JPH02123614A - 高誘電率系磁器組成物 - Google Patents
高誘電率系磁器組成物Info
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- JPH02123614A JPH02123614A JP63277806A JP27780688A JPH02123614A JP H02123614 A JPH02123614 A JP H02123614A JP 63277806 A JP63277806 A JP 63277806A JP 27780688 A JP27780688 A JP 27780688A JP H02123614 A JPH02123614 A JP H02123614A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、(B a l−X Cax ) m (T
11−yZr、)03の基本的な化学式構造を有する高
誘電率系磁器組成物に係り主として積層セラミックコン
デンサ、厚膜コンデンサ、ディスク型コンデンサ等に用
いられる高誘電率系磁器組成物に関するものである。
11−yZr、)03の基本的な化学式構造を有する高
誘電率系磁器組成物に係り主として積層セラミックコン
デンサ、厚膜コンデンサ、ディスク型コンデンサ等に用
いられる高誘電率系磁器組成物に関するものである。
従来の技術
一般に高誘電率系磁器組成物としては比誘電率が高いこ
とが必要とされるため、チタン酸バリウム(BaTiO
s)を主成分とする様々な組成物が合成されている。然
し、これでは比誘電率を高くすると誘電損失(tanδ
)(tanδ)の電圧依存性が大きくなりしかも静電容
量の温度に対する変化率も大きくなるという欠点がある
。また、例えば積層セラミックコンデンサでは高容量化
、小型化に伴って認電体の厚みが薄層化の傾向にあるた
めに単位厚み当りに印加する電圧が高くなっているが、
上述したBaTiOs系の組成物では高電圧の印加で誘
電損失(tanδ)が大幅に増加してしまうことからも
好ましくない。
とが必要とされるため、チタン酸バリウム(BaTiO
s)を主成分とする様々な組成物が合成されている。然
し、これでは比誘電率を高くすると誘電損失(tanδ
)(tanδ)の電圧依存性が大きくなりしかも静電容
量の温度に対する変化率も大きくなるという欠点がある
。また、例えば積層セラミックコンデンサでは高容量化
、小型化に伴って認電体の厚みが薄層化の傾向にあるた
めに単位厚み当りに印加する電圧が高くなっているが、
上述したBaTiOs系の組成物では高電圧の印加で誘
電損失(tanδ)が大幅に増加してしまうことからも
好ましくない。
この欠点を除去するべく、従来、BaTi0゜を主成分
とし、添加物としてCeO2,MnO。
とし、添加物としてCeO2,MnO。
を添加することにより常温の比誘電率が5000以上で
誘電損失(tanδ)の電圧依存性が小さくしかも誘電
率の温度変化の小さい高誘電率系磁器組成物が提案され
ている(特公昭at−16132号)。
誘電損失(tanδ)の電圧依存性が小さくしかも誘電
率の温度変化の小さい高誘電率系磁器組成物が提案され
ている(特公昭at−16132号)。
発明が解決しようとする課題
然し、この高誘電率系磁器組成物でも比誘電率が900
0以上になると誘電損失(tanδ)の電圧依存性が非
常に大きくなってしまう。
0以上になると誘電損失(tanδ)の電圧依存性が非
常に大きくなってしまう。
韮において、本発明は比誘電率が9000以上と高くて
も誘電損失(tanδ)の電圧依存性が非常に小さく、
また、静電容量の温度に対する変化率の小さい高誘電率
系磁器組成物を提供することを目的とする。
も誘電損失(tanδ)の電圧依存性が非常に小さく、
また、静電容量の温度に対する変化率の小さい高誘電率
系磁器組成物を提供することを目的とする。
課題を解決するための手段
本発明に係る高誘電率系磁器組成物においては、(Ba
t−x caX )m (TI+−y Zr、)0、の
化学式構造を有し且つXがONo、09゜yが0.10
〜0.28.mが0.998〜1゜012の範囲からな
る磁器組成物100重量%に対し、二酸化セリウム(C
eO2)またはその他の酸化ネオジウム(Ndz Os
