JPS59158553A - 光学的固体装置 - Google Patents

光学的固体装置

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JPS59158553A
JPS59158553A JP58032430A JP3243083A JPS59158553A JP S59158553 A JPS59158553 A JP S59158553A JP 58032430 A JP58032430 A JP 58032430A JP 3243083 A JP3243083 A JP 3243083A JP S59158553 A JPS59158553 A JP S59158553A
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layer
film
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transistor
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田屋 明
Nozomi Harada
望 原田
Yasuhisa Oana
保久 小穴
Keisuke Ogi
小木 恵介
Koji Izawa
井沢 孝次
Masanori Sakamoto
正典 坂本
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、表示、撮像及びハードコピーの3つの機能を
備えた光学的固体装置に関する。
〔発明の技術的背景とその問題点〕
従来、表示するだけ、撮像するたけ或いはハードコピー
を得るたげの機能を満足する装置は各l′r+i実用化
されているが、これら3つの機能を兼ね備えた装置は未
だ実用化されてぃない。また、表示装置においては、C
RTのように表示面以外が大部分を占めるものではなく
、小型軽量化の必要性から薄い基板上に表示回路を形成
したパネル・ナイスプレイが最も擬木されている。した
がって、1枚のパネルで上述した3つの機能ケ夾現でき
る装置が得られるならば、その装置は従来のものと比し
て小型化、軽量化及びローコスト化が可能になると考え
られる。
しかしながら、1枚のパネルにおいて前記3つの機能を
それぞれ独立したセルで個別に実現しようとすると、そ
のパネルは製造技術上大幅な高密度化が必俄となり、実
貿的に製造困難である。さらに、それぞれの機能を別々
のパネルで実現する以上の難しさがあり、実用的でない
〔発明の目的〕
本発明の目的は、1つのセルに3つの機能を持たせて表
示、撮像及びハードコピーを行うことができ、小型化、
軽量化及びローコスト化をはかり得る実用性大なる光学
的固体装置を提供することにある。
〔発明の概髪つ 本発明の骨子は、スイッチング・マトリックス液晶表示
装置の一画素とほぼ同等の構造を有するものを基本構成
とし、その基板として裏面に無反射膜を設けた透明基板
を用いると共に、)・ランジスタのチャネル部分やコン
デンサの訪電層等の材料を光導電膜で形成づ−ることに
より、1つのセルに衣4り、撮像及びハードコピーの3
つの機能を持たせることにある。
すなわち本発明は、透明裁板の1吋側に設けられそのゲ
ートをアドレス線4′C接教[−されると共に、そのソ
ースをデータ線に接続されたMOSトランジスタと、上
記基板の上面側に設けられその一方の電極を上記トラン
ジスタのドレインに接にされたコンデンサと、上記トラ
ンジスタ及びコンデンサの上面側に透明絶縁層を介して
被着され土i己ドレインに接続された不透開場体層、該
導体層上に形成され電圧開力1」により光の透過率が可
変する表示材料層及び該相料層上に破着された透明導体
層からなる表示用セルと、前記蒸機上面側からの光を基
板上面側に入射せしめる窓部と、前記基板の下面に被屈
された反射防止膜とを具備してなり、前記トランジスタ
のチャネル部分及び前記コンデンサの誘′亀層の少なく
とも一方を光導電膜で形成し、かつ前記トランジスタ、
コンデンサ、表示用セル及び窓部からなる1鍾セルを前
1ピ基板上に例えばマトリックス配置するようにしたも
のである。
〔発明の効果〕
不発明によれば、前記アドレス線及びデータ線の選択に
より加窒の固体セル・の表示用セルを駆動し、これによ
って通常の液晶表示装置と同様に伸1像表示を行うこと
ができる。また、表示用セルの表示材料層を透明にした
状態で、基板の下面側に被写体を配置すると共にiIJ
記窓部を介して基板の上面側から下面側]に光を入射せ
