TW202124981A - 振動裝置、搬送系統及搬送方法 - Google Patents

Abstract

振動裝置，具備：振動板，具有：第一表面，配置有對象物；以及在該第一表面相反側的第二表面；基座，與該振動板相距固定間隔來配置；揚聲器，具有：面對該第二表面的振動部；以及框架，連接於該基座；以及傳達部件，將該揚聲器的振動傳達到該振動板。

Description

振動裝置、搬送系統及搬送方法

本發明是關於一種振動裝置、使用該振動裝置的搬送系統及搬送方法。

以往，電子零件中會進行電性測試。為了進行電性測試，需要將電子零件配備於適合測試的姿勢上，但可能會出現在檢測台上電子零件雜亂的狀態下的進料現象。因此，在測試前需要將電子零件正反面翻轉或旋轉電子零件，來改變電子零件姿勢的程序。

［先前技術文獻］ ［專利文獻］ ［專利文獻1］特開平9-77230號公報 ［專利文獻2］特開2009-120397號公報

[發明所欲解決的問題] 為改變電子零件姿勢，我們可以使用已知的圓盤式給料機。使用圓盤式給料機的機構，藉由將振動作為動力源的電動機的運轉引起的偏心振動傳遞到圓盤上，使其圓盤振動，利用該振動使圓盤內的電子零件的正反面反轉或旋轉。

但是，如果是使用圓盤式給料機的機構，需要準備對應電子零件的尺寸或形狀的圓盤，而且更換圓盤和更換後的裝置調整是一項耗費成本。再者，圓盤本身是經過精密加工的訂製品，所以圓盤是一個非常昂貴的部件。

本發明的目的之一是提供一種振動裝置、使用該振動裝置的搬送系統及搬送方法，難以受到電子零件的尺寸或形狀影響，且可使電子零件改變成想要的姿勢。

[解決問題的手段] 關於本發明的振動裝置，具備：振動板，具有：第一表面，配置有對象物；以及在該第一表面相反側的第二表面；基座，與該振動板相距固定間隔來配置；揚聲器，具有：面對該第二表面的振動部；以及框架，連接於該基座；以及傳達部件，將該揚聲器的振動傳達到該振動板。

在該振動板與該基座之間，也可以更具備：彈性部件，支撐該振動板。

該基座具有開口部；該傳達部件也可以通過該開口部，接觸該振動板的該第二表面。

關於本發明的搬送系統，具備：該振動裝置；以及傳送裝置，搬送配置在該振動板的該第一表面的對象物。

該搬送系統，也可以更具備：攝影機與控制裝置。該控制裝置也可以具有：成像裝置，以該攝影機拍攝該第一表面上的指定區域；圖像識別裝置，根據拍攝到的圖像，辨識該指定區域內的該對象物的狀態，並識別該對象物是第一狀態及第二狀態中的任一者；以及搬送控制裝置，使識別為該第一狀態的對象物搬送到該傳送裝置。

該控制裝置也可以具有：振動控制裝置，在該指定區域內沒有該第一狀態的該對象物，而有該第二狀態的該對象物時，將用來使該振動部振動的訊號輸出至該振動裝置。

該第一狀態是該對象物的指定表面朝向該第一表面的上方的狀態；該第二狀態也可以是與該對象物的該指定表面不同的表面朝向該第一表面的上方的狀態。

關於本發明的搬送方法，其步驟包含：配置程序，配置複數個對象物在振動板的第一表面，其中該振動板具有第一表面以及在該第一表面相反側的第二表面；搬送程序，從該第一表面搬送在前所述第一表面所配置的第一狀態的該對象物；以及振動程序，藉由揚聲器使該振動板振動，將在第一表面所配置的該第二狀態的該對象物轉變成該第一狀態，其中該揚聲器具有面對該第二表面的振動部。

該搬送方法，也可以更包含：拍攝程序，以攝影機拍攝該第一表面上的指定區域；以及 圖像識別程序，根據拍攝到的圖像，辨識該指定區域內的該對象物的狀態，並識別該對象物是該第一狀態及該第二狀態中的任一者。在該搬送程序中，也可以從該第一表面搬送識別為該第一狀態的該對象物。

該搬送方法也可以在該指定區域內沒有該第一狀態的該對象物，而有該第二狀態的該對象物時，執行振動程序。

在該搬送方法的該第一狀態是該對象物的指定表面朝向該第一表面的上方的狀態； 該第二狀態也可以是與該對象物的該指定表面不同的表面朝向該第一表面的上方的狀態。

[發明效果] 根據本發明，可提供一種振動裝置、使用該振動裝置的搬送系統及搬送方法，難以受到電子零件的尺寸或形狀影響，且可使電子零件改變成想要的姿勢。

關於本發明的數個實施形態，參照圖式來說明。

在各實施形態，主要揭露假設在電子零件製造程序中使用的振動裝置、搬送系統及搬送方法。在各圖中，有時會概略表示構成搬送系統的各部件的相對大小或位置。此外，以下說明的實施形態並非限定本發明。

