KR19990087107A - 마이크로 리소그래피 투영 노광 장치용 망상 대물 렌즈 - Google Patents

마이크로 리소그래피 투영 노광 장치용 망상 대물 렌즈 Download PDF

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뮐러-리쓰만 베르너, 탈링거 볼프강
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Abstract

소수의 렌즈 (10 개까지) 및 소수의 유리 경로 (물체-십자선 거리의 최대 25 - 30 %) 에 의한 고질의 보정시 소수 (3 내지 5 개) 의 비구면 렌즈 (7, 11 및 17) 를 도입함으로써 망상 대물 렌즈가 실현되어, 결과적으로 효율이 상승된다.

Description

마이크로 리소그래피 투영 노광 장치용 망상 대물 렌즈
DE-U 94 09 744 호에는 마이크로 리소그래픽 투영 노광 장치용 조명 기구가 공지되어 있는데, 상기 장치를 구성하는 부분들은 하기에 기술된 순서로 제공된다; 광원, 폐쇄부, 커플링 대물 렌즈 (줌-액시콘), 집적기로서의 유리 막대, 십자선-마스킹-시스템 및 제 1 렌즈 그룹, 동공-중간 평면, 제 2 렌즈 그룹, 경동 미러, 제 3 렌즈 그룹 및 십자선을 갖는 십자선 평면을 포함하면서 상기 십자선-마스킹-시스템내에 배치되어 있는 중간 필드 평면을 십자선상에 상을 형성하기 위한 REMA-대물 렌즈. 그 다음에는, 통상적으로 축소되고 - 예컨대 비 텔레센트럴 (not telecentral) 입력에서는 - 내부에 배치된 동공 평면을 포함하는 투영 대물 렌즈가 후속하고, 그 다음에는 화상 평면내에 웨이퍼가 제공된다.
EP 0 526 242 A1 호에 따른 시스템에서는 상기 집적기, 본 경우에는 벌집형 집광기 (condenser) 뒤에는 십자선-마스킹-시스템이 후속하기 전에 먼저 투영 대물 렌즈가 제공된다. 상기 십자선-마스킹-시스템은 2 개의 렌즈 그룹 및 미러를 통해 십자선 평면에 광학적으로 공액된다. 즉, 상이 형성된다. 그와 동시에, 조리개는 상기 집적기의 출구에서 - 제 2 광원 - 2 개의 렌즈 그룹 및 투영 대물 렌즈의 부분들에 의해 투영 대물 렌즈의 동공상에 상이 형성된다. 상기 출원서에서는 상 에러에 대해서는 진술되지 않는다.
상기 출원인의 WO 95/32446 호에는 구경이 최대인 마이크로 리소그래피용 반사 굴절 축소 대물 렌즈가 기술되어 있으며, 본 출원서에 기술된 REMA-대물 렌즈의 실시예는 상기 출원서에 기술된 도 3 및 표 2 에 따른 실시예에 정확히 매칭된다.
우선일이 지난 직후에 예비 간행된 제 1 특허 출원서인 1995년 12월 27일자 DE-A 195 48 805 호는 렌즈 표면이 구면으로만 이루어진 REMA-대물 렌즈가 기술되어 있다. 상기 출원서의 실시예는 13 개의 렌즈를 포함하고, 광학 특성면에 있어서는 본 출원서에 기술된 실시예 (도 1) 와 매우 유사하다. 상기 2 개의 REMA-대물 렌즈는 동공 사상 (寫像) 에 있어서 특히 WO 95/32446 호의 투영 대물 렌즈에 매칭된다.
따라서, 언급된 WO-간행물 및 DE-A 195 48 805 호와 DE-U는 본 특허 출원서의 명시적인 공개 부분이다.
본 발명은 REMA-대물 렌즈에 관한 것이다. 상기 대물 렌즈는 리소그래피용으로 구조화된 마스크를 지지하는 십자선 평면에 십자선-마스킹 장치 (Reticle-Masking Installation; REMA) 의 상을 형성하는 대물 렌즈이다. 따라서, 십자선상에 조명되는 영역은 날카롭게 에징된다. 십자선 마스킹 장치에는 통상적으로 조절 가능한 커터가 장치된다. 상 (像) 은 일반적으로 확대된다.
