TW387979B - Bulk chemical delivery system - Google Patents

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A7 B7 2 6 i年月

_i-dm^L 五、明説明（u ) 醣後深經管媒222及調節器M 223其控制管線220之板M。 加壓管嬢220為非必要者，但典型實除上採用加壓管線。 化學品遒遢兩對或多對遘當開口之濟除閥231及液艟控制 髑232麵分於Μ歧管箱200之分流槽段230。當液艚控脚颺 2 32II閉時，閥埠口仍然許可來自濟除Μ 231之淸除氣臁流 邊液釅控制闕2 32之座頂，流入出口埠23 4其可偁職至出口 管線•出口管媒進料至中間櫃或擊程工具·其遘擇性使用 可再《充容器。此種淸除許可於一條分支濟除成排放液體 而其他分支保持於線上。輸出閥233讕節化學品經由各输 出管嬢之_出》閥歧管可容納於败钃240内，殻艚可圼六 蟹組成之矩形箱形。殻體240可由任何邃當材料如金羼片 製成•金靥Η使用習知方法如熔接或癫當扣件組裝》前籰 可選揮性由逋明材料如派勘克斯玻璃（Plexigl as)製成》 殼*2 40可包括入口及出口管饑用之《當尺寸及定位孔。 此外歧管箱可包括液钃想澜器及放液出口，由此處移出收 集於歧管底部之液態化學品。箱底傾斜故潑灞液收集於特 定位置。感测器提供信虢給控制器因而警告搡作貝醑蘭進 入歧管箱之管線等。 _2B為«歧管箱200之第一側視鼷。圈2B中藺歧管箱入 口供之供視鼷中具有活動板於各端，其許可更有骤性且更 容易更換達接至N歧管箱之管嬢及/或接頭。活動板可為 分流板。 圈2C為閥歧管箱200之第二侧視Η。_2C顧示出口供， 其他使用活動板，本例中為分流板許可容易去除添加額外 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線 經濟部智慧財產局员工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） -14 _修正頁 經濟部中央樣準局貞工消費合作社印聚 Α7 Β7 五、發明説明（01) 概略而言本發明係Μ於一種由敗裝耱送罐輪送化學品如 原矽酸四_ (TE0S)至製程工具如化學蒸氣沉積（CVD)装置 之系統及歧管。 霣子裝置如積體霣路之生產為眾所周知。生產中之某些 步»化學品進料至某些使用化學品之製程工具。例如CVD 反應器常用於產生特定材料層如由TE0S產生不定形氣化矽 層》通去TE0S係透過散装输送櫃利用5或10加侖罐進料至 CVD反應器。由於金靨雇數增加及300毫米製程促成TE0S消 耗量顧著增加。於較長晶圓之較複雑製程也造成各層之經 濟壓力。200升罐可連到送至消費者手上之量販經濟。此 外較大董散裝罐可減少容器更換次數，勞力及運_成本° 鑑於製造作業上對TE0S需求的增加，需要有一種糸統其可 供給不間«之化學品流至多個製程工具。同理，因現有製 造設備例行改變各擓之罐*且因每次更換可能導致系統污 染，故希望減少污染點数目。 傳統上，高純度TE0S (及攙雜劑）係由稱作安瓿之小容積 容器進料至CVD反應腔室。較為晩近開發不锈網容器如美 圃專利5,45,766; 5,562 ,132及5,607,002所逑。發明人發 現此等專利案揭示之歧管設計用於具有已知化學性質，且 無迫切毒性之材料必須更換才能容納其他較為活潑的化學 品。此外發明人尋求改良糸統安全性。如此發明人判定於 再填充糸統如前述專利案掲示之系统箱要一種改良歧管。 •【發明概述】 本發明對前述缺點及需求提供解決之道。 本紙張尺度逋用中國國家標隼（CNS ) A4况梢（210X 297公"il" 4 I n^— I In m i - (請先閲讀背面之注^^項再填寫本頁)

、1T 經濟部中央橾準局貝工消費合作社印製 A7 ______B7 五、發明説明（02) —個態樣中本發明係鼸於一種散裝化學品輸送系統包含 :散裝化學品罐其連接至至少一個歧管箱，其中各個歧管 箱至少有兩條輸出管媒，其中至少一條輸出管線連接至第 二罐。 該糸統可供給大量高鈍度液態化學品至多數製程工具如 多數CVD反應器。舉例言之，圖1及1A閜明之本發明之具體 例中•經由包含四閥歧管箱，其各自進料化學品至四俚櫃 ’各钃有四條翰出管線，系统可提供化學品至64«製程工 具。但須瞭解歧管箱、散裝痛及第二*之_出管線数目可 有極大變化*可使用任意數目之输出管線。也須瞭解一或 多個額外歧管箱可串聪用於進一步劃分化學品進料。 另一廣義態樣中，本發明為一種敗裝化學品_送条统包 ••散裝化學品罐其連接至至少一個歧管箱，歧管箱至少有 根輪出管媒，其中至少一根输出管媒可選擇性連接至製程 工具或第二罐。替代具體例中，本發明為一種散裝化學品 输送系統包含歧管箱至少有兩根输出管線，其中至少一根 _出管線連接至罐。又另一替代具體例中本發明為一種散 裝化學品输送系統其包含歧管箱至少有兩根輪出管線，其 中至少一根输出管線連接至製程工具。 另一廣義態樣中本發明為一種提供化學品至霣子裝置製 造用之製程工具之方法包含：由第二罐供給化學品至製程 工具’該第二罐被進料來自閥歧管箱之化學品，該歧管箱 係由敗裝罐供給化學品。一涸具體例中散裝罐容量約200 升及其中第二罐具有比敢装罐更小的容量。一俚具體例中 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規拮（210X297公- 5 - r---l·----裝-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂

U Α7 Β7 五、發明説明（03〉 化學品為原矽酸四乙酯。一個具艚例中第二散裝罐或直接 或間接經由連接至散裝罐之歧管選擇性提供化學品至閥歧 管箱。 此外於另一廣義態樣，本發明為一種敗裝化學品供給系 統之方法包含：提供第一敗裝罐及連接第一散裝罐至至少 兩俚閥歧管箱，其各自至少有兩個出口埠；埋接各出口埠 至第二罐，其適合输送化學品至製程工具。 另一廣義慇樣，本發明為一種敗装化學品供給系统包含 :散裝罐連接至至少一«蘭歧管箱，其至少有兩《出口埠 其中至少一個出口埠係埋接至第二罐。 另一廣義態樣中，本發明為一種製造電子装置之方法， 包含由第二嫌供給化學品至製程工具，第二罐係由閥歧管 箱進料化學品，而閥歧管箱本身係由敗裝罐供給化學品。 此外本發明為一種根據此種製程製造之霄子裝置。 經濟部中央標率局貝工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 如此處使用”製程工具”表示一種最終使用本發明系統提 供之化學品之製程工具。如此本發明之系統提供化學品給 使用中需要化學品之任何製程工具。此等製程工具包括化 學蒸氣沉積*微影術及蝕刻應用装置。製程工具常用於製 造電子裝置如積體電路，記憶體窜路，平板顧示器，可能 可用'於製造光纖，多晶片模組（如M C Μ ”）等。此外須瞭解 雖然本發明可用於供給化學品如TE0S至積艚電路、記憧體 裝置等製造用之CVD反應器，但該系統也可用於其他製程。 一個廣義態揉中，本發明為一種敗装化學品供給系統包 含一個《其罩住敗装化學品嫌，其連接至分布歧管；至少 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規梢210Χ297公ilTj - 6 _ 經濟部中央樣率局貝工消費合作社印製 A7 ____B7 五、發明説明（Μ ) 一個歧管箱係連接至至少一根分布歧管，其中該分布歧管 包括至少兩條输出管媒，及其中至少一條输出管媒係連接 至第二罐其係連接至第二分布歧管且被罩於第二擓内。 —個贋義態樣中*本發明為一種用於提供化學品至用於 製造電子裝置之製程工具之方法，包含：由第二罐供給化 學品至製程工具’第二罐係由閥歧管箱進料化學品，閥歧 管箱係由散装罐供給化學品。 