TW202106106A - 陶瓷加熱器用連接構件 - Google Patents
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Abstract
本發明涉及陶瓷加熱器用連接構件，更詳細而言，涉及一種連接構件，該連接構件包括於陶瓷板，用於在電力供應構件與鉬網之間電氣連接，其特徵在於，與陶瓷板包括的鉬網接觸的連接構件一面的面積大於與電力供應構件接觸的連接構件另一面的面積。根據本發明，具有的效果是，提供一種結構為在陶瓷加熱器維護、維修過程中，在藉由拉動電力供應構件的方法來試驗是否接合異常時，或者需要分離電力供應構件進行維修作業時，連接構件不與電力供應構件一同分離，而是能夠以與鉬網接觸的狀態固定於陶瓷構件內部的連接構件。
Description
本發明涉及陶瓷加熱器用連接構件，涉及一種陶瓷加熱器運用中的結構為在陶瓷加熱器所包括的電力供應構件分離過程中，連接構件不與電力供應構件一同分離而是包括於陶瓷構件並固定的連接構件。
陶瓷加熱器（CERAMIC HEATER）用於將半導體晶片、玻璃基板、可撓性基板等多樣目的的熱處理對象體在既定的加熱溫度下進行熱處理。一般而言，陶瓷加熱器可以包括從外部電極接受供應電力而發熱的陶瓷板（CERAMIC PLATE），陶瓷板可以包括埋設於陶瓷板內部的具有既定電阻的發熱體及靜電吸盤（ELECTROSTATIC CHUCK）。
第1圖是圖示陶瓷加熱器結構的一個示例的圖。
如果參照第1圖，陶瓷加熱器100可以包括具有發熱體的陶瓷板110、為了向發熱體供應電力而包括供電線的軸（SHAFT）120。陶瓷板110可以包括放置有加熱對象物體的加熱面，可以設計成能夠利用發熱體供應的熱，向加熱對象物體按預先設計的溫度傳遞熱。軸120可以包括能夠向陶瓷板110中包括的發熱體供應電力的電線。
第2圖是圖示以往陶瓷加熱器中包括的以往連接構件230結構的一個實施例的圖。
如果參照第2圖，陶瓷板110可以包括被陶瓷構件250環繞的鉬網240，可以包括用於向鉬網240供應電力的電力供應構件210和連接構件230，可以包括用於保護所述電力供應構件210的筒形環境的鎳筒形構件220。所述電力供應構件210可以由鎳連桿211及可伐合金212（KOVAR）構成，鎳連桿211作為用於供應電力的構成，可以為圓柱形態。而且，可伐合金212（KOVAR）作為在鎳連桿211與連接構件230之間的在高熔點下緩解接合應力的低熱膨脹導體，可以為與鎳連桿211相同形態的圓柱形態。另外，連接構件230作為用於在電力供應構件210與鉬網240之間進行電氣連接的連接器（CONNECTOR），可以以熱結合形態與鉬網240結合在一起。
第3圖是圖示以往陶瓷加熱器的電力供應構件210分離過程中的陶瓷加熱器中包括的以往連接構件230一同分離的一個實施例的圖。
如果參照第3圖，陶瓷加熱器如果長時間暴露於高溫的大氣環境下，則電力供應構件210與連接構件230之間的接合界面發生問題，會誘發電接合異常。此時，藉由拉動電力供應構件210的方法，也可以實驗接合異常，當接合異常可能性大時，可以將電力供應構件210從陶瓷板110分離並修理電力供應構件210，在這種過程中，以往連接構件230發生與電力供應構件210一同分離的現象。如此一來，會發生與連接構件230熱結合的鉬網240的一部分附著於連接構件230而一同掉落的情形，即使將連接構件230重新強制插入並進行釬焊，陶瓷加熱器的功能可靠性也會下降，存在陶瓷加熱器壽命縮短的問題。
解決的技術問題
本發明目的在於提供一種結構為在陶瓷加熱器維護、維修過程中，在藉由拉動電力供應構件的方法來試驗是否接合異常時，或者需要分離電力供應構件進行維修作業時，連接構件不與電力供應構件一同分離，而是能夠以與鉬網接觸的狀態固定於陶瓷構件內部的連接構件。
