TW461127B - Piezoelectric ceramic and method for producing piezoelectric ceramic element - Google Patents

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Description

461127 A7 B7 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 作 社 印 製 五、發明說明（ 發明範圍 本發明有關一種壓電陶瓷與壓電陶瓷元件之製造方法， 更特別的是，有關單石壓電陶瓷元件之製造方法。 背景技藝 包含Pb、Zr、Ti、Cr、Nb與0之習用壓電陶瓷材 料實例包括一種由Pb(CrNb)03-PbZr03-PbZr03所示之三元陶 瓷材料與一種包括該三元陶瓷材料與少量各種添加劑之材 料。如曰本專利公告（kokoku)第51-2^3.58號與曰本專利申 請案Laid-Open (kokai)第8-34667號所揭示，此種壓電材料 具有優良壓電特性與處理性，而且可以大規模生產。因 此’此等材料廣泛用於製造壓電元件，諸如主動器、爐波 器、轉換器或感測器。 ^ 近年來，已發展各種使用單石壓電元件之各種壓電裝 置，其中層壓壓電陶瓷與内部電極之輪換層。此種單石壓 電元件雖小而且可藉由施加小型電場產生大位移，但是内 部電極層與壓電陶瓷層之未淬火板必須共同燒結以製造該 壓電元件。因此，因爲該燒結溫度爲12〇〇。〇或以上，可 與此種壓電材料共燒結之内部電極材料侷限在諸如pt等 昴貴材料。爲了降低該燒結溫度，已添加過量pb〇或諸如 Si〇2等玻璃組份作爲燒結助劑。 不過’此種製造壓電陶瓷元件之習用方法有其缺點。 簡而言之’當該用以燒結壓電材料之燒製溫度爲12〇〇 τ或以上時，存在壓電材料中之Pb蒸發作用會急速提 高。此情況下，無法得到安定之壓電特性。 ----,---·--------裝--------訂---------線 „ - _ .> 、. (請先閱讀背面之注意事項再本頁)
461127 五、發明說明（ 此外，添加諸如Si〇2等玻璃组份作爲燒結助劑以便在 或乂下共燒結_種壓電材料與内部電極時，該燒結 姐度可降低約500 C ’但是該燒結產物之壓電特性變差。 特別是，該製得產物無法用於必須具有大壓電特性參數値 之壓電裝置，諸如主動器。 發明總結 已完成本發明以解決上述問題，而且本發明目的係提出 一種壓電陶瓷元件之製造古 甘士. 、“ 干<1达万法，其中避免包含於壓電材料 中t Pb蒸發，而且可以使用廉價金屬作爲電極材料 電特性實質上不會惡化。^ 本發明另—目的係提出-種適於製造單石壓電陶资元体 之類似方法。 本發明另-目的係提出—種具有優良壓電特性之 瓷。 因此，本發明第一方面係提出一種壓電陶纪元件之製 方法’其包括下列步驟： (1) 混合成份以形成包含至少Pb、Zr、Ti、G與Nbt 氧化物之混合物； λ t (2) 烺燒該混合物製得一種經烺燒產物； (3) 壓碎孩經烺燒產物並添加一種Cu组份，其數量於 原成CuO時爲〇_〇5-3·〇重量％，形..成、含Cu組份混合物； (4) 於該含CU組份混合物添加一—種黏合劑形成含黏合 混合物； ° (5) 模製蔹含黏合劑混合物製得一種經模製產物； 項 舌丁 陶 造 還 劑 線 本紙張巧巾晒家鮮（CNS)A4規格⑵〇 1127 1127 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 作 社 印 製 A7 B7 (6) 於1100 °C或以下燃燒該模製產物製得一種燒結產 物；及 (7) 在該燒結產物表面形成電極，該燒結產物包含—種 由下式表示之主要组份：
Pba[(CrxNb(i.x))yZr(i.b.y)Tib]〇3 其中，0.95 S a S 1.05 ; 0.40 S b s Ο.55 ； 〇.1〇 s χ s 0.70 ;及〇·〇2含y运〇. 12，及一種Cu组份作爲次要組份， 其數量於還原成CuO時爲0.05-3.0重量％。 經由上述方法製造壓電陶瓷元件時，該燒結溫度可以降 低。因此，可以抑制燒製期間壓電材料中所含之pb蒸 發’因而提供安定壓電特性。此外，可製得具有大壓電特 性參數値（諸如高壓電d常數與高電機械偶合係數）之壓電 陶瓷元件。 本發明第二方面，提出一種壓電^陶麦元件之製造方法， 包括下列步驟： ⑴混合成份形成包含至少Pb、Zr、Ti、Cr與Nb之 氧化物的混合物； (2) 烺燒該混合物製得一種經烺燒產物； (3) 壓碎該經煅燒產物並添加一種cu组份，其數量於還 原成CuO時爲0.05-3.0重量％，形成j Cu組份混合物； (4) 於該含C u组份混合物添加一種黏合劑形成含黏合劑 混合物； (5) 模製該含黏合劑混合物製得一種經模製產物； (6) 輪換層壓未淬火陶瓷與内部電極層，製得一種層狀 --------.------裝----- 訂·--- ·線 _ - ； - · 、 (請先閱讀背面之注意事項^^本頁)
