TW419718B - Substrate transferring apparatus - Google Patents

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419718 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 A7 B7五、發明説明（1 ) ' " 本發明係關於-種用以傳送諸如半導體晶圓之基想 的.基體傳送裝置。 在用於待處理基體（諸如半導體晶圓）的_系統中， -基體傳送裝置被用來在-承載器或一£艘（其為—移送 容器，内有多個被支撐的半導體晶圓）和一處理區之間， 或在一承載器和一晶圓舟孤（其為—處理容器）之間自動傳 送或運送半導體晶圓•這些使用傳送裝置的處理系統的例 子為一熱處理系統》 熱處理系統被用來作為半導體晶圓的氧化、擴散退 ♦火、薄膜形成之類。例如，在批次處理式的熱處理系統中， 執行使半導體晶圓從承m器移入晶圓舟皿並將晶圓|孤裝 入熱處理爐内的操作，並執行將晶圓從未裝載之晶園舟孤 放回承載器内的操作。所以，熱處理系統的裝載室設有一 用來在承載器和晶圓舟孤之間傳送半導體晶圓的基體傳送 裝置。 第11圖顯示一種傳統的基趙-傳送裝置。該基體傳送 裝置80具有多個呈多階形式設置的支撐板9,用來支撐並 傳送半導體晶圓W。多個支撐板9被如此提供使得他們可 被升高或降低、水平旋轉、及前後移動。這些支撐板9被 置入承載器6内’揀取半導逋晶圓w於其上，並將半導體 晶圓W從承裁器6内傳送到晶圓舟见4，反之亦可。 然而，如第11圖所示，若一半導體晶圓Wx#一位置 誤差突伸出匣體或晶圓舟皿4外，則上述之傳統基體傳送 裝置無法修正此位置誤差。在此種情況下，半導趙晶圓wx - 1.^1 —--I HI · (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) '裝

、1T 本紙依尺度適用中國囤家標率（CNS ) A4現格（2丨0X297公釐） 4

41971S A7 B7 五、發明説明（2 ) - — ^ ' 無法正確地定置於基體千板上’半導體晶圓"^^可能在傳 送中掉落。己提出有一種裝置可偵測突出於一容器（諸如 匣體）的基體，並給予警告信號《•然後，該提出案對於上 述問題並無實質上的解決" 所以’本發明之目的在於提供一種晶圓傳送裝置， 其可在支樓板被置入容器内時’自動地修正突出於容器外 之基體所造成之定位誤差’且可避免基體在傳送路途中掉 出。 - 欲達到上述目標，本發明之特徵在於一基體傳送裝 置：其具有支撐板並可操作該等支撐板進入一包圍有成階 形式之基體的容器，以分別將基體放置於支撐板上來傳 送.，該裝置包含一設置於各個支撐板的基座部位的位置誤 差修正構件，當該支撐板被置入容器時，該位置誤差修正 構件係用以緊鄰突出於容器外之各個基體的周緣邊，並用 ί 以將各個基體推回到容器内。 在本發明中，位置誤差修正構件較佳地係與支撐板 的基座部位形成一體，且位置誤差修正構件具有一鄰接表 面，其形狀係對應到該基體之周緣邊的形狀。此外，較佳 地’該裝置包含多個對應到容器内之基體的呈多階形式的 支撐板，且位置誤差修正構件被設置於該等多個支撐板的 每兩個鄰接的基座部位之間，並在該等多個支撐扳之最高 支撐板的基座部位的上部份。 亦即，本發明之一特徵在於，用以將放置於容器内 之待處理基體從容器取出的基體傳送裝置包含一具有一基 本紙依尺度適用中國國家標φ ( CNS〉Μ規格（2!〇>< 297公楚） ^ ------ΐτ-----^t (請先閱讀背面之注意事項再.填涔本頁) 經濟部令央標準局員Η消費合作杜印製 419718 A7 ________B7_ 五、發明説明（3 ) - 座部位的支撐板，用以置入該容器内取出該基體，及一位 置誤差修正構件，設於該支樓板的一基座部位，當該支撐 板被置入該容器内時，該位置誤差修正構件緊鄰該基趙突 伸出該容器的一部份，並將該基體推回該容器内。 .該位置誤差修Μ件可與該支撐板的基.虔部位一體 地形成’ 該位置誤差修正構件可具有一鄰接表面，該鄰接表 面的形狀係對應到該基體之周緣邊的形狀。