しめることによ1″)、被、写体の入射光による反射像
を前記トランジスタのチャネル部分や前記コンデンサの
h5電崩等で受光し、これにより生じたコンデンサの電
極間電位変化分を検知することニヨッて被写体の撮像を
行うことができる。さらに、所望の同体セルの表示用セ
ルを、・駆動して画像表示を行った状態で、基板の下面
側(て感光紙を配置すると共に、基板の上面側に光を均
一照射することにより、表示用セルの表示材料層で透過
率変調された光を感光紙に照射せしめ、これによって上
記表示画像のハードコピーを得ることができる。
コノヨうに表示、撮像及びハードコピーの3つの機能を
実現することができ、装置構成の小型軽量化をはかり得
、かつローコスト化にモ有効である。そしてこの場合、
上記3つの機能を1つの固体セルに持たせることができ
、さらに固体セルの構造を比較的簡易なものとすること
ができるので、製造技術上の四点がら見ても十分に実用
性の高いものである。
〔発明の実施例〕
第1図は本発明の第1の実施例に係わる光学的固体装置
の一画素構成を示す等価回路図である。M OS )ラ
ンジスタIのゲート2はアドレス線3に接続され、ソー
ス4はデータ線5に接続され、ざらにドレイン6は液晶
材料からなる液晶セル(表示用セル)7とデータ線5か
ら注入された信号′亀荷を注入するためのコンデンサ8
に接続されている。そして、この一画素部分9は第2図
に示す如く、バネ/I/lo上にマ)リツクス状に多数
個配列されるものとなっている。
ここで、上記第1図の等価画路は周知のスイッチング・
マトリックス液晶表示装置の一画素回路と同じである。
本実施例装滌がスイッチング・マトリックス液晶表示装
置と異なる点は、前占弓コンデンv8の誘電層を高抵抗
光導電膜で形成すると共に該光導電膜に元を照射できる
構造とし、さら髄液晶セルを通過した光を外部に導光で
きる補遺としたことにある。
このような構造で、画像表示を行うには、光がコンチン
′(78の誘電層に入射されない状態とし、アドレス線
3及びデータ線5の選択により所望の液晶セルフを、駆
輩fずればよ(・。これば、通常の液晶表示装置と同じ
操作である。また、撮像を行うに目1、まずデータ線5
かも前記液晶セルフとコンデンサ8との接続端子Pに所
定のリセット電圧を印加し、その後トランジスタIを任
意の期間OFFして端子Pを電気的にフローテインク状
態とする。この状態で被写体からの反射光をコンデンサ
8の誘電層に入射させると、該誘電層に形成された照射
光量に比例した電荷が端子PK圧注入れ、端子Pの電位
は入射光廠に依存、して変化する。この変位電位を検出
すれば、入射光信号の検出が町nQとなり、被写体の撮
像が口」能である。一方、ハードコピ〜を行うには、前
記画像表示を行ったん、態で液晶セルフに光を照射し、
液晶セルフをブ「した光を感光紙に入射ずればよい。
次(lて、@記−画素に相当1“る固体ヤルの具体的構
造を説明する。第3図は土ぎd+セル造を示す断面図で
・あり、第4図(a)〜(C)閣−その製造工程を示す
断面図である。まず、第4図(a)に示す如くカラス基
板(透明基板)11上K Mo +A1等からなる第1
の導体膜12を選択形成し、全面にCVth、)〜Si
n、膜からなる透明な第1の杷叙膜ノ3を被熱した。こ
こで、導体膜12はAfJ記トランジスク1ノ)ゲート
2をなすものであり、絶縁膜13はトランジスタノのグ
ーl−酸化膜をなずものでぬる。1次いで、第4図(b
)に4くす如く絶縁膜13上K In2O3のような透
明導体からなる第2の導体膜14を選択形成しプζ。こ
こで、導犀膜14は前記コンデ:/す8の一力の電極を
なすものである。続いて、全面に光導電性を1する高抵
抗のアモルファスSi膜(光導電膜)を被通し、その後
このS1換をバクーコンデして該S1膜を前記第1及び
第2の、!4体膜12.14上に残存せしめた。これに
より、トランジスタ1のチャネル部分15及びコンテン
サ80肪電層16を形成した。
次いで、第4図(C)に小す如く全面に導体膜な被着し
、この導体膜をバクーコンデして第3の導体膜17a 
、Z7bを形成すると共に光透過用の紀1の窓部18を
形成した。ここで、導体膜17aは自−1,」己データ
線5に接続され、i有り己ゲート2をなず躬1の導体膜
12は前記アドレス線3に接続されろものとなっている
。導体膜17bは前記コンデンサ8の他方の電極をなす
ものである。また、チャネル部分15及びゲート12等
からなるMOS)シンジスタ1は、薄膜に形成した所謂
スタガードタイツの薄膜トランジスタである。なお、第
4m(c)中19a。
