TW312754B - - Google Patents

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A6 B6

五、發明説明（1 > 1 .發Bfl铕城 本發明换商於一種正型光阻組成物，其對輻射線例如紫 外線、遠紫外線包括激元雷射等、電子束、雄子束、X -射線等會有威應· 2 .發职莆畏 最近由於積體電路之整合程度提昇•形成亞撤粒级之 模式是必要的，而且霈求一種正型光阻組成物，且其待 優於例如輪廓、聚焦深度和解析度等等多種特性•特別 是在16-64M DRAMs矽晶片之製造畤，必須能獲得一種模 式具有線寬度為〇·5撖米或少些，且具有良好的輪廓和 寬廣的聚焦深度· 在文獻；r Advances in Resist Technology and Processing VI (1989), SPIE Vol. 1086, pp. 363-373」中，替掲述一種正型光阻组成物，俱由一種甲苯 酚/甲醛酚醛清漆（novolalc)樹脂和一種三酯類所组成 ,而此酯類傜經由葉酲-2-二《氮-5-磺酸分別輿2，3 ,4-三羥基二苯基酮、2, 6-雙〔（2-羥基-3, 5-二甲 基苯基 >-甲基〕-4-甲基苯酚和2, 6-雙〔（4-羥基-3 ,5-二甲基苯基）-甲基〕-4-甲苯酚，進行缩合反應而 裂得。 於日本專利申鵠公開案No. 2-28535 1 <相當於美囲專 利5 , 1 73,389)中，掲述一種正型光阻组成物，傜由一 種鹺可溶性酚K清漆樹脂和一種光敏性（Photosensitive) -3-

. 82, S, 2M〇B —裝. 訂.

-始V 312754 A6 B6 五、發，説觸（2 ) 物質所組成。該光敏性物霣僳由一種多羥基 (polyhydroxy)化合物舆 1, 2 -萊 R-5-(和 / 或- 4- )磺 醯氯反應而«得。而該多羥基化合物含有至少一基如下 列化學式所示：

R

X- R 其中該R1和R2各代表氳原子或一種直鍵或支鐽烷基或 烷氧基含有1-4傾碩原子，假設R1和R2不能同時為氫 原子，而X代表一種二價有機基β 另外，於日本專利申請KOKAI No.2-296249中提述一 種正型光阻組成物，係由一種齡可溶性苯酚条樹臢和一 種光敏性物質所組成。該光敏性物質含有一種醍二叠氣 磺酸鹽化合物如下列化學式所示：

R' R {*之泣 4ΗΜΡ«·ΙΝΙΤ·4ΙΚ> -丨裝· 訂 T, m 其中該R1至R5各代表氳原子、齒素、烷基、烯基、或 烷氧基含有1-4鶴碩原子、或羥基，假設至RS至少

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S· 2MM 312754 A6 B6 篕、發觸説«(3> 其中之一為如下列化學式之基：

R

3-n R 其中該各代表鹵素、烷基或烯基，和η為0, 1或2之數目β 另外，於日本專利申誚KOICAI No.62-10486中掲逑一 種正型光阻組成物，偽由一種齡可溶性笨酚条樹脂和一 種光敏性物質所组成。該光敏性物質含有一種由苯酚化 合物與鄰-_二疊氮磺醒氣進行縮合反應之産物，而該 苯酚化合物葆以下列化學式來代表：

0H

R

OH

OH

R- 其中該R1至R3各代表氫原子或低磺烷基。 m 然而此等组成物無一能夠達到一種模式具有線寬為 0.5撖米或少些，且具有寬廣之聚焦深度和良好之輪鄹 •發明餹思锐明 -5 X. A6 B6 五、發_説觸（4) 本發明之目的你為提供一種正型光阻組成物，而其特 優於例如解析度、輪麻、和聚焦深度等多種待性之間的 均衡β 本發明像提供一種正型光阻組成物，該組成物偽由一 種鹼可溶性樹脂和一種光敏性醍二疊氛物質所組成I而 該_二叠氮物霣含有一種苯酚化合物之儷二Μ氮磺酸二 酯，而其中至少一種苯酚化合物如下列通式（I)或（II) 所示：

(R1)X OH

(R2)y (I)

其中該Ri和R2彼此各自獮立且各代表氫原子、鹵素原 子、烷氣羰基（-〇COR3)或視需要而取代之烷基或烷氣 基，其中R3代表視需要而取代之烷基或苯基；X和y 彼此各自獨立且各代表1 , 2或3之整數；而R、R 0、R ’ (II) 、和RS 彼此各自獮立且各代表氫原子、烷基或苯基；

