TW201715237A - 彈簧式探針頭 - Google Patents

Abstract

一種彈簧式探針頭包含探針座、輔助膜及探針組件。探針座包含第一導位板、第二導位板及第三導位板。第二導位板固定於第一導位板與第三導位板之間。輔助膜固定至探針座，並具有微孔。探針組件穿設第一導位板、第二導位板、第三導位板與微孔，並包含針體及外彈簧套筒。針體具有針尖由第三導位板穿出。外彈簧套筒套設於針體外，並具有至少一彈簧區及複數個非彈簧區。彈簧區設置於非彈簧區中之相鄰兩者之間。非彈簧區其中一者具有結合段。結合段與針體固接，並限位於第三導位板與輔助膜之間。

Description

彈簧式探針頭

本發明是有關於一種彈簧式探針頭，特別是有關於一種垂直式探針卡的彈簧式探針頭。

半導體晶片進行測試時，測試機係透過探針卡與待測物電性連接，並藉由訊號傳輸及訊號分析，以獲得待測物的測試結果。習知的探針卡通常係由電路板及探針頭組成，或者更包含有設於電路板及探針頭之間的空間轉換器。探針頭設有多數對應待測物之電性接點而排列的探針，以藉由探針同時點觸電性接點。

第10圖為一種習知的探針組件71的平面分解圖。探針組件71包含有針體710以及套設於針體710外之彈簧套筒711。第11圖為採用探針組件71之探針卡的局部剖視示意圖。為了方便說明，第11圖之比例並未對應第10圖之比例。探針卡包含有探針頭7及電路基板8。探針頭7包含有探針座70及複數個探針組件71(第11圖僅繪示一個探針組件71)。電路基板8可為用以與一測試機(圖中未示)電性連接之電路板，或者，電路基板8可為一空間轉換器且係設於用以與一測試機 (圖中未示)電性連接之一電路板(圖中未示)及探針頭7之間。

探針組件71之針體710與彈簧套筒711之結合方式，係將彈簧套筒711下端的結合段711a壓合於針體710，並藉由銲接(或稱熔接，例如點焊(spot welding))而相互固定。探針座70係由上、中、下導位板700、701、702構成(亦可無中導位板701而僅有上、下導位板700、702)。導位板共同形成複數個安裝孔703(第11圖僅繪示一個)。各安裝孔703係由上導位板700之上導位孔700a、中導位板701之中導位孔701a及下導位板702之下導位孔702a構成，用以安裝一探針組件71。彈簧套筒711之結合段711a係朝向上導位板700而依序通過上導位板700之上導位孔700a及中導位板701之中導位孔701a，進而設於下導位板702的下導位孔702a內，並使針體710之底端穿過下導位板702的貫穿孔702b而使針體710之底端凸露出下導位板702之外。此時，彈簧套筒711之結合段711a的底面是支撐在下導位板702的下導位孔702a之底面上。藉此，探針組件71可以保持在上、中及下導位板700、701、702中，而不會脫落。

然而，上述的習知探針頭7在組裝或維修時，往往會發生以下問題：(1)如果探針頭7被翻過來(即上導位板700在下，而下導位板702在上)，則所有探針組件71將會掉出探針座70之外，因此在組裝或維修時需將電路基板8傾斜或倒置(即，使電路基板8接觸探針頭7的表面朝下)，但這將會導致組裝或維修的時間增加；(2)拆卸探針頭7時，發生探針組件 71的尾部黏在電路基板8的電性接點上，並掉出探針座70之外；(3)由於各導位板700、701、702的導位孔700a、701a、702a是先加工後，再組裝導位板700、701、702，各導位孔700a、701a、702a會有組裝或加工誤差，使安裝孔703不是平滑壁面，因此植針時，探針組件71放置到安裝孔703中可能會被卡住，需要用鑷子壓或輕拍探針組件71的尾部，但拍打或壓的過程，鑷子離開探針組件71尾部就可能會造成探針組件71彈出安裝孔703(探針組件71的彈簧產生彈力)；(4)清潔探針組件71的尾部時，毛刷壓到探針組件71的尾部，同樣會使探針組件71彈出安裝孔703；以及(5)上導位板700與中導位板701之接合處704位置對應於彈簧套筒711之其中一彈簧段711b，中導位板701與下導位板702之接合處705位置亦對應於彈簧套筒711之另一彈簧段711b，若導位板700、701、702因組裝誤差而造成其接合處704、705非相互齊平，進而造成安裝孔703之內壁面不平整，各彈簧段711b容易因接觸不平整之各接合處704、705而卡住，如此一來，探針組件71則需進行維修而產生維修不易且費時等問題。

有鑑於此，本發明之一目的在於提出一種彈簧式探針頭，以解決上述因需將電路基板傾斜或倒置造成組裝或維修探針頭時間過長、拆卸探針頭時探針組件掉出探針座、植針與清潔時探針組件彈出安裝孔、因安裝孔之內壁面不平整造成探針組件維修不易且費時等問題。

