TW388798B - Fluoroscope objective structure - Google Patents

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TW388798B TW086119289A TW86119289A TW388798B TW 388798 B TW388798 B TW 388798B TW 086119289 A TW086119289 A TW 086119289A TW 86119289 A TW86119289 A TW 86119289A TW 388798 B TW388798 B TW 388798B
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Carl-Heinz Schuster
Jorg Schultz
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Zeiss Stiftung
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96053Ρ Α7 Β7 五、發明説明（/ ) 本發明係有關於一種螢光屏物銳之構造，特別是指一 種能使一榮光屏ft像於載有平版印刷用之遮光罩光柵平面 上之螢光屏物鏡。如此，在光栅上之照明範圍邊界部份將 很敏銳犀利°通常螢光屏系統在構造上具有可調整之光 閘。圈像通常是加以放大。 螢光屏物銳可應用在顯徽平版印刷投影照明設備（例 如步進器或掃描器）上β 德國專利DE-U 94 09 744號揭露了一種顯微平版印刷 投影照明設備用之照明設備，依序有下列各裝置：光琢、 快門、可變焦距透鏡(Zoom-Axicon)、（具積分器功能之)玻 璃棒、螢光屏、將位於螢光屏之中間場面顢像於光栅上之 煢光屏物鏡（含第一透鏡组、睛孔中間面、第二透鏡組、 折射銳、第三透銳组和具有光柵之光柵面》接著設有一投 影物鏡（該投影物銳通常具縮小功能而且例如在非遠心之 進光時，含有内部化瞳孔面），然後在影像面上設有晶片。 ΕΡ 0 526 242 Α1專利案所揭露之設備，在積分器（此 處為一蜂房式聚光透銳）與螢光屏系統之間設有一投影物 銳。該螢光屏系統透過二組透鏡组舆折射銳調整（光學之) 光栅面來顢像》同時，光圈在積分器（第二光源）之出口處 亦將經由二組透銳组和投影物銳之元件顯像於投影物銳之 蜻孔上。該專利所揭露之方法對透銳像差並未進一步說 明。 < WO 95/32446號專利揭露了應用在顯黴平版印刷方面 之一種最大孔徑反折射之縮小物鏡，其依據圈3和表2之 本紙張尺度適用中國國家梂準{ CNS ) Α4规格（2丨0X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ，裝. -.1Τ 經濟部中央標準局貝工消費合作社印掣 經濟部中央橾準局貝工消費合作社印聚 五、發明説明（又） 實施例剛好與本案所揭露之一種螢光屏物銳之實施例互相 配合。 在優先權日後於1995年12月27日所揭露之德國專 利申請索DE-A 195 48 805中，揭露一種只具有球形透銳面 之螢螢屏透銳组。其實施例有13個透鏡而且其光學特徵 舆本文所描述之實施例（圖1)很類似》此二種螢光屏物鏡之 瞳孔作用皆能舆WO 95/32446專利案所揭露之投影物鏡完 美地配合。 因此，前述之WO DE-A 195 48 805和DE-U等專利 案之内容很明顯地皆屬本專利内容之一部份。 本發明之目的，係在於提供一種能大裼降低造成反射 損失之界面和較少吸光作用之玻璃光程之螢光屏物銳，進 而大幅改良其（光學）透射效率’而且不致於對物鏡之光學 特性造成不利之影響。 前述目的可藉由一種在根據本發明申請專利範園第1 項或第2項所述之較少（最多4-5個）之非球面透銳（消球差 透銳）配合申請專利範面第16項所述之整套投影照明設備 來達成。 眾所遇知，採用非球面透鏡（消球差透鏡）不但提供新 的修正可能性，且可降低透鏡之數量。然而，吾人也知道， 非球面透鏡產品之製造成本和品管費用相當高昂。因此， 在應用上必須節省其數量舆球面之公差 令人訝異的是，僅需使用3-4個（最多5個）舆球面透銳 之形狀相差报小之非球面透銳，即能分別地減少60%以下 -4 - 本紙張尺度適用中國國家榡準（CNS ) A4規格（2丨〇X297公釐） C (請先聞讀背面之注f項再填寫本頁) -裝· 訂