［第一實施形態］ 圖1表示關於第一實施形態的搬送系統1的概略結構圖。搬送系統1具備：振動裝置10、傳送裝置20、控制裝置30以及增幅器40。振動裝置10經由增幅器40與控制裝置30連接，傳送裝置20與控制裝置30可通訊地連接。控制裝置30分別控制振動裝置10與傳送裝置20。

電子零件A配置於振動裝置10上。電子零件A是對象物的一例。電子零件A為例如IC。

傳送裝置20是所謂的多軸水平搬送電動機。傳送裝置20具備：驅動機構21、吸附元件22以及攝影機23。驅動機構21與攝影機23分別與控制裝置30連接。驅動機構21具有複數個馬達M1～M4。攝影機23雖然圖示為傳送裝置20的一部分，但攝影機23也可以與傳送裝置20分開設置。

攝影機23配置成可拍攝振動裝置10上的電子零件A。拍攝過的拍攝資料輸出至控制裝置30。

控制裝置30包含：拍攝模組31、圖像識別模組32、搬送控制模組33以及振動控制模組34。

拍攝模組31為了拍攝振動裝置10的指定區域，控制攝影機23。指定區域是配置有振動裝置10上的電子零件A的範圍，做為一例，是相當於後述的收容空間SP的範圍。圖像識別模組32藉由進行以攝影機23拍攝的拍攝資料的圖像處理，辨識指定區域內的電子零件A的狀態。然後根據預先設定的基準，識別電子零件A的狀態。搬送控制模組33為了搬送已識別的電子零件A至圖未顯示的檢查裝置，控制傳送裝置20。在此，檢查裝置為例如用來檢查電子零件A的電特性的裝置。檢查裝置也可以是不包含在搬送系統1的其他裝置，也可以是同系統內的檢查台。

振動控制模組34輸出用來在振動裝置10產生振動的訊號。當從振動控制模組34輸出訊號，則該訊號輸出至增幅器40。輸入至增幅器40的訊號，在增幅器40內變換、放大後，被輸出至振動裝置10。從增幅器40輸出的訊號，被輸出至具有振動裝置10的後述的揚聲器11。揚聲器11對應從增幅器40輸出的訊號來振動。

搬送系統1也可以定義為包含圖1所示的構成要素以外的其他要素者。或者，搬送系統1也可以做為獨立系統來構成，也可以組合成其他系統的一部份。

圖2是關於本實施形態的搬送系統1的概略斜視圖。圖2表示搬送系統1的主要構成要素的振動裝置10與傳送裝置20。在平行於振動裝置10具有的振動板12的平面的方向分別做為X方向、Y方向。振動板12的厚度方向（垂直方向）做為X方向。

傳送裝置20的驅動機構21具備夾鉗狀的手臂211。在手臂211的前端部211a的上方配置有馬達M1。馬達M1的軸通過設在前端部211a的開口，往前端部211a的下方延伸，此下方延伸的部分安裝有吸附元件22。再者，位於前端部211a與吸附元件22之間的馬達M1的軸被安裝於固定構件212。固定構件212也可以安裝在馬達M1的軸以外的部分。在固定構件212的側面，安裝有用來裝配攝影機23的托架213。

驅動機構21除了手臂211及馬達M1以外，也具備上述馬達M2～M4或其他手臂等。例如，驅動機構21也可以具備：水平驅動機構，藉由馬達M2、M3，用來在平行於Z方的軸周圍以多軸使手臂211轉動。或者，驅動機構21也可以具備：垂直驅動機構，藉由馬達M4，用來在平行Z方向使手臂211升降。

傳送裝置20是吸附元件22與攝影機23位於振動裝置10上方，具有一定間隔配置成不干涉振動裝置10。此間隔依傳送裝置20的動作是可變的。傳送裝置20可藉由驅動機構21，在相對於振動裝置10在水平方向（X方向、Y方向）及垂直方向（Z方向）的各方向，使吸附元件22與攝影機23移動。或者，傳送裝置20可使吸附元件22所吸附的電子零件A搬送至圖未顯示的檢查裝置。

接下來，說明關於搬送系統1的各構成要素。圖3是關於本實施形態的振動裝置10的概略剖面圖。振動裝置10包含：揚聲器11、振動板12、基座13、錐體14、托盤15以及基蓋板16。

說明關於振動裝置10的振動源的揚聲器11。揚聲器11包含：振動部件110、防塵蓋111、發聲線圈筒管112、發聲線圈113、阻尼器114、頂板115、磁石116、軛鐵117、框架118以及墊片119。軸X1是揚聲器11的中心軸。軸X1與圖2的Z方向平行。在揚聲器11的振動部，包含有振動部件110、防塵蓋111、發聲線圈筒管112、發聲線圈113以及阻尼器114。