例如，該基艘 可具有圓形形狀*該位置誤差修正構件的^鄰接表面可具有 _對應到該基體之圓形的凹形。 γ 該裝置可包含多個支撐板，用以將在該容器内之多 個呈多階形式之基體從該容器取出，多個支撐板的每個可 對應到該容器内之多個基體的一個，且位置誤差修正構件 可設置於各個該等多個支撐板的基座部位的上部份或侧部 份.。 該等支撐板係設置使得鄰接-支撐板間的間隙是可變 化的。 經濟部中央標準局員工消費合作社印衆 該裝置可包含兩個支撐板固持座，以固持該等支樓 板，其中，該等支撐板固持座的其中一個可固持對應於容 納在容器内呈多階形式之多個基體，另一個支撐板固持座 可只固持一個支撐板，且各個支撐板固持座具有獨立的 驅動器。 根據本發明，因為該裝置包含一設於支撐板之基座部 位的位置誤差修正構件，當支撐板被置入容器時，位置誤 本紙張尺度適用中囤囤家標準（CNS ) A4規格（2丨0X297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 419718 A7 ~~_ B7 五、發明説明（4 ) - 差修正構件用以緊鄰該基體突出於容器的一部份並蔣基體 推回容器内，藉由在支撐板被置入容器内時使位置誤差修 正構件緊鄰基體突出於基體的一部份並將基體推回容器 内’所以該裝置可以自動地修正基體的位置誤差。因此， 若因為振動或之類而使基體突出於容器外導致位置誤差的 存在’藉由修正基體的位置誤差，該裝置可正確地將基體 定置於支撐板上，以致於該裝置可防基體在傳送途中掉 出.。 .. 第1圖顯示根據本發明之基體傳送裝置之一實施例的 外觀圖； 第2a和2b圖顯示修正第1圖裝置之基體之位置誤差的 功能的解釋圖形； 第3囷顯示熱處理系統之一部份的外觀圖，該熱處理 系統為使用本發明之裝置的系統的一例； 第4圓係沿第1圖之線A-A所取得之剖面圖； 第5圓係沿第1圖之線B-B所取得之剖面圖； 第6圓顯示該基體傳送裝置的一主要部份的平面圊； 第7圖係第6圖之縱向剖面圊； 第8圖係根據本發明之基體傳送裝置之另一實施例的 支撐板的平面圖； 第9圖係第8圖之支撐板的縱向剖面圖； 第10圖顯示該基體傳送裝置之另一實施例之一主要部 份的平面圖； 第11圖大體顯示一傳統基體傳送裝置的外觀圖。 本紙張尺度適用中國國家標隼（chs ) Α4規格（210X 297公釐） I丨—i-----裝 ^請^^讀背面之注^|^項再填寫本育)

*1T 經濟部中央標準局員工消費合作社印掣 41S718 A7 ------------B7 五、發明説明（5 ) . ~ ' -- 本發明將參考附圖更詳細地說明。 參考第3圖，顯示熱處理系統之一部份的外觀囷，該 熱處理系統為使用本發明之基體傳送裝置之系統的例子， 參考標號1代表一裝載室。裝載室1上方設有-批次處理式 的垂直熱處理爐（未顯示）’其下端有一爐口。在垂直熱處 理爐下方’一用以打開和關閉爐口的蓋體2被以此種方式 設置使得蓋體2可被升降機構3升高和下降。在蓋體2上安 裝有一由石英製成的直立晶圓舟皿4,其間插置有一絕熱 圓柱體5。晶圓舟皿4作用為一處理容器，其内支撐有很多 半導體晶圓W(其數目例如為15〇個）呈多階形式。晶圓舟 孤4被設置使得其可藉由升降機構3透過蓋體2的抬高而被 裝載到熱處理爐内，並可透過蓋髋2的下降而從爐内卸載 到裝載室1中。 在裝載室1的一側，提供有一包圍呈多階形式之半導 體晶圓（其數自例如約25個）的傳送容器。例如，容器係一 架子狀的承載座台7，其上支撐有塑膠製成之晶圊承載器 6。在裝載室1内’晶圓或基體傳送裝置8被提供來在一未 裝載之晶圓舟皿4和承載器座台7上之承載器6之間傳送半 導體晶圓W。 如第1圖清楚顯示，該裝置8具有一長形薄板狀支撐板 9或又子’用以支撐並傳送半導體晶圓w。支撐板9被設置 以便能夠升高和_降低、水平旋轉和前後移動。各個支樓板 9係由鋁陶瓷或之類的材料製成，並成為一長形薄板式形 狀。