TW389840B - Apparatus for inspecting printed circuit boards - Google Patents

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TW389840B TW087114599A TW87114599A TW389840B TW 389840 B TW389840 B TW 389840B TW 087114599 A TW087114599 A TW 087114599A TW 87114599 A TW87114599 A TW 87114599A TW 389840 B TW389840 B TW 389840B
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light
printed circuit
circuit board
laser
laser light
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TW087114599A
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Satoshi Nishida
Masanori Mizuno
Miki Kurosawa
Shozui Takeno
Masaharu Moriyasu
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Mitsubishi Electric Corp
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Description

7 7 A B {圖明成説構明之 發6 、態五 /18». ^參. 充 附件一 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第？第.，第第第第 態 圖 形 視 件 元 03602567460000 11122222331122 胞 斜 實 之 之 樣 置 模 裝 工 査 加 檢 的 板 真 基 失 路學 電光 刷償 印補 之 示 明表 發 為 本b) 一不.Λ 表圖卜 為成(a 圖構圖 ο - 1* 2之2 圖 圖。 明；成圖 說圖構成 之明的構 工說置之 加的裝置 射工査裝 雷加檢査 板射之檢 基雷板板 路之基基 電孔路路 刷底電電 印有刷刷 示示印印 表表用用式式習習 模模示示103 MM表表 f 為為為為y 圖圖圖圖U 2 3 4 5 號 系 學 器光 盪射 振轉板鏡 射像罩流 雷影光檢 鏡 光鏡 漶光 鏡斷分鏡 透遮色透 直光向描 準螢二掃 台元部機口轉板感光感 透鏡子 平孔斷影速像基像射度源像射電 ΧΥ針判攝光影小影雷濕光结反光 鏡 透件 14 7 1 11 一^- il 器 出 鏡檢 光光 漶螢 器 腦光 電分位上23 鏡 透 整鏡 調透 徑寫 器 換 器切器 測路測 管 大 鏡放 6 8 5 6 0 0 2 2 3 4 12 部 鏡制 透控 - - 、 m Hi m n —1 m In m 11^ m m ‘(請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁).， 源 光 器 器鏡射鏡 出 門測面鏡雷離 檢片 遮感多透線分 射料料晶度動物外束 雷試塗液溫轉對紫光 訂 態 形 佳 最 之 明 發 本 施 實 射透雷 雷直由 ..準將 備之5 具徑板 置口罩 裝光光 査射4 檢雷鏡 本出光 ，輸濾 明1斷 發器遮 本還光 明振螢 說射〇〇 细雷糸 詳整學 圖調光 附以射 照用轉 參1像 Η器影 盪2; 振鏡 光)6 二rC 射o r 雷ΓΓ1Γ • ·1 0 之S 出 cno 輪oiva 器hral 盪icu 振(d流 射鏡檢鏡印 描 —電 掃1 8涵 及 向 方 軸 板 基 路
V 之 上 2 第 之 描 掃 向 方 軸 Υ Μ 光 射 ί,雷 射 使 反;ΰ 之 透 穿 光 螢 使 而 光 分 色 向 流- 之 翥a 2 f C i s s 及H鏡 檢 7 至¾ Λ掃 檢之1 2自 第Ξ構 雷 M-等 之 將Ϊ鏡 .，向 8 透 方 0 ^ }軸Θ Γ f y通光 (XW 螢 置板使 裝基.， 台路11 平電鏡 XY刷光 之印漶 Ξ之的 射長 基3、？ 纟照波 路 電％i ί射光 爾 卩雷螢 印 i受之 之 g由來 象 擇而 alf S 1 査 6 檢 置 r ·，分 載o h ·’ 1色 ον νί/ } e向 s g -η 3 二 e t · s 過 要過16 必通部 不出斷 面檢判 點Μ及 隹-用·’ 於.，15 而13部 12件制 鏡元控 透e); 11 4 像Ο 1 结h器 再in出 過(P檢 通孔光 將針螢 ;之之 12除光 鏡切螢 透M13 之予件 像訊元 结資孔 再之針 本紙張又度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 1 1 (修正頁）3 1 0 0 43 A7 B7 經济部中央標率而只工消贽合作拉印-*,'1木 五、發明説明（ 1 ) 1 | [發明的詳细說明] S I [本發明有闢之技術領域] » 1 1 本 發 明 為 有 闞 以 雷 射 光 束 檢 测 印 刷 轚 路 基 板 之 檢 査 裝 二 1 1 請 1 I 置 t 尤 其 是 闢 於 以 雷 射 光 對 設 在 積 層 印 刷 配 線 板 之 盲 孔 先 閲 1 4 ik 1 I B 1 i η d v i a Hole ，有底孔） 或 加 工 溝 底 面 殘 留 之 未 去 除 乾 淨 背 1 J 之 1 之 材 料 之 檢 出 » 及 厚 度 測 定 等 1 施 行 光 學 方 式 檢 査 之 印 刷 注 意 事 1 霣 路 基 板 的 檢 査 裝 置 0 項 y w| 、 [背景技術] % 本 頁 裝 伴 随 最 近 霣 子 機 器 之 高 性 能 化 » 配 線 亦 要 求 高 密 度 化 1 1 〇 欲 满 足 要 求 » 印 刷 電 路 基 板 即 進 入 多 層 化 及 小 型 化 0 1 1 積 層 印 刷 電 路 板 必 須 形 成 稱 為 盲 孔 (B 1 ί n d V i a Η 0 1 e 1 1 有 底 孔 9 BVH)為 孔 徑 約 1 5 0 w 团 的 層 間 導 通 連 接 用 精 细 有 底 訂 1 孔 * Μ 現 在 的 鑽 孔 (d r i 11) 加 工 技 術 » 要 鑽 0 . 2 D η Μ 下 之 1 | 小 孔 9 以 及 有 底 孔 之 鑽 孔 加 工 很 困 難 t 而 且 當 高 密 度 印 刷 *1 I 電 路 板 m 緣 層 之 厚 度 成 為 1 0 0 ju e 以 下 9 如 此 薄 曆 時 ， 深 度 .一 控 制 更 加 困 難 ,所以鑊孔加工對微细BVH而 不 可 能 實 施 0 跟 1 代 替 鑽 孔 加 工 之 BVH 形 成 法 > 有 一 種 應 用 雷 射 光 之 方 1 1 法 備 受 注 巨 0 此 種 方 法 係 利 用 形 成 絕 緣 材 料 之 樹 脂 或 玻 璃 1 雄 維 與 m 導 體 對 光 能 董 吸 收 率 之 差 而 實 施 者 0 | 雷 射 光 之 光 源 ， 有 使 用 二 氧 化 碳 氣 η 笛 射 t 已 部 份 實 1 I 用 化 0 例 如 9 銅 對 二 氧 化 碳 氣 體 雷 射 幾 乎 全 部 反 射 t 所 >λ 1 1 I 如 第 22國 (a ) 所 示 • 在 鋦 萡 a 之 預 定 位 置 * 蝕 刻 方 法 形 1 1 成 必 要 孔 徑 之 銅 箔 去 除 部 b, 再 以 雷 射 光 L 照 射 該 鋦 箔 除 去 1 1 部 b, 分 解 /去除樹脂或玻璃等所形成之絕緣基板部C 1 形 1 1 本紙張尺度適;1]中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0X297公釐） 310043 A7 B7 經济部中央榀率而Β Η消贽合作壮印··,')水 五、發明説明（ 2) 1 1 成 如 第 22圖 (b) 所 示 之 撤 细 加 工 孔 d 0 % ‘ *1 | 又 * 如 第 23圖 所 示 » 在 孔 加 工 部 内 部 (絕緣基板内部） • 1 t 預 先 積 層 内 層 鋦 箔 e , 可 使 絕 緣 材 料 之 分 解 去 除 作 用 停 止 乂 1 1 請 1 I 在 内 暦 綱 萡 e , 所 以 可 K 形 成 Μ 內 層 飼 萡 e 確 實 停 止 之 有 底 先 閲 1 讀 f 孔 f 0 背 1 l 之 r 但 是 f 如 第 23圖 所 示 9 將 Μ 内 層 飼 箔 e 停 止 之 有 底 孔 注 意 事 1 f, 施 行 二 氧 化 碳 氣 體 雷 射 加 工 時 > 即 使 充 份 照 射 雷 射 光 $ 項 再 1 還 是 畲 在 內 磨 Apt 铜 箔 e 上 殘 留 厚 度 1 1 1 α 以 下 之 絕 緣 材 料 樹 脂 填’ % 本 1' % I 0 所 Μ 在 雷 射 加 工 後 t 需 要 將 殘 留 樹 脂 過 錳 酸 等 蝕 刻 9 頁 1 1 Μ 殘 留 樹 脂 完 全 去 除 之 後 處 理 0 1 1 加 工 孔 小 到 約 1 0 0 w μ 程 度 時 • 蝕 刻 液 即 不 易 達 到 孔 内 1 1 部 » 因 若 由 於 雷 射 加 工 條 件 等 不 良 而 使 殘 留 樹 脂 之 厚 度 超 訂 I 過 1 U Μ 厚 時 * 將 產 生 使 殘 留 樹 脂 不 能 全 部 消 去 之 孔 t 於 此 1 I 狀 態 下 如 施 行 電 鍍 形 成 盲 孔 BVH , 則 在 電 鍍 膜 與 内 曆 銅 箔 1 »1 I 之 間 > 堪 殘 留 一 部 份 樹 胞 9 所 以 當 由 於 热 循 環 等 而 施 加 應 1 j 力 時 9 將 以 殘 留 樹 脂 部 份 為 起 點 發 生 霣 鍍 膜 之 剝 落 0 因 此 1 1 必 要 在 雷 射 加 工 後 t 檢 査 盲 孔 殘 留 樹 脂 之 厚 度 0 1 I 施 行 此 種 光 學 檢 査 之 檢 査 装 置 > 已 知 有 如 第 24圖 所 示 1 1 之 使 用 光 學 顯 微 鏡 者 0 此 種 檢 査 裝 置 9 係 由 光 源 100 發 出 1 之 照 明 用 白 色 光 經 光 束 分 離 器 (Β e a m s P 1 i 11 e r )1 01 • 經 I·!