TW201936043A - 安裝順序決定裝置、安裝順序決定方法、安裝順序決定程式、記錄媒體、零件安裝系統 - Google Patents

Abstract

本發明取得生產(N×L)個於安裝對象點Bp安裝完成之零件Wp之生產計劃81，進行與生產計劃81之執行所需要之生產時間相關之評估。具體而言，進行與使用第1安裝模式執行生產計劃81之情形時之生產時間相關的評估，該第1安裝模式係當於M個安裝位置P2、P4之各者使基板B各1片地停止，使零件Wp安裝於與M個安裝部4A、4B之各者對應之安裝位置P2、P4之基板B之L個安裝對象點Bp之全部時，分別自M個安裝位置P2、P4搬出基板B。而且，基於該評估結果，決定生產計劃81之執行是否使用第1安裝模式。藉此，於第1安裝模式有效率之狀況下，可藉由第1安裝模式執行生產計劃81。如此一來，能夠執行與狀況對應之有效率的零件安裝。

Description

安裝順序決定裝置、安裝順序決定方法、安裝順序決定程式、記錄媒體、零件安裝系統

本發明係關於一種決定藉由零件安裝系統於基板安裝零件之順序之技術，該零件安裝系統具備：搬送部，其能夠將複數片基板依序於搬送方向搬送；及複數個安裝部，其等排列於搬送方向，且能夠分別將同一種類之零件安裝於基板。

先前，已知有具備排列於基板之搬送方向之複數個安裝部之零件安裝系統。又，如日本專利特開2017-37902號公報所示般，於此種零件安裝系統中，可由複數個安裝部分擔零件對1片基板之安裝。即，基板於搬送方向搬送且複數個安裝部依序停止，各安裝部對停止中之基板進行擔當之零件之安裝。藉此，可謀求零件安裝之效率化。

然而，根據狀況，存在該方法未必有效率之情形。例如，最初搬入至零件安裝系統之基板於搬送方向之最上游之安裝部停止，於該安裝部中接受零件之安裝。於該期間，由於較最上游之安裝部靠搬送方向之下游側之安裝部未運轉，故而零件安裝系統之運轉率與下游側之安裝部運轉之情形時比較變低。又，由搬送方向之最下游之安裝部安裝最後搬入至零件安裝系統之基板時，亦同樣地會產生運轉率之降低。即，於該期間，由於較最下游之安裝部靠搬送方向之上游側之安裝部未運轉，零件安裝系統之運轉率與上游側之安裝部運轉之情形時比較變低。而且，此種運轉率之降低於搬送至零件安裝系統之基板較少之情形時特別明顯。

本發明係鑒於上述問題而完成者，目的在於提供一種於具備排列於基板之搬送方向之複數個安裝部之零件安裝系統中，能夠執行與狀況對應之有效率的零件安裝之技術。

本發明之安裝順序決定裝置具備：生產計劃取得部，其取得藉由具備能夠將複數片具有複數個安裝對象點之基板依序於搬送方向搬送之搬送部、及與排列於搬送方向之M個(M為2以上之整數)安裝位置對應地設置且能夠分別將同一種類之零件安裝於安裝對象點之M個安裝部之零件安裝系統，生產J個(J為M以上之整數)於安裝對象點安裝完成之零件之生產計劃；以及安裝模式決定部，其基於進行與生產計劃之執行所需要之生產時間相關之評估之結果，決定於生產計劃中於安裝對象點安裝零件之安裝模式；且安裝模式決定部當於M個安裝位置之各者使基板各1片地停止，使零件安裝於與M個安裝部之各者對應之安裝位置之基板之複數個安裝對象點之全部時，基於與使用分別自M個安裝位置搬出基板之第1安裝模式執行生產計劃之情形時之生產時間相關之評估之結果，決定生產計劃之執行是否使用第1安裝模式。

本發明之安裝順序決定方法具備以下製程：取得藉由具備能夠將複數片具有複數個安裝對象點之基板依序於搬送方向搬送之搬送部、及與排列於搬送方向之M個(M為2以上之整數)安裝位置對應地設置且能夠分別將同一種類之零件安裝於安裝對象點之M個安裝部之零件安裝系統，生產J個(J為M以上之整數)於安裝對象點安裝完成之零件之生產計劃；以及基於進行與生產計劃之執行所需要之生產時間相關之評估之結果，決定於生產計劃中於安裝對象點安裝零件之安裝模式；且當於M個安裝位置之各者使基板各1片地停止，使零件安裝於與M個安裝部之各者對應之安裝位置之基板之複數個安裝對象點之全部時，基於與使用分別自M個安裝位置搬出基板之第1安裝模式執行生產計劃之情形時之生產時間相關之評估之結果，決定生產計劃之執行是否使用第1安裝模式。

本發明之安裝順序決定程式使電腦執行上述安裝順序決定方法。

本發明之記錄媒體上述安裝順序決定程式可藉由電腦讀出地記錄。

於如此構成之本發明(安裝順序決定裝置、安裝順序決定方法、安裝順序決定程式、記錄媒體、零件安裝系統)中，求出藉由具備能夠將複數片具有複數個安裝對象點之基板依序於搬送方向搬送之搬送部、及與排列於搬送方向之M個(M為2以上之整數)安裝位置對應地設置且能夠分別將同一種類之零件安裝於安裝對象點之M個安裝部之零件安裝系統而進行的零件之安裝順序。即，取得生產J個於安裝對象點安裝完成之零件之生產計劃，進行與生產計劃之執行所需要之生產時間相關之評估。具體而言，進行與使用第1安裝模式執行生產計劃之情形時之生產時間相關的評估，該第1安裝模式係當於M個安裝位置之各者使基板各1片地停止，使零件安裝於與M個安裝部之各者對應之安裝位置之基板之複數個安裝對象點之全部時，分別自M個安裝位置搬出基板。而且，基於該評估結果，決定生產計劃之執行是否使用第1安裝模式。藉此，於第1安裝模式有效率之狀況下，藉由第1安裝模式執行生產計劃。如此一來，能夠執行與狀況對應之有效率的零件安裝。

又，安裝模式決定部亦可以基於對使用第1安裝模式執行生產計劃之情形時、與使用於M個安裝位置依序使基板停止且由M個安裝部分擔向基板之複數個安裝對象點之零件之安裝之第2安裝模式執行生產計劃之情形時的生產時間之差異進行評估之結果，決定生產計劃之執行使用第1安裝模式及第2安裝模式之哪一者之方式，構成安裝順序決定裝置。於該構成中，根據狀況將第1安裝模式與第2安裝模式分開使用。因此，能夠執行與狀況對應之有效率的零件安裝。

又，安裝模式決定部亦可以基於在將自於搬送方向依序搬送之第1片至第N片為止之基板各者之複數個安裝對象點之個數之合計設為T(N)時滿足T(N－1)＜J≦T(N)之基板之片數N，決定第1模式之執行態樣之方式，構成安裝順序決定裝置。

具體而言，安裝模式決定部亦可以於N為M之倍數之情形時，若決定為生產計劃之執行使用第1安裝模式，則決定為藉由將第1安裝模式執行(N/M)次而執行生產計劃之方式，構成安裝順序決定裝置。於該構成中，藉由將對M片基板並行地安裝零件之並行安裝處理重複N次，可完成生產計劃。因此，能夠確保安裝部之較高之運轉率，執行有效率的零件安裝。

又，安裝模式決定部亦可以如下方式構成安裝順序決定裝置，即，於N為將M之倍數加上K(K為1以上且未達M之整數)而得之值之情形時，若決定為生產計劃之執行使用第1安裝模式，則決定為將第1安裝模式執行((N－K)/M)次之後，利用第1變更安裝模式執行生產計劃，該第1變更安裝模式係於M個安裝位置之各者使基板各1片地停止且向與M個安裝部之各者對應之安裝位置之基板安裝零件，藉此使M個安裝部執行自J個減去以((N－K)/M)次之第1安裝模式安裝之零件之個數所得之個數之零件向安裝對象點之安裝。於該構成中，關於J個零件中T(N－K)個零件，藉由將對M片基板並行地安裝零件之並行安裝處理重複((N－K)/M)次，能夠確保安裝部之較高之運轉率，執行有效率的零件安裝。又，關於最後之(J－T(N－K))個零件，於M個安裝部之各者使基板各1片地停止，向與M個安裝部之各者對應之安裝位置之基板安裝零件(第1變更安裝模式)。如此一來，藉由於M個安裝部使合計(J－T(N－K))個零件安裝於安裝對象點，能夠確保安裝部之較高之運轉率，執行有效率的零件安裝。

