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3 梅 60 A7 B7 五、發明説明（/ ) 本發明是關於一種在表面上具有窗型彩色塗膜，而在 非窗型塗膜所佔區域則具有框型遮光性光屏塗膜（1 i g h t screening coating film)之基體之製法。本發明尤指 一種彩色液晶顯示器（LCD)用濾色板之製法，而且該濾 色板具有窗型彩色塗膜和具備能夠遮掉非必要光線之作 用或其他所需性質之光屏塗膜。本發明方法特別適合用 於製造以薄膜電晶體（TFT)和濾色板所組成的矩陣型彩 色顯示器用之濾色板。 液晶顯示器己廣泛應用於具有小型顯示器之物品，例 如所諝的袖珍電視機。但液晶顯示器之尺寸近年來卻迅 速在增大當中。由於扭曲向列型（T N)液晶己發展到超扭 曲向列型（STN)液晶及活性驅動元件（例如TFT)之地步 ，這使得液晶顯示器之影像品質獲得改良，而具備高影 像品質之液晶顯示器（例如陰棰射線管）産品也因此能 夠商業化。目前有很多研究是針對於使i TFT之彩色顯 示器之影像品質和産率之改良。在這些研窗當中，大家 最感興趣的是如何形成遮光膜，即所謂的黑色矩陣（ black matrix)以防止光線漏向TFT,以及改良遮光膜 之影像品質（表觀對比）和形狀之方法。 經濟部中央標準局員工消費合作社印繁 對於在非窗型彩色塗膜所佔區域形成格子狀之框型光 屏塗膜，而製成使液晶顯示器産生色彩用之濾色板之 方法而言，目前大家熟知的方法是應用印刷技術，例如 網版印刷法，平販印刷法等。 另外也有在條紋狀彩色塗膜之間隙中形成做為黑色基 -3 - 本紙張尺度適用中國囷家標準（CNS ) A4规格（2丨0X297公釐） A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 五、 發明説明 ( 2- ) 1 1 髏 用 之 光 屛 塗 膜 之 方 法 » 其 步 驟 如 下 • * 先 利 用 電 積 方 1 -1 法 於 排 列 在 透 明 基 體 上 面 多 組 平 行 條 紋 狀 導 電 電 路 上 面 j 形 成 條 紋 狀 彩 色 塗 膜 然 後 塗 佈 負 光 阻 組 成 物 使 得 基 體 請 1 1 全 部 表 面 上 之 光 屏 塗 膜 能 將 條 紋 狀 彩 色 塗 膜 完 全 蓋 住 9 先 閲 1 讀 I 1 接 箸 再 形 成 光 阻 模 9 然 後 從 基 體 中 帶 有 光 阻 那 面 之 反 背 面 1 側 對 光 阻 模 曝 光 S 此 時 條 紋 狀 彩 色 塗 膜 之 作 用 卽 如 同 光 之 注 1 1 覃 一 樣 ，最後再除去未被硬化之光阻膜UP -A -62- 247331)〇 1 項' 1 再 1 關 於 近 年 來 才 被 肯 定 的 TFT 型 液 晶 顯 示 器 而 > 為 防 填 1 止 光 線 漏 向 開 關 元 件 必 須 提 高 遮 光 膜 之 遮 光 能 力 〇 同 % 本 頁 % 1 時 9 為 改 良 其 影 像 品 質 » 則 itft 趣 光 膜 通 常 需 具 有 一 像 格 1 1 子 形 狀 之 類 的 複 雜 圖 案 〇 I 然 而 > 應 用 印 刷 技 術 以 形 成 框 型 光 屏 塗 膜 之 傳 統 方 法 1 有 其 缺 點 存 在 » 因 為 其 無 法 製 得 高 精 密 度 之 光 屏 塗 膜 〇 訂 I 例 如 當 應 用 傳 統 方 法 形 成 格 子 狀 光 屏 塗 膜 時 f 所 形 成 1 I 之 薄 膜 具 相 當 粗 Μ 稻 的 圖 案 1 其 格 子 間 隙 約 為 100 i 1 m 〇 1 1 另 — 方 面 » 雖 妖 JP -Α -62- 24733 1 中 所 提 出 之 方 法 可 以 > -V 在 條 紋 狀 彩 色 塗 膜 中 間 形 成 高 精 密 度 之 光 屏 塗 膜 ， 但 該 線 | 方 法 也 有 缺 黏 9 因 為 其 很 難 在 條 纹 狀 彩 色 塗 膜 之 橫 方 向 1 1 形 成 光 屏 塗 膜 因 而 難 以 製 成 格 子 狀 光 屏 塗 膜 〇 1 I 因 此 9 本 發 明 的 百 的 是 提 出 一 種 具 備 X 業 優 點 之 方 法 1 1 I 以 解 決 上 述 現 有 技 術 之 各 項 難 題 » 依 本 發 明 方 法 製 成 的 1 1 基 體 待 別 適 合 做 為 液 晶 顯 示 器 用 之 濾 色. 