4 6 112 7 A7
Ί ·—， -.1:--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項#.-^·寫本頁) 461127 第88104067號專利 中文說明書修正頁(丨 五、發明説明（
υ·ΐυ$χ$〇.7〇 ;及 其中，0.95Sa^ ΐ·〇5 ; 〇.40^b: - —= W · # Vf 1 〇.〇2Sy$〇.12，及一種Cu組份作為次要組份其數量於還 原成CuO時為0.05-3.0重量％。 該壓電陶瓷之介電常數為1546或以上為佳。 孩壓電陶瓷包含一種選自^、^、以與“至少一種元 素之氧化物，其添加量為3·〇莫耳％或以下，此係以主要 組份中所含之Pb數量為基準。 結合此種添加劑可以加強該壓電材料之壓電特性，而且 該材料之燒結溫度可以降低至〗1〇(rc或以下。 圖式簡述 =考較佳具體實例之下列詳述與附圖更暸解本發明時， 極容易本發明各種其他目白勺、特徵與諸多附帶優點，其 中： 、 圖1係由本發明實施例i製程製得之單層壓 示意透視圖； j瓮TL件 圖2係顯示本發明#施例2樣本介於燒製 發量間之關係圖；及 丹” 4 圖3自本發明實施例4製程製得之單石壓電 意透視圖。 纪兀件示 圖式符號說明 1 單石壓電陶瓷元件 2 ·，1 2 . 燒結產物 3 * 電極 1 ° - 單層壓電陶瓷元件 I I Ί ' ! I i ! I I 訂 .------- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製
4 6 1Ί第διΐ〇67號專利申.............'了 巾文說明錄正頁(9Qg^%ll5i_ 五、發明説明（5a) .............—— 1 3 . 外部電極 14. 内部電極 較佳具體實例敘述 接下來將以實施例方式詳述本發明，其不對本發明構成 限制。 實施例1 現在將描述根據本發明第一具體實例之單層壓電陶瓷元 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 a 8 本紙張尺度適用中國國家標準（CMS ) A4規格（210X297公釐） 4 6 1 Ί 2 7 Α7 件製造方法。圖i係本發明實施例單層愿電陶究元件之透 视圖β $首先，分別稱重適當數量之Pb3〇4、Zr〇2、Ti〇2、 、抑2〇5，並濕式掺合4至3 2小時，製得具有以 PbACi^bwAZi^wTidO3 (下文稱爲式（1))表示组合物之 /昆《物。脱水並乾燥所形成混合物，並於8〇〇。〇至1〇〇〇 t Ζ燒2小時製得一種緊實物。壓碎所形成緊實物，並於該 經壓碎緊實物中添加Cu0粉末及pVA爲底質黏合劑（2至$ 重量/〇)。濕式摻合並濕式壓碎8至32小時，製得一種平 均粒子直徑爲0.5至0.9微米之含黏合劑混合物。粒化所 形成之含黏合劑混合物並於〗至丨5 t/平方厘米壓力下壓 模模製，因此製得兩種經模製產物。所形成經模製產物之 —係直徑12毫米且厚度ι·2毫微米之圓盤狀經模製產物 另—種係長度爲30毫米寬度爲5毫米而且厚度爲12毫米 之長方形經模製產物。然後，於n〇〇 »C或以下燒結此等 經模製產物1至3小時，製得燒結產物。另外，如圖1所 示，所形成燒結產物2兩個表面塗覆一種Ag電極糊劑 其於800 C燃燒0.5小時形成電極3。在80至120。〇絕緣 油中施加2.0至4.0仟伏/毫米整直流電電場15至6〇分鐘 對該產物進行極化處理，製得壓電陶瓷元件1。 如上述製造具有各種莫耳比之元素主要組份的壓電陶资 元件。測量該電特性、居里點與彆曲強度。測量相對介電 常數sr、電機械偶合係數kp與壓電d常數d3i作爲該電性 質。利用一種使用阻抗分析器之共振-反共振方法評估該 -9· ^紙張尺度中關家標準（CNS)A4規格（210 X 297公髮) ---- -------裝-------- 訂.