另一廣義態樣中，本發明為一種製造散裝化學品供給系 統之方法包含：提供第一散裝罐及連接第一散裝罐至至少 兩涸閥歧管箱其各自有至少兩個出口燁；連接至少一個出 口埠至第二嫌，其癯合輪送化學品至製程工具。 又另一廣義慇樣中，本發明為一種製造電子裝置之方法 ，包含由第二罐供給化學品至製程工具*第二罐係由閥歧 管箱進料化學品，閥歧管箱本身係由敗装罐供給化學品。 另一廣義態樣中，本發明為一種用於再填充容納化學品 之罐之歧管包含：（1)真空供給K ; (2)真空產生器；（3 > 加壓通風閥；（4)載氣隔繾閥；（5)旁通閥；（6)製程管線 隔離閥；（7)控制閥；（8)罐入口閥；（9)罐出口閥；其中 該真空供給閥連接至真空產生器ί其中該真空產生器連接 至加ΙΚ通風閥及控制閥；其中該載氣隔離閥連接至加壓通 風閥及旁通閥：其中該旁通閥又連接至隔離閬及罐入口 Μ ;其中該製程管線隔離閥亦連接至罐出口閥；其中罐入口 閥連接至控制閥及纽出口閥。 另一廣義態樣中，本發明為一種可用於再《充時速接兩 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規招（210’〆297公兑） V--1-----裝------iT-----Γυ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（05) 個容納液態化學品之罐之歧管包含：真空供給閥連接至真 空產生器；加壓通風閥連接至真空產生器及氣體人口閥； 控制閥連接至真空產生器；其中該載氣隔離閥也連接至旁 通臃，製程管線隔離閥連接至罐出口閥及旁通閥，及罐入 口閥連接至旁通閥*控制閥及罐出口閥。 另一廣義態樣中，本發明為一種連接罐至歧管之方法， 包含：連接罐配接頭至歧管配接頭因而提供輸送系統；及 清除該輸送系統，其中該歧管包含真空供給閥；真空產生 器；加壓通風閥；載氣隔離開；旁通闕；製程管線隔難閥 ;控制閥；罐入口閥；罐出口閥；其中該真空供給閥連接 至真空產生器其中該真空產生器連接至加壓通風閥及控制 閥其中該氣體入口閥連接至加壓通風闕及旁通閥；其中該 旁通閥又連接至製程管線隔離閥及罐入口閥；其中該製程 管線隔離閥亦連接至罐出口閥；其中罐人口閥連接至控制 閥及嫌出口閥。 另一廣義態樣中，本發明為一種製造歧管之方法，包含 :設置真空供給閥*真空產生器，加壓通風閥，載氣隔離 閥，旁通闕，製程管線隔雛閥*控制閥及罐入口閥；連接 閥興管線故真空供給閥連接至真空產生器，真空產生器連 接至'加壓通風閥及控制閥，氣體入口閥連接至加颳通Μ闕 及旁通閥，旁通閥又連接至製程管線隔難閥及罐入口閥， 隔離閥又連接至罐出口閥，罐入口閥埋接至控制閥及罐出 口闕。 另一廣義態樣中，本發明為一種用於再填充容納化學品 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規枱（21〇Χ 297公筇） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

經濟部中央*?:^而0工消抡合作社印51 A7 B7 五、發明説明（06) 之罐之歧管包含：（1)真空供給閥；（2)真空產生器；（3) 載氣隔離閥；（4)旁通閥；（5)製程管線隔離閥；（6)控制 閥；（7)罐入口閥；（8)罐出口閥；其中該真空供給閥連接 至真空產生器；其中該真空產生器連接至控制閥；其中該 載氣隔離閥連接至旁通閥；其中該旁通閥又連接至製程管 線隔離閥及罐入口閥；其中該製程管線隔離閥亦連接至罐 出口閥；其中罐入口閥連接至控制閥及罐出口閥。 另一廣義態樣中，本發明為一種製造用於再填充容納化 學品之罐之歧管之方法包含：（1)設置真空供給閥；（2)設 置真空產生器；（3)設置載氣隔離閥；（4)設置旁通閥；（5 )設置製程管線隔離閥；（6)設置控制閥；（7)設置罐入口 閥；（8)設置罐出口閥；連接真空供給閥至真空產生器； 連接真空產生器至控制閥：連接載氣隔離閥至旁通閥；又 連接旁通閥至製程管線隔離閥及罐入口閥ί又連接隔離閥 至罐出口閥；連接罐入口閥至控制閥及罐出口閥。 此外本發明之歧管可改良低蒸氣壓材料及有毒化學品之 清除效率。 【圖式之簡單說明】 - 圖1說明本發明之代表性散裝化學品輸送系統。 圖1 Α示例說明本發明之代表性散裝化學品輸送系統其中-,使用單一麒裝醤播。 圖2A、2B及2C示例說明本發明有用之代表性閥歧管箱。 ~ 圖3-5示例說明可用於本發明實務之蓮輸車，其設置化 學品潑激或滲漏用容器。 本紙張尺度適爪中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 9 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ---- 訂 A7 B7 _ 五、發明説明（07) 圖6示例說明用於散裝櫃之代表性歧管示意圖。 圈7A及7B示例說明本發明之欐其構造遍合經由於罩有惰 钱氣氈之區域内隔離全部電子組件而適用於危險爆J乍性環 境。 圖8 Μ明本發明之代表性歧管構造？ 圖9閫明使用罐货ίΚ管内部之氣體流徑。 r — 圖ίο闞明於解除加壓步驟期間孩管之流徑俾去除罐之頂 . ' 壓0 圖11閫明放液過程歧管内之氣賭流。 圖12閫明週期清除遇程歧f内之氣體流。 .画1 3蘭明週期清除遇程歧管\内之流動清除。 _ 4閫明本發明之另一代表性歧管構造。 圖1 5閜明於遇期濟除過程掘1 4歧管之氣體薄。 ^【發明之詳细說明】 經濟部中央標隼局貝工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 一種金靥罐、化學再填充系統、操作程序、組件、起始 歧管系統等之概略非限制性說明，及可用於如美國專利 5,465.766; 5,562,1 32; 5,590,695; 5,607,002及 5,711 ,354所述之本發明之櫃（併述於此K供參考）。 本發明之代表性散裝_送糸統100顯示於圖1，對圖中各 閥而言，空心三角表示經常為開放之管媒，實心三角為除 非開啟否則皆藺閉之管線。本發明包括至少一個散裝罐» 101其罩住一個散裝罐（未顯示）其直接或間接經由歧管箱 110供給化學品至第二（中間）欐，及最終供給至使用該化 學品之製程工具。系統可選擇性包括第二敗裝罐102·如 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Μ规枯（2丨0x297公处） -1 〇 - 經濟部中央標準局貝工消費合作社印掣 A7 B7__ 五、發明説明（OS) 切除視匾所示，第二散裝擓容纳第二敢裝蠼103其典型容 量約200升或以上。當第一散装罐101被更換、再填充、修 復或任何其他理由時，第二敗装罐可供給化學品至閥歧管 箱。另外第二散裝02可於正常操作期間用於再填充第 一擓 101。 櫃101、102具有如圜3-5所示設計。橛101或102可包括 歧管104*歧管於各«中可相同或相異。來自第二罐之管 線105可連接至櫃101内之第一嫌之歧管。若使用第二擓 102*則開W能力如開關歧管（將參照_6討論）可使用其許 可系統由第二櫃10 2提供化學品同時更換或再填充第一櫃 101。開鼷至第二散装罐102可為自動化•利用使用業界人 士眾所周知之製程控制儀器達成，如得自多種商業來源如 歐蒙公司。另外整體系统管理可使用可程式電腦控制系統 控制*電腦控制系铳處理罐更換及清除功能及控制及監測 系流參數如MAR 5%控制系統例如美國專利5,46 5,766及 5,711,354所述。控制器也可管理清除顒序及正常搡作模 態。清除顚序用於去除遇期之敗裝化學供給罐笳或安装新 罐後清除歧管與嫌之連接管線。搡作模態中，系統將提供 化學品給製程工具，其於安裝敗装化學品供給罐後可啟動 。一個態揉中，整個糸統可藉散裝罐擓中之單一控制器控 制，第二欐及閥歧管箱含或未含控制器來供給資料回第一 控制器。另外各敗装及第二鼉及各閥歧管箱可配備有個別 控制器來控制其功能。 