JPH09161683A

JPH09161683A - プラズマディスプレイパネル

Info

Publication number: JPH09161683A
Application number: JP7315647A
Authority: JP
Inventors: Norio Ota; 範雄太田; Yasushi Tantani; 恭史段谷
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 1995-12-04
Filing date: 1995-12-04
Publication date: 1997-06-20

Abstract

(57)【要約】【課題】余計な材料コストがかからずにしかも製造時
の歩留りのよいプラズマディスプレイパネルを提供す
る。【解決手段】前面板又は背面板となるガラス基板１１
に複数の平行な溝１１ａを切削加工し、隣接する溝１１
ａの間の部分を障壁１２とする。ガラス基板１１に設け
る溝１１ａはダイシングソー１０により切削する。ガラ
ス基板１１そのものもを障壁１２に利用するので、余計
な材料コストがかからない。切削加工するだけでよいの
で、製造時の歩留りがよい。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、自発光形式のフラ
ットディスプレイであるプラズマディスプレイパネル
（以下、ＰＤＰと記す）に関するものてある。

【０００２】

【従来の技術】一般にＰＤＰは、２枚の対向するガラス
基板にそれぞれ規則的に配列した一対の電極を設け、そ
の間にＮｅ、Ｈｅ等を主体とするガスを封入した構造に
なっている。そして、これらの電極間に電圧を印加し、
電極周辺の微小なセル内で放電を発生させることによ
り、各セルを発光させて表示を行うようにしている。情
報表示をするためには、規則的に並んだセルを選択的に
放電発光させる。このＰＤＰには、電極が放電空間に露
出している直流型（ＤＣ型）と絶縁層で覆われている交
流型（ＡＣ型）の２タイプがあり、双方とも表示機能や
駆動方法の違いによって、さらにリフレッシュ駆動方式
とメモリー駆動方式とに分類される。

【０００３】図１にＡＣ型ＰＤＰの一構成例を示してあ
る。この図は前面板と背面板を離した状態で示したもの
で、図示のように２枚のガラス基板１，２が互いに平行
に且つ対向して配設されており、両者は背面板となるガ
ラス基板２上に互いに平行に設けられた障壁３により一
定の間隔に保持されるようになっている。前面板となる
ガラス基板１の背面側には透明電極４と金属電極である
バス電極５とで構成される複合電極が互いに平行に形成
され、これを覆って誘電体層６が形成されており、さら
にその上に保護層７（ＭｇＯ層）が形成されている。ま
た、背面板となるガラス基板２の前面側には前記複合電
極と直交するように障壁３の間に位置してアドレス電極
８が互いに平行に形成されており、さらに障壁３の壁面
とセル底面を覆うようにして蛍光体９が設けられてい
る。このＡＣ型ＰＤＰは面放電型であって、前面板上の
複合電極間に交流電圧を印加し、空間に漏れた電界で放
電させる構造である。この場合、交流をかけているため
に電界の向きは交流周期に対応して変化する。そしてこ
の放電により生じる紫外線により蛍光体９を発光させ、
前面板を透過する光を観察者が視認するようになってい
る。

【０００４】上記のＰＤＰにおける障壁の形成方法とし
ては、ガラス基板上にガラスペーストをスクリーン印刷
によりパターン状に重ねて印刷を行い、乾燥後このペー
ストを焼成して所望の障壁を形成するスクリーン印刷法
が一般的であったが、この方法は工程が複雑であるとと
もに良好な線幅精度が得られ難いことから、最近ではい
わゆるサンドブラスト法が利用されるようになってきて
いる。このサンドブラスト法は、ガラス基板上にガラス
ペーストを所定の厚さで塗布して乾燥させ、その上に耐
サンドブラスト性を有するマスクをパターン状に形成し
てから、このサンドブラスト用マスクを介してサンドブ
ラスト加工を行ってガラスペーストの不要部分を除去
し、マスクを除去した後で焼成する工程を採っている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ようなサンドブラスト法により障壁を形成する場合、次
のような問題点がある。（１）塗工した障壁材料であるガラスペーストの略２／
３の量を除去することになるため、回収、再利用を考え
ても材料コストが高くなる。（２）マスク材料は通常ドライフィルム等の感光性材料
を用いるが、そのための露光、現像等と工程が複雑にな
り、また感光性材料も使い捨てであるため、作製コスト
が高くなる。（３）サンドブラスト法はミクロンオーダーの研磨材を
大量に使用するので、クリーンな物作りにはそぐわな
い。（４）ＡＣ型ＰＤＰの障壁には緻密さと機械的、物理的
な強度が求められているが、現段階ではサンドブラスト
法により必ずしも要求を満たす障壁が歩留り良くできて
いない。