* 趣 1 1 I 對 物 透 鏡 102, 昭 <vw 射 至 印 刷 電 路 基 板 V , 由 印 刷 電 路 基 板 V 之 1 1 反 射 光 ， Μ 對 物 透 鏡 102 擴 大 » 在 结 像 透 鏡 103 前 方 形 成 1 1 倒 立 實 像 Ea % 然 後 以 CCD 撮 影 櫬 104 播 取 該 實 像 Eb 0 1 1 將 光 學 顯 微 鏡 之 白 色 照 明 光 照 射 至 殘 留 樹 脂 之 表 面 時 1 1 本紙張尺度適/1]肀國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公嫠） 2 310043 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五 、發明説明 (3 ) 参 其 一 部 份 被 反 射 9 其 餘 則 透 過 殘 留 樹 脂 9 到 達 底 部 之 内 層 飼 箔 而 反 射 t 所 對 銅 萡 上 較 薄 厚 度 之 樹 脂 * 如 Μ 白 色 光 為 照 射 光 照 射 $ 則 大 部 份 反 射 光 由 内 都 鐧 箔 返 回 • 所 Κ · 不 易 識 別 有 否 殘 留 樹 脂 0 因 此 9 使 用 光 學 顯 微 鏡 之 檢 査 裝 置 9 即 使 能 夠 檢 査 出 殘 留 約 10 U D 程 度 以 上' 樹 脂 » 其 對 檢 査 數 U m 程 度 之 殘 留 樹 脂 的 檢 査 精 確 並 不 良 1 因 而 不 通 合 使 用 於 量 產 線 上 之 檢 査 於 是 9 不 得 不 在 電 鍍 後 將 加 工 部 切 斷 /研磨後， Μ 斷 面 觀 察 殘 留 樹 脂 之 厚 度 9 而 有 檢 査 較 費 時 間 t 且 不 能 做 全 數 檢 査 之 問 題 〇 在 印 刷 電 路 基 板 光 學 檢 査 裝 置 中 9 有 採 用 紫 外 媒 雷 射 光 者 t 如 曰 本 專 利 局 之 公 開 專 利 公 報 特 開 平 7- 8 384 1 所 揭 示 0 該 光 學 檢 査 裝 置 t 如 第 2 5圖 所 示 具 備 紫 外 線 雷 射 光 m 2 00 , 準直透鏡（ C 0 11 i η at 〇 r 1 e η S ) 201 , 反 射 鏡 20 2 , 光 束 分 離 鏡 203 , 以 馬 達 驅 動 之 轉 動 多 面 鏡 204, 掃 描 透 鏡 205 , 再 结 像 用 透 鏡 20 6 , 针 孔 (P i η h ο 1 e) 元 件 207 及 光 電 子 放 大 管 (P ho to 祖u 11 ip 1 i er)208 Ο 上 述 光 學 檢 査 裝 置 係 將 紫 外 光 雷 射 光 源 所 產 生 之 雷 射 光 費 以 準 直 透 鏡 201 擴 大 ，擴大之雷射光， 經 由 反 射 鏡 20 2 , 光 束 分 雛 鏡 2 03 , 専 入 轉 動 多 面 鏡 46 f 藉 轉 動 多 面 鏡 46掃 描 » 掃 描 (S c a η) 透 耪 205 , 在 檢 査 對 象 之 印 刷 電 路 基 板 上 集 光 〇 由 雷 射 光 照 射 9 使 印 刷 電 路 基 板 V 所 產 生 之 紫 外 光 沿 著 與 入 射 路 經 相 反 方 向 » 向 入 射 方 向 回 授 $ 而 引 入 光 學 通 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 3 310043 請 先 閲•二 讀 背 Φ 之. 注·ί 意 事 項 再~ 頁 裝 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五 、發明説明（4 ) 1 1 路 中 所 配 置 光 束 分 離鏡203 之 再 起 反 射 檢 知 糸 統 0 該 紫 外 1 1 反 射 光 再 结 像 用 透鏡206 结 像 0 再 结 像 用 透 鏡 206 之 结 1 I 像 面 t 可 Μ 用 檢 査 對 象 印 刷 電 路 板 V 雷 射 光 t 照 射 點 近 旁 V 請 1 1 之 圈 像 觀 察 〇 配 置 在 該 结 像 面 上 之 計孔元件2 07, 只 分 雛 先 閱ί 1 1 出 中 央 部 份 參 Κ光霣子放大管208 檢 出 0 V( 背 之* 1 1 Τι 上 述 光 電 檢 査 裝 置 在 掃 描 印 刷 電 路 基 板 全 體 ， 檢 出 有 意 事 1 I 底 孔 或 溝 加 X 部 % 以 施 行 出 t 有 檢 査 較 費 時 間 之 問 題 0 項 再& 1 I 裝 I 這 是 因 為 使 用 轉 動 多 面 鏡 * 所 以 不 能 將 雷 射 光 送 至 新 指 令 -4 本 1 位 置 為 其 缺 點 0 I I 又 $ 因 係 以 反 射 光 檢 出 $ 所 >λ 檢 査 對 象 之 印 刷 電 路 基 1 1 | 板 傾 斜 時 9 可 能 影 響 檢 査 结 果 0 在 结 像 面 配 置 光 罩 (m a s k) 1 1 (針孔元件） 9 引 出 該 中 心 部 之 光 9 施 行 反 射 光 之 檢 出 則 訂 1 因 為 細 m 度 降 低 太 多 9 所 Μ 較 難 確 實 檢 出 殘 留 樹 胞 0 1 1 本 發 明 即 用 VX 解 決 上 述 問 題 t 提 供 Μ 非 破 壊 性 $ 高 精 i 1 1 確 » 高 速 確 實 及 高 可 靠 度 檢 出 飼 萡 上 之 殘 留 樹 脂 的 印 刷 電 1 線 路 基 板 檢 査 裝 置 9 且 具 備 將 未 去 除 材 料 再 行 去 除 之 再 加 工 1 I 功 能 之 印 刷 電 路 基 板 檢 査 裝 置 為 g 的 〇 1 I [本發明之掲示] 1 1 本 發 明 提 供 具 備 雷 射 振 % 器 t 將 刖 述 雷 射 振 盪 器 输 出 • 1 之 雷 射 光 之 照 射 位 置 定 位 於 所 指 令 之 互 成 垂 直 之 X 軸 方 向 1 1 及 Y 軸 的 任 意 位 置 之 掃 描 位 置 及 用 Μ 檢 出 由 雷 射 光 照 射 1 I 印 刷 電 路 基 板 所 產 生 之 光 之 檢 出 器 之 印 刷 電 路 基 板 檢 査 装 1 1 | 置 0 於 是 9 可 用 掃 描 裝 置 立 即 將 雷 射 光 之 照 射 位 置 設 定 在 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（⑽）μ規格（2獻滕羡）4 3 1 00 43 五、發明説明fe A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 轉流 有照檢的 描信 光段裝 之 射印 底 部 直電 之 光述否 掃出 射手査 狀 雷的 有 η 垂刷 板射前良 制輸 雷光檢 形 /板的 出 加 成印 基 雷據之 控 之 之集板 同 '基寬 溢 溝 互之 路制依果 ，器 出與基 相 路溝 會1¾ 含成 電控及结 置出 输器路 狀 電之 不 孔 包櫞 刷置.，査 位檢 器通罨 形 刷部 亦 底 由所 印裝部檢 標摟 通振刷 孔 。印工 光 有 係合 行描制的 座依。振射印 開板之加 射 之 ，組 施掃控置 之部否射雷之 之基象溝 雷 砠 置之 存述之位 。憶斷良雷述件 件路對或 ， 對 裝鏡 儲前置標置記判之述前元 圓電査徑 差 。査 描透KM位座裝所M果前在軍 罩刷檢口 誤，査檢 。 掃描 用 ，檷各査於.，结將置光 光印射孔 干檢個 置述掃 備置座在檢應置査 備設及 的至照底 若確 1 位前及 具位之斷板對位檢具及系 形光使有 。有正對 棵供 ， 供標憶判基部射置供 K 學 圓射供於置位做供 座提鏡 。提座記 ，路制照位提：光 正雷提小裝定可提 之明流置明之 所號電控之檷 明段印 以射明 ，査使 ，明 意發檢裝發 Η 於信刷M光座發手轉 可照發徑檢即部發 任本個査本加制出印 ，射各本光像 ， ，本口板 ，!* 之 ，2 檢 ，溝控输之 是雷斷 ，集影 是狀 ，束基此加 ， 令又之 之又或置之部於之判又之之 於形又光路因溝又 指 軸板 孔位器斷 置， 光間。 束 之電 或 所 動基 底射出判 装號 集之置 光 光刷 孔 » (請先閲讀背面之浴意事項l-rn?本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 5 310043 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、 發明説明（6 ) 1 1 » 光 點 (S P 〇 t) 照 射 複 數 個 位 置 之 雷 射 光 9 Μ 判 斷 印 刷 電 路 1 j 基 板 良 否 之 印 刷 電 路 基 板 檢 査 装 置 〇 • - 1 I 於 是 » 可 kk 對 1 個 有 底 孔 9 施 行 複 數 個 位 置 之 光 點 照. 諸 1 1 先 1 射 » 進 行 正 確 檢 査 0 閱， 讀 1 又 » 本 發 明 提 供 以 十 字 方 向 掃 描 有 底 孔 部 或 溝 加 工 部 背 面 之* νΐ» 意 1 J 判 斷 印 刷 電 路 基 板 良 否 之 印 刷 電 路 基 板 檢 査 裝 置 0 1 I 事 1 斷 fei 於 是 » 可 Μ 不必掃描有底孔或溝加工部 之 全 體 而 判 k -ι··^ 本 1 I 良 否 0 裝 頁 1 又 本 發 明 提 供 前 述 檢 出 器 係 將 光 學 元 件 以 陣 列 1 I (a Γ Γ a y ) 狀 配 置 » 而 由 各 光 學 元 件 输 出 信 號 之 印 刷 電 路 基 1 1 1 板 檢 査 裝 置 〇 1 1 訂 於 是 1 可 用 檢 出 器 依 由 檢 査 對 象 之 印 刷 電 路 基 板 產 生 1 之 反 射 光 所 形 成 之 影 象 ， 判 醑 良 否 0 1 1 又 9 本 發 明 提 供 具 有 撮 影 機 (C a η e r a ) » 設 置 在 印 刷 電 « 1 I 路 基 板 反 射 光 光 路 中 途 參 將 印 刷 電 路 基 板 反 射 光 分 光 至 J)UU 刖 1 線 述 檢 出 器 及 前 述 撮 影 機 之 分 光 器 的 印 刷 電 路 基 板 檢 査 裝 置。 