------I!線 ί------------ c請先閱讀背面之注意事項再 V寫本頁) f 461127 Λ7 B7 五、發明說明（ 电偶合係數與壓電d常數，藉，、a, 田剛量位移進一步評估壓電 d申數。測得之居里點係相當 万、相對介電常數εΓ最大値時 之溫度。使用3點彎曲試驗許估彎曲強度。使用長方形元 件評估壓電d常數與彎曲強度，使用圓盤狀元件評估其餘 特性。結果示於表1。有*標記之樣本在本發明範圍外。 {請先閱讀背面之注意事項^k本頁) -裝 --線. 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 6 2 A7B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（8 ) 表1 樣本 編號 Pb,[(Cr,Nbi-x))rZr(i-b-7»Ti]〇5 添加之 數量 (重量％) 燃燒 溫皮 ，（。〇 ，電半 Η生， 彎曲強度 (Mpa) a b X y 相對介 .電常數 .(CT) 電機械1 偶合係, 數(％) 壓電 cT常數 居里點 (°C) •^1 0.92 0.44 0.33 0.06 1.75 1100 1134 56.3 -175 300 86 2 0.95 0.44 0.33 0.06 1.75 1100 1285 60.8 -210 310 93 3 0.98 0.44 0..33 0.06 1.75 1050 1403 63.5 -240 310 91 4 1.00 0.44 0.33 0.06 1.75 Γ1050 1419 65.2 -250 310 88 5 1.02 0.44 0.33 0.06 1.75 1050 •1487 64.2 -245 300 80 6 1.05 0.44 0.33 0.06 1.75 1050 1504 63.5 -240 310 72 初 1.08 0.44 0.33 0.06 1.75 1050 1490 62.6 -225 300 60 1.00 0.36 0.33 0.06 1.75 1050 610 55.7 -190 210 84 9 1.00 0.40 0.33 0.06 1.75 1050 1070 62.4 .-225 280 37 10 1.00 0.48 0.33 0.06 1.75 1050 1780 662 -255 310 90 11 1.00 0.52 0.33 0.06 U5 1050 1311 63.0 -220 320 93 12 1.00 0.55 0.33 0.06 1.75 1050 1034 60.3 -205 330 92 X13 1.00 0.58 0.33 0.06 1.75 1050 581 49.0 -160 350 85 14 Ί.ΟΟ 0.48 0.10 0.06 1.50 1100 1956 65.9 -255 290 84 15 1.00 0.48 0.33 0.06 1.50 1IC0 1897 65.5 -250 310 96 16 1.00 0.48 0.50 0.06 1.50 1100 1425 63.4 -230 320 82 17 1.00 0.48 0.70 0.06 1.50 Π00 1266 61.9 -215 320 77 X18 1.00 0.48 0.05 0.06 1.50 H00 2621 66.0 -260 290 88 ※汨 1.00 0.48 0.90 0.06 1.50 1100 987 58.5 -185 330 65 X20 1.00 QM 0.00 0.00 2.00 1050 553 43.8 -135 320 58 21 1.00 0.44 0.33 0.02 2.00 1050 1096 60.0 · -200 320 71 22 1.00 0.44 0.33 0.04 2.00 1050 1354 63.5 -230 310 83 23 1.00 0.44 0.33 0.06 2.00 1050 1380 64.1 -240 300 85 24 1.00 0.44 0.33 0.09 2.00 1050 1505 63.5 -230 2S0 SO 25 1.00 0.44 0.33 0.12 2.00 1050 1676 62.0 -215 270 82 · 1.00 0.44 0.33 0.15 2.00 1050 1712 