板 1 其 不 僅 具 有 1 I 窗 型 彩 色 塗 膜 9 而 且 在 非 窗 型 塗 膜 所 佔 之 區 域 另 具 有 具 1 1 i 備 遮 光 性 及 其 他 所 需 性 質 之 -4 框 型 光 屏 塗 膜 » 特 別 是 其 具 j 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐} °^8S6〇 A7 ____ B7___________ 五、發明説明（$ ) 備高精密度及精細圖案，例如窗寬在100W m以下之圖案。 本發明群經深入研究後發現，電沉積方法可以在導電 電路上選擇性地形成高精密度塗膜，而得以完成本發明。 X圖1所示為根據本發明方法在各個步驟中所形成的産 物之橫斷面示意圖。 圖1中，（I)為具有導電電路之透明基體；（E)為步 驟（a)製得帶有光阻膜之中間産物；（κ)為步驟（b)和 (c) 製得之中間産物；（iv)為步驟（d)製得帶有電沉積塗 膜之中間産物；其中，1代表透明基醱，2代表導電電 路，3代表光阻塗膜，4代表窗型空孔，7代表在窗型 空孔中形成之紅色塗膜，8代表在窗型空孔中形成之綠 色塗膜，9代表在窗型空孔中形成之藍色塗膜。 圈2為導電電路，框型光屏塗膜和窗型彩色塗膜圖案 例子之匍別平視圔。 圖2中，（I)為導電電路圖案之例子，（I)為步驟 (a)〜（c)中形成的框型光屏塗膜之圖案，（IV)為步驟 (d) 中形成的窗型電沉積塗膜之_案；其中，2代表導 電電路，5代表在窗型空孔中形成之塗膜，6代表框型 光屏塗膜。 經濟部中央標準局員工消费合作社印装 本發明提供一種製造基體之方法，該基體之表面上具 有導電電路，在電路上面具有窗型彩色塗膜，而在非窗型 塗膜所佔區域則具有框型光屏塗膜，其製造步驟如下： (a)將負光阻或正光阻組成物塗佈在表面具有導電電 路之透明基體上，使光屏塗膜能夠將該基體之帶電路 -5 - 本紙張尺度適用中國國家梯準（CNS } A4规格（210X297公釐） A7 B7 五、發明説明（个 表面蓋住， (b) 在步 案之光罩， 份，但卻不 曝光， (c) 對在 留下框型光 塗膜， (d) 以基 (C)中形成 窗型部份形 在本發明 形狀。例如 改良的格子 適用於本 基體上面所 導電材料， (銻摻雜氣 然後形成光屛塗膜， 驟（a)中形成之塗膜表面上叠放己設計好圖 而使得塗膜在下一步驟（c)中能蓋住框型部 會蓋住窗型部份，然後對己叠有光罩之塗膜 步驟（a)和步驟（b)中形成之基體進行顯像， 屛塗膜，並除去非框型光屏塗膜部份之其餘 體上面的電路做為電極對步驟（a), (b)和 的基體依序進行電沉積程序而在電路上面之 成電沉積塗膜。 中，其窗型部份和框型部份可以為任何平面 ，如圖2所示，任何平行格子形狀以及其他 形狀均可。 發明之透明基體包括玻璃板，塑膠板等。在 形成的導電電路是根據傳统方法以一些透明 例如ITO膜（錫摻雜氣化絪薄膜），NESA膜 化錫薄膜）等製成的。 請 先ιτ 讀 背Λ. 之 注 意 事 項〆 再 裝 訂 線 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 表U S路 (a電 龙電 步導 明有 發具 本面 表 住 蓋(a 面驟 表步 路於 3J 帶適 之 在 佈 塗 物 成 組 阻 光 正 或 阻 光 負 將 體 基 該 將 能 膜 塗 屏 光 得 使 上 體 驟 步 之 膜 塗 屏 光 成 形 後 然 合 聚 光 將 括 包 子 例 之 物 成 組 阻 光 負 之 樹為 糸物 酯成 酸組 烯阻 丙光 到負 加之 添得 } 購 等以 醞可 恩上 ，面 酮市 甲 0 苯者 二成 如製 例中 ί 分 劑成 發等 引脂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4规格（210X297公釐） 經濟中央標準局貝工消費合作社印製 A7 ____._B7 五、發明説明（：） CK_2000 (商標名，含有黑色顔料，Fuji Hant Eiectr〇nics Techn〇i〇gy公司之産品）。