TW293225B - - Google Patents

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Description

經濟部中央揉準局貝工消费合作社印製 293225 A7 B7 五、發明説明(1 ) 發明背景 發明領域 本發明係關於具有兩種功能之影像輸入/輸出裝置, 亦即,影像拾取和顯示功能。 相關背景技藝 已知有許多各種不同之裝置具有獨立的影像拾取或顯 示功能,例如影像拾取裝置(如C C D攝像機)和顯示裝 置(如CRT顯示,液晶顯示等),且已經實際使用。但 是,現今尙未有一裝置以複合方式而同時具有影像拾取功 能和顯示功能。例如攝影機之裝置可顯示受到拾取之物體 之影像。但是,在此裝置中,影像拾取裝置和顯示裝置只 是安裝在單一外殼中,因此,其功能不能稱爲所謂之複合 功能。此外,此種裝置之成本無法低於兩裝置之成本之和 。以複合方式結合影像拾取功能和顯示功能之單一裝置具 有比單純結合兩裝置小之尺寸,且成本低於兩裝置之成本 之和。因此,近年來,已經提出各種之計劃以期望將此種 裝置付諸實現。 例如,日本公開專利申請案No. 59-1 5 8 5 5 3揭示一裝置具有多數陣列之液晶顯示部份, 影像拾取部份,和開關部份,以圖素爲單位的安排在透明 基底上,因此可以一單一扳以複合形式完成顯示和影像拾 取功能之裝置。 圇1 A爲具有兩功能之固態影像拾取裝置之圓素之安 本紙張尺度適用中國國家梂準(CNS ) A4規格(210X 297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝.
,1T 經濟部中央橾準局貝工消費合作社印製 A7 ___ B7 五、發明説明(2 ) 排之等效電路圖。開關元件1 1之閘極1 2連接至位址線 1 3 ,而源極1 4連接至資料線1 5。開關元件1 1之汲 極1 6連接至液晶顯示元件1 7之電極和光電轉換元件 1 8之電極。液晶元件1 7之一電極保持在一固定電位, 而黑白等顯示藉由介於電極間之電位差而獲得。圖1 B顯 示光電轉換元件1 8之膜結構。透明電極2,高電阻光導 膜4 ’歐姆層5,和上電極6依序叠層在透明絕緣基底1 上。在沒有入射任何光線之暗狀態中,光電轉換元件1 8 之高電阻光導膜4當成簡單的介電構件,且光電轉換元件 1 8當成電容。相反的,當光經由透明絕緣基底1和透明 電極2而入射在高電阻光導膜4上時,光電轉換元件1 8 當成電容,且同時,形成在膜中且和入射光量成比例之電 荷移動至透明電極2和上電極6,因此可對電極之電位充 電。 影像拾取和顯示操作將參考圖1 A (其顯示每個圖素 之等效電路)而說明。當影像拾取操入執行時,藉由選擇 位址線1 3而可啓動開關元件1 1 ,並施加初始電位至光 電轉換元件1 8之終端P。而後,開關元件1 1開關一段 任意之時間以電設定終端P在浮動狀態。終端P之電位相 關於在此狀態中入射在光電轉換元件18上之光量而改變 ,而當開關元件1 1再度被啓動時,改變之電位或在再初 始化下之電荷之移動受到偵測。當顯示操作執行時,光電 轉換元件1 8設定在無入射光之狀態,而開關元件1 1藉 由選擇位址線1 3而啓動,且相當於顯示內容之電位經由 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210Χ 297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝·
、1T 5 經濟部中央橾準局貝工消费合作社印製 203225 μ B7 五、發明説明(3 ) 資料線1 5施加至液晶顯示元件1 7之終端P。因此,液 晶顯示元件1 7執行顯示操作。此時’光電轉換元件1 8 當作保持電容,並在開關元件1 1關閉後,保持終端P之 電位。 但是,以上述之習知技藝,難以製造具有良好顯示特 性和低成本之固態影像拾取/顯示裝置。此種困難度之理 由如下。 首先,在影像顯示操作中,當光線入射在光電轉換元 件1 8上時,顯示影像會散開。爲了觀察顯示影像,光線 必需入射在液晶顯示元件1 7上。但是,光線亦會入射在 接近元件17之光電轉換元件18上。即使形成光遮蔽層 秦 等,由於在透明絕緣基底1和透明電極2之介面和表面上 之反射和漫射,光線亦會輕微的入射在元件1 8上。如果 在顯示操作時,光線入射在光電轉換元件1 8上,即使開 關元件1 1保持關閉,終端P之電位亦會改變,因此顯示 受到光線之干擾。當採用複雜的元件安排或光學系統以消 除此種入射光時,會導致在製造過程中產量之降低和成本 之增加。即使當入射光可完全的消除,在高電阻光導膜4 中亦會熱產生電荷,並改變終端P之電位,因此,破壞顯 示影像品質。 第二,如圖1 A和1 B所示之光電轉換元件1 8和開 關元件1 1無法在單一處理中形成以使具有相同的膜結構 。從未有一開關元件具有如圖1B之膜結構和良好的開關 特性,且此種開關元件通常裔要一閘絕緣膜介於當成閘極 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210 X 297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 袈· -se 趣濟部中央棣準局貝x消費合作杜印製 A7 ______B7 五、發明説明(4 ) 之電極和當成通道之半導體層之間。由於如圖1 B所示之 光電轉換元件1 8並不具有此絕緣膜,當元件1 8和開關 元件1 1形成在單一基底上時,需要膜形成和以元件爲單 位之蝕刻處理,如此會導致複雜的製造方法和高成本》 除了上述之裝置外,關於手提影像輸入/輸出裝置, 結合影像輸入裝置如一組掌上型掃描器和一組影像讀取器 等,和影像输出裝置如液晶顯示器是已知的。但是,在此 種手提影像輸入/输出裝置中,操作掃描器當成影像输入 裝置之使用者必需移動影像輸入單元(通常爲光電轉換單 元)沿著正本或必需相對於正本機械的掃描影像输入單元 。因此,因爲不適當的掃描速度或欲掃描之大的裝置而發 生之讀取錯誤會導致不良的操作性,此外,由於除了顯示 裝置外,另外需要掃描器,裝置之結構相當複雜,且難以 完成輕巧之結構,因此亦難以解決高成本和低可攜性之問 題。 爲了解決這些問題,已提出藉由疊層二維影像顯示裝 置和影像輸出裝置(例如二維液晶顯示器)以在單一表面 上獲得正本讀取操作和影像顯示操作之方法。 例如,在日本公開專利申請案N 〇 . 4 - 2 8 2 6 0 9所揭示之技術中,影像輸出液晶顯示板,其 具有液晶元件和T F T元件用以在透明基底上驅動液晶元 件’且叠層在影像感應器板上,該影像感應器板具有影像 輸入影像感應器在透明基底上。 另一方面,日本公開專利申請案No. 5 - 本紙張尺度遑用中國國家梂準(CNS ) A4规格(21 OX 297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 袈_ 訂 -7 - 經濟部中央橾準局只工消費合作社印袈 A7 __B7五、癸明説明(5 ) 2 4 4 3 4 6揭示一技術,其中影像感應器板疊層在液晶 顯示板上。 但是’在此兩技術中,具有影像感應器當成影像輸入 裝置和液晶顯示器當成影像輸出(顯示)裝置之功能之裝 置疊層當成獨立裝置,如此可有空間上之改善,以獲得更 精巧且重置輕之影像輸入/輸出裝置。 當影像輸入操作執行時,手爲輸入裝置亦爲影像輸入 Ppot 裝置。 關於使用手寫輸入方法之裝置,已知如日本公開專利 申請案No. 4 — 8 0 7 9 1所揭示使用影像輸入方法之 裝置。 日本公開專利申請案No . 4 — 8 0 7 9 1揭示一裝 置,包含座標輸入基底,其根據輸入筆之筆壓力而偵測輸 入點之座標位置以取代用以輸入影像之影像感應器,如圖 2所示。以此種安排,則所需之座標輸入表面與影像輸出 表面無關,因此可實現整個裝置之成本和尺寸之降低。 但是,在包含座標輸入基底以根據輸入筆之筆壓而偵 測座標位置之影像輸入/輸出裝置中,如圖2所示,用以 偵測座標位置之座標輸入基底之讀取解析度低於影像輸出 單元之多數圊素,如此導致不良的輸入準確性》 再者,在包含座標輸入基底以根據輸入筆之筆壓而偵 測座標位置之影像輸入/輸出裝置中,如圖2所示,其無 法讀取現存許多型式之正本。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· ,1T- -·—II 1-*· 本紙張尺度遑用中國國家揉準(CNS ) A4规格(210X297公釐) 一 8 - 293225 A7 B7 五、發明説明(6 ) 發明概要 (請先閱讀背面之注$項再填寫本頁} 本發明之目的乃在提供一種影像輸入/輸出裝置,其 同時具有影像輸入功能和影像輸出功能,且其中一部份的 影像輸入單元構成一部份之影像輸出單元(反之亦然)β 亦即,本發明之另一目的乃在提供一種影像輸入//輸 出裝置,其具有以複合型式之影像输入功能和影像輸出功 能。 本發明之又一目的乃在提供一種影像輸入/輸出裝置 ’其適於降低尺寸和重量,且可以低成本獲得。 本發明之又一目的乃在提供一種影像輸入/輸出裝置 ’其具有良好的顯示特性(輸出特性)和良好的輸入效能 〇 本發明之又一目的乃在提供一種影像輸入/輸出裝置 ’其可藉由在共同主處理中形成在欲在影像輸入和输出單 元中形成之元件,以簡化製造方法,以取代在個別的方法 中形成這些元件,且本發明可獲得高產量和低成本。 經濟部中央樣準局負工消費合作社印製 本發明之又一目的乃在提供一種影像輸入/輸出裝置 ,藉由提供良好的電容特性至光電轉換元件,其具有良好 的輸入/輸出特性。 再者’本發明之又一目的乃在提供一種影像输入/輸 出裝置,其包含光電轉換元件在影像輸出(顯示)操作中 ’即使光入射在光電轉換元件上,該光電轉換元件亦具有 良好的電容特性。 本發明之又一目的乃在提供一種影像輸入/输出裝置 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210X297公釐) ' * 經濟部中央揉準局員工消費合作杜印製 A7 B7 五、發明説明(7 ) ,其包含具有光電轉換元件之影像輸入單元和影像輸出單 元, 其中該影像輸入單元具有光電轉換元件至少包含第一 電極層,一絕緣層用以避免第一導電型載子和與第一導電 型不同之第二導電型載子之通過,一光電轉換半導體層, —第二電極層,和一防止注入層安排在第二電極層和光電 轉換半導體層間以防止第一導電型之載子注入光電轉換半 導體層中,這些層形成在第一基底上,和 該影像輸出單元包含一顯示元件使用第二電極層當成 電極,和計數器電極安排面對第二電極層,而該計數器電 極形成在面對第一基底之第二基底上。 此外,本發明之另一目的乃在提供一種影像輸入/輸 出裝置,其包含一輸入/輸出單元其中影像輸入單元用以 輸入影像和影像輸出單元用以顯示影像乃整合的安排;和 一蓋用以覆蓋輸入/輸出單元,該蓋具有一記錄表面相關 於該蓋之輪入/輸出單元。 