振動部件110具有振動部件本體110a以及邊緣部110b。振動部件本體110a的內周部與圓筒形狀的發聲線圈筒管112連接。振動部件本體110a的外周部，與具有部分彎曲部的邊緣部110b連接。邊緣部110b的外周部連接於框架118。振動部件本體110a是由例如樹脂材料來製造。

發聲線圈113是發聲線圈筒管112的外周面，形成於下端部側。阻尼器114位於發聲線圈筒管112與框架118之間。阻尼器114的外周部連接於框架118，內周部連接於發聲線圈筒管112。發聲線圈筒管112可藉由振動部件110與阻尼器114，在平行於軸X1方向可振動地支撐。或者，防塵蓋111連接於振動部件110，以覆蓋發聲線圈筒管112的上表面的開口部。

頂板115、磁石116、軛鐵117沿著軸X1重疊構成磁電路。在頂板115與磁石116的內周面與軛鐵117的中心部外周面之間，形成固定空隙。發聲線圈113配置有發聲線圈筒管112以位於該空隙。

在頂板115的上表面，固定有框架118的下表面。在本實施形態中，框架118假設為金屬製框架。在框架118的外周面配置有圖未顯示的端子，該端子與發聲線圈113連接。

揚聲器11的動作是從來自增幅器40的訊號經由端子被輸入至發聲線圈113而開始。當訊號被輸入發聲線圈113時，發聲線圈113承受平行於軸X1的上下方向的力，發聲線圈筒管112與發聲線圈113動作。然後，與發聲線圈筒管112連接的振動部件110或連接於振動部件110的防塵蓋111振動，以追隨發聲線圈筒管112的動作。當振動部件110等振動，振動部件110的周圍空氣振動，產生聲音。

振動板12是薄板狀，具有：配置有電子零件A側的第一表面F1以及在第一表面F1相反側的第二表面F2。振動板12與基座13具有固定間隔來平行配置，被締結部件S1可振動地支撐。振動板12的中心位置與軸X1位於同軸上。振動板12可由例如鋁等金屬材料形成。

基座13具有基座板131及殼體132。殼體132是上方開口的箱狀。基座板131是比振動板12更厚的厚板狀部件，基座板131塞住殼體132。基座板131可由例如鋁等金屬材料而形成。基座板131具有圓形開口部131a。基座板131的開口部131a的中心軸與軸X1位於同軸上。振動板12與基座板131之間配置有後述的彈性部件E。振動板12被彈性部件E所支撐。

揚聲器11被收容在殼體132。揚聲器11被締結部件S2固定於基座板131成振動部面對第二表面F2。或者，揚聲器11也可以被固定在殼體132。基座板131與殼體132被締結部件S3固定。

錐體14是用來將揚聲器11產生的振動傳達至振動板12的傳達部件。錐體14位於揚聲器11與振動板12之間，被配置成通過基座板131的開口部131a。錐體14的中心軸與軸X1位於同軸上。也就是說，在與軸X1同軸上，配置有揚聲器11、振動板12、開口部131a及錐體14。

錐體14是外形向著振動板12擴張的錐形狀。或者，錐體14在內部具有錐形部14a與圓筒部14b所形成的空洞。錐體14的下端部接觸揚聲器11。錐體14的上端部接觸振動板12的第二表面F2。錐體14的下端部也可以接觸振動部件10，也可以接觸防塵蓋111，也可以接觸兩者。錐體14與揚聲器11及振動板12的接觸部也可以分別接著。在本實施形態中，錐體14是以樹脂材料製作，但也可以用其他材料製作。

揚聲器11所產生的振動，不僅經由錐體14傳達至振動板12，更藉由使錐體14的空洞內的空氣振動來傳達至振動板12。

托盤15被配置在振動板12的第一表面F1上。托盤15是用來配置電子零件A的容器，但也可以不使用托盤15，直接配置電子零件A至第一表面F1上。電子零件A對於托盤15的配置，若是作業者以手工作業來實施，則也有以電動機來實施的情況。托盤15被接著或締結部件配置於第一表面F1上。托盤15在沿著圖2的X方向及Y方向的方向具有區隔壁15a。托盤15的內側被區隔壁15a分割成複數個收容空間SP。各收容空間SP比攝影機23可辨識的範圍更窄為較佳。各收容空間SP也可以為例如圖2所示，以矩陣狀配列在X方向及Y方向。

托盤15的區隔壁15a是在各收容空間SP的水平方向（X-Y平面）的剖面積向底面變小的錐形狀。藉由像這樣的收容空間SP的側面成為錐形狀，以吸附元件22吸附位於該側面附近的電子零件A時，吸附元件22與托盤15難以接觸。

在基座板131的上面，配置有基蓋板16，基蓋板16用來覆蓋基座板131的開口部131a的一部份。藉由配置基蓋板16，可防止揚聲器11的振動部件110上堆積塵埃等灰塵。這是因為若振動部件110上堆積灰塵，振動部件110的動作被妨礙，影響揚聲器11的振動。