REMA-대물 렌즈는 마이크로 리소그래피-투영-노광 장치 (스테퍼 (Stepper) 또는 스캐너(Scanner)) 에 사용된다.
본 발명은 도면을 참조하여 하기에 자세히 설명된다.
도 1 은 3 개의 비구면 렌즈를 갖는 망상 대물 렌즈의 렌즈 단면도이고,
도 2 는 마이크로 리소그래피-투영 노광 시스템의 개략도이며,
도 3 은 미리 주어진 동공 사상을 보여주는 그래프이고,
도 4 는 실시예에서 나타난 상기 동공 사상의 도 3 에 대한 편차를 보여주는 그래프이며,
도 5 는 4 개의 비구면 렌즈를 갖는 다른 실시예의 렌즈의 단면도이다.
본 발명의 목적은, 매우 적은 개수의 한계 표면 - 상기 표면에서는 반사 손실이 나타난다 - 및 매우 적은 개수의 유리 경로 (glass path) - 상기 경로에서는 흡수가 이루어진다 - 를 포함하고, 투과 효율이 훨씬 개선된 REMA-대물 렌즈를 제공하는 것이다. 이 경우 광학 특성에서는 불필요한 것이 만들어질 수 없다.
상기 목적은, 독립항 1 또는 2 에 따른 기껏해야 4 개 내지 5 개의 소수의 비구면을 갖는 REMA-대물 렌즈 및 청구항 16 에 따른 전체 투영 노광 장치에 의해서 달성된다.
공지된 바와 같이, 비구면이 새로운 보정 가능성들을 열어줌으로써 렌즈를 절약할 수 있다. 또 한가지 명백한 점은, 비구면이 제조 비용 및 품질 검사 비용을 매우 상승시키기 때문에, 비구면은 개수 및 구형과의 편차면에서 경제적으로 사용되어야만 한다는 것이다.
놀랍게도, 구형과의 편차가 근소한, 단지 3 개 내지 4 개, 기껏해야 5 개의 비구면으로써 렌즈의 개수 및 유리 경로를 각각 60 % 이하로 감소시키는 데 성공하였다. 이 경우에는 또한 REMA-대물 렌즈에 대한 높은 요구도 충족되었고, 효율 (투과) 도 훨씬 상승되었다.
청구항 1 은 상기 관계를 명확하게 해준다. 청구항 2 는 집광기, 중간부 및 필드 렌즈부를 갖는 구성에 대해 언급하고 있다.
청구항 3 내지 15 는 바람직한 실시예에 관한 것이다.
청구항 3 은 30 % 이하, 바람직하게는 25 % 이하로 감소된 대물 렌즈-십자선 간격의 유리 경로를 규정하고 있다.
청구항 7 및 8 은 유리 막대의 출구에 있는 REMA 또는 축소되는 반사 굴절 투영 대물 렌즈가 주변에 매우 바람직하게 매칭된다는 내용에 관한 것이다.
청구항 15 는 편차가 매우 적으면서도 우수하게 텔레센트릭한 투영 대물 렌즈의 동공 사상에 매칭된다는 것을 기술하고 있다. 즉, 투영 대물 렌즈 주광선의 병행성과의 적은 편차는 REMA-대물 렌즈에 의해 매우 우수하게 일치된다.
독립항 16 은 기술된 소수의 부재를 갖는 REMA-대물 렌즈가 전체 마이크로 리소그래피 투영 노광 장치를 위해 관련 투영 대물 렌즈에 우수하게 매칭된다는 것을 기술하고 있다.
도 1에 렌즈 단면이 도시된 REMA-대물 렌즈의 실시예는 표 1의 데이터를 갖는다. 상기 대물 렌즈는 개구 조리개 (8) 앞에 부분 대물 렌즈로서 형성된 집광기 (100), 중간부 (200) 및 필드 렌즈부 (300)로 이루어진다. 상기 부분들의 각 부분에는 하나의 비구면 렌즈 (7, 11 및 17) 가 제공된다. 상기 REMA-대물 렌즈는 또한 단지 7 개의 렌즈만을 포함한다. 평평한 표면 (9 및 14) 은 공간 유지 기능만을 갖는다. 14의 영역에는 경동 미러 (도 2 의 240) 가 배치될 수 있다.
