JP2014099313A - ヒータユニット - Google Patents
ヒータユニット Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014099313A JP2014099313A JP2012250203A JP2012250203A JP2014099313A JP 2014099313 A JP2014099313 A JP 2014099313A JP 2012250203 A JP2012250203 A JP 2012250203A JP 2012250203 A JP2012250203 A JP 2012250203A JP 2014099313 A JP2014099313 A JP 2014099313A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heater
- heating element
- heater unit
- heating surface
- heating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Surface Heating Bodies (AREA)
- Resistance Heating (AREA)
Abstract
【解決手段】ヒータユニットは、帯状の発熱体によって形成される略円形状の加熱面を備える。加熱面は、内側領域に形成される内側ヒータと、中央部から径方向外側に延びる連絡部、及び外側領域に形成される外側部分を含む外側ヒータとを有する。連絡部における発熱体の幅は、外側部分における発熱体の幅よりも広い。
【選択図】図3
Description
11,21,31 加熱面
12,22,32 電極
13,23,33 発熱体
14,24,34 内ヒータ
15,25,35 外ヒータ
16,26,36 渡り部
17 折返し部
27,37 外側部分
28,38 溝
33A 帯状部
33B 接続部
39 径方向に延びる溝
40 孔
C 中央部
I 内側領域
O 外側領域
Claims (5)
- 帯状の発熱体によって形成される略円形状の加熱面を備えるヒータユニットであって、
前記加熱面は、前記加熱面の中心を含む中央部と、前記中央部を囲む内側領域と、前記内側領域を囲む外側領域とを含み、
前記加熱面は、
前記中央部から延びる前記発熱体によって前記内側領域に形成される内側ヒータと、
前記中央部から径方向外側に延びる前記発熱体によって前記内側領域に形成される連絡部、及び前記連絡部から延びる前記発熱体によって前記外側領域に形成される外側部分を含む外側ヒータと、を有し、
前記連絡部における前記発熱体の幅は、前記外側部分における前記発熱体の幅よりも広い、ヒータユニット。 - 前記連絡部における前記発熱体の幅は、前記内側ヒータにおける前記発熱体の幅と等しいか、又はそれよりも狭い、請求項1に記載のヒータユニット。
- 前記発熱体は、前記加熱面上に形成された複数の溝によって画定され、
前記溝は、前記加熱面の径方向に延びる径方向溝を含み、
前記内側ヒータ及び前記外側部分における前記径方向溝の各々は、異なる直線上に位置する、請求項1又は2に記載のヒータユニット。 - 前記内側ヒータ及び前記外側部分における前記発熱体は、
前記加熱面の周方向に延びる帯状部と、
前記帯状部を、その端部において、隣接する前記帯状部の端部と接続する接続部とを含み、
前記接続部は、前記帯状部と前記径方向溝との間に介在する、請求項3に記載のヒータユニット。 - 前記加熱面は、複数の孔を有し、
前記接続部は、前記帯状部と前記孔との間に介在する、請求項4に記載のヒータユニット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012250203A JP6059512B2 (ja) | 2012-11-14 | 2012-11-14 | ヒータユニット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012250203A JP6059512B2 (ja) | 2012-11-14 | 2012-11-14 | ヒータユニット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014099313A true JP2014099313A (ja) | 2014-05-29 |
JP6059512B2 JP6059512B2 (ja) | 2017-01-11 |
Family
ID=50941161
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012250203A Active JP6059512B2 (ja) | 2012-11-14 | 2012-11-14 | ヒータユニット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6059512B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016129183A (ja) * | 2015-01-09 | 2016-07-14 | 住友大阪セメント株式会社 | 静電チャック装置 |
KR20170040617A (ko) * | 2015-10-05 | 2017-04-13 | 주식회사 미코 | 온도 편차 특성이 개선된 기판 가열 장치 |
CN107059112A (zh) * | 2017-04-14 | 2017-08-18 | 南京晶能半导体科技有限公司 | 半导体级硅单晶炉底部加热器 |
JP2018005999A (ja) * | 2016-06-27 | 2018-01-11 | 日本特殊陶業株式会社 | セラミックスヒータ |
WO2018159687A1 (ja) * | 2017-03-02 | 2018-09-07 | 日本碍子株式会社 | ウエハ加熱装置 |
KR20190103403A (ko) * | 2017-02-28 | 2019-09-04 | 닛폰 하츠죠 가부시키가이샤 | 기판 지지 유닛 및 기판 지지 유닛을 가지는 성막장치 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1064665A (ja) * | 1996-08-23 | 1998-03-06 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 均熱セラミックスヒーター |
JP2000228270A (ja) * | 1998-11-30 | 2000-08-15 | Komatsu Ltd | 円盤状ヒータ及び温度制御装置 |
JP2003133195A (ja) * | 2001-10-24 | 2003-05-09 | Ngk Insulators Ltd | 加熱装置 |
JP2007088484A (ja) * | 2006-10-11 | 2007-04-05 | Ngk Insulators Ltd | 加熱装置 |
JP2008016796A (ja) * | 2006-07-05 | 2008-01-24 | Momentive Performance Materials Inc | 抵抗加熱素子用電極パターン及び基板処理装置 |
JP2009302223A (ja) * | 2008-06-12 | 2009-12-24 | Soken Kogyo Kk | 基板加熱装置およびこれを用いる結晶成長装置 |
JP2011081939A (ja) * | 2009-10-05 | 2011-04-21 | Bridgestone Corp | ヒータユニット |
-
2012
- 2012-11-14 JP JP2012250203A patent/JP6059512B2/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1064665A (ja) * | 1996-08-23 | 1998-03-06 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 均熱セラミックスヒーター |