1 1 於 是 » 可 對 播 影 櫬 進 行 由 檢 査 對 象 之 印 刷 電 路 基 板 產 1 1 生 之 反 射 光 之 影 像 > 判 斷 良 否 0 1 1 又 t 本 發 明 提 供 對 雷 射 振 1 器 輸 出 雷 射 光 9 及 由 印 刷 1 電 路 基 板 之 反 射 光 之 傳 送 可 予 >λ 選 擇 性 地 遮 斷 的 光 遮 斷 1 j 手 段 之 印 刷 電 路 基 板 檢 査 裝 置 0 1 I 於 是 9 可 遊 免 雷 射 光 不 必 要 地 照 射 印 刷 電 路 基 板 9 及 1 1 1 將 印 刷 電 路 基 板 反 射 光 射 入 雷 射 振 通 器 側 0 1 1 又 > 本 發 明 提 供 由 在 檢 査 開 始 前 所 實 測 之 檢 査 對 象 之 1 本紙張尺度適用中國國家樣率（cns ) ⑺_膽）β 3 1 0 04 3 A7 B7 經濟部中央揉準局員工消費合作社印製 五、 發明説明 (7 ' 1 | 印 刷 路 基 板 樹 脂 部 之 光 強 度 * 與 良 品 孔 之 光 強 度 設 定 良 «% I 品 判 定 值 之 印 刷 電 路 基 板 檢 査 裝 置 0 1 1 於 是 9 不 管 印 刷 電 路 基 板 樹 脂 部 種 類 及 雷 射 光 強 度 降 * 請 1 1 | 低 ，也都可正確判斷良否。 先 閲 讀 1 « 1 又 » 本 發 明 提 供 可 Μ 依 照 檢 査 開 始 前 所 實 測 之 檢 査 對 背 1 I 之 象 之 印 刷 電 路 基 板 之 光 強 度 ， 對 雷 射 振 盪 器 等 的 故 障 » 施 >王 意 事 > r 1 行 白 我 診 斷 之 印 刷 電 路 基 板 檢 査 装 置 〇 再 -1 於 是 9 在 檢 査 開 始 前 可 依 檢 査 對 象 之 印 刷 電 路 基 板 本 裝 頁 1 之 光 強 度 對 雷 射 振 盪 器 等 t 施 行 白 我 故 障 診 斷 0 1 I 又 f 本 發 明 提 供 具 有 用 檢 出 雷 射 光 振 通 器 輸 出 雷 射 1 1 I 光 強 度 之 雷 射 檢 出 器 t 依 刖 述 印 刷 霣 路 基 板 所 產 生 之 光 之 1 1 訂 1 檢 出 器 之 輸 出 信 號 與 前 述 雷 射 檢 出 器 m 出 信 號 施 行 良 否 判 斷 之 印 刷 電 路 基 板 檢 査 装 置 0 1 於 是 » 可 以 不 管 雷 射 光 強 度 降 低 等 現 象 $ 同 樣 可 Μ 腌 1 | 行 正 確 之 良 否 判 斷 0 1 1線 又 t 本 發 明 提 供 將 試 科 片 置 於 固 定 之 預 定 位 置 » 霤 1 I 射 光 照 射 .Χ.Λ. 刖 述 試 料 片 t 檢 出 照 射 位 置 $ 施 行 光 學 系 誤 差 修 1 1 正 之 印 刷 電 路 基 板 檢 査 裝 置 0 \ 1 於 是 可 以 白 動 施 行 光 學 糸 誤 差 修 正 0 J 1 又 > 本 發 明 提 供 具 有 溫 度 檢 出 手 段 9 溫 度 檢 出 手 段 0 1 | 當 該 溫 度 檢 出 手 段 檢 出 溫 度 » 或 該 溫 度 檢 出 手 段 檢 出 之 溫 1 I 度 之 變 化 超 過 預 定 值 Μ 上 時 » 可 以 施 行 光 學 系 誤 差 修 正 之 1 1 I 印 刷 电 路 基 板 檢 査 裝 置 0 1 1 於 是 事 當 溫 度 或 濕 度 變 化 至 預 定 值 以 上 時 可 >λ 白 動 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 7 310043 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、 發明説明（8 1 I 施 行 光 學 系 誤 差 修 正 〇 -* 1 I 又 本 發 明 提 供 在 每 經 遇 預 定 時 間 後 9 可 對 光 學 系 定· _ - 1 1 I 期 施 行 誤 差 修 正 之 印 刷 電 路 基 板 檢 査 裝 置 0 /—\ 請 1 1 1 於 是 每 經 過 預 定 時 間 即 白 動 施 行 光 學 糸 誤 差 修 正 0 先 閲4 讀 1 I 又 > 本 發 明 提 供 具 備 再 加 工 用 雷 射 振 盪 器 9 及 將 刖 述 背 面 之‘ 1 I 1 I ] I 再 加 工 用 雷 射 振 通 器 輪 出 雷 射 光 • 選 擇 性 地 切 換 至 與 檢 査 意 事 用 雷 射 振 通 器 之 雷 射 光 相 同 光 軸 照 射 印 刷 電 路 基 板 之 雷 射 項 再一 Λ 光 路 切 換 器 ， 以 前 述 再 加 工 用 雷 射 振 通 器 輪 出 雷 射 光 照 射 未 頁 裝 I 經 判 定 為 不 良 之 有 底 孔 部 等 加 工 部 9 修 正 不 良 部 之 印 刷 'W·· I I 電 路 基 板 檢 査 裝 置 0 1 1 I 於 是 1 可 在 檢 査 裝 置 上 正 確 而 有 效 地 修 正 不 良 部 0 1 1 訂 1 又 * 本 發 明 提 供 將 具 有 不 良 部 之 座 標 位 置 加 Μ 記 憶 t 在 一 張 印 刷 電 路 基 板 檢 査 结 束 後 t 再 對 不 良 部 施 行 加 X 之 I 1 檢 査 裝 置 0 • 1 | 於 是 » 可 在 檢 査 裝 置 上 正 確 而 有 效 地 修 正 不 良 部 0 1 1 線 又 t 本 發 明 提 供 具 有 使 霤 射 振 邋 器 輸 出 雷 射 光 束 徑 變 1 化 的 準 直 (C 〇 1 1 i m a t i on ) 櫬 構 9 對 經 判 定 為 不 良 之 有 底 孔 1 1 部 之 加 工 部 » 將以前述準直 機 構 改 變 光 束 直 成 為 小 於 檢 査 «1 1 時 之 光 束 之 雷 射 光 照 射 1 以 施 行 不 良 部 修 正 之 印 刷 電 路 基 1 1 板 檢 査 裝 置 〇 1 1 於 是 > 可 Μ 不 需 另 設 再 加 X 用 雷 射 振 盪 器 » 在 檢 査 裝 1 I 置 上 正 確 修 正 不 良 部 〇 1 1 I 又 ， 本 發 明 提 供 由 不 良 部 近 傍 所 形 成 碳 化 部 為 起 點 ， 1 1 施 行 不 良 部 之 加 X 的 印 刷 霉 路 基 板 檢 査 裝 置 〇 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 8 310043
7 7 A B #ί沪部+ -^i?r,ifx'Jh 1·消於合 M.H"· 五、發明説明（9 ) 於是，不必縮小光束口徑，即可在檢査裝置上正確修 正不良部。 又，本發明提供對補正用加工基板豳行加工，檢出其 加工位置，施行光學系之誤差修正之印刷電路基板檢査裝 置。 於是，可Μ對補正用加工基板加工，檢出其加工位置 ，施行光學糸誤差修正。 又，本發明提供，以圓環形狀或十字形狀加工，檢出 其加工位置，而施行光學系誤差修正之印刷電路基板檢査 裝置。 於是，即使加工孔之口徑極小，亦可檢出該加工位置 而施行光學系誤差修正。 [附圖之簡單說明] 第1圖為表示本發明印刷電路基板檢査裝置之實腌形 態1之構成圖； 第2圖（a)為將雷射光照射樹脂殘留部時，產生螢光反 射光之情形，Μ模式表示之說明圖； 第2圖（b)為表示雷射光波長與螢光波長闞係之關係阃； 第3 _為表示K檢流鏡掃描區分掃描領域之說明鬭； 第4圖為表示檢査對象之印刷電路基板定位構造之斜 視圖； 第5圖（a)、 (b)分別為表示有底孔及雷射光之位置闞 係之說明_ ; 第6阃（a)至（c)為K槙式表示有底孔之樹脂殘留形態 本纸张尺度通用个阀國家標率（CNS ) Λ4規格（21 OX 297公釐） 9 310043 (計先閱讀背面之注意事項再域寫本頁) Γ .装. 訂 A7 B7 X- f 五、 發明説明 10) 1 l 之 說 明 圖 t 暫 I 第 7 圖 係Μ 模 式 表 示 ， K 雷 射 光 點 照 射 —. 涸 有 底 孔 之 • 1 I 複 數 個 部 份 之情 形 的 說 明 圖 ； 二 1 1 1 第 8 阃 表示 Η 雷 射 光 點 照 射 一 個 有 底 孔 複 數 個 部 位 時 閱 1 f 讀 1 I 之 信 號 處 理 電路 之 理 輯 電 路 圖 ； 背 ιέ 1 ί 之 Γ 第 9 圖 (a)至（c) 表 示 十 字 掃 描 時 之 信 號 輸 出 與 有 底 孔 意 1 事 1 位 置 誤 差 關 係之 說 明 圖 5 項 、 第 10圖 為表 示 印 刷 堪 路 基 板 檢 査 處 理 順 序 之 流 程 圖 ； % 本 } t 裝 η 1 第 1 1 圖 為表 示 本 發 明 印 刷 電 路 基 板 檢 査 裝 置 之 實 施 形 ••W 1 1 態 2 之 m 成 圖； 1 1 第 12圖 為表 示 本 發 明 之 印 刷 電 路 基 板 檢 査 裝 置 之 實 施 1 1 形 態 3 之 構 成圖 0 訂 1 第 13圖 為用 以 表 示 判 定 位 準 圖 與 判 值 關 係 之 圖 表 1 1 第 14圖 為表 示 本 發 明 印 刷 電 路 基 板 檢 查 装 置 之 實 施 形 •1 態 4 之 構 成 圖； 'll 第 15圖 為表 示 影 像 感 知 (i 麗a g e S e η so r) 型 檢 出 器 信 號 1 輸 出 特 性 之 圖； 1 1 第 16 圖 為表 示 本 發 明 印 刷 罨 路 基 板 檢 查 裝 置 之 實 腌 形 [ 1 態 5 之 構 成 m ； 1 1 第 17圖 (a )， (b)為表示位置誤差補正用之試料Η之斜 1 I 視 鬮 i 1 1 I 第 18贓 (a )， (b)為表示掃描系之光學失真之形態之說 1 1 1 明 IBB 闢 9 1 1 第 19圈 為表 示 本 發 明 印 刷 電 路 基 板 檢 査 裝 置 之 實 施 形 1 1 本纸乐尺度述州中《國家標準（CMS ) Λ4規格（2丨0X297公釐） 10 310043
