TW384273B - An elevator mechanism and a rotary linear drive - Google Patents

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TW384273B TW086112738A TW86112738A TW384273B TW 384273 B TW384273 B TW 384273B TW 086112738 A TW086112738 A TW 086112738A TW 86112738 A TW86112738 A TW 86112738A TW 384273 B TW384273 B TW 384273B
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Christopher A Hofmeister
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Description

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7__1 1 五、發明說明（） 〔發明之領域〕 本發明之裝置係關於材料之運送裝置。所運送之材料 可包括（然不限於）：矽或鍺砷化物之類半導體晶圓、高 密度互連片之類半導體封裝基片、光罩或初縮掩膜版之類 半導體製造處理中之映像板、Μ及主動矩陣液晶顯示器基 片之類大面積顯示面板。 〔發明之背景〕 本發明係關於材料運送裝置，尤指一種同軸驅動之升 降機，此種升降機可用Μ達成材料運送裝置中基片握持器 之旋轉及垂直運動，Μ供生產基片，其中，基片可取半導 體晶圓及平坦型面板，或者其它基片或媒介之形式。 今對於在諸如半導體工業所使用晶圓或平板之製造中 可見及，為有限之區域所界定之高度局限區域內，於違距 離位置間移動基Η或工件之高產出蓮送裝置，需求甚切。 此舉係因為，在製造過程中（並非就限於半導體工業中） ，對於將工件自一位置移至下一位置，不僅需要高的產出 率，而且亦需Μ預定之向位對齊地反覆置放工件於一支承 面上之準確性。而製造一台定位機器，其可Μ在縱使粒子 並非不存在其存在亦被降至最少之一潔淨室環境內工作者 ，則更受進一步之限制。 種種嘗試業己作出，Μ期製造這樣的升降裝置：可同 軸地驅動一移送裝置，Κ達成依循與繞著一給定之垂直蚰 作垂直與旋轉兩運動。此種裝置之一種揭示於美國專利第 -4- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------------^---------訂 ί”：------- 線丨鑣 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7_1 五、發明說明（） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 4，952，299號案。在此，其設置有一可垂直移動 之機架，且該機架固接一設置來用於旋轉一驅動軸7 6之 驅動馬達。然而，該驅動馬達之位置與該驅動軸成一直線 ，假設該驅動馬達之長度須加考慮時，則會限制軸7 6之 行程長度。此外，該驅動以其頂端直接連接於一臂*致使 不能獨立地支承一鉸接式轉送機構（除該軸7 6之轉動外 ，其類型為本發明所涉及）。 因此，.本發明之一目的係提供一種物品蓮送機構，用 於在第一於第二站之間，沿一直線路徑，K反覆之運動移 動物品，且該機構铰接K一個可依循與繞著一給定之軸線 ，既旋轉又垂直移動該機構之驅動器。 本發明之另一目的係提供一種上述類型之升降機構， 其利用一緊湊之驅動结構，可相對於一給定之殼體尺寸， 來提供增大之行程長度。 本發明之又一目的係提供一種上述類型之運送裝置， 其中基Η可作為一組昼置之基片，自一位置被移動至下一 位置，Κ達成處理操作之較大產出。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本發明之再一目的係提供一種上述類型之運送機構， 其中該機構設有一握持器，該撞持器上叠置有複數片基片 ，後者作為一組加Μ處理，且經由使用該握持器而為後續 之操作所加工。 