拿▼«竭MW K s. njm *-----------------j------^----ΊΙ#Τ-----f A6 D6 蓋、發_説«(5 > 而藉由高速液體層析術（liquid chromatography)所澜 得之團式中，其中該_二疊氮磯酸二酯之圏式面稹對全 部光敏性醌二疊氮物霣之園式面積比為0.5/ 1或更大些 〇 4 ·發明洚细锐明 苯酚化合相 WRi至113所代表的視需要而取代之烷基和以Ri至 R2所代表的視需要而取代之烷氣基，較佳的實例可以 直鏈或支鏈形式含有1-4鶴硪原子作為參考β以11, R〇 ,R’*r0 所代表的烷基，較佳的實例包括直鍵或支鰱 之烷基含有1-4個碩原子《«較佳的1?1至|{3之實例包括 甲基、乙基、第三-丁基，等等。較佳的R, R〇 , R', R'o 之實例包括氫原子、甲基，等等β如通式（I >和通 式<Π )所示之苯酚化合物的較佳實例包括下列： m. 9L· S. X. 312754 五、發明説明（6 > A6 B6 Η Ηο

OH

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3 Η C (請先和讀背*之注意事項再墣寫4頁)

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3 Η C 經濟舞中夹標準局興工消费合作社印髮

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Η 8 衣纸SJUE適用中國属家標準（CNS)甲4規格（210 X 237公釐） 82. 5. 20,000 五、發明説明（7 ) A6 B6 經濟部中央標準局員工消費合作社印製

一 - J (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS〉甲4規格（210 X 297公釐） 82. 5. 20,000 312754 A6 明 H0

Η c 3 Η 3 Η c 藉 可 * 造 製 ： 之物 杨合 合化 化之 酚表 苯代 之所 表式 代學 ¥化 >列 下 或如 。IM 物ί 一 似式 類通 其如 及 將 如 例 由 H0

0 R c IR R /11 之緣 霣) Π

0H 或 y I» 2 H0

0H

R R,2 ,示 ο 所 R 下 Dft 如 該種 中 一 其與

2 R

前 同 義 定 之 y 和 3 R 在酸 和似 ，類 中其 > .或 1薄 、 R1似酸 該類硫 中其、 其或酸 X 和 劑 溶 種1 在 前· 同 義 定 之 ，_ 酵苯 甲甲 如 例 得 裂 而 努ffi 如反 例行 ( 進 化下 催在 酸存 種之 tt. S. Μ.Ι·· A6 B6 i、·_Μ ( 9 > 藉由高速液體層析術，利用紫外線-254奈米偵澜薄， 所澜得的如«式（I )或（丨丨）所示苯.酚化合tt之醭二疊氰 職酸二酯之園式面稹對全部光敏性醭二疊氟物質之式 面稹的比率為0.5/1或大些·而較离的該圏式面積比可 提供一種正型光阻具有更特優的，例如高解析度和离y 值等特性β舉例而言，假若如通式U )或（Π )苯酚化合 物之R二疊氮磺酸三酯的含量增加，則所得之結果是不 佳的，因為浮膜（scu·)會增加，即使塗膜厚度滯留程度 (fil* thickness ret? n t ion}可以改善。候若如通式 (I )或（ΠΙ )苯酚化合物之阈=疊氮磯酸單酯之含量增加 ,則從薄膜厚度滞留程度和浮膜之觀黏來看，所得之结 果也是不佳的。 光敏件g二疊《物g 鬭於光敏性_二叠«I物質，較佳的是如通式（I )和 (II)苯酚化合物之醚二疊氟磺酸_類。當使用該醱類時 ，若_二疊氟磺酸二酯之含量比例增加，則所得结果之 解析度和聚焦深度會變得更佳，而其全部三僮苯琛中的 兩偏末嫋苯琢上的羥基都被》化。若以《由离速液薩靥 析術，利用紫外線- 254奈米偵拥器所澜得之_式面稹比 率來表示，則該二醴之含蛋對全部如《式（I >和（丨丨 > 苯 酚化合物之囊二麈氮磷酸酯類之含麗·較佳的比率為 * D. 4/1或大些β 如通式（I )和（Π >笨勘化合物之饜二蜃氰礙轚酯類之 11 τ t«»〇M X ar «si at. s. imm ----------------·~------裝----^1#----!1 312754 A6 __B6_ 五、發明説明（10) 製造，可經由將一種如通式（I)或< II)之苯酚化合物輿 鹵化1, 2-萊醚二疊氮磺醯或鹵化1, 2-苯醒二疊m磺醛 ，在一種弱《之存在下，進行反應而播得β藉由缠當地 遘擇反應條件例如苯酚化合物和鹵素之莫耳濃度比，等 等，則如通式（I)或（II)苯酚化合物之_二疊氮磺酸二 酯可离遴擇性地製得。 該光敏性R二叠氤物霣之使用量，若以全部正型光阻 組合物之固態含量為基準，則通常之使用悬為5-50% ( 以重置計），而較佳為10-40%。 齡胜.1盤 齡可溶性樹脂可《自一種苯酚化合物舆一種醛化合物 之加成-縮合反應。該苯酚化合物之實例包括：單一组 份或兩種或多種紐份遘自包括苯酣，鄰-、闋-、和對-甲苯酚，2, 5-二甲苯酚，3, 5-二甲苯酚，3，4-二甲 苯酚、2, 3，5-三甲苯酚，4-第三丁基苯酚，2-第三丁 基苯酚，3-第三丁基苯酚，3-乙苯酚，2-乙苯酚，4-乙 苯酚，3-甲基-6-第三丁基苯酚，4-甲基-2-第三丁基苯 酚，2-萘酚，1, 3-二羥基萊，1, 7-二羥基萊，1, 5- 二羥基葉，一種或多種苯粉化合物如下列通式（!0>所示 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝- . 經濟部中央標準局員工消費合作社印製