v_259_pA (商 標名，Shin-Nittetsukagaku公司産品），等等。 此處適用之下光阻組成物之例子包括將鄰-二叠氮酿 之醋化産物添加到酚醛清漆型酚樹脂等成分中製成之組 成物。市面上可以購得之正光阻組成物為：〇FRR_800 ( 商標名，Tokyo Ohka公司産品），pf-7400 (商標名， Sumitomo Chemical 公司産品），fh-2030 (商標名， F" u j 1 U a n t E 1 e c t r ο n i c s T e c h η ο 1 〇 g y 公司産品），等等。 如有必要，可以將能夠賦予遮光性之顔料，及增黏材 料等添加到負光阻或正光阻組成物中。 要在具有導電電路之基髏表面上塗佈負光阻或正光阻 乡且成物，適用的方法包括網版印刷法，平販印刷法，滾 輪塗佈法，桿式塗佈法，旋轉塗佈法等。其中以旋轉塗 佈法較佳，因為其具備高可信度和高精密度。 當進行旋轉塗佈時，最好改用兩階段方向，在第一階 段是以100〜400rpiD的速度將光阻組成物塗佈在基體上 面，第二階段則以800〜5000rpB的速度將光阻組成物之 厚度調勻。 將盖光阻或正光阻組成物塗佈到具有導電電路之基體 上面之後，最好能在60〜100¾之溫度下熱處理5〜60分 鐘以便形成塗膜。在負光阻或正光阻組成物中之樹脂是 藉由此一熱處理而預先硬化，因此其對於具有導電電路 之基體之黏附性可以獲得改良。 -7 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS〉Μ規格（21 ΟΧ297公釐） (請先閲讀背面之注意事啄4填寫本頁) -裝.

*1T 3ίδ-26〇 經 濟 部 中 央 標 準 % 員 工 消 合 作 社 印 製 A7 B7 五、發明説明 U ) 1 1 本 發 明 步 驟 (b)代表將具有圖案之光罩叠放在步驟（a) 1 中 形 成 的 塗 膜 主 面 上 9 而 所 謂 光 罩 圖 案 之 設 計 是 使 得 塗 1 膜 在 下 一 步 ΒΪ m (C) 中 能 夠 蓋 住 框 型 部 份 Λ 但 卻 不 i&f 蓋 住 /-S 1 請 1 | 窗 型 型 份 9 然 後 對 己 叠 有 光 罩 之 塗 膜 曝 光 之 步 驟 〇 先. 閲 1 I 當 薄 膜 是 用 負 光 阻 組 成 物 形 成 時 > 如 有 必 要 > 在 曝 光 讀 背 1 面· I 之 刖 可 依 負 光 阻 組 成 物 之 種 類 將 氧 阻 擋 層 塗 佈 到 塗 膜 上 之 注 1 I 意 1 I 面 〇 CfM容 液 ( 商 標 品 > Fu j 1 Η a η t E 1 e c t Γ ο η i c S 事 項— 1 le c h η 〇 1 〇 g y 公 司 産 品 ) 為 適 用 的 氧 阻 擋 層 之 例 子 〇 再 填 1 1 在 步 驟 (b)中， 可依正光阻或負光阻組成物之種類選 寫 本 頁 裝 1 擇 不 同 波 長 的 光 線 〇 一 般 而 言 > 紫 外 線 區 域 的 光 線 可 以 1 I 滿 足 所 求 〇 關 於 光 源 適 用 的 設 備 包 括 超 高 壓 汞 燈 f 金 1 羼 鹵 化 物 燈 等 Ο 從 繪 出 圖 案 的 精 確 性 之 觀 點 來 看 在 這 1 1 些 設 備 中 1 具 平 行 光 結 構 的 鏡 型 是 比 較 好 的 〇 訂 I 曝 光 條 件 是 根 據 光 源 和 光 阻 組 成 物 之 種 類 而 變 〇 在 使 1 1 用 負 光 阻 組 成 物 的 情 況 9 曝 光 劑 量 通 常 在 