本發明又一目的在於提供一種確保陶瓷加熱器的功能穩定性，維護、維修穩定，因而穩定確保陶瓷加熱器的壽命的連接構件。
本發明又一目的在於提供一種藉由增加連接構件與鉬網之間的接觸面積來改善接觸電阻的連接構件。
技術方案
為了達成所述或其他目的，根據本發明一態樣，提供一種連接構件，該連接構件包括於陶瓷板，用於在電力供應構件與鉬網之間電氣連接，其特征在於，與陶瓷板包括的鉬網接觸的連接構件一面的面積，大於與電力供應構件接觸的連接構件另一面的面積。
另外，該連接構件另一面的直徑可以為2mm至5mm。
另外，該連接構件一面的直徑可以為另一面直徑的120%至150%。
另外，該連接構件可以為圓錐台形狀。
另外，連接構件可以為多棱錐台形狀。
另外，該連接構件的縱剖面可以為傾斜面向外側凸出形狀的梯形形態。
另外，該連接構件的縱剖面可以為傾斜面向內側凹陷形狀的梯形形態。
另外，該連接構件可以是在橫剖面的面積大的第一柱上層疊橫剖面的面積小的第二柱的形態。
另外，該連接構件可以是在橫剖面的面積大的第一柱上層疊橫剖面的面積小的第二柱後，在所述第二柱上層疊橫剖面的面積小於所述第一柱而大於所述第二柱的第三柱的形態。
另外，該連接構件的角部可以為經倒角處理者。
而且，該連接構件可以為鉬（Mo）。
發明效果
根據本發明的連接構件，具有的效果是，提供一種結構為在陶瓷加熱器維護、維修過程中，在藉由拉動電力供應構件的方法來試驗是否接合異常時，或者需要分離電力供應構件進行維修時，連接構件不與電力供應構件一同分離，而是能夠以與鉬網接觸的狀態固定於陶瓷構件內部的連接構件。
因此，具有確保陶瓷加熱器的功能穩定性的效果，維護、維修穩定，因而具有穩定確保陶瓷加熱器的壽命的效果。
而且，根據本發明的連接構件，具有可以供應藉由增加連接構件與鉬網之間的接觸面積來改善連接構件與鉬網之間的接觸電阻的連接構件的效果。
下面參照圖式，對本發明進行詳細說明。此時，在各個圖中，相同的構成要素盡可能用相同的符號代表。另外，省略對已經習知的功能及/或構成的詳細說明。以下公開的內容重點說明理解多樣實施例的動作所需的部分，省略對可能混淆本說明要旨的要素的說明。另外，圖式的一部分構成要素可以誇張、省略或概略地圖示。各構成要素的大小並非全部反映實際大小，因此，在此記載的內容不由各個圖中繪製的構成要素的相對大小或間隔所限定。
如第一、第二等所示包含序數的術語，可以用於說明多樣的構成要素，但該構成要素並不由該術語所限定。該術語只用於把一種構成要素區別於另一構成要素的目的。
當言及某種構成要素“連接”或“接續”於另一構成要素時，應理解為既可以是直接連接於或接續於該另一構成要素，也可以在中間存在其它構成要素。相反，當言及某種構成要素“直接連接”或“直接接續”於另一構成要素時，應理解為在中間不存在其它構成要素。
只要在文理上未明白地表示不同，單數的表達包括複數的表達。
在本申請中，“包括”或“具有”等術語應理解為是要指定說明書中記載的特徵、數字、步驟、動作、構成要素、部件或其組合的存在，不預先排除一個或其以上的其它特徵或數字、步驟、動作、構成要素、部件或其組合的存在或附加可能性。
第4圖是圖示本發明陶瓷加熱器中包括的連接構件400結構的一個實施例的圖。
如果參照第4圖，陶瓷板110可以包括被陶瓷構件250環繞的鉬網240，可以包括用於向鉬網240供應電力的電力供應構件210和連接構件400，可以包括用於保護所述電力供應構件210的筒形環境的鎳筒形構件220。該電力供應構件210可以包括鎳連桿211及可伐合金212（KOVAR），鎳連桿211作為用於供應電力的構件，可以為圓柱形態。而且，可伐合金212（KOVAR）作為在鎳連桿211與連接構件400之間的在高熔點下緩解接合應力的低熱膨脹導體，可以為與鎳連桿211相同形態的圓柱形態，可以為鐵（Fe）、鈷（Co）及鎳（Ni）合金材料。另外，連接構件400作為用於在電力供應構件210與鉬網240之間電氣連接的連接器（CONNECTOR），可以以與鉬網240熱結合形態結合。