各個支撑板9被水平置入承載器6或晶圓舟孤4内，於 請 先 閱 讀 背 之 注 意 事 項 再 奢 裝 訂 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > A4規格（210XW7公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 419718 A7 --------- 五、發明説明（6 ) 取在承載器6或㈣舟皿4㈣半導nw於其上，並將 曰曰圓W從承載器6或晶圓舟皿4内取出0 更詳細地說，基體傳送裝置8包含一升降臂1〇(第3 圏），被升降驅動器（未顯示）抬高和降下、一可在升降臂⑺ 上水平旋轉的箱式基座座台11、一可在基座座台丨丨上前後 移動的傳送匣體（支撐板固持座）12，且該支撐板9被連結 到傳送匣體12«如第1和4圖所示，在此基體傳送裝置8中， 傳送匣體12被劃分成用以一個接著一個地傳送晶圓的第一 傳送構件12a和一用以一次全部傳送晶圓的第二傳送構件 12b。所以，基體傳送裝置8可一個接著一個地並一次全部 地傳送一個晶圓或多個晶圓》 為了獨立地使這些傳送構件12a和12b向前或向後移 動，一對被例如栓槽所形成之右和左導桿13a和13b係沿著 基座座台11的縱向平行設置於基座座台11中，且滑動構件 14a和14b分別可滑動地裝配於導桿i3a和13b上。在導桿13a 和13b的外侧，分別被步進馬達15a和15b駆動的計時皮帶 16a和16b係被平行地設置。 例如’如第5圖所示，在第一傳送構件12a的一侧上， 一被步進馬達15a驅動的驅動皮帶輪17和一從動皮帶輪18 分別被設置於基座座台11的一縱長端以及基座座台11的另 一端。計時皮帶16a環繞通過這些驅動皮帶輪17和從動皮 帶動18。對於第二傳送構件12b，使用相同於上述的機構。 第一傳送構件12a透過計時皮帶16a而被連結到從滑動構 14a之侧邊突伸出的區塊19a，而第二傳送構件12b透過另 本紙張尺度適用中國國家標準{ CNS ) A4現格（210X 297公釐） 9 ^--------裝-------訂-----線- (请先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 419718 A7 ---- :__B7__ 五、發明説明（7 ) - 一條計時皮帶16b而被連結到從另一滑動構件14b之側邊突 伸出之區塊19b。 在基座座台11之上表面上，提供:有狭槽20用來允許傳 送構件12a和12b移動通過β單一支撐板9係被連結到第一 傳送構件12a，而多個（例如4或5個）支撐板9係呈多階地連 結到第二傳送構件12b。在此說明之實施例的情況下，第 一傳送構件12a的支撐板9係被放置於第二傳送構件12b之 支撐板9的中間位墨。如第7圖所示，在第一傳送構件12a 上的支撐板9可被放置於第二傳送構件12b上之支撐板9的 上方或下方》 第二傳送構件12b的支撐板9以對應於承載器6之溝槽 (未顯示）間距的間距來設置，該等溝槽幫助半導體晶圆W 以固定的間隙容納在承載器6内。然而，為了配合承載器6 之溝槽的間距設置不同於晶圓舟皿4之溝槽的間距設置的 情況，第二傳送構件12b之支撐板9可以一方式設置使得藉. 由間距改變機構（諸如一螺桿進給機構，其可相對地改變 支撐板9之間的間隙）使間距可變化》 如第ό和7圖所示，在各個支撐板9的上表面上形成有 一具有緊鄰肩部的階梯式支撐部份21，該緊鄰肩部係對應 到圓形半導體晶圓W之周緣邊。半導體晶圓w藉由支撐部 份21的緊鄰肩部而被固持、定位及穩定地承載著。為了防 止灰塵黏附到半導體晶圓W的背侧，一凹入表面部位22可 形成於支撐部份的内部，該凹入表面部位之半徑稍小於半 導體晶圓W的半徑，以致於只有半導體晶圓w之周緣被支 本紙張尺賴财關家轉(210X297公釐） 10 -I I ~ 訂 1 ~ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 419718 at B7 五、發明説明（8 ) - 撐部份21所支撐，而且除了半導體晶圓W之周緣以外，半 導體晶圓W之背側不會與支撐板9相接觸。 在各個支撐板9之基座部位，提供有一位置誤差修正 構件23，用以修正半導體晶圓W之位置誤差。