z9b、i9cは、m体膜とアモルファスs1膜との接
触抵抗を下けるためのオーミック鳩をそれぞれ示してい
る。
次いで、第゛4図(d)に示す如く全面に透明桐料から
・なる第2の絶縁膜(透明絶縁r=)19を被着し、こ
の絶に膜I9の前記第3の電倹17b上にコンタクトホ
ール2θを形成した。続いて、第4図(e)に示す如く
全面に泥4の導体層(不透明導体層)22を被着し、こ
の導体膜21に光透過用の第2の窓部22を形成した。
ここで、導体膜Z1は前記液晶セルフの−カの電極をな
すものである。これ以降は、通常の液晶表示装置と同様
に、第3因に示すように第1配向層23、液晶層(表示
材料層)24、第2配向層25、第5の導体膜(透明導
体層)26・カラス仮27及び偏光層28を上記順に積
層形成し、さらに基板IIの下面に光学的反射防止膜2
9を被着することによって、固体セルが得られる。
かくしてイ網られた固体セルは前記第2図に示した一画
素9に相当し、基板ll上にマトリックス配置されるも
のとなっている。なお、第3図中30は基板11の下面
に密着若しくは近接配置される被写体を示している。
仄に、上記禍造の固体セルをマトリックス配置してなる
本装置の作用について説明する。
ます、撮像を行う場合、前記第3図に示す如く文字や数
字等が書かれた紙等の被写体30をガラス基板11の下
面に密着配置する。この状態で基板11の上面側に光を
照射すると、前記窓部18.22から基板ll内に光が
入射する。
この入射光(図中1点鎖線Qで示す)は基板IIの下面
に密着配置した被写体3θで反射され、その反射光(図
中1点鎖線几で示す)が前記第1の絶縁膜13及び第2
の導体膜Z4を通過してコンデンサ8の誘電層16であ
るアモルファスSi  膜に照射される。そして、誘電
層16内には上記反射光量に応じた電子及び正孔対が形
成される。ここで、予めトランジスタ1をONしておき
、液晶層24として例えはゲストポス)(GH)型を用
いるならば、前記フローティング端子Pである第3の導
体膜17bに6(■)程度の電圧を印加し、以後伯号電
荷蓄積期1南中はトランジスタlを(JFFにする。こ
の状態で液晶層24は透明になっており、前記第2の導
体膜I4を0(v)付近に設定しておけば、第3の導体
膜J7b[は電子が注入され信号電荷として蓄積される
。さらに、正孔は第2の導体層14を流れ外部に除去さ
れる。そして、第3の導体膜77bの電位は注入電荷加
に応じて下がる。
ここで、第3の導体膜17b[i人された信号電荷量は
、信号電荷蓄積期IHJ中ににける被写体30かもの反
射光量に依存する。被写体30かもの反射光量は、被写
体30に簀かれた文字や数字等の画像情報に依存する。
このため、第3の導体N 77 bに注入された信号電
荷量は被写体30の画像情報に対応するものとなり、導
体膜17b′亀位減小分も上記画像情報に対応するもの
となる。したがって、(i号電荷蓄積期間終了後、トラ
ンジスタlをONLで新たにプリセント電圧を第3の導
体膜Z7bに印加し、このとぎデータ@5に流れる充電
真流を検出ずれは、前記画像情報を電気的に検出できる
ことになる。つまり、被写体30を撮像することが可能
となる。
また、画像表示を行う場合は、前記被写体3Qをカラス
基板11の下面から取り除く。この場合、カラス基板1
1の下面に反射防止膜29が存任することから、前記入
射光Qは基板下面で反射することな(基&1]の下方に
透過する。第3図中30Sで示しているのがこの透過光
である。このため、前記反射光Rがコンデンサ8の誘電
層16に入射することはない。さらに、カラス基板II
の下面側に例えは光吸収の大きな部材を配置することに
よって、透過光Sの基板1ノへの再入射も阻止できる。
したがって、この状態では前記アドレス線3及びデータ
線5の選択により所望の固体セルの液晶セルフに表示I
l?3号電圧を印加することによって、画像表示を行う
ことができる。
一方、ハードコピーを行う場合、画像表示モード、つま
り液晶セルフにFft望の画像を表示した状態で、前記
被写体30の代りに感光紙をガラス基板1ノの下面に密
層配置する。この状態でカラス基板11の上面側に一様
光を照射すると、液晶セルフ及び前記窓部22,1Bを
介して基板lI内に光が入射し、この入射光Qが感光紙
に照射されることになる。ここで、液晶層24を通過し
た光は液晶セル7の表示11作モードに従いその強度が
可変する。すなわち、前記入射光Qは液晶セルフの表示
動作モードに応じて光透過早変調されたものとブ工す、
この光透過早変調された入射光Qが感光紙に照射される