附圖簡述 圖1 A爲用以說明一影像輸入/輸出裝置之例之概略 等效電路圖; 圖1 B爲用以說明圖1 A之光電轉換元件之截面圖; 圖2爲座標輸入型影像輸入/輸出裝置之例之概略立 體圖; 圖3和1 〇分別顯示依照本發明之影像輸入/輸出裝 本紙張尺度適用中國國家梯準(CNS ) A4規格(210X297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 袈· 訂 -10 - 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 203225 A7 B7 五、發明説明(8 ) 置之較佳實施例之概略電路圖; 圓4 A和1 1 A用以說明本發明之影像輸入/輸出裝 置之一部份影像輸出單元和影像輸入單元之較佳實施例之 概略平面圖; 圖4 B和1 1 B爲本發明之影像輸入/輸出裝置之較 佳實施例之截面圖; 圖5 A至5 C和圖6 A和6 B爲在本發明之影像輸入 單元中之元件之能量帶圖; 圖7和1 2爲本發明之影像輸入/輸出裝置之較佳實 施例之驅動操作之時間圖; 圖8 A至8 C爲依照本發明之影像輸入/輸出裝置之 較佳實施例之立體圖; 圖9爲本發明之影像輸入/輸出裝置之操作之流程圖 t 圖1 3和1 4爲本發明之影像輸入/輸出裝置之全部 安排之較佳實施例之平面圖;和 圖1 5爲本發明之影像輸入/輸出裝置之立體圖。 較佳實施例之詳細說明 本發明將參考附圖詳細說明如下。 圖3爲依照本發明之較佳實施例之影像輸入/輸出裝 置全部之概略電路圖,圖4 A爲在此實施例中相關於一圖 素之構成元件之概略平面圖,和圖4 B爲圖4 A之概略截 面圖。圖3所示之電路包括光電轉換元件S 1 1至S 3 3 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4规格(210X 297公釐) I----------《裝------訂------( (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -11 - 經濟部中央樣準局員工消費合作社印製 A 7 B7 五、發明説明(9 ) 具有下電極G和上電極D。如圖3所示之電路亦包括液晶 顯示元件Dl 1至D33,和絕緣層ΤΙ 1至T33。讀 取電源V s和更新電源Vg分別經由開關SWs和SWg 而連接至光電轉換元件S 1 1至S 3 3之G電極。開關 SWs經由反向器連接至更新控制電路RF,而開關 SWg直接連接至電路RF。 一圖素具有光電轉換元件,液晶顯示元件,和薄膜電 晶體(以下稱TFT)當成開關元件’而圖素之電路之訊 號輸入/輸出線經由訊號接線SIG連接至偵測積體電路 I C和液晶驅動電路OR。 如圖3所示之影像輸入/輸出裝置之例整體具有9個 圖素。這些圖素區分爲三塊,且每個塊之三個圖素之輸入 /輸出操作可同時的控制。在圖3中,藉由在圖3之水平 方向上安排一塊三個圖素和在圖3之垂直方向依次安排三 塊而安排成二維之圖素。 在影像拾取操作時(影像輸入操作),在一塊中由三 個圖素而來之輸出同時的傳送,且由偵測電路I C經由訊 號接線S I G而循序的轉換成輸出。而後,這些輸出輸出 至終端Vo u t 。由第一至第三塊重覆此操作,因此可獲 得二維影像訊號。 在影像顯示操作(影像輸出操作)中,液晶驅動電路 D R轉換在第一塊中相關於三個圖素之影像成爲電壓訊號 ,並經由訊號接線S I G傅送訊號至相關之圖素。這些電 位由光電轉換元件S11至S13所保持》這些顯示電位 本紙张尺度遑用中國國家標率(CNS ) A4規格(210X297公釐) J J. I I A 裝 I n I I I ( (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -12 - A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、 發明説明( 10 ) 1 控 制 在 液 晶 顯 示 元 件 D 1 1 至 D 1 3 之 反 射 光 > 以 顯 示 資 1 1 訊 0 由 第 -- 至 第 三 塊 重 覆 此 操 作 藉 以 顯 示 二 維 影 像 0 1 1 在 圖 3 中 由 被 折 線 所 包 圍 之 部 份 形 成 在 單 -—« 大 區 域 絕 ^—\ 1 I 請 1 緣 基 底 上 〇 圖 4 A 爲 在 圖 3 中 由 被 折 線 所 包 圍 之 部 份 中 相 先 閲 1 I 讀 1 關 於 第 圖 素 之 部 份 之 平 面 圖 且 圖 4 B 爲 由 圖 4 A 之 破 背 面 \ I 折 線 4 B — 4 B 所 截 取 之 截 面 面 圖 0 rgrt 圖 4 A 和 4 B 所 示 之 部 之 素 1 i 份 包 1 括 光 電 轉 換 元 件 S 1 1 液 晶 顯 示 元 件 D 1 1 » 項 1 T F T T L L ,訊號接線S G ,和控制接線g L形成 % 本 裝 這 些 元 件 之 方 法 將 依 序 說 明 如 下 〇 頁 1 1 當 成 下 電 極 層 2 之 透 明 導 電 材 料 ( I T 0 ) 藉 由 濺 射 1 1 而 沈 澱 在玻 璃 基 底 1 上 至 約 5 0 0 A 之 厚 度 當 成 絕 緣 材 料 1 | » 且 以 光 石 印 定 圖 樣 〇 而 後 以 蝕 刻 移 去 不 需 之 區 域 〇 在 訂 I 此 處 理 中 形 成 光 電 轉 換 元 件 S 1 1 之 下 電 極 T F T 1 1 I 丁 1 1 之 閘 極 和 控 制 接 線 g 1 〇 1 1 I 以 C V D 法 在 相 同 的 真 空 狀 況 沈 積 2 0 0 0 A 厚 之 1 1 S i N 層 ( 7 ) 5 0 0 0 A 厚 i 層 ( 4 ) 和 5 0 0 A 厚 1 η 層 ( 5 ) 〇 這 些 層 分 別 當 成 絕 緣 層 光 電 轉 換 半 導 m 層 1 1 > 和 光 電 轉 換 元 件 S 1 1 之 電 洞 防 止 注 入 層 > 和 當 成 1 I Τ F T T 1 ] .之歐姆接觸層 半導體層和閘絕緣膜。 另 1 I —* 方 面 > 在 接 線 之 橫 向 部 份 » 如 訊 號 接 線 S I G 和 控 制 接 1 | 線 g 1 之 橫 向 部 份 ϊ 此 三 個 層 疊 合 以 當 成 中 介 層 以 獲 得 介 1 1 於 上 和 下 配 線 間 之 絕 緣 〇 相 關 層 之 厚 度 並 不 侷 限 於 如 上 所 1 1 述 9 且 可 較 佳 的 設 計 以 配 合 使 用 於 光 電 轉 換 裝 置 中 之 電 壓 1 1 > 電 流 > 電 荷 和 入 射 光 量 等 〇 在 這 些 層 中 » 由 於 S i N 層 1 1 尺 張 紙 本 準 梂 家 國 國 中 用 適 嫠 公 97 A7 B7 五、發明説明(11 ) 需用以防止電子和電洞之通過且必需當成T F T之閘絕緣 膜’其必需具有5 Ο 0A之厚度。 S i N層包含含有s i (矽)和N (氮)之絕緣材料 ’且最好由含有非晶或結晶材料之一或兩者所組成。這些 材料不需要始終包含在一化學計量比例。i層爲一本質的 或實質本質的半導體層,而η層爲η型半導體層。這些半 導體層之材料並不加以特別的限定,只要它們具有光導性 ’亦即,可達成光電轉換,且可使用當成薄膜電晶體之半 導體。但是,在考慮在大區域基底上之膜之簡易形成,低 成本和半導體特性時,含有氫或_素原子之非單晶矽,且 更特別而言,含有氫或鹵素原子之非晶矽和/或多晶矽是 較佳之材料。 i層由半導體材料所構成,該半導體材料實質的未包 含用以控制導電型式之雜質,或包含可控制導電型式爲p 型和可控制導電型式爲η型之粗質。 η型半導體層最好包含例如ρ (磷),As (砷)等 原子,其屬於週期表之V族,而p型半導體層最好包含如 B (硼)’Ga (鎵)’ In (銦)等之原子,其屬於週 期表之I I I族。 在相關層沈積之後,以蝕刻形成當成接觸孔之區域, 而後,沈積1 Ο Ο Ο 0A膜當成上金屬層6。所得之結構 以光石印定圖樣,並以蝕刻移去不必要之區域,藉以形成 光電轉換元件S 1 1之上電極,當成TFT T 1 1之主 電極之源極和汲極,和訊號接線S I G。同時,上和下接 本紙張尺度適用中國國家梯率(cns ) A4規格(2ΐ〇χ 297公釐) f請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝. 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 -14 - 經濟部中央標準局貞工消费合作社印装 s^3225 A7 -------_B7__ 五、發明説明(12 ) 線經由接觸孔連接。 再者,只在TFT Til之通道部份中之η層以 RI Ε蝕刻,而後,以蝕刻移去Si Ν層(7),〗層( 4 )和η層(5 )之不必要部份,以獲得元件絕緣。在此 處理中,可完成光電轉換元件S 1 1 ,TFT Til* 訊號接線S I G,和控制接線g 1等。如上所述,光電轉 換元件和T F T可在相同處理中同時形成當成共同膜。 而後,形成定向層8 1當成絕緣構件,透明共同電極 (計數器電極)8 3 ,和上玻璃8 4,而藉由注入液晶材 料可形成液晶層8 2 ,因此可完成液晶顯示元件D 1 1 。 液晶顯示元件D 1 1之個別電極共同使用光電轉換元件 5 1 1之上電極。亦即,輸入單元之部份構成輸出單元之 部份(反之亦然)。在圖4A中,未顯示層或元件D 1 1 之構件81至84» . 在圖4 B中,影像資訊光L 1由實線所指示,且指示 藉由以一透鏡系統映像資訊所獲得之光或當正本直接緊密 接觸上玻璃8 4而由正本反射之光》當影像顯示時,液晶 層8 2之光特性由介於液晶顯示元件之電極間之電位而改 變以反射入射光L 2當成反射光L 3或吸收或擴散入射光 L 2。 以下將說明在本實施例中使用之光電轉換元件S11 至S 3 3之影像拾取(輸入)操作之情形。圖5 A和5 B 爲在本實施例之光電轉換元件之更新和光電轉換模式之操 作之能量帶圖,並在圖4 B中顯示相關層在厚度方向中之 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X 297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 袈. 訂 -15 - 經濟部中央標準局負工消費合作社印裝 A7 B7 ---______ 五、發明説明(13 ) 狀態。在圖5A和5B中,下電極2 (以下視爲G電極) 由I TO所組成。絕緣層7由S i N組成且可防止電子和 電洞之逋過。絕緣層7之厚度設定至少爲5 0 0A或更多 以避免因爲隧道效應而產生電子和電洞之滲透。光電轉& 半導體層4由非晶矽(a _S i )氫基本質半導體i層戶^ 組成。防止注入層5由a_S i η層所組成,且可防止 電洞注入光電轉換半導體層4。上電極6 (以下稱爲Dm 極)由A 5組成。在影像拾取操作時,光電轉換元件以兩 種操作模式操作,亦即,更新模式和光電轉換模式,其、决 定於施加至D和G電極之電壓》 在圖5 A所示之更新模式中,相關於G電極之負電位 施加至D電極,且在i層4中由全黑圓所揭示之電涧由電 場吸向D電極。同時,由圓圈所指示之電子注入i層4中 。同時,相同的電子和電洞結合且消失在η和i層5和4 中。當此狀態持續一足夠長的時間後,在i層4中之電涧 由i層4中掃出。 爲了由此狀態設定至如圖5 B所示之光電轉換模式, 相關於G電極之正向電壓施加至D電極。在使用此電位下 ,在i層4中之電子即時的吸向D電極。但是,由於η層 5當成防止注入層,電洞並不吸向i層4。當光在此狀態 中入射至i層4時,光受到吸收,並產生電子一電洞對。 電子由電場吸向D電極,而電洞移入i層4,並到達介於 i層4和絕緣層7間之介面。但是,由於電洞無法移入絕 緣層7 ,它們停留在i層4。同時,由於電子移入D電極 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210 X 297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 袈·