상기 비구면은 하기의 일반식으로 기술된다.
상기 식에서 p 는 피치 (pitch)이고, h 는 광축에 대한 거리이며, R 은 정점 반경이고, k 는 원뿔형 상수이며, cl 내지 cn 은 비구면 상수이다. 이 경우에는 약 5 ㎛ 이상의 구와 회전 대칭의 편차를 갖는 모든 광표면이 비구면으로 간주된다. 이용되는 비구면의 크기는 주로 0.1 내지 1 mm (통상적으로는 2 mm 까지)이다.
상기 대물 렌즈는 그 내부에 물체-상-거리가 1,200 mm 인 십자선-마스킹-시스템이 배치된 물체 평면 (1) 을 십자선 평면 (19) 상에 이미징한다. 물체 평면 (1), 조리개 평면 (8), 중간부 (200)와 필드 렌즈부 (300) 사이, 및 십자선 (19)에서의 공간이 크게 측정됨으로써, 그곳에 배치될 부분들, 즉 REMA-시스템 (90), 조리개 평면내의 보정 부재, 경동 미러 (240) 및 십자선용 핸들링-시스템 (330) (도 2 참조) 이 아무 문제없이 배치될 수 있다.
REMA-대물 렌즈의 주기능, 즉 5 % 및 95 % 의 명도값이 상 필드 직경의 5 % 이하만큼, 바람직하게는 상기 직경의 0.5 % 이하만큼의 차이를 나타내는 임의의 에지 곡선을 갖는 십자선 평면 (19) 상으로 물체 평면 (1) 의 밝음-어두움-에지 (REMA 조리개의 절단) 를 이미징하는 기능은 42.1 mm 의 상 필드 직경의 0.4 % 의 간격으로 충족된다. 상기 REMA 대물 렌즈의 사상에서 직접 방향 설정되는, 전체 상 필드내에서의 모든 상 에러를 위한 통합값이 상기 표시에 의해 제공된다.
REMA 대물 렌즈가 11.4 mm 의 상당한 광 가이드 값 (19 mm 의 물체 필드 직경 및 NAO = 0.6 의 물체측 구경 수치로 이루어진 제품) 을 가지기 때문에, 상기와 같은 우수한 보상은 어렵다. 상기와 같은 대물 렌즈를 위해서는 일반적으로 10 mm 보다 더 큰 광 가이드값이 필요하다.
상기 REMA 대물 렌즈의 확대는 4,444 : 1 이다.
REMA 대물 렌즈의 다른 핵심 기능은, 초평면 (focal plane, 19) 의 모든 점에서 도달되는 주광선, 즉 충돌하는 광원뿔의 무거운 광선이 후속하는 투영 대물 렌즈의 미리 주어진 주광선과 약간만, 더욱이 3 mrad 이하만큼만 상이하다는 점이다. 이것은, 십자선 평면 (19) 내에서 미리 주어진 동공 사상은 - 도 3 참조 - 최소 편차로 재생되어야 한다는 요구와 동일한 의미이다. 도 4 에서 보는 바와 마찬가지로, 이것은 완벽하게 도달된다.
도 3에서 주광선 각도의 사인 (sine(i)) 은 십자선 평면 (19) 내에서 화상 높이 (YB) 의 함수로서 도시되며, 도 4에서는 상응하게 편차가 sin(i) 이고, 상기 편차는 0 에서 약 ± 0.11 mrad 의 폭 내에 있다.
더블 텔레센트릭 투영 대물 렌즈에 매칭됨으로써, REMA 대물 렌즈는 화상측에서도 마찬가지로 높은 수준의 텔레센트릭 특성을 갖는다. 물체측에서도 절대적으로 텔레센트릭 특성을 갖는다.
상기 매칭을 위해서는 필드 렌즈 그룹 (300)의 실행이 중요하다. 상기 그룹은 실시예에서 최소 2 개의 렌즈, 초점 (볼록) 렌즈 (15 및 16) 및 분산 렌즈 (17 및 18) 로 감소된다. 이 경우 표면 (17) 은 반드시 비구면이고, 그 외에 많은 구형의 부재들이 필요하다. 상기 영역에서 주광선의 높이는 주변 광선 높이 보다 더 높다.
