JP5926217B2 - バルク化学物質供給システム - Google Patents
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Description
(態様1) 少なくとも1つのマニホールド・ボックスに接続されたバルク化学物質キャニスターを有して成る、バルク化学物質の供給システムであって、各マニホールド・ボックスは、少なくとも2つの流出ラインを有し、少なくとも1つの流出ラインは2次キャニスターにつながる供給システム。
(態様2) 各2次キャニスターは、プロセス・ツールに化学物質を供給するようになっているラインにつながる態様1に記載のシステム。
(態様3) システムを通過する化学物質の流れをコントロールするプログラム可能なコントローラーを更に有して成る態様1に記載のシステム。
(態様4) 各2次キャニスターは、キャビネット内に収容され、2またはそれ以上のキャニスターが適宜キャビネット内に収容されていてよい態様1に記載のシステム。
(態様5) バルク・キャニスターは、少なくとも約200リットルの容量を有する態様1に記載のシステム。
(態様6) バルク・キャニスターは、輸送カート内に収容されている態様1に記載のシステム。
(態様7) 少なくとも1つの2次キャニスターは、プロセス・ツールに接続される態様1に記載のシステム。
(態様8) システムは、微量金属を含まない、99.9999%またはそれ以上のテトラエチルオルトシリケートである化学物質を含む態様1に記載のシステム。
(態様9) システムは、微量金属を含まない、99.9999%またはそれ以上のテトラエチルオルトシリケート、トリエチルホスフェート、トリメチルフォスファイト、トリメチルボレート、チタニウムテトラクロライドまたはタンタル化合物である化学物質を含む態様1に記載のシステム。
(態様10) 第1バルク・キャニスターが化学物質を供給しない時、少なくとも1つのバルブ・マニホールド・ボックスに化学物質を供給する第2バルク・キャニスターを更に有して成る態様1に記載のシステム。
(態様11) バルク・キャニスターおよびマニホールド・ボックスにつながる第1供給マニホールドを更に有して成り、バルク・キャニスターおよび第1供給マニホールドはキャビネット内に収容されている態様1に記載のシステム。
(態様12) バルク・キャニスターは、少なくとも1つのプロセス・ツール、2次キャニスターまたはこれらの組み合わせにも直接つながっている態様1に記載のシステム。
(態様13) バルク・キャニスターは、キャビネット内に収容されている輸送および格納カート内に収容される態様1に記載のシステム。
(態様14) 分配マニホールドに接続されるバルク化学物質キャニスターを収容するキャビネット;少なくとも1つの分配マニホールドにつながる少なくとも1つのマニホールド・ボックスを有して成り、マニホールド・ボックスは少なくとも2つの流出ラインを含み、少なくとも1つの流出ラインは、第2分配マニホールドに接続され、かつ、2次キャビネット内に収容される2次キャニスターに接続される、バルク化学物質供給システム。
(態様15) 少なくとも1つの2次キャニスターは、プロセス・ツールに化学物質を供給するようになっているラインにつながる態様14に記載のシステム。
(態様16) システムを通過する化学物質の流れをコントロールするプログラム可能なコントローラーを更に有して成る態様14に記載のシステム。
(態様17) バルク・キャニスターは、少なくとも約200リットルの容量を有する態様14に記載のシステム。
(態様18) バルク・キャニスターは、輸送カート内に収容されている態様14に記載のシステム。
(態様19) 少なくとも1つの2次キャニスターは、プロセス・ツールに接続されている態様14に記載のシステム。
(態様20) システムは、微量金属を含まない、99.9999%またはそれ以上のテトラエチルオルトシリケートである化学物質を含む態様14に記載のシステム。
(態様21) システムは、微量金属を含まない、99.9999%またはそれ以上のテトラエチルオルトシリケート、トリエチルホスフェート、トリメチルフォスファイト、トリメチルボレート、チタニウムテトラクロライドまたはタンタル化合物である化学物質を含む態様14に記載のシステム。
(態様22) 電子デバイスの製造に用いるプロセス・ツールに化学物質を供給するのに有用である方法であって、
バルク・キャニスターにより化学物質を供給するバルブ・マニホールド・ボックスから化学物質を供給する2次キャニスターからプロセス・ツールに化学物質を供給することを含む方法。
(態様23) バルク・キャニスターは、約200リットルの容量を有し、2次キャニスターはバルク・キャニスターより小さい容量を有する態様22に記載の方法。
(態様24) 化学物質は、テトラエチルオルトシリケートである態様22に記載の方法。
(態様25) 第2バルク・キャニスターが、バルブ・マニホールド・ボックスに化学物質を適宜供給する態様23に記載の方法。
(態様26) 第1バルク・キャニスターを供給し(または提供し、もしくは設け)、それぞれが少なくとも2つの出口(または流出口)を有する少なくとも2つのバルブ・マニホールド・ボックスに第1バルク・キャニスターを接続すること;
プロセス・ツールに化学物質を供給するようになっている2次キャニスターに少なくとも1つの出口を接続すること
を含むバルク化学物質を供給するシステムを製造する方法。
(態様27) バルク・キャニスターから化学物質が供給されるバルブ・マニホールド・ボックスから化学物質が供給される第2キャニスターからプロセス・ツールに化学物質を供給することを含む、電子デバイスの製造方法。
(態様28) 分配マニホールドを介してバルク・キャニスターからバルブマニホールド・ボックスに化学物質が供給され、第2分配マニホールドを介して第2キャニスターからプロセス・ツールに化学物質が供給される態様27に記載の方法。
(態様29) 化学物質は、微量金属を含まない、99.9999%またはそれ以上のテトラエチルオルトシリケート、トリエチルホスフェート、トリメチルフォスファイト、トリメチルボレート、チタニウムテトラクロライドまたはタンタル化合物である態様27に記載の方法。