又，安裝模式決定部亦可以如下方式構成安裝順序決定裝置，即，於N為將M之倍數加上K(K為1以上且未達M之整數)所得之值之情形時，若決定為生產計劃之執行使用第1安裝模式，則決定為將第1安裝模式執行((N－K)/M)次之後，利用第2變更安裝模式執行生產計劃，該第2變更安裝模式係若於M個安裝位置中K個安裝位置使基板停止且使與K個安裝位置對應之K個安裝部向基板之複數個安裝對象點之全部安裝零件，便自K個安裝位置搬出基板。於該構成中，關於J個零件中T(N－K)個零件，藉由將對M片基板並行地安裝零件之並行安裝處理重複((N－K)/M)次，能夠確保安裝部之較高之運轉率，執行有效率的零件安裝。又，關於最後之(J－T(N－K))個零件，於M個安裝位置中K個安裝位置使基板停止且使與K個安裝位置對應之K個安裝部向基板之複數個安裝對象點之全部安裝零件(第2變更安裝模式)。如此一來，藉由使用K個安裝部，將(J－T(N－K))個零件安裝於安裝對象點，可完成生產計劃。

又，安裝模式決定部亦可決定為以於第1變更安裝模式及第2變更安裝模式中提前完成生產計劃之變更安裝模式，執行生產計劃之方式，構成安裝順序決定裝置。藉此，能夠藉由第1變更安裝模式及第2變更安裝模式中之更適當之一者，有效率地執行生產計劃。

又，安裝模式決定部亦可以基於在生產計劃中執行之基板之搬送所需要之搬送時間，進行與生產時間相關之評估之方式，構成安裝順序決定裝置。於該構成中，可基於搬送時間，準確地進行與生產時間相關之評估。

又，安裝模式決定部亦可以基於在生產計劃中執行之向基板之零件之安裝所需要之安裝時間及搬送時間，進行與生產時間相關之評估之方式，構成安裝順序決定裝置。於該構成中，可基於安裝時間及搬送時間，準確地進行與生產時間相關之評估。

本發明之零件安裝系統具備：搬送部，其能夠將複數片具有複數個安裝對象點之基板依序於搬送方向搬送；M個安裝部，其等與排列於搬送方向之M個(M為2以上之整數)安裝位置對應地設置，且能夠分別將同一種類之零件安裝於安裝對象點；以及控制部，其藉由控制搬送部及M個安裝部而執行生產J個(J為M以上之整數)於安裝對象點安裝完成之零件之生產計劃；且控制部係於M個安裝位置之各者使基板各1片地停止，使零件安裝於與M個安裝部之各者對應之安裝位置之基板之複數個安裝對象點之全部時，能夠使用分別自M個安裝位置搬出基板之第1安裝模式執行生產計劃。

於如此構成之本發明(零件安裝系統)中，具備：搬送部，其能夠將複數片具有複數個安裝對象點之基板依序於搬送方向搬送；及M個安裝部，其等與排列於搬送方向之M個(M為2以上之整數)安裝位置對應地設置，且能夠分別將同一種類之零件安裝於安裝對象點。而且，於在M個安裝部之各者使基板各1片地停止，使零件安裝於與M個安裝部之各者對應之安裝位置之基板之複數個安裝對象點之全部時，能夠使用分別自M個安裝位置搬出基板之第1安裝模式執行生產計劃。因此，於第1安裝模式有效率之狀況下，可藉由第1安裝模式執行生產計劃。如此一來，能夠執行與狀況對應之有效率的零件安裝。

又，亦可以如下方式構成零件安裝系統，即，於M個安裝位置中自搬送方向之上游側起數第1個安裝位置與第2個安裝位置之間，設置有使基板等待之等待位置，控制部當於第1安裝模式中，向對第1個安裝位置之一個基板之複數個安裝對象點之零件之安裝完成時，使一個基板自第1個安裝位置向等待位置移動，且使一個基板之下一個基板於第1個安裝位置停止，能夠將安裝模式變更為執行向對第1個安裝位置之下一個基板之複數個安裝對象點之零件之安裝的第3安裝模式。即，基本而言，第1安裝模式中之各安裝位置之零件之安裝應大致同時地完成。然而，當於零件安裝系統中實際上開始零件之安裝時，存在零件安裝之進展於各安裝位置不同之情形。因此，例如，會產生於在自搬送方向之上游側起數第1個安裝位置零件之安裝完成之時間點，於第2個安裝位置零件之安裝繼續之情形。相對於此，藉由能夠將安裝模式變更為使一個基板自第1個安裝位置向等待位置移動，且使一個基板之下一個基板於第1個安裝位置停止，執行向對第1個安裝位置之下一個基板之複數個安裝對象點之零件之安裝的第3安裝模式，可應對該情形。如此一來，能夠執行與狀況對應之有效率的零件安裝。

又，控制部亦可以如下方式構成零件安裝系統，即，於向第1個安裝位置之一個基板之複數個安裝對象點之零件之安裝完成之時間點，基於向複數個安裝對象點之零件之安裝於M個安裝位置中最遲之安裝位置安裝完成之零件的個數，決定變更為第3安裝模式還是繼續第1安裝模式。藉此，能夠執行與各安裝位置之零件安裝之進展對應之有效率的零件安裝。

根據本發明，於具備排列於基板之搬送方向之複數個安裝部之零件安裝系統中，能夠執行與狀況對應之有效率的零件安裝。

圖1係模式性地表示本發明之零件安裝系統之一例之俯視圖。如圖1所示，於本說明書中，適當使用由搬送方向X、寬度方向Y及鉛垂方向Z構成之XYZ正交座標軸。搬送方向X及寬度方向Y係與水平方向平行並且相互正交，鉛垂方向Z係與搬送方向X及寬度方向Y正交。

該零件安裝系統1係藉由對自搬送方向X之上游側搬入之基板B安裝零件並搬出至搬送方向X之下游側之1台零件安裝機10而構成。於基板B設置有複數個安裝對象點Bp，零件安裝機10所具備之控制部100對零件安裝機10之各部進行控制，藉此將零件Wp一個一個地安裝於各安裝對象點Bp。各零件Wp係經切割之晶圓W之裸晶片，具有相互相同之構成。

於圖1之例中，於基板B矩陣狀地設置有由虛線隔開之64個(8×8)對象候補點，64個對象候補點中判定為良品之L個對象候補點相當於「複數個安裝對象點Bp」(L為2以上之整數)。由於判定為不良之對象候補點之個數會根據基板B而不同，故而複數個安裝對象點Bp之個數會根據基板B而不同。但是，於以下所示之例中，只要未特別說明，則例示關於各基板B判定為64個對象候補點全部為良品，L＝64之情形進行說明。

該零件安裝機10具備於搬送方向X搬送基板B之搬送部2。搬送部2具有於搬送方向X按照該順序排列之等待輸送帶21、安裝輸送帶22、等待輸送帶23、安裝輸送帶24及搬出輸送帶25，該等輸送帶21～25可協動而於搬送方向X搬送基板B。等待輸送帶21設置於等待位置P1，使自零件安裝系統1之外部搬入之基板B於等待位置P1等待，或者交接至安裝輸送帶22。安裝輸送帶22設置於位於等待位置P1之搬送方向X之下游側之安裝位置P2，將自等待輸送帶21接收之基板B固定於安裝位置P2，或者交接至等待輸送帶23。等待輸送帶23設置於位於安裝位置P2之搬送方向X之下游側之等待位置P3，使自安裝輸送帶22接收之基板B於等待位置P3等待，或者交接至安裝輸送帶24。安裝輸送帶24設置於位於等待位置P3之搬送方向X之下游側之安裝位置P4，將自等待輸送帶23接收之基板B固定於安裝位置P4，或者交接至搬出輸送帶25。搬出輸送帶25設置於安裝位置P4之搬送方向X之下游側之位置，將自安裝輸送帶24接收之基板B向零件安裝系統1之外部搬出。如此，於搬送部2中，M個安裝位置P2、P4排列並設置於搬送方向X。此處，M為2以上之整數，且於圖1之例中M＝2。

又，零件安裝機10具備供給零件Wp之零件供給機構3。零件供給機構3具有：晶圓收納部31，其能夠收納複數個晶圓W；及晶圓引出部33，其將晶圓W自晶圓收納部31引出至晶圓供給位置Pp。晶圓收納部31藉由使將分別保持晶圓W之複數個晶圓保持器Wh排列並收納於鉛垂方向Z之支架於鉛垂方向Z升降，可使晶圓保持器Wh位於晶圓引出部33能夠接收晶圓W之高度，將該晶圓保持器Wh擠出至晶圓引出部33。

晶圓引出部33具有：晶圓支持台331，其支持晶圓保持器Wh；固定軌道332，其將晶圓支持台331於寬度方向Y能夠移動地支持；滾珠螺桿333，其設置於寬度方向Y且安裝於晶圓支持台331；及Y軸馬達334，其驅動滾珠螺桿333。因此，藉由利用Y軸馬達334使滾珠螺桿333旋轉，可使晶圓支持台331沿著固定軌道332於寬度方向Y移動。再者，如圖1所示，晶圓收納部31與晶圓供給位置Pp以自寬度方向Y夾持搬送部2之方式配置，晶圓支持台331通過搬送部2之下方。該晶圓支持台331藉由於與晶圓收納部31相鄰之接收位置自晶圓收納部31接收晶圓保持器Wh，自接收位置向自晶圓收納部31於寬度方向Y離開之晶圓供給位置Pp移動，而將晶圓W引出至晶圓供給位置Pp。