7 7 A B {圖明成説構明之 發6 、態五 /18». ^參. 充 附件一 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第？第.，第第第第 態 圖 形 視 件 元 03602567460000 11122222331122 胞 斜 實 之 之 樣 置 模 裝 工 査 加 檢 的 板 真 基 失 路學 電光 刷償 印補 之 示 明表 發 為 本b) 一不.Λ 表圖卜 為成(a 圖構圖 ο - 1* 2之2 圖 圖。 明；成圖 說圖構成 之明的構 工說置之 加的裝置 射工査裝 雷加檢査 板射之檢 基雷板板 路之基基 電孔路路 刷底電電 印有刷刷 示示印印 表表用用式式習習 模模示示103 MM表表 f 為為為為y 圖圖圖圖U 2 3 4 5 號 系 學 器光 盪射 振轉板鏡 射像罩流 雷影光檢 鏡 光鏡 漶光 鏡斷分鏡 透遮色透 直光向描 準螢二掃 台元部機口轉板感光感 透鏡子 平孔斷影速像基像射度源像射電 ΧΥ針判攝光影小影雷濕光结反光 鏡 透件 14 7 1 11 一^- il 器 出 鏡檢 光光 漶螢 器 腦光 電分位上23 鏡 透 整鏡 調透 徑寫 器 換 器切器 測路測 管 大 鏡放 6 8 5 6 0 0 2 2 3 4 12 部 鏡制 透控 - - 、 m Hi m n —1 m In m 11^ m m ‘(請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁).， 源 光 器 器鏡射鏡 出 門測面鏡雷離 檢片 遮感多透線分 射料料晶度動物外束 雷試塗液溫轉對紫光 訂 態 形 佳 最 之 明 發 本 施 實 射透雷 雷直由 ..準將 備之5 具徑板 置口罩 裝光光 査射4 檢雷鏡 本出光 ，輸濾 明1斷 發器遮 本還光 明振螢 說射〇〇 细雷糸 詳整學 圖調光 附以射 照用轉 參1像 Η器影 盪2; 振鏡 光)6 二rC 射o r 雷ΓΓ1Γ • ·1 0 之S 出 cno 輪oiva 器hral 盪icu 振(d流 射鏡檢鏡印 描 —電 掃1 8涵 及 向 方 軸 板 基 路
V 之 上 2 第 之 描 掃 向 方 軸 Υ Μ 光 射 ί,雷 射 使 反;ΰ 之 透 穿 光 螢 使 而 光 分 色 向 流- 之 翥a 2 f C i s s 及H鏡 檢 7 至¾ Λ掃 檢之1 2自 第Ξ構 雷 M-等 之 將Ϊ鏡 .，向 8 透 方 0 ^ }軸Θ Γ f y通光 (XW 螢 置板使 裝基.， 台路11 平電鏡 XY刷光 之印漶 Ξ之的 射長 基3、？ 纟照波 路 電％i ί射光 爾 卩雷螢 印 i受之 之 g由來 象 擇而 alf S 1 査 6 檢 置 r ·，分 載o h ·’ 1色 ον νί/ } e向 s g -η 3 二 e t · s 過 要過16 必通部 不出斷 面檢判 點Μ及 隹-用·’ 於.，15 而13部 12件制 鏡元控 透e); 11 4 像Ο 1 结h器 再in出 過(P檢 通孔光 將針螢 ;之之 12除光 鏡切螢 透M13 之予件 像訊元 结資孔 再之針 本紙張又度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 1 1 (修正頁）3 1 0 0 43 A7 B7 朽铲部中头订^而只-T消爽合竹.·；：.印欠 五、 發明议明（12 ) 1 1 第 1 檢 流 鏡 7 及 第 2 檢 流 鏡 8 之 旋 轉 軸 π 成 垂 直 0 Μ 該 第 1、 第2兩 ga 1 v a η 0 鏡 7， 8 及 掃 描 透 鏡 9 之 組 合 f 彼 此 互 動 ， 將 雷 射 光 之 照 射 位 置 9 改 變 設 定 互 為 垂 直 之 X 軸 方 二 1 向 及 Y 軸 方 向 之 任 意 座 標 位 置 0 先1 閱 t 控制部1 6係依 照 設 於 中 央 處 理 室 之上位電腦17之指令 背1 面 1 之I 1 事1 9 控 制 雷 射 振 盪 器 1 , 第 1 檢 流 鏡 8, 及XY台 裝置10之動作 0 判定部1 6由螢光檢 出器14输入螢光強度信號 施 行 判 項 ^ 1 %敛 本t T\ 斷 螢 光 強 度 是 否 在 良 杏 判 斷 偵 K 下 之 良 品 判 斷 處 理 9 並 將 該 判 斷 结 果 傳 送 至 上 位 電 腦 17 〇 Vw^ i 1 本 發 明 之 印 刷 電 路 基 板 用 檢 查 裝 置 係 應 用 當 以 雷 射 光 1 1 1 照 射 樹 脂 部 或 有 底 孔 或 溝 加 I 部 之 樹 脂 殘 留 部 時 ， 如 第 2 1 1 圖 (a ) 所 示 會 產 生 螢 光 之 現 像 0 如 第 2 圖 (b) 所 示 9 螢 光 訂 1 會 發 出 比 雷 射 波 長 更 長 之 波 長 之 光 (- -般為可視光） 0 二 向 1 1 色 分 光 鏡 6 可 K 反 射 雷 射 振 盪 器 1 輪 出 之 莆 射 光 ， 但 使 其 1 他 波 長 之 光 線 穿 透 0 而濾光鏡11係用Μ將入射於螢光檢出 1 1 泉 1 1 器 14之入 射 光 中 只 選 擇 檢 査 對 象 之 波 長 時 使 用 0 Μ 注 » 在 螢 光 覼 察 時 ，以相同雷射能綦（ 1 a s e Γ P 〇 w e r) 1 ί 時 » 紫 外 光 可 觀 察 到 較 高 之 螢 光 強 度 0 所 K 般 都 使 用 紫 1 1 外 光 0 但 是 9 紫 外 光 必 須 使 用 例 如 石 英 玻 璃 等 特 殊 光 學 系 1 t 吸 收 較 大 t 損 失 也 較 大 及 光 學 糸 價 錢 較 高 為 其 缺 點 0 本 1 案 發 明 人 之 實 驗 9 雷 射 振 通 器 1 係 使 用 波 長 47 3η 職t 30bW 之 1 1 2 w 固 賴 雷 射 0 1 I 雷 射 振 通 器 1 側 之 滤光鏡4,揉用 使 波 長 450〜490nm 之 1 1 I 光 之 m 光 鏡 » 二 向 色 鏡 6 則 採 用 反 射 495 η m Μ 下 之 波 長 之 1 1 姆尺細中_辦（cns靖（2丨οχ瓣f ) 1 2 3 1 0043 A7 B7 1 部 屮
•A il n- 竹 卬 r. 五、 發明明 (1 3 ) 1 i 光 者 0 螢 光 檢 出 側 m 光 鏡 1 1 之 濾 光 鏡 11 則 採 用 5 2 0 n m Μ 下 - I 之 波 長 不 能 透 過 0 印 刷 電 路 基 板 上 之 有 底 孔 之 加 工 乃 採 用 1 1 二 氧 化 碳 氣 艄 雷 射 (8 a s 1 a s e r ) 0 二 1 1 if) I 表 1 為 變 化 二 氧 化 碳 氣 體 雷 射 之 點 射 (S h c t: 數 0 分 別 閱 1 \ 讀 1 | U 使 用 水 銀 燈 及 雷 射 光 之 情 形 記 載 螢 光 光 強 度 (在表中係 背 ι6 1 1 之 I I Η 爆 光 時 間 (秒） 表 示 9 故 光 強 度 為 數 值 之 倒 數 )在去殘留 注 意 | 事 1 (d e s m e a r ) 處 理 丄 刖 之 比 較 0 項 1 表 一 % 本 裝 頁 1 脈 銜 數 水銀燈光 30 ffl W雷 射 光 去殘留處理前 1 I 3 280 10 不 良 品 1 1 5 300 14 不 良 品 1 1 7 370 104 良 品 訂 1 1 該 印 刷 電 路 基 板 係 經 點 照 數 7 脈 衝 加 工 後 ， 經 去 殘 留 1 I 處 理 9 而 觀 測 不 出 殘 留 樹 脂 之 殘 留 者 0 印 刷 電 路 基 板 之 有 1 底 孔 底 部 之 樹 脂 殘 留 約 為 0 . 2 u α 0 . 6 u η 時 9 則 可 確 認 在 I 後 工 程 之 去 殘 留 處 理 時 f 可 去 除 殘 留 樹 脂 0 1 1 依 表 1 可 知 9 水 銀 燈 光 時 f 表 示 不 良 品 之 光 強 度 相 差 1 1 不 多 0 但 使 用 雷 射 光 時 # 不 良 品 與 良 品 出 現 約 1 0倍 螢 光 強 1 1 度 之 差 0 1 I 如 V A. 則 以 習 用 例 所 做 說 明 > 在 正 常 加 工 结 束 後 ， 有 底 孔 1 1 I 底 部 m 有 小 於 1 u e m 之 樹 脂 殘 留 0 簞 色 性 及 相 位 符 合 之 雷 射 1 1 1 光 » 在 厚 度 為 相 當 於 光 波 長 程 度 之 極 薄 樹 脂 亦 能 吸 收 雷 射 1 1 光 而 產 生 螢 光 t 但 相 位 不 齊 整 之 水 銀 燈 » 則 因 光 會 通 55 薄 1 1 本纸张尺度述川中囤國家標枣（C'NS ) Λ4规格（210X297公楚） 13 310043 A7 B7 五、 發明说明 (1 4) 1 | 樹 脂 而 不 會 產 生 螢 光 $ 而 不 能 檢 査 ， 全 面 螢 光 本 身 之 強 - I 度 太 低 9 判 斷 m 為 困 難 0 r I I 在 有 底 孔 底 部 0 . 6 /i ίο 之 殘 留 樹 脂 經 去 殘 留 處 理 後 9 即 1 I I 可 去 除 f 所 Μ 非 不 良 0 但 如 果 樹 腊 殘 留 過 厚 $ 則 去 殘 留 先 閱 1 卜 讀 } j 處 理 無 法 去 除 9 在 氧 化 碳 雷 射 加 工 後 ， 去 殘 留 處 理 前 可 背 之 I 有 效 檢 出 加 工 不 良 〇 1 1 事 1 在 發 明 人 之 實 驗 1 採 用 波 長 47 3 η m 之 雷 射 光 * 可 充 份 項 再一 Ν I 檢 出 寘 質 0 . 5 /i q Μ 上 之 樹 脂 殘 留 0 % 本 τγ 裝 I 並 且 9 针 孔 元 件 13與 習 用 者 不 同 » 其 配 置 位 置 並 不 在 Η 1 1 I 影 像 轉 射 面 9 而 係 配 置 在 隹 點 面 0 因 此 可 Μ 在 不 使 螢 光 1 1 強 度 降 低 之 下 將 i 的 之 螢 光 >λ 外 之 光 切 除 ，所以可做S / N比 1 1 值 高 之 高 m 敏 度 之 檢 査 為 其 優 點 0 訂 I 在 曰 本 特 開 平 7- 83 841 號 公 報 所 掲 示 之 裝 置 $ 係 Μ 雷 1 1 射 光 對 檢 査 對 象 物 Μ 旋 轉 多 面 鏡 掃 描 0 此 稱 方 式 * 必 須 對 I 印 刷 電 路 基 板 全 體 掃 描 ， 所 Μ 非 常 費 時 間 〇 且 僅 >x 旋 轉 多 1 1 面 體 與 掃 描 透 鏡 組 合 t 掃 描 透 鏡 再 大 也 是 2 0 0m 之 直 徑 1 亦 只 能 含 Μ 約 120b IX 12 0η m之領域而已。 