したがって、感光紙を現像・定着させると前記液晶セル
フに表示されたパターンのノ・−トコピーが狗らiする
。すなわち、プリンティングを行うことができる。
このように本装置では、基本的な一画累等価回路として
は液晶表示装置のものと同様であるにも拘らず、表示は
勿論のとと撮像及びハードコピーを行うこともできる。
すなわち、本装置は従来の崖なるディスプレイ・パネル
ではな(、ディスプレイ、イメージング及びプリンティ
ングの機能を備えたDI P (Display a 
Imaging 争Prinjipg )  パネルで
ある。そして、1)−i−P 機能をそれぞれ独立に、
またDと1の如(2つの機能を紹み合わせて使用するこ
ともできる。また、1つの固体セルの集積度が従来の液
晶表示装置の・一画素分と略同程度でよく、さらに該セ
ルの製作7も現在の半導体製造技術から容易であること
から、本装置は十分に実用性の高いものである。
第5図は第2の実施例の概略構造を示す断面囚である。
なお、第3図と同一部分には同一符号を伺して、その詳
しい説明は省略する。このこの実施例が先に説明した第
1の実施例と異なる点は、2次元レンチキン−レンズを
設けたことにある。すなわち、ガラス基板11の下面に
は、基板ll上の各画素40..402−40n  K
対応して2次元レンチキラーレンズ4)が設けられてお
り隻反射防止膜29はレンズ41の下面に被着・されて
いる。そして、前記被写体3oからの反射光はレンズ4
ノの各セル411+ 4721〜41nにより集束され
、該セルに対応する画素” + + 402、〜40■
1に入射するものとなっている。
なお、画素4J、402r〜40n  はそれぞれ前記
固体セル1個に相当するもので、前記導体膜12.14
,17a、17b、絶縁膜13゜19、チャネル部分1
5及び誘電層16等から構成されている。また、実際に
は前古と導体膜22.26、配向層23.25及び偏向
眉28等も必要であるが第5図では省略している。
このような構成であれは、ガラス基板1ノが厚いもので
あっても、被写体3oかもの反射光の拡散を防止するこ
とができ、反射光拡散に起因する解像度易化を未然に防
止できる。また、2次元レンチキラーレンズ41の使用
により、被写体30をガラス基板1ノの下面に密着させ
なくても解像度低下が生じることはない。このことは、
被写体3oとしての紙のしわや曲がり等に起因1−るボ
ケ発生の防止に有効である。つまり、被写体30とガラ
ス基板1ノとの距離を、2次元レンチキラーレンズ4ノ
の焦点深度内に収めれば、十分なる解像度で撮像を行う
ことができる。なお、レンズ41の各セ/I/4111
412 r〜、42nの曲率は、ガラス基板11の板厚
や画素ピッチ等の条件に応じて適宜定めればよい。
また、先の第1の実施例と同様の効果も得られるのは勿
論のことである。
第6図は第3の実施例の概略構造を示す断面図1である
。なお、第3図及び第5図と同一部分には同一符号を付
して、その詳しく説明は省略する。この実施例が先の第
1の実施例と異なる点は、前記ガラス基板1ノの代りに
オグテヵル・ファイバ・グレート42を用いたことにあ
る。
オプチカル・ファイバ・プレート42は、前記画素ピッ
チと同じ直径のオプチカル・ファイバ42□、422〜
42n  を束ねて板状にしたものであり、谷オグチカ
ルーファイバ42.,422〜42nが前at画素4θ
l+402〜4θ11に1:1で対応するものとなって
いる。
−このような構成であれば、被写($3Oかもの反射光
は、周辺画素に拡¥1されることなく入射したファイバ
に対応する画素のみに到達することになる。したがって
、先の第2の実施例と同様の効果が得られる。また、万
グチカル・ファイバ・フレート42と被写体3θとの距
離をファイバ42..422〜42nの直径の1膜2程
度離しても、解像度低下は殆んど問題とならなかった。
第7図は第4の実施例の概略構造を示す断面図である。
なお、第3図及び第5図と同一部分には同一符号を何し
て、その詳しい説明は省略する。この実施例は、2イト
ペンによる画像入力に関するものである。])IPパネ
ルの構成は第1の実施例のものと同様である。
通常のライトペンは、その内部に受光素子を備え、表、
示市内を順次発光している光信号を受光してその時i’
iijからアドレス場所を検知している。このようなラ
イトペンでは、フレーム表示周期時間+1画素発光期間
等が長くなると、表示面上に人間が文字等を1.き込む
場合、ペン移動をある程度鉾<巳なげればならないので