【０００６】本発明はこれらの問題点の解決を図ろうと
するもので、その目的とするところは、余計な材料コス
トが掛からずにしかも製造時の歩留りのよいＰＤＰを提
供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明に係るＰＤＰは、前面板又は背面板となる
ガラス基板に複数の平行な溝を切削加工し、隣接する溝
の間の部分を障壁としたことを特徴とする。そして、ガ
ラス基板に設ける溝はダイシングソーにより切削するも
のである。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下、ＰＤＰの背面板の製造手順
を説明することにより本発明の実施形態について述べ
る。

【０００９】図２の工程図は障壁のみを形成する場合を
示している。

【００１０】この実施形態では、まず図２（ａ）に示す
ように、ダイシングソー１０によりソーダライムガラ
ス、石英ガラス、無アルカリガラス（コーニング７０５
９）等のガラス基板１１に複数の平行な溝１１ａを切削
し、隣接する溝１１ａの間の部分により障壁１２を形成
する。同図において１０ａは回転砥石（例えば、ダイヤ
モンド砥石）、１０ｂは回転砥石１０ａを所定の位置に
沿って移動させながら高速回転させるスピンドルを示
す。溝１１ａは１本ずつ切削してもよいが、スピンドル
１０ｂに複数の回転砥石１０ａを付けて複数の溝１１ａ
を同時に切削するようにしてもよい。また、図では省略
されているが、必要に応じて切削部に冷却液を注液させ
ながら切削したり、洗浄液により切削屑を洗い流しなが
ら切削したりしてもよい。

【００１１】このように溝１１ａを切削して障壁１２を
形成した後、図２（ｂ）に示すように、溝１１ａの底に
アドレス電極１３を形成する。この場合、障壁１２の側
面にはなるべく電極材料を付着させないようにする。こ
のアドレス電極１３は、図３に示すように、感光性の電
極材料１３’を溝１１ａの底に充填し、背面露光するこ
とにより溝１１ａの底に均一な厚さで形成することがで
きる。充填方法として、スクリーン印刷、ブレードコー
ト、ロールコート、ダイコート等のコーティング、或い
はディスペンサーによる直接充填などがある。背面露光
に際し、障壁１２が黒色等に着色されている場合には、
露光光が障壁１２の側面に付着した電極材料まで回り込
んで露光することがないためマスクは不要であるが、光
を透過するような障壁材料を用いる場合には、障壁１２
のパターンを配したマスクＭを介して露光することが好
ましい。この場合、図３（ａ）に示す如く、マスクＭの
開口幅ｂは障壁間の幅ａと一致させる必要はなく、図示
のようにａ＞ｂとして背面露光を行うことで、図３
（ｂ）の如く障壁１２の側面に電極材料が残存しにくく
なるというメリットがある。さらに、膜厚が均一になり
抵抗値も安定するというメリットもある。また、背面露
光ばかりでなく、表からの露光でも電極を形成すること
ができる。この場合においても、マスクの開口幅を障壁
間の幅よりも小さくすることで、障壁の側面に電極材料
を残すことなく電極１３を形成することができる。ま
た、膜厚を稼ぎたい場合には、背面露光と表からの露光
を組み合わせることも可能である。なお、ディスペンサ
ー等により障壁１２の側面に付着させないように充填で
きる場合には、感光性の電極材料を用いる必要はない。

【００１２】次いで、図２（ｃ）に示すように、上記電
極材料の場合と同様の方法で誘電体により誘電体層１４
を形成する。この誘電体層１４は障壁１２の側壁に付着
しても構わない。この誘電体層１４は場合によっては省
略することも可能である。