1 1 要 含 蓋 上 述 上 之 領 域 t 必 須 使 掃 描 透 鏡 與 印 刷 電 路 1 1 基 板 之 距 離 大 10 100 倍 t 掃 描 透 鏡 之 焦 點 距 離 亦 須 10 1 1 100 倍 則 印 刷 電 路 基 板 上 之 點 射 大 小 (S P 〇 t si z e ) 即 變 1 1 大 而 使 螢 光 檢 出 困 難 0 為 了 檢 出 此 種 點 射 尺 寸 t 雷 射 光 1 1 I 之 能 最 需 提 高 100, - 1 萬 倍 ， 所 Μ 要 包 括 一 般 印 刷 電 路 基 板 1 1 I 6 0 0 m m X 5 0 0 m m尺寸， 相當困難。 1 1 本 發 明 之 檢 査 裝 置 採 用 第 1、 第2 之兩個檢滾鏡7 8 1 1 14 本纸认尺度丨’围國家標準（CNS ) Λ4规格（210X297公釐） 310043 A7 B7 五、發明説明（15) 以構成掃描光學糸，將有底孔或溝加工部之對象之印刷電 路基板W上之座標位置預先登記於上位電腦17,無須採用 如螢幕掃描（raster* scan)之手法，一開始即可將雷射光 照射位置設定在有底孔或溝加工部，即可施行檢査。如此 ，可進行高速檢査。 掃描領域之界限為與使用旋轉多面體之情形相同之程 度。例如，將印刷電路基板W,如第3圖所示，區分為約50 m m X 5 0 b m之檢流鏡掃描領域A 1、A 2 . . . . A η，在每一領 域掃描结束，將ΧΥ台裝置10作ΧΥ移動至下一次之領域而移 動印刷電路基板W,而開始下次領域之檢査，即可掃描印刷 電路基板全部領域。 當然，在需要更高速化時，使ΧΥ台裝置10及檢流鏡7 、8同時移動檢出即可。 上述實施形態係Μ檢流鏡（檢流掃描器 gal va no -scanner),為例說明，但使用A0(音響光學元件）或E0(電 磁光學元件）掃描，亦可得同樣效果。 如第1闢所示之檢査裝置，在雷射振盪器1之後段， 配置準直透鏡2,其後再配置影像轉射光學糸3及其中央有 穿孔之光罩板5 。 其次，說明配置影像轉寫光學糸3及光罩板5之琿由 。當雷射振通器1為例如半等髀雷射，厚平板梨（slab)雷 射時，雷射光束之強度分佈不一定是縦横豎相同，有發散 角度不同，縱横豎之M2值（集光性能）不同之情形。此時， 若將笛射光不改變而傳送並以掃描透鏡9集光時，則焦點 本纸张尺度述;彳]屮囤國家楛羋（CNS ) Λ4規格（2】0X297公漤） 310043 15 A7 B7
:A 部 屮 .1 消 合 <? V： 五 發明説明（16 ) 1 1 位 置 之 雷 射 光 特 性 不 變 9 而 成 為 椭 圓 形 狀 0 此 時 9 即 使 用 « | 影 像 轉 射 光 學 % 3 及 光 罩 4 0 - I 雷 射 光 係 Μ 影 像 轉 寫 光 學 系 3. 構 成 為 比 光 罩 板 5 之 孔 二 ifi 先 1 1 1 徑 較 大 之 形 式 0 雷 射 光 JW 光 罩 板 8 雷 射 修 正 其 光 束 形 狀 0 閱 讀 1 I 換 言 之 » 在 光 罩 出 P 即 得 帶 有 光 罩 孔 形 狀 之 雷 射 光 0 假 定 背 1 之 注 意 1 光 罩 至 掃 描 透 鏡 之 距 離 為 La, 掃 描 透 鏡 至 印 刷 電 路 基 板 之 1 1 離 透 事 項 1 距 為 Lb , 掃 描 鏡 8 之 焦 點 距 離 為 f , 、1 則 在 = (1/La) + (Ι/Lb)= 1/f 本 頁 裝 | 位 置 t 可 Μ 再 得 與 光 罩 孔 形 狀 相 似 之 光 束 0 舉 例 來 說 1 光 'w 1 I 罩 板 5 之 孔 形 狀 為 正 圓 時 則 在 印 刷 電 路 基 板 上 照 射 正 圓 1 1 | 形 之 雷 射 光 0 1 1 訂 通 常 ， 在 不 同 裝 置 上 要 檢 出 同 —* 座 標 之 機 櫞 « 採 用 如 1 第 4 圖 所 示 9 在 印 刷 電 路 基 板 W 設 置 2 處 上 之 定 位 孔 Va 1 1 > 在 該 定 位 孔 Va » 由 平 台 (t a b le ) 側 插 入 定 位 梢 (p in )10a 1 >λ 取 得 定 位 之 方 法 0 此 種 定 位 可 產 生 約 1 0 U m 程 度 之 定 位 % 誤 差 0 而 且 » 檢 流 鋳 等 之 掃 描 系 之 定 位 誤 差 為 10 20 U m , 1 I 平 台 定 位 誤 差 為 約 5 // m 程 度 0 所 K 9 不 可 避 免 地 約 有 整 髒 1 1. 為 30 U m 程 度 之 定 位 誤 差 0 1 1 當 照 射 於 印 刷 電 路 基 板 W 上 之 雷 射 光 之 光 束 直 徑 比 有 - 1 底 孔 f 之 □ 徑 大 時 在 施 行 檢 査 時 9 將 發 生 將 雷 射 光 瞄 V、、、 射 1 1 於 如第5顧（a )所示位置 0 此 時 f 即 使 良 品 有 底 孔 9 其 孔 周 1 I 邊 之 樹 脂 部 之 螢 光 亦 將 螢 光 射 入 螢 光 檢 出 器 14, 而 不 易 判 1 I 斷 良 品 0 I 1 但 是 » 例 如 » 口 徑 為 100" m 之 孔 » 由 上 所 述 精 確 度 檢 1 1 16 本纸张尺度適州屮阀國家標準（CNS ).Λ4規格（210X297公楚） 310043
中 H
>Vi f： A7 B7 部 五 、發明明 (1 7 ) 1 | 査 裝 置 檢 出 時 9 1 0 0 w in -3 0 u η =70 t i m >λ 下 之 光 束 直 徑 之 雷 I 射 光 昭 /、、、 射 印 刷 電 路 基 板 W, 則 如 第 5 鬮（b) 所 示 9 雷 射 光 不 會 1 I 溢 出 有 底 孔 f. 可 以 稱 定 判 斷 良 品 或 不 良 品 0 從 而 1 可 得 高 二 1 1 可 靠 度 之 檢 査 裝 置 0 在 溝 加 工 部 時 9 則 使 光 束 □ 徑 小 於 溝 閱 讀 1 1 幅 即 可 0 背 1 J 之 1 I 又 9 使 光 束 直 徑 縮 小 則 單 位 光 密 度 增 大 % 螢 光 強 度 注 意 華 1 增 強 9 提 高 S/N 比 t 有 提 高 可 靠 度 之 優 點 0 項 Ϊ^Γ 、 有 底 孔 樹 腊 殘 留 形 態 可 分 成 第 6 画 (a )至（ C ) 所 示 種 類 % 本 頁 裝 1 0 第 6圖( a ) 表 示 正 常 品 ， 正 常 品 亦 有 約 1 ju η 之 樹 脂 殘 留 在 1 1 | m 箔 上 〇 第 6圃（b)之 有 底 孔 9 一 部 份 正 常 9 而 有 一 部 份 殘 1 1 I 存 樹 脂 極 厚 ， 不 易 K 去 殘 留 處 理 去 除 0 第 6圖（ C ) 則 全 部 殘 1 1 留 厚 樹 脂 » 為 不 能 Μ 去 殘 留 處 理 去 除 之 不 良 品 〇 1T 1 第 6 圖（b) 之 有 底 孔 之 情 形 t 腌 Μ 電 鍍 (Ρ 1 a t 1 n g ) 可 使 1 1 其 専 通 9 可 使 其 成 為 良 品 0 若 僅 照 射 1 處 雷 射 光 檢 査 時 » * 1 I 结 果 是 只 瞄 射 樹 脂 殘 留 部 檢 査 9 可 能 成 為 不 良 品 〇 •丨 '^泉 針 對 此 點 $ 對 一 有 底 孔 並 不 是 僅 照 射 1 處 雷 射 光 而 施 1 I 行 檢 查 0 而 是 如 第 7 圖 所 示 9 將 光 束 直 徑 更 加 縮 小 ， Μ 雷 1 1 射 光 點 照 射 1 有 底 孔 f 之 複 數 個 處 所 ① 至 ③ Μ 檢 査 0 1 將 雷 射 光 僅 照 射 1 處 檢 査 時 f 只 能 檢 查 第 6 圖（b) 之 樹 1 脂 殘 留 部 9 可 能 成 為 不 良 品 0 要 是 對 1 有 底 孔 f , 以 雷 射 光 1 I 昭 射 其 複 數 個 部 位 ① 至 ③ 檢 査 » 則 如 第 8 ΙΒΒ 國 所 示 * 對 各 昭 1 I 射 位 置 之 螢 光 強 度 » Μ 判 定 器 16 a〜1 6 c 判 斷 0 將 該 判 定 结 1 1 I 果 輸 入 或· 閘 (0R g a t e )1 6d 〇 依 或 閘 1 6d 之 輸 出 9 複 數 個 部 I 1 I 位 中 » 只 要 有 一 部 位 判 定 為 良 品 ♦ 即 可 將 該 有 底 孔 判 定 為 1 1 本縣尺度❹]中_辦（叫以卿獻297公楚）1? 3 1 0 043 竹 卬 V: A7 B7