)。酸化サマリウム(Sm2O3),酸化ランタン(
La,Os )、酸化ジスプロシウム(Dy2o3)、
酸化イツトリウム(Y2O2)の希土類元素酸化物のな
かから選ばれた一種類以上を0.02〜1.5重量%並
びに酸化ニッケル(NiO)または酸化コバルト(Co
O)、酸化亜鉛(ZnO)、酸化アルミニウム(An□
0.)のなかから選ばれた一種類以上を1.2皿量%以
下添加してなり、また、副成分として、酸化マンガン(
MnO)017重量%以下、酸化シリコン(SiO2)
0.25重量%以下を添加することにより組成されてい
る。
t−x caX )m (TI+−y Zr、)0、の
化学式構造を有し且つXがONo、09゜yが0.10
〜0.28.mが0.998〜1゜012の範囲からな
る磁器組成物100重量%に対し、二酸化セリウム(C
eO2)またはその他の酸化ネオジウム(Ndz Os
)。酸化サマリウム(Sm2O3),酸化ランタン(
La,Os )、酸化ジスプロシウム(Dy2o3)、
酸化イツトリウム(Y2O2)の希土類元素酸化物のな
かから選ばれた一種類以上を0.02〜1.5重量%並
びに酸化ニッケル(NiO)または酸化コバルト(Co
O)、酸化亜鉛(ZnO)、酸化アルミニウム(An□
0.)のなかから選ばれた一種類以上を1.2皿量%以
下添加してなり、また、副成分として、酸化マンガン(
MnO)017重量%以下、酸化シリコン(SiO2)
0.25重量%以下を添加することにより組成されてい
る。
作用
この高誘電率系磁器組成物は(Bat−、Ca。
)m(Til−yZry)Osの基本的な化学式構造を
有する組成物でXを0〜0.09. yを0゜10〜0
.28.rnを0.998〜1.012の組成範囲に設
定することにより比誘電率が9000以上で誘電損失(
tanδ)の電圧依存性が小さくしかも静電容量の変化
率の小さいものに合成できると共に、それにCoO2ま
たはNd,O3 。
有する組成物でXを0〜0.09. yを0゜10〜0
.28.rnを0.998〜1.012の組成範囲に設
定することにより比誘電率が9000以上で誘電損失(
tanδ)の電圧依存性が小さくしかも静電容量の変化
率の小さいものに合成できると共に、それにCoO2ま
たはNd,O3 。
Sm,O6 、La2o2 T D3r2o11 Y,
OSの希土類元素酸化物のなかから選ばれた一種以上を
0.02〜1.5重量%添加し、これと同時にN i
O,Coo、ZnO,A、Q,OBのなかから選らばれ
た一種以上を1.2重量%以下添加することにより誘電
損失(tanδ)の電圧依存性を更に著しく他派できる
ようになる。また、その副成分としてMnOを0.7重
量%以下、5io2を0.25重量%以下添加すること
により焼成温度の低下があり焼結性の向上がある。
OSの希土類元素酸化物のなかから選ばれた一種以上を
0.02〜1.5重量%添加し、これと同時にN i
O,Coo、ZnO,A、Q,OBのなかから選らばれ
た一種以上を1.2重量%以下添加することにより誘電
損失(tanδ)の電圧依存性を更に著しく他派できる
ようになる。また、その副成分としてMnOを0.7重
量%以下、5io2を0.25重量%以下添加すること
により焼成温度の低下があり焼結性の向上がある。
実施例
以下、本発明に係る高誘電率系6i1器組成物を実施例
と共に説明すれば、次の通りである。
と共に説明すれば、次の通りである。
この高誘電率系磁器組成物は炭酸バリウム(BaCOs
)、炭酸カルシウム(CaCOs)、二酸化チタン(T
102 ) *二酸化ジルコニウム(ZrOz)で(
Bit +,Cax ) m (T 11−yZr、)
03の基本的な化学式構造が構成されている。その基本
的な組成物中でXWO〜0.09、ys+0.10〜0
.28.memo、998〜1.012の範囲からなり
、また、この組成物loo重量%に対して二酸化セリウ
ム(C802)またはこの他の酸化ネオジウム(Nd、
03 )。
)、炭酸カルシウム(CaCOs)、二酸化チタン(T
102 ) *二酸化ジルコニウム(ZrOz)で(
Bit +,Cax ) m (T 11−yZr、)
03の基本的な化学式構造が構成されている。その基本
的な組成物中でXWO〜0.09、ys+0.10〜0
.28.memo、998〜1.012の範囲からなり