상기 표면들 중에서 하나의 표면, 특히 마지막 표면 (18) 이 또한 평평하게 만들어질 수 있음으로써, 상기 표면은 십자선상에서 강도 분배를 분산하기 위한 그레이 필터 (grey filter) 를 얇은 층으로서 지지하기에 적합하다.
집광기 (100) 는 물체 평면이 무한한 부분 대물 렌즈로서 형성된다. 조리개는 전체 대물 렌즈의 물체 평면 (1) 내에 있고, 초평면은 전체 대물 렌즈의 조리개 (8) 내에 있다. 그럼으로써, 부분 대물 렌즈의 주변 광선은 전체 대물 렌즈의 텔레센트릭 주광선에 상응하게 되고, 부분 대물 렌즈의 주광선은 전체 대물 렌즈의 주변 광선에 상응한다.
조리개 (8) 의 평면내에 있는 상기 부분 대물 렌즈의 화상은 (집광기 (100)) 최대로 우수하게 보정되어야 하는데, 그 이유는 그렇게 되어야만 상기 평면 (8) 내에 보정 부재가 배치될 수 있고, 보다 명확한 조리개 사상이 얻어진다. 그럼으로써, 가로 편차로 표현되는 코마 (coma; 수차) 의 최대값이 상기 부분 상의 화상 필드 직경의 1 % 이하, 바람직하게는 0.2 % 이하로 된다. 실시예에서는 0.08 % 에 도달되었다. 또한 상기 집광기는 물체 (1) 쪽으로 구부러진 적어도 하나의 오목한 표면을 포함하는데, 상기 오목 표면에 대한 곡률 반지름의 구경비는 반구에 대한 0.5 의 최소값에 가깝다. 실시예에서 상기 표면 (2) 에서의 값은 0.554 이다. 일반적으로 상기 값은 0.65 보다 작게 선택되어야 한다.
(도 1 에서와 같이) 하나의 비구면 (7) 에서 2 개의 비구면까지 사용하는 경우에는 집광기 (100) 의 상기 기능을 실현하기 위해 3 개 (2/3, 4/5, 6/7) 내지 4 개의 렌즈로 충분하다.
중간부 (200) 도 마찬가지로 하나의 비구면 (11) 을 포함한다. 상기 중간부는 한 쌍의 렌즈 (10/11, 12/13) 로 거의 충분하며, 이 경우 표면 (13) 은 하기의 조건을 충족한다; 상기 표면은 ｜sin(iRand)｜ ≥ 0.8 NAO 인 휘어진 오목 표면이다. 상기 표면 (13) 은 또한 주변 영역이 강하게 굴절된다. 본 발명에 따른 REMA 대물 렌즈에서는 통상적으로 상기 주변 광선 각이 어떤 경우에도 0.6 NAO 보다 크다.
본 발명에 따른 REMA 대물 렌즈는 또한 DE 195 48 805.9 에 따른 REMA 대물 렌즈의 모든 기능들을 가지며, 도 1에 따른 실시예는 상기 출원서의 도 1의 실시예를 직접 치환할 수 있다. 그러나 소수의 비구면 (7, 11 및 17) 의 작용은 강력하다.
집광기 (100) 는 5 개에서 3 개 까지 감소되고, 중간부 (200) 는 다만 2 개 내지 4 개의 렌즈로도 거의 충분하며, 필드 렌즈부 (300) 내에서도 렌즈의 개수는 마찬가지로 절반인 2 개로 된다. 상기 예에서는 전체적으로 다만 7개 (다른 실시예에서는 최대 10 개) 의 렌즈가 존재한다.
유리 경로, 즉 광축상에 있는 렌즈의 모든 렌즈 두께의 총합은 과거 출원에서의 396 mm 에 비해서 다만 235 mm 에 달하고, 2가지 경우 모두 하나의 대물 렌즈-상의 간격 (1-19) 은 1,200 mm 이었다. 즉, 상기 유리 경로는 40 % 이상만큼 감소되고, 초점 차단의 량은 다만 20 % 에 달하며, 상기 초점 차단은 다른 실시예에서도 계속해서 다만 25 - 30 % 까지만이다.