R

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)甲4規格（210 X 297公釐） 82. 5. 20,000 312754 A6 B6 五、發明説明（11) 其中該R4至R6彼此各自獮立且各代表氬原子或烷基或 烷氣基含有1-4褊硪原子，而k代表1或2, —種组份或 兩種或多種組份S自包括化合物如下列通式（IV)所示：

(請先閲讀背面之注意事項再場寫本頁) .—裝· 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 其中該R7至R12彼此各自玀立且各代表氫原子或烷基或 烷氣基含有1-4镧碩原子，Ria代表氫原子、烷基含有1 -4艏碩原子、或芳香基，而a, b和c各代表0, 1或2 , 假設a + b + c > 2,等等。此等苯酚化合物或可單獮使用 或以兩種或多種成分之混合物的形式來使用。 醛化合物之實例包括：甲醛、三聚甲醛、乙K、丙醛 、苯甲醛、苯乙醛、和；8-苯基丙基醛、鄰-、間-、 和對-羥基苯甲醛、戊二醛、乙二醛、鄰-和對-甲基苯 甲醛、及其類似醛類。 苯酚化合物和醛化合物之間的加成-缩合反應，僳在 酸催化涮之存在下，以通常之方法來進行》騮於該反應 之條件，其溫度通常為60-250 Ό,而其反應時間通常為 -1 3 - .. 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)甲4規格（210 X 297公釐） 82. 5. 20,000 A6 B6 甲 、 酸 草 如 例 酸 機 有 ·· 括 包 例 實 之 劑 化 \)/ 2 0 U酸 明 β 説時明、 發Μ ， 3 五2- 對酸 、氯 酸遇 乙 、 氛酸 三硫 、 / 酸酸 等 等 ' 酸 磺 苯 甲 氛 氫 如 例 酸 檐 無 等行 等進 美中 酸劑 乙溶 、之 鋅當 酸適 乙在 等 等 ' 酸 磷 如 例 類 Η 屬 金 價 二 和 或該 相之 混成 散形 在所 偽應 應反 反合 合縮 编- -成 成加 加由 該經 均 平 重 之 烯 乙 苯 聚 成 換 轉 其 是 的 佳 較0 樹 性 溶 可 齡 法 線 分 由0 看 來 〇點 00觀 ,0之 50膜 0-浮 ο Π ο Ϊ 2’度 為析 量解 子從 分 經 It^ic on處 U以 na予 10脂 ct樹 ra性 (f溶 應 反 合 縮 i 成 加 由 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) 米 奈 外 除 物 5 、 2 合 用化 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 可0 之 得» ^ S 所Γ#未 利 /V 中 式 園 術 析 層 透 鼷 在 得 使 此 因 同 皆 後 此 器 澜 偵 線 ΙΓ 夕 紫 為 量 子 分 之 烯 乙 苯 聚 成 換 轉 在 其