非常に使いづらい。また、表示材料自材にメモリ機能が
あると、上記のようなライトペンの使い方は困難である
これに対し本実施例では、ライトペン3ノは光源32乞
備えている。この光源32は指向性を持つものが望よし
く、例えは牛導体レーザ素子から形成されている。また
、前記被写体30の代りには、白色系の紙等からなる反
射体33をカラス基&lIの下面に密着配置しておく。
このような状態でライトペン3Iを移動させると、ライ
トペン31かもカラス基板11内に入射した入射光は基
板下面の反射体33で反射され、その反射光がルテ定の
両系に照射される。
ここで、各画素4θI+402〜40 nを構成する固
体セルの受光部は次の胱出し時点まで1ぎ号電荷を蓄積
する蓄積型であるため、各画素40.,402〜40L
1にはその人創光届二に依存した1フレ一ム期間積分し
た48号が蓄積される。したがって、ライトペン31の
光源32の元光強度を適切に?filJ徊jしておけは
、ライトペン31を速く移動さ七てもライトペン3ノの
移動軌跡、つまり画像情報を検力J−J−ることかでS
る。なお、前記反則体33としてはライトペン31の光
源32の発光波長だけをより強く反射するものが好まし
い。
この場合、外光1ン・らのθ圧れによる影響を軽減させ
ることかり能である。
なお、本発明は上述した各実施レリに限定されるもので
はない。6例えばilE’−1記コノナンサの誘箱5層
としてのアモルファスS1  腋は、1島抵抗を得るた
めにアモルファスS1膜のP−i 構造としてもよい。
さらに、アモルファスSl膜の代りには、光導電性を長
っ光導を膜であれは用いることかできる。また、コンデ
ンサの評電層の代りに前hピM OS トランジスタの
チャネル部分を光導電膜で形成することも可能である。
この場合、透明基板下面からの反射光が上比チャネル部
分に入射する構造とづ−ると、チャネル部分に形成され
たギヤリアのエレクトロンがコンデンサに蓄積されるこ
とになり、コンデンサの誘電J曽を光導電膜で形成した
のと同様な効果が得られる。さらに、上配誘電層及υ・
チャネル部分を光導電膜で形成1−ることにより、撮像
感度の同士をはかることも可能である。また、トランジ
スタ及びコンデンサの構造は前記第3図に限定されるも
のではなく、仕様に応じて適宜変更ずればよい。
また、Mi+紀表示用セルの表示材料層は液晶に限るも
のではなく、1;圧印加によりその光透過率が可変する
ものであればよく、例えはエレクトロクロミック材料を
用いてもよい。さらに、前記配向層、偏光層、カンヌ板
及び表示セル用導体層のhη成や材料等も何ら実施例に
限定されるものではなく、仕様に応じて、4宜変更呵能
である。その他、本発明の散財を逸脱しない範囲で、神
々変形して実施することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図乃至第4図(a)〜(e)はそれぞれ本発明の第
J−の実施例に係わる光学的固体装動を説明1”るため
のもので81図は一画累(φを成を示1−等価回路図、
第2図は」81シ一画素の配列jL1.−態を示1一平
面図、第3図1&ま土配−画素に対応′1−る固体セル
構造を示す断面図、第4図(a)〜(e)は上記固体セ
ルの製造工程を示す断i1+J図、第5図は第2の実施
例のa陥構造を示すEioI7図、第6図むま第3の実
施例のJd略構造を示1゛断面図、第7図は第4の実施
例の棚略構造を示−J−uJ(面図である。 l・・・M OS l−ランジスタ、2 ダート、3・
アドレス線、4 ンース、5 データ届で、6 ・ドレ
イン、7・・液晶セル(表示用十ル)、8・・−コンデ
ンサ、9,40..402−40n=一画素、10・・
・パネル、11・・カラス幕板(,12)i明基叡)、
12・・第1の導体膜、13・第1の絶縁膜、14・・
第2の導体膜、15・・・チャネル部分、16・誘電層
、17a、17b・・・第3の導体膜、18 、22 
 窓部、19・・・第2の絶縁膜(透明絶縁層)、2ノ
・・・第4の導体膜(不透明導体層)、23.25・・
1己同層、24・・・液晶(表示制料層)、26・・第
5の導体膜(透明導体層)、27・・カラス板、28・
偏向崩、29・・・反射防止膜、30・仮写体、31・
°・ライトペン、32・・・光源、4ノ 2仄元レンチ
キラーレンメ、42−・オプチカル・ファイバ・グレー
ト。 lii願人代絆人 弁理士  鈴 江 武 彦第4図 第7図 第1頁の続き 0発 明 者 井沢孝次 川崎市幸区小向東芝町1番地東 京芝浦電気株式会社総合研究所 内 0発 明 者 坂本正典 川崎市幸区小向東芝町1番地沖 京芝浦電気株式会社総合研究所