10 5 θ θ η J/ 1 1 C 0 2 之 範 圍 内 〇 沒 有 曝 光 的 薄 膜 即 不 會 硬 化 t 所 以 仍 I 溶 於 顯 像 劑 中 ( 以 下 提 到 ) 〇 1 線 在 使 用 正 光 阻 組 成 物 的 情 況 » 曝 光 劑 量 通 常 是 在 10 1 I 5 θ θ η j/ c η 2 之 範 圍 内 〇 受 到 曝 光 的 薄 膜 會 發 生 降 解 反 應 1 I $ 所 以 薄 膜 會 變 成 可 溶 於 顯 像 劑 中 ( 以 下 會 提 到 ) Ο I 1 本 發 明 步 驟 (C ) 代 表 將 製 得 的 基 體 顯 像 而 留 下 框 型 光 1 | 屏 塗 膜 並 去 除 不 屬 框 型 光 屏 塗 膜 部 份 之 其 餘 塗 膜 之 步 驟〇 I 在 使 用 負 光 阻 組 成 物 形 成 薄 膜 之 情 況 > 未 曝 光 部 份 是 1 1 沒 有 硬 化 的 > 而 且 將 ύ 去 除 〇 未 硬 化 部 分 之 去 除 可 利 用 1 I -8 1 I 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0X297公釐） A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（γ ) 顯像劑。使用的顯像劑可針對負光阻組成物之種類做適 當的選擇。其例子包括苛性鈉之鹼性水溶液，碩酸鈉， 四級銨鹽，有機胺等，以及有機溶劑，例如酯類，酮類 醇類，芳族烴，氣化烴類等。使基體浸在顯像劑中或 以顯像劑噴灑約5秒鐘〜3分鐘的時間即可達到去除效 果。此基體接著再使用自來水或去離子水等徹底清洗乾 淨。如有必要，還可以在80〜280¾之溫度下熱處理5〜 60分鐘。 在使用正光阻組成物形成薄膜之情況，曝光部份會發 生降解反應，然後被去除。可以使用與上述類似之顯像 方法進行曝光部份之去除。 經由這些步驟即可形成光屏塗膜，而所使用的正光阻 或負光阻組成物其所需之框型形狀是依步驟（b)中使用 的光罩圖案而定。圖2所示為此處形成的塗膜之圖案形 狀的一個例子。 本發明（d)代表對步驟（a)〜（c)中形成的基體依序進 行電沉積程序之步驟，該步驟是以基體上面的導電電路 做為電極而在導電電路上面之窗型部份形成電沉積塗膜 。有關此類導電電路之電沉積方法是大家都很熟悉的。 可參見 J i t s u id u H y 〇 m e n G i j u t s u (M e t a 1 F i n i s h i n g Practice), vol. 34，No.6 (1987), pp..57-63和 JP-B -4-64875中所述之方法。此方法包括陰離子塗佈法和陽 離子塗佈法，兩者都適用於本發明。但其中是以陰離子 塗佈法較佳，因為其對於電路的影鎏程度比較小。電沉 -9- 請 先- 閲 之 注 ί i 裝 訂

—S 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（公） 積程序中使用的樹脂材料（粘合劑）之例子包括馬來化 油（maleinated oil)型，丙烯酸酯型，聚酯型，聚丁二 烯型和聚烯烴型樹脂材料。這些樹脂材料單獨或混合使 用均可。必要時可將傳统電沉積程序中常用到的顔料或 其他材料添加到粘合劑中調製成適當的化合物。 闋於電沉積溶液，通常是將粘合劑之類成分分散在水 中，再經稀釋而調製成電沉積溶液。就電沉積溶液而言 ，無論是水稀釋型或使用有機溶劑之非水性電沉積溶液 都是適用的。 上述步驟（a)〜（c)中形成的中間産物接著置入含電沉 積溶液之浴中。在陰離子電沉積之情況，基體上面的導 電電路是做為正極用，而耐蝕性導電電路材料（例如不 銹銅等）則做為相對電極，接著即不加一直流電壓。如 此，在導電電路與相對電極之間即有電流通遇，同時在 導電電路之窗型部份上面將形成電沉積塗膜。藉由電沉 積條件之改變即可控制塗膜之厚度。通常，電沉稹程序 是在10〜3 0 0V之電壓下進行約1秒〜3分鐘時間。