進而，零件供給機構3具有自晶圓供給位置Pp取出零件Wp之零件取出部35。零件取出部35具有自晶圓供給位置Pp取出零件Wp之取出頭36，且能夠使取出頭36於XY方向驅動。即，零件取出部35具有：支持構件351，其將取出頭36於搬送方向X能夠移動地支持；及X軸馬達352，其設置於搬送方向X且驅動安裝於取出頭36之滾珠螺桿；藉由利用X軸馬達352驅動滾珠螺桿，可使取出頭36於搬送方向X移動。又，零件取出部35具有：固定軌道353，其將支持構件351於寬度方向Y能夠移動地支持；滾珠螺桿354，其設置於寬度方向Y且安裝於固定軌道353；及Y軸馬達355，其驅動滾珠螺桿354。因此，藉由利用Y軸馬達355驅動滾珠螺桿354，可使取出頭36與支持構件351一起於寬度方向Y移動。

取出頭36具有：托架361，其於搬送方向X延伸設置；及2個噴嘴362，其等能夠旋轉地支持於托架361。各噴嘴362藉由以與搬送方向X平行之旋轉軸為中心旋轉，而位於朝向下方之吸附位置及朝向上方之交接位置(圖1之位置)之任一者。又，托架361隨著各噴嘴362能夠升降。

該零件供給機構3若使位於吸附位置之噴嘴362與晶圓供給位置Pp上之零件Wp自上方對向，則使噴嘴362下降而接觸於零件Wp。進而，零件供給機構3藉由對噴嘴362賦予負壓且使噴嘴362上升，而自晶圓供給位置Pp吸附零件Wp。而且，零件供給機構3藉由使噴嘴362位於交接位置，而供給零件Wp。

零件安裝機10具備將如此藉由零件供給機構3而供給之零件Wp安裝於基板B之安裝部4A、4B。尤其相對於M個安裝位置P2、P4以一對一之對應關係，設置有M個安裝部4A、4B(如上所述，於圖1之例中M＝2)。即，安裝部4A與安裝位置P2對應地設置，安裝部4B與安裝位置P4對應地設置。安裝部4A、4B具有：支持構件41，其沿著於寬度方向Y設置於零件安裝機10之頂部之固定軌道能夠移動；及安裝頭42，其藉由支持構件41而於搬送方向X能夠移動地支持；可使安裝頭42於XY方向移動。安裝頭42具有朝向下方之2個噴嘴421。

於零件Wp之吸附、安裝時，安裝部4A、4B分別向取出頭36之上方移動，若相對於保持於位於交接位置之噴嘴362之零件Wp使噴嘴421自上方對向，則使噴嘴421下降而接觸於零件Wp。繼而，零件供給機構3將噴嘴362之負壓解除，並且安裝部4A、4B對噴嘴421賦予負壓且使噴嘴421上升。若如此藉由安裝頭42吸附零件Wp，則安裝部4A將零件Wp安裝於固定於對應之安裝位置P2之基板B之安裝對象點Bp，安裝部4B將零件Wp安裝於固定於對應之安裝位置P4之基板B之安裝對象點Bp。如此，安裝部4A、4B將單一種類之零件Wp安裝於基板B。

於該零件安裝系統1中，控制部100可使用包含第1及第2安裝模式之複數個安裝模式，將零件Wp安裝於基板B之安裝對象點Bp。於第1安裝模式中，當搬送部2於2個安裝位置P2、P4之各者使基板B各1片地停止，2個安裝部4A、4B之各者將零件Wp安裝於對應之安裝位置P2、P4內之基板B之複數個(L個)安裝對象點Bp之全部時，搬送部2自2個安裝位置P2、P4之各者將基板B搬出至零件安裝系統1外。於第2安裝模式中，搬送部2於2個安裝位置P2、P4依序使1片基板B停止，由2個安裝部4A、4B分擔地進行向1片基板B之複數個(L個)安裝對象點Bp之零件Wp之安裝。

圖2係模式性地表示第1安裝模式中之動作之一例之圖。於該圖中，例示了將零件Wp安裝於4片基板B之情形時，表示藉由搬送部2而進行之搬送順序(換言之，搬入順序)之數字(1～4)標註於基板B。於第1安裝模式中，搬送部2開始向第1片基板B1之安裝位置P4之搬送(步驟S101)，繼而開始向第2片基板B2之安裝位置P2之搬送(步驟S102)。於步驟S103中，搬送部2將第1片基板B1固定於安裝位置P4，並且將第2片基板B2固定於安裝位置P2。

若如此一來基板B固定於安裝位置P2、P4之各者，則安裝部4A、4B之各者開始向固定於對應之安裝位置P2、P4之基板B2、B1之零件Wp之安裝。即，安裝部4A將零件Wp安裝於固定於安裝位置P2之基板B2之複數個安裝對象點Bp之全部，安裝部4B將零件Wp安裝於固定於安裝位置P4之基板B1之複數個安裝對象點Bp之全部(步驟S104)。再者，於步驟S104中，與零件安裝並行地，使第3片基板B3於等待位置P1等待，並且使第4片基板B4於相對於等待位置P1於搬送方向X之上游側相鄰之位置等待。當步驟S104中之零件安裝完成時，搬送部2自安裝位置P4向零件安裝系統1之外部搬出基板B1，並且自安裝位置P2向零件安裝系統1之外部搬出基板B2(步驟S105)。

若如此一來對基板B1、B2之第1安裝模式完成，則開始對基板B3、B4之第1安裝模式。即，於步驟S105中，與基板B1、B2之搬出並行地，搬送部2將第3片基板B3向安裝位置P4搬送，並且將第4片基板B4向安裝位置P2搬送。於步驟S106中，搬送部2將第3片基板B3固定於安裝位置P4，並且將第4片基板B4固定於安裝位置P2。如此一來，若基板B固定於安裝位置P2、P4之各者，則安裝部4A、4B之各者開始向固定於對應之安裝位置P2、P4之基板B4、B3之零件Wp之安裝。即，安裝部4A將零件Wp安裝於固定於安裝位置P2之基板B4之複數個安裝對象點Bp之全部，安裝部4B將零件Wp安裝於固定於安裝位置P4之基板B3之複數個安裝對象點Bp之全部(步驟S107)。當步驟S107中之零件安裝完成時，搬送部2自安裝位置P4向零件安裝系統1之外部搬出基板B3，並且自安裝位置P2向零件安裝系統1之外部搬出基板B4(步驟S108)。

如此，於第1安裝模式中，各安裝部4A、4B向設置於擔當之基板B之所有安裝對象點Bp安裝零件Wp，1片基板B僅自M個安裝部4A、4B中之任一者接受零件Wp之安裝。

圖3及圖4係模式性地表示第2安裝模式中之動作之一例之圖。於兩個圖中，例示了於4片基板B安裝零件Wp之情形時，將表示藉由搬送部2而進行之搬送順序(換言之，搬入順序)之數字(1～4)標註於基板B。於第2安裝模式中，搬送部2開始向第1片基板B1之安裝位置P2之搬送(步驟S201)，將第1片基板B1固定於安裝位置P2(步驟S202)。

如此一來，若基板B1固定於安裝位置P2，則安裝部4A開始向固定於對應之安裝位置P2之基板B1之零件Wp之安裝。即，安裝部4A將零件Wp安裝於固定於安裝位置P2之基板B1之複數個安裝對象點Bp中之M分之1，即(L/M)個安裝對象點Bp(步驟S203)。又，於步驟S203中，與零件安裝並行地，搬送部2使第2片基板B2於等待位置P1等待。當步驟S203中之零件安裝完成時，搬送部2自安裝位置P2向安裝位置P4搬送第1片基板B1，並且自等待位置P1向安裝位置P2搬送第2片基板B2(步驟S204)。而且，搬送部2將第1片基板B1固定於安裝位置P4，並且將第2片基板B2固定於安裝位置P2(步驟S205)。

如此一來，當基板B2、B1固定於安裝位置P2、P4時，安裝部4A開始向固定於對應之安裝位置P2之基板B2之零件Wp之安裝，並且安裝部4B開始向固定於對應之安裝位置P4之基板B1之零件Wp之安裝。即，安裝部4A將零件Wp安裝於固定於安裝位置P2之基板B2之複數個安裝對象點Bp中之M分之1之安裝對象點Bp，安裝部4B將零件Wp安裝於固定於安裝位置P4之基板B1之複數個安裝對象點Bp中之剩餘之M分之1之安裝對象點Bp(步驟S206)。此處，所謂剩餘之安裝對象點Bp，係指基板B1之複數個安裝對象點Bp中於步驟S203中於安裝位置P2未安裝零件Wp之安裝對象點Bp。如此一來，安裝部4A、4B分擔對1片基板B之複數個安裝對象點Bp之零件Wp之安裝之第2安裝模式相對於第1片基板B1完成。又，於步驟S206中，與零件安裝並行地，搬送部2使第3片基板B3於等待位置P1等待。

當步驟S206中之零件安裝完成時，搬送部2自安裝位置P4向零件安裝系統1之外部搬出基板B1(步驟S207)。又，於步驟S207中，搬送部2將第2片基板B2自安裝位置P2向安裝位置P4搬送，並且將第3片基板B3自等待位置P1向安裝位置P2搬送。而且，搬送部2將第2片基板B2固定於安裝位置P4，並且將第3片基板B3固定於安裝位置P2(步驟S208)。