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)透明基板の上面側に設けられそのゲートをアドレ
    ス線に接続されると共に、そのソースをデータ線に接続
    されたhiO8)ランジスクと、上記基板の上面側に設
    けられその一方の電極を上記トランジスタのドレインに
    接続されたコンデンサと、上記トランジスタ及びコンデ
    ンサの上面側に透明絶縁層を介して板層され上記ドレイ
    ンにf&糾された不透明導体層、該導体層上に形成され
    電圧印加により光の透過率か可変する表示材料層及び該
    材料層上に被着された透明導体庖からなる表示用セルと
    、前記基板上面側からの光を基板下面側に入射せしめる
    窓部と、前記基板の下面に被着された反射防止膜とを具
    備し、前記トランジスタのチャネル部分及び前記コンデ
    ンサの誘′亀壱の少なくとも一方を光尋′亀膜で形成し
    てなり、かつ前記トランジスタ、コンデンサ、表示用セ
    ル及び窓怖かもなる固体セルを前記基板上に複叡1固良
    :!良してなることを特徴とする光学的固体装置。
  2. (2)前記へ108トランジスタは、透明導体から7よ
    るゲートを前記基板側に配置され、チャネル部分をアモ
    ルファスS1膜で形成されたものであることを特徴とす
    る特許請求の範囲第1狽記載の光学的固体装置。
  3. (3)  Af前記コンデンサは、透明導体からなる一
    方の′屯1へを前記基板側に配置され、誘電層をアモル
    ファスSIで形成されたものであることを特徴とする特
    許請求の範囲第1項記載の光学的固体装置。
  4. (4)前記表示用セルの表示材料層を1、液晶からなる
    ものであることを特徴とする特¥1請求の範囲第1項記
    載の光学的固体装置。
  5. (5)前記基板は、その下面にレンチキシ−レンズが形
    成さi−tだものであることを特徴とする特許請求の範
    囲第1項記載の光学的固体装置。
  6. (6)  前記基板は、オグチヵル・ファイバ・プレー
    トからなるものであることを特徴とする特F1M求の範
    囲第1項記載の光学的固体装置。
  7. (7)前記テーク線より任意の表示信号電圧を印加せし
    めて前記表示材料層の透過率を変調せしめ、次に前記基
    板裏面に接するか、又は近接して感光紙を設け、前記デ
    ータ線側より光照射せしめる動作を有することを特徴と
    する特許請求の範囲第1項記載の光学的固体装置。
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62240935A (ja) * 1986-04-14 1987-10-21 Seiko Epson Corp 空間光変調器
JPS63313132A (ja) * 1987-06-16 1988-12-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd 反射型液晶表示デバイス
JPS6462980A (en) * 1987-09-02 1989-03-09 Sharp Kk Two-dimensional contact type image sensor
JPH02246272A (ja) * 1989-03-20 1990-10-02 Hitachi Ltd 二次元ホトセンサアレイ
EP0698924A1 (en) 1994-08-23 1996-02-28 Canon Kabushiki Kaisha Image input/output apparatus
US6295390B1 (en) 1994-08-23 2001-09-25 Canon Kabushiki Kaisha Image input/output apparatus with light illumination device for two-dimensional illumination
US8973507B2 (en) 2009-03-17 2015-03-10 Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. Bogie for guide rail type vehicle