在塗 膜形成之後，邸徹底清洗塗膜以除掉其中的不必要物質 。為提高塗膜之強度，必要時可以在10〜2801C之溫度 下進行熱處理10〜120分鐘。 所製造的基體如果是用來製造液晶顯示器用之濾色板 ，則電沉積塗膜是用三原色（红色、缘色和藍色）予以 著色。就在所需窗型部份上面形成塗膜之程序而言，可 以適當的選擇著色劑摻入電沉積浴中，並外加電壓到導 -10- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） I I 批各 I I I . I 訂 1 I I I 線 μ-%( (請先閲讀背面之注意事承再填寫本頁) 318260 A7 B7 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 五、發明説明 (1 ί5 電 電 路 中 而 進 行 電 沉 積 程 序 〇 經 由 以 上 所 有 步 驟 其 中 之 步 驟 (d )可以在導電電路 上 面 形 成 窗 型 彩 色 塗 膜 » 而 步 驟 (a ) - -（C)則 可 以 在 非 窗 型 彩 色 塗 膜 所 佔 區 域 形 成 框 型 光 屏 塗 膜 〇 在 製 造 液 晶 顯 示 器 等 使 用 之 濾 色 板 時 » 先 是 依 本 發 明 方 法 在 透 明 基 髖 上 面 形 成 窗 型 彩 色 塗 膜 和 框 型 光 屏 塗 膜 9 然 後 在 兩 種 塗 膜 上 面 都 形 成 保 護 膜 〇 適 用 的 保 護 膜 材 料 包 括 環 氣 樹 脂 型 聚 醯 亞 胺 型 和 丙 烯 酸 酯 型 樹 脂 〇 形 成 保 護 膜 的 方 法 是 先 利 用 旋 轉 塗 佈 機 9 滾 輪 塗 佈 機 等 塗 佈 樹 脂 之 後 9 再 將 樹 脂 熱 烘 烤 而 形 成 保 護 膜 〇 當 保 護 膜 形 成 用 以 »〇 理5 動 液 晶 顯 示 器 之 透 明 導 電 膜 之 後 9 可 進 — 步 再 於 其 上 面 隨 意 形成 電 路 圖 案 » 如 此 即 製 成 所 要 的 濾 色 板 〇 本 發 明 以 下 將 參 照 一 些 只 做 說 明 用 之 例 子 做 更 詳 盡 之 說 明 〇 實 施 例 1 (1) 透 明 基 體 上 面 條 纹 狀 透 明 導 電 電 路 之 形 成 在 厚 1 . 1咖之玻璃基體上面形成間隔20以η 9 寬 80 U 9 ( 間 距 1 θ Θ // m ) 之 平 行 線 性 排 列 的 條 紋 狀 IT0電路 (薄 Η 電 阻 15Ω / □ ) 〇 0 光 屏 塗 膜 之 形 成 將 28份 重 乙 基 賽 珞 蘇 乙 酸 酯 加 入 100份重負光阻組成 物 ( 商 標 名 ： 0Κ2ΘΘΘ f Fu j I Η an t E1 e c t Γ on i C S Te c h no 1 〇 g y公 司 産 品 » 含 黑 色 基 體 顔 料 ) 製 成 混 合 物 > -1 1 - 請 先 閲 背 ib 之 注 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）

I 養 經濟部中央椟準局貝工消費合作杜印製 A7 B7 五、發明説明（π) 然後利用旋轉塗佈方法以兩階段方式（第一階段，200 rpin/10秒，第二階段，800prB/30秒）將混合物塗佈在 上述步驟⑴中製得的具有導電電路之透明基體之整個表 面上。所得塗膜隨即在85 t之溫度下熱處理5分鐘，如 此即形成厚1.4·ϋ η之黑色塗膜。此一程序可參見本發明 步驟（a)之說明。 ⑶氣阻擋靥之形成 以旋轉塗佈方法使用CP溶液（Fuji Hant Electronics Technology公司産品）以兩階段方式（第一階段，200 rpra/10秒，第二階段，800prin/60秒）在步驟⑵中形成 的塗膜上面形成氧阻擋層，然後在85C之溫度下將塗膜 熱處理5分鐘。 ⑼曝光 在塗膜上面之氣阻擋層上面，使具有遮光性窗型部份 (每一窗子之大小均為60ΰΒΧ 200//πι)之格子狀圖案 光罩與底下的透明導電電路圔案（線寬/間距：80wb /20 wn)對淮而使得窗型部份位在電路線上面。