JP2007088484A - 加熱装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】加熱装置10Aは、半導体設置面2aを備えるヒーター1A、およびヒーターの背面2bに対して固定される中空の支持部材11を備え、支持部材11の外周面間寸法よりも、支持部材長寸法のほうが大きく、ヒーターが、板状の基体2、抵抗発熱体からなる第一の加熱素子3、第一の加熱素子3とは独立して制御される第二の加熱素子4、第一の加熱素子3に接続された第一の端子部6A、および第二の加熱素子4に接続された第二の端子部7を備え、支持部材の内側空間12に、第一の端子部6Aに接続された第一の電力供給手段15と、第二の端子部7に接続された第二の電力供給手段14と、第一の加熱素子3と第二の加熱素子4とが互いに電気的に接続しないように略同一の平面A内とした構成である。
【選択図】図3
Description
ヒーターが、半導体設置面を備える板状の基体、抵抗発熱体からなる第一の加熱素子、抵抗発熱体からなり、第一の加熱素子とは独立して制御される第二の加熱素子、第一の加熱素子に接続された第一の端子部、第二の加熱素子に接続された第二の端子部を備えており、
支持部材の内側空間に、第一の端子部に対して接続された第一の電力供給手段と、第二の端子部に対して接続された第二の電力供給手段とが収容されており、第一の加熱素子と第二の加熱素子とが互いに電気的に接続しないように略同一の平面内に設けられていることを特徴とする。
更に、支持部材の外周面間寸法よりも、支持部材長寸法を大きくすることで、ヒーターからの装置接続部への伝熱を抑制して均熱性を向上させることができる。
図1−図3に示す加熱装置10Aを製造した。基体2は、窒化アルミニウム焼結体とし、基体の直径φは250mmとし、厚さは10mmとした。基体2の内部には、半導体ウエハーの直径に相当するφ200のゾーン16に第二の加熱素子4を埋設し、直径200−250mmのゾーン17に第一の加熱素子3を埋設した。各加熱素子は、モリブデン製のコイルスプリング形状のものである。端子6A、7は、それぞれモリブデン製の円柱状端子とした。導電接続部8A、9Aはモリブデン線とした。
図4〜図6に示す加熱装置10Bを製造した。ただし、基体2は、窒化アルミニウム焼結体とし、基体の直径φは250mmとし、厚さは10mmとした。基体2の内部には、半導体ウエハーの直径に相当するφ200のゾーン16に第二の加熱素子4を埋設し、直径200−250mmのゾーン17に第一の加熱素子3を埋設した。各加熱素子は、モリブデン製のコイルスプリング形状のものである。端子6B、7は、それぞれモリブデン製の円柱状端子とした。導電接続部9A、8Bはモリブデン線とした。接続材15は、モリブデン製のコイルスプリングとした。
Claims (8)
- 半導体を設置するための半導体設置面を備えるヒーター、およびこのヒーターの背面に対して固定される中空の支持部材を備えている半導体製造装置用加熱装置であって、
前記支持部材の外周面間寸法よりも、支持部材長寸法のほうが大きく、前記ヒーターが、前記半導体設置面を備える板状の基体、抵抗発熱体からなる第一の加熱素子、抵抗発熱体からなり、前記第一の加熱素子とは独立して制御される第二の加熱素子、前記第一の加熱素子に接続された第一の端子部、および前記第二の加熱素子に接続された第二の端子部を備えており、前記支持部材の内側空間に、前記第一の端子部に対して接続された第一の電力供給手段と、前記第二の端子部に対して接続された第二の電力供給手段とが収容されており、前記第一の加熱素子と前記第二の加熱素子とが互いに電気的に接続しないように略同一の平面内に設けられていることを特徴とする、加熱装置。 - 前記第一の加熱素子が前記ヒーターの周縁部に設けられており、前記第二の加熱素子が前記ヒーターの中央部に設けられていることを特徴とする、請求項1記載の加熱装置。
- 前記支持部材が、前記ヒーターの前記背面の中央部に対して固定されていることを特徴とする、請求項1または2記載の加熱装置。
- 前記第一の加熱素子および前記第二の加熱素子が前記基体の内部に埋設されていることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一つの請求項に記載の加熱装置。
- 前記第一の加熱素子と前記第一の端子部とを接続し、かつ前記第二の加熱素子とは電気的に接続していない導電接続部が、前記平面内において前記第二の加熱素子の設置ゾーン内に設けられていることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一つの請求項に記載の加熱装置。
- 前記第一の加熱素子と前記第一の端子部とを接続し、かつ前記第二の加熱素子とは電気的に接続していない導電接続部が、前記平面とは異なる他の平面内において前記第二の加熱素子の設置ゾーン内に設けられていることを特徴とする、請求項4記載の加熱装置。
- 前記基体内に埋設されており、前記導電接続部と前記第一の加熱素子とを電気的に接続する伸縮可能な接続材を備えていることを特徴とする、請求項6記載の加熱装置。
- 前記接続材がコイルスプリングであることを特徴とする、請求項7記載の加熱装置。
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