在基蓋板16，用以不干涉錐體14或各締結部件的開口或缺口被設在對應各部件的位置。基蓋板16也可以被締結部件S3固定於基座板131，也可以直接接著於基座板131上。

基座13具有固定部件S4。藉由使用固定部件S4，振動裝置10可裝配於其他裝置。振動裝置10也可以裝配於其他裝置，也可以是單獨的單元。

圖4是關於本實施形態的傳送裝置20的概略剖面圖。當上述馬達M1驅動時，固定構件212以馬達M1的旋轉軸X2為中心旋轉。在固定構件212的前端，安裝有吸附元件22。吸附元件22的中心軸與馬達M1的旋轉軸X2為一致。

吸附元件22與馬達M1的驅動連動而旋轉，可移動攝影機23。或者，攝影機移動也可以不與馬達M1的驅動連動。在電子零件A被吸附元件22吸附的狀態下，當馬達M1旋轉，則可變更電子零件A的姿勢。

吸附元件22在前端具有真空吸嘴22a。真空吸嘴22a可配合吸附的電子零件A的尺寸或形狀來變更。驅動機構21具備用來減壓吸附元件22內部的機構。在藉由此機構減壓吸附元件22內部的狀態下，當真空吸嘴22a靠近電子零件A時，電子零件A被真空吸嘴22a吸附。

攝影機23拍攝振動板12的指定區域。拍攝資料通過纜線C被傳送至控制裝置30。攝影機23包含：透鏡231、照明232、偏光濾波器233、擴散板234以及圖未顯示的拍攝元件。拍攝元件為例如CCD等影像感測器等。透鏡231被安裝成向著振動板12。照明232將光照射至振動板12的指定區域。在照明232，安裝有擴散板234，擴散板234擴散照明232所放出的光。照明232為例如放射狀配置有LED的環狀燈。偏光濾波器233分別安裝於透鏡231與照明232。

圖5是關於本實施形態的振動裝置10的分解圖。在圖5中，省略部分振動裝置10的部件。說明關於振動裝置10的各構成部件的連接。

首先，振動板12與基座板131被複數個締結部件S1締結。締結部件S1具有螺栓S1a、襯套S1b、墊圈S1c、螺帽S1d。

振動板12在四個角落具有例如貫穿孔12a。基座板131具有對應貫穿孔12a的位置所設的貫穿孔131b。螺栓S1a是從振動板12的第一表面F1側插入貫穿孔12a、131b，在基座板131的下表面側旋入螺帽S1d。襯套S1b與墊圈S1c位於螺栓S1a的頭部與振動板12的第一表面F1之間。

彈性部件E位於在振動板12與基座板131之間。螺栓S1a貫穿彈性部件E。彈性部件E為例如線圈彈簧。彈性部件E藉由被振動板12與基座板131所夾持而比自然長度更壓縮。藉由彈性部件E的施加力，振動板12被壓抵至螺栓S1a的頭部。若為如此結構，振動板12藉由締結部件S1可振動地相對於基座板131固定。振動板12與基座板131的間隔較佳為10mm左右。

墊圈S1c是由例如發泡體（海綿）所形成。藉由選定發泡體做為墊圈S1c的材質，傳達至振動板12的振動停止時，有使振動板12的振動衰減的效果。

揚聲器11的框架118被締結部件S2固定於基座板131。締結部件S2具有螺帽S2a與螺栓S2b。基座板131更具有貫穿孔131c。螺栓S2b從框架118的下表面側插入設在框架118端部的貫穿孔及基座板131的貫穿孔131c，在基座板131的上表面側被旋入螺帽S2a。

或者，墊片119位在框架118與基座板131之間。墊片119被環狀配置在框架118的上端面。墊片119在框架118與基座板131之間被夾扁的狀態下，框架118與基座板131被固定。

圖6表示關於本實施形態的搬送系統1的動作（搬送方法）的一例的流程圖。此流程圖所示的動作，是以控制裝置30來執行。控制裝置30包含由處理器與記憶體等構成的電腦。例如，藉由控制裝置30所具備的處理器執行記憶在記憶體的電腦程式，實現上述攝影模組31、圖像識別模組32、搬送控制模組33以及振動控制模組34。電腦程式的執行也可以用複數個處理器來實現。或者，各模組31～34的至少一者，也可以是獨立於控制裝置30的個別裝置。

首先，複數個電子零件A配置在托盤15內的收容空間SP（配置程序）。電子零件A到收容空間SP的配置，有作業者以手工作業配置的情況，也有以電動機配置的情況。電子零件A配置於托盤15後，搬送系統1的動作開始。

控制裝置30輸出訊號至傳送裝置20的驅動機構21，使攝影機23移動到振動板12上的托盤15的任一收容空間SP的上方（步驟S101）。使攝影機23移動後，攝影模組31以攝影機23拍攝收容空間SP（步驟S102：拍攝程序）。此時攝影機23所產生的攝影資料被傳送到圖像識別模組32。