My 部 t'^^^hh'^^M'^t 五 、發明説明 (18 ) 1 I 良 品 0 I 又 * 假 設 9 殘 留 樹 脂 之 佔 有 底 孔 之 1/3 即 必 須 將 其 判 - 1 I 為 不 良 品 時 > 只 要 使 該 有 底 孔 照 射 雷 射 光 各 處 之 中 * 2/3 二 a 1 1 為 良 品 時 > 即 判 定 該 有 底 孔 為 良 品 即 可 0 Μ 此 播 棰 方 式 處 理 先 閲 讀 1 1 ί 可 使 產 生 成 功 率 提 高 t K 施 行 高 可 靠 度 檢 查 0 背 & 1 1 之 I 以 上 述 構 成 * 尤 其 在 印 刷 電 路 基 板 直 接 加 工 時 為 有 效 注 意 I | 事 1 f 但 在 等 角 (C ο η f 0 Γ BI a 1 ) 加 工 等 時 $ 可 能 會 發 生 基 板 定 位 項 ff 之 大 偏 r?w*l 差 » 或 檢 流 鏡 7、 8 準 確 度 不 足 時 > 照 射 位 置 與 有 底 i 本 頁 裝 I 孔 位 置 發 生 大 偏 rTO 差 之 情 形 0 1 1 | 在 該 等 角 加 工 時 9 即 成 為 照 射 面 有 飼 基 板 之 情 形 ， 因 1 1 其 不 發 射 螢 光 9 而 有 可 能 被 誤 為 良 品 之 情 形 0 此 時 t 就 有 1 1 訂 1 必 要 將 對 照 射 複 數 個 位 置 之 孔 徑 9 雛 開 充 份 大 距 雛 照 射 0 又 1 經 過 等 角 加 工 之 基 板 9 或 是 直 接 (d 1 Γ e c t) 加 工 基 1 1 板 » 兩 者 都 設 定 成 可 任 意 決 定 是 否 對 1 個 有 底 孔 只 照 射 1 | 處 9 或 照 射 複 數 涸 處 所 * 使 其 可 Μ 最 少 時 間 檢 查 ， 而 且 使 各 複 數 個 處 所 之 距 離 亦 可 對 應 於 孔 徑 及 加 工 方 法 變 更 設 定 1 I 即 可 0 1 1 然 後 ，依據檢査有底孔加工部的位置資料， 如 第 9 圖（a ) 1 1 所 示 在 對 應 於 有 底 孔 f 之 孔 徑 之 距 離 做 十 字 掃 描 > 再 由 該 - 1 掃 描 所 得 螢 光 強 度 之 信 號 1, 信 號 2 判 斷 是 否 良 好 0 1 I 此 種 檢 査 並 非 掃 描 有 底 孔 全 部 9 除 了 可 高 速 掃 描 外 1 I > 如 第 9 圖（b) 所 示 9 有 底 孔 之 加 工 位 置 有 儸 離 時 > 遢 可 測 1 1 I 定 信 號 1， 信 號 2 偏 離 量 〇 1 1 1 又 * 如 第 9圖（c)所 示 $ 十 字 掃 不 到 有 底 孔 f 時 » 則 可 1 1 本紙认尺度述《十阀國家標準（（：奶）八4規格（210/297公釐） 18 310043 A7 B7 MT-K部中戎打卑杓1-消卟合竹‘·；：-卬t 五 、潑'明?:毛明 (19 ) 1 判 躕 其 為 不 良 » 偏 差 最 超 過 允 許 值 >λ 上 時 亦 可 判 斷 為 不 良 _ 1 1 0 又 9 由 十 字 掃 描 螢 光 分 佈 ， 可 測 定 樹 脂 殘 留 或 有 底 孔 形 * 1 狀 (錐度情形等） * 所 以 可 詳 细 檢 驗 有 底 孔 加 工 部 及 溝 加 工 Λ -ri 1 1 部 之 良 否 判 斷 0 先 閱 1 } 1 I 雷 射 振 通 器 1之輸出由於某些原因（例 如 外 氣 溫 度 > 溫 背 1 1 度 N 光 學 系 之 壽 命 及 m 污 等 ) 而 有 變 動 之 情 形 * 因 而 亦 影 之 注 意 μ I 事 1 響 螢 光 強 度 之 變 化 0 雷 射 輸 出 降 低 很 大 時 » 螢 光 亦 大 為 降 項 再 低 * 所 U 有 誤 判 斷 為 良 品 之 可 能 性 0 又 9 螢 光 強 度 亦 因 樹 η 本 i I 脂 成 份 而 大 幅 變 化 » 所 以 在 檢 査 前 $ 亦 需 加 以 檢 査 0 再 且 Nw- 1 1 f 依 印 刷 電 路 基 板 製 造 線 (1 i η e)， 印 刷 電 路 基 板 之 樹 脂 有 1 1 FR -4 9 環 氧 (e P 〇 X y ) 及 聚 醸 亞 胺 (ρ ο 1 y m id e ) 等 t 多 種 多 樣 1 1 之 基 板 送 到 製 造 線 之 情 形 > 故 必 需 確 認 該 基 板 之 螢 光 強 度。 訂 l 為 因 應 以 上 所 述 之 情 形 f 在 印 刷 電 路 基 板 之 製 品 而 1 I 不 需 要 有 製 品 之 處 1 預 先 開 設 良 品 有 底 孔 « 在 該 印 刷 電 路 基 板 檢 査 前 $ 先 檢 査 樹 脂 部 螢 光 之 光 強 度 及 良 品 孔 之 光 強 1 Λ線 度 9 將 瑄 些 光 強 儲 存 在 判 定 部 1 6 9 此 2 個 強 度 可 用 Μ 適 當 1 設 定 良 品 判 斷 值 (閥值） 0 1 1 以 下 參 昭 第 10 圖 流 程 圖 * 說 明 Η 本 發 明 檢 査 裝 置 檢 査 1 印 刷 電 路 基 板 之 順 序 0 I 首 先 » K 機 械 手 臂 (Γ 〇 b 〇 t ) 工 具 等 將 印 刷 電 路 基 板 搬 1 1 1 入 裝 置 9 將 檢 査 對 象 之 印 刷 電 路 基 板 W, 搬 入 XY台 裝 置 10上 ** 1 1 ί (步驟S 1 ) 〇 再 插 梢 (P in ) 方 式 或 視 像 感 測 (V is 1 0 η - 1 1 s e ns 0 Γ )等做定位設定（ s e t) (步驟S2) 0 1 1 然 後 > 测 定 在 印 刷 電 路 基 板 V 上 之 製 品 不 必 要 部 位 所 1 1 本纸张尺度速州十围國家標牟（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） 19 310043 A7 B7 恕浐."'屮"打許而 m 7-;νί^"11"^Ί 五 、發明明 (20 ) I I 設 置 良 品 有 底 孔 螢 光 光 強 度 及 樹 脂 部 螢 光 光 強 度 ， 並 將 - I 該 光 強 度 儲 存 於 判 定 部 16 0 判 定 部 I 6 即 白 動 設 定 該 2 光 強 | 度 之 良 品 判 定 值 (步驟S3) 0 二 η I I I 然 後 f 讀 出 經 定 位 設 定 之 印 刷 電 路 基 板 V 最 初 檢 査 的 先 閱 讀 * I 有 底 孔 位 置 * 再 依 檢 流 鏡 指 令 使 第 I、 第2檢 流 鏡 7、 8動 作 背 I 1 之 I » 對 該 有 底 孔 位 置 ， Μ 雷 射 光 照 射 (步驟S5) ♦ 而 Μ 螢 光 檢 >王 意 I 1 1 出 器 I 4檢 出 螢 光 (步驟S6) 0 fy 〈I 判 定 部 16將 該 螢 光 檢 出 值 與 判 定 部 16所 設 定 良 品 判 定 % 本 裝 1 值 (記憶值） 相 比 較 $ 並 判 斷 良 否 (步驟S7) 0 ^ 1 I 在 該 判 定 结 束 後 » 檢 査 看 是 否 全 部 欲 檢 査 有 底 孔 t 是 1 1 | 否 都 已 檢 査 完 畢 (步驟S8>。 如 果 未 檢 査 完 f 即 再 謓 出 其 次 1 1 訂 檢 査 有 底 孔 位 置 (步驟S9), 辨 別 該 位 置 是 否 已 存 在 現 在 檢 1 測 反 射 鏡 掃 描 領 域 內 (步驟S10) 0 如 果 在 領 域 内 即 刻 退 1 1 回 步 驟 S5 f 依 檢 測 反 射 鏡 指 令 t 使 第 I、 第2檢 測 鏡 7、 8 轉 I 動 9 將 雷 射 光 照 射 至 有 底 孔 (步驟S5) I 於 是 Η 螢 光 檢 出 器 ，一 14施 行 螢 光 檢 出 (步驟S6) 0 1 I 而 如 在 領 域 外 » 則 移 動 ΧΥ平 台 裝 置 10 * 使 其 次 檢 査 有 1 [ 底 孔 位 置 移 入 檢 测 鏡 掃 描 領 域 內 之 位 置 (步驟S II ) 0 再 退 1 1 回 步 驟 S5 » 依 檢 測 鏡 指 令 轉 動 第 I、 2檢 驗 鏡 ， 使 雷 射 光 照 - 1 1 射 有 底 孔 位 置 (步驟S6) 0 螢 光 檢 出 器 I 4檢 出 螢 光 (步驟S6)。 1 1 又 9 檢 査 A-«- 刖 之 光 強 度 計 測 9 可 >λ 依 光 強 度 之 信 號 ， 做 1 I 雷 射 輸 出 故 障 9 雷 射 振 盪 器 I 故 障 > 檢 出 器 14檢 出 感 度 降 1 I 低 或 故 障 等 之 判 斷 0 此 時 如 果 顯 示 訊 息 或 停 止 機 器 » 即 1 1 J 可 構 成 具 有 白 我 診 斷 ， 高 可 靠 度 之 檢 査 裝 置 〇 1 1 娜尺度續丨《辦（cns ) μ規格（21〇x29猶）2〇 3 1 00 4 3 A7 B7 五 、發明説明 (21 ) 1 I 第 1 1 圖 表 示 本 發 明 印 刷 罨 路 基 板 用 檢 査 裝 置 之 實 施 形 - 1 態 2 0 在 第 1 1 Π5Π 圖 中 » 與 第 1 圖 同 等 或 相 同 之 構 成 要 件 f 均 1 1 附 註 成 與 第 1 圖 相 同 之 編 號 » 並 省 略 其 說 明 0 Λ 1 I η I 該 實 施 形 態 中 f 設 置 CCD 元 件 等 所 構 成 9 檢 出 raft 圖 像 之 先 閱 1 1 I 攝 影 機 20 ; 再 結 像 用 透 鏡 12與 螢 光 檢 出 器 14間 $ 將 檢 出 光 背 之 1 用 之 分 光 器 21 ； 及 在 影 像 轉 寫 光 學 % 3 與 二 向 鏡 6 之 間 * ά 意 事 1 用 Μ 調 整 雷 射 振 徽 器 1 輸 出 雷 射 光 之 光 束 直 徑 的 光 束 P 徑 項 再 調 整 透 鏡 22 0 本 裝 I 在 質 施 形 態 中 t 光 束 口 徑 調 整 透 鏡 22與 印 刷 電 路 基 板 Η 1 I | 上 有 底 孔 直 徑 相 同 0 所 Μ 可 用 該 □ 徑 之 雷 射 光 照 射 印 刷 電 1 1 路 基 板 W 0 1 1 螢 光 檢 出 器 14只 檢 出 螢 光 強 度 » 攝 影 機 2 0朗 將 螢 光 當 訂 1 做 阃 像 認 識 〇 分 光 器 21 ， 例 如 半 透 鏡 (h a 1 f m i Γ Γ or ) 構 成 1 1 • 螢 光 檢 出 器 14與 攝 影 機 20係 各 白 分 歧 取 得 印 刷 電 路 基 板 'I W 之 螢 光 f 所 Μ 螢 光 檢 出 器 14及 攝 影 機 20可 同 時 計 測 0 瞧 1 1:線 換 言 之 9 同 處 所 之 計 測 * 可 與 第 1 實 施 形 態 —· 樣 測 1 1 定 t 將 雷 射 光 照 射 有 底 孔 全 部 9 也 可 在 攝 影 機 20K 圖 像 測 1 1 定 0 攝 影 機 20之 圖 像 數 據 9 可 >λ 判 定 部 16判 斷 盲 孔 加 工 之 1 C 1 良 否 〇 所 9 螢 光 檢 出 器 14與 攝 影 機 20可 同 時 做 測 定 0 在 1 同 時 测 定 時 t 兩 者 均 判 斷 為 良 品 時 % 可 判 斷 該 盲 孔 為 良 品 1 I » 為 非 常 高 性 能 系 統 及 冗 長 性 之 構 成 0 1 1 I 半 透 鏡 21可 U 遮 門 (S h u tt e r ) 等 光 路 切 換 手 段 t 切 換 1 1 1 攝 影 櫬 20或 螢 光 檢 出 器 14之 一 做 測 定 0 1 1 又 光 束 直 徑 調 整 透 鏡 22 ， 在 攝 影 桷 測 定 時 9 係 插 入 1 1 2 1 本纸張尺度述用中囤國家標率（CMS ) A4規格（21 OX 297公f ) 310043