透過使修正 構件23與半導體晶圓W之周緣相緊鄰而可修正位置誤差 (該半導體晶圓係由於振動之類而突出於承載器6或晶圓舟 皿4之外），並且當晶圓W被置入承載器6或晶圓舟皿4内 時，藉由修正構件23進入承載器6或晶圓舟皿4之内而將半 導體晶圓W推回》 如第7圖所示，在第二傳送構件12b中，形成有一凹入 部位24來容納多個支撐板9的基座邊緣。在凹入部位24中， 支撐板9的基座邊緣以固定間距分層’每兩個鄰近的支撐 板9之間被插入一個間隔物25。在第二傳送構件12b之凹入 部位24中，一定位銷26係穿過該等間隔物25和支撐板9並 與之連結。在凹入部位24上方，一固持板27被螺絲28連結。 所以，支撐板9呈懸臂方式被牢牢地連結在第二傳送構件 12b 中。 固持板27之尾端部位和間隔板25係由鋁製成，並形成 為一接合部位29,其形狀在平面圖上實質上為一 T形。位 置誤差修正構件23係由含氟樹脂或之類的材料製成並在平 面圖上形成為實質上的C形，以致於其可配合到接合部位 29。所以，位置誤差修正構件23被設置於成層之支撐板9 的鄰近的兩個基座部位之間，及在最高的支樓板9的基座 部位的上表面上。當半導體晶圓W被推回時，為了防止部 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公嫠） _ H . Μ-------裝-------訂-----：——炎 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 419718 --------B7 五、發明説明（9 ) - — · 伤應力產生於半導體晶圚W上，一對應到半導體晶園W之 周緣形狀的弧形鄰接表面3〇較佳地被形成在位置誤差修正 構件23上，以致於位置誤差修正構件23可與半導體晶圆界 的周緣呈面對面地緊靠。第一傳送構件12a具有類似第二 傳送構件12b的外形，除了單一支撐板9被提供且第一傳送 構件12a不具有間隔物25以外。 根據具有上述構形之基體傳送裝置8,類似於傳統的 基體傳送裝置，用於半導體晶圓W之傳送操作可在未負載 晶圓舟皿4和在裝載室1之承載器座台7上之承載器6之間進 行。特別是，如第2a圖所示，在由於振動或之類使半導體 晶圓W突出承載器6外的情況，當支律板9水平前進並被置 入承載器6以拾起一半導體晶圓w時，設置於支撐板9之基 座部位的位置誤差修正構件23的鄰接表面30可將半導體晶 圓W推回承載器6内並修正半導體晶圓w的任何位置誤 差，如第2b圖所示。 當支撐板9被置入承載器6内-並挖起一半導體晶圓w 時’晶圆W被位置誤差修正構件23的鄰接表面30導引、放 ’置於支撐板9上、被固持於凹入支撐部份21並被穩定地支 撐。然後，支撐板9往後退，以致於半導體晶圓W可從承 載器6傳送出，同時保持穩定的支撐狀態。所以，無需擔 心半導體晶圓W在傳送途中掉出。在半導體晶圓w突出晶 圓舟皿4之情況下，半導體晶圓W亦可被推回晶圓舟m4 内’以致於半導體晶圓W的位置誤差可以被修正3 如上所述，根據基體傳送裝置8，因為位置誤差修正 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（2I0X 297公釐） ----τ----------装II (請先閱锖背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線 經濟部中决標準局員工消費合作社印繁 12

41371S A7 B7 五、發明説明（10 ) - 構件23被提供於各個支樓板9的基兔部位，用以緊接突出 於承載器6或晶圓舟皿4之半導魏晶圓之周緣邊並用以 將晶圓W推回承載器6或晶圓舟皿依，所^僅須藉由支 撐板9的置入操作，該裝置8可以透過將突出的半導體晶圓 W推回承載器6或晶圓舟皿4内而自動修正半導體晶圓^的 ^位置誤差》所以，假如半導體晶圓w因為振，或之類而突 出於承載器6或晶圓舟皿4外，則該裝置寸以藉由自動修正 誤差而總是正確地將半導體晶圓w定置於支撐板9占以 致於該裝置可防止半導體晶圓砑在傳送途中掉出。 第8和9圓顯示在根據本發明之基體傳送裝置之另一實 施例中的支撐板9-類似於第一實施例的支撐板，在支撐 板9上形成有用以支撐半導體晶圓评的一支撐部份2ι以及 一凹入表面部位22。