248 nm 의 고가의 석영 유리의 투과는 약 99.9 %/㎝ 이다. 상기 값은 동작이 진행됨에 따라 숙성 프로세스 (광선 손상, F-중심 형성) 에 의해 감소된다. 유리와 공기의 경계층에서는 248 nm 의 고가의 반사 방지층에 의해 투과율이 약 99.5 % 에 도달될 수 있다.
따라서, DE 195 48 805.9 호에 따른 REMA 대물 렌즈는 최대 84.4 % 의 투과 효율에 도달되는 반면, 상기 값은 도 1의 예에서 항상 91.1 % 이다.
예컨대 193 nm 의 더 낮은 파장용 시스템에서는 투과 효율을 상기와 같이 개선하는 것이 더 중요한데, 그 이유는 상기 시스템에서는 석영 (및 가능한 대안 재료) 의 투과가 확실하게 떨어져서 반사 방지층의 실행이 더 어렵기 때문이다. 동시에, 재료비용은 훨씬 더 가중되고, 그로 인해 광손실로 인한 비용도 상승된다.
본 구성은 변동된 굴절 지수를 고려하여 특별히 더 낮은 다른 파장에서의 비율에 매칭될 수 있기 때문에, 본 발명은 더 낮은 파장을 개발하는데 매우 중요하다.
도 2는 본 발명에 따른 REMA 대물 렌즈 (123) 가 통합되어 있는 전체 투영 노광 장치 (웨이퍼-스테퍼) 의 광학부를 개략적으로 도시한 개략도이다.
파장이 248 nm 인 KrF-엑시머-레이저 (50) 가 광원으로서 사용된다. 장치 (60) 는 광선을 형성하고 코히어런스를 감소시키기 위해 사용된다. 줌-액시콘-대물 렌즈 (70) 에 의해서는 상이한 조명 방식을 필요에 따라 적절하게 조절할 수 있다. 전체 장치 (REMA-대물 렌즈 (123) 의 본 발명에 따른 장점 이외에) 는 예를 들어 EP-A 0 687 956 호 또는 DE-U 94 09 744 호에 공지되어 있다. 광은 혼합 및 균일화를 위해 사용되는 유리 막대 (80) 내에 커플링된다.
상기 유리 막대에는 REMA 대물 렌즈 (123) 의 목적물 평면 (1) 내에 배치된 십자선 마스킹 장치 (90) 가 직접 연결된다. REMA 대물 렌즈는 제 1렌즈 그룹 (100), 동공 평면 (조리개 평면, 12), 제 2렌즈 그룹 (200), 경동 미러 (240), 제 3렌즈 그룹 (300) 및 초평면 (33) 으로 이루어진다. 상기 초평면에는 변동 유닛 및 조절 유닛 (331) 에 의해 정확하게 위치 정해지는 십자선 (330) 이 배치되어 있다. 동공 평면 (410) 을 갖는 WO 95/32446 호에 따른 반사 굴절 광학 투영 대물 렌즈 (400) 가 후속한다. 입사동은 표 1 및 2 의 실시예에서 상기 투영 대물 렌즈 앞에 거의 무한으로 있다. 초평면에는 웨이퍼 (500) 가 배치되어 있다.
도 5는 4 개의 비구면 (505, 509, 514 및 520) 및 8 개의 렌즈와 하나의 평행판 (521, 522) 으로 이루어진 전체 18 개의 경계 표면을 갖는 다른 실시예의 렌즈 단면을 보여준다. 표 2는 치수들을 보여준다. 표면 (511 및 516) 은 다만 대체 지지 기능만을 갖는다. 가로 배율 (4,730 : 1) 및 상 필드 (직경 127 mm) 는 도 1의 실시예와 근본적으로 상이하지는 않다. 물론 광 가이드값은 16.2 mm 보다 더 크다.
본 경우에도 렌즈의 개수 및 유리 경로는 순수한 구면 디자인에 비해서 물체-상-간격이 22 % 만큼 강하게 감소되었다. 도 1과의 비교에서 알 수 있는 바와 같이, 2 개가 비구면 (505 및 509) 인 4 개의 렌즈를 포함하는 도 5의 집광기 (550) 는 여러 개선 가능성들을 갖는다. 그럼에도 불구하고, 비구면을 적절하게 사용하는 경우에는 순전히 구면의 REMA 대물 렌즈에 비해서 개선이 현저하다.