為了達到上述目的，依據本發明之一實施方式，一種彈簧式探針頭包含探針座、輔助膜以及探針組件。探針座包含第一導位板、第二導位板以及第三導位板。第二導位板設置於第一導位板與第三導位板之間。第一導位板具有至少一第一導位孔。第二導位板具有至少一第二導位孔。第三導位板具有至少一第三導位孔。輔助膜固定至探針座，並具有微孔。探針組件穿設前述至少一第一導位孔、前述至少一第二導位孔、前述至少一第三導位孔與微孔，並包含針體以及外彈簧套筒。針體具有針尖由第三導位板穿出。外彈簧套筒套設於針體外，並具有至少一彈簧區以及複數個非彈簧區。前述至少一彈簧區設置於非彈簧區中之相鄰兩者之間。非彈簧區其中一者具有結合段。結合段與針體固接，並位於針尖與輔助膜之間。第三導位孔用以供針尖穿出，且擋止外彈簧套筒。

1、2、3、4、5‧‧‧彈簧式探針頭

10‧‧‧探針座

100‧‧‧第一導位板

100a‧‧‧第一導位孔

101‧‧‧第二導位板

101a‧‧‧第二導位孔

102‧‧‧第三導位板

102a‧‧‧第三導位孔

102b‧‧‧容置空間

11、41、51‧‧‧輔助膜

110、410、510‧‧‧微孔

111‧‧‧凹槽

12、32、42、62‧‧‧探針組件

120‧‧‧針體

120a‧‧‧針尖

120b‧‧‧針尾

121、321、421、621‧‧‧外彈簧套筒

121a‧‧‧彈簧區

121b‧‧‧第一非彈簧區

121b1‧‧‧結合段

121c、321c、421c‧‧‧第二非彈簧區

121d‧‧‧第三非彈簧區

13‧‧‧鎖固件

321c1、421c1‧‧‧溝槽

411、511‧‧‧延伸部

620‧‧‧內彈簧套筒

622‧‧‧中介套筒

623‧‧‧絕緣膜

7‧‧‧探針頭

70‧‧‧探針座

700‧‧‧上導位板

700a‧‧‧上導位孔

701‧‧‧中導位板

701a‧‧‧中導位孔

702‧‧‧下導位板

702a‧‧‧下導位孔

702b‧‧‧貫穿孔

703‧‧‧安裝孔

704、705‧‧‧接合處

71‧‧‧探針組件

710‧‧‧針體

711‧‧‧彈簧套筒

711a‧‧‧結合段

711b‧‧‧彈簧段

8‧‧‧電路基板

CA‧‧‧中心軸

CP‧‧‧中心點

D1‧‧‧孔徑

D2‧‧‧外徑

W‧‧‧寬度

為讓本發明之上述和其他目的、特徵、優點與實施例能更明顯易懂，所附圖式之說明如下：第1圖為繪示本發明一實施方式之彈簧式探針頭的剖視示意圖。

第2圖為繪示第1圖中之輔助膜的局部上視圖。

第3圖為繪示本發明另一實施方式之彈簧式探針頭的局部剖視示意圖。

第4圖為繪示本發明另一實施方式之彈簧式探針頭的局部剖視示意圖。

第5圖為繪示本發明另一實施方式之彈簧式探針頭的局部剖視示意圖。

第6圖為繪示第5圖中之輔助膜的局部上視圖。

第7圖為繪示本發明另一實施方式之彈簧式探針頭的局部剖視示意圖。

第8圖為繪示第7圖中之輔助膜的局部上視圖。

第9圖為繪示本發明另一實施方式之探針組件的剖視示意圖。

第10圖為一種習知的探針組件的平面分解圖。

第11圖為採用探針組件之探針卡的局部剖視示意圖。

以下將以圖式揭露本發明之複數個實施方式，為明確說明起見，許多實務上的細節將在以下敘述中一併說明。然而，應瞭解到，這些實務上的細節不應用以限制本發明。也就是說，在本發明部分實施方式中，這些實務上的細節是非必要的。此外，為簡化圖式起見，一些習知慣用的結構與元件在圖式中將以簡單示意的方式繪示之。

請參照第1圖，其為繪示本發明一實施方式之彈簧式探針頭1的剖視示意圖。如圖所示，於本實施方式中，彈簧式探針頭1包含探針座10、輔助膜11、複數個探針組件12(第1圖僅繪示一個)以及複數個鎖固件13。以下將詳細介紹各元件的結構、功能以及各元件之間的連接關係。