(態様30) 化学物質は、微量金属を含まない、99.9999%またはそれ以上のテトラエチルオルトシリケート、トリエチルホスフェート、トリメチルフォスファイト、トリメチルボレート、チタニウムテトラクロライドまたはタンタル化合物である態様28に記載の方法。
(態様31) 態様27に記載の方法により製造される電子デバイス。
(態様32) 態様28に記載の方法により製造される電子デバイス。
(態様33) 態様29に記載の方法により製造される電子デバイス。
(態様34) 態様30に記載の方法により製造される電子デバイス。
(態様35) 化学物質を含むキャニスターの補充に使用するマニホールドであって、
(1)真空供給バルブ;
(2)真空発生器;
(3)圧力ベント・バルブ;
(4)キャリヤーガス遮断バルブ;
(5)バイパス・バルブ;
(6)プロセス・ライン遮断バルブ;
(7)コントロール・バルブ;
(8)キャニスター入口バルブ;
(9)キャニスター出口バルブ
を有して成り、
真空供給バルブは真空発生器に接続され、
真空発生器は、圧力ベント・バルブおよびコントロール・バルブに接続され、
キャリヤーガス遮断バルブは、圧力ベント・バルブおよびバイパス・バルブに接続され、
バイパス・バルブは、遮断バルブおよびキャニスター入口バルブに更に接続され、
プロセス・ライン遮断バルブは、キャニスター出口バルブにも接続され、
キャニスター入口バルブは、コントロール・バルブおよびキャニスター出口バルブに接続されているマニホールド。
(態様36) バルブは空気により作動する態様35に記載のマニホールド。
(態様37) バルブはステンレススチール配管により接続され、バルブはステンレススチール製である態様35に記載のマニホールド。
(態様38) キャリヤーガス遮断バルブは、不活性ガス源にも接続されている態様35に記載のマニホールド。
(態様39) キャニスター入口バルブおよびキャニスター出口バルブは空気により作動するバルブである態様35に記載のマニホールド。
(態様40) 真空供給バルブは真空発生器に接続されている態様35に記載のマニホールド。
(態様41) 液体化学物質を含む2つのキャニスターを再充填可能に接続するのに有用なマニホールドであって、
真空発生器に接続される真空供給バルブ、
真空発生器およびガス入口バルブに接続される圧力ベント・バルブ、
真空発生器に接続されるコントロール・バルブ、
キャリヤーガス遮断バルブはバイパス・バルブにも接続されており、
キャニスター出口バルブおよびバイパス・バルブに接続されるプロセス・ライン遮断バルブ、ならびに
バイパス・バルブ、コントロール・バルブおよびキャニスター出口バルブに接続されるキャニスター入口バルブ
を含んで成るマニホールド。
(態様42) バルブは空気により作動する態様41に記載のマニホールド。
(態様43) バルブはステンレススチール配管により接続され、バルブはステンレススチール製である態様41に記載のマニホールド。
(態様44) 真空供給バルブは真空源に接続される態様41に記載のマニホールド。
(態様45) キャリヤーガス遮断バルブは、不活性ガス源に更に接続される態様41に記載のマニホールド。
(態様46) 真空供給バルブは第2マニホールドに更に接続される態様41に記載のマニホールド。
(態様47) マニホールドは、圧力ベント・バルブ、真空発生器およびコントロール・バルブを接続する第1T字継手を含む態様41に記載のマニホールド。
(態様48) 第2T字管が、キャニスター入口バルブおよびキャニスター出口バルブに直接的にまたは間接的に接続される態様41に記載のマニホールド。
(態様49) マニホールドにキャニスターを接続する方法であって、
キャニスターの取付部品(または取付部)をマニホールドの取付部品(または取付部)に接続し、それによって供給システムを提供すること、および供給システムから空気および水を除去(またはパージ)することを含んで成り、マニホールドは、
真空供給バルブ;
真空発生器;
圧力ベント・バルブ;
キャリヤーガス遮断バルブ;
バイパス・バルブ;
プロセス・ライン遮断バルブ;
コントロール・バルブ;
キャニスター入口バルブ;
キャニスター出口バルブ
を含んで成り、
真空供給バルブは、真空発生器に接続され、
真空発生器は、圧力ベント・バルブおよびコントロール・バルブに接続され、
ガス入口バルブは、圧力ベント・バルブおよびバイパス・バルブに接続され、
バイパス・バルブは、プロセス・ライン遮断バルブおよびキャニスター入口バルブに更に接続され、
プロセス・ライン遮断バルブは、キャニスター出口バルブにも接続され、
キャニスター入口バルブは、コントロール・バルブおよびキャニスター出口バルブに接続される方法。
(態様50) マニホールドを製造する方法であって、
真空供給バルブ、真空発生器、圧力ベント・バルブ、キャリヤーガス遮断バルブ、バイパス・バルブ、プロセス・ライン遮断バルブ、コントロール・バルブ、およびキャニスター入口バルブを供給(または提供し、もしくは設け)すること、
真空供給バルブは、真空発生器に接続され、真空発生器は、圧力ベント・バルブおよびコントロール・バルブに接続され、ガス入口バルブは、圧力ベント・バルブおよびバイパス・バルブに接続され、バイパス・バルブは、プロセス・ライン遮断バルブおよびキャニスター入口バルブに更に接続され、遮断バルブは、キャニスター出口バルブにも接続され、キャニスター入口バルブは、コントロール・バルブおよびキャニスター出口バルブに接続されるように、バルブをラインと接続すること
を含んで成る方法。
(態様51) 化学物質を含むキャニスターをリフィルする場合に使用するマニホールドであって、
(1)真空供給バルブ;
(2)真空発生器;
(3)キャリヤーガス遮断バルブ;
(4)バイパス・バルブ;
(5)プロセス・ライン遮断バルブ;
(6)コントロール・バルブ;
(7)キャニスター入口バルブ;
(8)キャニスター出口バルブ
を有して成り;
真空供給バルブは、真空発生器に接続され;
真空発生器は、コントロール・バルブに接続され;
キャリヤーガス遮断バルブは、バイパス・バルブに接続され;
バイパス・バルブは、プロセス・ライン遮断バルブおよびキャニスター入口バルブに更に接続され;