在該支撐板9之基座部位的上表面上， 該位置誤差修正構件23係一體地形成，當該支撐板9被置 入承載器6或晶圓舟皿4時，該位置修正構件23係用以緊鄰 大出於承載器6或晶囬舟皿4外之半導體晶圓w的周緣邊， 並將半導體晶圊W推回承載器6或晶圓舟皿4内。 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 ^-- (請先閱讀背面^f注意事項再填寫本頁) 線 上述的位置誤差修正構件23係形成為一突出形狀，適 於在支撐板的基座部位的寬度方向上，以不同於第6圖之 方式連續地緊鄰半導體晶圓W。在位置誤差修正構件23之 前端表面上形成有一對應到半導體晶圓W之周緣邊的弧形 鄰接表面30。根據使用該支撐板9的基體傳送裝置，其不 只是有類似上述第一實施例的效果，而且亦有結構較簡單 且組成構件數目減少的優點。支撐板9可被應用於任何現 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 29"?公釐） 41^715 A7 B7 五、發明説明（11 ) 存之基體傳送裝置而不需增加其他元件或重新改變結構。 第10圓顯示根據本發明之另一實施例的基體'傳送裝置 的一主要部份。基體傳送裝置的傳送部份12係以可變化的 間距結構形成，其中，支撐板9的間距可被連續地改變。 所以，如果位置誤差修正構件23被設置於支撐板9之兩鄰 近的基座部位之間，則最小的間距被嚴格地限制。所以， 位置誤差修正構件23被設置於各個支撐板9之基座部位的 兩側部位。根據此基體傳送裝置，其可自動地修正半導體 晶圓W的位置誤差，不需限制支撐板9之間的最小間距。 因為特定的改變可在上述裝置中倣出，而不會背離本 文所述之本發明的範圍，所以如附囷所示之包含於上述說 明的所有事情將被解釋為例示性而非限制性的意義β例 如，一具有可變化間距結構的基體傳送裝置可能包含位置 誤差修正構件’其等被設置成對應到支撐板之兩個鄰近基 座部位之間的各個間隔的梳子形狀，以致於當支撐板9之 間的間距改變時，各個位置誤差修正構件可以對應到各個 半導艘晶圓W。 在上述實施例中，各個基體傳送裝置包含兩個傳送構 件’第一傳送構件固持有對應到多個容納在容器内呈多階 形式之基體的支撐板，第二傳送構件只固持一個支撐板， 且各個傳送構件具有一獨立的驅動器。驅動器根據所選擇 的傳送晶圓的方式是一個接著一個或是一次全部的方式來 可選擇地切換，然而，他們可以以任何方式來控制。 例如’在一次傳送五個半導體晶圓W的情況下，藉由 本紙張尺度適用#國國家撑準（CNS ) Α4規格（210X297^釐) ----------裝-------訂——----^-I線- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 經濟部中央標準局W；工消費合作社印製 14

41S71S 使用四個連結二傳送構件12b的支撑板9和—個連結到 第傳送構件l2a的支撐板9，兩個媒動器可以在一個時間 、作來同時移動傳送構件12a和12b兩者以致於五個半導 曰曰圓W :欠被全部傳送。在只傳送_個半爹想晶圓^的 情況下，只有對應到第一傳送構件12a的驅動器被操作來 移動構件12a，致使—個半導趙晶S3 w被傳送。在這些情 况下，如第7圖所示，在連結到第二傳送構件12b最下面的 支樓板9和連結到第-一傳送構件12a的支撐板之間的句隙相 同於第二傳送構件12b之每兩個相鄰支撐板9之間的間隙。 當然’本發明可以應用到用以一個接著一個地傳送待處理 基趙的基體傳送裝置。此外，本發明可應用到不只是熱處 理系統的某些步驟，亦可應用到半導體製造系統或液晶製 造系統的某些步驟。 簡言之，根據本發明之基體傳送裝置，因為位置誤差 修正構件被設置於支撐板的基座部位，所以當支撐板被置 入容器内時，位置誤差修正構件緊鄰突伸出容器的基體的 周緣邊，並將基體推回容器内，而藉由該構件使突出容器 的基體周緣邊推回容器内，該裝置可自動地修正基趙的位 置誤差。所以，若因振動之類使基體突伸出容器外而使位 置誤差存在，則藉由修正基體的位置誤差，該裝置可準確 地將基體定置於支撐板上，因而該裝置可避免基體在傳送 途中掉出。 