本發明之更一目的係提供一種可Μ在一潔淨室環境內 作用之運送機構。 -5- _本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ： 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 動裝第接響蓮之而 直位與連Μ向向 ， 兼定一地用方方上 動性第動，之定座 轉線之驅置定給基 種該座且裝給一承 此中基，位該第 '支 ， 其該座定沿該該 構，於基性而於於 機置接該線電直承 。 動裝固於於通垂支 軸直位有接接向抵受 轉兼定具固連反大端6-該動線且器架與成下 _ 至轉線，動動電設 Κ 出種一 設驅滑通伸其 輸一及伸轉一之一管 之於以向旋。置有降 器屬座方一置裝具升 動更基之第裝轉架 一 驅明一定一位旋動。 二 發有給。定一滑面 第本具 一 部性第該基 該 構沿端線該。承 接 機置二於應動支 A7 Β7 五、發明說明（） 本發明之進一步目的K及優點經以下之說明書Μ及附 錄之申請專利項將得Μ明瞭。 〔發明之概要] 本發明羼於一種升降機構，此種升降機構包含有一底 板，由此界定出置於該底板上方之一室之底壁。該底板具 有一頂面及一底面，且其中有連通該頂面與底面之開口。 一第一驅動器設置成可於該底板之下方，且平行於一給定 之第一方向作蓮動；一滑動架與該第一驅動器相連接作蓮 動，且承載一支自該滑動架起沿該給定之方向上伸並穿過 底板開口之升降管。該升降管內中包括有一同軸置放且受 支承於滑動架上之轉軸；一具有輸出之第二驅動器予Κ設 置，且受支承於滑動架上，Κ供沿任一方向轉動該轉軸。 該一驅動器輸出被設置成平行於該給定之方向，且Μ並排 之方向平行於轉軸。一聯結機構亦予設置，Κ供驅動地連 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） !11 丨—丨 — — — — ίαΓ/·------訂 —I! I ---丨丨 — |_! (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 五、發明說明（） 且具有一中空之内部封閉區，以供内中收納一轉軸。該轉 軸具有之長度大於該升降管之長度，Μ致向上伸出而超越 升降管之一端，並自該升降管向下下垂而穿過一個於該支 承基座中所形成之開口，藉以界定一下垂連接部。一第二 驅動器安裝在該滑動架上，且具有一輸出，Κ供致使該轉 軸旋轉。一聯結機構予以設置來驅動地聯結該第二驅動器 之輸出至該轉軸，Μ達成沿任一方向之轉動。該第一與第 二驅動器之開、關狀態藉由一控制機構加Μ控制。 〔附圖之簡要說明〕 第一圖係一對並排並處理站之局部俯視圖示圖，其中 該等處理站之類型為可利用本發明之運送裝置。 第二圖係第一圖所示處理站之局部側視平面圖。 第三圖係局部俯視圖示圖，其較詳细地顯示第一圖之 單一個處理站，且利用了一個體現本發明之蓮送裝置。 第四圖係該同軸驅動器之垂直側剖面平面圖，為清晰 起見，圖中有些部份予Μ切去。 第五圖a及第五圔b示意性地顯示移送裝置之連桿機 構。 第六圜係從垂直於第四圖所示之角度觀察到之垂直側 剖面平面圖，為清晰起見，圖中有些部份予Μ切去。 第七圖係該升降機構之仰視圖。 第八圖係該升降機構之俯視圖。 第九圖係如第七圖所示之該轉角驅動聯结機構之第一 -7- 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ,2(. tri-· 線丨 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7_ 1 ' 五、發明說明（） 實施例之側視平面圖。 第十圔係該轉角驅動聯结機構之第二實施例之局部側 視平面圖。 第十一圖係第十圖所示該驅動器之仰視圖。 第十一圔係可用於本發明之一控制系統之示意圖。 第十二圖係可用於本發明之另一控制系統之示意圖。 〔較佳實施例之詳述] 玆翻至附圖，第一圖顯示一条列用於操作平面基片之 處理系統2 0，其中平面基片可包括晶圓K及平坦形面板 。誠如早先所提出，”晶圓〃以及〃基片〃二詞將一直用 於意指此種基>}，然當理解，其尚意在用於範圍更廣之情 形，俾K可應用於所有基Η。