JP2000228270A (ja) * | 1998-11-30 | 2000-08-15 | Komatsu Ltd | 円盤状ヒータ及び温度制御装置 |
JP2003133195A (ja) * | 2001-10-24 | 2003-05-09 | Ngk Insulators Ltd | 加熱装置 |
JP2008016796A (ja) * | 2006-07-05 | 2008-01-24 | Momentive Performance Materials Inc | 抵抗加熱素子用電極パターン及び基板処理装置 |
JP2007088484A (ja) * | 2006-10-11 | 2007-04-05 | Ngk Insulators Ltd | 加熱装置 |
JP2009302223A (ja) * | 2008-06-12 | 2009-12-24 | Soken Kogyo Kk | 基板加熱装置およびこれを用いる結晶成長装置 |
JP2011081939A (ja) * | 2009-10-05 | 2011-04-21 | Bridgestone Corp | ヒータユニット |
Cited By (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016129183A (ja) * | 2015-01-09 | 2016-07-14 | 住友大阪セメント株式会社 | 静電チャック装置 |
US11133202B2 (en) | 2015-10-05 | 2021-09-28 | Mico Ceramics Ltd. | Substrate heating apparatus with enhanced temperature uniformity characteristic |
KR20170040617A (ko) * | 2015-10-05 | 2017-04-13 | 주식회사 미코 | 온도 편차 특성이 개선된 기판 가열 장치 |
KR102348108B1 (ko) * | 2015-10-05 | 2022-01-10 | 주식회사 미코세라믹스 | 온도 편차 특성이 개선된 기판 가열 장치 |
JP2018537802A (ja) * | 2015-10-05 | 2018-12-20 | ミコ リミテッド | 温度偏差特性が改善された基板加熱装置 |
JP2018005999A (ja) * | 2016-06-27 | 2018-01-11 | 日本特殊陶業株式会社 | セラミックスヒータ |
KR20190103403A (ko) * | 2017-02-28 | 2019-09-04 | 닛폰 하츠죠 가부시키가이샤 | 기판 지지 유닛 및 기판 지지 유닛을 가지는 성막장치 |
US11201040B2 (en) | 2017-02-28 | 2021-12-14 | Nhk Spring Co., Ltd. | Substrate supporting unit and film forming device having the substrate supporting unit |
KR102329130B1 (ko) | 2017-02-28 | 2021-11-19 | 닛폰 하츠죠 가부시키가이샤 | 기판 지지 유닛 및 기판 지지 유닛을 가지는 성막장치 |
WO2018159687A1 (ja) * | 2017-03-02 | 2018-09-07 | 日本碍子株式会社 | ウエハ加熱装置 |
KR102276102B1 (ko) * | 2017-03-02 | 2021-07-13 | 엔지케이 인슐레이터 엘티디 | 웨이퍼 가열 장치 |
TWI745556B (zh) * | 2017-03-02 | 2021-11-11 | 日商日本碍子股份有限公司 | 晶圓加熱裝置 |
CN110352626A (zh) * | 2017-03-02 | 2019-10-18 | 日本碍子株式会社 | 晶圆加热装置 |
KR20190112789A (ko) * | 2017-03-02 | 2019-10-07 | 엔지케이 인슐레이터 엘티디 | 웨이퍼 가열 장치 |
US11515180B2 (en) | 2017-03-02 | 2022-11-29 | Ngk Insulators, Ltd. | Wafer-heating device |
CN107059112A (zh) * | 2017-04-14 | 2017-08-18 | 南京晶能半导体科技有限公司 | 半导体级硅单晶炉底部加热器 |
CN107059112B (zh) * | 2017-04-14 | 2023-12-08 | 南京晶能半导体科技有限公司 | 半导体级硅单晶炉底部加热器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6059512B2 (ja) | 2017-01-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6059512B2 (ja) | ヒータユニット | |
JP6341457B1 (ja) | 静電チャック | |
JP5911179B2 (ja) | 立体形状のセラミックスヒーター | |
US20200396801A1 (en) | Multi-zone heater | |
JPWO2017115758A1 (ja) | 円板状ヒータ及びヒータ冷却板アセンブリ | |
JP6800731B2 (ja) | 支持体を有する加熱装置及びその製造方法 | |
JP6084906B2 (ja) | セラミックヒータ | |
TWI713408B (zh) | 陶瓷加熱器 | |
KR20190112789A (ko) | 웨이퍼 가열 장치 | |
KR20170040617A (ko) | 온도 편차 특성이 개선된 기판 가열 장치 | |
US8993939B2 (en) | Resistance heater | |
JP4690297B2 (ja) | ヒータ | |
JP5875882B2 (ja) | セラミックヒータ | |
JP2017199565A5 (ja) | ||
JP2018005998A (ja) | セラミックスヒータ | |
JP2011129515A (ja) | 放電灯用の電極 | |
JP3844408B2 (ja) | 複層セラミックスヒータ | |
KR20220000405A (ko) | 개선된 기판 프로세싱을 위한 기판 페디스털 | |
CN112930710A (zh) | 陶瓷加热器 | |
KR20190058330A (ko) | 가열식 기판 지지부 | |
KR102273563B1 (ko) | 히팅장치를 이용한 소재 가열방법 | |
KR102273562B1 (ko) | 반도체 히팅장치 | |
US20210136875A1 (en) | Heating device | |
KR102273560B1 (ko) | 정밀도가 향상된 히팅장치 | |
CN104508813A (zh) | 半导体晶圆输送器具 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150609 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160311 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160510 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160624 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161122 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161209 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6059512 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |