A7 462923 B7___ 五、發明說明（1 ) 發明所屬的技術領域 本發明係有關使用於焊錫印刷、填孔用焊糊印刷、點 字印刷，以及各種絕緣用材料印刷等之網版印刷中的網版 印刷（screen printing)用版，以及其製造方法。 先前技術 近年來’隨著電子機器、電子零件等之小型化，其等 之内部所内裝的印刷基板也走上了小型化一途，而且被安 裝在此種印刷基板上之晶片零件也趨向狹小間距化。 以前’在安裝此等經狹小間距化的晶片零件時，主要 係使用藉電鑄法所製造之金屬光罩以實施焊錫印刷。 但是，藉由此種電鑄法所製造之金屬光罩，雖其開口 的寬度和開口部的精密度相當優越，惟因係以電鍍法堆積 金屬層，故而相當耗費成本與時間。 另一方面’此種金屬光罩的改良品係揭示於特開平' 81027號公報中，其中提出使用準分子雷射加工裝置於塑 膠片材上開孔’以使用作為焊錫印刷用版的方法。 然而’利用準分子雷射加工裝置之塑膠^{材的開孔如 工’由於必須要有和所形成之圖案形狀相似的金屬光罩， 因此一定要先製造出與圖案相似形狀的金屬光罩，而且， 由於其所使用之準分子雷射加工裝置價格昂貴，因而無法 以低價在短時間内製造印刷用版。 再者’於應用在基板上之酚樹脂等的熱硬化樹脂之開 孔中’已知係利用鑽孔機以切削者。 但是，使用此種鑽孔機進行切削的方法相當耗時，因 本紙張尺^:適用中國國家標準（CNS)A4規格（2]0 X 297公爱） n D it - H. -> I n I I · 1 n 1 I 一OJ· I^i —I- t at I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 462923 A7 B7 經 濟 部. 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 作 社 印 -¾ 五、發明說明（2 而無法在短時間内有效率地將孔開好β 另一方面’和金屬光罩之開孔相關之開孔用的穿孔機 亦為已知。 使用該穿孔機開孔的金屬光罩雖不適用於狹小間距的 QFP ’在一般的圈案中仍有一部分被使用。但是，由於其 加工速度慢，與複式穿孔機相較，在加工速度和形成精細 的圊案方面都有困難。 另方面，最近’在半導想晶圓等容易於表面受到損 傷的基材上印刷各種絕緣材料的嘗試已在進行中β在進行 此種印刷時，雖使用習知的金屬光罩，惟容易對半導體晶 圓造成損傷’因而需要有特殊的印刷技術β又，雖然也有 使用不易造成損傷的網眼網版以替代此種金屬光罩的情況 ’但是由於在網版開口部有網眼介於其間，因此在印刷中 會有氣泡捲入焊糊内》 發明所欲解決的課題 本發明係利用相關的電鑄以彌補藉由金屬光罩和準分 子雷射加工而得之塑膠光罩的缺點，並將價廉且於短時間 内製造版納為目的者《又，另一個目的係於半導體晶圓等 容易受到損傷的基材上印刷以各種絕緣材料時，提供一種 不會有使用習知之金屬光罩與網眼網版時所發生的障害之 印刷用版》 解決課題之手段 本發明人等有鑑於上述的問題點，經反覆銳意研究之 結果，基於若使用特定的裝置將特定的樹脂片材予以開孔 泰纸張K度適用令國國家標準（CNS)A4規格mu X 297公釐） I--L i ^^1 *^1 I -· I · n i ^^1 ] m 訂 i ---111¾ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印*·1^ 4 62923 A7 __________B7_ 五、發明說明（3 ) ’而廉價且於短時間内獲得網版印刷用版的知識，終於完 成本發明。 亦即，本發明之網版印刷用版的特徵在於將經數值控 制式打孔機穿孔之選自聚醯亞胺樹脂、聚醚化醯亞胺樹脂 、聚硫化苯撐樹脂之至少1種樹脂的片材張設於筛網模型 箱而形成。 