、1T 16 - 經濟部中央揉準局貝工消费合作社印製 A7 __B7__ 五、發明説明(14 ) ,電洞移入在i層4中之絕緣層7之介面,由G電極流出 一電流以保持在元件中之電中性狀態。由於電流相關於由 光所產生之電子一電洞對,電流和入射光之量成比例。在 圖5 B之光電轉換模式之狀態保持一給定時間後,當圖 5 A之更新狀態設定時,停留在i層4之孔洞吸向D電極 如上所述,且相關於這些電洞之電流同時流動。在光電轉 換模式期間,電洞之數目相當於入射光之全部量。此時, 雖然相當於注入i層4之電子數目之電流流動,由於電流 幾乎是固定的,在偵測時可減去電流量。更特別而言,此 實施例之光電轉換元件可在實時輸出入射光之量,且在給 定期間亦可輸出全部量之入射光。此爲本實施例之光電轉 換元件之獨特特徵。 但是,當光電轉換模式期間因爲任何原因而延常,或 當入射光之照度相當高時,除了現有的入射光外,無電流 可流動。此乃因爲多數之電洞停留在i層4並降低在i層 4中之電場,且產生之電子不能吸向D電極,而是再與i 層4中的電洞結合如圖5C所示。在此例中,當更新模式 再設定時,在i層4中之電洞掃除,且和光成比例之電流 可再度在光電轉換模式中獲得。 在上述之說明中,當i層4之孔洞在更新模式中掃除 時,理想的是掃除所有的電涧。但是,藉由掃除部份的電 洞亦可獲得相同的效果,且可獲得和上述相同之電流。更 特別而言,圖5 C所示之狀態只需在光電轉換模式中下一 個偵測下防止,而在更新模式中相關於G電極之D電極之 本紙張尺度適用中國國家棵準(CNS ) A4規格(210X297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 訂 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 A7 B7 五、發明説明(15 ) 電位,更新模式之期間,和η層5之防止注入層之特性只 需受到決定以達成此種效果。再者,在更新模式中電子注 入i層4並非一必需之狀況,而相關於G電極之D電極之 電位亦不侷限於負電位。此乃因爲當多數之電洞停留在i 層4時,在i層中之電場施加在接引電洞向著D電極之方 向,即使D電極之電位相關於G電極爲正電位。在η層5 之防止注入層之特性中,電子注入i層4並非是一必要之 狀況。》 以下將說明在本實施例中使用之光電轉換元件S11 至S 3 3之影像顯示(輸出)操作之操作情形。在影像顯 示操作時,即使光入射在i層4上,在i層中之電荷不會 移動。如果電荷移動時,保持顯示資訊之電位會改變。爲 了符合此種需求,使用如圖6 A所示之全電子模式和圖 6 B所示之全電洞模式。 在圖6 A所示之全電子模式中,相關於G電極之負電 位施加至D電極。在此模式中,在如圖5 A所示之更新模 式之相同操作後,當電子充份的注入i層4時,電場只施 加至絕緣層7,而由於電子自由的移動,無電場施加至i
層4。此狀態相當於圖6 A所示之全電子模式。在圖6 A 所示之全電子模式中,即使當光入射在i層4時,電子和 電洞產生在i層4中,由於無電場施加至i層4,幾乎無 電洞移動。由於大數目之電子呈現在i層4中,電洞立即 的和電子再結合而消失。相同的情況亦會適用在電子或電 洞熱產生之情形。更特別而言,在相關層中之電場並不會 本紙張尺度適用中國國家揉準(CNS ) Α4規格(210Χ297公嫠) - ^ 裝 訂 ^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -18 - A7 B7 293225 五、發明説明(16 ) 由入射光或熱所改變’且電場只施加至絕緣層7。因此光 電轉換元件展現和由絕緣層7之介電膜而形成之電容相同 之特性。 在圖6 B所示之全電洞型式中,相關於g電極之正電 位施加至D電極。由於此狀態和上述圖5 B中所示之光電 轉換型式相同,相關於光之電荷移動,且相關層之電場在 一給定期間中改變。但是’如圖5 C所示,多數由光或熱 產生之電洞停留在i層4中,且電場最後會因爲電洞之存 在而停止。此種狀況相當於如圖6 C所示之全電洞型式》 在如圖6 B所示之全電涧型式中,即使當光入射在i層4 上,並產生電子和電洞時,由於無電場施加至i層,幾乎 無電子移動。此外,由於大量的電洞存在i層中,電子立 即和電洞結合且消失。對於由熱產生之電子和電洞亦可適 用相同的情形。更特別而言,在相關層中之電場並不受到 入射光或熱之改變,且電場只施加至絕緣層7。因此,光 電轉換元件展現實質和只由絕緣層7之介電膜所形成之電 容相同之特性。 更特別而言,如圖6 A和6 B所示,依照此實施例之 光電轉換元件可呈現實質和只由絕緣層7之介電膜所形成 之電容相同之特性,而無關於D和G之電位。由於絕緣層 7由具有穗定特性且可免於入射光或熱而引起之漏電流之 s i N所構成,在影像顯示操作時可保持相同的顯示電位 ’且可確保良好的顯示狀態。介於如圖6 A所示之全電子 模式和圖6 B所示之全電洞模式間之差異爲:由於由D電 本紙張尺度適用中國國家梯準(CNS ) A4規格(210X 297公釐) 11 i Ί (裝 I 訂 ( (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央橾準局貝工消費合作社印製 19 經濟部中央揉準局負工消費合作社印袈 A 7 B7 五、發明説明(17 ) 極正向的注入,電場即時的穩定在如圖6 A所示之全電子 模式,而在圖6 B所示之全電洞模式中電場之穩定需要一 確定的期間》當裝置在低速操作時,在圖6 A和6 B中之 模式皆不會有問題。但是,當裝置在高速下操作時,圖 6 A所示之全電子模式是有效且較佳的。在此例中,只需 控制G和D電極之一,因此,在任何顯示電位上G電極之 電位皆高於D電極之電位。 如上所述,在此實施例中之光電轉換元件S 11至S 3 3可當成光感應器,在光感應器週期性的更新時,光感 應器輸出和入射光成比例之光流,該光電轉換元件在影像 顯示操作時亦當成用以保持顯示電位之電容。由於在全電 子模式中之操作可獲得更新操作,在影像顯示操作時可獲 得更新效果,而更新操作無需永遠正向的執行。 本實施例之固態影像拾取/顯示裝置之影像拾取操作 將參考圖3和7說明如下。圖7爲此實施例之操作之時間 圖。在影像拾取操作時,在液晶驅動電路D R中之開關 S W d保持關閉。 最初,移位暫存器SR1和SR2施加H i訊號至控 制接線gl至g3和S1至S3。轉換TFT Til至 T 3 3和開關Ml至M3啓動且互相電連接,而所有光電 轉換元件S 1 1至S 3 3之D電極設定在接地電位(由於 整合偵測器Amp之輸入終端指定爲接地電位)。同時, 更新控制電路R F輸出H i訊號以啓動開關SWg ,而光 電轉換元件S 1 1至S 3 3之所有G電極藉由更新電源 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS > A4说格(210X 297公釐) ---I.---Γ--{和衣------、玎------( (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 五、發明説明(18 ) v g而設定在正電位》所有的光電轉換元件s 1 1至 s 3 3設定在更新模式,並受到更新。而後,更新控制電 路RF輸出Lo訊號以啓動開關Sws ,而所有光電轉換 元件S 1 1至S 3 3之G電極由讀取電源V s設定在負電 位。所有的光電轉換元件S 1 1至S 3 3設定在光電轉換 模式中且初始化。在此狀態,移位暫存器S R 1和S R 2 施加L 〇訊號至控制配線g 1至g 3和S 1至S 3。爲了 回應這些訊號,轉換TFT ΤΙ 1至T3 3和開關Ml 至M3關閉,所有光電轉換元件S 1 1至S 3 3之D電極 由它們的電容特性保持電位(雖然在D C方式下,它們變 成開路)。在此狀態,影像資訊光入射在所有光電轉換元 件s 1 1至S 3 3上一段已定讀取期間t ,接受光之光電 轉換元件之電位會因爲產生之電荷而改變。 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) - 而後,當移位暫存器s R 1施加H i控制脈衝至控制 配線gl時,輸出VI至V3經由轉換TFT T11至 τ 1 3和開關Ml至M3而循序的輸出,以回應由移位暫 存器S R 2施加至控制接線S 1至S 3之控制脈衝。相似 的,在移位暫存器SR 1和SR2之控制下,其它的光訊 號循序的輸出。以此操作,可獲得二維影像資訊當成輸出 VI至V9。藉由上述之操作可獲得靜止之影像。爲了獲 得動態影像資訊,可重覆上述之操作。 當影像顯示操作執行時’開關M 1 3在移位暫存 器S R 2之控制下關閉,而在液晶驅動電路DR中之開關 SWd啓動》由更新控制電路尺15'而來之輸出設定在H i 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4规格(2丨〇 X 297公釐) 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 A7 ___B7_ 五、發明説明(19 ) 位準以啓動開關s W g以施加正電位至光電轉換元件 si 1至S33之所有G電極。以此方式,光電轉換元件 受控制以當成在全電子模式中之良好電容。而後,資料控 制電路CONT輸出顯示電位在相關的訊號接線SIG上 ’而顯示位準傳送至相關圖素之光電轉換元件以回應在控 制線g 1至g 3上之控制脈衝。光電轉換元件保持電位, 且在此期間,液晶顯示元件持續的顯示資訊。此時,液晶 顯示元件之共同電極由資料控制電路C Ο N T所控制以獲 得良好的顯示特性。 在此實施例中,9個圖素二維設置成3 X 3矩陣,而 影像拾取和顯示操作藉由在三個分時時間上,同時驅動三 個圖素而達成。但是本發明並不侷限於此種特殊之安排。 例如2 Ο Ο Ο X 2 0 0 0圖素亦可二維的設置在每lmma 區域有5 X 5圖素之密度下,因此可完成4 0 cmx 4 0 c m影像輸入/輸出裝置。當此裝置結合電腦,且由光筆 而來之輸出光學的導引進入光電轉換元件時,本發明可應 用至C A D系統,其中使用者可使用光筆指示操作並觀察 影像。在此例中,和使用CRT或數位板之情形比較,本 發明可提供具有良好操作性之輕巧C A D系統。 在此實施例中,光電轉換元件和液晶顯示元件垂直的 堆疊以使用共同電極和簡化製造方法,因此可降低成本。 但是,本發明並不限於此種安排。例如,光電轉換元件和 液晶顯示元件可水平的並置。在此例中,在電極之側上之 一層或兩層可同時形成以簡化製造方法。 本紙張尺度適用中國國家橾準(CNS ) A4規格(210X 297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