該等處理糸統2 0例如可在 一藉由壁24而與外界環境相隔開之一〃潔淨室"22内 排列成並排之形式。可Κ消除作為獨立環境之該潔淨室， 並取而代之Κ在糸統2 0內，Μ及與該系統相交界之各工 具內，.保持所欲之潔淨環境。 無論如何.，習慣上係所載送之大量基片或工件S (第 二圖）係位於一片盒26或於一受控制之環境載盒26' 内。於此情況下，複數片基片乃裝於片.盒2 6或載盒26 '内，且於此各Κ間隔、叠置之關係受支承，而後Κ人工 方式，或其它方式加Μ運送並置於一料架28上，相鄰一 相關之系統20，Κ待進入供進行處理。當一進料門34 (第三及第四圖）開啟，使得可經由一装料口35而通行 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公楚) (請先閲婧背面之注意事項再填寫t頁)
經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（） 時，j={盒即被置入一位於裝料鎖定站3 2内之待送室3 0 中。藉由一定位於待送室底板3 1之上方且與一控制器1 ◦聯接之轉運裝置3 6，複數片基片可在該裝置3 6之一 次蓮動中，於片盒26或受控制之環境載盒26'内被托 起，而脫開Η盒或載盒之料架，並圼蜃置狀地移進裝料鎖 定站3 2之待送室3 0內。繼之•藉由一置於與裝料鎖定 站3 2相連之輸送室3 8内的輸送裝置3 7，該等基片S 可遂一移至該輸送室38，並由此複至處理站40中之一 個或多個。 如第二與第四圖所示，該轉蓮裝置3 6安裝在一升降 機構44之頂上，而升降機構則用於沿所標示之Ζ軸垂直 移動。該升降機構44具有一殼體4 3Κ及一安装座4 5 ，其中該安裝座受支承於裝料鎖定站3 2内，且Μ可加Μ 控制之方式有選擇地Κ定位於裝置3 6中不同高度位置， 其目的係定位各基片S，使之可連接輸送裝置37。為此 目的，如第四圔所見，該升降機構44包括有一轉軸5 6 ，其置於一升降管54内，Κ後者負責沿Ζ軸循垂直向移 動該軸54。於該升降管5 4之頂部，置有一安裝塊5 1 ，其藉由一組適切之螺釘而固定，Κ阻止相對於升降管5 4運動。轉送裝置3 6包括有一鉸接驅動臂6 0，後者樞 接於安裝塊51來繞所標示之軸ΑΧ旋轉。該驅動臂60 之自由端6 1進而支承複數個64端部作用器66，其中 後者排列成一種蠱置結構，且用於繞所標示之軸MX轉動 -9- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------------4'『·-------ltri,·------"•線 I ml- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 B7_ ' ' 五、發明說明（） 。該驅動臂6 0K及該等端部作用器若干64，相對於支 承臂5 2既可轉動又可直線蓮動，以期於片盒支承站與裝 料鎖定站之待送室3 0之間移動一蟊基H S。 輸送裝置37亦包括有基片握持器33、33，該等 握持器可按來自控制器之指令，Κ可控之方式移動*進出 控制處理模組中之一者Κ供處理，並隨後將已加工之基片 放回待送室内，使之於該處複受支承於一端部作用器6 6 上。 如圖所示，半徑R界定基片握持器3 3目輸送室標準 圓心起的作動長度。各基片握持器3 3Κ互補之方式構造 成當沿半徑R移動時，可與端部作用器6 6之形狀相配， 俾Κ當二者間之相對運動因升降機構44之故而發生時， 可托起一基片S，使之脫離所涉及之端部作用器。因此， 藉由在裝料鎖定站3 2内角度方面定向端部作用器6 6， 佐Κ半徑R，經由端部作用器與該片握持器之相對垂直蓮 動，基片S之拾放輸送即可達成。 轉送裝置3 6可沿一直線路徑，移動複數個叠置狀基 MS (或者甚至為單一基片）之中心，該路徑如第三圖中 之雙點劃線所示，乃伸設於位置A — C之間。該等位置A 與C分別與一 Η盒之装、卸位置（位置A)，以及一輸送 室中之裝、卸位置（位置B)相關聯。該一線狀直線P標 識出基片S於片盒2 6與鎖定站3 2之内部封閉區3 0之 間所循之路徑。