又，本發明案之另一發明為網版印刷用版的製造方法 ，其特徵在於，將選自聚醯亞胺樹脂、聚醚化醯亞胺樹脂 、聚硫化苯樓樹脂之至少1種樹脂的片材張設於篩網模型 箱後，或以數值控制式打孔機將該樹脂片材予以穿孔。 再者’本發明案之又一發明的網版印刷用版之製造方 法的特徵在於’將選自聚酿亞胺樹脂、聚趟化醯亞胺樹脂 、聚硫化本樓樹脂之至少1種樹脂的片材之外緣部分爽緊 ’在將張力施與樹脂片材的狀態下，以數值控制式打孔機 將之穿孔後，再將該樹脂片材張設於篩網模型箱。 發明之實施態樣 [I]網版印刷用版 (1)構成材料 (a)樹脂片材 於本發明之網版印刷用版的製造中所使用之上述樹脂 片材係使用選自聚酿亞胺樹脂、聚_化酿亞胺樹脂、聚硫 化苯撐樹脂之至少1種樹脂所構成的片材。 在該等樹脂中，以使用聚醯亞胺樹脂、聚硫化笨撐樹 脂者為宜。 本纸張K度適时關家標qt (CNS)A1規格⑵Q χ 297公髮）------ n n n n If n I' ij t n I n^.p< 1 I t <請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 d 62923 A7 ___B7 五、發明說明（4 ) 該樹脂片材之厚度一般為3〇〜i，〇〇〇 a m ’以75〜350〆m 為佳。 該等樹脂片材的表面上蒸發附著以鋁、鎳、鈦等的金 屬，並可以使用濺鍍或電鍍等方法積層成為厚度數微米的 積層薄膜。 在上述樹脂片材上所穿設的孔之大小雖對應於被使用 之網版印刷用版的目的而有各種大小的變化，惟其直徑或 長度一般為0·01〜50mm ’而以0.05〜10mm為佳。 使用數值控制式打孔機，可以在該樹脂片材上快速且 正確地開設圓或橢圓模樣的圓形，三角形、正方形、長方 形、六角形等的角形等，或組合該等形狀而成之各種形狀 的孔。若在可以達成此目的之範圍，樹脂片材係將聚酯樹 脂，例如，聚對苯二甲酸乙二醇酯樹脂（PET)等之樹脂薄 膜予以積層而構成者亦可。此時，其等之合計厚度以在前 述範圍内為宜》 (b) 篩網模型箱 在本發明中所使用之篩網模型箱一般雖有木製，以鋁 質、不錄鋼、鋼鐵等的金屬製材料所製成者等，惟通常係 由強度'輕量和腐蝕等觀點而採用將鋁之押出材料加工製 造所成的正方形或長方形的模型箱。 (c) 網眼織物 上述樹脂片材亦有直接張設於上述篩網模型箱者，在 該場合中雖然不需要有網眼織物，惟上述樹脂片材以介入 由聚醋、不銹鋼、尼龍、聚乙烯，或其等之複合體所形成 本纸張κ/艾過用中固國家標進（CNS)A4蜆格（21〇χ297公釐） ----------------裝---I--ΐ — 訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁> 經濟部智慧財直局員工消費合作社印契 4 62923 Λ7 ______B7 五、發明說明（5 ) 的網眼織物，並張設於模型箱者為佳。 (2)構造 本發明之網版印刷用版係將藉數值控制式打孔機予以 穿孔之選自聚醯亞胺樹脂、聚醚化醯亞胺樹脂、聚硫化苯 撐樹脂的至少1種樹脂之片材直接張設於篩網模型箱，或 者介入由聚酯、不銹鋼、尼龍、聚乙烯，或者其等之複合 體所形成的網眼織物再張設者。樹脂片材介入網眼織物再 張設於篩網模型箱，樹脂片材的孔内沒有網眼織物介入的 情形下，印刷中之氣泡被捲入焊糊中的現象得以被防止。 [Π]網版印刷用版的製造方法 在製造本發明之網版印刷用版時，或是將前述樹脂片 材直接張設至篩網模型箱後，再藉由利用數值控制式打孔 機予以穿孔而製造；或者，可以將前述樹脂片材的外緣部 分夾緊，在將張力施與樹脂片材的狀態下，以數值控制式 打孔機將之穿孔後，再利用將該樹脂片材張設於篩網模型 箱而製造。 