59.0 -190 250 73 肋 1.00 0.44 0.33 0.06 0.00 1100 1620 58.8 -205 320 59 28 1.00 0.44 0.33 0.06 0.05 1100 1704 61.9 -220 320 72 29 1.00 0.44 0.33 0.06 1.00 1100 1546 62.5 -230 310 75 30 1.05 0.44 0.33 0.06 3.00 1000 1221 60.9 -220 310 78 細 1.05 0.44 0.33 0.06 5.00 1000 322 51.7 -155 300 70 -11· —-—.—------.— (請先閱讀背面之注意事項^4c本頁) --線. 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 461127
五、發明說明（9 經 濟 部 智 慧 財 產 局 消 費. 合 作 社 印 製 i表1所示，在本發明範園内之樣本適於作爲壓電装 置，諸如主動器。此説明中，"適於作爲壓電裝置"係指施 加微弱電場與迅速回應會產生大位移反應；換言之，壓電 特性參數値較大而相對介電常數小；更明確地説，其電 機械偶合係數⑽60%或以上，壓電d常數d3^pcmz 以上，而相對介電常數εΓ爲2000或以下。另外，爲使用 一種陶瓷作爲壓電元件，其居里點必須爲270。(：或以上以 承受逆流-熱焊接，其彎曲強度爲7〇 MPa w t r 、 、弓叫5¾度烏/υ Mra以承受使用期 之大機械應力。 接下來參考實施例丨各種樣本描述該壓電陶竞中主要組 份含量被限制之原因。 . 式(I)中，因爲下列原因將” a"限制在〇 • 為 a s 1.05 。如 樣本i號，當"a"小於0.95時’該電機械偶合係數蚱不利 地變成小於60%，壓電d常數之絕對値丨^丨不利變成小 於200 PC/N。如樣本7號，當"a"超過1 〇 、1 . 0 5時，彎曲強度 不利地變成小於70 MPa。 此外，式⑴中因爲下列原因將"b"限制在〇.4〇客b g 5_5 。如樣本8號，當"b”小於〇.4〇時， 人β Α τ 電機械偶合係數 kp不利地變成小於60%，壓電d常數之结极从，，, 、硬•對値丨d3i丨不 利變成小於200 PC/N。如樣本Π號，當，，b"超過〇55時， 電機械偶合係數k p不利地變成小於60%，壓_電d常數之 絕對値| d31 |不利變成小於200 pC/N ^ 式（I)中，因爲下列原因將"X"限制在〇.1〇sbs〇7〇。如 樣本18號，當"X"小於〇·1〇時，相對介電常數訂不利地超 ; . -----—-裝--------訂----------線 . ~ . -(請先閱讀背面之注意事項^本頁) _ 12· 27 五、 A7 B7 發明說明（10 ) 過2000。如樣本號，當"X"超過0.70時，該電機械偶合 係數kp不利地變得小於60% ;壓電d常數之絕對値| d31丨 不利變成小於200 pC/N ;彎曲強度不利地變得小於70 MPa。
此外式（I)中，因爲下列原因將"y，，限制在〇.〇2 S b S 〇·12。如樣本编號2〇，當"y"小於0.02時，該電機械偶合 係數kp不利地變得小於60%，而彎曲強度不利地變得小 於70 MPa。如樣本編號26，當"y"超過0.12時’該電機 械偶合係數kp不利地變得小於60%，壓電d常數之絕對値 I ^ |不利變成小於2〇〇 pc/N ;居里點不利地低於270 °C 〇 此外，因爲下列因素，將添加作爲次要組份之CuO數量 限制在相當於主要組份數量之0.05至3·0重量％。如樣本 27號’當CuO數量小於〇.〇5重量％時，該電機械偶合係 數kp不利地變得小於6 〇 %，而彎曲強度不利地變得小於 70 MPa。如樣本31號，當CuO數量超過3.0重量％時，該 電機械偶合係數k p不利地變得小於60%，壓電d常數之 絕對値I h |不利變成小於2〇〇 pC/N。 實施例？. 在各種不同燒製溫度下製備具有與實施例1樣本2號相 同組成疋樣本，並測量pb蒸發數量、電特性與居里點。 使用X射線勞光定量分析測量pb蒸發數量，使用與實施 例1相同方法測量其他特性。結果示於圖2。 由圖2明顯看出，當燒結溫度超過丨1〇〇。