如此一來，當基板B3、B2固定於安裝位置P2、P4時，安裝部4A進行向固定於對應之安裝位置P2之基板B3之複數個安裝對象點Bp中之M分之1之安裝對象點Bp之零件Wp之安裝，並且安裝部4B進行向固定於對應之安裝位置P4之基板B2之複數個安裝對象點Bp中之剩餘之M分之1之安裝對象點Bp之零件Wp之安裝(步驟S209)。如此一來，第2安裝模式相對於第2片基板B2完成。又，於步驟S209中，與零件安裝並行地，搬送部2使第4片基板B4於等待位置P1等待。

當步驟S209中之零件安裝完成時，搬送部2自安裝位置P4向零件安裝系統1之外部搬出基板B2(步驟S210)。又，於步驟S210中，搬送部2將第3片基板B3自安裝位置P2向安裝位置P4搬送，並且將第4片基板B4自等待位置P1向安裝位置P2搬送。而且，搬送部2將第3片基板B3固定於安裝位置P4，並且將第4片基板B4固定於安裝位置P2 (步驟S211)。

如此一來，當基板B4、B3固定於安裝位置P2、P4時，安裝部4A進行向固定於對應之安裝位置P2之基板B4之複數個安裝對象點Bp中之M分之1之安裝對象點Bp之零件Wp之安裝，並且安裝部4B進行向固定於對應之安裝位置P4之基板B3之複數個安裝對象點Bp中之剩餘之M分之1之安裝對象點Bp之零件Wp之安裝(步驟S212)。如此一來，第2安裝模式相對於第3片基板B2完成。

當步驟S212中之零件安裝完成時，搬送部2自安裝位置P4向零件安裝系統1之外部搬出基板B3(步驟S213)。又，於步驟S213中，搬送部2將第4片基板B4自安裝位置P2向安裝位置P4搬送。而且，搬送部2將第4片基板B4固定於安裝位置P4(步驟S214)。

如此一來，當基板B4固定於安裝位置P4時，安裝部4B進行向固定於對應之安裝位置P4之基板B4之複數個安裝對象點Bp中之剩餘之M分之1之安裝對象點Bp之零件Wp之安裝(步驟S215)。如此一來，第2安裝模式相對於第4片基板B2完成。當步驟S215中之零件安裝完成時，搬送部2自安裝位置P4向零件安裝系統1之外部搬出基板B4(步驟S216)。

如此，於第2安裝模式中，各安裝部4A、4B向基板B之複數個安裝對象點Bp中分別分擔之安裝對象點Bp安裝零件Wp，1片基板B接受M個安裝部4A、4B之各者安裝零件Wp。

圖5係表示作為本發明之安裝順序決定裝置之一例而發揮功能之主電腦之構成的方塊圖。主電腦7具備運算部71、記憶部72、UI(User Interface，使用者介面)73及通信部74。運算部71係由CPU(Central Processing Unit，中央處理單元)及RAM(Random Access Memory，隨機存取記憶體)等構成之處理器。記憶部72例如由HDD(Hard Disk Drive，硬碟驅動器)構成，取得於零件安裝系統1中生產J個(J為M以上之整數)於安裝對象點Bp安裝完成之零件Wp之生產計劃81並記憶。UI73具有滑鼠或鍵盤等輸入設備及顯示器等輸出設備，藉由輸入設備受理使用者之輸入操作，或者藉由輸出設備向使用者顯示資訊。再者，UI73例如亦可如觸控面板顯示器般，一體地具備輸入設備與輸出設備者。又，通信部74於與零件安裝系統1之零件安裝機10之間進行通信。

於該主電腦7中，藉由運算部71執行安裝順序決定程式82，而於生產計劃81中決定於安裝對象點Bp安裝零件Wp之安裝模式。再者，安裝順序決定程式82既可以自網際網路伺服器下載之形態提供，亦可以藉由主電腦7能夠讀出地記憶於記錄媒體9之狀態提供。作為記錄媒體9，例如相應的有光碟或USB(Universal Serial Bus，通用串列匯流排)等。

圖6係表示主電腦執行之安裝順序決定方法之一例之流程圖。圖6之流程圖係根據安裝順序決定程式82藉由運算部71而執行。於步驟S301中，例如，記憶部72取得藉由使用者向UI73之操作而輸入之生產計劃81並記憶。於步驟S302中，運算部71評估使用第1安裝模式於零件安裝系統1執行生產計劃81之情形時、與使用第2安裝模式於零件安裝系統1執行生產計劃81之情形時之生產時間之差。

再者，此處，例示以基板B為批次單位生產於安裝對象點Bp安裝完成之零件Wp之生產計劃81進行說明。即，藉由生產計劃81而生產之於安裝對象點Bp安裝完成之零件Wp之個數J為將基板B之安裝對象點Bp之個數L乘以批次數I(I為整數)所得的個數。因此，於將於搬送方向X依序搬送之第1片至第N片為止之基板B各自之複數個安裝對象點Bp之個數的合計設為T(N)時，滿足以下不等式 T(N－1)＜J≦T(N) 之基板B之片數N(換言之，J個安裝完成零件Wp之生產所需要之基板B之片數N)與批次數I一致。因此，藉由於N片基板B之各者安裝L個零件Wp，而生產(N×L)個於安裝對象點Bp安裝完成之零件Wp。但是，生產計劃81並不限定於此處所示之例，例如，生產以晶圓W為批次單位之J個安裝完成零件Wp者，生產與基板B及晶圓W無關地決定之J個零件Wp者均可。

使用圖2對使用第1安裝模式之生產時間之評估方法之一例進行說明。再者，於說明之前，於位置P1～P4中，於相鄰之2個位置(例如，位置P1、P2)之間搬送基板B需要時間Tt，於安裝位置P2、P4之各者，於(L/M)個安裝對象點Bp安裝零件Wp需要安裝時間Tm，將前一個基板B自等待位置P1搬送至安裝位置P4且將下一個基板B搬送至安裝位置P2需要更換時間Tc1。

藉由步驟101～S103而將基板B1搬入至安裝位置P4，將基板B2搬入至安裝位置P2所需要之時間成為相當於將基板B1自步驟S101之位置搬送至步驟S103之位置所需要之時間(4×Tt)。

於步驟S104向基板B1、B2各自之L個安裝對象點Bp安裝零件Wp所需要之時間成為(2×Tm)。因此，步驟S101～S104所需要之合計時間成為(4×Tt＋2×Tm)。

藉由步驟S105～S106，將基板B1、B2自零件安裝系統1搬出並將基板B3、B4搬送至安裝位置P4、P2所需要之時間成為更換時間Tc1。因此，步驟S101～S106所需要之合計時間成為(4×Tt＋2×Tm＋Tc1)。

於步驟S107中向基板B3、B4之各者之L個安裝對象點Bp安裝零件Wp所需要之時間成為(2×Tm)。因此，步驟S101～S107所需要之合計時間成為(4×Tt＋4×Tm＋Tc1)。

藉由步驟S108，將基板B3、B4自零件安裝系統1搬出所需要之時間成為相當於將基板B4自步驟S107之位置搬出至零件安裝系統1之外部所需要之時間的4×Tt。

因此，使用第1安裝模式於4片基板B安裝零件Wp之生產計劃81所需要之時間成為(8×Tt＋4×Tm＋Tc1)。又，每當安裝零件Wp之基板B之片數增加2片時，生產計劃81所需要之時間各增加(Tc1＋2×Tm)。因此，使用第1安裝模式於N＝(2×I)片(I為正整數)之基板B安裝零件Wp之情形時之生產時間可計算為 8×Tt＋2×I×Tm＋I×Tc1。

又，使用第1安裝模式於N＝(2×I－1)片基板B安裝零件Wp之情形時之生產時間可簡易地計算為 8×Tt＋2×I×Tm＋M×Tc1－2×Tt＝6×Tt＋2×I×Tm＋I×Tc1。

換言之，安裝零件Wp之基板B之片數N為偶數之情形時之生產時間可計算為 8×Tt＋N×Tm＋N×Tc1/2…式1a，

片數N為奇數之情形時之生產時間可計算為 6×Tt＋(N＋1)×Tm＋(N－1)×Tc1/2…式1b。

其次，使用圖3及圖4對使用第2安裝模式之生產時間之評估方法之一例進行說明。再者，於說明之前，將前一個基板B自安裝位置P2向安裝位置P4搬送且將下一個基板B自等待位置P1搬送至安裝位置P2需要更換時間Tc2。

藉由步驟201～S202將基板B1搬入至安裝位置P2所需要之時間成為相當於將基板B1自步驟S201之位置搬送至步驟S202之位置所需要之時間的(2×Tt)。

藉由步驟S203，向安裝位置P2之基板B1之(L/M)個安裝對象點Bp安裝零件Wp所需要之時間成為Tm。因此，步驟S201～S203所需要之合計時間成為(2×Tt＋Tm)。