前述樹脂片材以介入由聚酯、不銹鋼、尼龍、聚乙稀 ’或者其等之複合體所形成的網眼織物，再張設於篩網模 型箱者為佳。 在將前述之介入有網眼織物的樹脂片材張設於筛網模 型箱的製造過程中，首先，施行將網眼織物張設至篩網模 型箱的網眼織物張設步驟，之後，再施行將樹脂片材貼合 至網眼織物的網眼織物貼合步驟，接著，進行將該介入有 網眼織物的樹脂片材張設至篩網模型箱的樹脂片材張設步 本紙張尺度適闬中國國家標準（CNS)A.l規格（210 X 297公坌） ---------ΪΙ —---I ----11 — I 訂·------ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 4,62 92 3 _______B7___ 五、發明說明（6 ) 驟’並更進一步地，施行以數值控制式打孔機於該樹脂片 材上穿孔之對樹脂月材的開孔步驟；或者，亦可以藉由將 前述樹脂片材的外緣部分夾緊，在施與樹脂片材以張力的 狀態下’利用數值控制式打孔機穿孔之樹脂片材的穿孔步 辞’並單獨地施行將網眼織物張設至筛網模型箱之網眼織 物張設步驟*其後，進行將樹脂片材貼合至網眼織物的網 眼織物貼合步驟，接著’施以將該介入有網眼織物的樹脂 片材張設至篩網模型箱的樹脂片材張設步驟而完成製造。 具體而言，在張設至篩網模型箱後才將樹脂片材穿孔 的方法係利用以下之（1)〜(4)的步驟而製造；而將樹脂片材 空孔後再將之張設於篩網模型箱的方法則可以藉由以下之 (i )〜（iv )的步驟而製造。 -張設至篩網模型箱後再將樹脂予以穿孔的方法： (1)網眼織物張設步驟 在將網眼織物張設至篩網模型箱的張設步驟中，無論 使用公知之任一種方法均可，一般而言，係使用氣動式繃 網繃紗機等之繃紗機器而進行。 使用張力計（東京製程服務（株）製造之STG—75B)測定 所施與網眼織物之張力（tension)時，一般為〇.5〜2 〇mm， 較佳為1.0〜1.5mm。 接著，為了使該網眼織物固著於篩網模型箱，通常， 係於二者之間塗布黏著劑；由於該黏著劑通常需要5~60 分鐘左右的時間以達到固化，故而使之到固化為止保持著 原有的狀態。 本紙狀度顧中關標iMCNS)A4祕（21〇 X视公g ------ I ----111 — 丨 I 1 I ---I I 1 I ------— I — I I (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 462923 A7 _____B7 五、發明說明（7 ) 使用作為黏著劑者，只要是可以使之固著的任何一種 均可，一般係使用橡膠系的黏著劑等。 (2) 網眼織物貼合步驟 在被張設至上述篩網模型箱的網眼織物上，將該網眼 織物之鄰接於篩網模型箱的外周緣部分殘留下一部分，並 於其中央部分的周邊上塗布黏著劑，於該網眼織物的中央 部分積層以選自聚釀亞胺樹脂、聚醚化醯亞胺樹脂、聚硫 化苯撐樹脂之至少1種樹脂的片材，並經壓合保持一定時 間使之黏著。 上述黏著劑’使用任何一種可以使之固著者均可，一 般係使用環氡系的黏著劑等。 在塗布黏著劑並使之固著時，至該黏著劑固化為止常 常必須將之保持於原狀5分鐘〜24小時左右。 (3) 樹脂片材張設步驟 將被積層以該樹脂片材之網眼織物的塗布有上述黏著 劑的部分之内側部分（中央部分）予以切除，再將該介入有 網眼織物的樹腊片材張設於篩網模型箱上β 又’將該樹脂片材在未介入有網眼織物的情形下直接 張設於篩網模型箱的情形時，係使用樹脂片材以代替上述 (1)網眼織物張設步驟之網眼織物，並將之繃張於筛網模 型箱。 該繃張作業通常係以氣動式繃網繃紗機等之繃紗機器 而進行。 