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ----------------- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -訂ί:-------線— A7 B7 五、發明說明（） 如第四圖所示，升降管54於其上端經由一組螺釘6 3之中介而固定有一頸圈板5 9。安裝板5 1經由該頸圈 板之中介而固接升降管54之端部，其間頸圈係藉由螺釕 6 5而連接於該安裝板。安裝座45K諸螺釕6 7連接於 待送室之底板3 1，其中該等螺釘乃收納在板3 1之底面 上所形成之螺孔内。該安裝座4 5亦包括有一可供升降管 穿過之井道6 9。連接於頸圈板5 9K及該井道6 9之底 部者，為一波紋管型密封件，其可K隨升降管之垂直運動 而沿軸方擴脹，藉K保持待送室3 0内之密閉環境。一開 口 6 8形成於底板3 1上，且其直徑足K讓波紋管型密封 件73 (或類似裝置）K及相連接之升降管穿過。作為該 波紋管型密封件之替代形式，可使用一滑動套筒且K此插 入井道來卡接帶上、下唇遴之密封件。於底板31上沿徑 向朝外處包圔開口 6 8者，為一密封圈7 7，其收納在安 裝座4 5正對該底板3 1底面之面上所形成之一環形槽内 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) _訂· 線- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 MX 成旋係干 ，A 置作只若 1 軸安 X ， 器 5 之 4 Μ 的用。 座示 6 軸止作動 装標個之靜部運 安所數示係端線 該繞複標 1 等直 之者承所 5 該可 示後支繞塊及又 顯供而其装 Κ 動 所 Κ 進供安 ο 轉 I 式，端，，6可1 方 ο 由 6 ο 臂既 _ 性 6 自 6 6 動 1 示臂之器臂驅 5 例動 ο 用動，塊 Κ 驅 6 作驅而装 中承臂部於然安 圖支動端同。於 五式驅之不動對 第方該構。蓮相 於之。.结動軸， 轉轉置運 Ζ 4 可旋疊轉沿 6 . 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） Α7 Β7 五、發明說明（） 驅動臂6 0與端部作用器若干64之間，K及所持取 之這些元件之間，彼等相對於安裝塊5 1之相對蓮動，可 經由第五圖a與第五圖b中K圖號7 0加K總體示意性例 示之一鉸接式連桿機構而達成。該連桿機構之一端，於點 7 1固接於驅動臂60，而該連桿櫧構70之另一端則於 點7 4，K不可轉動之方式連接於轉軸56之頂端。當看 出，該鉸接式連桿機構包含有一小臂80及一大臂82， 二者於樞點86彼此相樞接。該小臂80之端部如四圖所 _ 示與轉軸5 6相關聯，且具有一截頭錐形之夾持頸圈8 8 ，以此連接轉軸56之頂端上所形成的對應形狀之表面上 。一固定螺栓90予設置，且當螺緊時，Κ不可轉動之方 式將軸56固定於該小臂80。如此，轉軸56沿順時針 方向之旋轉即使該驅動臂沿順時針方向横掃，而轉軸5 6 沿逆時針方向之旋轉將使驅動臂沿逆時針方向横掃。該等 端部作用器6 6之旋轉，其達成方法係將該等端部作用器 所連接之安裝軸可旋轉地連接於安裝塊5 1 ，具體可見尚 在申請中且同樣讓與本申諳人之美國專利申請案第0 8/ 7 16，943號案，名#同軸驅動之装載器臂〃者。 如第四與第六圖所示，一長型導螺桿9 2設置於升降 機構44內，且於殻體或機架43之上、下端之間伸設成 平行於Ζ軸。該導螺桿9 2之上端套合成可於殼體4 3之 一水平伸展部份1 00内轉動，而其下端開設則套合成可 於一固接於殻體4 3之制動組件102內轉動。該導螺桿 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公楚） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ti— 訂· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 _;_B7_ . 