藉由步驟S204～S205，將基板B1自安裝位置P2向安裝位置P4搬送，並且將基板B2自等待位置P1向安裝位置P2搬送所需要之時間成為更換時間Tc2。因此，步驟S201～S205所需要之合計時間成為(2×Tt＋Tm＋Tc2)。

於步驟S206中，於基板B1、B2各自之(L/M)個安裝對象點Bp安裝零件Wp所需要之時間成為Tm。因此，步驟S201～S206所需要之合計時間成為(2×Tt＋2×Tm＋Tc2)。

藉由步驟S207～S208，將基板B1自安裝位置P4向零件安裝系統1之外搬出，並且將基板B2自安裝位置P2搬送至安裝位置P4，將基板B3自等待位置P1向安裝位置P2搬送所需要之時間成為更換時間Tc2。因此，步驟S201～S208所需要之合計時間成為(2×Tt＋2×Tm＋2×Tc2)。

於步驟S209中，於基板B2、B3各自之(L/M)個安裝對象點Bp安裝零件Wp所需要之時間成為Tm。因此，步驟S201～S209所需要之合計時間成為(2×Tt＋3×Tm＋2×Tc2)。

藉由步驟S210～S211，將基板B2自安裝位置P4向零件安裝系統1之外搬出，並且將基板B3自安裝位置P2搬送至安裝位置P4，將基板B4自等待位置P1向安裝位置P2搬送所需要之時間成為更換時間Tc2。因此，步驟S201～S211所需要之合計時間成為(2×Tt＋3×Tm＋3×Tc2)。

於步驟S212中，於基板B3、B4各自之(L/M)個安裝對象點Bp安裝零件Wp所需要之時間成為Tm。因此，步驟S201～S212所需要之合計時間成為(2×Tt＋4×Tm＋3×Tc2)。

藉由步驟S213～S214，將基板B3自安裝位置P4向零件安裝系統1之外搬出，並且將基板B4自安裝位置P2搬送至安裝位置P4所需要之時間成為2×Tt。因此，步驟S201～S214所需要之合計時間成為(4×Tt＋4×Tm＋3×Tc2)。

於步驟S215中，於基板B4之(L/M)個安裝對象點Bp安裝零件Wp所需要之時間成為Tm。因此，步驟S201～S215所需要之合計時間成為(4×Tt＋5×Tm＋3×Tc2)。

藉由步驟S216，將基板B4自安裝位置P4向零件安裝系統1之外搬出，並且將基板B4自安裝位置P2搬送至安裝位置P4所需要之時間成為更換時間2×Tt。

因此，使用第2安裝模式於4片基板B安裝零件Wp之生產計劃81所需要之時間成為(6×Tt＋5×Tm＋3×Tc2)。又，每當安裝零件Wp之基板B之片數增加1片時，生產計劃81所需要之時間各增加(Tc2＋Tm)。因此，使用第2安裝模式於N片基板B安裝零件Wp之情形時之生產時間可計算為 6×Tt＋(N＋1)×Tm＋(N－1)×Tc2…式2。

因此，於N為偶數之情形時，若式2＞式1a，即滿足 6×Tt＋(N＋1)×Tm＋(N－1)×Tc2＞8×Tt＋N×Tm＋N×Tc1/2， 即，滿足 Tm＞2×Tt＋N×Tc1/2－(N－1)×Tc2…條件式Ca， 則可判斷為能夠藉由使用第1安裝模式而縮短生產時間。

又，於N為奇數之情形時，若式2＞式1b，即，滿足 6×Tt＋(N＋1)×Tm＋(N－1)×Tc2＞6×Tt＋(N＋1)×Tm＋(N－1)×Tc1/2， 即滿足 Tc2＞Tc1/2…條件式Cb， 則可判斷為能夠藉由使用第1安裝模式而縮短生產時間。

因此，於圖6之步驟S302中，運算部71使用條件式Ca或者條件式Cb評估使用第1安裝模式於零件安裝系統1中執行生產計劃81之情形時、與使用第2安裝模式於零件安裝系統1中執行生產計劃81之情形時之生產時間之差。再者，條件式Ca、Cb中之各種時間Tt、Tm、Tc1、Tc2係藉由模擬，或者利用實驗預先求出並記憶於記憶部72，運算部71使用其進行評估。

於步驟S303中，運算部71基於步驟S302中之評估結果決定生產計劃81之執行所使用之安裝模式。即，運算部71於N為偶數之情形時，若條件式Ca之右邊未達左邊(即若滿足條件式Ca)則決定為使用第1安裝模式，若條件式Ca之左邊為右邊以下(即若不滿足條件式Ca)則決定為使用第2安裝模式。又，運算部71於N為奇數之情形時，若條件式Cb之右邊未達左邊(即若滿足條件式Cb)則決定為使用第1安裝模式，若條件式Cb之左邊為右邊以下(即若不滿足條件式Cb)則決定為使用第2安裝模式。

而且，運算部71製成規定使用步驟S303中決定之安裝模式執行生產計劃81之順序(即，零件安裝系統1中之搬送部2、零件供給機構3、安裝部4A、4B之動作順序)之安裝程式(步驟S304)，通信部74將該安裝程式發送至零件安裝系統1(步驟S305)。藉此，零件安裝系統1根據所接收之安裝程式所表示之順序，執行生產計劃81。

於以如上之方式構成之實施形態中，取得生產J(於上述之例中J＝N×L)個於安裝對象點Bp安裝完成之零件Wp之生產計劃81，進行與生產計劃81之執行所需要之生產時間相關之評估(步驟S302)。具體而言，進行與使用第1安裝模式執行生產計劃81之情形時之生產時間相關的評估(步驟S302)，該第1安裝模式係當於M個安裝位置P2、P4之各者使基板B各1片地停止，使零件Wp安裝於與M個安裝部4A、4B之各者對應之安裝位置P2、P4之基板B之複數個安裝對象點Bp之全部時，分別自M個安裝位置P2、P4搬出基板B。而且，基於該評估結果，決定生產計劃81之執行是否使用第1安裝模式(步驟S303)。藉此，於第1安裝模式有效率之狀況下，可藉由第1安裝模式執行生產計劃81。如此一來，能夠執行與狀況對應之有效率的零件安裝。

尤其，於圖3及圖4所示之第2安裝模式中，於在最初之基板B1安裝零件Wp之期間(步驟S203)或在最後之基板B4安裝零件Wp之期間(步驟S215)中，2個安裝部4A、4B中之一者不運轉，零件安裝系統1整體之運轉率較低。相對於此，於圖2所示之第1安裝模式中，於在最初之基板B1安裝零件Wp之期間(步驟S104)及在最後之基板B4安裝零件Wp之期間(步驟S107)之任一者中，安裝部4A、4B之兩者均運轉，零件安裝系統1整體之運轉率得到維持。因此，於由第2安裝模式所進行之向最初及最後之基板B之零件安裝時之運轉率之降低明顯的狀況下，第1安裝模式特別合適。

又，運算部71評估使用第1安裝模式執行生產計劃81之情形時、與使用於M個安裝位置P2、P4依序使基板B停止且由M個安裝部4A、4B分擔向基板B之複數個安裝對象點Bp之零件Wp之安裝的第2安裝模式執行生產計劃81之情形時之生產時間之差異(步驟S302)。而且，運算部71基於該評估結果，決定生產計劃81之執行使用第1安裝模式及第2安裝模式之哪一者(步驟S303)。於該構成中，根據狀況分開使用第1安裝模式與第2安裝模式。因此，能夠執行與狀況對應之有效率的零件安裝。

又，運算部71基於生產計劃81中執行之基板B之搬送所需要之搬送時間Tt、Tc1、Tc2，進行與生產時間相關之評估(條件式Ca、Cb)。於該構成中，可基於搬送時間Tt、Tc1、Tc2，準確地進行與生產時間相關之評估。

又，運算部71基於生產計劃81中執行之向基板B之零件Wp之安裝所需要之安裝時間Tm及搬送時間Tt、Tc1、Tc2，進行與生產時間相關之評估(條件式Ca)。於該構成中，可基於安裝時間Tm及搬送時間Tt、Tc1、Tc2，準確地進行與生產時間相關之評估。

又，於以上述方式構成之零件安裝系統1中，具備：搬送部2，其能夠將複數片具有複數個安裝對象點Bp之基板B依序於搬送方向搬送；及M個安裝部4A、4B，其等與排列於搬送方向X之M個安裝位置P2、P4對應地設置，且能夠分別將同一種類之零件安裝於安裝對象點Bp。而且，當於M個安裝部4A、4B之各者使基板B各1片地停止，使零件Wp安裝於與M個安裝部4A、4B之各者對應之安裝位置P2、P4之基板B之複數個安裝對象點Bp之全部時，能夠使用分別自M個安裝位置P2、P4搬出基板B之第1安裝模式執行生產計劃81。因此，於第1安裝模式有效率之狀況下，可藉由第1安裝模式執行生產計劃81。如此一來，能夠執行與狀況對應之有效率的零件安裝。