使用張力計（東京製程服務（株）製造之STG — 75Β)測定 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)AJ規格（210 X 297公坌） ----r----------------訂-----I-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ^ 462923 A7 ____________B7___ 五、發明說明（8 ) 所施與樹脂片材之張力（tension)時，一般為0.3〜3.0mm， 較佳為 0.8-~1.2mm。 接著，為了使該樹脂片材固著於篩網模型箱上，通常 ’係於二者之間塗布黏著劑；由於該黏著劑通常需要5分 鐘〜24小時左右的時間以達到固化，至固化為止係使之保 持原有狀態。 使用作為黏著劑者，只要是可以使之固著的任何一種 均可，一般係使用橡膠系或者1JV硬化型的黏著劑等， (4)樹脂片材之開孔步驟 對被張設至篩網模型箱之樹脂片材的穿孔，以數值控 制式打孔機進行是重要的。 上述數值控制式打孔機一般可以使用市售的陶瓷綠片 (ceramic green sheet)複式打孔機、撓性印刷配線板用複式 打孔機等’在該等數值控制式的打孔機中以使用市售的陶 瓷綠片複式打孔機為合適。該等數值控制式打孔機的穿孔 能力為10〜20個/秒。該能力與所欲開設之孔的大小 '形 狀無關》 對該樹脂片材之穿孔係將張設著樹脂片材之篩網模型 箱以附屬於機械上之夾具予以失持，再安裝於加工台上， 或者，將之安裝於預定的機具上，再將該機具安裝於加工 台即可以進行開孔作業。 避_榭脂片材穿孔後再將之張設於銻網掇刑箱的方法； (i )樹脂的穿孔步驟 對該樹脂片材之開孔一般係使用上述之陶瓷綠片複式 本纸張义度適用中國國家標準（CNSM4規格（210 X 297公餐） - - - - ---------I 1 I I--I ^ « I I i I I I 1 i (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 11 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 462923 A7 _ _B7____ 五、發明說明（9 ) 打孔機’並可以和綠片上之穿孔以同樣的方法進行。 亦即’將樹脂月材以附屬於機械之夾具予以夾持並安 裝於加工台上’或者’在預先張設於鋁製模型箱的狀態下 ’將之安裝於預定的機具上，再將該機具安裝於加工台即 可以進行穿孔。 藉由以附屬於機械之夾具將前述樹脂月材的外緣部分 夹持住而固定樹脂片材’並在施與該樹脂片材以張力的狀 態下’利用數值控制式打孔機在樹脂片材上開孔者為宜。 此時所施與樹脂片材之張力一般在〇.3〜3.0mm，較佳 為1.5〜2.5mm (東京製程服務（株）製造之STG-75B進行者 為宜。 上述數值控制式打孔機一般可以使用市售的陶瓷綠月 複式打孔機、撓性印刷配線板用複式打孔機等，在該等數 值控制式的打孔機中以使用市售的陶瓷綠片複式打孔機為 合適。 又’該樹脂若形成長尺的捲尺狀時，一般係使用撓性 印刷配線板用複式打孔機以滾筒至滾筒的形態，例如，可 以使用UTH公司製滾筒至滾筒RFP — 24進行開孔。 (ii )網眼織物張設步驟 將網眼織物繃張於筛網模型箱之張設步驟係與前述「 (1)網眼織物張設步驟」同樣地進行。