五、發明說明（） 92驅動性地轉動連接一 Z軸驅動馬達100 (見第ΐ：圖 )，而該馬達則固定成可防止相對殻體43運動，且可響 應控制器1 0發出之指令，沿任一旋轉方向可控制地旋轉 該導螺桿。一傳動帶1〇1予Κ設置，且貼合於一輸出帶 輪1 03Κ及一從動帶輪1 05之周面，其中該輸出帶輪 乃安裝在馬達100上，而該從動帶輪則Μ不可轉動之方 式連接於導螺桿92之下端。設置成可在該導螺桿9 2上 運動者，為一升降式滑動架1 0 4，其藉由一固定於該升 降式滑動架之驅動螺母1 0 6而螺合於導螺稈9 2，致使 導螺桿沿任一方Θ之旋轉使該升降式滑動架1 0 4可相應 地向上或向下運動。 該升降式滑動架具有一支承座1 08，由此界定出一 伸展成垂直於導螺桿92的縱向範圍之支承面1 1 2。升 降管54之下端即受支承於該支承面1 1 2上，且藉由一 鎖緊螺釘1 1 6而固定於其上，Κ防止運動，致使該升降 管可響應驅動馬達1 0 0之通電或反向通電，與滑動架1 04 —體地上下移動。該支承座内中形成有一開口 1 2 0 ，其直徑0 i小於升降管之外徑D2 ，但為一略大於轉軸 56之直徑D3之直徑。轉軸54具有之長度Li大於升 降管54之長度L2 ，致使一部份轉軸56向上伸出而超 越升降管，藉K提供一個可供連桿機構7 0之夾持頸圈8 8連接之表面。此外，該相對長度為亦可使轉蚰54之下 端向下伸出而超越升降管56，且進入並穿過支承座1 0 -13- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先間讀背面之注意事項再填寫本頁) 壯· “-------訂—Ϊ------線|汰¥. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 _'____B7_,, 五、發明說明（） 8之開口 1 2 0。 軸54下垂超越支承座1 0 8之該長度界定出一連接 長度1 22，該連接長度1 22具有一環形定位件1 24 ，其藉由一端板1 2 6而被夾持成可防止相對升降式滑動 座104之支承座108軸向運動。滾圈軸承128予Μ 設置，且置於支承座1 08內，藉Κ轉動地套合轉軸56 之下端。 尤如第六圖所示，該滑動架104包括有一可供轉角 驅動馬達1 3 2安裝的一體形成之懸臂板1 3 0，該轉角 馬達具有一輸出軸1 34 *後者伸設成平行於Ζ軸，且並 排之安置法與之相間隔。一聯結機構1 3 6設於該輸出軸 134之最下端聯结長度122與轉角驅動馬達132之 間，以達成轉軸5 6之可控性轉動。誠如稍後將討論者， 該聯结機構可取各種不同之形式，然此刻當理解，該機構 1 36可將來自轉角驅動馬達1 32之轉動或直線運動傳 換成轉軸5 6之轉動。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) u". 訂· --線·—Hr 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 有關的軸式示形 載之目 Ζ 方所旋 側軸此於統圖螺 端 Ζ 為行傳六之 之之。平之第垂 面示部且知如下 對標端内習。部 置所之 3 内動頂 位於關4業滑之 6 直相内Μ道 3 ο 垂之毅 4 軌 4 1 圼架於 4 該體 -母供動定 1 沿毅 1 螺Μ滑固塊可自 _ 動，持一滑並一 驅 ο 保有 一 4 由 於 4 並括。ο 經 置 1 持包 2 1 達 其構握 ο 4 架馬 架機地 4 1 動角 動載動 1 道滑轉 滑承移構軌於與 該線可機之接軸 直，該伸固 Ζ 一係，延，， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（） 動力索140之中介，而連接於一動力供應源（圖中未示 )。亦自該殻體頂部下垂者，為一真空管線1 48，該管 線之一端連接於一外部差動泵。該管線1 4 8之另一端則 連接於一與升降管5 4之內部封閉區相連通之氣道（圖中 未示），藉K將空氣由此抽空。該真空管線148之一支 管，可進一步連接一位於升降管56之頸圈板59上且與 升降管之内部封閉區相連之導管1 49。 如上文所提及，聯结機構136可取諸多不同之形式 。.