7 7 A B 態 束 狀光 入光 插射 非雷 為射 整照 調所 係 W 時板 定基 测路 14電 器刷 出印 檢 ， 光時 丨螢定 2 而測 2 1 I明中影 一PL'SS SS一明光M 發射所、-雷 ， J5 態 形 施 實 置 裝 査 檢 用 〇 板 度基 確路 隼電 之刷 斷印 判明 升發 提本 而示 更表 變圖 M12 可第 徑 □ 與 註 附 均 件 要 成 構 同 相 〇 或明 等說 同其 画略 1 省 第並 與 ， , 號 中編 圖 同 12相 第圖 在 1 3 第 路用 光及 射 ， 雷 2 1 鏡 態透 形半 射之 雷過 中透 1 餘 態其 形 ， 施射 實反 , 光 中份 態部 形一 施使 實加 本追 在 , 中 途 器。邇 2 震看 器射監 出雷地 檢 ，性 射下似 雷 K 擬 之 *24 度10器 強在出 光如檢 射例射 雷為雷 射率用 反射M 所反可 23之-鏡23光 透鏡射 半透雷 出半之 檢 出 Μ 輸 部 〇 定部 判定 至判 10至 號II 信號 射信 雷度 出強 輸光 送螢 傳送 24則 4» 器 1 出器 檢出 射檢 雷光 螢 時 同 值 定 判 故 出 輸 之 板 基 射 照 於 應 對 接 直 為 度 強 光 .. 螢為 示 表 時 S I 值 準 位 定 判 過 超 在 示. 所 圖 3 1* 第 如 I ο 值 品 定良 判不 該為 斷 判 部 定 判 由 貝 時 準 水 定 一 過 低 值 始 初 1 比器 為盪 10震 當射 , 雷 又為 斷 判 障 故 之 導 ， 化斷 變診 出 之 輸 1 因器 1 a 器震 嫌射 震雷 射行 雷 _ 止M 防 ， 〇 可斷査 , 診檢 成誤之 構板度 之基靠 述路可 所電高 上刷行 如印施 之 可 致故 本纸張尺度这用中囤國家標率（CNS ) Λ4規格（210Χ297公楚） 2 2 310043 (誚先閱讀背面之注意事項本頁) -裝 、1Τ Γ 線 7 7 A Β 五、發明説明（23) 上述之實施形態之雷射檢出器24係設置在雷射震播器 1近旁，但在雷射震通器1至印刷電路基板W間之雷射光 路中之任何位置都可得同樣效果。 第14圖表示本發明印刷電路基板用檢査裝置之實施形 態4,在第14圖中，與第1圖同等或相同構成要件，附註成 與第1圖相同編號，並省略其說明。 在本實腌形態中，取代再结像透鏡12設置影像轉寫透 鏡25,及做為螢光檢出器，MCCD及光二極體 (Photo diode)排列成陣列，構成影像感测器型螢光檢出 器26,螢光檢出器26之螢光檢出面器26a,以影像轉射透鏡 25轉射印刷罨路基板W上之圖像。 準直透鏡（c ο 1 1 i b a t 〇 r 1 e n s )將雷射光調整為，例如 大約與有底孔同直徑，在螢光檢出器26上，即可得平直之 螢光強度分佈圖像，例如，Μ陣列狀檢出器信號，分別同 時輸出，則可得如第15圖所示信號。 如實施形態1說明中所述，因為會產生定位誤差，有 底孔位置並不一定會與雷射光正確對齊，如第6圖（b)所 示之有底孔，在10X10陣列時，例如2 X2 Μ上領域判斷 為良品，則該有底孔可判斷為良品。 如上所述之雷射檢査裝置，可得提高製品成功率，及 增加檢査可靠度之效果。 第16圖表示本發明印刷電路基板用檢查裝置之實施形 態5,如第16圖所示，與第1阃同等或相同之構成要件，均 附註與第1圖相同之編號，並省略其說明。 (4先閱讀背面之注意事項再/荇本頁) -装' 、1Τ M If. Γ 本紙认尺度逍用中囤國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） 23 310043 本纸张尺度述州屮囤國家椋率（CNS ) Λ4規格（210Χ 297公釐） 310043 A7 B7 五、發明説明（24 ) 在本實腌形態中，追加在XY平台裝貿10預定位置固定 設置之試料片26,及試料片照射位置之影像感測器（Vision Sensor)作為用Μ補償掃描透鏡9之光學失真之照射位置 補償之補正系，而將影像感測器27之輸出信號輸入上位電 腦17中。 此外，設置用Μ檢出檢査裝置環境溫度之溫度感测器 35,及用Μ檢出檢査裝置瓌境濕度之濕度感測器36。溫度 感測器35所檢出檢査裝置環境溫度，及濕度感測器36所檢 出檢査裝置環境濕度之信號，輸入上位電腦17。 試料片26,例如，第17圖（a)所示，在小基板26a塗 布殘留螢光之塗料26b。W檢流鏡7、8、在試料片26上，射 打例如3X3點（Point)。在堪發射殘留螢光期間，移動XY平 台装置10, K影像感測器27觀視9個點，而補償位置。 在K檢流鏡7、8與掃描透鏡9組合，掃描雷射光時， 要製作沒有光學失真之掃描透鏡9很難。所Μ如第18圖（a) 所示，不可避免地會產生桶形失真（Barrel Distortion) 等光學失真。而且，該種失真又會因為環境溫度，濕度或 掃描透鏡之劣化狀況而變化。 檢流鏡7、8會發生角度指令，所Μ如第18圖（b)所示 ，指令值為正方形時，會成為彎曲掃描。 要補償此種失具，必須在檢查開始前，掃描預先決定 點，使該點位置與機械座檷位置相合。而且，由於光學失 真或環境及經懕時間之變化，該種位置之合對，亦即照射 位置補償，亦須定期實施。 24 n^— fl - - I — 1 ^1· (誚先閱讀背面之注意事項^!^朽本頁)
,1T *|線 Γ A7 B7 朽："部中，欠打^^;^1,消於"杉"卬；^ 五 、發明5毛明 (25 ) 1 I 對 上 述 瑄 點 » 因 為 有 以 上 補 償 系 9 可 随 時 實 施 照 射 - I 位 置 補 償 » Μ 常 常 Μ 雷 射 光 昭 八、、 射 0 的 位 置 » 而 可 施 行 正 確 - 1 I 判 斷 有 底 孔 樹 脂 殘 留 之 高 可 靠 度 檢 査 0 • 1 I η I 掃 描 透 鏡 之 劣 化 等 光 學 失 真 之 經 時 變 化 » 係 Κ 上 位 電 九 閱 J | 讀 1 I 腦 17内 Μ 計 數 器 施 行 時 間 計 測 〇 對 光 學 系 予 先 做 經 過 預 定 η 1¾ 1 1 之 I λ 1 時 間 後 之 誤 差 補 正 〇 亦 即 可 Μ 白 動 將 照 射 位 置 做 定 期 性 地 >王 意 1 | 事 1 補 償 0 項 (I 又 t 因 為 溫 度 感 测 器 35所 檢 出 檢 査 裝 置 之 環 境 溫 度 及 k 本 裝 I 濕 度 感 測 器 36所 檢 出 檢 査 裝 置 之 環 境 濕 度 之 信 號 輸 入 上 位 V_- 1 1 1 電 腦 0 所 當 溫 度 感 測 器 35所 檢 出 環 境 溫 度 或 濕 度 感 測 1 1 I 器 36所 檢 出 環 境 濕 度 大 於 預 定 值 K 上 時 9 可 Μ 白 動 施 行 光 1 1 訂 1 學 系 之 誤 差 補 正 9 亦 即 照 射 位 置 補 正 0 遇 有 t 實 施 形 態 之 變 形 例 t 將 實 施 形 態 2 之 螢 光 檢 出 1 1 器 26 9 代 之 Κ 視 覺 感 测 器 27 » 施 行 檢 出 亦 可 0 • 1 1 又 t 試 料 片 26如 第 17 圖 (b) 所 示 9 在 預 定 巨 的 位 置 塗 1 )線 布 定 點 (s P 〇 t) 狀 螢 光 塗 料 26 C , —^ 邊 螢 光 檢 出 器 26檢 出 螢 1 | 光 強 度 t 一 邊 施 行 使 螢 光 檢 出 器 26輸 出 信 號 成 為 最 大 之 補 1 1 | * 償 0 1 1 第 19圖 表 示 本 發 明 印 刷 電 路 基 板 用 檢 査 裝 置 實 施 形 態 - 1 6 0 在 第 19圖 中 i 與 第 1 圖 同 等 或 相 同 構 成 要 件 9 均 附 註 * 1 I 與 第 1 圖 相 同 之 編 號 > 並 省 略 其 說 明 0 1 I 在 本 實 施 形 態 中 9 二 向 鏡 W7t 6 與 第 1 檢 流 鏡 之 間 t 設 置 1 1 I 液 晶 遮 門 (s h u t t e r ) 2 8 , 用 以 對 雷 射 振 級 器 1 輸 出 雷 射 光 » I 1 1 及 印 刷 電 路 基 板 U 反 射 光 之 傳 送 t 做 選 擇 性 遮 斷 之 光 遮 斷 1 1 本紙张尺度述扣中因國家標蹲-(rNS ) Λ4規格（2】0X297公釐） 25 310043 A7 B7 五、發明説明（26) 手段。 在掃描期間，雷射光係通過樹脂部上方，當雷射光碰 上樹脂部，發出強列螢光，而退回到檢出系或雷射振通器 1，有使螢光檢出器14或雷射振撤器1長期受到損傷。 在雷射振通器1側設置濾色鏡4,可以防止蛮光。但是 在檢出器方面則無法防禦。因此，在不檢査時，不使雷射 光照射基板。 又，如想求較強螢光強度差，而使用高能量（high p over)雷射，則可能會使樹脂不知不覺加工。如果對盲孔 部或溝加工部部位以外加工，則將成為印刷電路基板短路 或不良之產生原因。此時，需使雷射光不照射印刷電路基 板有底孔部位以外之非檢出部。 使雷射光斷流（off)之方法，除了將控制部15輸出信號 激勵雷射用，發光二極體或燈體（lamp)之電流切離（cut) 之方法K外，遢可K用液晶遮門28,做光學的遮斷。 第20圖表示本發明印刷電路基板用檢査裝置實施形態6。 在第20圖中，與第1圖及第16圖所示同等或相同構成要件 ，均Μ與第1圖及第6圖相同編號註記，並省略其說明。 本實施形態追加對未去除材料，_行再去除之再加工 系。再加工系至少包含再加工用雷射振徽器30,準直透鏡 (collination lens)31,轉射光學系32,及光罩板33,在 檢流鏡（galvano nir*r〇r)31所對雷射光路中，可選擇性的 組入雷射光路切換器34。再加工用雷射振盪30,可Μ是樹 脂加工用雷射，二氧化碳雷射及固贿雷射。 ii 先 閱 讀 背 之 注 意 事 項.