再者，（U)網眼織物 張設步驟係與上述之（i )樹脂片材之穿孔步驟分別獨立地 進行，亦即’步驟（i )及（ϋ )同時進行亦可，其中之任一 者先進行亦可》 本紙張尺度刺中關表標毕（CNS)A4規格⑵卩x 297公餐） 12 I I I 1 I 1 I I I I I I 1 ·1111111 » — — 11111— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 4 62 92 3 ___B7___ 五、發明說明（10 ) (iii)網眼織物貼合步驟 將經以上述數值控制式打孔機穿孔之樹脂片材（來自 步驟（i ))，貼合於上述之張設至篩網模型箱的網眼織物（ 來自步驟（ii ))的步驟，除所使用之樹脂片材係來自步騍（ i )之經穿孔的樹脂片材以外，其餘和前述「（2)網眼織物 貼合步驟」同樣地進行。 (iv )樹脂張設步驟 將被積層以該樹脂片材之網眼織物的塗布有黏著劑的 部分之内側部分（中央部分）予以切除，再將該介入有網眼 織物的樹脂片材張設於篩網模型箱上。 又，將該樹脂片材在未介入有網眼織物的情形下直接 張設於篩網模型箱的情形時，係使用來自步驟（丨）的樹脂 片材以代替來自步驟（ϋ)網眼織物張設步驟之網眼織物， 並將之繃張於篩網模型箱。 該繃張作業通常係以氣動式繃網繃紗機等之繃紗機器 而進行β 關於施與樹脂片材的張力（tension)、固著方法，以及 黏著劑係和前述「（3)樹脂片材張設步驟」中之將該樹脂 片材在未介入有網眼織物的情形下直接張設於篩網模型箱 的情形相同。 本發明之網版印刷用版和藉電鑄法之金屬光罩，與藉 準分子雷射加工之塑膠光罩相比較，由於可以比較容易地 進行開孔作業，因此可以廉償地，而且在短時間内製造網 版印刷用版。又，若使用本發明之網版印刷用版，可以容 I---------- I I I I 1 I -----— I —訂 -----I--I (請先閱讀背面之;i意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製
13 4 62923 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 A7 B7 五、發明說明（11 ) 易地將各種材料印刷以充分的厚度，而且被印刷的材料不 會發生擦痕、滲漏^ 再者，本發明中，先張設至篩網模型箱後再於樹脂片 材穿孔的情形，或者將樹脂片材穿孔後再張設至篩網模型 箱的情形中之任一者，當介入有網眼織物的樹脂片材被張 設於篩網模型箱時，雖然不一定要經過將被積層以該樹脂 片材之網眼織物的塗布有黏著劑的部分之内側部分（中央 部分）予以切除，再將該介入有網眼織物的樹脂片材張設 於篩網模型箱上的步驟，但是藉由通過該步驟，會使得孔 内變成沒有網眼織物介在其間，因而獲得不會發生氣泡捲 入被印刷的材料内之狀況，而有更優良的效果。 以下係根據實所示之實施例以及比較例以更具體地說 明本發明。 實施例1 將尺寸為長15cm，寬15cm的聚硫化苯撐樹脂（東聯（ 株）製特雷麗那卜b U十）以黏著劑而貼付於在長3 5cm，寬 35cm之鋁製篩網模型箱上張設有225篩孔之聚酯網版（曰 本特殊織物（株）製T225)的網版之中央部分上，將貼付在 薄膜部分之篩孔部分的内側部分（中央部分）（14cm X 14cm) 切除，獲得張力l.l〇mm(東京製程服務（株）製造之STG-75B)的網版印刷用版（組合（cornbination)法）。 將該貼付有聚硫化笨撐樹脂薄膜的篩網模型箱安裝於 數值控制式打孔機（UHT(株）製陶瓷綠片複式打孔機MP — 7150)，採用穿孔直徑〇.2mm的穿孔單位，在下述的條件 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公f ) 14 —------------裝-------訂---------像 (請先閱璜背面之注意事項再填寫本頁) 4 6292 3