プロセスライン遮断バルブは、キャニスター出口バルブにも接続され;
キャニスター入口バルブは、コントロール・バルブおよびキャニスター出口バルブに接続される;
マニホールド。
(態様52) 化学物質を含むキャニスターのリフィルに使用するマニホールドの製造方法であって、
(1)真空供給バルブを供給する(または提供する、もしくは設ける、以下本態様において同様)こと;
(2)真空発生器を供給すること;
(3)キャリヤーガス遮断バルブを供給すること;
(4)バイパス・バルブを供給すること;
(5)プロセス・ライン遮断バルブを供給すること;
(6)コントロール・バルブを供給すること;
(7)キャニスター入口バルブを供給すること;
(8)キャニスター出口バルブを供給すること;
真空供給バルブを真空発生器に接続すること;
真空発生器をコントロール・バルブに接続すること;
キャリヤーガス遮断バブルをバイパス・バルブに接続すること;
バイパス・バルブをプロセス・ライン遮断バルブおよびキャニスター入口バルブに更に接続すること;
遮断バルブをキャニスター出口バルブに更に接続すること;
キャニスター入口バルブをコントロール・バルブおよびキャニスター出口バルブに接続すること;
を含んで成る方法。
Claims (15)
- 化学物質供給キャビネットであって、
底面、3つの側面、1つまたはそれ以上の扉、および頂面、
該キャビネット内にあり、少なくとも2つのマニホールドラインを含むバルブマニホールド、
スクープであって、バルブマニホールドのマニホールドラインが、その内部に配置されるスクープ、
バルブマニホールドを制御するように構成された制御計器装備、
該キャビネットの扉にあり、制御計器装備に接続されているタッチスクリーン、および
該キャビネット内にあるバルク化学物質キャニスター
を含み、該スクープの端部が、該バルク化学物質キャニスターの垂直方向のシースにおける穴の中に挿入されている、化学物質供給キャビネット。 - 制御計器装備が、前記キャビネットのコンパートメントに収容される、請求項1に記載の化学物質供給キャビネット。
- 制御計器装備が、前記キャビネットの外側に配置される、請求項1に記載の化学物質供給キャビネット。
- 排気出口を含む、請求項1に記載の化学物質供給キャビネット。
- 前記キャビネットが、床に固定されるように構成されている、請求項1に記載の化学物質供給キャビネット。
- 2つの扉を含む、請求項1に記載の化学物質供給キャビネット。
- バルブマニホールドが、多様なバルブを含む、請求項1に記載の化学物質供給キャビネット。
- バルブマニホールドが、空気作動バルブを含む、請求項1に記載の化学物質供給キャビネット。
- スクープが、前記キャビネットからの排出フロー用の導管である、請求項1に記載の化学物質供給キャビネット。
- スクープが、液体漏出物を処置するために液体洩出物を導く導管である、請求項1に記載の化学物質供給キャビネット。
- バルブマニホールドのためのマニホールド扉を含む、請求項1に記載の化学物質供給キャビネット。
- スクープが、キャビネットを通る排出フローを調節するように適用される導管である、請求項1に記載の化学物質供給キャビネット。
- タッチスクリーンは、オペレーターによりバルブマニホールドのバルブの構成を観察または変更することが可能なように適用される、請求項1に記載の化学物質供給キャビネット。
- オペレーターがカートをキャビネットの中に配置する際に役立つように、前記底面の一部に取り付けられた、または前記底面の一部を含むガイドを含む、請求項1に記載の化学物質供給キャビネット。
- 前記スクープの寸法が、前記バルク化学物質キャニスターの垂直方向のシースにおける穴の中に嵌まり込むように設定されている、請求項1に記載の化学物質供給キャビネット。
Applications Claiming Priority (10)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US5221997P | 1997-07-11 | 1997-07-11 | |
US08/893,913 | 1997-07-11 | ||
US60/052,219 | 1997-07-11 | ||
US08/893,913 US5964254A (en) | 1997-07-11 | 1997-07-11 | Delivery system and manifold |
US5726297P | 1997-08-29 | 1997-08-29 | |
US60/057,262 | 1997-08-29 | ||
US09/046,907 | 1998-03-24 | ||
US09/046,907 US5950693A (en) | 1993-04-28 | 1998-03-24 | Bulk chemical delivery system |
US8840598P | 1998-06-08 | 1998-06-08 | |
US60/088,405 | 1998-06-08 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009039385A Division JP5346620B2 (ja) | 1997-07-11 | 2009-02-23 | バルク化学物質供給システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013219388A JP2013219388A (ja) | 2013-10-24 |
JP5926217B2 true JP5926217B2 (ja) | 2016-05-25 |
Family
ID=27534964
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000501830A Expired - Lifetime JP4364425B2 (ja) | 1997-07-11 | 1998-07-10 | バルク化学物質供給システム |