96053P A7 B7 五、發明説明（3 ) 之透銳數和玻璃光程。如此不但可符合對螢光屏物銳之各 種要求而且也能明顯地提高其（光學）透射效率。 申請專利範圍第1項詳述了達成該項目的所使用之手 段》申請專利範圍第2項係說明其聚光透銳组、中間透銳 組和場透銳组等裝置。 申請專利範圆第3至15項所述皆為較佳之實施例。 申請專利範園第3項所述之實施例可將玻璃光程減至 透銳和螢光屏間距離30%以下，甚至25°/。以下。 申請專利範圍第7項和第8項所述之實施例，係將本 案之螢光屏系統設置在一玻璃棒之出口處或利用一缩小之 反折射投影物銳來達成較佳之配合。 申請專利範園第15項所述之實施例，係說明本發明 嫵舆一投彩物銳之晴孔作用互相配合而且具有極小公差之 極佳遠心性。螢光屏物銳也能達到投影物鏡主光線之平行 性最小公差。 根據申請專利範圓第16項所述之實施例，整個顯微 平版印刷投影照明設備能利用本案所述之具較少元件之螢 光屏物銳舆所屬之投影物鏡予以完美配合。 本發明之其它目的與詳細之構造’將在以下的詳細說 明而更為明確，同時參間所附各圈，俾可使本發明之技術 内容更進一步地揭露明瞭： 圈式簡要說明： i 圈1所示係本發明具有三個非球面透銳之透銳剖面示 意圈； 本纸張尺度適用中國國家棣準（CNS ) Α4规格（210X297公兼） ---------裝-- .( (請先聞讀背面之注f項再填寫本頁)
，1T 經濟部中央揉準局負工消费合作社印裝 / A7
B7 96053P 五、發明説明（今） 圈2所示係一顢微平版印刷投影照明設備之示意圈； 圈3所示係一瞳孔作用之曲線圈； 圈4所示係一舉例說明實現圈3之瞳孔作用公差之曲 線圈； 圈5所示係本發明具有四個非球面透銳之另一實施例 之透銳剖面示意圖。 圈式符號說明： Ifc. - - ........—〆 1物面 2表面 4彎曲中空面 7，1U7消球差透鏡 8光圈面 12贛孔面 9，13,511,516 平面 15,16聚光透銳 17,18散光透鏡 14蟥孔面 19光栅面 33投影面 50雷射裝置 60裝置 70可變焦距透銳 80玻璃棒 90螢光屏系統 100聚焦透鏡组 123螢光屏物銳 200中間透銳组 240折射銳 300場透鏡组 330光柵之操控系统 400反折射投影物鐃 410晴孔面 500晶片 505,509,514,520非球面透銳 511,516 平面 521，522平面螢光屏 550聚焦透銳 首先請參閲圈1，本發明 一種螢光屏物銳透銳剖面圈 之相關資料請參考表1 »螢光屏物銳透鏡是由設在光圈8 前方之一组充當部份物銳之聚焦透銳組<100、一組中間透 饞組200和一組場透銳組所構成，而且這些透銳组中都分 別地設有一非球面透鏡7、11、Π。因此，本發明（螢光屏 -6- 本紙張尺度適用中國國家榡準（CNS )A4规格（210X297公釐） /*Λ. (讀先閲讀背面之注^^項再填寫本頁 -裝· 訂 經濟部中央標準局貝工消費合作社印裝 經濟部中央樣準局貝工消費合作社印簟 A7 --------B7__ 蝴挪 五、發明説明（夕） 物鏡）只設有七個透銳。其平面9舆14只具有支座功能而 且在範面14可裝設一折射銳（請參閲圖2中之240)。表示 非球面形狀之方程式為： P(h)= h2/R + V R2 - (l+k)h2) + cl h4 + .. + cn h 2n+2 其中，P代表弧形高度;h代表至透銳光轴之距離;R代表峰值 半徑;k代表圓錐常數而“至⑶則分別代表非球面s常數。 非球面之每一表面，其舆轴向對稱之光學表面都是高於最 適當之球面具有约5微米（5μιη)公差者。可利用之非球面 性主要位於0.1至lmm之間（最大標準值2mm)。 物鏡構成之物面1(内有螢光屏系統）舆光栅面19間之 物饉舆圈像間距離為1200 mm❶物面1、光圈面8、中間 透銳组200舆場透銳组300之間，以及光柵面19需有較 大之空間，以便有足夠之空間分別容納各種設俤，諸如發 光屏系統90、光圈面調整元件、折射銳240及光柵之操 控系統330(請參閲圖2)。 螢光屏物銳之主要功能自物面1往光栅面19上顯現之 明暗稜面（螢光屏光圈之光閘）之亮度值分別由原有之像場 直徑之5%舆95%之明暗值降低少於5%，而且最好是少於 0.5%’該要求可藉調整間距來達成： 其間距是像場直徑42.lmm之0.4%。此數值在整個像 場能表示所有像差之積分值而且該積分值直接由螢光屏物 銳來決定。 < 要違到如此最佳之調整效果極為困難，因為螢光屏物 鏡具有明顢之光電導值11.4mm(物銳場直徑19mm與物銳 本紙張尺度適用中國國家樣準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注f項再填寫本頁) -裝' 訂 96053Ρ Α7 Β7 五、發明説明（6) 側之孔徑值NAO=0.6之乘積）。通常此類物銳組之光電導值 需大於10mm。 螢光屏物鏡之放大倍數為4.444:1 » 螢光屏物銳之另一主要功能在於，落在影像面19每 一點上之主光線（即所產生光束之聚集光線)與設在其後方 之投影物鏡之主要光線只有些微之區別，而且其差別不到 3毫弧度。這點舆在光栅面19需產生最小公差之特殊瞳 孔作用（請參閱圖3)之要求同樣重要。如圈4所示，這點 毫無疑問將可達成。 再請參閲如后附之圈3所示，主要光線角度sin(i)之 正弦曲線係顢示在光柵面19上之圖像高度YB之函數。圈 4所示為主要光線角度Sin(i)之公差曲線圈，其公差值為 〇±〇.11毫弧度。 它是以配合雙倍遠心投影物鏡為出發點，以便螢光屏 物鏡所產生之圖像也能達到遠心的高性能。同時，在物體 方面也絕對是遠心的》 是項配合的決定性因素為場透銳组300之設計與結 構。例如，它已缩減成至少為二组透銳，即聚光透銳15、 b舆散光透銳π、18。所需之非球面透銳（否則就需要多 數之球面元件）為透鏡面17。在此部份内其主光線強度係 大於邊部光線強度。 透鏡面之一，最好是最後一面透銳面18，也可以是 平面設計，以便裝設一濾光銳來控制光線在光栅上之強度 分配充當薄層》 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（2ΚΓΧ297公漦） (請先閲讀背面之注f項再填寫本頁〕 裝· 訂 經濟部中央樣準局負工消費合作社印袈 經濟部中央標率局貝工消費合作社印家 五、發明説明（7) 聚焦透鏡组100其構造係為部份物銳組，其物面為無 限大》光圈係位在總物鏡之物面1而影像面係位在總物鏡 之光圈8内》因此，部份物鏡組之邊部光線相當於總物銳 之遠心的主光線，而部份物鏡組之主光線則相當於總物鏡 之邊部光線。 該部份物銳組（聚焦透銳组100)在光圈面8之圈像需 能儘可能可以作最佳之調整。所以，在此平面8需能夠設 置調整元件禆能達成一完美之光圈作用。因此，其慧形差 象(側偏差）之最大值需小於此部份圈像之像場直徑之1%， 最好是小於0.2%。例如可達到0.08%。此外，該聚焦透鏡 組往物面1方向具有至少一弩曲中空面，其彎曲弧度至透 銳直徑間之相對孔徑之弧度係接近〇·5 »例如，表面2之 弧度值為0.554。通常該弧度值需小於0.65 » 當利用一個非球面透銳7(如圈1所示）至二個非球面 透銳時，則有三個（2/3、4/5、6/7)至四個透銳來實現聚焦 透銳组100之功能。 中間透銳组200也具有一非球面透銳11。它是由一透 銳组10/11、12/13所構成，而且表面13符合下列條件：它 是一彎曲中空面，具I sin(iRand) U0.8NAO(物鏡側孔徑） 值❶該平面13之作用在於強烈折射邊緣部份。本發明之 螢光屏物鏡之特徵在於該邊部光線角度無論如何皆大於 0.6NAO » < 因此，本發明（螢光屏物鏡)具有德國專利號碼DE 195 48 805.9所述之螢光屏物銳之各種功能，而且依據圈1所 -9- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) '裝- -訂 五、發明説明（p) 示之實施例可直接取代該專利中如圈1所示之實施例。然 而，本發明明顯地利用較少之非球面透銳7、11、17即能 達成作用： 聚焦透鏡組100自5個透鏡減少為只有3個，中間透鏡 組200自4個透銳減少為只有2個，至於場透鏡组300也 減半透銳數量為只有2個。在此實施例總共只利用7個透 銳(在其它實施例最多10個透鏡）。 本發明之玻璃光程（即在光軸上各透銳之總玻璃厚度) 只有235mm，而先前之專利申請案則為396mm，二案之 物像距離1-19皆為1200mm。因此，玻璃光程減少了 40% 以上，其反射透鏡舆圈像間距離只有20%。此外，在其它 實施例中，其反射透銑與圈像間距離也只在25-30%以下。 高品質之石英玻璃在248 mn波長時可達約 99,9%/cm(光之)透射。由於陳化過程（格射傷害、法恩思沃 斯中心現象“Farnsworth centers”)在操作時會減少該透射 值。