經濟部智慧財產局員工消費合作社印 五、發明說明（12 ) 下將被張設於篩網模型箱的薄臈施以開孔加工。 開孔條件 開孔速度 ：ίο孔/秒 傳送速度 ：30cm /秒 針-模圓周差（pin-die clearance) : O.Olmm 圖案 ：0.4mm間距QFP囷案 開孔加工後之孔的形狀連毛邊等都沒有，使用作為網 版印刷用版的結果，就以下所示之性能而言，可以充分地 滿足用作為網版印刷用版的性能。 印刷條件： 印刷機 ：CW普萊斯（y今彳又）公司製MC212 焊糊 ：千住金屬工業（株）製焊錫焊糊 OZ63- 221CM5- 42- 10 印刷基板：紙酚製單面基板 印刷結果：被印刷之焊錫焊糊的形狀沒有擦痕、滲漏 、氣泡等，而且也不會對基材造成損傷，可以連續印刷。 實施例2 將長度15cm、寬度15cm、厚度240仁m的聚硫化苯撐 樹脂薄膜與PET之複合體樹脂片材（東聯（株）製TLT一 24〇) 安裝於實施例1中所記載之數值控制式打孔機（UHT(株）製 陶瓷綠片複式打孔機MP — 7150)，採用穿孔直徑0.5mm的 穿孔單位，在下述的條件下將薄膜施以開孔加工。 開孔條件 張力 ：2·0ΜΜ(東京製程服務（株） 本紙張尺度I用中國國家標準（CNS)A4規格（21ϋ X 297公釐) "15 - -------------------------訂---------泉 f請先閱讀背面之沒意事項再填寫本頁} A7 開孔速度 傳送速度 針-模圓周差 圈案 462923 B7_____ 五、發明說明（13 ) 製造之STG—75B) 10孔/秒 30cm / 秒 0.01mm 2mm X 20mm阻劑圖案 (resist pattern)的集合體 接著，將該複合體樹脂片材依實施例1中所記載的步 驟同樣地進行，於將225篩孔之聚酯網版（日本特殊織物（ 株）製T225)端張在框外徑為350mm X 350mm之铭製篩網模 型箱上所形成的網版之中央部分上，以黏著劑貼付大小為 長度15cm ’寬15cm之前述複合體樹脂片材，切除貼合在 片材的部分上之篩孔部分的内側部分（中央部分）（14cm X Mem)，而獲得張力l,〇〇mm((東京製程服務（株）製造之STG ~75B)的網版印刷用版》 開孔加工後之孔的形狀連毛邊等都沒有，使用作為網 版印刷用版的結果，就以下所示之性能而言，可以充分地 滿足用作為網版印刷用版的性能。 印刷條件：
印刷機：CW普萊斯。亏彳只）公司製1^1(：212 油墨 ‘熱硬化性阻劑油墨（resist ink) CCR ((株）朝曰化學研究所製） 印刷基板：6英对夕晶圓 印刷結果：被印刷之阻劑油墨（resist ink)的形狀充分 地滿足所期望之油墨厚度，而且，切晶圓 表面形 本紙張尺度適用中园固家標準(CNS)A4規格（210 X 297公ϋ --I ^---J----------I I II — 訂·！11 丨丨 (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 16 4 62923 A7 B7 五、發明說明（Η ) 成既未受到損傷，而且沒有擦痕、滲漏和氣泡之良好的阻 劑被覆膜。 比較例1 除使用聚對笨二甲酸乙二醇酯樹脂薄膜以取代實施例 1中所使用之聚硫化笨撐薄膜以外，與實施例1同樣地實施 〇 其結果’開孔加工後之孔的形狀在片材表面上可以見 到如樹脂的溶解成分般之毛邊，無法被使用作為網版印刷 用版β (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ί ^-° Τ 經濟部智珐財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國囤家標单（CNS)Al規格（21U X 297公堃） 17