【００１３】図２（ｃ）のＡ−Ａ断面図を図４に示す。
同図に示すように、ダイシングソーにより切削する場
合、図４（ａ）のように切削端部がゆるやかな曲線状を
なすもの、図４（ｂ）のように切削端部が階段状のも
の、図４（ｃ）のように電極取り出し部を全て切削した
もの等ができる。図４（ｃ）の場合、電極取り出し部は
横方向にダイシングをかけて溝１１ａの底と同じレベル
にまで切削しておく。この放電空間内に上記のような方
法でアドレス電極１３、さらに必要により誘電体層１４
が形成される。

【００１４】電極取り出し部に設ける取り出し電極１３
ａについては、感光性の電極材料によってアドレス電極
１３を形成するのと同時に基板端部の電極取り出し部に
も感光性の電極材料層を形成し、取り出し電極１３ａの
パターンも含む電極パターンのマスクにて露光して現像
することにより、アドレス電極１３の形成と同時に形成
することができる。また取り出し電極１３ａは、スクリ
ーン印刷により導体ペーストをパターニングし焼成する
方法、導体ペーストを塗布して焼成した後、フォトレジ
ストを用いケミカルエッチングでパターニングする方法
等によっても形成することができる。

【００１５】このようにして電極１３と必要に応じて誘
電体層１４を形成した後、図２（ｄ）に示すように、障
壁１２の壁面及びセル底面に蛍光体層１５を設けて背面
板を完成する。

【００１６】図５の工程図は障壁及び電極用の溝を併せ
て形成する場合を示している。

【００１７】この実施形態では、図５（ａ）に示すよう
に、先端を２段に加工した回転砥石１０ａをスピンドル
１０ｂに取り付けたダイシングソー１０を使用してガラ
ス基板１１に複数の平行な溝１１ａを切削する。これに
より障壁１２が形成されるとともに、溝１１ａの底に電
極用の細い溝１１ｂが形成される。この場合において
も、スピンドル１０ｂに複数の回転砥石１０ａを付けて
複数の溝１１ａを同時に切削するようにしてもよい。

【００１８】このような段付きの溝１１ａを切削して障
壁１２を形成した後、図５（ｂ）に示すように、底の溝
１１ｂにアドレス電極１３を形成する。この場合も、障
壁１２の側面には電極材料を付着させないことが好まし
く、感光性の電極材料を用いて、スクリーン印刷、ブレ
ードコート、ロールコート、ダイコート等のコーティン
グ、或いはディスペンサーによる直接充填などにより充
填し、マスクを介して背面から露光することによりアド
レス電極１３を形成するとよい。また、ディスペンサー
等により障壁１２の側面に付着せずに充填できる場合に
は、感光性を有さない電極材料を用いても構わない。次
いで、必要に応じて図５（ｃ）に示すように誘電体層１
４を形成し、さらに図５（ｄ）に示すように障壁１２の
壁面及び底面に蛍光体層１５を設けて背面板を完成す
る。なお、取り出し電極の形成については前記の場合と
同様である。

【００１９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のＰＤＰ
は、ガラス基板に複数の平行な溝を切削加工し、隣接す
る溝の間の部分を障壁としたので、従来のサンドブラス
ト加工のようにミクロンオーダーの研磨材を大量に使用
する必要がなく、また感光性材料でマスクを形成する必
要もなく、製造工程も簡単であることから、余計な材料
コストが掛からずに製造コストが抑えられ、しかも歩留
り良く作製することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】ＡＣ型プラズマディスプレイパネルの一構成例
を前面板と背面板を離した状態で示す斜視図である。

【図２】本発明に係るプラズマディスプレイパネルの障
壁を形成する方法の一例を示す工程図である。

【図３】電極を形成する方法の一例の説明図である。

【図４】電極取り出し部の付近を示す断面図である。

【図５】本発明に係るプラズマディスプレイパネルの障
壁を形成する方法の他の例を示す工程図である。

【符号の説明】

１０ダイシングソー１１ガラス基板１１ａ，１１ｂ溝１２障壁１３アドレス電極１４誘電体層１５蛍光体層

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】前面板又は背面板となるガラス基板に複
数の平行な溝を切削加工し、隣接する溝の間の部分を障
壁としたことを特徴とするプラズマディスプレイパネ
ル。
【請求項２】前記溝がダイシングソーにより切削され
たものであることを特徴とするプラズマディスプレイパ
ネル。