圖7係模式性地表示安裝順序決定方法之變化例中能夠使用之安裝模式中之動作的圖。於安裝順序決定方法之變化例中，運算部71即便於步驟S303中決定為使用第1安裝模式之情形時，亦藉由自上述不等式求出之N為偶數或奇數，而變更安裝J個零件Wp中最後之(J－T(N－1))個零件Wp之安裝模式。再者，於該例中，如上所述J＝L×N，各基板B具有L個零件Wp，故而成為(J－T(N－1))＝L。於該變化例中，於N為偶數之情形時，如圖2中所例示般，決定為藉由將第1安裝模式執行(N/2)次而於N片基板B之各者安裝L個零件Wp。因此，最後之L個零件Wp之全部安裝於1片基板B。

另一方面，於N為奇數之情形時，決定為將第1安裝模式執行((N－1)/2)次，於(N－1)片基板B之各者安裝L個零件Wp之後，利用圖7之第1變更安裝模式安裝最後之L個零件Wp。於該第1變更安裝模式中，搬送部2於安裝位置P2、P4之各者使基板B各1片地停止、固定(步驟S401)。而且，安裝部4A、4B之各者相對於對應之安裝位置P2、P4之基板B安裝(L/2)個零件Wp(步驟S402)。而且，當步驟S402之零件安裝完成時，搬送部2將基板B自安裝位置P2、P4搬出至零件安裝系統1之外部(步驟S403)。即，於第1變更安裝模式中，最後之L個零件Wp分開安裝於2片基板B。

於該變化例中，運算部71於N為M之倍數之情形時，若決定為生產計劃81之執行使用第1安裝模式(步驟S303)，則決定為藉由將第1安裝模式執行(N/M)次而執行生產計劃81。於該構成中，藉由將對M片基板B並行地安裝零件Wp之並行安裝處理(圖2之步驟S104、S107等)重複N次，可完成生產計劃81。因此，確保安裝部4A、4B之較高之運轉率，能夠執行有效率的零件安裝。

又，運算部71於N為將M之倍數加上K(K為1以上且未達M之整數，於該例中K＝1)所得之值之情形時，若決定為生產計劃81之執行使用第1安裝模式(步驟S303)，則將第1安裝模式執行((N－K)/M)次之後，執行圖7之第1變更安裝模式。於該第1變更安裝模式中，於M個安裝位置P2、P4之各者使基板B各1片地停止(步驟S401)，分擔向與M個安裝部4A、4B之各者對應之安裝位置P2、P4之基板B之零件Wp之安裝(步驟S402)。即，運算部71決定為使M個安裝部4A、4B執行自J個減去以((N－K)/M)次之第1模式安裝之零件Wp之個數所得之剩餘之個數(於該例中，為K×L個)之零件Wp向安裝對象點Bp之安裝，執行生產計劃81。

於該構成中，關於J個零件Wp中T(N－K)個零件Wp，藉由將對M片基板B並行地安裝零件Wp之並行安裝處理(圖2之步驟S104、S107等)重複((N－K)/M)次，而確保安裝部4A、4B之較高之運轉率，能夠執行有效率的零件安裝。又，關於最後之(J－T(N－K))個零件Wp，於M個安裝部4A、4B之各者使基板B各1片地停止，向與M個安裝部4A、4B之各者對應之安裝位置P2、P4之基板B安裝零件Wp(第1變更安裝模式)。如此一來，藉由於M個安裝部4A、4B使合計(J－T(N－K))個零件Wp安裝於安裝對象點Bp，能夠確保安裝部之較高之運轉率，執行有效率的零件安裝。

圖8係模式性地表示安裝順序決定方法之變化例中能夠使用之安裝模式中之另一動作的圖。於安裝順序決定方法之變化例中，運算部71即便於決定為於步驟S303中使用第1安裝模式之情形時，藉由N為偶數或奇數，而變更安裝J個零件Wp中最後之(J－T(N－1))個零件Wp之安裝模式。即，於N為偶數之情形時，如圖2中所例示般，決定為藉由將第1安裝模式執行(N/2)次而於N片基板B之各者安裝L個零件Wp。

另一方面，於N為奇數之情形時，決定為將第1安裝模式執行((N－1)/2)次，於(N－1)片基板B之各者安裝L個零件Wp之後，以圖8之第2變更安裝模式安裝最後之(J－T(N－1))個，於該例中為L個零件Wp。於該第2變更安裝模式中，搬送部2於安裝位置P4使1片基板B停止、固定(步驟S501)。而且，安裝部4B相對於對應之安裝位置P4之基板B，安裝L個零件Wp(步驟S502)。當步驟S502之零件安裝完成時，搬送部2將基板B自安裝位置P4搬出至零件安裝系統1之外部(步驟S503)。如此，於第2變更安裝模式中，與第1變更安裝模式不同，最後之L個零件Wp安裝於1片基板B。

即，於該變化例中，運算部71於N為M之倍數之情形時，若決定為生產計劃81之執行使用第1安裝模式(步驟S303)，則決定為藉由將第1安裝模式執行(N/M)次而執行生產計劃81。於該構成中，藉由將對M片基板B並行地安裝零件Wp之並行安裝處理(圖2之步驟S104、S107等)重複N次，可完成生產計劃81。因此，確保安裝部4A、4B之較高之運轉率，能夠執行有效率的零件安裝。

又，運算部71於N為將M之倍數加上K(K為1以上且未達M之整數，於該例中K＝1)所得之值之情形時，若決定為生產計劃81之執行使用第1安裝模式(步驟S303)，則將第1安裝模式執行((N－K)/M)次之後，執行圖8之第2變更安裝模式。於該第2變更安裝模式中，於K個安裝位置P4使1片基板B停止(步驟S501)，執行向與K個安裝部4B對應之安裝位置P4之基板B之零件Wp之安裝(步驟S502)。

於該構成中，關於J個零件Wp中T(N－K)個零件Wp，藉由將對M片基板B並行地安裝零件Wp之並行安裝處理(圖2之步驟S104、S107等)重複((N－K)/M)次，而確保安裝部4A、4B之較高之運轉率，能夠執行有效率的零件安裝。又，關於最後之(J－T(N－K))個零件Wp，於M個安裝位置P2、P4中K個安裝位置P4使1片基板B停止且於與K個安裝位置P4對應之K個安裝部4B使零件Wp安裝於基板B之複數個安裝對象點Bp之全部(第2變更安裝模式)。如此一來，藉由使用K個安裝部4B，將(J－T(N－K))個零件Wp安裝於安裝對象點Bp，可完成生產計劃81。

此時，運算部71亦可選擇圖7之第1安裝變更模式及圖8之第2安裝變更模式之一者，決定為使用於安裝順序。於該變化例中，運算部71計算利用使用第1變更安裝模式之情形時及使用第2變更安裝模式之情形時之各者執行生產計劃81所需要之時間，決定為利用該等之中提前完成生產計劃81之一者之變更安裝模式，執行生產計劃81。藉此，藉由第1變更安裝模式及第2變更安裝模式中之更適當之一者，能夠有效率地執行生產計劃81。

圖9係表示零件安裝系統執行之安裝模式變更之一例之流程圖。根據該流程圖，根據安裝順序決定方法中之決定利用第1安裝模式執行生產計劃81之零件安裝系統1根據生產計劃81之進展自發地變更安裝模式。該流程圖係藉由零件安裝系統1之控制部100之控制而執行。

於第1安裝模式之執行過程中，控制部100於M個安裝位置P2、P4中搬送方向X之最上游之安裝位置P2中，確認向基板B之零件Wp之安裝是否完成(步驟S601)。當確認零件Wp之安裝完成時(步驟S601中「是」)，控制部100確認是否為於安裝位置P2之下游側之安裝位置P4繼續向基板B安裝零件Wp之過程中(步驟S602)。於安裝位置P4中之零件Wp之安裝完成之情形時(步驟S602中「否」之情形時)，搬送部2將基板B自安裝位置P2、P4之兩者搬出至零件安裝系統1之外部(步驟S609)。

於安裝位置P4中之零件Wp之安裝繼續之情形時(步驟S602中「是」之情形時)，控制部100確認於等待位置P3是否存在基板B(步驟S603)。再者，等待位置P3中之基板B之有無例如可藉由利用光學感測器等構成之基板偵測感測器而判斷。於在等待位置P3存在基板B之情形時(步驟S603中「是」之情形時)，控制部100於安裝位置P2維持基板B(步驟S610)，且於安裝位置P4等待向基板B之零件Wp之安裝完成(步驟S611)。而且，當確認安裝位置P4中之安裝完成時(步驟S611中「是」)，搬送部2自安裝位置P2、等待位置P3及安裝位置P4之各者向零件安裝系統1之外部搬出基板B(步驟S609)。

另一方面，當控制部100判斷為於等待位置P3不存在基板B時(步驟S603中「否」)，控制部100前進至步驟S604，判斷安裝位置P4之基板B之複數個(L個)安裝對象點Bp中未安裝零件Wp之安裝對象點Bp之個數(未安裝點數)是否未達特定值(例如(L/M)個)。於未安裝點數未達特定值之情形時(步驟S604中「是」之情形時)，與上述同樣地，執行步驟S610、S611，於步驟S609中，搬送部2自安裝位置P2及安裝位置P4之各者向零件安裝系統1之外部搬出基板B。