JP2013138677A Expired - Lifetime JP5926217B2 (ja) | 1997-07-11 | 2013-07-02 | バルク化学物質供給システム |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000501830A Expired - Lifetime JP4364425B2 (ja) | 1997-07-11 | 1998-07-10 | バルク化学物質供給システム |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP1017613B1 (ja) |
JP (2) | JP4364425B2 (ja) |
KR (1) | KR100594522B1 (ja) |
AT (2) | ATE356314T1 (ja) |
AU (1) | AU8481798A (ja) |
DE (2) | DE69837289T2 (ja) |
TW (1) | TW387979B (ja) |
WO (1) | WO1999002251A2 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
AU4849499A (en) * | 1998-06-30 | 2000-01-17 | Adcs, Ltd. | System for supply of multiple chemicals to a process tool |
WO2002012780A1 (en) * | 2000-08-04 | 2002-02-14 | Arch Specialty Chemicals, Inc. | Automatic refill system for ultra pure or contamination sensitive chemicals |
US7163036B2 (en) | 2004-12-22 | 2007-01-16 | The Boc Group Plc | Method of supplying fluorine |
CN101408277B (zh) * | 2008-07-21 | 2012-03-07 | 上海第二工业大学 | 超高真空环境下的微量气体注入设备 |
CN101723299B (zh) * | 2008-10-27 | 2013-04-17 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 四乙羟基硅再灌注系统及其净化方法 |
US9032990B2 (en) * | 2011-04-25 | 2015-05-19 | Applied Materials, Inc. | Chemical delivery system |
KR101887327B1 (ko) * | 2018-01-24 | 2018-08-09 | 이형섭 | 반도체 제조설비용 가스 공급 장치 |
CN114963001B (zh) * | 2022-05-24 | 2023-03-24 | 武汉沅净科技有限公司 | 一种超净高纯化学品全自动充装与供应系统及其控制方法 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4676404A (en) * | 1983-10-17 | 1987-06-30 | Nippon Zeon Co., Ltd. | Method and apparatus for feeding drug liquid from hermetic returnable can |
WO1986007615A1 (en) * | 1985-06-21 | 1986-12-31 | J.C. Schumacher Company | Chemical refill system |
JPS63151347A (ja) * | 1986-12-17 | 1988-06-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薬液供給管 |
JPH0636476Y2 (ja) * | 1989-04-03 | 1994-09-21 | 大同ほくさん株式会社 | 有機金属供給用恒温槽 |
JPH0733040Y2 (ja) * | 1989-12-22 | 1995-07-31 | 株式会社竹中工務店 | ガスボンベ収納用のガスキャビネット |
JPH03202009A (ja) * | 1989-12-28 | 1991-09-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 厨房装置 |
US5148945B1 (en) * | 1990-09-17 | 1996-07-02 | Applied Chemical Solutions | Apparatus and method for the transfer and delivery of high purity chemicals |
JPH0697086A (ja) * | 1992-09-17 | 1994-04-08 | Kobe Steel Ltd | 半導体製造用流体材料供給装置 |
US5293893A (en) * | 1993-01-27 | 1994-03-15 | Fsi International, Inc. | Empty drum detecting apparatus |
US5607002A (en) * | 1993-04-28 | 1997-03-04 | Advanced Delivery & Chemical Systems, Inc. | Chemical refill system for high purity chemicals |
JP3318094B2 (ja) * | 1994-02-10 | 2002-08-26 | 株式会社アルファ | 暗証番号入力式貸しロッカーシステム及び装置 |
US5551309A (en) * | 1995-01-17 | 1996-09-03 | Olin Corporation | Computer-controlled chemical dispensing with alternative operating modes |