攝影資料被傳送到圖像識別模組32後，圖像識別模組32根據從攝影資料獲得的圖像辨識電子零件A的狀態（步驟S103：圖像識別程序）。具體來說，圖像識別模組32根據攝影資料所獲得的圖像辨識電子零件A的位置資訊及角度資訊，同時辨識電子零件A是第一狀態及第二狀態的任一者。在後述的圖7表示圖像識別模組32的圖像識別狀態。位置資訊為例如振動板12上的座標。角度資訊為電子零件A對於向著基準位置的方向的相對旋轉角度。基準位置為例如電子零件A的搬送目的，即檢查裝置上配置的電子零件A的位置。第一狀態是電子零件A的指定表面朝向振動板12的第一表面F1的上方的狀態，第二狀態是與電子零件A的指定表面不同的表面朝向振動板12的第一表面F1的上方的狀態。指定表面為例如在檢查裝置檢查時必須朝向上方的面。

圖像識別模組32也可以辨識其他關於電子零件A的缺陷資訊。關於電子零件A的缺陷資訊為例如電子零件A的變形或損傷等形狀、異物附著、印字狀態等。

圖像識別模組32判斷是否有可在步驟S103辨識的電子零件A（步驟S104）。在有可辨識的電子零件A時（步驟S104的Yes）、圖像識別模組32判斷是否有可用吸附元件22搬送的電子零件A（步驟S106）。此判斷是根據基於拍攝資料所獲得的圖像的電子零件A的狀態與判斷基準的比較來執行。例如，做為判斷基準，將可搬送狀態決定為第一狀態時，判斷只有第一狀態的電子零件A可搬送，判斷第二狀態的電子零件A不可搬送。將可搬送的狀態做為第一狀態或做為第二狀態是事前決定。判斷基準也可以記憶在控制裝置30。

根據圖像識別模組32的判斷結果，當有可搬送的電子零件A時（步驟S106的Yes），搬送控制模組33根據在步驟S103辨識過的該電子零件A的位置資訊使吸附元件22移動到可搬送的電子零件A的上方（步驟S107）。使吸附元件22移動後，搬送控制模組33使吸附元件22相對於電子零件A下降，使電子零件A吸附（步驟S108）。吸附電子零件A後，搬送控制模組33根據步驟S103辨識的電子零件A的角度資訊，使驅動機構21的馬達M1驅動，電子零件A旋轉成朝向特定方向（步驟S109）。旋轉電子零件A後，搬送控制模組33使電子零件A搬送至檢查裝置（步驟S110：搬送程序）。

搬送電子零件A後，控制裝置30判斷被搬送的部件是否為步驟S103所辨識的電子零件A之中的最後的電子零件A（步驟S111）。若非最後的電子零件A（步驟S111的No），則回到步驟S106。另一方面，搬送電子零件A後，以搬送的部件為步驟S103所辨識的電子零件A之中的最後的電子零件A時（步驟S111的Yes），則回到步驟S101。例如當電子零件A彼此重疊時，下側的電子零件A不被圖像識別模組32識別，上側的電子零件A被搬送後，下側的電子零件A仍可在不被辨識的狀態下，殘留在收容空間SP內。搬送辨識過的最後的電子零件A後，藉由再次拍攝收容空間SP內，可防止像這樣的電子零件A的殘留。

例如，雖然在步驟S103可辨識的一個以上的電子零件A，但這些電子零件A全部是第二狀態時，在步驟S106判斷並非可搬送的電子零件A（步驟S106的No）。此時，振動控制模組34使振動裝置10運作（步驟S112：振動程序）。具體來說，振動控制模組34輸出訊號至增幅器40。增幅器40增幅此訊號並輸出至振動裝置10。振動裝置10的揚聲器11對應來自增幅器40的訊號，使振動板12振動。此時，托盤15內的電子零件A也振動。增幅器40也可以在預先決定的範圍內增幅訊號，也可以被控制裝置30所控制。

振動裝置10的振動時間是預先決定。在從振動控制模組34所輸出的訊號，包含有波形、頻率、振幅等各要素。波形為例如矩形波，也可以是正弦波或鋸齒波。藉由依電子零件A的形狀或尺寸使用最適化各要素的訊號，可僅以振動裝置10來對應各種種類的電子零件。

藉由使振動裝置10運作，可使托盤15內的電子零件A的正反面反轉或旋轉。當複數個電子零件A被雜亂配置，有時會有電子零件A彼此重疊的情況，但賦予振動可分離電子零件A。

做為一例，假設電子零件A是1.0mm×1.0mm×0.6mm的立方體狀的情況。在此情況下，為了使電子零件A的正反面反轉，振動波形為矩形波，振動時間為0.1秒以上1秒以下，頻率為30Hz以上50Hz以下為較佳。