-22 - 經濟部中央橾準局貝工消費合作社印裝 A7 ___ B7 五、發明説明(20 ) 在上述之安排中,顯示操作之光輸出可由上表面側獲 得,而影像拾取操作之光輸入可由下表面側獲得。但是, 本發明並不限於此細節。例如,顯示和影像拾取操作兩者 亦可在上或下表面側上達成,或顯示操作在下表面上達成 ,而影像拾取操作在上表面側上達成。在此例中,可選擇 性的使用透明,反射和擴散電極材料以形成相當於每個安 排之相關電極。 此種顯示元件並不限於液晶元件。本發明亦可應用至 其它元件,只要它們基於電極之電位而可獲得顯示操作》 顯示裝置並不侷限於反射型,其亦可爲傳輸型。 由於使用本發明之光電轉換元件之電容可提供良好之 電容特性,在影像顯示(輸出)操作時,即使當光入射, 亦可獲得各種不同程度之自由度,如上所述。 在此實施例中,分別說明影像拾取和顯示操作。但是 ,當影像拾取和顯示操作交替重覆時,此操作事實上和同 時執行這些操作相同,且本實施例之裝置可廣泛的應用至 可同時達成影像拾取和顯示操作之裝置上。 圖8 A至8 C用以說明依照本發明之另一實施例之影 像讀取方法之全部影像輸入/輸出裝置之立體圖。 在圖A所示之實施例之影像輸入/輸出裝置1 5 0中 ,白色記錄板1 0 2設置在蓋1 0 4之表面上,面對顯示 表面,蓋1 0 4用以保護顯示單元1 Ο 1。圖8A顯示使 用文字輸入筆1 0 3而將文字寫在白色記錄板1 〇 2上之 狀態》記錄板102不僞限於白色記錄板102 ,只要例 本紙張尺度通用中國國家標準(CNS ) A4規格(210 X 297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝. 訂· -23 - 203225 B7 經濟部中央樣準局貝工消費合作社印製 五、· 發明説明( 21 ) 如 文 字 之 所 需 資 訊 可 顯 示 且 該 資 訊 可 由 影 像 感 應 器 單 元 讀 出 即 可 0 顯 示 單 元 1 0 1 安 排 在 主 體 ruz. 1 0 5 側 > 且 其 有 顯 示 功 能 和 影 像 感 應 器 功 能 0 更 特 別 而 言 1 當 成 影 像 輸 出 單 元 之 顯 示 單 元 和 當 成 影 像 輸 入 單 元 之 一 部 份 之 影 像 感 應 器 單 元 是 共 同 的 〇 介 於 顯 示 單 元 和 影 像 感 應 器 單 元 間 之 電 位 關 係 並 不 特 別 限 定 0 例 如 亦 可 較 佳 的 使 用 如 圖 4 A 和 4 B 所 示 之 安 排 〇 在 此 實 施 例 中 顯 示 單 元 使 用 液 晶 顯 示 影 像 感 應 器 單 元 使 用 利 用 非 晶 矽 之 光 電 轉 換 元 件 〇 如 L E D 之 正 本 嘯 P灵 取光 源 ( 未 顯 示 ) 用 以 照 明 正 本 表 面 且 設 置 在 顯 示 單 元 1 0 1 ( 亦 當 成 影 像 感 應 單 元 ) 之 背 表 面 上 〇 在 圖 8 A 所 示 之 操 作 單 元 1 0 6 中 依 需 要 的 安 排 電 源 開 關 鍵 盤 等 操 作 系 統 〇 此 外 主 體 安 裝 資 訊 處 堙 單 元 用 以 處 理 由 影 像 輸 入 / 輸 出 裝 置 所 處 理 之 資 訊 和 用 以 操 作 裝 置 之 資 訊 用 以 儲 存 各 種 資 訊 之 記 憶 和 用 以 驅 動 影 像 輸 入 / 輸 出 裝 置 之 電 源 等 〇 但 是 亦 可 使 用 外 部 電 源 以 供 應 電 源 » 且 裝 置 之 操 作 亦 可 藉 由 外 部 裝 置 之 指 令 輸 出 而 獲 得 〇 這 些 規 格 可 依 需 要 的 變 化 和 修 改 〇 在 此 實 施 例 中 由 影 像 感 應 單 元 所 讀 取 之 影 像 資 訊 儲 存 在 記 億 中 而 後 影 像 資 訊 受 到 在 資 訊 處 理 單 元 中 之 影 像 處 理 單 元 之 影 像 處 理 〇 影 像 處 理 資 訊 依 需 要 的 顯 示 在 顯 示 單 元 1 0 1 上 P 此 外 在 資 訊 儲 存 在 記 憶 後 其 亦 可 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(2丨OX 297公釐) ---1 A7 B7 經濟部中央標準局貝工消費合作社印装 五、發明説明(22 ) 顯市在液晶顯上。 在影像輸入/輸出裝置之操作單元1 〇 6之操作下’ 電源之ON/O F F操作,影像讀取和顯示操作之執行, 或在顯示影像擴大下,放大之設定操作亦可依需要的執行 〇 » 圖8 B爲在圖8 A所示之狀態後,顯示單元之蓋 1 0 4位在主體1 0 5上之狀態’亦即,主體1 〇 5覆蓋 在圖8B所示之狀態之前 取鍵壓下時,寫在記錄板1 0 之光電轉換元件所讀取》 圖8 C爲在圖8 B之狀態 和本體1 0 5側邊分離之狀態 8C顯示在圖8B之狀態中寫 主體1 0 5側邊之光電轉換元 之影像處理由影像處理單元執 主體1 0 5側上之液晶顯示器 本實施例之操作將參考在 8 C之立體圖詳細的說明如下 首先,啓動電源開關,而 影像輸入筆1 0 3寫在記錄板 作單元10 6上之讀取鍵。顯 以讀取寫在記錄板1 0 2上之 讀取影像儲存在記億中( ,在操作單元1 0 6上之讀 2上之文字由主體1 0 5側 之後,顯示單元之蓋1 0 4 ,亦即,蓋是打開的。圖 在記錄板1 0 2上之文字由 件所讀取之情形,讀取文字 行,而影像處理資訊顯示在 上。 圖9中之流程圖和圖8A至 〇 欲讀取之影像(文字)使用 102上。而後,壓下在操 示單元1 0 4之蓋關閉,藉 資訊(步驟(a ))。 步驟(b )),且同時受到 請 閱 讀 背 意 事 項 再 4 寫 頁 裝 訂 本紙張尺度逋用中國國家梂準(CNS ) A4規格(210X297公釐) -25 - 25 經濟部中央樣準局員工消费合作社印袈 A7 ____B7 五、發明説明(23 ) 影像處理用以使輸入資料在右一和-左方向反向(步驟( c))。顯示單元之蓋104打開,而在操作單元106 上之顯示鍵壓下。而後,讀取影像顯示在液晶顯示上(顯 示單元101)(步驟(e))。 當在操作單元1 0 6上之放大鍵在此狀態再壓下時, 步驟(C )和(e )再度執行,且顯示在液晶顯示上之文 字放大2倍。當放大鍵再壓下時,再執行步驟(c )和( e ) ’顯示文字放大四倍。顯示處理並不侷限於放大之變 化’而其亦可是影像強調,顏色轉換,影像之部份位移, 和影像之移動等。 當在操作單元1 0 6上之記憶鍵在此狀態壓下時,執 行步驟(d),且以四倍尺寸之文字儲存在記億中。在此 例中,儲存資訊可依需要的顯示在液晶顯示中。記憶最好 爲包含利用半導體之I C。此外,亦可採用例如軟碟,使 用光之光碟或其它儲存元件之磁性記錄介質》 在此實施例中,手寫在顯示單元之蓋1 0 4上之記錄 板1 0 2上之影像(例如文字,圖像,或圖畫等)可藉由 開/關顯示單元之蓋1 0 4而輕易的輸入至影像感應單元 9 當記錄板1 0 2包含例如白色板時,由於可使用通常 使用之簽字筆,在記錄板上之影像可輕易的重寫。再者, 當使用彩色影像感應器時,可使用彩色簽字筆輸入彩色影 像。當然,當如相片之正本接附在記錄板1 0 2上時,亦 可輸入例如相片之資訊。 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210 X 2S»7公釐) ; ^ 《裝 訂 ( (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -26 - 經濟部中央橾準局貝工消费合作社印製 2^3225 A7 __B7_ 五、發明説明(24 ) 本發明之影像输入/輸出裝置並不侷現於此實施例所 述。更特別而言’在一影像輸入裝置中,其包含讀取裝置 用以輸入當成二維影像輸入單元之影像和顯示裝置用以輸 出當成二維影像輸出單元之影像,且其設置在單一表面上 ’影像處理裝置用以處理由讀取裝置所輸入之影像,和一 蓋用以保護讀取裝置和顯示裝置所設置之表面例如白色記 錄板之顯示記錄板可設置在保護蓋之一表面上,其面對安 排讀取裝置和顯示裝置之表面。 即使未安排蓋,顯示單元1 〇 1亦可設定面對正本 120 ,如圖15所示。 當成二維影像輸入單元之讀取裝置並不侷限於可以低 成本提供製造大螢幕感應器之非晶矽影像感應器,其亦可 包含提供高速讀取之單晶矽或多晶矽影像感應器,或允許 使用紅外線或紫外線當成光源之偵測之紅外線或紫外線感 應器。 相似的,當成二維影像輸入單元之顯示裝置最好包含 液晶顯示,由於大螢幕顯示可以相當低的成本製造,且所 需元件可藉由和影像感應器相似之安排形成》但是,本發 明並不侷限於液晶顯示。例如,亦可使用具有較高界定之 平板C RT顯示,或具有較明亮顯示之電漿顯示等。 此實施例不具有如印表機之記錄裝置。但是’如印表 機之記錄裝置亦可輕易的安排在本發明之影像輸入/輸出 裝置中。 圖1 0爲依照本發明之另一實施例之影像輸入/輸出 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(2丨〇X 297公釐) ------------'{裝------訂------( (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -27 - 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A7 _ ___ B7 五、發明説明(25 ) 裝置中,整個影像輸入單元之概略電路圖,圖1 1 A爲在 此實施例中相關於一圖素之構成元件之平面圖,和圖 1 1B爲沿圖1 1A之1 IB — 1 1B線所截取之截面圖 。圖10所示之電路包括光電轉換元件S111至 s 1 3 3 ,其具有下電極G和上電極D。如圖1 〇所示之 電路亦包括電容C 1 1 1至C 1 3 3和轉換TFT ΤΙ 1 1至T1 3 3。讀取電源Vs和更新電源Vg分別 經由開關SWs和SWg連接至光電轉換元件S111至 S 1 3 3之G電極。開關SW s經由反向器連接至更新控 制電路RF,而開關SWg直接連接至電路RF。這些開 關由電路RF控制,因此,在更新期間,開關SWg啓動 ,而在其它期間,開關SWs關閉》圖素由光電轉換元件 ,液晶顯示元件.,和TFT所構成,且由圖素輸出之訊號 經由訊號接線連接至偵測I C »在此實施例之光電轉換元 件中,全部9個圖素區分爲三塊,且由每塊之三個圖素而 來之輸出同時的轉換。這些輸出由偵測積體電路經由訊號 接線而循序的轉換成輸出訊號,,且此輸出訊號輸出。藉 由安排在一塊中之三個圖素在圖10之水平方向和安排在 一塊中之三個圖素在圖1 0之垂直方向而可將圖素二維的 安排。 在圖1 0中,由破折線所圍繞之部份形成在單一大區 域絕緣基底上。圖11A爲相關於由圖10中之破折線所 圍繞之部份中之第一圖素之部份之平面圖。