표 1
척도; 4,444 : 1 파장; 248,33 nm
반지름 두 께 재 료
1 55,240
2 -38,258 46,424 석영
3 -66,551 ,633
4 881,696 45,341 석영
5 -190,791 ,924
6 374,111 47,958 석영
7 -287,518 222,221
8 조리개 17,900
9 ∞ 79,903
10 164,908 52,350 석영
11 -1246,141 27,586
12 280,226 19,580 석영
13 114,495 133,941
14 ∞ 365,253
15 -216,480 12,551 석영
16 -113,446 1,399
17 -329,056 10,797 석영
18 -552,687 60,000
19 ∞ ,000
표면 비구면 상수
7 K = -,00640071 Cl = ,347156E-07 C2 = ,802432E-13 C3 = -,769512E-17 C4 = ,157667E-21
11 K = +,00104108 Cl = ,431697E-07 C2 = -,564977E-13 C3 = -,125201E-16 C4 = ,486357E-21
17 K = +,00121471 Cl = -,991033E-07 C2 = -,130790E-11 C3 = -,414621E-14 C4 = ,200482E-17 C5 = -,392671E-21
표 2
척도; 4,730 : 1 파장; 248,33 nm
반지름 두 께 재 료
501 ∞ 49,615
502 -36,076 39,343 석영
503 -58,772 7,280
504 769,933 46,491 석영
505 -154,827 24,882
506 251,853 42,379 석영
507 -5038,206 177,092
508 1206,092 26,134 석영
509 -382,601 2,521
510 조리개 16,000
511 ∞ 48,808
512 220,678 54,515 석영
513 -329,344 23,787
514 -2544,603 12,265 석영
515 107,244 178,887
516 ∞ 312,788
517 -634,092 24,232 석영
518 -177,052 24,158
519 -1168,238 15,641 석영
520 -3520,690 9,182
521 ∞ 4,000 석영
522 ∞ 60,000
523 ∞ ,000
표면 비구면 상수
505 K = -,11512040 Cl = ,36489383E-07 C2 = ,16169445E-11 C3 = -,70228033E-16 C4 = ,36695356E-20
509 K = -,01464591 Cl = ,37060030E-07 C2 = ,92577260E-12 C3 = -,10037407E-16 C4 = ,29843433E-20
514 K = +,00003903 Cl = -,13705523E-08 C2 = -,90824867E-12 C3 = ,81297785E-16 C4 = -,56418498E-20
520 K = -,000150010 Cl = ,17085177E-07 C2 = -,18373060E-10 C3 = -,49871601E-14 C4 = ,61193181E-18C5 = -,23186913E-22

Claims (16)

  1. 물체 평면 (1) 의 밝음-어두움-에지를 십자선 평면 (19) 상에 이미징하는 것이, 상 필드 직경의 2 % 이하, 바람직하게는 0.55 % 이하만큼의 편차를 보이는 5 % 내지 95 % 의 명도값을 갖는 에지 곡선을 나타내는, 광 가이드값이 10 mm 보다 더 큰 3배 내지 4배로 확대되는 REMA-대물 렌즈에 있어서,
    10 개를 넘지 않는 렌즈, 그 중에서 1 개 내지 5 개, 바람직하게 3 개 내지 4 개는 비구면 표면 (7, 11 및 17) 인 렌즈가 제공되는 것을 특징으로 하는 REMA-대물 렌즈.
  2. - 상 평면이 무한대이고, 조리개가 전체 REMA-대물 렌즈의 물체 평면 (1) 에 있는 전방 부분 대물 렌즈로서 형성된 집광기 (100),
    - 중간부 (200) 및
    - 필드 렌즈부 (300) 를 포함하고, 간격이 무한대인 물체 평면(1)을 십자선 평면 (19) 상에 이미징하는 REMA-대물 렌즈에 있어서,
    집광기 (100), 중간부 (200) 및 필드 렌즈부 (300) 는 각각 1 개 내지 2 개의 비구면 렌즈 표면 (7, 11 및 17) 을 포함하며, 이 경우 전체적으로 5 개 미만, 바람직하게는 4 개 미만의 비구면 표면 (7, 11 및 17) 이 존재하고, 렌즈의 전체 개수는 최대 10 개인 것을 특징으로 하는 REMA-대물 렌즈.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항 중 어느 한 항에 있어서,
    렌즈내에 있는 유리 경로는 물체 평면 (1) 과 십자선 평면 (19) 의 간격의 최대 30 %, 바람직하게는 최대 25 % 인 것을 특징으로 하는 REMA-대물 렌즈.