本紙張尺度適用_國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公漤） ----^---„----裝-------訂-----^--级 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局貞工消費合作杜印製 15 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 419718 A7 B7 五、發明説明（13 ) - 元件標號對照表 1 裝載室 2 蓋體 3 升降機構 4 晶圓舟皿 5 絕熱圓柱體 6 承載器或容器 7 承載器座台 8 基體傳送裝置 9 支撐板 10 升降臂 11 基座座台- 12 傳送匣趙或支撐板固持座 12a，12b 傳送構件 13a，13t »導桿 14a,14b 滑動構件 15a，15t > 步進馬達 16a,16b 計時皮帶 17 驅動皮帶輪 18 從動皮帶輪 19a,19h > 區塊 20 狹槽 21 支撐部份 22 表面部份 23 位置誤差修正構件 24 凹入部位 25 . 間隔物 26 定位銷 27 固持板 28 螺絲 29 接合部位 30 鄰接表面 80 基體傳送裝置 (請先Μ讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297^#—) 16

Claims (1)

1. 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 AS B8 41ϋ718_dI___ 六、申請專利範圍 - 1. 一種基體傳送裝置，用以將容納在一容器内之待處 理基體從該容器内取出，該裝置包含： 一具有一基座部位的支撐板，用以置入該容器 内‘取出該基體，及 一位置誤差修正構件，設於該支撐板的一基座 部位，當該支撐板被置入該容器内時，該位置誤差 修正構件緊鄰該基體突伸出該容器的一部份，並將 該基體推回該容器内。 2. 如申請專利範圍第1項之基體傳送裝置，其中： 該位置誤差修正構件係與該支撐板的基座部位 一體地形成。 3. 如申請專利範圍第1項之基體傳送裝置’其中： 該位置誤差修正構件具有一鄰接表面，該鄰接 表面的形狀係對應到該基體之周緣邊的形狀。 4. 如申請專利範圍第3項之基體傳送裝置，其中： 該基體具有圓形形狀，且^ 該位置誤差修正構件的鄰接表面具有一對應到 該基體之圓形的凹形。 5. 如申請專利範圍第1項之基體傳送裝置，其中： 該裝置包含多個支撐板，用以將在該容器内之 多個呈多階形式之基體從該容器取出， 多個支撐板的每個係對應到該容器内之多個基 體的一個，及 該位置誤差修正構件係設置於各個該等多個支 _________———— -17- 本紙張尺度逍用中國國家揉準（CNS ) A4规格（210X297公釐） -------r---^------1T------0 (請先閱請背面之注意事項再填寫本頁) 41^718六、申請專利範圍 A8 B8 C8 D8 經濟部中央揉準局員工消費合作社¥製 撐板的一基座部位。 6. 如申請專利範圍第5項之基體傳送裝置，其中： 一位置誤差修正構件係於各個該等多個支撐板 之基座部位的上部份。 7. 如申請專利範圍第5項之基體傳送裝置，其中： 該位置誤差修正構件設於各個該等多個支撐板 之基座部位的一側上。 8. 如申請專利範圍棄5項之基體傳送裝置，其中： 該等支撐板係如此設置使得該等支撐板之間的 間隙是可變化的。 9. 如申請專利範圍第6項之基體傳送裝置，其中： 該等支撐板係如此設置使得該等支撐板之間的 間隙是可變化的。 10. 如申請專利範圍第1項之基體傳送裝置，其更包 含： 兩個支撐板固持座，以固持該等支撐板， ®持該等支撐板之該等支撐板固持座的其中一 個係對應於容納在該容器内呈多階形式之多個基 體’ 碎等支撐板固持座的另一個只固持一個支撐 板，及 各個支撐板固持座具有一獨立的驅動器。 ----.--^---^------ΐτ------,^ (請先閱承背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度速用中國囷家揉準（CNS ) A4规格（210X297公釐）. -18.