JP2007066542A - ヒータおよびウェハ加熱装置ならびにこのヒータの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 コイル状の抵抗発熱体を埋設した板状セラミック体の一方の主面を板状の被加熱物を載せる載置面とし、該載置面から見て前記コイル状の抵抗発熱体の中心線は円弧状と折り返し形状とを連続させて略同心円状に配設され、同一円周上に位置する一対の折り返し形状をなす抵抗発熱体の間の距離が半径方向に隣り合う前記円弧状をなす中心線の間の距離よりも小さくすると、上記一対の折り返し形状をなす抵抗発熱体付近の発熱量が大きくなり、この付近にクールスポットを発生する虞がなくウェハWを均一に加熱することができる。
【選択図】 図1
Description
2、51:板状セラミック体
3、51a:載置面
5、53、54:抵抗発熱体
6:給電部
7:測温素子
8、60:筒状の支持部材
8a:フランジ
8b:フランジ
9:溝
10:成形体
11、57、58:給電端子
15:貫通孔
W:ウェハ
Claims (6)
- コイル状の抵抗発熱体を埋設した板状セラミック体の一方の主面を被加熱物を載せる載置面とし、該載置面から見てコイル状の前記抵抗発熱体は、中心線が弧状に配置された弧状部と折り返し形状に配置された折り返し部とを連続させて略同心円状に配設され、同一円周上に位置して対向する前記折り返し部の間の距離が、半径方向に隣り合う前記弧状部の中心線の間の距離よりも小さいことを特徴とするヒータ。
- 前記同一円周上に位置して対向する前記折り返し部の間の距離が、半径方向に隣り合う前記弧状部の中心線の間の距離の30%〜80%であることを特徴とする請求項1に記載のヒータ。
- 前記略同心円状に配設された最外周のコイル状の前記抵抗発熱体のピッチは、その内側の前記抵抗発熱体のピッチより小さいことを特徴とする請求項1または2に記載のヒータ。
- 前記板状セラミック体の他方の主面に筒状の支持部材を接合し、この接合部の内側に位置するコイル状の前記抵抗発熱体のピッチが、前記接合部の外側に位置するコイル状の前記抵抗発熱体のピッチより小さいことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のヒータ。
- 前記被加熱物をウェハとした請求項1〜4のいずれかに記載のヒータを、雰囲気の制御が可能な容器内に配設したことを特徴とするウェハ加熱装置。
- セラミック粉末からなる板状の成形体を作製する工程と、この成形体の一方の主面に弧状に配置された弧状部と折り返し形状に配置された折り返し部とを連続させた溝を形成する工程と、この溝にコイル状の抵抗発熱体を挿入する工程と、前記溝と前記抵抗発熱体との隙間にセラミック粉末を充填し、該セラミック粉末に予備加圧して前記抵抗発熱体を埋設した成形体を得る工程と、この成形体を耐熱型に挿入し加圧しながら焼成する工程とを有することを特徴とするヒータの製造方法。
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