、また、この組成物loo重量%に対して二酸化セリウ
ム(C802)またはこの他の酸化ネオジウム(Nd、
03 )。
酸化サマリウム(Sm,O3) 、酸化ランタン(La
,Os )−酸化ジスプロシウム(Dy,Oコ)、酸化
イツトリウム(Y,Oa)の希土類元素酸化物のなかか
ら運ばれた一種類以上を0.02〜1.5重量%並びに
酸化ニッケル(NiO)または酸化コバルト(CoO)
。酸化亜鉛(ZnO)、酸化アルミニウム(AJ!z
03 )のなかから選ばれた一種類以上を1.2重量%
以下添加し、更に副成分として、酸化マンガン(Mno
)O,7重量%以下、酸化シリコン(si02)0.2
5重量%以下を添加すれば比誘電率が9000以上で屈
電損失(tan6)の電圧依存性並びに静電容量の温度
変化率がいずれも小さくて焼結不足を招くことのない高
誘電率系磁器組成物が得られる。それがx m Oz
0 、09 、 y mO,10〜0.28.m=o、
998〜t、012の範囲外であると比誘電率が900
0未満で温度特性が悪くなりしかも誘電損失(tanδ
)の電圧依存性が大きくなって焼結不足を招くことにな
る。また、これに添加するいずれかの希土類元素酸化物
が0.02重量%未満では誘電損失(tanδ)の電圧
依存性が大きくなって1.51i量%を超えると比誘電
率が減少するものであり、更に、酸化ニッケル(N i
O) 、酸化コバルト(CoO)、酸化亜鉛(ZnO
)、酸化アルミニウム(AJ!,Os )の添加するい
ずれかが1.2重量%を超えて1.51i量%以上にな
ると著しく比誘電率が減少してしまう。また、焼成温度
を低下するべく副成分として添加する酸化マンガン(M
nO)が0.7g量%を超えると屈電損失(tanδ)
の電圧依存性が大きくなって温度特性も悪くなり、酸化
シリコン(sio2)が0. 25重量%を超えると比
誘電率が減少することになる。
,Os )−酸化ジスプロシウム(Dy,Oコ)、酸化
イツトリウム(Y,Oa)の希土類元素酸化物のなかか
ら運ばれた一種類以上を0.02〜1.5重量%並びに
酸化ニッケル(NiO)または酸化コバルト(CoO)
。酸化亜鉛(ZnO)、酸化アルミニウム(AJ!z
03 )のなかから選ばれた一種類以上を1.2重量%
以下添加し、更に副成分として、酸化マンガン(Mno
)O,7重量%以下、酸化シリコン(si02)0.2
5重量%以下を添加すれば比誘電率が9000以上で屈
電損失(tan6)の電圧依存性並びに静電容量の温度
変化率がいずれも小さくて焼結不足を招くことのない高
誘電率系磁器組成物が得られる。それがx m Oz
0 、09 、 y mO,10〜0.28.m=o、
998〜t、012の範囲外であると比誘電率が900
0未満で温度特性が悪くなりしかも誘電損失(tanδ
)の電圧依存性が大きくなって焼結不足を招くことにな
る。また、これに添加するいずれかの希土類元素酸化物
が0.02重量%未満では誘電損失(tanδ)の電圧
依存性が大きくなって1.51i量%を超えると比誘電
率が減少するものであり、更に、酸化ニッケル(N i
O) 、酸化コバルト(CoO)、酸化亜鉛(ZnO
)、酸化アルミニウム(AJ!,Os )の添加するい
ずれかが1.2重量%を超えて1.51i量%以上にな
ると著しく比誘電率が減少してしまう。また、焼成温度
を低下するべく副成分として添加する酸化マンガン(M
nO)が0.7g量%を超えると屈電損失(tanδ)
の電圧依存性が大きくなって温度特性も悪くなり、酸化
シリコン(sio2)が0. 25重量%を超えると比
誘電率が減少することになる。
これを裏付けするべく、(B a l −X Cax
) m(Tix−y Zr、)Osで表わされる基本組
成物のx、y、mの値を変化させ、その基本組成物に希
土類元素酸化物であるCeO2、Nd,O3 。
) m(Tix−y Zr、)Osで表わされる基本組
成物のx、y、mの値を変化させ、その基本組成物に希
土類元素酸化物であるCeO2、Nd,O3 。
Sm2o3 、La= 03 、Dy2o3 、Y,O
3のなかから一種以上を選らび、並びにNip。
3のなかから一種以上を選らび、並びにNip。
COO、Z n O、A j! ,O sのなかから一
種以上を選んで様々な割合で添加し、更にMnOや5t
O2も様々な割合で添加した試料を作成することにより