酚或 苯00 之,0 應I 的% 5 佳 1 較過 ，超 言不 而為 穑隹 面特 式 ， 圓% 部20 全遇 對超 ，不 稹為 面佳 式更 麵.’ 之 ％ 内25 画遇 範超 些不 少是 酵、 乙酮 、基 酵丁 I甲異 應< 基 反 a 類甲 醇 、 如酮 成例基 加劑乙 由溶基 將良甲 括種 、 包一酮 法於丙 方解ί 種溶類 一 脂酮 是樹 ， 法性> 级溶等 分可等 0 、 其 »及 'f 類喃 _ 呋 其氫 或四 醇、 二} 乙等 ，等 )/ 、 等酯 等酵 類 酯 .裝. 訂. 合 编 - 酸 乙 0 溶 似 類 之 得 製 所 乙此 基將 氧再 乙後 2-然 入脂 倒樹 液該 溶將 該而 將烷 或己 ，琛 澱或 沉烷 脂庚 樹 、 該烷 將己 而 、 中烷 水戊 入如 倒例 液中 溶劑 之溶 得種 所一 是 脂 樹 性 溶 可0 該 的 。 佳00 較,0 ο * 2 後 ο 之00 9 理 3 處為 级董 分子 經分 ❶均 來平 出量 離重 分其 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)甲4規格（210 X 297公釐） 82. 5. 20,000 .1. A6 B6__ 五、發明説明（13) 該鹺可溶性樹脂之使用量為50-95%,較佳為60-90% 以重量計，以正型光阻組成物中全部固態组份之含量為 基準。視需要而定，該正型光阻組成物可包含多種添加 爾，例如敏化_ (sensitizer)、一種化合物如上述通式 (IV)所示、其他樹脂、界面活性劑、穩定劑、使得所形 成之影像更看得見之染料、及其類似物。 溶Μ 用於溶解組份之溶劑，較佳的是此溶涮能以適當的乾 燥速率蒸發而提供一種均勻和光滑的塗膜。此等溶劑之 實例包括：乙二酵醚酯類，例如乙酸-2 -乙氣基乙酵_ 、乙酸-丙二醇-甲》酯、等等；如在日本專利ΐ_Κ0ΚΑΙ No. 2 - 2 2 0 0 5 6中所提及之溶劑；酯類，例如丙酮酸乙醏 、乙酸-正-戊酯、乳酸乙酯、等等；和酮類，例如2-庚 酮、y-丁内酯、等等。此等溶剤可單獨使用或以兩種 或多種組份之混合物形式來使用。 溶剤之使用量並無待殊限制，衹要該組成物能在矽晶 片上形成沒有針孔或不規則塗佈之均勻塗膜即可〇通常 溶_之使用量傜調整為於正型光阻組成物中包含光敏性 _二叠氮物質、_可溶性樹脂和其他添加劑等之固態組 份之含畺是從3至50%以重量計。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 5 .具艚奮旃例 本發明將以下列實例作更具體詳細的説明，但是此並 不意諝侷限本發明之範園僅於此等實例。於實例中所使 -15- 82. 5. 20,000 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 丨裝_ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)甲4規格（210 X 297公釐） A6 B6 五、發明説明（14) 用「份J像以重量計。 鱼直級.L- 將4.45克三乙胺，在通度2 0 - 2 5 *〇!,為期30分鏟，以 黏滴方式逐滴添加到一種混合物中。而該混合物包含： 6.96克如下列化學式所示之化合物： H^C Η 〇Η Η