匸時，主要組份 本紙張尺度準 ----------------裝--------訂---------線 1 - · * (請先閱讀背面之注意事項貧本頁) 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 作 社 印 製 13 x 297 ) 461127 A7 B7 五 、發明說明.（11 中之Pb蒸發數量迅速增加。主要组份中pb含量低之壓電 匈瓷元件電機械偶合係數kp過低，而且壓電d常數絕對 値丨丨過低。因此，燒結溫度限制在η〇〇β(：或以下。 iiU列 3 於摻合實施例1所述之樣本2號主要组份期間添加至少 種疋選自SrC03、BaC03、CaC〇3與LaC03之化合物，製 備包含至少一種選自上述化合物（其與主要組份中之pb含 量成各種莫耳比）之樣本。然後，測量該樣本之電特性與 彎曲強度。結果示於表2 。有*記號之樣本在本發明範園 外° 表2 ---；----—II----裝-------II 訂· (請先閱讀背面之注音？事項^本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製
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富明 格 規 -4 職 (C 準 標 {» 國 -國 中 用 適 度 尺 張 紙 本 公 97 2 X ο Λ61127 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用規格⑽χ 297 j5楚 Α7 五、發明說明（12 ) 如表2所述，含上述四種添加劑任何-者之樣本符合需 求地超過上述壓電d當怒 > 組机# , 吊数夂絕對値丨d31丨、電機械偶合 係數、居里點與彎曲強麿爻捽准 甘 度疋標羊。基於下列原因，上述添 加限制在3.〇重量％或以下。如樣本43、46、的m 54號’當該數量超過3.0重量％時，相對介電常數訂小： 2000 ’然而’供法達到其他電特性與彎曲強度或是幾乎無 法達到所需値^ 實施例4 現在將描述製造本發明具體實例單石壓電陶资元件之方 法。圖3係該具體實例單石壓電陶資元件之剖面圖。 首先，稱重適當數量之各種原材料pb3〇4、”
Tl〇2、&2〇3與Nb2〇5，製得表1之樣本4、10與15號組 合物，並濕式摻合4至32小時製得-種混合物。所形成 心混合物脱水 '乾燥並於8〇(rc至1〇〇〇。。煅燒2小時形成 緊實物。壓碎所形成之緊實物，並於其中添加⑽粉末與 PVA爲底質黏合劑(2至5重量％)。濕式摻合與濕式壓碎 孩材料8至32小時，製得一種平均粒子大小爲0.5至〇 9 微米之含黏合劑混合物。粒化所形成之含黏合劑混合物， 並使用刮刀製得厚度爲60至100微米之未淬火陶瓷板。然 後以含Ag與Pd比率爲7:3之内部電極糊劑塗覆各個形 成（未泮火陶瓷板，在該未淬火板上形成内部電極。將數 個形成之支撑内部電極層彼此交疊，使該内部電極交替伸 至對面，因此製得一種層狀產物。然後，在11〇{rc或以下 燒結該層狀產物1至3小時，製得一種包括壓電陶瓷層與 15- -I i J--—-!^! — 訂·--I I----線 - ; -f請先閱讀背面之注意事項再^"本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 461127 A7 -------------- 五、發明說明（13 ) 内部電極層之燒結層狀產物。 此外’如圖3所示，該形成燒結產物12幾乎整個上表 面與下表面塗覆有外部電極糊劑，然後於8〇〇燃燒0.5 小時’因而製得第一外部金屬化部分13a。此外，於内部 電極伸及之侧表面塗覆一種導電性糊劑’將之乾燥形成一 種帶狀第二外部金屬化部分13b。對於該形成具有外部金 屬化部分13之層狀燒結產物進行極化作用，其係於絕緣 油（80 Ό至120。〇中施加2.0至4.〇仟伏/毫米直流電電場 15至60eC進行，製得層狀壓電陶瓷元件1〇。 氺*氺 如上述，使甩本發明壓電陶瓷元件可以製得可以抑制燒 結期間存在主要组份中Pb蒸發作用之壓電陶瓷元件。此 情況中可以使用諸如Ag與Pd等廉價材料作爲内部電極製 得單石型壓電陶资元件。此外，所形成之壓電陶资元件具 有優良壓電特性。 " \ ---.----I------裝--------訂---------線---------；-------l·----------- - (請先閱讀背面之注意事項再 V 寫本頁) ;

Claims (1)

  1. 4 6 11 2 7 ~一_ 號專利申請案 申請圍修正本(90年6月） _中請^利範圍 種壓電陶 1 .