使振動裝置10運作後，再回到步驟S101。直到收容空間SP內的電子零件A不存在為止，這些步驟會反覆進行。當收容空間SP內沒有電子零件A時（步驟S104的No），判斷是否有不做為步驟S101～S112的處理對象的下一個收容空間SP（步驟S105）。當有下一個收容空間SP時（步驟S105的Yes），將該收容空間SP做為對象來執行步驟S101以後的處理。直到不做為處理對象的收容空間SP不存在為止，反覆此動作。

上述流程反覆執行後，沒有不做為處理對象的收容空間SP時（步驟S105的No），控制裝置30使蜂鳴器運作（步驟S113）。藉由使蜂鳴器運作，可通知搬送系統1的作業者，應搬送至托盤15上的電子零件A不存在。然後，藉由步驟S113，結束搬送系統1的運作。

圖7表示關於本實施形態的搬送系統1的圖像識別狀態的概略圖。圖7是根據攝影模組31所取得的攝影資料所獲得的圖像，表示圖像識別模組32的識別處理結果。此結果也可以被輸出至例如液晶螢幕等的圖像顯示裝置，使作業者可確認結果。

在圖7中，已識別的電子零件A的形狀以粗線圖示。或者，已識別的電子零件A是中心位置被辨識，同時分配編號。以圖像識別模組32進行的識別處理結果，識別複數個電子零件A1～A7。

例如，在圖7中，電子零件A1的狀態做為第一狀態，電子零件A3的狀態做為第二狀態。電子零件A1、電子零件A2、電子零件A5及電子零件A6為第一狀態，電子零件A3、電子零件A4及電子零件A7為第二狀態。在將第一狀態做為可搬送狀態的判定基準的情況下，電子零件A1、電子零件A2、電子零件A5及電子零件A6被搬送控制模組33搬送至檢查裝置。然後，藉由使振動裝置10運作，使第二狀態的電子零件A反轉，可使姿勢變更為可搬送的第一狀態。

在圖7的例中，在電子零件A6的下方存在有與該電子零件A6部分重疊的電子零件AX。像這樣的電子零件AX，因為輪廓的一部份被隱藏，無法正確進行圖像識別。若藉由振動裝置10施加振動，解除電子零件A6、AX的重疊，則可以用圖像識別模組32識別電子零件AX。

如以上說明，關於本實施形態的搬送系統1，使用揚聲器11對振動板12上的電子零件A施加振動，來變更電子零件A的姿勢。如此結構相較於使用以往的使用圓盤式給料機的機構，因為不需要準備對應電子零件A的大小或形狀的部件，所以可節省部件交換或裝置調整的成本。

或者，如本實施形態，需要在特定面朝向上的狀態下搬送電子零件A的情況，即使是該面朝向下的電子零件A存在的情況，藉由揚聲器11施加振動，可容易使電子零件A的正反面反轉。

再者，振動板12與基座13之間設置彈性部件E，不只可穩定支撐振動板12，也能支撐可對應振動板12從錐體14傳達的振動來振動的狀態。或者，藉由錐體14接觸振動板12的第二表面F2，揚聲器11的振動經由錐體14傳達至振動板12的厚度方向（上下方向）。若振動板12的振動方向為上下，則電子零件A往上方向跳上，容易產生第一狀態及第二狀態的姿勢變更。

［第二實施形態］ 說明關於第二實施形態。與第一實施形態相同的構成要素賦予相同元件符號，適當省略說明。

圖8表示關於第二實施形態的搬送系統1的運作的一例的流程圖。首先，複數個電子零件A被配置在托盤15內收容的收容空間SP。電子零件A被配置在托盤15後，搬送系統1的運作開始。

控制裝置30輸出訊號至傳送裝置20的驅動機構21，使攝影機23移動到振動板12上的托盤15的任一收容空間SP的上方（步驟S201）。使攝影機23移動後，拍攝模組31以攝影機23拍攝收容空間SP（步驟S202）。此時攝影機23所產生的攝影資料被傳送到圖像識別模組32。

攝影資料被傳送到圖像識別模組32後，圖像識別模組32根據從攝影資料獲得的圖像辨識電子零件A的狀態（步驟S203）。圖像識別模組32識別處理的內容與第一實施形態的情況一樣。

圖像識別模組32判斷是否有可在步驟S203辨識的電子零件A（步驟S204）。在有可辨識的電子零件A時（步驟S204的Yes）、圖像識別模組32判斷是否有可用吸附元件22搬送的電子零件A（步驟S206）。

根據圖像識別模組32的判斷結果，當有可搬送的電子零件A時（步驟S206的Yes），搬送控制模組33根據在步驟S203辨識過的該電子零件A的位置資訊使吸附元件22移動到可搬送的電子零件A的上方（步驟S208）。使吸附元件22移動後，搬送控制模組33使吸附元件22相對於電子零件A下降，使電子零件A吸附（步驟S209）。吸附電子零件A後，搬送控制模組33根據步驟S203辨識的電子零件A的角度資訊，使驅動機構21的馬達M1驅動，電子零件A旋轉成朝向特定方向（步驟S210）。旋轉電子零件A後，搬送控制模組33使電子零件A搬送至檢查裝置（步驟S211）。