光罩 與氧阻擋層之間隙為30 w b。製得的産物接著利用 P r ο X i m i t y E X p 〇 s i n g M a c h i n e (商標名：M A P - 1 2 0 0， Dainippon Kaken公司製）使用高壓汞燈為光源以50mJ /cm2之曝光劑量進行曝光。産物經曝光之後再於85 ΐ： 之溫度下熱處理5分鐘。此一程序可參見本發明步驟 (b )之說明。 ⑸顯像 -12- 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210X297公釐） --------^-1t-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 1) 1 1 步 驟 之 産 物 接 著 浸 在 純水 中 將 氧 阻 擋 層 溶 掉 〇 所 得 1 1 産 物 接 著 浸 在 用 10份 重 的 水洗 稀 釋 1 份 重 的 CD溶 液 ( 商 « 1 *. 1 標 名 t Fu j ϊ Η a η t E1 e c t Γ ο n i c S Te c h n c 1 c g y 公 司 産 品 ) 請 1 1 製 成 的 顯 像 液 中 去 除 未 曝 光窗 型 部 份 〇 然 後 再 使 用 去 離 先 閱· I 1 子 水 徹 底 清 洗 之 後 風 乾 〇 最後 再 於 230¾之溫度下加熱 背 面> 1 1 之 1 20分 鐘 而 形 成 格 子 狀 塗 膜 (黑 色 » 具 遮 光 性 ) 〇 此 一 程 注 意 1 I 序 可 參 見 本 發 明 步 驟 (C )之說明。 U 1 I ϊ 電 E 積 塗 膜 之 形 成 f 寫 本 1 裝 以 透 明 基 體 上 面 之 透 明 導電 電 路 做 為 電 極 9 依 序 進 行 頁 1 I 紅 色 9 綠 色 和 藍 色 塗 膜 之 電沉 積 程 序 〇 適 用 的 電 沉 積 塗 1 1 膜 材 料 包 括 分 別 含 有 紅 色顔 料 ( 偶 氡 金 靨 鹽 型 紅 色 顔 1 1 料 ) t 綠 色 顔 料 ( 酞 青 緣 )和 藍 色 顔 料 ( 呔 青 藍 ) 之 陰 1 訂 離 子 聚 酯 樹 脂 之 水 溶 液 9 這些 顔 料 均 為 分 散 液 型 態 [ 商 i 標 名 Sh i η tr on F -R e d -C ( 紅色 ) 9 商 標 名 Sh in tr ο η F - 1 1 G r e e η - C (緣色） 和商標名S h i nt Γ 0 η F- Β1 u e -C ( 藍 色 ) 1 I * 均 為 Sh in to -Che mi t Γ ο η 公司 産 品 〇 此 電 沉 積 程 序 在 50 80V之條件下進行10〜20ίΦ鐘， 其條件依顔色而變 線 I Ο 製 得 的 電 沉 積 塗 膜 隨 即 用水 徹 底 清 洗 之 後 於 26 0 t 之 1 1 溫 度 下 予 以 熱 處 理 烘 烤 1 小時 〇 結 果 » 厚 度 均 為 1 , lu t η 1 1 之 紅 色 i 緣 色 和 藍 色 薄 膜 即依 原 訂 順 序 在 導 電 霣 路 上 面 1 之 窗 型 部 份 ( 毎 個 窗 子 之 寬度 都 在 80 U η在右） 〇 此- 1 程 序 可 參 見 本 發 明 步 驟 (d)之說明。 ί 經 上 述 步 驟 之 後 1 在 其 表面 上 具 有 多 組 導 電 電 路 之 透 1 r 明 基 體 上 面 t 邸 會 在 導 電 電路 上 面 形 成 窗 型 彩 色 塗 膜 * 1 1 -13- 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家梯準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A7 B7 五、發明説明ΐΗπ) 而在非窗型塗膜所佔區域則形成框型光屏塗膜（黑色， 具遮光性）。