圖1 1 A所示 之圖素包括光電轉換元件S111,TFT Till· 本紙張尺度適用中國國家梯準(CNS ) A4規格(210X 297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 -28 - A7 B7 經濟部中央標準局負工消費合作社印装 五、 發明説明 21 3) 1 1 電 容 C 1 1 1 > 和 訊 號 接 線 S I G 〇 在 此 實 施 例 中 > 電 1 1 I 容 C 1 1 1 和 光 電 轉 換 元 件 S 1 1 1 並 非 特 別 的 元 件 絕 緣 1 1 I > 而 電 容 C 1 1 1 藉 由 增 加 S 1 1 1 之 電 極 區 域 而 形 成 〇 讀 1 1 由 於 光 電 轉 換 元 件 和 電 容 具 有 相 同 的 層 結 稱 此 種 結 構 可 先 聞 1 1 輕 易 的 形 成 > 且 此 爲 本 實 施 例 之 特 徵 〇 圖 1 1 B 爲 沿 圖 背 面 之 1 1 1 A 之 1 1 B — 1 1 B 線 所 截 取 之 截 面 [S3 圖 0 被 動 氮 化 矽 事 Ί 膜 S i N 形 成 在 圖 素 之 上 部 份 0 正 本 照 明 光 由 光 電 轉 換 元 項 再 丄 件 部 份 之 後 表 面 側 照 射 在 正 本 上 且 由 正 本 所 反 射 之 光 入 寫 本 百 I 射 在 光 電 轉 換 元 件 上 0 I 〇,| 圖 1 1 B 所 示 之 層 結 構 包 括 下 電 極 1 1 1 2 包 含 > 例 如 鉻 絕 緣 層 7 包 含 S i 〇 S i N 等 i 1 1 I 型 光 電 轉 換 半 導 體 層 4 η 型 電 洞 防 止 注 入 層 5 和 上 電 1 1 訂 1 極 6 0 在 此 實 施 例 中 使 用 之 光 電 轉 換 元 件 乃 是 根 據 和 上 述 圖 5 A 至 5 C 所 述 相 同 之 原 理 〇 1 1 此 實 施 例 之 光 電 轉 換 裝 置 之 操 作 將 參 考 圖 1 0 和 1 2 1 | 說 明 如 下 〇 圖 1 2 爲 此 實 施 例 之 操 作 之 時 間 圖 〇 1 最 初 移 位 暫 存 器 S R 1 1 和 S R 1 2 施 加 Η i 訊 號 1 1 至 控 制 接 線. S 1 1 至 g 1 3 和 S 1 1 至 S 1 3 〇 轉 換 1 1 T F T T ] ] ] .至T ] .3 3和開關Μ 3 ] .至Μ ] .3啓動 1 ' 且 互 相 電 連 接 而 所 有 光 電 轉 換 元 件 S 1 1 1 至 S 1 1 3 1 1 之 D 電 極 設 定 在 接 地 電 位 ( 由 於 整 合 偵 測 器 A m Ρ 之 輸 入 J 1 終 端 指 定 爲 接 地 電 位 ) 〇 同 時 更 新 控 制 電 路 R F 輸 出 1 I Η i 訊 號 以 啓 動 開 關 S W g > 而 光 電 轉 換 元 件 S 1 1 1 至 1 I S 1 3 3 之 所 有 G 電 極 藉 由 更 新 電 源 V g 而 設 定 在 正 電 位 1 1 I 〇 所 有 的 光 電 轉 換 元 件 S 1 1 1 至 S 1 3 3 設 定 在 更 新 模 1 1 本紙張尺度適用中國國家橾準(CNS ) A4规格(2丨OX四7公釐) -29 - 233225 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、 發明説明( 27 ) 1 1 式 t 並 受 到 更 新 0 而 後 » 更 新 控 制 電 路 R F > 輸 出 L 0 訊 ! 1 I m 以 啓 動 開 關 S W S > 而 所 有 光 電 轉 換 元 件 S 1 1 1 至 1 1 I S 1 3 3 之 G 電 極 由 讀 取 電 源 V S 設 定 在 負 電 位 0 所 有 的 請 1 1 光 電 轉 換 元 件 S 1 1 1 至 S 1 3 3 設 定 在 光 電 轉 換 模 式 中 先 閱 讀 1 1 且 電 容 C 1 1 1 至 C 1 3 3 初 始 化 〇 在 此 狀 態 移 位 暫 存 •Λ 背 之 1 器 S R 1 1 和 S R 1 2 施 加 L 0 訊 號 至 控 制 配 線 S 1 1 至 事 Ί g 1 3 和 S 1 1 至 S 1 3 0 爲 了 回 應 這 些 訊 號 > 轉 換 項 再 1 填 T F T T 1 1 至 T 1 3 3 和 開 關 Μ 1 1 至 Μ 1 3 關 閉 > 罵 本 Έ 衣 I 電 容 C 1 1 1 至 C 1 3 3 由 它 們 的 電 容 特 性 保 持 電 位 ( 雖 '—' 1 1 I 然 在 D C 方 式 下 所 有 光 電 轉 換 元 件 S 1 1 1 至 S 1 3 3 1 1 I 之 D 電 極 變 成 開 路 ) 〇 但 是 由 於 此 時 無 照 明 光 入 射 沒 1 1 訂 1 有 光 線 入 射 在 光 電 轉 換 元 件 S 1 1 1 至 S 1 3 3 上 且 沒 有 光 流 流 動 0 在 此 狀 態 如 果 照 明 光 輸 出 當 成 光 脈 衝 或 連 1 1 續 光 且 照 射 在 正 本 上 時 由 正 本 所 反 射 之 光 線 入 射 在 光 電 1 1 轉 換 元 件 S 1 1 1 至 S 1 3 3 上 〇 此 光 線 包 括 在 正 本 上 之 1 —V 影 像 之 資 訊 〇 回 應 光 線 而 流 動 之 光 流 儲 存 在 電 容 C 1 1 1 1 I 至 C 1 3 3 中 當 成 電 荷 並 且 保 持 在 入 射 光 照 射 之 後 0 1 1 I 而 後 > 當 移 位 暫 存 器 S R 1 1 施 加 Η i 控 制 脈 衝 至 控 1 1 制 配 線 g 1 1 時 , 輸 出 V 1 1 至 V 1 3 經 由 轉 換 Τ F Τ 1 1 T 1 1 1 至 T 1 1 3 和 開 關 Μ 1 1 至 Μ 1 3 而 循 序 的 輸 '1 出 以 回 應 由 移 位 暫 存 器 S R 1 2 施 加 至 控 制 接 線 S 1 1 1 1 至 S 1 3 之 控 制 脈 衝 0 相 似 的 9 在 移 位 暫 存 器 S R 1 1 和 1 I S R 1 2 之 控 制 下 其 它 的 光 訊 號 輸 出 〇 因 此 可 獲 得 在 1 I 正 本 上 之 二 維 影 像 資 訊 當 成 輸 出 V 1 至 V 9 〇 藉 由 上 述 之 1 1 本紙張尺度適用中國國家橾率(CNS > A4规格(210X297公釐) -30 - 經濟部中央標準局貝工消费合作社印装 A7 B7 五、發明説明(28 ) 操作可獲得靜止之影像。爲了獲得動態影像資訊,可重覆 上述之操作。 在此實施例中,由於光電轉換元件之G電極連接至共 同接線,且共同接線經由開關SWs和SWg控制在更新 電源V g和讀取電源V s之電位,所有的光電轉換元件可 同時切換於更新模式和光電轉換模式之間。因此,每一圖 素使用一 T F T即可獲得光學輸出而無需複雜的控制。 在此實施例中’ 9個圖素二維設置成3 X 3矩陣,而 影像拾取和顯示操作藉由在三個分時時間上,同時驅動三 個圖素而達成。但是本發明並不侷限於此種特殊之安排。 例如2 Ο Ο Ο X 2 0 〇 〇圖素亦可二維的設置在每imrri 區域有5 X 5圖素之密度下,因此可完成4 0 cmx 4 0 c m影像輸入/輸出裝置。 圖1 3和14爲具有2000x2000圖素之影像 輸入/輸出裝置之安裝狀態。例如,當欲完成具有 2 0 0 0 X 2 0 0 0圖素之影像輸入/輸出裝置時,由圖 1 0之破折線所圍繞之元件數目只需在水平和垂直方向增 加。在此例中’控制接線之數目增加至2 0 0 0 (線 gi?l至gJ22000),且訊號接線SIG之數目亦增 加至 2000 (線 sigj^l 至 sig 又 2000)。移 位暫存器SRI 1和偵測積體電路I C必需具有較大的刻 度以執行2 0 0 0線之控制和處理。如果移位暫存器和積 體電路以一晶片元件完成,此晶片之尺寸變的非常大。就 製造之產量和成本而言,此種元件是不好的。因此,關於 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(2丨〇x297公釐)~~' -31 - I J . c^訂 ( (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 293225 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、 發明説明 〔29 ) 1 I 移 位 暫 存 器 S R 1 1 > 所 1 0 0 級 形 成 一 晶 片 因 此 全 部 1 1 使 用 2 0 個 移 位 暫 存 器 ( S R 1 1 — 1 至 S R 1 1 — 2 0 1 I ) 〇 再 者 , 關 於 偵 測 積 體 電 路 每 1 0 0 個 處 理 電 路 形 成 請 1 先 1 — 晶 片 > 因 此 全 部 使 用 2 0 個 積 體 電 路 ( I C 1 至 閲 讀 1 背 I C 2 0 ) 〇 ιέ 之 1 個 晶 注 I 在 { 13,1 圖 1 3 中 > 2 0 片 ( S R 1 1 一 1 至 S R 1 1 意 事 Ί — 2 0 ) 安 裝 在 左 側 ( L ) 2 0 個 晶 片 安 裝 在 下 側 ( D 項 再 it 1 人 ) 且 每 個 晶 片 之 1 0 0 條 控 制 線 和 1 0 0 條 訊 號 線 以 接 寫 本 頁 I 線 互 相 連 接 〇 在 圖 1 3 中 由 破 折 線 所 圍 繞 之 部 份 相 當 於 在 'Sw- 1 I 圖 1 0 中 由 破 折 線 所 圍 繞 之 部 份 〇 再 者 在 圖 1 3 中 並 未 1 I 顯 示 到 外 部 電 路 之 連 接 0 再 者 在 圖 1 3 中 未 顯 示 元 件 1 1 訂 S W g S W S V g > V S R F 等 0 由 偵 測 積 體 電 路 1 I C 1 至 I C 2 0 可 獲 得 2 0 個 輸 出 ( V 0 U t ) 〇 這 些 1 1 輸 出 可 經 由 開 關 等 連 接 至 單 一 線 » 或 是 2 0 個 輸 出 可 直 接 1 1 輸 出 且 可 受 到 平 行 處 理 〇 1 1 〇.1 圖 1 4 爲 另 —· 實 施 例 〇 在 圖 1 4 中 j 1 0 個 晶 片 ( 1 I S R 1 1 — 1 至 S R 1 1 — 1 0 ) 安 裝 在 左 側 ( L ) 1 1 | 1 0 個 晶 片 ( S R 1 1 — 1 1 至 S R 1 1 — 2 0 ) 安 裝 在 1 1 右 側 ( R ) > 1 0 個 晶 片 ( I C 1 至 I C 1 0 ) 安 裝 在 上 1 側 ( U ) 9 和 1 0 個 晶 片 ( I C 1 1 至 I C 2 0. ) 安 裝 在 1 ί 下 側 ( D ) 〇 在 此 安 排 中 > 由 於 1 0 0 0 條 接 線 分 佈 至 上 1 I 下 左 右 側 ( U D i L R ) , 每 側 之 接 線 密 度 進 -- 步 降 1 I 低 且 每 側 之 接 線 結 合 密 度 亦 降 低 因 此 可 進 一 步 改 善 產 1 1 I 量 0 接 線 以 下 述 之 方 式 分 佈 線 g 3? 1 9 g 32 3 ·-* … 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) A7 B7 經濟部中央標準局貝工消费合作社印装 五、 發明説明( 30 ) 1 I S 9. 5 … … g 9. 9 9 9 分 配 至 左 側 ( L ) » 線 g il 2 , 1 1 | S 4 » S 9. 6 … … g 2 0 0 0 分 配 至 右 側 ( R ) 〇 亦 I 1 即 » 奇 數 控 制 線 分 佈 至 左 側 ( L ) 而 偶 數 控 制 線 分 佈 至 請 1 1 右 側 ( R ) 〇 以 此 種 安 排 由 於 接 線 以 相 等 的 間 隔 延 伸 和 先 閱 1 I 讀 1 1 連 接 » 其 可 免 於 以 高 密 度 集 中 > 因 此 可 進 一 步 改 善 產 能 〇 背 I 之 1 類 似 的 » 奇 和 偶 數 接 線 亦 可 分 佈 至 上 側 ( U ) 和 下 側 ( D 注 意 事 1 ) 〇 雖 然 未 顯 示 如 同 在 另 — 實 施 例 中 接 線 亦 可 以 下 述 項 再 1 填 方 式 分 佈 即 線 g 1 至 g 1 0 0 g 9. 2 0 1 至 本 頁 ’衣 I g 9. 3 0 0 … … g 8 0 1 至 g 交 9 6 0 分 佈 至 左 側 ( 1 1 I L ) 而 線 S 1 0 1 至 g 2 2 0 0 g 义 3 0 1 至 1 1 1 S SL 4 0 0 … … g 9. 9 0 1 至 S 2 0 0 0 分 佈 至 右 側 1 1 訂 ( R ) 〇 更 特 別 而 言 可 分 佈 連 續 的 控 制 線 至 每 —* 晶 片 y 1 而 連 續 控 制 線 之 組 交 替 的 分 配 至 左 和 右 側 ( L R ) 〇 以 1 1 此 安 排 晶 片 可 連 續 的 控 制 且 裝 置 之 驅 動 時 間 可 輕 易 的 V 1 1 決 定 〇 此 外 由 於 電 路 挑 需 製 成 相 當 複 雜 因 此 可 使 用 低 1 成 本 之 I C 晶 片 〇 相 似 的 接 線 可 以 晶 片 爲 單 位 連 續 的 分 1 I 配 至 上 側 ( U ) 和 下 側 ( D ) 且 由 於 可 完 成 連 續 之 處 理 1 1 | y 因 此 可 使 用 較 低 成 本 之 電 路 〇 1 1 I 在 ΓΈΠ 圖 1 3 和 1 4 中 在 由 破 折 線 所 圍 繞 之 電 路 形 成 在 ‘| 1 單 一 板 上 後 ♦ 晶 片 可 安 裝 在 板 上 或 是 相 關 於 由 破 折 線 所 1 圍 繞 之 部 份 之 電 路 板 和 晶 片 可 安 裝 在 另 一 大 板 上 〇 此 外 * 1 1 晶 片 可 安 裝 在 彈 性 板 上 » 且 此 彈 性 板 可 附 著 和 連 接 至 相 關 1 I 於 由 破 折 線 所 圍 繞 之 部 份 之 電 路 板 〇 1 I 習 知 技 藝 難 以 使 用 經 由 複 雜 處 理 而 形 成 之 光 感 應 器 以 圓 1 本紙悵尺度逋用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) -33 - B7 五、發明説明(31 ) 製造具有非常大數目之圖素之大區域影像輸入單元。但是 ,由於相關的元件可同時的使用共同線而在簡單處理中形 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 成,依照本發明之影像輸入單元之製造處理之數目相當小 。因此,可以高產量和低成本製造大區域,高效能之影像 輸入單元。由於電容和光電轉換元件可安排在單一元件中 ,實際上使用之元件數目減半,且因此可改善產量。 由上述之說明可知,本發明之光電轉換元件並不侷限 於上述之實施例中所敘述的。更特別而言,光電轉換元件 只需包含第一電極層,絕緣層用以防止電子和電洞之滲入 ’光電轉換半導體層,和第二電極層,而用以防止電洞注 入光電轉換元件之防止注入層只需呈現在第二電極層和光 電轉換元件之間。例如,防止注入層可包含有特基屏蔽層 ,其由介於半導體和電極之工作功能間之差異所形成》在 上述之說明中,電洞和電子可逆向。例如防止注入層可包 含P型層。在此例中,當其它安排部份藉由使欲施加之電 壓和電場反向而構成時,可達成和上述相同之操作。再者 ,光電轉換半導體層在入射光之下只需具有產生電子-電 經濟部中央標準局員工消费合作杜印製 洞對之光電轉換功能。光電轉換半導體層之層結構並不限 於單一層結構,其亦可爲多層結構。再者,光電轉換半導 體層之特性亦可連續的改變。 相似的,TFT只需包含閘電極,閘絕緣膜,可形成 通道之半導體層,歐姆接觸層,和一主電極。例如,歐姆 接觸層可包含P型層。在此情形中,閘電極之控制電壓可 反向,且可使用電洞當成載子。 本紙法尺度適用中國國家梂準(CNS )八4規格(210X 297公釐Ί -34 - 〜23225 A7 ——— B7 五、發明説明(32) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 再:者’絕緣基底之整個部份無需全由絕緣材料所組成 。例如,絕緣材料只沈積在導體或半導體上。在此例中, 沈積順序可反向》 相似的’電容只需包含下電極,含有絕緣層之中介層 :和上電極。例如,即使當電容並未由光電轉換元件或 τ F T特別的隔離時,電容亦可共同的使用相關元件之電 極部份。 由於光電轉換元件本身具有儲存電荷之功能,因此可 獲得一段已定時間期間之光資訊之整合值,而無需要排任 何特殊之電容。 當然,本發明並不侷限於上述之說明,其它各種之改 變和修飾亦是在本發明之精神和範圍中。 如上所述,本發明可提供一種固態影像拾取/顯示裝 置,其無需具有複雜之結構以遮蔽光,具有高自由度之設 計,具有良好的顯示特性和影像拾取特性,且可以低成本 輕易的製造,由於可保持良好的電容特性,保持電容保持 不變,而即使在影像顯示操作時,光入射在光電轉換元件 上,顯示影像亦不會受到干擾。 由於本發明之固態影像拾取/顯示裝置中之光電轉換 元件可僅藉由一防止注入層偵測入射光之量,可輕易的處 理,可改善產量,且可降低製造成本,因此可製造具有高 S/N比之低成本光電轉換裝置。由於光電轉換半導體層 並未使用隧道效應或肖持基屏蔽,因此可自由的選擇電極 材料,且絕緣層之厚度和其它控制參數皆具有高自由度。 本紙張尺度適用中國國家揉準(CNS > A4規格(210X297公釐〉 -35 — 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明(33 ) 光電轉換元件以一開關元件,例如薄膜場效電晶體( TF T)和/或同時形成之電容元件,而具有良好的匹配 特性。此外,這些元件具有相同的膜結構。因此’這些元 件可同時形成。再者,由於光電轉換元件和TFT兩者之 重要膜結構可同時的形成在單一真空狀態,光電轉換裝置 具有高的S/N比和低的成本。 本發明之影像輸入/輸出裝置包含一裝置具有二維影 像輸入單元和二維影像輸出單元之功能且位在單一表面上 .,影像處理單元用以處理由影像輸入單元輸入而來之影像 訊號,和一蓋用以保護二維影像輸入單元和二維影像輸出 單元所設置之表面,和一顯示板(例如白色記錄播放器) 設置在保護蓋之一表面上,其面對二維影像輸入單元和二 維影像輸出單元所設置之表面。因此,整個裝置相當精巧 ,且其成本可進一步降低。 由於記錄板等設置在蓋之一表面當成影像輸入表面, 寫在記錄板上之文字等可藉由覆蓋影像輸入表面而自動的 讀取,且讀取之影像資訊可在實時顯示在影像輸出表面, 藉以改善操作性》 當二維影像輸入單元和二維影像輸出單元包含可直接 顯示在影像輸出表面之可處理彩色影像,寫在記錄板上之 彩色影像時,可完成高效能影像輸入/輸出裝置。 由上述之說明可知,由於光電轉換元件和TFT可同 時形成在單一處理中,用以驅動液晶顯示以顯示影像之 T F 丁和光電轉換元件可形成在單一基底上。因此,整個 L紙張尺度逡用中國國家樣準(CNS ) A4规格(210X297公釐) I----:---.--------.-IT------( (請先閱讀背面之注意事項再填寫本瓦) -36 - 203225 A7 B7 五、發明説明(34 ) 影像輸入/輸出裝置之成本可進一步降低。 ; ; f 装 訂 ( (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度逋用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X 297公釐) -37 -

Claims (1)

  1. ABCD 203225 六、申請專利範圍 1 · 一種影像輸入/輸出裝置,其包含具有光電轉換 元件之影像輸入單元,和影像輸出單元, 其中該影像輸入單元具有光電轉換元件至少包含第— 電極層,一絕緣層用以避免第一導電型載子和與第一導電 型不同之第二導電型載子之通過,一光電轉換半導體層, 一第二電極層’和一防止注入層安排在第二電極層和光電 轉換半導體層間以防止第一導電型之載子注入光電轉換半 導體層中,這些層形成在第一基底上,和 該影像輸出單元包含一顯示元件使用第二電極層當成 電極,和計數器電極安排面_第二電極層,而該計數器電 極形成在面對第一基底之第二基底上。 2. 如申請專利範圍第1項所述之裝置,進一步包含 開關兀件在第一基底上。 3. 如申請專利範圍第1項所述之裝置,進一步包含 開關元件在該第一基底上相當於光電轉換元件》 4 ·如申請專利範圍第1項所述之裝置,其中一液晶 層形成在第二電極層和計數器電極間。 5 .如申請專利範圍第2項所述之裝置,其中該開關 元件包含薄膜電晶體。 6.如申請專利範圍第3項所述之裝置,其中該開關 元件包含薄膜電晶體。 7 .如申請專利範圍第5項所述之裝置,其中該薄膜 電晶體包含閘電極層,第二絕緣層,半導體層,第一和第 二主電極層形成在該半導體層上以由一給定間隔分離,和 本紙张尺度適用中國國家橾隼(CNS > A4規格(210 X 297公釐).- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝. 、-口 經濟部中央標準局負工消費合作社印裝 ABCD 六、申請專利範圍 歐姆接觸層形成在第一和第二主電極層之間,和該半導體 層。 8. 如申請專利範圍第6項所述之裝置,其中該薄膜 電晶體包含閘電極層,第二絕緣層,半導體層,第一和第 二主電極層形成在該半導體層上以由一給定間隔分離,和 歐姆接觸層形成在第一和第二主電極層之間,和該半導體 層。 9. 如申請專利範圍第1項所述之裝置,進一步包含 薄膜電晶體當成開關元件在第一基底上,且其中該薄膜電 晶體之閘電極層和第一電極層,形成在閘電極上之薄膜電 晶體之第二絕緣層和該絕緣層,形成在第二絕緣層上之薄 膜電晶體之半導體層和光電轉換半導體層,形成在半導體 層上之薄膜電晶體之第一和第二主電極層以一給定間隔經 由歐姆接觸層而互相分離,和該防止注入層和歐姆接觸層 分別含有共同膜。