(請先閱讀背面之注意事項•再塡寫冬頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 珍-5-磺醯氱（奠耳濃度 比為2 : 1)，和168克二氣陸園。待逐滴添加完畢後， 將所獲得之溶液在與上面相同之湿度下，再持鑛擻拌4 小時β然後將所獲得之反應混合物倒人去離子水中，再 以遇濾法收集所獲得之结晶産物，以去離子水沖洗，然 後再乾燥，以獲得一種光敏性圈二疊氡物霣Αβ 奮渝期Μ - 3和Η·.齩庙俐1 - 4 將一種齡可溶性樹脂（參考表1中的「樹脂」），一 種光敏性画二叠氟物質（參考表1中的「敏化麵j )和 添加剤與2-庚酮（50份）混合在一起，而其光阻組成物 之組份含量如表1所示，然後將各混合物分別以聚四瓤 乙烯濾網（濂孔為0.2微米）遇濾以獲得一種光阻溶液β 1 6 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)甲4規格（210 X 297公釐） 82. 5. 20,000 A6 ___B6_ 五、發明説明（15) (請先閲讀背面之注意事項.再填窝t) 利用一種旋轉器，將該光阻溶液以慶轉塗佈法塗覆於 經習知方法淸洗遇之矽晶Η上，以形成厚度為1.1黴米 之光阻。接著将此矽晶片在溫度9(TC熱板上烘焐1分鑪 ，然後將其曝露於波長為36 5奈米之光線下，在此同時 利用一種降低投影曝光裝置（此為Hicon Co.製造， NSR 1 7 5 5 i7A, NA = 0.5>逐渐己變該矽晶Η之曝光畤間β 然後，將此矽晶片在»度為110*0之熱板上烘«1分鐘 ，再以S0PD (顯影溶液，住友化學公司製迪 > 冲洗1分 鐘，以獲得一種正型模式。 解析度之测試評估，你藉由掃瞄式霣子願黴鏡來鼸察 其行/間棋式寬度，而在一種曝光量（有效敏威度）， 其0.5撤米行/間楔式為1: 1時，此行/間棋式寬度在 不減少薄膜之厚度下是分離的。 粬廓之测試評估，侏藉由禰瞄式電子願撖鏡觀察，在 有效敏戚度下，〇·5微米行/間楔式之截面形狀。 聚焦深度之拥試評估，俱藉由掃_式霣子顯微鏡來觀 察，在有效敏戚度下且不減少薄膜厚度，其在fl.4微米 行/間模式可被解析時之聚焦位移程度β 所有测試評估之結果展示於表1β 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張又度適用中國國家標準（CNS)甲4規格（210 X 297公釐） 82. 5. 20,000 16 説 明 發 ' 五 ff鵁窗戔4 tb*® 宠 3 tb*®銮一 |±霣窗宠Μ A6 B6 15 15 15 15 15 15 15 i) §

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⑵ 格 規 4 甲 s) N 釐 公 97 2 18-_ 82. 5. 20,000 312754 A6 B6 五、發明説明（17 ) 弟1 ：>銳明 被化酬 如表1所示之敏化M A-G之製備，供利用輿合成例1 相同之方法，將如下所示之苯酚化合物Α’-6’分別與萊 _-(1，2)-二璺氮-(2)-5-職豔氦進行反蠹而製得。在此 等反應中從頭到尾所有個例之反匾物，例如苯酚化合物 /萘围-(1, 2)-二疊氮-⑵-5-磺醯氨，其其耳濃度比皆 為 1 : 2 . 0 » (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)甲4規格（210 X 297公釐） 82. 5. 20,000 丨裝_ -1%, A6

---------；---I----1------裝----->1、γ-----f - (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 -20- 本紙張又度適用中國國家標準（CNS)甲4規格（210 X 297公釐） 82. 5. 20,000 Ύ I 五、發明説明（19) G' Α6 Β6

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GH 榭脂 一種酚醛清漆樹脂，傜由苯酚化合物和甲醛，在迺流 下利用草酸作為酸催化薄（，進行加成-缩合反應而製得 。而該苯酚化合物之組成份：間-甲苯酚/對-甲笨酚/ 2, 5胃二甲苯酚之莫耳猎度比為60/10/30,而苯酚化合 物/甲醛之莫耳嬝度比為1/0.86。在該酚醛清漆樹脂之 膠透層析術菌式中，若以全部圍式面積為基準，未反應 之苯酚化合物除外，則含有分子量為6,000或少些之組 份之圖式面積係佔34%、而含有分子量為1,000或少些 之組份傜佔15%。該酚醛清漆樹脂之重量平均分子量為 8,000。（於此所提及之分子量俗指轉換成聚苯乙烯時之分 子量。）該酚醛清漆樹脂傺用作為一種鹼可溶性樹脂。 添加截 一種化合物，如下列化學式所示： (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝. 訂. 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製