、それぞれの特性を測定した。
種以上を選んで様々な割合で添加し、更にMnOや5t
O2も様々な割合で添加した試料を作成することにより
、それぞれの特性を測定した。
まず、原料としてはBaCO5、CaCO5。
Tie,ZrO,を用意し、また、CeO2゜N di
03 、Sm,O9.La,O3 、D3’,O3、
Y,O3のなかから一種類及びN 1. O。
03 、Sm,O9.La,O3 、D3’,O3、
Y,O3のなかから一種類及びN 1. O。
Coo、ZnO,AJ210sのなかから一種及びMn
O,5i02を用意し、それらを下掲第1表a、bで示
す各配合比で秤量した。この秤量した原料配合物をボー
ルミルによる湿式混合で,O時間攪拌し、その後に脱水
乾燥して1100〜1,O0℃で仮焼成することにより
化学反応させた。
O,5i02を用意し、それらを下掲第1表a、bで示
す各配合比で秤量した。この秤量した原料配合物をボー
ルミルによる湿式混合で,O時間攪拌し、その後に脱水
乾燥して1100〜1,O0℃で仮焼成することにより
化学反応させた。
これを再び微粉砕し、それに有機結合剤としてポリビニ
ルアルコール(PVA)を添加することにより造粒・整
粒を行って顆粒粉末とし、この粉末を約3 t/cm2
の成形圧力で16.5φX0.6t1の円板状に成形し
た。その成形物を400〜500℃で焼成することによ
り脱バインダーを行い、また、空気中で1300〜14
50℃の温度下で約2時間本焼成することにより磁器素
体を得た。
ルアルコール(PVA)を添加することにより造粒・整
粒を行って顆粒粉末とし、この粉末を約3 t/cm2
の成形圧力で16.5φX0.6t1の円板状に成形し
た。その成形物を400〜500℃で焼成することによ
り脱バインダーを行い、また、空気中で1300〜14
50℃の温度下で約2時間本焼成することにより磁器素
体を得た。
この磁器素体の両面に銀ペーストを塗布して焼付は処理
を行い、リード線を半田付けすることにより電極を形成
した。それを測定用試料No1〜37とIノ、その電気
的諸特性を測定したところ下掲第1表a、bで示す通り
であった・ nで比誘電率(εS)は常温下で測定周波数1kH2,
測定電圧AC1vで測定し、誘電損失(tanδ)の電
圧依存性はA CI V/mmとA C50V/mmで
測定した。また、静電容量の温度特性は+25℃〜−8
5℃の温度範囲で,O℃の静電容量を基準に容量変化率
どして算出し、誘電損失(tanδ)の電圧依存性は電
圧を任意に変化させた時の誘電損失(ta口δ)として
得た。
を行い、リード線を半田付けすることにより電極を形成
した。それを測定用試料No1〜37とIノ、その電気
的諸特性を測定したところ下掲第1表a、bで示す通り
であった・ nで比誘電率(εS)は常温下で測定周波数1kH2,
測定電圧AC1vで測定し、誘電損失(tanδ)の電
圧依存性はA CI V/mmとA C50V/mmで
測定した。また、静電容量の温度特性は+25℃〜−8
5℃の温度範囲で,O℃の静電容量を基準に容量変化率
どして算出し、誘電損失(tanδ)の電圧依存性は電
圧を任意に変化させた時の誘電損失(ta口δ)として
得た。
この表から明らかなように上述した範囲内の組成比を有
する試料No1〜4.7〜9,12゜13.16〜18
.21,22,24,25゜27.28.30〜37は
比誘電率が9000以上で誘電損失(tanδ)の電圧
依存性が非常に小さく、静電容量の温度に対する変化率
が小さい高誘電率磁器組成物として得られることが判る
。
する試料No1〜4.7〜9,12゜13.16〜18
.21,22,24,25゜27.28.30〜37は
比誘電率が9000以上で誘電損失(tanδ)の電圧
依存性が非常に小さく、静電容量の温度に対する変化率
が小さい高誘電率磁器組成物として得られることが判る
。
それに対し、基本組成物(Bai−x Ca、)m(T
i l−y Z r、 ) 03でx−0〜o、09
.y=0.10〜0.2B、m=0.998〜1.01
2の範囲外の試料No5,6,10,14.IS、19
は比誘電率が9000未満か、誘電損失(tanδ)の
電圧依存性が大きいか、静電容量の温度に対する変化率
が大きいか或いは焼結不足が起きたりするかのいずれか
の不具合があり、また、CeO2の添加例で試料No1
