KR950003895A - 표면에 윈도우형 및 프레임형 코팅막이 형성된 기판의 제조방법 - Google Patents

표면에 윈도우형 및 프레임형 코팅막이 형성된 기판의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 기판의 표면에 도전성 회로가 설치되고, 이 회로상에 윈도우형 코팅막이 형성되어, 이 윈도우형 코팅막이 형성되어 있지 않은 부위에서 기능성 코팅막이 프레임형으로 형성된 기판을 제조하는 방법에 있어서 : (a) 표면에 도전성 회로가 설치된 투명기판을, 기능성 코팅막을 형성시킬 수 있는 네가티브 또는 포지티브 포토레지스트 조성물로 코팅하여 기판상의 회로 설치 표면을 도포하여 기능성 코팅막을 형성시키는 단계와, (b) 상기한 (a)단계를 거쳐 형성된 코팅막의 표면에, 다음의 (c)단계에서 상기한 코팅막이 프레임형 부분은 피복하고 있고 윈도우형 부분은 피복하지 않도록 형성된 패턴을 가지는 포토마스크를 중첩시키고 이렇게 마스크된 코팅막을 노광시키는 단계와, (c) 상기한 (a) 및 (b)단계를 거쳐 형성된 기판을 현상하여 프레임형 코팅막은 잔류되게 하고, 프레임형 코팅막 이외 부분의 코팅막은 제거시키는 단계와, (d)상기한 (a),(b) 및 (c)단계를 거쳐 형성된 기판을, 이 기판상의 회로를 하나의 전극으로 사용하여 전착시켜, 회로상의 윈도우부에 전착코팅막을 형성시키는 단계를 포함하여 이루어지는 기판의 제조방법을 제공한다.
본 발명의 방법은 LCD에 사용되는 컬러 필터의 제조에, 특히 TFT 및 컬러 필터를 사용하는 매트릭스형 컬러 표시 장치에 사용되는 컬러 필터의 제조에 적합하다.

Description

표면에 윈도우형 및 프레임형 코팅막이 형성된 기판의 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1 도는 본 발명의 방법의 각 단계를 거쳐 형성된 제품의 개략 횡단면도이고, 제 2 도는 도전성회로, 프레임형 기능성 코팅막과 윈도우형 코팅막의 각 패턴을 나타내는 개략 평면도이다.

Claims (10)

  1. 기판의 표면에 도전성 회로가 설치되고, 이 회로상에 윈도우형 코팅막이 형성되어, 이 윈도우형 코팅막이 형성되어 있지 않은 부위에서 기능성 코팅막이 프레임형으로 형성된 기판을 제조하는 방법에 있어서 : (a) 표면에 도전성 회로가 설치된 투명기판을, 기능성 코팅막을 형성시킬 수 있는 네가티브 또는 포지티브 포토레지스트 조성물로 코팅하여 기판상의 회로 설치 표면을 도포하여 기능성 코팅막을 형성시키는 단계와, (b) 상기한 (a)단계를 거쳐 형성된 코팅막의 표면에, 다음의 (c)단계에서 상기한 코팅막이 프레임형 부분은 피복하고 있고 윈도우형 부분은 피복하지 않도록 형성된 패턴을 가지는 포토마스크를 중첩시키고 이렇게 마스크된 코팅막을 노광시키는 단계와, (c) 상기한 (a) 및 (b)단계를 거쳐 형성된 기판을 현상하여 프레임형 코팅막은 잔류되게 하고, 프레임형 코팅막 이외 부분의 코팅막은 제거시키는 단계와, (d) 상기한 (a),(b) 및 (c)단계를 거쳐 형성된 기판을, 이 기판상의 회로를 하나의 전극으로 사용하여 전착시켜, 회로상의 윈도우부에 전착코팅막을 형성시키는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판의 제조방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기한 도전성 회로가 주석 도우핑된 인듐산화물 또는 안티몬 도우핑된 주석산화물로 된 것임을 특징으로 하는 기판의 제조방법.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기한 네가티브 또는 포지티브 포토레지스트 조성물이 흑색 안료를 함유하는 것을 특징으로 하는 기판의 제조방법.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기한 (a) 단계의 코팅막이 60° 내지 100°이하의 열처리에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 기판의 제조방법.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기한 (b)단계의 노광이 자외선을 사용하여 10 내지 500mJ/cm2의 노광도로 수행되는 것을 특징으로 하는 기판의 제조방법.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기한 (c)단계의 현상이 수산화나트륨, 탄산나트륨, 4급암모늄염 및 유기아민과 같은 알칼리 수용액과 유기 용매중에서 선택된 현상제를 사용하여 수행되는 것을 특징으로 하는 기판의 제조방법.
  7. 제 1 항에 있어서, 상기한 전착이 10 내지 100V의 직류 전압을 1초 내지 3분 동안 인가하여 수행되는 것을 특징으로 하는 기판의 제조방법.
  8. 제 1 항에 있어서, 상기한 전착 코팅막이 적색, 녹색 및 청색 안료로 각기 착색되고, 상기한 기능성 코팅막은 컬러 필터의 흑색 매트릭스로서 작용하는 것을 특징으로 하는 기판의 제조방법.
  9. 제 1 항의 방법으로 형성된 기판.
  10. 액정 표시장치에 사용되는 컬러필터의 제조방법에 있어서, 제 1 항의 방법으로 형성된 기판을 사용하는 것을 특징으로 하는 기판의 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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