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1 0 .如申請專利範圍第1項所述之裝置,進一步包 含在影像顯示操作時用以執行驅動操作之電路,因此,第 二導電型載子填入光電轉換半導體層以保持顯示位準在第 一或第二電極層之一中。 1 1 .如申請專利範圍第1項所述之裝置,進一步包 含在影像拾取操作時用以執行驅動操作之電路,因此,回 應於入射在光電轉換半導體層上之光而產生之第一導電型 載子停留在光電轉換半導體層上,電場以吸引第二導電型 載子向著第二電極層之方向施加至光電轉換元件,和儲存 本紙張尺度適用中國國家標隼(CNS ) A4規格(210X297公釐) -分- 293225 驾 _ D8 ___ 七、申請專利範圍 在光電轉換半導體層中之第一導電型載子或吸引向著第二 電極層之第二導電型載子受偵測當成光訊號。 1 2 .如申請專利範圍第1項所述之裝置,進一步包 含一電路其中一圖素由光電轉換元件和顯示元件所形成’ 多數之圖素以一維或二維的方式安排,開關元件以圖素爲 單位連接,圖素分割爲多數之塊,和開關元件以塊爲單位 操作以獲得光訊號之偵測操作和影像顯示操作。 1 3 .如申請專利範圍第1項所述之裝置,其中該影 像輸入單元和該影像輸出單元由單一單元構成。 1 4 .如申請專利範圍第1項所述之裝置,進一步包 含一蓋用以覆蓋影像输入單元和影像输出單元》 1 5 .如申請專利範圍第1 4項所述之裝置,其中面 對影像輸入單元和影像輸出單元之蓋之表面具有記錄表面 〇 1 6 .如申請專利範圍第1項所述之裝置,進一步包 含用以儲存由影像輸入單元所輸入之影像資料之記憶。 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1 7 .如申請專利範圍第1項所述之裝置,進一步包 含影像處理電路,其根據由影像輸入單元輸入之影像資料 用以執行影像處理。 1 8 .如申請專利範圍第1 7項所述之裝置,進一步 包含用以儲存由影像處理電路所處理之影像資料之記億。 1 9 .如申請專利範圍第1項所述之裝置,進一步包 含照明裝置用以照明由影像輸入單元所輸入之正本之影像 〇 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210 X 297公釐) Ψϋ - 六、申請專利範圍 2 單元其 顯示影 ,該蓋 2 包含用2 包含影 資料用 2 包含用2 包含照 像。 0 . —種影 中影像输入 像乃整合的 具有一記錄 _- 如申請 以儲存由影 2 .如申請 像處理電路 以執行影像 3 .如申請 以儲存由影 4 .如申請 明裝置用以 像輸入/ 單元用以 安排;和 表面相關 — ~^ 專利範圍 像輸入單 專利範圍 ,其根據 處理。 專利範圍 像處理電 專利範圍 照明由影 A8 B8 C8 D8 输出裝置包含:一輸入/輸出 輸入影像和影像輸出單元用以 一蓋用以覆蓋輸入/輸出單元n m m π。 第2 〇項所述之裝置,進一步 元所輸入之影像資料之記憶。 第2 〇項所述之裝置,進一步 由影像輸入單元所輸入之影像 第2 0項所述之裝置,進一步 路所處理之影像資料之記億。 第2 0項所述之裝置,進一步 像輸入單元所輸入之正本之影 ----:---Γ--{裝-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、1Τ 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度逋用中國國家榡準(CNS ) Α4規格(210Χ297公釐) -<2/ -
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109216391A (zh) * 2018-09-11 2019-01-15 京东方科技集团股份有限公司 一种探测面板、其制作方法及检测装置

Families Citing this family (53)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SE504169C2 (sv) * 1995-02-13 1996-11-25 Sten Eric Lindquist Display kombinerad med solcell och batteri
JP3416351B2 (ja) * 1995-09-28 2003-06-16 キヤノン株式会社 光電変換装置及びその駆動方法、それを用いたx線撮像装置及びその駆動方法
JP3847889B2 (ja) * 1997-04-08 2006-11-22 キヤノン株式会社 光電変換装置
JP3805100B2 (ja) * 1997-04-10 2006-08-02 キヤノン株式会社 光電変換装置
JP4271268B2 (ja) 1997-09-20 2009-06-03 株式会社半導体エネルギー研究所 イメージセンサおよびイメージセンサ一体型アクティブマトリクス型表示装置
JP3636579B2 (ja) * 1997-11-04 2005-04-06 キヤノン株式会社 光電変換装置、光電変換装置の駆動方法及びその光電変換装置を有するシステム
CA2318395C (en) * 1998-01-27 2005-03-22 Collaboration Properties, Inc. Multifunction video communication service device
FR2776814B1 (fr) * 1998-03-26 2001-10-19 Alsthom Cge Alkatel Procede de controle d'un afficheur a cristaux liquides
JP2000131444A (ja) * 1998-10-28 2000-05-12 Canon Inc 放射線検出装置、放射線検出システム、及び放射線検出装置の製造方法
US20020121605A1 (en) * 1999-06-17 2002-09-05 Lutz Fink Semiconductor sensor and method for its wiring
DE19927694C1 (de) * 1999-06-17 2000-11-02 Lutz Fink Halbleitersensor mit einer Pixelstruktur
US7242449B1 (en) * 1999-07-23 2007-07-10 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device and integral image recognition/display apparatus
JP4181703B2 (ja) * 1999-09-02 2008-11-19 キヤノン株式会社 光電変換装置
JP2001169183A (ja) * 1999-12-08 2001-06-22 Nec Corp イメージセンサー及びイメージセンサーの駆動方法
HUP0203614A2 (en) * 2000-07-31 2003-06-28 Koninkl Philips Electronics Nv Image-sensing display device
JP3984808B2 (ja) 2000-09-07 2007-10-03 キヤノン株式会社 信号処理装置及びそれを用いた撮像装置並びに放射線撮像システム
US6774578B2 (en) * 2000-09-19 2004-08-10 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Self light emitting device and method of driving thereof
US7053967B2 (en) 2002-05-23 2006-05-30 Planar Systems, Inc. Light sensitive display
WO2003073159A1 (en) 2002-02-20 2003-09-04 Planar Systems, Inc. Light sensitive display
US7009663B2 (en) * 2003-12-17 2006-03-07 Planar Systems, Inc. Integrated optical light sensitive active matrix liquid crystal display
US7023503B2 (en) * 2002-02-20 2006-04-04 Planar Systems, Inc. Image sensor with photosensitive thin film transistors
JP2003280540A (ja) * 2002-03-25 2003-10-02 Sharp Corp 電子機器
US7184009B2 (en) * 2002-06-21 2007-02-27 Nokia Corporation Display circuit with optical sensor
JP2004138768A (ja) * 2002-10-17 2004-05-13 Sharp Corp 画像入出力装置及びその画像情報読取方法
US7219241B2 (en) * 2002-11-30 2007-05-15 Intel Corporation Method for managing virtual and actual performance states of logical processors in a multithreaded processor using system management mode
KR101017571B1 (ko) * 2002-12-16 2011-02-28 엘지디스플레이 주식회사 씨씨디 카메라 겸용 액정표시장치
US20080084374A1 (en) 2003-02-20 2008-04-10 Planar Systems, Inc. Light sensitive display
JP4055722B2 (ja) * 2003-11-10 2008-03-05 ソニー株式会社 アクティブマトリクス型有機el表示装置
KR100983524B1 (ko) 2003-12-01 2010-09-24 삼성전자주식회사 광감지 패널과, 이를 갖는 광감지 장치 및 이의 구동 방법
US20050134749A1 (en) * 2003-12-19 2005-06-23 Adiel Abileah Reflection resistant display
US7612818B2 (en) * 2004-03-29 2009-11-03 Toshiba Matsushita Display Technology Co., Ltd. Input sensor containing display device and method for driving the same