  4. 제 1 항, 2 항 또는 제 3 항에 있어서,
    공기 중에서 주변 광선의 표면 법선에 대해 투영각의 사인의 최대값을 갖는 적어도 하나의 광학 표면 (｜sin(iRand)｜) 은 물체측의 수치상 구경 (NAO) 의 0.6 배 이상, 바람직하게는 0.8 배 이상인 것을 특징으로 하는 REMA-대물 렌즈.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    코마를 고려하여 보정된 동공 평면 (14) 을 형성하는 부분 대물 렌즈 (100) 를 포함하는 것을 특징으로 하는 REMA-대물 렌즈.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 부분 대물 렌즈 (100) 는 물체 평면 (1) 쪽으로 구부러진 적어도 하나의 오목 표면 (4) 을 포함하며, 상기 표면에서 렌즈 직경에 대한 곡률 반지름의 개구비는 0.65 보다 더 작은 것을 특징으로 하는 REMA-대물 렌즈.
  7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    십자선-마스킹 장치 (90) 가 유리 막대 (80) 의 출구에 배치된, 마이크로 리소그래피 투영 노광 장치내에 사용되는 것을 특징으로 하는 REMA-대물 렌즈.
  8. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
    투영 대물 렌즈 (400) 가 축소하는 반사 굴절 대물 렌즈인 마이크로 리소그래피 투영 노광 장치내에 사용되는 것을 특징으로 하는 REMA-대물 렌즈.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상 평면이 무한대이고, 조리개가 전체 REMA-대물 렌즈의 물체 평면 (1) 에 있는 전방 부분 대물 렌즈로서 형성된 집광기 (100), 중간부 (200) 및 필드 렌즈부 (300) 로 구성되는 것을 특징으로 하는 REMA-대물 렌즈.
  10. 제 2 항에 있어서,
    3 배 내지 8 배로 확대되는 것을 특징으로 하는 REMA-대물 렌즈.
  11. 제 2 항에 있어서,
    상 필드 직경은 80 mm 이상인 것을 특징으로 하는 REMA-대물 렌즈.
  12. 제 2 항에 있어서,
    상측 수치상의 구경은 0.10 이상인 것을 특징으로 하는 REMA-대물 렌즈.
  13. 제 2 항에 있어서,
    광 가이드값은 10 mm 이상인 것을 특징으로 하는 REMA-대물 렌즈.
  14. 제 2 항에 있어서,
    물체 평면 (1) 의 밝음-어두움-에지를 십자선 평면 (19) 상에 이미징하는 것이, 상 필드 직경의 2 % 이하, 바람직하게는 0.55 % 이하만큼의 편차를 보이는 5 % 내지 95 % 의 명도값을 갖는 에지 곡선을 나타내는 것을 특징으로 하는 REMA-대물 렌즈.
  15. 제 1 항 내지 제 14 항 중 어느 한 항에 있어서,
    ±10 mrad 의 범위에서 sin (i) 의 값을 갖는 예정된 동공 사상은 ±1 mrad 이하, 특히 ± 0.3 mrad 이하의 편차로 재생되는 것을 특징으로 하는 REMA-대물 렌즈.
  16. 확대되는 REMA-대물 렌즈 (123) 를 갖는 노광 장치 및 축소되는 투영 대물 렌즈 (400) 를 포함하며, 상기 REMA-대물 렌즈 (123) 의 동공 평면 (12) 은 투영 대물 렌즈 (400) 의 동공 평면 (410) 내로 이미징되고, 도달되는 주광선의 십자선 평면 (300) 의 모든 점에서 투영 대물 렌즈 (400) 의 주광선으로부터 3mrad 이하, 바람직하게는 0.3mrad 이하로만 벗어나도록 구성된 마이크로 리소그래피 투영 노광 장치에 있어서,
    상기 REMA-대물 렌즈 (123) 는 최대 5 개, 바람직하게는 최대 4 개의 비구면 표면을 갖는 최대 10 개의 렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 리소그래피 투영 노광 장치.
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