而且，本發明一個實施例的連接構件400另一面的直徑可以為2mm至5mm。在連接構件400另一面的直徑X小於2mm的情況下，會出現無法穩定供應電力的問題，在連接構件400另一面的直徑X大於5mm的情況下，會出現連接構件400可能發生裂隙的問題。因此，連接構件400另一面的直徑X為2mm至5mm會穩定。
另外，本發明一個實施例的連接構件400可以為圓錐形狀。在第4圖中，作為本發明的連接構件400的一個實施例，將連接構件400表現為圓錐台形狀，但不限定於此，本發明一個實施例的連接構件400可以為多棱錐台形狀。在本發明一個實施例的連接構件400為多棱錐台形狀的情況下，連接構件400的多面的面積範圍可以是與直徑為2mm至5mm的圓形的面積對應的範圍，以便與所述圓錐台的情形對應。
另外，該連接構件400的所有角部為了防止裂隙而可以經倒角處理。
另外，本發明一個實施例的連接構件400的材料可以為鉬（Mo）。
第5圖是圖示本發明一個實施例的連接構件400的結構的圖。
第5圖（A）是圖示從側面觀察本發明一個實施例的連接構件400的樣子的圖，第5圖（B）是圖示從上方觀察本發明一個實施例的連接構件400的樣子的圖。
如果參照第5圖（A），本發明一個實施例的連接構件400可以為圓錐台形狀，在從側面觀察時，縱剖面的樣子或者可以為梯形形態。因此，就連接構件400而言，與陶瓷板110中包括鉬網240接觸的連接構件400一面的面積可以大於與電力供應構件210接觸的連接構件400另一面的面積。因此，與鉬網240接觸的連接構件400一面的直徑Y可以大於與電力供應構件210接觸的連接構件400另一面的直徑X。另外，該連接構件400的角部為了防止裂隙而可以經倒角處理。因此，在第5圖（A）中，本發明一個實施例的連接構件400可以表現為角部經倒角處理的形態，因此，連接構件400一面的直徑Y及連接構件400另一面的直徑X的測量，會在某種程度上包括具有通常知識者可以接納程度的誤差。
如果參照第5圖的（B），本發明一個實施例的連接構件400可以為圓錐台形狀，從上方觀察時，橫剖面的樣子或可以為圓形。即使在從上方觀察的情況下，就連接構件400而言，與陶瓷板110中包括的鉬網240接觸的連接構件400一面的面積可以大於與電力供應構件210接觸的連接構件400另一面的面積。因此，與鉬網240接觸的連接構件400一面的直徑Y可以大於與電力供應構件210接觸的連接構件400另一面的直徑X。
因此，根據本發明的連接構件400，與以往的連接構件230相比，連接構件400與鉬網240之間的接觸面積增加，具有改善連接構件400與鉬網240之間的接觸電阻的效果。
第6圖是圖示本發明一個實施例的陶瓷加熱器中的陶瓷加熱器包括的連接構件400在電力供應構件210分離過程中不分離而是固定的一個實施例的圖。
如果參照第6圖，陶瓷加熱器如果長時間暴露於高溫的大氣環境下，則電力供應構件210與連接構件400之間的接合界面發生問題，會誘發電接合異常。此時，藉由以既定的力拉動電力供應構件210的方法，可以確認是否接合異常，當接合異常時，可以將電力供應構件210從陶瓷板110分離並維護修理電力供應構件210，在這種過程中，不同於以往連接構件230，本發明一個實施例的連接構件400不與電力供應構件210一同分離，而是被陶瓷構件250環繞，可以在與鉬網240保持穩定的電氣接觸的狀態下，固定於陶瓷板110內部。如果更詳細地說明，就本發明一個實施例的連接構件400而言，與陶瓷板110中包括的鉬網240接觸的連接構件400一面的面積可以大於與電力供應構件210接觸的連接構件400另一面的面積，因而即使因電力供應構件210而對連接構件400施加張力，借助於環繞連接構件400的陶瓷構件250，可以安全地固定於鉬網240，因此，可以以接觸電力供應構件210的狀態，防止從鉬網240分離的現象。