如第七與第九圖所示，圼第一形式時，該聯结撒構包栝 有一痼三片式連稈機構1 5 0，後者具有之第一連桿片1 52K不可轉動之方式連接於轉角驅動馬達132之一旋 轉輸出軸1 34，而一第二連桿片1 56具有之一端則K 不可轉動之方式連接於轉軸56之下垂端長度22，且另 —端樞接於一第三連桿片1 58，該第三連桿片之另一端 複又樞接於第一連桿片1 52之自由端。如此，該輸出軸 154之旋轉蓮動CC即可導致轉軸56之相應轉動CC ，且反之亦然。誠如上文所討論，該轉軸5 6之蓮動局限 於圓心角AR (見第五圖a)，因此諸限位擋止160乃 設置來為此目的起阻止連捍片1 5弓。或者，如第十與第 十一圖中所見，該聯结機構1 3 6可取一種傳動帶1 6 2 之形式，K此串接於一驅動帶輪與一從動帶輪1 6 6之外 周面上，其中該驅動帶輪係與轉角馬達相關聯，而該從動 帶輪則與轉軸5 6相關聯。 -15- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -------------梦-ί-------訂----i-------線-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 _m____. . 五、發明說明（） 現參看第十二及第十三圖，當可見及，用於可控制地 沿轉角方向與垂直方向定位轉軸5 6，且用於垂直沿Z軸 定位升降管54之該控制系統，可取兩種形式。圼第十二 圖所示之形式時，該Z軸與轉角馬達1 00、1 32分別 各為一伺服馬達，其使用一伺服驅動型反餽環路1 66來 連接於控制器10，K藉由該控制器1 0而在轉角方向與 垂直方向定位已連動之元件，而無需K手工控制馬達1 0 0及132。為此目的，諸感應器170予K配置在殻體 上，並感應升降式滑動架1 04之垂直位置，同時諸角位 置感應器17 2亦予K配置，K感應轉軸54之角位置， 而且各感應器連接於一個與其相關之反餽環路1 66。滑 動架1 04為各環路攜帶子控制面板1 74與1 76。另 一種形式係，如第十三圖所示，所使用之驅動馬達1 00 與1 32可為步進馬達，且於一開環路系統中，按直接來 自於控制器1 0之指令，由驅動器1 80與1 82加K驅 動0 經由上文，一種改良型輸送裝置業K較佳實施例之方 式加K說明。然而，在不偏離本發明精神之條件下可有眾 多之修改形態K及替代形態。尤其係本發明乃參照反時針 /順時針、垂直、水平K及其它角度標記加K說明。然而 ，此種標記僅用於解釋之用途，而非取之針對這些方向來 限制本發明之範圍。此外，該轉角驅動馬達1 3 2可取氣 動式致動器之形式，於此該氣動式致動器具有一個可於第 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂----' .線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 (請先間讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（） 一與第二位置間移動之滑 聯接於轉軸56的下端上 好係使用一開環路控制糸 制。此外，該同軸驅動可 對基片之操縱。 因此，本發明業K例 0
圖式主要元件符號說明 R
Μ X A X S 10 2 0 2 2 2 4 2 6 2 6 ^ 2 8 3 0 3 1 3 2 3 3 動式活塞，且該致動器可K直接 之雙臂曲柄。圼此種構造時，最 統來達成對驅動馬達之開、關控 用於其它應甩場合，不必局限於 示性而非.限制性之方式加Κ說明 半徑 端部作用器之軸 驅動臂之軸 基片 控制器 處理系統 潔淨室 壁 片盒 載盒 料架 待送室 底板 裝料鎖定站 基片握持器 -17- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製