    方法-，丨包括下列步驟 修遂_ 肌象則| 經濟部中央梯隼局貝工消費合作社印製 2 (1) 混合成份形成包含至少Pb、. Τ' 1、 氧化物的混合物； (2) 烺燒該混合物製得一種經懷燒產物. (3) 壓碎該經烺燒產物並添加— 種Cii組份，其數量 於還原成CuO時為0.05-3.0重吾。/ L ^ 垔里/° ,形成含Cu組份混 合物； (4) 於該含Cu組份混合物添加一 楂黏合劑形成含黏 合劑混合物； (5) 模製該含黏合劑混合物製得一種經模製產物； (6) 於llOOt或以下燃燒該模製產物製得—種燒結產 物；及 凡 (7) 在該燒結產物表面形成電極，該燒結產物包含一 種由下式表示之主要組份： Pba[(CrxNb(1.x))yZr(1.b.y)Tib]〇3 其中 ’ 0.95“^1.05 ; 0.40Sbs0.55 ; 〇_1(^χ$〇7〇 ;及 〇.〇2^y^〇.l2 ’及一種、Cu.組份作為次要組份，其數量 於還原成CuO時為0.05-3.0重量％。 一種壓電陶瓷元件之製造方法，，包括下列步驟： (1) 混合成份形成包含至少Pb、Zr、Ti ' Cr與N b之 氧化物的混合物； (2) 煅燒該混合物製得一種經烺燒產物； (3) 壓碎該經娘燒產物並添加一種’Cu組份，其數量 於還原成CuO時為0.05-3.0重量％，形成含Cu組份混 Cr與Nb之 (請先閎讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2ΐ〇χ297公兼） 經濟部中央標準局貝工消費合作社印裝 461127 _____________D8__ 六、申請專範園 ' ~一 ' —- 合物； (4) 於該含Cu组份混合物添加—種黏合劑形成含黏 合劑混合物； (5) 模製該含黏合劑混合物製得—種經模製產物； ⑹輪換層壓未淬火陶资與内部電極層，製得一種層 狀產物； θ ⑺於1100。。或以下燃燒該模製產物製得一種燒結產 物；及 (8)在該燒結產物表面形成電極，該燒結產物包含一 種由下式表示之主要组份： Pba[(GrxNb(i.x))yZr(1.b.y)Tib]〇3 其中，0.95以g.05 ; 0.4ee〇55 ; 〇1〇9“7〇 ;及 〇.〇2SyS0.12，及一種Cu組份作為次要组份，其數量 於還原成CuO時為〇·〇5-3.0重量％。 3 ·如申請專利範園第1或2項之壓電陶瓷元件製造方 法’其中步驟⑴中，添加一種選自Sr、Ba、Ca與La 至少一種元素之氧化物，其添加量為3·〇莫耳％或以 下，此係以主要組份中所含之Pb數量為基準。 4. 一種壓電陶瓷，其包括一種由下式表示之主要組份： Pba[(CrxNb(i_x))yZr(i-b.y)Tib]〇3 其中，〇.95Sd.〇5 ; 0.40SbS0.55 ; 〇.ΐ〇$χ$〇·7〇 ;及 〇’〇2$yS0.12，及一種Cu組.份作為次要組份，_其數量 於還原成CuO時為〇.〇5-3_0重量％，而且該陶资之電機 械偶合係數為60%或以上。 -2 - 本紙張纽ίΐ用中賴家揉準（CNS ) A4^ ( 21GX297公釐J " " (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂.. 461127 A8 B8 C8 D8 穴、申請專利範圍 5 .如申請專利範圍第4項之壓電陶瓷，其介電常數為 1546或以上。 6 .如申請專利範圍第4或5項之壓電陶瓷，其包含一種選 自Sr、Ba、Ca與La至少一種元素 < 氧化物，其添加量-為3.0莫耳％或以下，此係以主要組份中所含之Pb數量 為基準。 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公嫠）
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