在玻璃舆空氣間界面可藉高品質之反折射層在248nm 波長達到約99.5%(光之)透射度》 德國專利DE 195 48 805.9所述之螢光屏物镜可達到 最大（光之）透射度為84.4%，而如圈1所示之實施例之（光 之)透射值至少為91.1%。 更為重要的是本發明對低波長設備之（光之)透射度之 改良，例如193 nm波長，因為此種低波長設備之石英（或 其它可能選擇之材料）之（光之)透射能力明顯降低而且比較 困難設計防反射層。同時其材料製作成本也較高，雷射费 -10 - 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4规格（210'X 297公釐） (锖先閱讀背面之注意事項再填寫本筲) .裝· 訂 輕碑部中央樣率局員工消费合作社印製
96053P A7 B7 五、發明説明（9) 用也較贵，而且其光線損失也較大。 由於本發明之結構與其它種結構比較時，其較高之折 射率能適合其它（尤其是較低）之波長，因此，本發明之螢 光屏物鏡對較低波長之設備特別有價值。 再請參閲如后附之圈2所示之一投影照明設備（晶片 與步進裝置）之光學部份之示意圈，本發明之螢光屏物鏡 123為構成該投影照明設備之要件。 該投影照明設備之光源為波長248nm之KrF-Exdmer雷 射裝置50。接著設有一裝置60來形成光束舆減少相滲性。 可變焦距透鏡70能於必要時調整各種之照明方式。如此 之整«設計結構（除本發明螢光屏物鏡123之發明特徵 外），警如在專利案號EP-A 0 687 956或德國專利案號DE-U 94 09 744 (此二種專利案之申請人亦為本專利案之申請人) 所述者為吾人所熟知《光線將在玻璃棒80内凝聚並且被混 合舆均句化。 接著是位於本發明螢光屏物銳123之物面1上之螢光 屏系統90。本發明螢光屏物鏡123由第一透鏡组100、毺 孔面（光圏面）14、第二透銳組200、折射銳240、第三透銳 組舆投影面33構成。在投影面33上設有可利用更換舆調 整裝置來精密定位之光栅330〇接下來之裝置是如專利案 號WO 95/32446所述具有瞳孔面410之反折射投影物銳 400。如表一舆表二實施例所示之入射光璩（入射光孔)在投 影物鏡前當然幾乎是無窮遠（無限大）。在投影面上設有晶 片 500。 -11- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210x297公羞} (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝. 訂 經濟部中央揉準局貝工消費合作社印裝. 經濟部中喪搮準扃貝工消费合作社印装 五、發明说明（/0) 圈5所示係本發明之另一實施例之透銳剖面示意圈， 其係具有4個非球面透鏡505、509、514、520舆8個總共 擁有18個接觸面（界面）之透銳以及平面螢光屏521、522。 其相_資料請參閱表二。平面511與516只有分支作用》 在此其明像比例尺(4.730:1)與像場（直徑127mm)和如圖1所 示之實施例沒有很大的區別，不過具有較大之16.2mm光電 導值。在此實施例中，與一純球面設計互相比較時，其透 鏡數董與只有物像鉅離之22%之玻璃光程皆明顢地減少與 缩短。如同舆圈1之比較所示，在此其聚焦透鏡550只採有 4個透鏡，其中只有2個非球面透銳505、509，更具改良可 能性。雖然如此，在與純球面之螢光屏物鏡結構互相比敕 時，適當地利用本發明之非球面透銳之設計能顢著地改良 其性能。 表1 ---------------'訂-------— * - ^|\ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁」 比例尺:4.444:1 波長:248.33 η m 半徑 厚度 材料 1 55.240 2 -38.258 46.424 石英 3 -66.551 .633 4 881.696 45.341 石英 5 -190.791 •924 6 374.111 47.958 石英 7 -287.518 222.221 8 光圈 17.900 9 00 79.903 10 164.908 52.350 石英 11 -1246.141 27.586 12 280.226 19.580 石英 -12- 本紙張尺度ϋ财咖家码-(CNS ) A4iUI· ( 210X297公釐_) ~ A7五、發明説明（//) 13 114.495 133.941 14 00 