l、14のように0.02重量%未満では誘電損失(t
、anδ)の電圧依存性が大きくなって1.5重量%を
超えると比誘電率が減少している。更にNiOの添加例
で試料N023のように1.2重量%を超えて135重
量%以上であると比誘電率が著しく減少している。また
、試料No26の如<MnOが0.7重量%を超えると
誘電損失(tanδ)の電圧依存性が大きくなフて温度
特性が悪くなり、試料No29のように5i02が0.
25重量%を超えると比誘電率が減少する。
i l−y Z r、 ) 03でx−0〜o、09
.y=0.10〜0.2B、m=0.998〜1.01
2の範囲外の試料No5,6,10,14.IS、19
は比誘電率が9000未満か、誘電損失(tanδ)の
電圧依存性が大きいか、静電容量の温度に対する変化率
が大きいか或いは焼結不足が起きたりするかのいずれか
の不具合があり、また、CeO2の添加例で試料No1
l、14のように0.02重量%未満では誘電損失(t
、anδ)の電圧依存性が大きくなって1.5重量%を
超えると比誘電率が減少している。更にNiOの添加例
で試料N023のように1.2重量%を超えて135重
量%以上であると比誘電率が著しく減少している。また
、試料No26の如<MnOが0.7重量%を超えると
誘電損失(tanδ)の電圧依存性が大きくなフて温度
特性が悪くなり、試料No29のように5i02が0.
25重量%を超えると比誘電率が減少する。
そのため、これら電気的諸特性に劣る試料を*印で示し
、本発明に係る高誘電率系磁器組成物の請求範囲外とし
て設定した。
、本発明に係る高誘電率系磁器組成物の請求範囲外とし
て設定した。
因みに、本発明に係る高誘電率系磁器組成物の範囲内で
CeO2の添加量を変えて電圧を任意に変化させたとき
の誘電損失(tanδ)値を測定したところ第1図に示
す通りであり、それは従来例に係るBaTiO3系の高
誘電率系磁器組成物によるものよりも特性的に優れ、ま
た、mの値を変えて、第1図で示す場合と同様に電圧を
任意に変化させることにより誘電損失(tanδ)値を
測定したところ第2図で示す通りでありた。また、この
磁器組成物のなかから最良と思われるものを選択するこ
とにより層間厚み10μmの積層コンデンサを試作し、
各種の特性を測定したところ下掲第2表で示す通りであ
った。nで、絶縁抵抗(■R)はDC50Vを印加しつ
つ常温で測定した数値である。
CeO2の添加量を変えて電圧を任意に変化させたとき
の誘電損失(tanδ)値を測定したところ第1図に示
す通りであり、それは従来例に係るBaTiO3系の高
誘電率系磁器組成物によるものよりも特性的に優れ、ま
た、mの値を変えて、第1図で示す場合と同様に電圧を
任意に変化させることにより誘電損失(tanδ)値を
測定したところ第2図で示す通りでありた。また、この
磁器組成物のなかから最良と思われるものを選択するこ
とにより層間厚み10μmの積層コンデンサを試作し、
各種の特性を測定したところ下掲第2表で示す通りであ
った。nで、絶縁抵抗(■R)はDC50Vを印加しつ
つ常温で測定した数値である。
第2表
発明の効果
以上の如く、本発明に係る高誘電率系磁器組成物に依れ
ば、比誘電率が9000以上でも誘電損失(tanδ)
の電圧依存性が非常に小さく、静電容量の温度に対する
変化率が小さい磁器組成物が得られる。
ば、比誘電率が9000以上でも誘電損失(tanδ)
の電圧依存性が非常に小さく、静電容量の温度に対する
変化率が小さい磁器組成物が得られる。
第1図は本発明に係る高話電率系磁器組成物でCeO2
の量を変えて製造した積層セラミックコンデンサの電圧
を任意に変化させたときのお電損失(tanδ)の値を
測定した結果を従来例と比較して示すグラフ、第2図は
同コンデンサでmの値を変えて電圧を任意に変化させた
ときの誘電損失(tanδ)の値を示すグラフである。 第 図 AC!II芝tJE (V/+w+ )第 図 AC渭−1定電圧(vAme ) 口ll1m1.o12
の量を変えて製造した積層セラミックコンデンサの電圧
を任意に変化させたときのお電損失(tanδ)の値を
測定した結果を従来例と比較して示すグラフ、第2図は
同コンデンサでmの値を変えて電圧を任意に変化させた
