の1程度以下となるようにして互いに当接させ、レーザービームの焦点を2つの物質の当接部近傍に位置決めしてレーザービームを2つの物質の外部から照射する。
また、本発明の物質接合装置は、短時間パルス幅で所定位置に焦点を形成するレーザービームを照射するパルスレーザ照射手段と、互いに当接状態で直接積層された少なくとも2つの物質を、前記2つの物質間でアブレーションが生じないようにその間隙が照射されるレーザービームの中心波長の4分の1程度以下となるようにして支持する支持部材を備えている。さらに、支持部材は、パルスレーザ照射手段に対してレーザービームの焦点が2つの物質の当接部近傍に配設するように位置決めするように形成されている。
本発明においては、上述するように、物質の非吸収性波長の光を出力する短時間パルス幅で所定位置に焦点を形成するレーザービームを物質の当接部に集光照射し、多光子吸収現象を生成させる。多光子吸収現象により、物質の当接部においてプラズマが生成し、熱が生じることにより物質を接合することができる。なお、2つの物質を直接積層させた状態において、積層方向接近側に圧力を付与することにより、当接部の厚みを減少させ、レーザーアブレーションの発生を抑止が可能となり微小な接合が実現できる。
上記圧力を付与する方法として、本発明の接合方法によれば、2つの物質は、該2つの物質を同時に外部から狭持することによって当接状態を保持することが好ましい。具体的には、本発明の物質接合装置では、支持部材が、2つの物質をそれぞれ上方及び下方から担持する第一及び第二部材と、第一部材又は第二部材の少なくとも一方を上下方向に移動させる駆動手段とを有しても良い。
また、本発明の接合方法によれば、所定の支持部材に下方から支持させ、2つの物質の上側の物質の自重によって2つの物質を互いに当接させても良い。さらに、2つの物質の少なくとも一方は前記レーザービームを透過することが要求される。
以上、本発明の物質接合方法及び物質接合装置について説明してきたが、本発明の方法等による成果物としての接合物質は大きな特徴を有する。具体的には、2つの物質が互いに積層して接合された接合物資であって、該2つの物質の接合界面が2つの物質のいずれか又は両者が変性して形成されており、さらに、前記接合界面変性領域の厚みが概ね数100?m程度以下である。また、2つの物質の接合後に当接部のX線分析を行った結果、2つの物質の構成元素、金属スッパタに用いた元素、金属スパッタ時に用いた粘着テープの元素だけが検出されたことにより、2つの物質の構成元素により当接部が構成されている。
以上の説明より、本発明によれば、超短光パルスを、外部から狭持された2つの同種材料あるいは異種材料間に集光照射する。レーザーパルスを吸収する塗料が必要なく、外部から圧力を加えることにより、透明材料を接合できる。
以下、本発明の実施形態を図面を参照して説明する。
図1は、本発明に係わる物質接合装置の構成図である。
図1において、1は同種物質あるいは異種物質、2は超短光パルス、3はハロゲン光、4は増幅チタンサファイアレーザー、5はNDフィルタ、6はシャッター、7は凹レンズ、8は凸レンズ、9はアパーチャー、10はミラー、11は対物レンズ、12と16はハロゲンランプ、13はXYステージ、14と18は結像用レンズ、15と19はCCDカメラ、17はビームスプリッターである。
増幅チタンサファイアレーザー4より照射された超短光パルス2は、NDフィルタ5によりレーザー光出力を低減され、シャッター6を通過し、凹レンズ7および凸レンズ8よりなる拡大光学系により、レーザービーム径を拡大される。
さらに、超短光パルスは、アパーチャー9によりレーザービームの中心の光だけを選択され、ミラー10により光の進行方向を変え、対物レンズ11をZ軸上において移動させることにより、同種材料あるいは異種物質1を直接積層させた少なくとも2つの当接部に集光される。