365.253 15 •216.480 12.551 石英 16 -113.446 1.399 17 -329.056 10.797 石英 18 -552.687 60.000 19 00 .000 表面 非球面常數 7 K = -.00640071; Cl = .347156E-07; C2 = .802432E-13; C3 = -.769512E-17; C4 = .157667E-21 11 K = +.00104108; Cl = .431697E-07; C2 = -.564977E-13; C3 = -.125201E-16; C4 = .486357E-21 17 K = +.00121471; Cl = -.991033E-07; C2 = -.130790E-11; C3 = -.414621E-14; C4 = .200482E-17; C5 = -.392671E-21 表2 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝. 訂 經濟部中央標準局員工消费合作社印裝 比例尺:4.730 :1 半徑 波長:248.33 1 厚度 tun 材料 501 00 49.615 502 -36.076 39.343 石英 503 -58.772 7.280 504 769.933 46.491 石英 505 -154.827 24.882 506 251.853 42.379 石英 507 -5038.206 177.092 508 1206.092 26.134 石英 509 -382.601 2.521 510 光圈 16.000 511 00 48.808 512 220.678 54.515 石英 513 -329.344 23.787 514 -2544.603 12.265 石英 515 107.244 178.887 -13- Λ- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A7 五、發明説明（λΖ) 516 00 312.788 517 -634.092 24.232 石英 518 -177.052 24.158 519 -1168.238 15.641 石英 520 -3520.690 9.182 521 00 4.000 石英 522 00 60.000 523 00 .000 表面 非球面常數 505 Κ =^11512040; Cl = .36489383Ε-07; C2 = .16169445Ε-11; C3 ^.70228033Β·16; C4 = .36695356Ε-20 509 Κ = -.01464591; Cl = .37060030E-07; C2 = .92577260E-12; C3 = -.10037407E-16; C4 = .29843433E-20 514 K = +.00003903; Cl = -.13705523E-08; C2 = -.90824867E-12; C3 = .81297785E-16; C4 = -.56418498E-20 520 K = -.000150010; Cl = .17085177E-07; C2 =. 18373060E-10; C3 = -.49871601E-14; C4 = .61193181E-18 C5 = '23186913E-22 ----------餐-- • . rl (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部中央橾準局貝工消費合作社印裝 -14- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）

Claims (1)