ときの誘電損失(tanδ)の値を示すグラフである。 第 図 AC!II芝tJE (V/+w+ )第 図 AC渭−1定電圧(vAme ) 口ll1m1.o12
Claims (2)
- (1) (Ba_1_−_xCa_x)m(Ti_1_
−_yZr_y)O_3の化学式構造を有し且つxが0
〜0.09,yが0.10〜0.28,mが0.998
〜1.012の範囲からなる磁器組成物100重量%に
対し、二酸化セリウム(CeO_2)またはその他の酸
化ネオジウム(Nd_2O_3),酸化サマリウム(S
m_2O_3),酸化ランタン(La_2O_3),酸
化ジスプロシウム(Dy_2O_3),酸化イットリウ
ム(Y,O_3)の希土類元素酸化物のなかから選ばれ
た一種類以上を0.02〜1.5重量%並びに酸化ニッ
ケル(NiO)または酸化コバルト(CoO),酸化亜
鉛(ZnO),酸化アルミニウム(Al_2O_3)の
なかから選ばれた一種類以上を1.2重量%以下添加し
てなることを特徴とする高誘電率系磁器組成物。 - (2)副成分として、酸化マンガン(MnO)0.7重
量%以下、酸化シリコン(SiO_2)0.25重量%
以下を添加してなることを特徴とする請求項1記載の高
誘電率系磁器組成物。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63277806A JPH02123614A (ja) | 1988-11-02 | 1988-11-02 | 高誘電率系磁器組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63277806A JPH02123614A (ja) | 1988-11-02 | 1988-11-02 | 高誘電率系磁器組成物 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02123614A true JPH02123614A (ja) | 1990-05-11 |
Family
ID=17588525
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63277806A Pending JPH02123614A (ja) | 1988-11-02 | 1988-11-02 | 高誘電率系磁器組成物 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02123614A (ja) |
Cited By (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0337157A (ja) * | 1989-06-30 | 1991-02-18 | Kyocera Corp | 積層セラミックコンデンサ |
JPH03115164A (ja) * | 1989-09-28 | 1991-05-16 | Kyocera Corp | 高誘電率系磁器組成物 |
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KR100466073B1 (ko) * | 2002-05-24 | 2005-01-13 | 삼성전기주식회사 | 균일성 및 절연저항성이 증대된 유전체 조성물, 그제조방법 및 이를 이용한 적층 세라믹 콘덴서 |
US7008894B2 (en) | 2002-03-26 | 2006-03-07 | Tdk Corporation | High permittivity dielectric ceramic composition and electronic device |
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JP2022548705A (ja) * | 2019-09-30 | 2022-11-21 | テーデーカー エレクトロニクス アーゲー | 多結晶セラミック固体、該固体による誘電体電極、該電極を備える装置及び製造方法 |
-
1988
- 1988-11-02 JP JP63277806A patent/JPH02123614A/ja active Pending
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