さらに、XYステージ13を移動させることにより、レーザービームの照射位置を制御し、接合すべき当接部の位置に任意の接合形状を生成することが可能となる。また、必要に応じて超短光パルス2を複数に分岐し、複数の照射スポットを作り出すことにより、同時に複数個の接合を行うことも可能である。前記当接部において生じた多光子吸収現象を観察する手段としては、ハロゲンランプ12より発生されるハロゲン光3をX軸方向より前記当接部に照射し、当接部を透過したハロゲン光を結像用レンズ14を通してCCDカメラ15に結像し、前記当接部のX軸断面を観察する方法や、ハロゲンランプ16より発生されるハロゲン光をZ軸方向より前記当接部に照射し、当接部において反射したハロゲン光をビームスプリッター17により結像用レンズ18をとおしてCCDカメラ19に結像し、前記当接部のZ軸断面を観察する方法がある。
上記装置によって接合を行う材料としては、超短光パルスの波長帯域において、物質の非吸収性波長がある同種材料あるいは異種材料を対象とすることができる。いいかえれば、超短光パルス波長帯域において、物質が透明媒質と考えられるものである。
2つの物質を直接積層させた状態において、積層方向接近側に圧力を付与することにより、当接部の厚みを減少させ、レーザーアブレーションの発生の抑止が可能となる。上記圧力を付与する方法として、本発明の接合方法によれば、2つの物質は、2つの物質を同時に外部から狭持することによって当接状態を保持する。具体的には、本発明の物質接合装置では、図2に示すように支持部材が、2つの物質をそれぞれ上方及び下方から担持する第一部材20及び第二部材21または22と、第一部材20又は第二部材21または22の少なくとも一方を上下方向に移動させる駆動手段を有しても良い。
上記装置を使用してガラスを接合する場合を例にとって本方法を説明する。
外部から狭持された2つの同種物質あるいは異種物質1をXYステージ13上に設置し、対物レンズ11をZ方向に移動させることにより、超短光パルスを同種物質あるいは異種物質1の境界面に集光照射する。このとき、多光子吸収現象により、集光点近傍領域の物質の当接部においてのみ、プラズマが生成し、熱が生じたことにより図2の接合部23において物質を接合することができる。また、必要に応じて超短光パルス2を複数に分岐し、複数の照射スポットを作り出すことにより、同時に複数個の接合を行うことも可能である。
続いて超短光パルスによる接合を行う際の条件について説明する。本発明法による透明材料の接合実験においては、試料として大きさ約20mm×3mm×1.5mmのシリカガラスを2枚用いた。2枚の試料の片面には前もってレーザーアブレーションにより傷を付けてある。これは、傷を付けた表面同士を重ね合わせたときに、試料間の位置がわかるようにするためである。超短光パルス2(中心波長800nm、パルス幅130フェムト秒、繰り返し周波数:1kHz)を開口数0.10の対物レンズ11を用いて、試料間隙に集光した。接合部付近の試料の試料間隙は波長の4分の1程度以下に調整した。XYステージ13により、試料を光軸に垂直な方向に5.0μm/sの速さで走査し、100μm×100μmの領域において多光子吸収を生じさせた。
以上本発明に係る実施形態について説明したが、同種材料あるいは異種物質1は、上記したシリカガラスに限定されることなく、超短光パルスを透過する材料であれば種々の材料に関して接合が可能である。また、同種材料あるいは異種物質1は、超短光パルスが透過できる状態であれば、2枚以上を重ね、それぞれの当接部に超短光パルスを照射し溶接できることが可能である。さらに、本発明はその精神又は主要な特徴から逸脱することなく、他のいかなる形でも実施できる。そのため、前述の実施形態はあらゆる点で単なる例示にすぎず、限定的に解釈してはならない。
本発明に係る超短光パルスによる透明材料の接合に用いる装置の構成図である。 超短光パルスにより、同種材料あるいは異種材料を接合する説明図である。
符号の説明
1 同種物質あるいは異種物質
2 超短光パルス
3 ハロゲン光
4 増幅チタンサファイアレーザー
5 NDフィルタ
6 シャッター
7 凹レンズ
8 凸レンズ
9 アパーチャー
10 ミラー
11 対物レンズ
12、16 ハロゲンランプ
13 XYステージ
14、18 結像用レンズ
15、19 CCDカメラ
17 ビームスプリッター
20 第一部材
21,22 第二部材
23 接合部