Families Citing this family (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4603356A (en) * 1984-03-19 1986-07-29 Energy Conversion Devices, Inc. Imaging system with light valve and photodetector
US4698627A (en) * 1984-04-25 1987-10-06 Energy Conversion Devices, Inc. Programmable semiconductor switch for a light influencing display and method for making same
US4824208A (en) * 1984-08-28 1989-04-25 Talig Corporation Display for contrast enhancement
US4917474A (en) * 1984-09-10 1990-04-17 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Optoelectronic panel and method of making the same
JPH0691252B2 (ja) * 1986-11-27 1994-11-14 日本電気株式会社 薄膜トランジスタアレイ
JPH0786615B2 (ja) * 1987-10-06 1995-09-20 日本電気株式会社 液晶ライトバルブ
EP0376648B1 (en) * 1988-12-26 1994-05-25 Sharp Kabushiki Kaisha A liquid crystal display apparatus
US5051570A (en) * 1989-01-20 1991-09-24 Nec Corporation Liquid crystal light valve showing an improved display contrast
US5339090A (en) * 1989-06-23 1994-08-16 Northern Telecom Limited Spatial light modulators
GB8914453D0 (en) * 1989-06-23 1989-08-09 Stc Plc Spatial light modulators
US5359440A (en) * 1989-10-23 1994-10-25 Sharp Kabushiki Kaisha Image display apparatus with microlens plate having mutually fused together lenses resulting in hexagonal shaped microlenses
JPH03248125A (ja) * 1990-02-26 1991-11-06 Sharp Corp 液晶表示素子
US5150238A (en) * 1991-03-04 1992-09-22 Nview Corporation Active matrix lcd projection system with anti-reflective characteristics
JP2837578B2 (ja) * 1992-05-20 1998-12-16 シャープ株式会社 画像入出力装置および方法
US6262784B1 (en) * 1993-06-01 2001-07-17 Samsung Electronics Co., Ltd Active matrix display devices having improved opening and contrast ratios and methods of forming same and a storage electrode line
US5541751A (en) * 1992-12-11 1996-07-30 Sharp Kabushiki Kaisha Light scan type display device having light waveguides and photo conductive switching elements
US5493986A (en) * 1993-05-13 1996-02-27 Augusto; Carlos J. R. P. Method of providing VLSI-quality crystalline semiconductor substrates