因此，根據本發明一個實施例的連接構件400，具有確保陶瓷加熱器的功能穩定性的效果，維護、維修穩定，因而具有穩定確保陶瓷加熱器的壽命的效果。
第7圖是圖示本發明一個實施例的連接構件400不與電力供應構件210一同分離的最佳條件實驗結果數據的圖。
本發明一個實施例的連接構件400另一面的直徑可以為2mm至5mm。在連接構件400另一面的直徑X小於2mm的情況下，會出現無法穩定供應電力的問題，在連接構件400另一面的直徑X大於5mm的情況下，會出現連接構件400可能發生裂隙的問題。因此，連接構件400另一面的直徑X為2mm至5mm時會穩定。
如果參照第7圖，第7圖中使用的連接構件400是假定為圓錐台形態、連接構件400另一面的直徑X為2mm至5mm時的實驗數據。
在實施例1中，將連接構件400一面的直徑設置為與另一面直徑X100%相同，當向連接構件400施加5kgf•cm、10kgf•cm及15kgf•cm的拉伸力時，在所有情況下，連接構件400與電力供應構件210一同從鉬電極分離。
在實施例2中，較大地設置連接構件400一面的直徑，使得達到另一面直徑X的110%，當向連接構件400施加5kgf•cm、10kgf•cm及15kgf•cm的拉伸力時，與上面一樣，在所有情況下，連接構件400均與電力供應構件210一同從鉬電極分離。
在實施例3中，較大地設置連接構件400一面的直徑，使得達到另一面直徑X的120%，當向連接構件400施加5kgf•cm、10kgf•cm及15kgf•cm的拉伸力時，在所有情況下，連接構件400均不與電力供應構件210一同分離，而是以與鉬電極接觸的形態固定。
在實施例4至6中，較大地設置連接構件400一面的直徑，使得達到另一面直徑X的130%至150%，當向連接構件400施加5kgf•cm、10kgf•cm及15kgf•cm的拉伸力時，與實施例3一樣，在所有情況下，連接構件400均不與電力供應構件210一同分離，而是以與鉬電極接觸的形態固定。
不過，在連接構件400另一面的直徑X為2mm至5mm的範圍內，較大地設置連接構件400一面的直徑，使得超過另一面直徑X的150%，在這種情況下，整體而言，連接構件400的大小增大，存在會發生裂隙的問題。
因此，本發明一個較佳實施例的連接構件400一面的直徑Y為另一面直徑X的120%至150%。
第8圖至第11圖是圖示本發明又一實施例的連接構件400的結構的圖。
如果參照第8圖，該連接構件400的縱剖面可以為傾斜面向外側凸出形狀的梯形形態。更詳細而言，該連接構件400可以為作為錐形側面的傾斜面向外側凸出形態的錐台形狀。該錐台可以為圓錐台或多棱錐台。
如果參照第9圖，該連接構件400的縱剖面可以為傾斜面向內側凹陷形狀的梯形形態。更詳細而言，該連接構件400可以為作為錐台側面的傾斜面向內側凹陷形態的錐台形狀。該錐台可以為圓錐台或多棱錐台。
如果參照第10圖，該連接構件400可以是在橫剖面的面積大的第一柱上層疊橫剖面的面積小的第二柱的形態。更詳細而言，該連接構件400作為由底面面積不同的2個柱層疊的形態，該柱可以為圓柱，也可以為多棱柱。不過，在多棱柱的情況下，可以是2個多棱柱的各角部相互對應地層疊的形態。
如果參照第11圖，該連接構件400可以是在橫剖面的面積大的第一柱上層疊橫剖面的面積小的第二柱後，在該第二柱上層疊橫剖面的面積小於該第一柱而大於該第二柱的第三柱的形態。更詳細而言，該連接構件400作為由底面面積不同的3個柱層疊的形態，該柱可以為圓柱，也可以為多棱柱。不過，在多棱柱的情況下，可以是3個多棱柱的各角部相互對應地層疊的形態。
根據本發明的連接構件400，具有的效果是，可以提供一種結構為在陶瓷加熱器維護、維修過程中，當藉由拉動電力供應構件210的方法來試驗是否接合異常時，或需要分離電力供應構件210進行維修作業時，連接構件400不與電力供應構件210一同分離出來，而是以與鉬網240接觸的狀態，固定於陶瓷構件250內部的連接構件400。