於未安裝點數為特定值以上之情形時(步驟S604中「否」之情形時)，搬送部2自安裝位置P2向等待位置P3搬送基板B(步驟S605)，並且將下一個基板B搬送、固定於安裝位置P2(步驟S606)。而且，安裝部4A將零件Wp安裝於固定於安裝位置P2之下一個基板B之複數個安裝對象點Bp(步驟S607)。當向安裝位置P2中之下一個基板B之零件安裝完成時(步驟S608中「是」)，搬送部2自安裝位置P2、等待位置P3及安裝位置P4之各者向零件安裝系統1之外部搬出基板B。然後，控制部100繼續執行第1安裝模式，且執行圖9之流程圖。

於該變化例中，於M個安裝位置P2、P4中自搬送方向X之上游側起數第1個安裝位置P2與第2個安裝位置P4之間，設置有使基板B等待之等待位置P3。而且，於第1安裝模式中，當相對於第1個安裝位置P2之一個基板B之複數個安裝對象點Bp之零件Wp之安裝完成時，控制部100可將安裝模式自第1安裝模式適當變更為第3安裝模式(步驟S605～S609)。於該第3安裝模式中，使一個基板B自第1個安裝位置P2向等待位置P3移動，且使一個基板B之下一個基板B於第1個安裝位置P2停止，執行向第1個安裝位置P2中之下一個基板B之複數個安裝對象點Bp之零件Wp之安裝。即，基本上，第1安裝模式中之各安裝位置P2、P4中之零件Wp之安裝應大致同時完成。然而，當於零件安裝系統1中實際開始零件Wp之安裝時，例如，存在起因於安裝部4A、4B中之零件Wp之吸附錯誤等而零件安裝之進展於各安裝位置P2、P4不同之情形。因此，例如，會產生於在第1個安裝位置P2零件Wp之安裝完成之時間點，在第2個安裝位置P4繼續零件Wp之安裝之情形。相對於此，藉由將安裝模式變更為第3安裝模式，可應對該情形。如此一來，能夠執行與狀況對應之有效率的零件安裝。

又，控制部100於向第1個安裝位置P2之一個基板B之複數個安裝對象點Bp之零件Wp之安裝完成之時間點，基於向複數個安裝對象點Bp之零件Wp之安裝於M個安裝位置P2、P4中最遲之安裝位置P4安裝完成之零件Wp之個數，決定是變更為第3安裝模式還是繼續第1安裝模式(步驟S604)。藉此，能夠執行與各安裝位置P2、P4中之零件安裝之進展對應之有效率的零件安裝。

如此，於本實施形態中，主電腦7相當於本發明之「安裝順序決定裝置」及「電腦」之一例，記憶部72相當於本發明之「生產計劃取得部」之一例，運算部71相當於本發明之「安裝模式決定部」之一例，零件安裝系統1相當於本發明之「零件安裝系統」之一例，搬送部2相當於本發明之「搬送部」之一例，2個安裝部4A、4B相當於本發明之「M個安裝部」之一例，2個安裝位置P2、P4相當於本發明之「M個安裝位置」，等待位置P3相當於本發明之「等待位置」之一例，生產計劃81相當於本發明之「生產計劃」之一例，基板B相當於本發明之「基板」之一例，安裝對象點Bp相當於本發明之「安裝對象點」之一例，零件Wp相當於本發明之「零件」之一例，搬送方向X相當於本發明之「搬送方向」之一例，安裝順序決定程式82相當於本發明之「安裝順序決定程式」之一例，記錄媒體9相當於本發明之「記錄媒體」之一例。

再者，本發明並不限定於上述實施形態，只要不脫離其主旨則能夠對上述者增加各種變更。例如，於上述實施形態中，設置有2個安裝位置P2、P4與2個安裝部4A、4B，M為「2」。然而，安裝位置或安裝部之個數並不限定於該例，M亦可為「3」以上。

又，於零件安裝系統1中，設置有等待位置P1及等待位置P3之等待位置。然而，未必需要設置此種等待位置。

又，上述零件安裝系統1係由1台零件安裝機10構成。然而，例如，亦可將分別具備單一之安裝位置之複數個零件安裝機10排列於搬送方向X而構成零件安裝系統1。於該構成中，搬送部2依序將基板B搬送至複數個零件安裝機10，且於各零件安裝機10中之安裝位置使該基板B停止、固定，各零件安裝機10將零件Wp安裝於固定於該安裝位置之基板B。

又，於第2安裝模式中，安裝部4A、4B分擔安裝之零件Wp之個數無須相同，亦可不同。於該情形時，亦可於第2安裝模式中，以安裝部4A分擔安裝之零件Wp之個數與安裝部4B分擔安裝之零件Wp之個數的差未達特定值(例如「1」)之方式，決定安裝順序。

又，於上述實施形態中，於第2安裝模式中，安裝部4A將零件Wp安裝於基板B之左半部分之安裝對象點Bp，安裝部4B將零件Wp安裝於基板B之右半部分之安裝對象點Bp。然而，於第2安裝模式中安裝部4A、4B之各者安裝零件Wp之安裝對象點Bp並不限定於該例。

又，於圖7之變更安裝模式中，安裝部4A、4B分擔安裝之零件Wp之個數無須相同，亦可不同。於該情形時，亦可於變更安裝模式中，以安裝部4A分擔安裝之零件Wp之個數與安裝部4B分擔安裝之零件Wp之個數的差為特定值(例如「1」)以下之方式，決定安裝順序。即，只要以M個安裝部4A、4B分別分擔安裝之零件Wp之個數之差為特定值以下之方式，決定安裝順序即可。

又，與使用第1安裝模式之情形時之生產時間相關之評估、或與使用第2安裝模式之情形時之生產時間相關之評估之具體的方法並不限定於上述例。因此，基於對使用第1安裝模式執行生產計劃81之情形時之零件安裝系統1之動作進行模擬的結果，可求出使用第1安裝模式之情形時之生產時間。使用第2安裝模式之情形時之生產時間亦可同樣地藉由模擬而求出。

又，於圖8之例中，將基板B搬入至安裝位置P4。然而，亦可將基板B搬入至安裝位置P2，執行第2安裝變更模式。

又，如上所述，由於判定為不良之對象候補點之個數會根據基板B而不同，故而複數個安裝對象點Bp之個數會根據基板B而不同。即便於該情形時，亦與上述同樣地，只要基於使用第1安裝模式執行生產計劃81之情形時之生產時間之算出結果，決定第1安裝模式之使用之有無或使用之情形時之執行態樣即可。再者，此時，於以基板B為批次單位之情形時，生產計劃81所表示之安裝完成零件Wp之生產數J為批次數量之基板B之安裝對象點Bp之總數。

又，如上所述，安裝完成之零件Wp之生產無須以基板B為批次單位。即便於該情形時，亦與上述同樣地，只要基於使用第1安裝模式執行生產計劃81之情形時之生產時間之算出結果，決定第1安裝模式之使用之有無或使用之情形時之執行態樣即可。再者，生產計劃81所表示之安裝完成零件Wp之生產數J由於與基板B所具有之安裝對象點Bp之個數無關，故而存在應對根據生產計劃81搬入至搬送部2之最後之1片，即第N片基板B安裝之零件Wp之個數未達該基板B之安裝對象點Bp之個數之情形。因此，若N為4以上之偶數，則亦可以對第1～(N－2)片為止之基板B利用第1安裝模式安裝零件，另一方面，對最後之2片基板B安裝合計(J－T(N－2))個零件Wp之方式決定安裝順序。或者，若N為3以上之奇數，則亦可以對第1～(N－1)片為止之基板B利用第1安裝模式安裝零件，另一方面，對最後之1片基板B安裝(J－T(N－2))個零件Wp之方式決定安裝順序。

1‧‧‧零件安裝系統

2‧‧‧搬送部

3‧‧‧零件供給機構

4A‧‧‧安裝部

4B‧‧‧安裝部

7‧‧‧主電腦(安裝順序決定裝置、電腦)

9‧‧‧記錄媒體

10‧‧‧零件安裝機

21‧‧‧等待輸送帶

22‧‧‧安裝輸送帶

23‧‧‧等待輸送帶

24‧‧‧安裝輸送帶

25‧‧‧搬出輸送帶

31‧‧‧晶圓收納部

33‧‧‧晶圓引出部

35‧‧‧零件取出部

36‧‧‧取出頭

41‧‧‧支持構件

42‧‧‧安裝頭

71‧‧‧運算部(安裝模式決定部)

72‧‧‧記憶部(生產計劃取得部)