管媒106由*101之歧管導引至一或多涸閥歧管箱如閥歧 本紙张尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x297公H Ζ~ΤΓΖ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) HI - IV- - 0 - m m I - ^-*· 訂 經濟部中央標隼局負工消費合作社印裝 A7 B7__ 五、發明説明（09) 管箱110»可使用任何數目之閥歧管箱110。一個具體例中 使用至多四箱。各箱110含有一根歧管如圈2A、2B及2C所 逑（於本文討論）。閥歧管箱110用於藉分布歧管將化學品 分流入多根管線112，其導引至使用化學品之製程工具或 導引至罩住一或多個較小罐121之第二擓120及125。各個 欐含有任何預定数目之罐，一或多罐可含不同化學品經由 傾別分布歧管戎姶製程工具。画1中第二欐120軍住兩涸較小 罐121，而第二櫃125罩住一個較小罐121。於賊歧管箱内 之歧管之精確構造對本發明之實務而言並無特殊限制，只 要可達成供給化學品流至其餘条統及製程工具的功能即可 。«歧管箱内閥之構造可改變而許可胆務閥歧管箱下游各 組件及許可獨立清除及維持個別管線。選揮性地，由歧管 110至第二擓120之管媒可解除連接，糸統設計及程式規瓤 成可開鼷，故再填充罐121輸送補充化學品•另一罐供給 化學品至製程工具。為了輔助更換設計用來主要输送化學 品至處理工具之罐121，可設計歧管及控制其程式規劃成 可使再填充孀121輪送化學品至製程工具。為了輔肋交換 主要供輸送化學品至製程工具之罐121，設計歧管及控制 器規刺成可再填充罐121輪送化學品至製程工具。但典型 若再填充或供給罐被更換等，則系統設計成來自歧管箱 110之化學品交換而直接進料製程工具°製程工具另外可 於無第二欏存在下由两歧管箱直接進科。同理，除了提供 化學品至至少一歧管箱外，散裝檷也直接提供化學品至一 或多涸製程工具。«歧管箱可包括任何數目之输出管線， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規枯i 210X 297¾ ) - 12 - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) >裝 訂 經济部中央#:4'-^u工消费合作社印繁 A7 B7 五、發明説明（[〇) 典型包括至多四根輸出管線。圖1及1A中使用四條輸出管 線。 圖1A顯示本發明之代表性系統100，其中使用單一散装 罐捆101。圖1A之編號對應於圖1。如同圖1可包括任何數 目之閥歧管箱110。典型使用至多四個閥歧管箱110。同理 *第二櫃120及/或125之數目可改變，典型至多使用四個 。如此閥歧管箱no另外可設計成包括如所需般多個出口 。也須瞭解，特定系統100中第二栅包括一個罐例如於擓 125或包括兩個罐如於擓120或使用櫃之組合*例如用於系 統其中一或多擓120容納單一罐及一或多櫃125容納二罐。 此外櫃120及125可視需要修改而包括更多或更少罐，對於 其他設計使用之罐數並無限制。對栅101之散裝罐尺寸或 櫃120及125之罐尺寸並無特殊限制，但通常櫃101之罐大 於櫃120及125之罐。 可用於本發明之實務之閥歧管箱200闡明於圖2A、2B及 2C。圖2A中，人口閥210接收來自圖1供給歧管之出口管線 之化學品。入口閥210可為手動閥或氣動閥或雙重引動器 闕其若需要服務歧管閥許可完全清除歧管。預期閥歧管 110可選擇性接納來自多個来源例如二或多散裝罐之化學 品。使用熔接接合至入口閥及氣動引動器可增進有關潑漉 檢測上之安全考量。來自入口閥210之管線211導引至一組 兩個或多個出口，圖1A蘭明四個出口。管媒211藉來自加 壓管線220之氣體如氮氣加壓。加壓管線220透過氣體來源 (未顯示）供給氣體，其輸送加壓氣體至氣體入口閥221， 本紙张尺度適;1]中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） :13 - I-；----Ιο·裝------訂----trk (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 2 6 i年月

_i-dm^L 五、明説明（u ) 醣後深經管媒222及調節器M 223其控制管線220之板M。 加壓管嬢220為非必要者，但典型實除上採用加壓管線。 化學品遒遢兩對或多對遘當開口之濟除閥231及液艟控制 髑232麵分於Μ歧管箱200之分流槽段230。當液艚控脚颺 2 32II閉時，閥埠口仍然許可來自濟除Μ 231之淸除氣臁流 邊液釅控制闕2 32之座頂，流入出口埠23 4其可偁職至出口 管線•出口管媒進料至中間櫃或擊程工具·其遘擇性使用 可再《充容器。此種淸除許可於一條分支濟除成排放液體 而其他分支保持於線上。輸出閥233讕節化學品經由各输 出管嬢之_出》閥歧管可容納於败钃240内，殻艚可圼六 蟹組成之矩形箱形。殻體240可由任何邃當材料如金羼片 製成•金靥Η使用習知方法如熔接或癫當扣件組裝》前籰 可選揮性由逋明材料如派勘克斯玻璃（Plexigl as)製成》 殼*2 40可包括入口及出口管饑用之《當尺寸及定位孔。 此外歧管箱可包括液钃想澜器及放液出口，由此處移出收 集於歧管底部之液態化學品。箱底傾斜故潑灞液收集於特 定位置。感测器提供信虢給控制器因而警告搡作貝醑蘭進 入歧管箱之管線等。 _2B為«歧管箱200之第一側視鼷。圈2B中藺歧管箱入 口供之供視鼷中具有活動板於各端，其許可更有骤性且更 容易更換達接至N歧管箱之管嬢及/或接頭。活動板可為 分流板。 圈2C為閥歧管箱200之第二侧視Η。_2C顧示出口供， 其他使用活動板，本例中為分流板許可容易去除添加額外 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線 經濟部智慧財產局员工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） -14 _修正頁 Α7 Β7 五、發明説明（12) 管線而一或多根管嬝保持定位。 (请先閱讀背面之注$項再填寫本頁) 典型具有永久二次容納S之散裝«例如霣子裝置（如積 體霣路）製造廠•镰要容器舉高迪人櫃内。當容器容P 5或 10加侖化學品時可《無困嫌的人工舉升容器（典型8至12时 )進入橛内。但對較大罐而言例如200升*如此種升降變困 難。以下考慮免除將大型20 0升嫌置於櫃内造成的問i。 散裝罐301可容納於输送車內 >如園3-5所示》圈3顏示 此種敗裝輸送糸統。系銃包括敗装化學品罐301*活動容 器運_車300及敗裝化學品瞿350容納罐301及車300。實除 上，當嫌301遘當固定時，罐301可使用架空吊車等舉高置 於車300內。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 嫌301亦可稱作嫌或繾存容器，可有多種尺寸，以200升 尺寸待別逋用於本發明。《可具有習知設計及/或設計供 特殊用途，通常竈合容纳及提供液軀化學品。罐典型由不 銹綱製成含或未含内期。罐301包括配接器303藉此連接管 媒（未顙示），故可由輪送化學品同時維持極高鲔度。罐 301包括内部管嬝（未顯示）至底部，K及一成多钃感瀰器（ 可使用一打感濟I器）來檢測雄301内之化學品含霣。感«器 可為液艚想獮器•成分立或連鑛。此外罐301包括於直立 鞘30 4之孔305供容納杓3 83 (容後詳述須釀解K接器30 3 可有廣泛變化僅需匹配由闢歧管3 80冒出之繡當管嬢配接 器即可。繾301也包括鞲套302其可熔接至嫌，戎可單純置 於罐下方而於靜置時由嫌之重量固定定位。鞘套302可妥 為設計而容纳叉式升降機之叉。車包括鎖定裝置而一旦車 -15 -修正頁 本紙張尺度適用中國困家標準（CNS ) Α4规格（210Χ 297公釐） 經濟部中央標率局貝工消費合作社印裝 Α7 Β7 五、發明説明（13) 安放定位時可牢固固定車於擓内。蓋306可用於槠存或運 输時保謅配接頭。 可於罐之備用口添加一或多個壓力轉換器（可使用冗餘 轉換器），許可供懕力 管理控制而保持操作期間氰氣 等之入口閥顒閉且僅於容積下降時開放。 如圈3所示，活動車（或”板條箱”）300包含輪（滾軸）310 附接至底座316，底座大小適中且依據罐301之尺寸而定適 當耐久。輪310包括煞車包括停車煞車或叉桿煞車。車 300包括鞘套312作為底座316之一部分或附接至底座例如 供容納叉式升降檄之叉。車300可包括放液管線輔肋去除 至少部分較佳大部分於由榧350移動車300時潑濡的液體。 車300可包括導件314*其對正櫃350之導件364而當車定位 於櫃350時輔助車之對正。導件31 4可構成底座316之一部 分或附接於底座可使用習知方法（如螺絲或鏍栓或熔接）牢 固固定至底座316。另外導件31 4例如可設計成軌其附接至 車3 00之一側或多側，互補導件附著於擓邊部適當位置。 另一替代例中，導件可為彈簧載荷球狀袖承軌當車接觸對 正時可卡入定位*如業界人士顯然易知。又附接於底座 316者為四片外壁318。典型底部及側壁熔接在一起或使用 無鏠'側壁。底座可夾角，加切播或Μ其他方式朝向感测器 317。同理*底座可選擇性包括低容稹榷供收集小潑灑滴 ，因而促進感測器檢測小潑瀰滴之能力。對正導件319用 於將罐301定位於車300内。車300包括顒氣導管供排放比 空氣更緻密的蒸氣。手柄320可牢固固定於車300供輔肋操 本紙張尺度適用中國國家標參（CNS ) Λ4規格（210X297公f ) 16 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ..裝 ,ιτ 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 A7 # B7__ 五.、發明説明（卜ί) 作員之操作車300。車300頂部330包括逋當尺寸孔334供容 纳罐301頂。較佳孔334之尺寸為頂330於输送及移動期間 可扣合固定而輔助鳙301牢固固定於車300內。頂330選擇 性鎪孔332。孔332用來許可罐301上部之滲漏放液人車300 下部。此外可使用活動部件其密封配接器不會暴露於環境 ，當罐置於潔淨室内供使用時較佳。可保護塵土等堆積於 車及罐。此外感測器317可感测液體潑灑。感測器連接至 控制器，控制器可警告操作員於測得潑澜時停機°目前業 界推蔴容器單元容積至少為嫌301容積之1105Κ。如此本發 明之具體例中，車300之構造為其容量至少為車300設計用 來罩住之罐301內部容積之Π0*。 »350包括三側391、底部360、門390及頂。一或多根撐 赞361可附接至擓而支持構造，例如栓至櫃所罩住之處έ 底板。另外撐臂361可使用櫃底部之替代而直接牢固固定 擓底部至底板因而減小櫃所佔據之底面積。可使用一門SK 多門。當使用二門時可包括>；362。欐包括腔室370 (或”控 制箱”）供安裝製程控制儀器。另外製程控制儀器位於擓外 側。製程控制儀器為眾所周知可得自多種商業來源如歐$ 公司。製程用之設備可連结至觸控螢幕39 3*如圖4示例說 明。’ 擓包括具有特定閥38 2 (例如氣動引動閥）之閥歧管38 0’ 如美國專利 5,465,766 ί 5,562,132; 5,590,695: 5,607,002及5,711,354所述（併述於此以供參考）或如本文 所述。歧管較佳設計為歧管管線及配接頭中並無無法濟除 本紙悵尺度適用中國國家栋準（CNS ) Α4規梢（210X 297公筇） 17 (請先閲讀背面之注意事項存填寫本莨) 装------訂-------{V. 經濟部中央榀準而只工消资合作社卬繁 A7 — B7 五、發明説明（丨5) 的死角。就此方面而言設計較佳於管路互連管線不含彎折 或不含彎管。一般而言系統內壓經調整而使上游側之懕力 高於下游側。代表性歧管及歧管罐之欐之系統管媒設計之 非限制性實例參考圖6。圖3中閥3 8 2可使用罩於控制箱3 7 0 之製程控製儀器控制。須瞭解可使用多種閥，包括但非限 於手動閥、氣動閥任何其他類型閥。可包括歧管門384來 颺閉閥歧管。擓350可包括杓於此處安置歧管管媒。 杓383之尺寸適合嵌合入罐301之孔305。杓383之尺寸也許 可充分排放廢氣流。如此杓383含有欐内全體廢氣流且可 調整供妥為平衡。杓383也可用作導引歧管區之液體潑瀟 至設置此種潑灑容器車300。於圜3也顯示管38 6其具有通 風開口底部，管被繫於通風口因而可調整及平衡通遇櫃之 廢氣流。擓也包括廢氣出口 381。選擇性地減震器392可附 接於播350後側作為車301之止動器。 圖4顯示於圖3用作檷300之門390之雙門系統。雖然圈4 閜示雙門系統，但另外可使用一或多門。圖4中左門399及 右門391蘭示櫃3 50内郤旁側。各門包括載有彈簧之絞鍵 394供安装門至擓350、門鎖395及通風口 396。此外門391 包括觴控螢幕393其連结至製程控制設備。觸控螢幕393用 來許可作業員觀察或改變製程構造。 圖5示例說明罐301於車300内單於擓350。圖5顧示本發 明之系統構造。罐301使用吊車置於車300内，随後頂330 牢固固定於車300因而免除嫌301之横向振動及搖動。罐 301可於安裝於車300之前或之後填充。圃5可見杓383滑動 本紙張尺度適州中囤國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -18 - HI I *. I I I - -·1 a- 1— - - — - I I m ί — ·_ I i Lr— . n —-t I ί (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 _ B7 _ 五、發明説明（16 ) 通遢垂直鞘套30 4之孔305，故”柔引線"（亦即歧管管嬢）可 保護不受孔305緣磨餘。彌簧載荷升降裝置也可用於解除 連结時自動升高柔引線。可知垂直鞴套304嵌合於有孔車 頂380之孔348而保護配接頭303。 罐301藉升高罐301及移動並置於車300内而置於車。含 散装雄301之車300可方便地單纯箱手推移動，原因為車 300配備有重載輪（滾輸）310之故。較隹車30 0可推進雔存 及鎗送循35 0内部。如臞3所示，擓350及車30 0之構埴具有 専件314及36 4而輔肋搡作貝將車300置於櫃350內。本發明 之儍貼為因活動車300之功能可容納潑瀰液*故« 35 0之尺 寸相對於習知櫃嫌小，習知擓使用格欏來懸吊罐於容器貯 器上方，本發明中散装蟹無需含容器貯器•但第二讎可使 用此種習知設計。此外嫌301無需升高或舉高俾如習知黼 般安裝*原因為並無格權或貯器罩於欐內》如此本發明之 疆及活動自容式系統需要之空_較小而仍可提供容納。當 本發明糸統用於潔淨室環埔畤•較佳無需叉式升降籣來將 大罐置於權。此點為特佳，原因為潔淨室之叉式升降機罕 見且極為昂贵，需要大面稹及循匾需要大霣澝潔才能安置 罐於内侧。 可使用本發明之散装蓮送系統轉蓮之化學品類型依據製 程工具類別及期望结果可有廣泛變化。代表性化學品之非 限制性實例包括原矽酸四乙_ ("TE0S")，磷酸三乙S，亞 磷酸三甲_，靨酸三甲酯，四氛化钛，鉅化合物等；溶蘭 如氯化烴類•嗣類如丙醒及異丁嗣》酯類如乙酸乙_ •煙 本紙張又度適用中鬮國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先聞讀背面之注$項再填寫本頁) 訂 T線！ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -19 -修正頁 A7 _B7_ 五、發明説明（17 ) 類*甘酵類，醚類，六甲基二矽胺烷（"HMDS”）等；固鱷化 合物分散於液髓如鋇/»/肽酸鹽混合液（混合物）。若待_ 送之化學品為固臁嫌浮於有機液熥，則設計歧管許可液臞 沖洙全部管線Μ防固籲於有機液讎蒸發時堆積於管線。若 探用分敗液•則較佳以液靄容两如三乙二酵二甲醚成四氬 呋喃（ΤΗΡ)沖洙管媒，因而當管線被解除加臁時化合物不 會沉澱於管嬢》此等化合物範例涵非意匾供播制性。化學 品可具有多種鍊度及可使用化學品混合物。一個具髓例中 可使用單一類型化學品。特定化學品較佳相對於微最金鼷 之純度99. 999«或Μ上。 _6顔示當未含括第二観102時用於櫃101之代表性嫌， 淸除歧管及糸統供給歧管。圈6中醐明歧管罐610其可為 20 0升罐。當來自氣黼來源6 30之正壓力通Ml管線631»載 氣皤雛鵾632，罐旁通Μ 634，第二流動濟除Μ 636 ("FP2” Μ)及罐入口閾638時·歎装罐610經由管嬢611、612及613 罐出口 Μ640，製程管嬝明雛閥642及邊濾鐮成620供給化 學品至四埠口製程供給歧管670 *於此處化學品分流成四 流其經由出口 » 672送出而經由管嬢（未顧示）提供化學品 至Μ歧管箱。化學品係於進入製程供給歧管67 0萷藉遢濾 餹成62 0純化。本發明之一大戆樣為整邇通濾器容器621可 被去除而Μ引動通«器晡離閥622 Α及622Β替代，因而流體 被導引通通通濾器旁通闕6 24。當打開？1^16 42 (闞閉）與瞄 離闞62 2A間及通濾器後隔離M626(PFI)與皤離M622B間之 壤當配接頭後，遢濾器鐮成可K新總成更換◊含過濾器及 化學品之老期成鼸後處理而無霱顧著系統停機時間。此乃 (請先閱讀背面之注意事項再填窝本頁) 訂 -線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） —20 — 修正頁 A7 _B7_ 五、發明説明（18 ) (請先閲讀背面之注$項再填寫本頁) 其儍黏，原因為可避免過濾介霣本身更換之繁瑣、錯誤傾 向及耗時。供給歧管670中，分布供給闢671用來W斷化學 品至出口 W6 72之流。歧管可K傅有取搛口。整個歧管系 統於更換管或藉交替流動氣艚浦除及真空通期而停機前可 被濟潇。於此方面而言，於嫌解除加壓後流動氣體濟除通 期可薄管嬢之放液達成。例如黑艚可由來源630通通CGI 632、CBV 634、PLI 642、嫌出口閥6 40及管線613引進因 而將液《淸潔入罐610内。若有所需通濾總成也可放液， 但更常見醑閉隔雕》622，故流通遒濂器旁通》624，液艚 之放液係藉氣鱺流經管嬢613及流入罐610進行。需瞭解 FP2 636及第一流_澝除閾6 50 (FPI)開放，故於放液進行 時氣艚可埋管蠊6 52由罐610釋放至通風口 6 54 »如此避免 罐610内部屋力積聚。 經濟部智慧財產局貝工消費合作社印製 於管嬢放液後可開始麵期澝洙，其包括真空步鼸及流動 氣體濟除步鳜》例如真空供給M 65 6(VGS>可開放而使氣鱷 進入真空來源657如文氏管產生器，其於鼹閉罐入口 Η 638 及罐出口 Μ 640時适逢管媒652於歧管糸统埴成真空。另外 可使用興空泵。随後於翡閉VGS 6 56 (罐人口及出口 Η638 及640保持翡閉）後纆由視需要由氣鱷來源630將氣觸引進 歧管内可執行流動濟除。理期淸除可里複任意多次而確保 於打開配接頭更換嫌6 10前管線内大體不含化學品。 替代使用管鑲629其用於提供淀励清除氣艚直接雄入管 嬢613，另外可使用虚線629 »於此替代構造中，管嬢放液 可藉打開邊濾器後方濟除Μ 627 (ΡΡΡ)迫使化學品進入罐 本紙張尺度適用中國國家搮率（CNS ) Α4规格（210X297公釐) ~ ~ _ h _修正頁 A7 _B7__ 五、發明説明（19 ) 610內執行。此種設計中PFI 6 22B可為三通Μ »此種配置 之優點為PFI 629之下游管媒及条統保持湄澜。 當Η1或1Α示例說明之系統包括第二散裝櫃1〇2時，連接 第二散裝罐之管線可於黏68 0例如轚節於管線613其進料供 給歧管670。使用此種構埴時較佳使用虚線629供給氣«供 經由PFP 6 27澝除，故當嫌610被更換或管線停機供維修等 時，第二敗裝嫌可對ΡΡΙ 626下游供給化學品。 需瞭解罐出口閥640也可作為第三流動清除闢。如此氣 鱷可級由管擦641淸除系統因此於歧管内大钃無死角。 包括画1衡101之糸統具臞例示例說明於美國専利 5,711,354之_|36及37(併述於此以供參考）。 本發明之讎構造可使其缠用於危除性爆炸環堍。通常係 將全部霣子組件隔雛於罩有情性氣鮞之區域達成。藉此方 式霣子組件發出之火花係處於大篇不含氧氣之瑁«下可顯 著減少由於籠内存在蒸氣燔炸的可能。本繼之非限制性代 表性具艚例闞明於圓7Α及7Β。 _7Α及7Β中，所示鑷號對應於前文躭圃3所示組件•但 圈7Α及7Β中鏞號後方有個字母"Α”。可知麵7Α及7Β中控制 箱370Α及觸控轚幕393Α隔離於櫃700内。控制箱370Α包括 霣子儀器（未顯示）如製程控制楢器。使用中控制箱3 70 Α及 3 94 A之罩被罩於惰性氣體內而由一或多條濟除管線771供 給。一或多條濟除管鎳771可連接至觸控螢幕3 93 A之敗钃 。額外管線可用於許可惰性氣艨直接流入控制箱而非連接 於淸除管線771。藉此方式可使用單一管線提供佾性氣毵 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4规格（2丨0><297公釐） /1 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) .ΤΓ. 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 _ 22 _修正頁 A7 __B7_ 五、發明説明（20 ) (請先聞讀背面之注$項再填寫本頁) 於觸控螢幕及控制箱上方。一或多個解除加懕Μ 772可用於 提供初步淸除及換氣來自殼鱷用於控制箱及觸控螢幕之遘 最情性氣艚。淸除控制單元77 3用來定畤最初高壓濟除， 及隹控及計ft侑性氣讎至皤離姐件》可使用習知濟除控制 器如得自愛克斯坡（Expo)安全糸统公司》 如園7B所示•觸控螢幕39 3 A罩於虚嫌394A所示之殼艚内 。為了完全晡雛觸控螢幕*可使用額外组件如塑膠視窗（ 如導霣聚破酸酶塑膠片）394D其藉氣密墊材料394B·具有 孔可推料涛除氣鱷之塑謬（例如壓克力）分隔件39 4C，觸控 螢幕視留氣密垫材料394E及濟除包麵髓框體394F固定定位 。當觸控萤幕又K本代表例方式膈離時，觸控》幕例如可 使用_珠39 40存取•銅珠係使用磁榫及短钃39 4H搡控》 臞8顧示本發明之歧管糸統。麵8中真空來源14例如文氏 管真空產生器透遢管嬢12連接至真空供姶閥（"VGS”）10« Τ-線！ VGS 10用來於莫空來滙為文S管真空產生器時*通邊真空 氣钃管嬝11至真空來源14控制氣艨（如氮氣、氰氣或氫氣） 液動。真空來源14也可附接至廢氣管線13其供排放廢氣。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 真空來源14可連接至低壓通風閥（"LPV")20·載氣播鼸»< ” CGI")30，嫌旁通閥（"CBV")40 及控制 M("CP3")60。CGI 也可稱作載氣入口閥。圖8中真空來源14透邊管線15，T形 件18及管嬢17連接至LPV 20ί捶過管線15’ T形件18，管 嬢16，Τ形件35及管媒37連接至CGI30;透過管媒15，Τ形 件18，管嬢16，Τ形件35，管嬢36，Τ形件44及管線43連接 至CBV 40。除非歧管達到所需解除加壓否則管線37内之止 本紙張尺度適用中國國家揲準（CNS ) Α4规格（210X297公釐） _ 23 _ 修正頁 (請先閲讀背面之注項再填寫本頁) --II - - II - 1 - - II - - I — I - I - — II - - I - - - II - - - - - - - - 1 經濟部智慧財產局貝工消费合作社印製 A7 B7 五、發明說明（21 ) 回閥33翡閉。因此興空來源14典型經由管媒37待CGI 30M 閉。通常若歧管壓力超邊預設值例如妁1〇〇磅/平方时則止 回Μ可設定為作動。止回W之功能係於糸统内壓達到所選 程度時排放氣黼。LPV 20之功能係於故動及更換罐時控制 歧管及罐之通風與抽真空。真空儀2 2也可連接至LPV 20» 真空儀22可於淸除麵期鑑控真空》管嬢23可逋结LPV 2 0至 CGI 30。管嬝31可達接CGI 30至調節器32其可供給加壓惰 性氣tt流。輸送颸力表36可轚於調節器32而監控調節器屋 力及各種搡作之壓力。

画8中，管媒3 4連接CGI 30至CBV 40。管嬢41及42可》 接08牙40至製程管纗晡離閬（71^1”）50及控制藺（”0?2”）70 。PLI 50之功能係控制化學品流出歧管。CGI 30之功能係 控制加壓羁黷供給歧管。CBV 40之功能係控制懕力成真空 供給PLI 50及歧管71。管線51可«缠化學品至糸統外部裝 置或至另一待再填充之罐。管媒52可用來聪结PLI 50至控 制閥（"0?1")80。管線62可脚結控制1»60至控制閥70。由 控制Μ 70，管鎳71可導引至T形件72 *管線73及74由T形件 72分別通知控制閥80及罐人口閥CI 90。CI 90用來控制罐 之加懕及抽具空。控制閥80可通通管烺81聯结至嫌出口 Μ C0100。C0 100之功能係於化學输送期間控制來自罐11〇之 化學品流量，及於更換罐時控制嫌出口接頭的清除。CI 90 及C0 100用來偁«歧管至供給罐之對應構造，典型與配接 頭如播及陰螺紋接頭合併使用。配接頭（偁明器）用於接合 歧管至罐110典型存在於CI 90及T形件72間及C0 100與CPI 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS}A4規格（2!0>< 297公釐〉 -24 - 修正頁 經濟部智慧財產局具工消費合作社印製 A7 ____B7_____ 五、發明說明（22) 80間。若C0 100為雙作_器W，則T形件72可向下移動而 直接接觸CI 90，故管嬢直接嫌结雙作動器至CI 90。 嫌110可載荷多種化學品典型載荷半導鱺製造用之高肫 度化學品》例如罐可含TE0S砷化合物，钛化合物化合 物，_化合物等。本發明之具《例中罐110至少部分填充 Μ化學品，化學品基於微ft金靥含量至少為99.鈍質。 前逑管鑲也可稱作導管、管、導管通路等可由金屬管例 如不綉網管製成。各俚閥可為習知氣_ΙΗ如NUPRO 6L-M2D -ΪΠ-Ρ-Ι氣»控制閾。同理調節器可為禰準型例如ΑΡ Tech 1806S 3Ptf P4-F4調節器。系統可使用習知方法例如 加壓配合法、熔接等姐装。蠲可使用習知製程控_例如歌 隆考程式規劃控制器箱接嬝至觸控螢幕控制面板控制。另 外Μ可使用ADCS APC™控W器控制，該控制器合併埋置 之微處理器供需求顚序執行而软讎駐在EPROM »例如控_ 犟元可控制加壓氣钃流開或閉氣動Μ。 使用中本發明歧管可如下搡作。為了將化學品推送離» 110至輪送點，歧管之Μ可龐當放朗俾許可加β氣鱷迤入 条統及進入罐内。_9中管嬢120示例說明加懕氣體進入罐 110之路徑，管媒121顯示液邇化學品經由汲取管121送出 罐110之路徑。如此來自來源（未顯示）之加臞氣鱷藉調節 器32釋放入管嬝31»釅後氣熥通邊開口 CGI 30，然後通邊 管嫁34、CBV 40、管嬢71、CI 9 0及進入鏞110»進人氣黼 之氣懕迫使液戆化學品於汲取管内向上升及通JftCO 100、 管線81、CPI 80、管線52、PL I 50及離開管嬢51至接收點。 -----------1 —--------訂---------象 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 表紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -25 - 修正頁 A7 B7 五、發明說明（23 ) 當供給嫌（甚至滿罐）被更換時，管線可被清洙而由歧管 内去除殘餘化學品。第一步驊係解除加壓用來去除嫌110 之頂上屋力。解除加壓可Μ若干方式進行。例如可解除加 懕之甬種程序蘭明於麵10。實鑲130鼷明之解除加饜方法 中，VGS 10被開啟而許可氣臞由管嬢11流過管鑲12進入莫 空來瀟14，故產生真空伴Κ流鼉邊管狼13流出排放。於來 *14產生之真空於管嬝15、Τ肜件18、管鏞16、Τ形件35、 管嬢36、Τ形件44、管媒61抽取真空通ϋ拥放CPI 60、管 線62、CP2 70、管嬝71、Τ形件72、管鑲74及開放CI 90而 於嫌110上方空閜產生真空。另外解除加懕可鞴開啟LPV 20、CP2及CI 90執行，故經由實嬝135產生真空。 解除加壓後建立排放液钃澝除管嬢（熔接件）之液髓°如 此圈11中氣Η通通調節器32引進管纗31 〇 CGI 30、CBV 40 及C0 100為開啟故氣艚流娌管線34、41、52及81，液憊化 學品被迫回罐110。管線放液遢程之氣钃流以簧線140說明。 _後建立潇除通期其包括真空步驟及流動濟除步嫌分別 如麵5及6之示例說明。真空步》可以多種方式完成包括透 邊画12實線150及155蘭明之構造完成。如此一個具臞例中 ，CBV 40及LPV 20開放•故VGS 10開放時許可氣嫌娌由管 媒11及12進入真空源14，抽取出真空而經由管煤13排放， 如此於管媒15、17、23、34、41、52及81建立真空。另外 LPV 20 及 CP2 70 開放故於管媒 15、17、23、34、42、71 及 74建立真空。此外LPV 20、CP2 70及CBV 40亦可皆開放故 於管娘42、71及74Μ及管線41、52及81建立真空。開口可 (請先Μ讀背面之注意事項再填寫本頁) -δ · 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -26 - 修正贾 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 A7 ______B7_ 五、發明說明（24) 交替而使管《Μ2/71/74及41/52/81間欧抽真空。 黼13示例說明澝除通期之流動濟除步驟。圓13中調節器 32許可加壓氣鱷進入管媒31。當CGI 30、CBV 40、CP1 80 及CP1 60開放（注意CI 90及C0 100鷗閉）時，氣髓流媼管 鑲 34、41、52、73、71、62、61、36、16、15 及 13 因而濟 除歧管，如_13以實嬢160示例說明。LPV 20可間歎拥放 故潇除管嬢2 3及17»濟除後，配接頭可遘擇性打開而維持 歧管之正壓*使水氣不會進入歧管。例如CGI 30、CBV 40 及CP2 70可開啟而使配接頭打跛後氣體流出管鑲74及81。 當安置新罐時，澝除邐期典型重複而去除任何水或其他污 染物其可能進入歧管及配接頭及新罐熔接件之任何水。 _14願示本發明之替代具鱷例*其類似圈8M明之具艚 例，但不含LPV 20、管嬢17及2 3及儀器22。若C0 100為雙 作_器»，則T形件72可向下移動而直接連接CI 90及控_ « 80直接附接於雙作励器，故管線直接連接雙作動器至CI 90·而使歧管内部可能的死角減少。麵14所示具鐮例中* 可遘擇性去除至CBV 40之管鑲43。相同流程·顧示於·9 可用於將化學品由麵14所示構造之嫌110推出。騮14所示 構造解除加壓可使用画10_明為管線130之埯程麵完成》 _11以資嬢140顧示之液驩放液可用於圏14之構埴。輿空 步鼸可如管媒180所示如圓15陳述方式達成。園13之流醣 潇除可用於麵14構造》本發明具醸例具有多種優點包括閥 數目減少·结果使歧管成本下降，可能發生滲篇點數減少 • Μ及特定歧管之閥故障嫌會降低。本具钃例也可減少糸 ----.---------rA--- n n ϋ «I a— n ϋ I 線！ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐〉 -27 - 修正頁 A7 B7 經濟中央標準局貝Η消费合作社印製 五、發明説明 (25) 1 1 統 死 角 數 百 導 致 更 有 效 之 流 動 清 除 0 由 於 罐 更 換 期 間 由 1 1 管 線 去 除 化 學 品 之 能 力 改 良 本 具 體 例 之 歧 管 提 供 一 種 可 1 1 用 於 危 險 性 化 學 品 如 砷 化 合 物 之 系 統 〇 同 理 本 歧 管 具 體 例 y»—\ 請 | 閱 許 可 分 散 液 用 途 改 良 如 金 屬 或 固 體 化 合 物 分 散 於 有 櫬 載 請 背 1 1 劑 液 體 如 二 乙 二 醇 二 甲 醚 及 三 乙 二 酵 二 甲 醚 〇 若 使 用 分 敗 Sj 之 注 1 I 液 較 佳 使 用 液 體 溶 劑 如 三 乙 二 酵 二 甲 醚 或 四 氫 0夫 喃 (THF 意 事 1 c« )沖洗管線解除加壓時化合物不會於管線内沉澱 >此外用 再 填 1 C 於 本 發 明 任 __· 具 體 例 預 期 歧 管 可 加 熱 而 加 速 化 學 品 於 管 本 頁 裝 1 線 蒸 發 〇 就 此 方 面 而 -A— 歧 管 可 維 持 於 加 熱 環 境 * Μ 連 接 1 1 至 白 耦 變 壓 器 等 之 加 熱 帶 包 裹 〇 為 了 輔 助 流 動 清 除 期 間 之 1 I 蒸 發 可 交 替 使 用 熱 氣 體 如 熱 氩 氣 氮 氣 或 其 他 惰 性 氣 體 1 訂 〇 也 可 使 用 此 等 技 術 之 組 合 〇 用 於 某 型 化 學 品 可 反 應 性 1 I 化 學 品 清 除 3 該 化 學 品 於 管 線 內 之 或 多 種 化 合 物 反 應 而 1 1 產 生 更 易 抽 取 去 除 的 化 合 物 〇 I 1 本 發 明 之 歧 管 包 括 附 接 感 測 器 例 如 附 接 管 線 15決 定 歧 管 \ 管 線 是 否 含 有 化 學 品 〇 同 理 取 樣 埠 可 包 括 於 管 線 15 此 處 I 來 g 管 線 之 氣 體 樣 本 可 被 抽 取 出 並 使 用 分 析 裝 置 試 驗 供 測 1 1 1 試 是 否 存 在 有 化 學 品 〇 1 又 本 發 明 之 進 一 步 修 改 及 替 代 具 體 例 對 業 界 人 士 鑑 於 本 1 1 文 說 明 將 顯 然 易 明 0 如 此 處 說 明 僅 視 為 示 例 說 明 及 教 示 業 1 | 界 有 Μ 執 行 本 發 明 之 方 式 〇 需 瞭 解 此 處 顯 示 及 敘 述 之 本 發 1 1 明 之 形 式 僅 指 百 前 較 佳 具 體 例 〇 相 同 元 件 可 替 代 此 處 舉 例 1 1 1 說 明 及 描 述 者 f 某 些 本 發 明 之 特 點 可 與 其 他 特 點 獨 立 使 用 1 1 9 如 業 界 人 士 獲 得 本 發 明 之 效 益 後 顧 然 易 明 0 1 1 本紙張尺度诮用中國囤家標肀（（’NS ) Λ4規格（210X 297公釐）

Claims (1)

1. 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 1. 一棰敗裝化學品輸送系統，包含··一個散裝化學品罐 d係連接至至少一個歧管香*其中各锢歧管箱至少有根輸 送管線，其中至少一根輸送臂媒係速接至一個第二罐。 2. 如申請專利範圍第1項之糸統，其中各該第二罐係連 接至一根管線逋合供給化學品至製程工具。 3 .如+申請專利範圍第1項之糸統，其又包含一個可程式 i 規劃控刺器其學&之…流經系統1 4. 如申請專利範画第1項之系統*其中各潑第二罐係罩 於擓内及其中二或多個罐再選^性罩於一個櫃内。 5. 如申請專利範圍第1項之糸統，其中該|裝罐之容量 1- … -至少約200升。 6 .如申請亭利範圈第1項之系統，其中該〜散装罐係罩於 >運送車内。- 7. 如申請專利範圍第1項之糸銃，其中至少一個第二罐 係連接至製程工具。 8. 如申請專利範圍第1項之糸統，其中該系統含有化學 品其,為原矽酸四乙醅且為9 9¾或Μ上不含微量金羼。 9. 如申請專利範圍第1項之系統，其中該:糸統含有化-品其為原矽酸四乙酯，磷酸三乙酯，亞磷酸三甲酯，硼酸 三乙廉_，四氯化钛或靼化合物其中該化學品為9 9 . 9 9 9 9 ίΚ或 以上不含微量金屬。 10. 如申請專利範画第1項之糸統，其又包含一個第二散 装罐其於第一散-裝罐無法供給化學品時提供化學品至至少 。一個閥歧管箱。 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) Λ4現格（210Χ297公缝） IIIII--Γ>ιν<^------訂-----广、'^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央橾準局貞工消費合作社印裝 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 11 .如申請專利範圍第1項之系統，.其又包含一個第一供 給歧管其係連接至散裝ϋ歧管箱，及其中該散裝罐及第 一供給歧管罩於櫃內。 12.如申請專利範圃第1項之系統，其中該，装罐也直接 連接至至少一個製程工具，至第二罐或其組合。 μ .如申請專利範圍第1項之糸統*其中，該散裝嫌係罩於 運送及容納車內而該車係罩於擓內。 1 4 . 一種散裝化學品供給糸統，包含」 一個櫃其罩住散裝化學品罐，其係連接至分布歧管；至 少一個歧管箱其係連接至至少一《分布歧管，其中該歧管 箱包括至少兩根输出管嬢，及其中至少一龙输出管線係連 接至第二罐，其係連接至第二分布歧管及分布歧管係罩於_ 第二櫃内。 15.如申請專利範圍第14項之糸統，其至少一個第二_ 罐連接至一根管媒其逋合供給化學品至製程工具。 1L如申請專利範圃第14項之糸統，其又包含一個可程 式@ _控制器其控制化學品之流經系铳。 17. 如申請專利範圃第14項之糸統，其4該散裝罐之容 霣至少約200升。 18. 如申請專利範圍第14項之糸統，良中該敗裝歜係專 於運送車内^。 19. 如申請專利範園第14項之糸統*其呻至少一個第； 罐m至製程工具。 20 .撕申請專利範圃第14項之糸铳，其中該系铳含有化 本紙張尺度適用中國國家揉隼（CNS ) Λ4规格（210 X 297公缝） 2 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· 訂 ABCD 六、申請專利範圍 〆 學品其為壇砂酸四乙酷且為99.9999¾或以上不含微量金屬。 21 .如申請專利範圍第14項之糸統，其中該糸統含有化 暴^其為原矽酸四乙酷，磷酸三乙酯，亞磷酸三甲賄，砸 酸三乙酷，四氛化钛或鉅化合物其中該化學品為9 9 . 9 9 9 9 SK ίκ上不含微量金靥。 22. —種可用於提供化學品至製程工具用於製造電子裝 置之方法，包含： 由第二罐供始化學品至製程工具，第二罐係由閥歧管箱 進料_ fc學品，閥歧管箱係藉散装罐供給化學品。 23. 如申請專利範圍第22項之方法，其中該散裝罐之容 --- - .一.....- .•一 暈釣扣0升及其中該第二罐之容量比散装罐小。 24. 如申請專利範圍第22項之方法，其中該化學品為原 ·- - - ^ 25. 如申請專利範圍第23項之方法，其中一俚第二散_ V， 〜 罐選擇性提供化學品至閥歧管箱。i 26. —種製造散装化學品供給糸統之方法，包含： 提供第一散裝罐及連接第一散裝罐至至少二閥歧管箱， 經濟部中央標隼局負工消費合作社印裝 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 其各自具有兩個出口埠； _連$至少一個岀口埠至第二罐，其農会輸送化學品至製 程工具。 27. —種製造電子装置之方法*包含由第二罐供給化學 品至-製程工具*該第二罐係由妹歧管箱進料化學品*而閥 歧管本屬_散装罐供給化學品。 28. 如申請專利範圍第27項之方法，其中該化學品係由 _〆-…____________…一 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公缝I~T~Z A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 散裝罐經由分布歧管進料,至閥吱管箱^及其中該製程工具 ，係由第二罐經由第二分布歧管供給化學品。 V 2 9 .如申請專利範圍第2 7項之方法，其中該化學品為原 ，矽酸四乙酯，磷酸—三乙酯义亞是酸三甲酯，硼酸三乙酯，， 四氯化鈦或鉅化合、物其中該化學品為9L㈣99¾或W上不含 微董金靥。 30 .如申請專利範圍第28項之方法_，j中該化學品為原 矽酸四乙酿，磷酸三乙酯*亞*换酸三甲酯，砸敢三乙_， 四氛化鈦或鋥化合物其中該化學品為99.-&999iU或Μ上不含 微量金靥。 31. —種電子裝置，其係根據申請專利範圍第27項之方 法製造。 32. —種電子装置，其係根據取篇專赳農邏28項之方 法製造。 33 . —爾置置，其係根_據申請專利範圍第29項之'方 法製造。 經濟部中央揉準局貝工消費合作社印装 (請先W讀背面之注意事項再填寫本頁) 34. —種電子装置，其I根據申請專利範圍第30項之方 法製造。 35. -種用Μ再填充容納化學品之罐之歧管，包含： (1) 一個真空供給閥；- (2) —個真空產生器； (3) —個加壓通風閥； (4) 一個載氣隔離閥； (5) —個旁通两； 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 4 經濟部中央橾準局負工消费合作社印装 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 (6)—個製程管線隔離閥ί (7 ) —個控制閥； (8) —個罐入口閥； (9) 一個罐出口閥； (1 0 )其中該真空供給閥係連接至真空產生器； 其中該真空產生器係連換至加壓通風閥及控制閥； 其中該龙氣隔離闊係奠接至加壓通風閥及旁通閥； 其中該旁通閥又連接至製程管線隔離《及罐入口閥； 其中該製程管線隔離閥亦連接至罐出口閥； m·......* 其中罐入口閥係連接至控制閥及罐出口閥。 36. 如申請專利範圍第35項之歧管，其中該等閥# Μ氣 .力作動。 37. 如申請專利範圍第35項之歧管，其中該等閥係藉不ν 銹鋦管連接及該等閥為^不銹鋼製成。 38. 如申請專利範画第35項之歧管，其中該載氣隔離閥 /又連接至惰性氣體源。 39. 如申請專利範圍第35項之歧管，其中該罐入口閥及 罐出口閥為氣動閥。 40 .如申請專利範画第35項之歧管，其中該真空供給閥 係連接至真空產生器。 41.—種可用於再填充式連接兩個容納液態化學品之罐 之歧管，其包含： 一個真空供給閥連接至真空產生器； 一 JS加壓通風閥肩接至真空產生器及氣體人口閥； 本紙張尺度適用中國國家梂準（CNS ) A4規格（210X297公釐） In ml 1^1 ULr In— n (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 • hi i Li · 5 六、申請專利範園 A8 B8 C8 D8 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 一個控制閥壤接至真空產生器； 其中該載^播^偶-也連接至旁通閥， —個製程管線隔雄閥連接至罐出口閥及旁通閥；及 個罐入口賊連接至旁通閥、控制閥及罐出口閥。 42.如申請專利範圃第41項之歧管為氣力 作動。 ' 43.如申請專利範圍第41項之歧管，其中旅等濶係藉不 銹網管連接及該等閥為不銹親製盧。 44. 如申請專利範圍第41項之歧管|其中薛惠空供給閥 係連接至真空源。 45. 如申請專利範圃第41項之歧管 又連接至惰性氣親i。 、46 .如申請專利範圍第41項之歧管 又連接至第二歧管。 47.如申請專利範圍第41項之歧管 —了形B件連接加壓通風閥，真除產生器及控制蘭。 48 .如申請專利範圍第41項之歧管*其中第二T形件直接 .' 或·間接連接至罐入口閥及罐出口閥。 4 9. 一種連接罐至歧管之方法，包含： 連接罐之配接頭至歧管之配接頭因而提偁赖送系铳；及 淸除輸送系統之空氣及水，其中該歧管包含ί '一個真空供給閥； —個真空產生器： 一個加壓通風閥； 其中$ 氣隔離閥 其中該真空供給閥 其中該歧管包含第 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（2丨0Χ 297公釐） 6 經濟部中央標準局属工消费合作社印裝 A8 Βδ C8 D8 六、申請專利範圍 一個載氣隔離閥； J 一個旁通閥； 一個製程管漆福離閥I 一個控制閥； 一個罐入口閥；、 個罐出口 JI ; 其中該真空供給閥係連接至真空產生器； 其中該真空產生器係埋接至加壓通風閥及控制閥； 其中該氣體人ΓΓ閥係連接至加壓通風閥及旁通閥； 其中該旁通閥又連接至製程管線隔離閥及罐入口閥； #中該製程管線隔、雜閥亦遽接至罐出口閥； \ 其中罐入口闕银逢接至控制閥及罐出口閥。 50,—種製造歧管之方法，包含： 提供真空供給閥，真空產生器，加壓通風閥，載氣隔離 閥，旁通-闕 > 製程管線、隔離閥，控制閥及罐人口閥； 使用管線連結各閥，一故真空供給闊連接至真空產生器， 真空產生器連接至加〜壓通風閥及控制閥，氣體入口閥連接 至%加壓通風閥及旁通閥，旁通閥又連接至製f管線隔離閥 及罐人口閥，隔離閥又連接至罐出口闕，罐入口閥連接至 控制’閥及罐出口閥。 5 1 ,—種用於再填淹含化學品之罐、之歧管，包含： % (1) 一個真空供給閥ί (2) —個真空產生器：_ (3 ) —個載氣隔雄閥—Λ— 本紙張尺度適用中困國家揉準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· 訂 申請專利範圍 閥· 通 旁 個 閥 離 隔 線\ ·» 管閥 程制 製控 個個 個 個 閥 0 入 罐 閥 口 出 罐 A8 B8 C8 D8 τι% T*f\ 器 生 i 產 空 真 至 接 I- 8 閥 給 供 空 真 該 中 閥閥 制通 控旁 至至 接接 MU AoU 缠埋 係係 器閥 生離 產隔 空壤 真載 該該 中中 中 其 中 其 中 其 法 ‘方 該 旁製入II含 as 該該罐包 閥 P 入 罐 及 閥 離 隔 線 管 程 製 至 接 tone 遵又 閥 通 閥 P 出 罐 至 接 連 亦 閥 離 隔 線 管 程 閥 ο 出 罐 及 閥 制 控 至 接 連 閥 P 法 方 之 管 歧 之 罐 之 品 學 化 含 充 填 再 於 用 造 製 閥器 給生 供產 空空 真真 置置 設設 閥 離 隔 氣 載 置 設 1-------Γ^ίνΓ^.-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 '線 經濟部中央標準局負工消費合作社印裝 閥 離 隔 ; 線 閥管 通程 旁製 置置 設設 闕 m 控 置 設 閥閥 o P 人出 罐罐 置置 設設 器 生 ·* ♦#- BSP BSP 產骽嵌 空制通 真控旁 至至至 閥器閥 給生離 供產隔 空空氣 «ff Λί 真載 接接接 連連連 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS )八4規格（210Χ297公釐） 8 ABCD 六、申請專利範圍 又連接旁通閥至製程管線隔離閥及罐入口閥； 叉連接隔離JI至罐出口閥； ，連接雄入口閥至控軸蘭及罐出口閥。 --r----------訂-----ί 線 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部4-央標準局貝工消費合作社印裝 9 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公埯）