頁 訂
本纸讯尺度退州十囤國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） 26 310043 A7 B7 Μ '.1 部 屮
Jk il 準 消 f: /、 五、 發明明 (27 ) 1 I Μ 檢 査 用 雷 射 振 通 器 1 檢 査 印 刷 電 路 基 板 W 時 * 如 判 - I 定 某 些 有 底 孔 為 不 良 ， 則 雷 射 光 路 切 換 器 34即 插 入 雷 射 光 1 路 中 > 由 再 加 工 用 雷 射 振 通 器 30輸 出 雷 射 光 〇 二 1 I η 1 I 檢 査 用 雷 射 振 盪 器 1 之 雷 射 光 與 再 加 工 用 雷 射 振 璽 器 先 閱 1 r 讀 1 I 30之 雷 射 光 之 光 軸 互 相 重 叠 » 而 昭 州、 射 印 刷 電 路 基 板 W 上 背 1 L 之 1 同 一 點 ， 即 可 對 印 刷 電 路 基 板 上 未 去 除 材 料 1 施 行 再 去 除 意 華 1 加 工 0 項 、· 該 加 X 完 成 後 ， 再 將 雷 射 光 路 切 換 器 34移 離 雷 射 光 路 ¥ % 本 裝 | » Μ 檢 査 用 雷 射 振 盪 器 1 轉 出 雷 射 光 9 再 對 有 底 孔 檢 査 9 頁 '—· 1 1 如 果 係 良 品 $ 再 移 至 其 次 之 査 位 置 〇 1 1 如 上 所 述 » 在 檢 查 裝 置 上 1 可 進 行 不 良 部 之 修 正 9 故 1 1 可 改 善 製 品 成 功 率 0 訂 | 又 > 在 上 所 述 9 係 在 檢 出 不 良 後 立 刻 Μ 再 加 工 用 雷 1 1 射 振 盪 器 30施 行 再 加 工 0 但 亦 可 在 一 張 印 刷 電 路 基 板 W 全 1 1 部 各 點 檢 査 後 t 將 不 良 位 置 上 位 電 腦 17等 記 憶 ， 在 一 張 I 印 刷 電 路 基 板 檢 查 结 束 後 t 切 換 使 用 再 加 工 用 雷 射 振 盪 器 、線 1 30 ，對所記憶不良部施行加工， 亦可得相同效果。 1 1 經 過 本 案 之 發 明 人 實 驗 已 知 將 用 於 螢 光 檢 出 47 3η ΒΙ ν ί I 30 nW之 雷 射 光 的 焦 點 位 置 光 點 尺 寸 (S P 〇 t si 2 e ) 集 光 為 約 1 | Φ 1 /i ID ，即可做樹脂加工。 針對此點， 調整準直透鏡2使 描 1 I 猫 透 鏡 入 射 徑 變 大 t 即 可 使 樹 脂 部 光 束 口 徑 變 小 9 而 可 加 1 1 | 工 0 又 > 因 為 在 該 狀 態 下 9 不 能 做 螢 光 檢 査 > 所 在 螢 光 1 1 檢 査 時 ,調整樹脂部节 5束徑為10 ϋ 扭 W 上 施 行 檢 査 0 調 整 1 1 準 直 透 鏡 2 可 腌 行 檢 査 及 再 加 工 0 1 1 本紙張尺度述扣中1¾囤家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公楚） 27 310043 A7 B7 五、發明説明（28 ) 如此，不必使用2部雷射振播器1及30。使用1部雷 射振盪器1即可施行再加工，可減低設備設置經費 (initial cost)及改菩製品成功率。 又，加工時為1/i m,檢査時為約10w π係雷射光為473πβ ,30ibW時之一例。雷射光輸出增大時，當然，亦可使可加工 口徑增大。加工光束口徑係愈大愈佳。瑄是因為，例如， 以u光束對100« m盲孔再加工時，必須使檢鏡掃描100次 ，佔用很多時間。 又，在幾乎原能加工之光束口徑，如果Μ二氧化碳雷 射加工後之炭化層為加工起點，即可判明加工之開始，所 Μ ,要縮短再加工時間，則將光束口徑加大，Κ炭化過之 部份為起點加工，可Κ有效達成。 如上所述，當電路基板本身可以加工時，可將補償用 加工基板，定期地流過生產線（line),對補償用基板加工 ,Μ視凳感測器2 7觀测，施行位置補償。 但是，當檢査用雷射振盪器〗與再加工用雷射振盪器 30輪出之雷射光的波長不同時，因掃描透鏡9對波長亦有 .依存性。所Μ兩方面都必須各別施行補償。此種補償，亦 可同時確認，檢査用雷射振嫌器1與再加工用雷射振盪器 30之雷射光軸，是否完全重置。 於是，當加工孔約為1W m時，不能Μ視覺感测器27等檢 出，故如第21圖（a), (b)所示掃描於圓環g或十字h模樣 之基板，使視覺感測器2 7可以辨別，則較易辨別。 [產業上利用之可能性] 如上所述，本發明雷射光束印刷電路基板檢裝置，適 用於設置在積層印刷配線板之盲孔或加工溝之光學檢査。 本紙认尺度述;1]中四國家摞皁（CNS ) Λ4规格（210X 297公犛） 28 310043 (誚先閱讀背面之注意事項^本頁) -裝· 訂 線

Claims (1)

  1. 87 1 1 4 59 9
    A8 B8 C8 D8 經濟部中央揉準局属工消費合作社印裝 六、 申請專利範 圍 1 . 一 種 印 刷 電 路 基 板 之 檢 査 裝 置 9 其 特 徵 在 具 有 至 少 具 備 雷 射 振 盪 器 ; 將 前 述 雷 射 振 盪 器 输 出 之 雷 射 光 照 射 位 置 定 位 在 所 指 令 之 互 相 垂 直 之 X 袖 方 向 及 Y 袖 方 向 座 摞 位 置 之 掃 描 裝 置 及 用 以 檢 出 由 雷 射 光 照 射 印 刷 電 路 基 板 所 生 光 之 檢 出 器 者 0 2 . 依 據 申 請 專 利 範 圍 第 1 項 之 印 刷 電 路 基 板 檢 査 裝 置 » 其 中 i 前 述 掃 描 裝 置 係 至 少 由 互 成 垂 直 旋 轉 抽 之 2 個 檢 流 鏡 9 及 掃 描 透 鏡 組 合 構 成 者 0 3 . 依 據 申 請 專 利 範 圍 第 1 項 之 印 刷 電 路 基 板 檢 査 裝 置 至 少 具 備 用 Μ 記 憶 施 行 印 刷 電 路 基 板 有 底 孔 或 溝 加 工 之 座 標 位 置 9 再 依 所 記 憶 座 標 位 置 控 制 刖 述 掃 描 裝 置 雷 射 光 照 射 位 置 之 控 制 部 Μ 及 依 據 刖 述 檢 出 器 輸 出 信 號 9 判 斷 各 座 標 位 置 檢 査 结 果 之 良 否 的 判 定 部 者 〇 4 . 依 據 申 請 專 利 範 画 第 1 項 之 印 刷 電 路 基 板 檢 査 裝 置 至 少 具 備 將 前 述 雷 射 振 盪 器 输 出 雷射 光 集 光 之 集 光 手 段 以 及 設 置 在 AJU 刖 述 雷 射 振 通 器 與 前 述 集 光 手 段 之 間 的 影 像 轉 射 光 學 % 及 光 罩 元 件 為 特 徴 者 0 5 . 依 據 Φ 請 專 利 範 圍 第 1 項 之 印 刷 電 路 基 板 檢 査 裝 置 9 將 照 射 檢 査 對 象 印 刷 電 路 基 板 雷 射 光 之 光 束 直 徑 ， 設 成 比 盲 孔 孔 徑 或 溝 加 工 部 溝 幅 m 小 為 特 徵 者 〇 6 . 依 據 申 請 專 利 範 圍 第 1 項 之 印 刷 電 路 基 板 檢 査 裝 置 ，對 1 個 封 底 孔 或 溝 加 部 檢 査 對 象 » Μ 雷 射 光 點 照 射 複 數 個 部 位 9 Μ 判 斷 良 者 0 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 2 9 310043 六、申請專利範圍 7.依據申請専利範圍第1項之印刷電路基板檢査裝置， 經濟部中央揉準局負工消费合作社印製 , 元 ，途之 置路置 ，樹值 ，光 ，雷出 置學 置路機 裝電裝 置之定 置之 置的檢 。 裝光 裝光影 査刷斷 裝板判 裝板。裝度射 者査各 査光攝 檢印遮 査基否 査基者査強雷 否檢K檢射述 之由光 檢路良 檢路斷 檢之述 良板， 之 反前 板及之 板電定 板電診板光前 斷基置 板板與 基M斷 基刷設 基刷我基射M 判路配 基基器 路光遮 路印以 路印自路雷， Μ 霄狀 路路出 電射擇 電象， 電象行電出號 ， 刷列 電電檢 刷雷選 刷對度 刷對施刷输信 部印陣 刷刷述 印之Μ印査強 印査 ，印器出。 Η 之Κ印印前 之出予 之檢光 之檢障之通輸者 加項件 項在至 項輸输 項測之 項測故項振器斷 满 1 元。1 置光 1.所傳 1 實孔 1 實等 1 射出判 或第學者第設分 第器之 第前品 第前器第雷檢否 孔圍光徴圍.，光 麵盪光 圍始良 圍始盪画出述良 底範將特範機射 範振射 範開及 範開振範檢前行 有利係為利影反 利射反 利査度 利査射利Μ對施 描專器號專攝將。專雷之 專檢強 專檢雷專用，號 掃請出信請備Μ者請由射 請照光 請照對請備器信 字申 檢出申 具用器 申將反 申依之 申依 ，申 具出出 十據述輸據少 ，光據有板。據Μ部。據 Κ 度據少檢输 Μ依前件依至中分依具基者依可腊者依可強依至射器 • ··· . . ο 1 2 3 8 9 1 1 11 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) Α4规格（210X297公釐） 30 310043 8 888 ABCD 經濟部中央梯準局負工消費合作社印*. 七、申請專利範圍 14. 依據申請專利範醒第1項所述印刷電路基板檢査装置· 至少具備固定在預定位置之試料片，Μ雷射光照射前 述試料Η，檢出照射位置施行光學系誤差補償為特激 者。 15. 依據申請專利範圔第1項所述印刷電路基板檢査裝置， .至少具備再加工用雷射振通器；及將前述再加工用雷 射振盪器所输出雷射光，選擇性地移至與檢査用雷射 振邇器之雷射光相同之光軸照射印刷霄路基板之雷射 光路切換器；以前述再加工用雷射振盪器之输出之雷 射光照射判定為不良之有底孔等加工部，施行不良部 修正者。 (請先聞讀背面之注f項再填寫本頁)
    本紙張尺度逍用中國國家梂率（CNS ) A4规格（210X297公釐） 31 310043
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