TW202112950A - 雜質擴散組成物、使用其的半導體元件的製造方法及太陽電池的製造方法 - Google Patents
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Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2019175316 | 2019-09-26 | ||
| JP2019-175316 | 2019-09-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TW202112950A true TW202112950A (zh) | 2021-04-01 |
Family
ID=75165758
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| TW109132785A TW202112950A (zh) | 2019-09-26 | 2020-09-22 | 雜質擴散組成物、使用其的半導體元件的製造方法及太陽電池的製造方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP7647100B2 (https=) |
| CN (1) | CN114342101A (https=) |
| TW (1) | TW202112950A (https=) |
| WO (1) | WO2021060182A1 (https=) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115148848A (zh) * | 2022-06-27 | 2022-10-04 | 常州时创能源股份有限公司 | 链式吸杂用磷源及其制备方法和应用 |
| WO2024057722A1 (ja) * | 2022-09-16 | 2024-03-21 | 東レ株式会社 | 不純物拡散組成物、それを用いた半導体素子の製造方法および太陽電池の製造方法 |
| JP7782635B1 (ja) * | 2024-09-19 | 2025-12-09 | 栗田工業株式会社 | 半導体基板のドーピング処理方法およびドーピング処理装置 |
| JP7782636B1 (ja) * | 2024-09-19 | 2025-12-09 | 栗田工業株式会社 | 調整水の製造装置および調整水の製造方法 |
Family Cites Families (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4481869B2 (ja) * | 2005-04-26 | 2010-06-16 | 信越半導体株式会社 | 太陽電池の製造方法及び太陽電池並びに半導体装置の製造方法 |
| JP2010062334A (ja) * | 2008-09-03 | 2010-03-18 | Japan Vam & Poval Co Ltd | リン拡散用塗布液 |
| KR20120020073A (ko) * | 2010-08-27 | 2012-03-07 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치의 설계 방법 |
| JP6203496B2 (ja) * | 2010-11-17 | 2017-09-27 | 日立化成株式会社 | 太陽電池の製造方法 |
| JP2013008953A (ja) * | 2011-05-20 | 2013-01-10 | Nippon Synthetic Chem Ind Co Ltd:The | 不純物拡散用塗布液 |
| JP6178543B2 (ja) * | 2012-01-25 | 2017-08-09 | 直江津電子工業株式会社 | P型拡散層用塗布液 |
| JP2014030011A (ja) * | 2012-07-04 | 2014-02-13 | Nippon Synthetic Chem Ind Co Ltd:The | ドーパント拡散用塗布液、およびその塗布方法、並びにそれを用いた半導体の製法、半導体 |
| KR101529778B1 (ko) * | 2012-08-07 | 2015-06-17 | 주식회사 엘지화학 | 인쇄물 및 인쇄물의 제조방법 |
| JP2014071306A (ja) * | 2012-09-28 | 2014-04-21 | Fujifilm Corp | 硬化性樹脂組成物、転写材料、硬化物及びその製造方法、樹脂パターン製造方法、硬化膜、液晶表示装置、有機el表示装置並びにタッチパネル表示装置 |
| JP2014103232A (ja) * | 2012-11-20 | 2014-06-05 | Toray Ind Inc | 非感光性組成物およびこれを用いた不純物拡散層の製造方法 |
| JP2016195203A (ja) * | 2015-04-01 | 2016-11-17 | 東レ株式会社 | p型不純物拡散組成物、それを用いた半導体素子の製造方法および太陽電池。 |
| CN108028188B (zh) * | 2015-09-29 | 2022-03-22 | 东丽株式会社 | p型杂质扩散组合物、使用其的半导体元件的制造方法及太阳能电池的制造方法 |
| JP2017103379A (ja) * | 2015-12-03 | 2017-06-08 | 東レ株式会社 | 不純物拡散組成物、およびそれを用いた半導体素子の製造方法 |
| JP7172994B2 (ja) * | 2018-03-16 | 2022-11-16 | 東レ株式会社 | 不純物拡散組成物、それを用いた半導体素子の製造方法および太陽電池の製造方法 |
| CN113169248B (zh) * | 2018-12-07 | 2024-10-01 | 东丽株式会社 | 半导体元件的制造方法和太阳能电池的制造方法 |
-
2020
- 2020-09-18 CN CN202080061387.5A patent/CN114342101A/zh active Pending
- 2020-09-18 JP JP2020551436A patent/JP7647100B2/ja active Active
- 2020-09-18 WO PCT/JP2020/035439 patent/WO2021060182A1/ja not_active Ceased
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN114342101A (zh) | 2022-04-12 |
| WO2021060182A1 (ja) | 2021-04-01 |
| JP7647100B2 (ja) | 2025-03-18 |
| JPWO2021060182A1 (https=) | 2021-04-01 |
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