然後利用光學顯微鏡（商標名OPTIPHOT-88，HIKOH公司製）以200倍的放大倍率觀察製得之産物 ，顯示在彩色窗型彩色塗膜與格子狀框型光屏塗膜之間 沒有明顯的漏光現象發生，這表示所有形成的塗膜均具 備高精密度。 根據本發明方法，在表面上具有多組導電電路之透明 基體上面可以形成高精密度的位在該導電電路上面之窗 型彩色塗膜，而在非窗型彩色塗膜所佔區域則形成高精 密度的框型光屏塗膜。待別的是，本發明還可以形成具 有高精密度精細圖案之塗暌（每一値窗型部份之寬度均 在1 0 0 w η以下）〇 因此，本發明方法適合用以製造濾色板，而該濾色板 對於防止漏光相當有效，彩色部份之色彩相當鮮明，並 且具備極佳的光學性質，尤其更適合用以製造以TFT和 濾色板製成的矩陣型彩色顯示器用之濾色板。 (請先聞讀背面之注意事爭孕%寫本頁) _事产 .裝· •ΤΓ 線 經濟部中央橾準局員工消費合作社印製 -14- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）

Claims (1)

1. A8 B8 C8 D8 pn- r»7 G }i：.\ 1、： 申請專利範圍 第 83 106791 號 之製法㈡」專 「在其表面上具有窗型及框型塗膜的基體 利案 (86年5月〇7日修正） ，申謓專利範圍 1. 一種製造基體之方法，該基體之 路，在導電電路上面 塗膜所佔區域則具有 下： 離之導電電 而在非窗形 製造步驟如 表面上具有複數條分 具有窗形彩色塗膜， 一框形光屏塗膜，其 經濟部中央揉準局貝工消费合作社印«. (a)將含 组成物塗佈 該基髏有導 (b )在步 圖案之光罩 部分，但不 膜曝光； (c) 對在 ，留下框形 其餘塗膜； (d) 以基 (b)和（c)所 電路之窗形 .如申請專利 錫摻雜氣化 有産生光屏性質材料 在表面具有該導霣霄 電電路之表面蓋住， 驟（a)所形成之塗膜 之一負 路之透 然後形 表面上 ,使得塗膜在下一步驟（c) 會蓋住窗形部分，然後對已 步驟（a)和步驟（b)所形$ $ 光屏塗膜，並除去非框形光 以及 體上面的導電電路做為電極 形成的基髏依序進行電沉積 部分係分別電沉積以形成不 範圍第1項之方法，其中該 铟或銻摻雜氣化錫製成。 -1- 光阻或正光阻 明基體上，將 成光屏塗膜； 疊放已設計好 中能蓋住框形 叠有光罩之塗 基體進行顯像 屏塗膜部分之 ,對步驟（a), \ 程序且各導電 同色彩之塗膜 導電電路係以 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > A4規格（210X297公釐） 318260 A8 B8 C8 D8 經濟部中央標準局貝工消费合作社印裝 A、申請專利範圍 3. 如申請專利範圍第1項之方法，其中該負光阻或正光 阻組成物含有一黑色顔料。 4. 如申請專利範圍第1項之方法，其中步驟（a)中塗膜 之形成程序傜在60〜100 t：之溫度下進行热處理之程 序。 5. 如申請專利範国第1項之方法，其中步驟（b)中之曝 光程序像使用紫外線以10〜500«iJ/c·2之曝光量進行 之程序。 6. 如申諸專利範圍第1項之方法，其中步驟（c)中之顯 像程序係使用從苛性鈉之鹼性水溶液，磺酸鈉，四级 銨鹽，有機胺，以及有機溶劑中選出之顯像劑進行之 程序。 7. 如申請專利範圍第1項之方法，其中電沉積程序偽在 由施加10〜300 V之直流電壓下進行1秒鐘〜3分鐘之 程序。 8. 如申請專利範圍第1項之方法，其中該電沉積塗膜分 別使用红色、緣色和藍色顔料著色，且該光屏塗膜具 有作為濾色板之黑色基體之功能。 9. 如申誚專利範圍第1項之方法所形成之基體。 10. —種製造液晶顯示器用濾色板之方法.包括使南如 申請專利範圍第1項之方法所製得之基體。 本紙張尺度適用中國《家螵嗥（CNS ) A4規格（210X297公釐} (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 装· “1T