KR970011972A (ko) 1995-08-11 1997-03-29 쯔지 하루오 투과형 액정 표시 장치 및 그 제조 방법
JP3604106B2 (ja) * 1995-09-27 2004-12-22 シャープ株式会社 液晶表示装置
JP3209317B2 (ja) * 1995-10-31 2001-09-17 シャープ株式会社 透過型液晶表示装置およびその製造方法
JP4013293B2 (ja) * 1997-09-01 2007-11-28 セイコーエプソン株式会社 表示装置兼用型イメージセンサ装置及びアクティブマトリクス型表示装置
US6587097B1 (en) 2000-11-28 2003-07-01 3M Innovative Properties Co. Display system
JP3880356B2 (ja) * 2000-12-05 2007-02-14 キヤノン株式会社 表示装置
US20020189535A1 (en) * 2001-06-14 2002-12-19 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Method for manufacturing semiconductor crystal film

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA1041643A (en) * 1974-05-10 1978-10-31 Xerox Corporation Imaging system
JPS5670530A (en) * 1979-11-15 1981-06-12 Seiko Epson Corp Liquid crystal panel
JPS5685792A (en) * 1979-12-14 1981-07-13 Citizen Watch Co Ltd Liquid crystal display unit
JPH0712210B2 (ja) * 1982-06-02 1995-02-08 株式会社日立製作所 撮像表示装置

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62240935A (ja) * 1986-04-14 1987-10-21 Seiko Epson Corp 空間光変調器
JPS63313132A (ja) * 1987-06-16 1988-12-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd 反射型液晶表示デバイス
JPS6462980A (en) * 1987-09-02 1989-03-09 Sharp Kk Two-dimensional contact type image sensor
JPH02246272A (ja) * 1989-03-20 1990-10-02 Hitachi Ltd 二次元ホトセンサアレイ
EP0698924A1 (en) 1994-08-23 1996-02-28 Canon Kabushiki Kaisha Image input/output apparatus
US5812109A (en) * 1994-08-23 1998-09-22 Canon Kabushiki Kaisha Image input/output apparatus
US6295390B1 (en) 1994-08-23 2001-09-25 Canon Kabushiki Kaisha Image input/output apparatus with light illumination device for two-dimensional illumination
US8973507B2 (en) 2009-03-17 2015-03-10 Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. Bogie for guide rail type vehicle

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US4534622A (en) 1985-08-13
DE3382182D1 (de) 1991-04-04
EP0117957A2 (en) 1984-09-12
EP0117957A3 (en) 1987-01-14

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