搬送電子零件A後，判斷被搬送的部件是否為步驟S203所辨識的電子零件A之中的最後的電子零件A（步驟S212）。若非最後的電子零件A（步驟S212的No），則回到步驟S206。另一方面，搬送電子零件A後，以搬送的部件為步驟S203所辨識的電子零件A之中的最後的電子零件A時（步驟S212的Yes），則回到步驟S201。

雖然在步驟S203可辨識的一個以上的電子零件A，但這些電子零件A全部並非可搬送時（步驟S206的No），控制裝置30判斷下一個收容空間SP是否存在（步驟S207）。當存在下一個收容空間SP時（步驟S207的Yes），再次回到步驟S201，拍攝下一個收容空間SP。在步驟S204判定收容空間SP內不存在電子零件A時（步驟S204的No），控制裝置30判斷下一個收容空間SP是否存在（步驟S205）。當存在下一個收容空間SP時（步驟S205的Yes），再次回到步驟S201。

重複如此動作，托盤15的各收容空間SP內所配置的複數個電子零件A之中的可搬送者（例如第一狀態的電子零件A）全部被搬送至檢查裝置。在各收容空間SP，殘留不能搬送的電子零件A（例如第二狀態的電子零件A）或不能圖像識別的電子零件A。

在步驟S207不存在下一個收容空間SP時（步驟S207的No），即托盤15的各收容空間SP內變得沒有可搬送的電子零件A時，振動控制模組34使振動裝置10運作（步驟S213）。藉此，各收容空間SP內存在不能搬送的電子零件A時，這些電子零件A的姿勢是藉由正反面反轉等來變更。使振動裝置10運作後，再次回到步驟S201。

重複以上運作，很快地使振動裝置10運作後，在任一收容空間SP也變得不能識別電子零件A（步驟S205的No），控制裝置30使蜂鳴器運作（步驟S214）。藉由使蜂鳴器運作，可通知搬送系統1的作業者，托盤15上應搬送的電子零件不存在。然後，藉由步驟S214，結束搬送系統1的運作。

在第二實施形態中，從托盤15的各收容空間SP將可搬送的電子零件A全部搬送後，使振動裝置10運作。因為在托盤15上的電子零件A的數量減少的狀態下，使振動裝置10運作，所以可降低電子零件A彼此接觸等振動所伴隨對電子零件A的影響。

在第二實施形態中，指定區域也可以是振動板12的第一表面F1整體。指定區域為振動板12的第一表面F1整體時，就不需要流程圖中確認收容空間SP的步驟。藉由減少攝影機23的攝影次數，也可以對處理時間縮短有貢獻。

［第三實施形態］ 說明關於第三實施形態。與上述各實施形態相同的構成要素賦予相同元件符號，適當省略說明。

圖9是關於第三實施形態的搬送系統1的概略斜視圖。此圖所示的搬送系統1，托盤15是圓形，且並未分割成複數個收容空間SP，這點與圖2所示的搬送系統1不同。

關於本實施形態的搬送系統1，可以在第一實施形態使用圖6來說明的流程來運作。在此情況下，托盤15上也可以分割成矩陣狀並列的複數個視野範圍（指定區域），以攝影機23執行拍攝。也就是說，在步驟S102拍攝任一視野範圍，在步驟S104判斷電子零件A是否位於該視野範圍內，在步驟S105判斷是否有不做為處理對象的下一個視野範圍。

或者，關於本實施形態的搬送系統1，可以在第二實施形態使用圖8來說明的流程來運作。在此情況也一樣，托盤15上也可以分割成矩陣狀並列的複數個視野範圍（指定區域），以攝影機23執行拍攝。也就是說，在步驟S202拍攝任一視野範圍，在步驟S204判斷電子零件A是否位於該視野範圍內，在步驟S205、S207判斷是否有不做為處理對象的下一個視野範圍。

即使是關於本實施形態的搬送系統1的結構，也可獲得與第一及第二實施形態相同的效果。

以上說明了第一實施形態至第三實施形態，但這些實施形態是做為例示，本發明的範圍並非限定為各實施形態所揭露的結構。這些實施形態可以其他各種形態來實施。這些實施形態極其變形，包含在發明範圍與要旨內，同時也包含在申請專利範圍所記載的發明及其均等範圍。