KR100992739B1 (ko) * 2004-03-31 2010-11-05 김영대 디스플레이와 동시에 촬상하는 평판 장치 및 그 방법
US7773139B2 (en) 2004-04-16 2010-08-10 Apple Inc. Image sensor with photosensitive thin film transistors
JP4498149B2 (ja) * 2005-01-17 2010-07-07 キヤノン株式会社 画像読み取り装置
KR20060108932A (ko) * 2005-04-13 2006-10-18 삼성전자주식회사 감지부를 내장하는 표시 장치 및 그 구동 방법
KR101337262B1 (ko) * 2007-02-12 2013-12-05 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치 및 그의 구동 방법
WO2010026977A1 (ja) * 2008-09-05 2010-03-11 コニカミノルタホールディングス株式会社 画像入出力装置
US20100060592A1 (en) * 2008-09-10 2010-03-11 Jeffrey Traer Bernstein Data Transmission and Reception Using Optical In-LCD Sensing
KR101020871B1 (ko) * 2008-11-27 2011-03-09 한국과학기술원 필기 입력 장치 및 이의 동작 방법
KR100980256B1 (ko) * 2008-11-27 2010-09-06 한국과학기술원 필기 입력 장치 및 이의 동작 방법
US8664548B2 (en) 2009-09-11 2014-03-04 Apple Inc. Touch controller with improved diagnostics calibration and communications support
US9310923B2 (en) 2010-12-03 2016-04-12 Apple Inc. Input device for touch sensitive devices
US9851849B2 (en) 2010-12-03 2017-12-26 Apple Inc. Touch device communication
US9329703B2 (en) 2011-06-22 2016-05-03 Apple Inc. Intelligent stylus
US8638320B2 (en) 2011-06-22 2014-01-28 Apple Inc. Stylus orientation detection
US8928635B2 (en) 2011-06-22 2015-01-06 Apple Inc. Active stylus
US9176604B2 (en) 2012-07-27 2015-11-03 Apple Inc. Stylus device
US9652090B2 (en) 2012-07-27 2017-05-16 Apple Inc. Device for digital communication through capacitive coupling
US9557845B2 (en) 2012-07-27 2017-01-31 Apple Inc. Input device for and method of communication with capacitive devices through frequency variation
US10048775B2 (en) 2013-03-14 2018-08-14 Apple Inc. Stylus detection and demodulation
US10845901B2 (en) 2013-07-31 2020-11-24 Apple Inc. Touch controller architecture
US10061450B2 (en) 2014-12-04 2018-08-28 Apple Inc. Coarse scan and targeted active mode scan for touch
US10474277B2 (en) 2016-05-31 2019-11-12 Apple Inc. Position-based stylus communication

Family Cites Families (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59158553A (ja) * 1983-02-28 1984-09-08 Toshiba Corp 光学的固体装置
JPS6191687A (ja) * 1984-10-11 1986-05-09 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体装置
JPS62172859A (ja) * 1986-01-27 1987-07-29 Canon Inc 画像読取り装置
JPS62172866A (ja) * 1986-01-27 1987-07-29 Canon Inc 画像読取り装置
JPS62198155A (ja) * 1986-02-26 1987-09-01 Matsushita Electric Ind Co Ltd 薄膜イメ−ジセンサ
JPH0670692B2 (ja) * 1988-02-21 1994-09-07 日本ビクター株式会社 光−光変換素子
JP2680002B2 (ja) * 1987-11-14 1997-11-19 キヤノン株式会社 光電変換装置
JPH0233253A (ja) * 1988-07-22 1990-02-02 Kadetsuto Kk 電子手帳
US5233442A (en) * 1989-06-07 1993-08-03 Canon Kabushiki Kaisha Photosensor and image reading device with improved correction means for signal correction and image reading method
JP2929550B2 (ja) * 1989-06-07 1999-08-03 キヤノン株式会社 光センサ及び画像読取装置
JP2911519B2 (ja) * 1990-02-06 1999-06-23 キヤノン株式会社 光電変換装置
JPH0480791A (ja) * 1990-07-23 1992-03-13 Matsushita Electron Corp 座標入力表示装置
JP2991354B2 (ja) * 1990-11-07 1999-12-20 キヤノン株式会社 画像読取装置およびそれを備えた画像情報処理装置
JPH04282609A (ja) * 1991-03-12 1992-10-07 Hitachi Ltd 超薄型入出力一体型情報処理装置
JP3135309B2 (ja) * 1991-09-27 2001-02-13 キヤノン株式会社 光電変換装置及び情報処理装置
US5313055A (en) * 1991-09-30 1994-05-17 Fuji Xerox Co., Ltd. Two-dimensional image read/display device
JPH05244346A (ja) * 1991-11-15 1993-09-21 Nec Corp 画像処理装置
DE69221443T2 (de) * 1991-12-09 1998-02-05 Sharp Kk Flüssigkristallichtventil und Informationsprozessor unter Verwendung desselben
JP2837578B2 (ja) * 1992-05-20 1998-12-16 シャープ株式会社 画像入出力装置および方法
JP3139134B2 (ja) * 1992-06-03 2001-02-26 カシオ計算機株式会社 液晶表示装置
JPH0621427A (ja) * 1992-07-03 1994-01-28 Mitsubishi Electric Corp 光電変換装置
US5340978A (en) * 1992-09-30 1994-08-23 Lsi Logic Corporation Image-sensing display panels with LCD display panel and photosensitive element array
US5331434A (en) * 1992-10-27 1994-07-19 Cordata, Inc. Integral computer scanning system
JP2774424B2 (ja) * 1992-12-07 1998-07-09 シャープ株式会社 画像入力一体型表示装置
JPH06347827A (ja) * 1993-06-07 1994-12-22 Hitachi Ltd 液晶表示装置およびその製造方法
US5591963A (en) * 1994-08-22 1997-01-07 Canon Kabushiki Kaisha Photoelectric conversion device with dual insulating layer

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109216391A (zh) * 2018-09-11 2019-01-15 京东方科技集团股份有限公司 一种探测面板、其制作方法及检测装置
US10871582B2 (en) 2018-09-11 2020-12-22 Beijing Boe Optoelectronics Technology Co., Ltd. Detection panel, manufacturing method thereof and detection device

Also Published As

Publication number Publication date
KR100233320B1 (ko) 1999-12-01
DE69521088T2 (de) 2001-10-31
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DE69521088D1 (de) 2001-07-05
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US5812109A (en) 1998-09-22

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