-2 1- 色紙張尺度適用中國國家標準（CNS)甲4規格（210 .X 297公釐） 82. 5. 20，000 A6 B6 五、發明説明（20) 偽用作為一種添加劑。 表 2 實 例 二®比率 末端二_比率 三賭比率 實施例1 0.87/1 0.87/1 0.09/1 實施例2 0.76/1 0.76/1 0.19/1 實施例3 0.88/1 0.88/1 0.08/1 比較餡例1 0.43/1 0.30/1 0.44/1 比較值例2 0.85/1 0.85/1 0.08/1 比較《例3 0.84/1 0.84/1 0.08/1 比較艏例4 0.62/1 0.23/1 0.27/1 耒2 :>銳明 -----------------------裝-----Γ—ί-----f (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 表2僳用來説明藉由离速液匾層析術所澜得之結果， 其中該術語「二酯比率」，僳指其麵二叠氮磺酸二酯之 圈式面稍，對全部醚二疊氮磺酸酯類（亦邸全部光敏性 -22- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)甲4規格（210 X 297公釐） 82. 5. 20,000 315754 A6 __B6_ 五、發明説明（21) _二叠氮物質）之圖式面積的比率；其中該術語「末蠣 二酯比率」，你指該釅二叠氮磺酸二酯之三《苯琛中的 兩個末端苯環所連結的兩催羥基皆被酯化之圈式面積， 對全部暇二叠氮磺酸酯之圓式面積的比率； 其中該術語「三酯比率J ,係指β二疊氟磺酸三酯之 匾式面積，對全部光敏性物質之團式面積的比率》 ---------------_------裝-----Γ—,'ΐττ-----1 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 -23- 衣紙張又度適用中國國家標準（CNS)甲4規格（210 X 297公釐） 82. 5. 20,000

Claims (1)

1. 312754 A8 Βδ C8 D8 τι~ - 充丨 、申請專利範圍 第82103895號「含有光敏性二疊氦物質之正型光阻組成 物」專利案 (86年4月16曰修正） λ申請專利範圍： 1. 一種正型光阻組成物，係由50-95重量％之一種鹺可 溶性樹脂和5-50重量％之一種光敏性醌二叠氮物質所 組成，該鲲二叠氮物質含有一種選自如下列通式（I) 或U)所示苯酚化合物之醞二β氦磺酸二酯： 請 先 閲 讀 背 面 之 注- 意 事 項 再 填 寫 本 頁

   本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） A8 Β8 C8 D8 六、申請專利範圍 表氫原子；而藉由高速液體層析術所測得之該輥二 叠氡磺酸二酯之圖式面積對全部光敏性黽二叠氮物 質之圖式面積比率為0.5/1或更大；其中該鹼可溶 性樹脂偽經由至少一種苯酚化合物與一種醛化合物 在一種酸催化劑之存在下，在溫度為60t：至250 C 下，進行加成-縮合反應2至30小時而獲得者，而其 中至少一種苯酚化合物僳選自苯酚、鄰-、間-、和 對-甲苯酚、2, 5-二甲苯酚、3, 5-二甲苯酚或3, 4-二甲苯酚，而該醛化合物偽選自甲醛、三聚甲醛 、乙醛或丙経；該鹼可溶性樹脂之轉換成聚苯乙烯 之重量平均分子量為2,000至50,000;如通式（I ) 或（I )苯酚化合物之該輥二*氮磺酸酯是一種二酯 ,而其中連結在三値苯環中的兩個末端苯環上之羥 基皆被酯化；該=酯含量對全部如通式（I )或（I ) 苯酚化合物之醞二叠氡磺酸酯之含量的比率為0.4/ 1〜1.0/1,而此偽藉由高速液體層析術，利用254 奈米紫外線偵測器，所測得之圖式面積比率來表示 〇 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 IJ· J —^1— - - - I ^^^1 ^^^1 —^1 —i— m I In ^^^1 nn ^^^1 i--eJ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 2.如申請專利範圍第1項之正型光阻組成物，其中該 醞二叠氮磺酸酯係經由一種苯酚化合物與鹵化1,2-萘醌二叠氮磺醯或鹵化1, 2 -苯黽二疊氡磺醯，在 弱鹼之存在下進行反應而獲得，而該苯酚化合物偽 以下列化學式來表示： -2- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4现格（210X297公釐） 312754 六、申請專利範圍

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   Η CH 3 Ηc (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) H

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   0H 訂 CH 經濟部中央標準局貞工消费合作社印装

   Η CH 3 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A8 3^754 1 六、申請專利範圍

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   Η 經濟部中央揉率局貞工消費合作社印装

   Η ο 4 本紙張尺度逍用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 312754 六、申請專利範圍 A8 B8 C8 D8

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   Η (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部中央揉牟局貝工消费合作社印«. 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）