五、發明說明（） 3 4 3 5 3 6 · 3 7 3 8 , 4 0 4 3 4 4 4 5 5 1 5 6 5 4 5 9 6 0 6 1 6 3 6 4、6 6 6 5 6 7 6 9 7 3 6 8 P 進料門 裝料口 轉運裝置 輸送裝置 輸送室 處理站 殻體 升降機構 安裝座 安裝塊 轉軸 升降管 頸圈板 驅動臂 驅動臂之自由端 螺釘 端部作用器 螺釘 螺釘 井道 波紋管型密封件 開口 基片路徑 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 五、發明說明（ A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A B 12 0 D 1 D 2 D 3 C 7 0 7 1 7 4 8 0 8 2 8 6 8 8 9 0 9 2 10 0 10 1 10 3 10 5 10 4 10 6 10 8 片盒裝載位置 片盒卸載位置 開口 直徑 升降管之外徑 轉軸之直徑 基片中心 鉸接式連桿機構 點 點 小臂 大臂 樞點 夾持頸圈 固定螺栓 導螺桿 Z軸驅動馬達 傳動帶 輸出帶輪 從動帶輪 升降式滑動架 驅動螺母 支承座 -19- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 五、發明說明（ A7 B7 1 12 114 116 1 2 0 支承面 升降管之下端 鎖緊螺訂 開口 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -20- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）

Claims (1)

  1. A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 ι· 一種升降機構，包括： 一底板，該底板界定一置於該底板上方之一室之底壁 ，該底板具有一頂面及一底面，且其中有連通該頂面與底 面之開口； —第一驅動器，設置成可於該底板之下方，且平行於 一給定之第一方向蓮動； 一滑動架，其與該第一驅動器相連接作蓮動，且承載 一支自該滑動架起沿該給定之方向上伸並穿過該底板開口 之升降管； 該升降管內中包括有一同軸置放之轉軸； 一具有輸出之第二驅動器，該第二驅動器Μ相對於該 轉軸呈並排之定向關係*受支承於該滑動架上，用以沿任 —方向旋轉該轉軸；及 聯结機構，其聯结該第二驅動器之輸出至該轉軸。 "―... 2 ·如申請專利範圍第1項之升降機構，其進一步之 特徵在於：該第一驅動器具有一具第一與第二端部之長型 導螺桿，該等螺桿之縱向範圍伸設於該第一與第二端部之 間，且平行於該轉軸，該第一端部固接於該底板，而該第 二端部則固接於該底板下方之某一位置。 3 ♦如申請專利範圍第1項之升降機構，其進一步之 特徵在於：該聯结機構為一多片式之樞轉連桿機構。 4 ·如申請專利範圍第1項之升降機構，其進一步之 特徵在於：該聯结機構為一傳動帶，其繞於一個與該第二 -1- 本紙張尺度適用中國國家梯準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· ί 線- Φ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 驅動器之一輸出軸相連接之帶輪κ及另一與旋轉驅動軸相 連接之帶輪。 5 .如申請專利範圍第2項之升降機構，其進一步之 特徵在於：該第一驅動器乃固定於一個內含一井道之安裝 座，而且該升降管具有一頸圈板，用Μ支承一轉送裝置， 以供後者在頸圈板作垂直蓮動。 6 .如申請專利範圍第5項之升降機構，其“進一步之 特徵在於：一波紋管型密封伴自該井道之底部上伸至該升 降管之頸圏板，該底板中之開口具有一直徑，其足Μ讓該 波紋管之外徑得Μ於二者間移動而不受干涉。 7 ·如申請專利範圍第5項之升降機構，其進一步之 特徵在於：該頸圈板連接於一個支承該轉送裝置之安裝塊 ，該轉軸具有之長度大於該升降管之長度，使得具有一段 向上伸出而超越該升降管之上端部，轉軸之該上端部連接 於一連桿機構，連桿機構可供轉送裝置鉸動於第一與第二 給定位置之間。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 8 ♦如申請專利範圍第7項之升降機構，其進一步之 特徵在於：該滑動架具有一固定於其上且螺合於固结其上 之該導螺桿周邊之驅動螺母。 