US5620524A (en) * | 1995-02-27 | 1997-04-15 | Fan; Chiko | Apparatus for fluid delivery in chemical vapor deposition systems |
US5685435A (en) * | 1995-05-08 | 1997-11-11 | Mars Incorporated | Method and apparatus for automatic bulk vending |
JP3684624B2 (ja) * | 1995-08-02 | 2005-08-17 | ソニー株式会社 | 反応ガス供給装置 |
-
1998
- 1998-07-10 TW TW087111208A patent/TW387979B/zh not_active IP Right Cessation
- 1998-07-10 AT AT01104373T patent/ATE356314T1/de not_active IP Right Cessation
- 1998-07-10 EP EP98935608A patent/EP1017613B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-07-10 DE DE69837289T patent/DE69837289T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1998-07-10 DE DE69818076T patent/DE69818076T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1998-07-10 KR KR20007000269A patent/KR100594522B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1998-07-10 WO PCT/US1998/014373 patent/WO1999002251A2/en active IP Right Grant
- 1998-07-10 AT AT98935608T patent/ATE249396T1/de not_active IP Right Cessation
- 1998-07-10 AU AU84817/98A patent/AU8481798A/en not_active Abandoned
- 1998-07-10 JP JP2000501830A patent/JP4364425B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2013
- 2013-07-02 JP JP2013138677A patent/JP5926217B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE69818076D1 (de) | 2003-10-16 |
KR20010021710A (ko) | 2001-03-15 |
ATE356314T1 (de) | 2007-03-15 |
JP2003521359A (ja) | 2003-07-15 |
WO1999002251A3 (en) | 1999-08-26 |
DE69818076T2 (de) | 2004-06-03 |
WO1999002251A2 (en) | 1999-01-21 |
JP4364425B2 (ja) | 2009-11-18 |
JP2013219388A (ja) | 2013-10-24 |
EP1017613A2 (en) | 2000-07-12 |
EP1017613B1 (en) | 2003-09-10 |
DE69837289T2 (de) | 2007-11-08 |
ATE249396T1 (de) | 2003-09-15 |
KR100594522B1 (ko) | 2006-06-30 |
AU8481798A (en) | 1999-02-08 |
DE69837289D1 (de) | 2007-04-19 |
TW387979B (en) | 2000-04-21 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140902 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141201 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150303 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
A711 | Notification of change in applicant |
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|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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|
A02 | Decision of refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
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|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20160218 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160405 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160421 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
EXPY | Cancellation because of completion of term |