  1. 申請專利範團 A8 B8 C8 D8 96053P 經濟部中央揉率局貝工消费合作社印製 1： 一種螢光屏物銳，具有放大3-8倍之功艇而且具有一大 於10mm之光電導值，俾能自物面（1)往光柵面（19)上顯現 之明味稜面（簧光屏光圈之光閘）之亮度值分別由原有之像 場直徨之5%舆95%之明暗值降低少於5%，而且最妤是少 於0.5%，其特徵在於其構造為具有不超過1〇個透獍而且 該透鏡之1至5(最好是3至4)之銳面係為非球面（7、11、 17)· 2·根據申請專利範面第1項所述之螢光屏物銳，其構造 範國自最逮端炬麟之物面（1)至一先柵面（19)，主要由一聚 魚逄銳鈒(100)、一中間透銳組(200)舆一場透銳组(300)構 成’其中該聚焦透銳組係充當翁蟪之部份物婕，具無限大 之投影面而且其先圈係位於整個螫光屏物鐮之物面（1)上， 其特徵在於該聚焦透銳组（1〇〇)、中間透銳組(200)舆場速 銳级(300)分別具有一至二個非球面透銳面（7、11、17)， 而且該非球面遑銳面(7、11、17)之總數量不超遢5個，最 好係不超過4個，同時，透婕之蟪數董最多為1〇偭。 3. 根隸申請專利範固第1項所述之螢光屏物饞，其特微 在於該透婕内之玻璃先輊最大值為透銳面（1)舆光栅面（19) 間距離之30%，最好為其25%。 4. 根據申請專利範面第1項所述之螯光屏物銳，其特微 在於其中至少一個光學面舆一邊部光線具一較大之投影角 度之正弦值:（|sin(iRand)|)^).6NA0(物鏡側孔徑值），而且 *妤是之0.6NAO· 5. 根樣申請專利範面第1項所述之縈光屏物銳，其特徵 15- 本紙張尺度適用中81國家揉率（匚呢）入4规格（210><297公釐） 請 先* Μ 讀 背, 面 之 注 項 裝 ij 線 經濟部中央棣隼局負工消費合作社印策 A8 B8 388798___ D8_ >60531 、申請專利範圍 在於該螯光屏物镜具有一部份物鐃组（聚焦透銳组)(100)， 裨能為校正慧形差象目的形成一皤孔片（14)。 6. 根據申請專利範面第5項所述之费光屏物鐃，其特微 在於該聚焦透親鈒（1〇〇>往物面（1)方向具有至少一彎曲中 空面(4)，而其彎曲弧度至透鐃直徑間之相對孔徑之弧度值 係小於0.65。 7· 根據申請專利範園第1項所述之螢先屏物銳，其特微 在於該螯光屏物銳係應用在一顢微平版印刷投影照明投# 内，而且其螫光屏系統（90)係設在一玻璃棒（80)之出口 處。 8. 根據申請專利範面第1項所述之螫光屏物銳，其特徵 在於該螫光屏物鐃係應用在一《撖平版印刷投影照明設播 内’而且其投影物鏡(400)係一具嫡小功毖之反折射物銳* 9. 根據申請專利範園第1項所述之螯光屏物婕，其特徵 在於該螯光屏物親主要由一聚焦遣鏡组(100)、一中間逸鐃 组(200)舆一場透銳组(3〇〇)構成，其中該聚焦透鐃板係充 當前螭之部份物鐃，具無限大之投影面而且其光圈係位於 整個螯光屏物鏠之物面（1)上。 10. 根據申請專利範面第2項所述之螢光屏物銳，其特徵 在於該螯光屏物饞具放大三至八倍之功嫵❶ 11. 根據申請專利範面第2項所述之螢光屏物銳，其特歡 在於該鰲光屏物錄具有一大於80mm之像場直徑❶ 12·根據申請專利範園第2項所述之螢光屏物銳，其特徵 在於該綮光屏物婕具有一超過0·10數值之孔徑。 -16- 本紙張尺度逍用中國國家揉準（CNS ) Α4规格（210X297公釐） ---------^------‘訂 I:-----0 (請Α.*閱讀背面之注$項&寫本頁) 388798 A8 B8 C8 D8 96053P π、申請專利範囷 13. 根據申請專利範面第2項所述之螢光屏物銳，其特微 在於該螢光屏物錄具有一大於lOmni之光電導值。 14. 根據申請專利範圚第2項所述之簧光屏物銳，其特徵 在於該螯光屏物銳自物面（1)往光#面（19)上顙現之明暗稜 面（鰲光屏光圈之光«)之亮度值分別由原有之像場直捶之 5%舆95%之明晴值降低少於2%，而且最好是少於0.5%。 15. 根據申請專利範固第1項所述之簧光屏物鏡，其特徵 在於該簧光屏物親能產生一績孔功旎，其晴孔之sin(i)函數 值係在±10毫弧度範固，而且公差低於±1毫弧度，尤其是 低於±0.3奄弧度β 16. 具有一照明設備之顯徵平版印刷投彩照明設備，其係 由一具放大功能之縈光屏物銳(123)舆一具嬙小功旎之投影 物鏑1(400)所構成，其中該螢光屏物銳（123)之嗆孔面（12)係 投射在投影物銳(400)之績孔面（410>上，而且該螯光屏物 鏡（123)落在先柵面（330)上之每一點之主光線，舆投影物 銳(400)之主先線之偏差僅少於3毫弧度（最好是少於〇、3毫 弧度），其特徵在於該縈光屏物銳(123)最多只具有1〇個透 鐃而且最多只有5锢(最好是只有4個）非球面》 I (請·^閱讀t*面之注$項寫本頁 .封 線· 經濟部中央標率局負工消费合作社印製 -17- 本紙張尺度逋用中國國家揉準（CNS > A4规格（210X297公釐）
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