1:搬送系統 10:振動裝置 11:揚聲器 12:振動板 12a、131b、131c:貫穿孔 13:基座 14:錐體 14a:錐形部 14b:圓筒部 15:托盤 15a:區隔壁 16:基蓋板 20:傳送裝置 21:驅動機構 22:吸附元件 22a:真空吸嘴 23:攝影機 30:控制裝置 31:拍攝模組 32:圖像識別模組 33:搬送控制模組 34:振動控制模組 40:增幅器 110:振動部件 110a:振動部件本體 110b:邊緣部 111:防塵蓋 112:發聲線圈筒管 113:發聲線圈 114:阻尼器 115:頂板 116:磁石 117:軛鐵 118:框架 119:墊片 131:基座板 131a:開口部 132:殼體 211:手臂 211a:前端部 212:固定構件 213:托架 231:透鏡 232:照明 233:偏光濾波器 234:擴散板 A、A1～A7、AX:電子零件 C:纜線 E:彈性部件 F1:第一表面 F2:第二表面 M1～M4:馬達 S1、S2、S3:締結部件 S1a、S2b:螺栓 S1b:襯套 S1c:墊圈 S1d、S2a:螺帽 S4:固定部件 SP:收容空間 X1:軸 X2:旋轉軸

[圖1]表示關於第一實施形態的搬送系統的概略結構圖。 [圖2]關於第一實施形態的搬送系統的概略斜視圖。 [圖3]關於第一實施形態的振動裝置的概略剖面圖。 [圖4]關於第一實施形態的傳送裝置的概略剖面圖。 [圖5]關於第一實施形態的振動裝置的分解圖。 [圖6]表示關於第一實施形態的搬送系統的動作的一例的流程圖。 [圖7]表示關於第一實施形態的搬送系統的圖像識別狀態的概略圖。 [圖8]表示關於第二實施形態的搬送系統的動作的一例的流程圖。 [圖9]關於第三實施形態的搬送系統的概略斜視圖。

10:振動裝置

11:揚聲器

12:振動板

13:基座

15:托盤

16:基蓋板

20:傳送裝置

21:驅動機構

22:吸附元件

23:攝影機

131:基座板

132:殼體

211:手臂

211a:前端部

212:固定構件

213:托架

M1:馬達

SP:收容空間

Claims (11)

1. 一種振動裝置，具備： 振動板，具有：第一表面，配置有對象物；以及在該第一表面相反側的第二表面； 基座，與該振動板相距固定間隔來配置； 揚聲器，具有：面對該第二表面的振動部；以及框架，連接於該基座；以及 傳達部件，將該揚聲器的振動傳達到該振動板。
2. 如請求項1所述的振動裝置，其中在該振動板與該基座之間，更具備：彈性部件，支撐該振動板。
3. 如請求項1或請求項2所述的振動裝置，其中該基座具有一開口部； 該傳達部件通過該開口部，接觸該振動板的該第二表面。
4. 一種搬送系統，具備： 如請求項1所述的振動裝置；以及 傳送裝置，搬送配置在該振動板的該第一表面的對象物。
5. 如請求項4所述的搬送系統，更具備：攝影機與控制裝置； 該控制裝置具有： 成像裝置，以該攝影機拍攝該第一表面上的指定區域； 圖像識別裝置，根據拍攝到的圖像，辨識該指定區域內的該對象物的狀態，並識別該對象物是第一狀態及第二狀態中的任一者；以及 搬送控制裝置，使識別為該第一狀態的對象物搬送到該傳送裝置。
6. 如請求項5所述的搬送系統，其中該控制裝置具有：振動控制裝置，在該指定區域內沒有該第一狀態的該對象物，而有該第二狀態的該對象物時，將用來使該振動部振動的訊號輸出至該振動裝置。
7. 如請求項5或請求項6所述的搬送系統，其中該第一狀態是該對象物的指定表面朝向該第一表面的上方的狀態； 該第二狀態是與該對象物的該指定表面不同的表面朝向該第一表面的上方的狀態。
8. 一種搬送方法，其步驟包含： 配置程序，配置複數個對象物在振動板的第一表面，其中該振動板具有該第一表面以及在該第一表面相反側的第二表面； 搬送程序，從該第一表面搬送在前所述第一表面所配置的第一狀態的該對象物；以及 振動程序，藉由揚聲器使該振動板振動，將在第一表面所配置的第二狀態的該對象物轉變成該第一狀態，其中該揚聲器具有面對該第二表面的振動部。
9. 如請求項8所述的搬送方法，更包含： 拍攝程序，以攝影機拍攝該第一表面上的圖像識別裝置指定區域；以及 圖像識別程序，根據拍攝到的圖像，辨識該指定區域內的該對象物的狀態，並識別該對象物是該第一狀態及該第二狀態中的任一者； 在該搬送程序中，從該第一表面搬送識別為該第一狀態的該對象物。
10. 如請求項9所述的搬送方法，其中在該指定區域內沒有該第一狀態的該對象物，而有該第二狀態的該對象物時，執行振動程序。
11. 如請求項8至請求項10中任一項所述的搬送方法，其中該第一狀態是該對象物的指定表面朝向該第一表面的上方的狀態； 該第二狀態是與該對象物的該指定表面不同的表面朝向該第一表面的上方的狀態。

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