因此，具有確保陶瓷加熱器的功能穩定性的效果，維護、維修穩定，因而具有穩定確保陶瓷加熱器的壽命的效果。
而且，根據本發明的連接構件400，具有可以供應藉由增加連接構件400與鉬網240之間的接觸面積來改善連接構件400與鉬網240之間的接觸電阻的連接構件的效果。
如上所述，本發明根據諸如具體構成要素等的特定事項和限定的實施例及圖式進行了說明，但這只是為了幫助更全面理解本發明而提供的，並非本發明限定於該實施例，只要是本發明所屬技術領域具有通常知識者，便可以在不超出本發明的本質特性的範圍內進行多樣修改及變形。因此，本發明的思想不得局限於說明的實施例而確定，不僅後述的申請專利範圍，而且與該發明申請專利範圍等同或等價變形的所有技術思想，均應解釋為包含於本發明的權利範圍。
210:電力供應構件
211:鎳連桿
212:可伐合金
220:鎳筒形構件
230:以往連接構件
240:鉬網
250:陶瓷構件
400:連接構件
第1圖是圖示陶瓷加熱器結構的一個示例的圖。
第2圖是圖示以往陶瓷加熱器中包括的以往連接構件結構的一個實施例的圖。
第3圖是圖示以往陶瓷加熱器中的陶瓷加熱器包括的以往連接構件在電力供應構件分離過程中一同分離的一個實施例的圖。
第4圖是圖示本發明陶瓷加熱器中包括的連接構件結構的一個實施例的圖。
第5圖是圖示本發明一個實施例的連接構件的結構的圖。
第6圖是圖示本發明一個實施例的陶瓷加熱器中的陶瓷加熱器包括的連接構件在電力供應構件分離過程中不分離而是固定的一個實施例的圖。
第7圖是圖示本發明一個實施例的連接構件不與電力供應構件一同分離的最佳條件實驗結果數據的圖。
第8圖至第11圖是圖示本發明又一實施例的連接構件的結構的圖。
210:電力供應構件
211:鎳連桿
212:可伐合金
220:鎳筒形構件
230:以往連接構件
240:鉬網
250:陶瓷構件
400:連接構件
Claims (11)
- 一種連接構件（400），該連接構件（400）包括於一陶瓷板（110），用於在一電力供應構件（210）與一鉬網（240）之間電氣連接，其中，與該陶瓷板（110）包括的該鉬網（240）接觸的該連接構件（400）之一面的面積，大於與該電力供應構件（210）接觸的該連接構件（400）之另一面的面積。
- 如請求項1所述的連接構件（400），其中，該連接構件（400）之另一面的直徑為2mm至5mm。
- 如請求項1所述的連接構件（400），其中，該連接構件（400）之一面的直徑（Y）為另一面直徑（X）的120%至150%。
- 如請求項1所述的連接構件（400），其中，該連接構件（400）為圓錐台形狀。
- 如請求項1所述的連接構件（400），其中，該連接構件（400）為多棱錐台形狀。
- 如請求項1所述的連接構件（400），其中，該連接構件（400）的縱剖面為傾斜面向外側凸出形狀的梯形形態。
- 如請求項1所述的連接構件（400），其中，該連接構件（400）的縱剖面為傾斜面向內側凹陷形狀的梯形形態。
- 如請求項1所述的連接構件（400），其中，該連接構件（400）是在橫剖面的面積大的第一柱上層疊橫剖面的面積小的第二柱的形態。
- 如請求項1所述的連接構件（400），其中，該連接構件（400）是在橫剖面的面積大的第一柱上層疊橫剖面的面積小的一第二柱後，在該第二柱上層疊橫剖面的面積小於該第一柱而大於該第二柱的第三柱的形態。
- 如請求項1所述的連接構件（400），其中，該連接構件（400）的角部經倒角處。
- 如請求項1所述的連接構件（400），其中，該連接構件（400）為鉬（Mo）。
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