73‧‧‧UI

74‧‧‧通信部

81‧‧‧生產計劃

82‧‧‧安裝順序決定程式

100‧‧‧控制部

331‧‧‧晶圓支持台

332‧‧‧固定軌道

333‧‧‧滾珠螺桿

334‧‧‧Y軸馬達

351‧‧‧支持構件

352‧‧‧X軸馬達

353‧‧‧固定軌道

354‧‧‧滾珠螺桿

355‧‧‧Y軸馬達

361‧‧‧托架

362‧‧‧噴嘴

421‧‧‧噴嘴

B‧‧‧基板

B1‧‧‧基板

B2‧‧‧基板

B3‧‧‧基板

B4‧‧‧基板

Bp‧‧‧安裝對象點

P1‧‧‧等待位置

P2‧‧‧安裝位置

P3‧‧‧等待位置

P4‧‧‧安裝位置

Pp‧‧‧晶圓供給位置

W‧‧‧晶圓

Wh‧‧‧晶圓保持器

Wp‧‧‧零件

X‧‧‧搬送方向

Y‧‧‧寬度方向

Z‧‧‧鉛垂方向

圖1係模式性地表示本發明之零件安裝系統之一例之俯視圖。 圖2係模式性地表示第1安裝模式中之動作之一例之圖。 圖3係模式性地表示第2安裝模式中之動作之一例之圖。 圖4係模式性地表示第2安裝模式中之動作之一例之圖。 圖5係表示作為本發明之安裝順序決定裝置之一例而發揮功能之主電腦之構成的方塊圖。 圖6係表示主電腦所執行之安裝順序決定方法之一例之流程圖。 圖7係模式性地表示安裝順序決定方法之變化例中能夠使用之安裝模式中之動作的圖。 圖8係模式性地表示安裝順序決定方法之變化例中能夠使用之安裝模式中之另一動作的圖。 圖9係表示零件安裝系統所執行之安裝模式變更之一例之流程圖。

Claims (15)

1. 一種安裝順序決定裝置，其具備： 生產計劃取得部，其取得藉由零件安裝系統生產J個(J為M以上之整數)於安裝對象點安裝完成之零件之生產計劃，上述零件安裝系統具備能夠將複數片具有複數個上述安裝對象點之基板依序於搬送方向搬送之搬送部、及與排列於上述搬送方向之M個(M為2以上之整數)安裝位置對應地設置且能夠分別將同一種類之零件安裝於上述安裝對象點之M個安裝部；以及 安裝模式決定部，其基於進行與上述生產計劃之執行所需要之生產時間相關之評估之結果，決定於上述生產計劃中於上述安裝對象點安裝零件之安裝模式；且 上述安裝模式決定部當於上述M個安裝位置之各者使上述基板各1片地停止，使零件安裝於與上述M個安裝部之各者對應之上述安裝位置之上述基板之上述複數個安裝對象點之全部時，基於與使用分別自上述M個安裝位置搬出上述基板之第1安裝模式執行上述生產計劃之情形時之上述生產時間相關之評估之結果，決定上述生產計劃之執行是否使用上述第1安裝模式。
2. 如請求項1之安裝順序決定裝置，其中上述安裝模式決定部係基於對使用上述第1安裝模式執行上述生產計劃之情形時、與使用於上述M個安裝位置依序使上述基板停止且由上述M個安裝部分擔向上述基板之上述複數個安裝對象點之零件之安裝之第2安裝模式執行上述生產計劃之情形時的上述生產時間之差異進行評估之結果，決定上述生產計劃之執行使用上述第1安裝模式及上述第2安裝模式之哪一者。
3. 如請求項1之安裝順序決定裝置，其中上述安裝模式決定部係基於在將自於上述搬送方向依序搬送之第1片至第N片為止之上述基板各者之上述複數個安裝對象點之個數之合計設為T(N)時滿足T(N－1)＜J≦T(N)之上述基板之片數N，決定上述第1模式之執行態樣。
4. 如請求項3之安裝順序決定裝置，其中上述安裝模式決定部係於N為M之倍數之情形時，若決定為上述生產計劃之執行使用上述第1安裝模式，則決定為藉由將上述第1安裝模式執行(N/M)次而執行上述生產計劃。
5. 如請求項3之安裝順序決定裝置，其中上述安裝模式決定部於N為將M之倍數加上K(K為1以上且未達M之整數)而得之值之情形時，若決定為上述生產計劃之執行使用上述第1安裝模式，則決定為將上述第1安裝模式執行((N－K)/M)次之後，利用第1變更安裝模式執行上述生產計劃，該第1變更安裝模式係於上述M個安裝位置之各者使上述基板各1片地停止且向與上述M個安裝部之各者對應之上述安裝位置之上述基板安裝零件，藉此使上述M個安裝部執行自J個減去以上述((N－K)/M)次之第1安裝模式安裝之零件之個數所得之個數之零件向上述安裝對象點之安裝。
6. 如請求項1之安裝順序決定裝置，其中上述安裝模式決定部於N為將M之倍數加上K(K為1以上且未達M之整數)所得之值之情形時，若決定為上述生產計劃之執行使用上述第1安裝模式，則決定為將上述第1安裝模式執行((N－K)/M)次之後，利用第2變更安裝模式執行上述生產計劃，上述第2變更安裝模式係若於上述M個安裝位置中K個安裝位置使上述基板停止且使與上述K個安裝位置對應之K個安裝部向上述基板之上述複數個安裝對象點之全部安裝零件，便自上述K個安裝位置搬出上述基板。
7. 如請求項6之安裝順序決定裝置，其中上述安裝模式決定部於N為將M之倍數加上K(K為1以上且未達M之整數)所得之值之情形時，若決定為上述生產計劃之執行使用上述第1安裝模式，則決定為將上述第1安裝模式執行((N－K)/M)次之後，利用第1變更安裝模式及上述第2變更安裝模式中提前完成上述生產計劃的變更安裝模式執行上述生產計劃，上述第1變更安裝模式係於上述M個安裝位置之各者使上述基板各1片地停止且向與上述M個安裝部之各者對應之上述安裝位置之上述基板安裝零件，藉此使上述M個安裝部執行自J個減去以上述((N－K)/M)次之第1安裝模式安裝之零件之個數所得之個數之零件向上述安裝對象點之安裝。
8. 如請求項1至7中任一項之安裝順序決定裝置，其中上述安裝模式決定部基於上述生產計劃中執行之上述基板之搬送所需要之搬送時間，進行與上述生產時間相關之評估。
9. 如請求項8之安裝順序決定裝置，其中上述安裝模式決定部基於上述生產計劃中執行之零件向上述基板之安裝所需要之安裝時間及上述搬送時間，進行與上述生產時間相關之評估。
10. 一種安裝順序決定方法，其具備以下製程： 取得藉由零件安裝系統生產J個(J為M以上之整數)於安裝對象點安裝完成之零件之生產計劃，上述零件安裝系統具備能夠將複數片具有複數個上述安裝對象點之基板依序於搬送方向搬送之搬送部、及與排列於上述搬送方向之M個(M為2以上之整數)安裝位置對應地設置且能夠分別將同一種類之零件安裝於上述安裝對象點之M個安裝部；以及 基於進行與上述生產計劃之執行所需要之生產時間相關之評估之結果，決定於上述生產計劃中於上述安裝對象點安裝零件之安裝模式；且 當於上述M個安裝位置之各者使上述基板各1片地停止，使零件安裝於與上述M個安裝部之各者對應之上述安裝位置之上述基板之上述複數個安裝對象點之全部時，基於與使用分別自上述M個安裝位置搬出上述基板之第1安裝模式執行上述生產計劃之情形時之上述生產時間相關之評估之結果，決定上述生產計劃之執行是否使用上述第1安裝模式。
11. 一種安裝順序決定程式，其使電腦執行如請求項10之安裝順序決定方法。
12. 一種記錄媒體，其將如請求項11之安裝順序決定程式可電腦讀出地記錄。
13. 一種零件安裝系統，其具備： 搬送部，其能夠將複數片具有複數個安裝對象點之基板依序於搬送方向搬送； M個安裝部，其等與排列於上述搬送方向之M個(M為2以上之整數)安裝位置對應地設置，且能夠分別將同一種類之零件安裝於上述安裝對象點；以及 控制部，其藉由控制上述搬送部及上述M個安裝部而執行生產J個(J為M以上之整數)於上述安裝對象點安裝完成之零件之生產計劃；且 上述控制部係可使用第1安裝模式執行上述生產計劃，上述第1安裝模式係於上述M個安裝位置之各者使上述基板各1片地停止，使零件安裝於與上述M個安裝部之各者對應之上述安裝位置之上述基板之上述複數個安裝對象點之全部時，分別自上述M個安裝位置搬出上述基板。
14. 如請求項13之零件安裝系統，其中於上述M個安裝位置中自上述搬送方向之上游側起數第1個安裝位置與第2個安裝位置之間，設置有使上述基板等待之等待位置， 上述控制部係於上述第1安裝模式中若向對上述第1個安裝位置之一個基板之上述複數個安裝對象點之零件之安裝完成，可將安裝模式變更為第3安裝模式，即，使上述一個基板自上述第1個安裝位置向上述等待位置移動，且使上述一個基板之下一個基板於上述第1個上述安裝位置停止，執行向對上述第1個上述安裝位置之上述下一個基板之上述複數個安裝對象點之零件的安裝。
15. 如請求項14之零件安裝系統，其中上述控制部於向上述第1個安裝位置之上述一個基板之上述複數個安裝對象點之零件之安裝完成之時間點，基於向上述複數個安裝對象點之零件之安裝於上述M個安裝位置中最遲之安裝位置安裝完成之零件的個數，決定變更為上述第3安裝模式還是繼續上述第1安裝模式。