Claims (7)

  1. 短時間パルス幅で所定位置に焦点を形成するレーザービームによる多光子吸収現象を生成させて2つの物質を接合する接合方法であって、
    前記2つの物質を直接積層させた状態で積層方向接近側に圧力を付与し、前記2つの物質の試料間でアブレーションが生じないようにその間隙が前記レーザービームの中心波長の4分の1程度以下となるようにして互いに当接させ、前記レーザービームの焦点を前記2つの物質の当接部近傍に位置決めして前記レーザービームを前記2つの物質の外部から照射することを特徴とする接合方法。
  2. 前記2つの物質は、該2つの物質を同時に外部から狭持することによって当接状態を保持することを特徴とする請求項1に記載の接合方法。
  3. 前記2つの物質は所定の支持部材に下方から支持させ、該2つの物質の上側の物質の自重によって2つの物質を互いに当接させることを特徴とする請求項1に記載の接合方法。
  4. 前記2つの物質の少なくとも一方は前記レーザービームを透過することを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の接合方法。
  5. 短時間パルス幅で所定位置に焦点を形成するレーザービームを照射するパルスレーザ照射手段と、
    互いに当接状態で直接積層された少なくとも2つの物質を、前記2つの物質間でアブレーションが生じないようにその間隙が前記レーザービームの中心波長の4分の1程度以下となるようにして支持し、且つ前記パルスレーザ照射手段に対して前記レーザービームの焦点が該2つの物質の当接部近傍に配設するように位置決めするための支持部材と、
    を備えることを特徴とする物質接合装置。
  6. 前記支持部材は、前記2つの物質をそれぞれ上方及び下方から担持する第一部材及び第二部材と、前記第一部材又は前記第二部材の少なくとも一方を上下方向に移動させる駆動手段を有することを特徴とする請求項5に記載の物質接合装置。
  7. 2つの物質が、前記2つの物質間でアブレーションが生じないようにその間隙が照射されるレーザービームの中心波長の4分の1程度以下となるように積層されて互いに接合された接合物質であって、
    前記2つの物質の接合界面が2つの物質のいずれか又は両者が変性して形成された接合界面変性領域を有し、
    前記接合界面変性領域の厚みが略数100μm以下であることを特徴とする接合物質。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10137527B2 (en) 2014-01-17 2018-11-27 Imra America, Inc. Laser-based modification of transparent materials

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9138913B2 (en) 2005-09-08 2015-09-22 Imra America, Inc. Transparent material processing with an ultrashort pulse laser
US7626138B2 (en) 2005-09-08 2009-12-01 Imra America, Inc. Transparent material processing with an ultrashort pulse laser
JP5522881B2 (ja) * 2006-09-06 2014-06-18 イムラ アメリカ インコーポレイテッド 材料を接合するための方法
EP2075082B1 (en) * 2006-09-22 2015-11-11 NEC SCHOTT Components Corporation Substance joining method
JP5747912B2 (ja) * 2010-03-16 2015-07-15 アイシン精機株式会社 レーザによる二つの物質の重ね合わせ接合方法及び接合装置
JP2013038727A (ja) * 2011-08-11 2013-02-21 Nec Schott Components Corp 気密パッケージおよびその製造方法。
JP2013059786A (ja) * 2011-09-13 2013-04-04 Aisin Seiki Co Ltd レーザ接合装置
JP5867781B2 (ja) * 2011-11-30 2016-02-24 アイシン精機株式会社 レーザ光の焦点ずれ検出方法及び装置
JP5919765B2 (ja) * 2011-11-30 2016-05-18 アイシン精機株式会社 レーザ光の焦点合わせ方法及び装置
AT513324B1 (de) 2012-08-28 2015-01-15 Mb Microtec Ag Verfahren zur Herstellung eines selbstleuchtenden Körpers und selbstleuchtender Körper
KR20150052151A (ko) 2012-08-28 2015-05-13 엠비-마이크로텍 아게 전자 장치에 대한 밀폐 하우징 제조 방법
JP5727433B2 (ja) * 2012-09-04 2015-06-03 イムラ アメリカ インコーポレイテッド 超短パルスレーザでの透明材料処理
DE102014203845A1 (de) 2014-03-03 2015-09-03 BLZ Bayerisches Laserzentrum Gemeinnützige Forschungsgesellschaft mbH Verfahren zum laserinduzierten Fügen eines glasartigen Fügepartners mit einem artfremden Fügepartner mithilfe ultrakurzer Laserpulse
JP2017130606A (ja) * 2016-01-22 2017-07-27 株式会社ディスコ 複合ウエーハの加工方法
CN106881872A (zh) * 2016-12-29 2017-06-23 平湖波科激光有限公司 多层塑料的多波长激光焊接方法及多波长激光装置
CN108609841B (zh) * 2018-04-10 2020-05-19 华中科技大学 一种适用于玻璃的焊接方法
JPWO2023276455A1 (ja) * 2021-06-28 2023-01-05

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10137527B2 (en) 2014-01-17 2018-11-27 Imra America, Inc. Laser-based modification of transparent materials

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