9 ♦如申請專利範圍第8項之升降機構，其進一步之 特徵在於：有一差動泵連通於位於該轉軸與該升管管之間 之一空間。 1 〇 .油申請專利範圍第3項之升降機構，其進一步 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） A8 B8 C8 _ D8 ' - 穴、申請專利祀圍 之特徵在於：該第一與第二驅動器為伺服馬達，且經由一 伺服環路而聯接於一控制器。 1 1 *如申請專利範圍第3項之升降機構，其進一步 之特徵在於：該第一與第二驅動器為步進馬達，且經由一 伺服環路而聯接於一控制器。 , 1 2 ·如申請專利範圍第4項之升降機構*其進一步 之特徵在於：該第一與第二驅動器為伺服馬達，且經由一 伺服環路而聯接於一控制器。 1 3 ·如申請專利範圍第4項之升降機構，其進一步 之特徵在於：該第一與第二驅動器為步進馬達，且經由一 開環路而聯接於一控制器。 1 4 ·如申請專利範圍第2項之升降機構，其進一步 之特徵在於：該導螺桿之第二端部套合在一制動組件内。 1 5 · —種迴轉式線性驅動器，包括： —基座； 一線性定位裝置*沿一給定之方向伸設且具有固接於 該基座之第一與第二端部； 一第一旋轉驅動器，該旋轉驅動器固接於該基座，且 驅動地連接於該線性定位裝置； 一滑動架，其連接於該線性定位裝置，用Μ響應該第 一旋轉驅動器之通電與反向通電而沿該給定之方向蓮動； 該滑動架具有一伸設成大抵垂直於該第一給定方向之 支承基面； -3- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝- _ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 Α8 Β8 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 一升降管，其K下端受支承於該支承基座上，而且具 有一中空之內部封閉區，K供內中收納一轉軸； 該轉軸具有之長度大於該升降管之長度，Μ致其向上 伸出而超越該升降管之一端，並自該升降管向下下垂而穿 過一涸於該支承基座中所形成之開口，藉Κ界定一下垂連 接部； 一第二驅動器，其安裝在該滑動架上，且具有用以使 該轉軸旋轉之輸出； 一聯結機構，用於驅動地聯结該第二驅動器之輸出至 該轉軸，Μ達成任一旋轉方向上之轉動；及 控制機構，用於控制該第一與第二驅動器之開、關狀 態。 1 6 ·如申請專利範圍第1 5項之迴轉式線性驅動器 ，其進一步之特徵在於：該第一與第二驅動器為伺服馬達 ，且該控制機構具有一控制器，該控制器經由一伺服環路 而連接於該第一與第二驅動器。 1 7 ·如申請專利範圍第1 5項之迴轉式線性驅動器 ，其進一步之特徵在於：該第一與第二驅動器為步進馬達 ，且該控制機構具有一控制器，該控制器經由一開環路而 連接於該第一與第二驅動器。 1 8 ·如申請專利範圍第1 5項之迴轉式線性驅動器 ，其進一步之特徵在於：該第一與第二驅動器為伺服馬達 ，且該控制機構具有一控制器，該控制器經由一伺服環路 ---------裝-;!. I ί一 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本Ρ) •訂 線 _ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 六、申請專利範圍 A8 B8 C8 D8 器 an3 區 馬 性 線 式 轉 〃迴 之 項 5 ο 1 器第 動圍 驅範 二利 第專 與請 一 申 第如 該. 於 9 接 1 連 而 達 馬 進 步 為 器 動 驅 二。 第器 與制 1 控 第一 該於 -· 接 於連 在而 徵路 特環 之開 步 一 1 由 進經 其且 ----------^1 — (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂- 線一 ® 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）
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