探針座10包含第一導位板100、第二導位板101以及第三導位板102。第二導位板101設置於第一導位板100與第三導位板102之間。舉例來說，本實施方式係利用鎖固件13分別穿過第一導位板100與第三導位板102而鎖固至第二導位板101，藉以將第一導位板100與第三導位板102分別固定至第二導位板101的相對兩側。然而，本案用以固定第一導位板100、第二導位板101與第三導位板102的固定方式並不以此為限。舉例來說，第一導位板100、第二導位板101與第三導位板102還可以黏固的方式相互固定。於其他實施方式中，探針座10所包含的導位板的數量亦可多於三個。

第一導位板100具有第一導位孔100a，第二導位板101具有第二導位孔101a，且第三導位板102具有第三導位孔102a。第一導位孔100a、第二導位孔101a與第三導位孔102a共同形成安裝孔，以安裝探針組件12。

輔助膜11固定至探針座10，並具有微孔110。具體來說，於本實施方式中，輔助膜11係位於第二導位板101與第三導位板102之間。舉例來說，輔助膜11可藉由鎖固第二導位板101與第三導位板102的鎖固件13而固定於第二導位板101與第三導位板102之間，但本案並不以此為限。於實際應用中，輔助膜11可黏固至第二導位板101或第三導位板102。輔助膜11為可撓性基材。

於本實施方式中，探針組件12係依序穿設第一導位板100的第一導位孔100a、第二導位板101的第二導位孔101a、輔助膜11的微孔110與第三導位板102的第三導位孔 102a。探針組件12包含針體120以及外彈簧套筒121。針體120具有針尖120a以及針尾120b。針體120的針尖120a係由第三導位板102的第三導位孔102a穿出。外彈簧套筒121套設於針體120外，並具有至少一彈簧區121a、第一非彈簧區121b以及第二非彈簧區121c等複數個非彈簧區。第一非彈簧區121b具有結合段121b1。結合段121b1與針體120固接，並位於針尖120a與輔助膜11之間。第一非彈簧區121b可視為外彈簧套筒121用以與針體120相連接的一結合非彈簧區。第二非彈簧區121c套設於針體120的針尾120b外。第二非彈簧區121c可視為外彈簧套筒121的一非結合非彈簧區，非結合非彈簧區是指非彈簧區與針體120沒有固接的狀態(亦即，不具有結合段121b1的非彈簧區)。彈簧區121a位於第一非彈簧區121b與第二非彈簧區121c之間。即彈簧區121a設置於複數個非彈簧區中之相鄰兩者之間。

於實際應用中，可藉由將第一非彈簧區121b的結合段121b1從外側往內側壓合於針體120，並藉由銲接(或稱熔接，例如雷射焊接、電弧焊接)而相互固定。或者，也可使用黏結劑等其他固定方法。

詳細來說，第一導位板100的第一導位孔100a與第二導位板101的第二導位孔101a可容許探針組件12通過，而第三導位板102的第三導位孔102a可容許針體120的針尖120a通過，但擋止外彈簧套筒121。因此，當探針組件12安裝於探針座10的安裝孔內時，外彈簧套筒121的第一非彈簧區121b係抵靠第三導位板102面向第二導位板101的表面，而針體120 的針尖120a係穿過第三導位板102的第三導位孔102a而使針尖120a凸露出第三導位板102之外。此時，外彈簧套筒121的第一非彈簧區121b的底面是支撐在第三導位板102上。藉此，探針組件12即可保持在第三導位板102面向第二導位板101的一側。

另一方面來看，第一非彈簧區121b的結合段121b1係位於針體120的針尖120a與輔助膜11之間。特別來說，第一非彈簧區121b的結合段121b1在垂直於針體120的中心軸CA的一方向上具有寬度W，彈簧區121a與第二非彈簧區121c在垂直於中心軸CA的方向上具有外徑D2，並且前述寬度W大於微孔110的孔徑D1，而微孔110的孔徑D1大於前述外徑D2。由此可知，在探針組件12安裝於探針座10的安裝孔內之後，第一非彈簧區121b的結合段121b1係限位於探針座10的第三導位板102與輔助膜11之間，藉以防止探針組件12由探針座10的安裝孔掉出。此外，第三導位板102在面向第二導位板101的一側具有容置空間102b，用以容置複數個探針組件12的結合段121b1。

請參照第2圖，其為繪示第1圖中之輔助膜11的局部上視圖。如圖所示，於本實施方式中，輔助膜11還具有複數個凹槽111，並且凹槽111係等間距地形成於微孔110的內壁。藉由此結構配置，當欲將探針組件12安裝於探針座10的安裝孔時，可使第一非彈簧區121b的結合段121b1朝向第一導位板100而先依序通過第一導位板100之第一導位孔100a、第二導位板101之第二導位孔101a以及輔助膜11的微孔110(凹槽111 容許微孔110在受到結合段121b1擠壓時擴張變大)，進而抵達於第三導位板102面向的第二導位板101的一側，且結合段121b1係限位於探針座10的第三導位板102與輔助膜11(此時微孔110已恢復原本大小)之間。不僅如此，藉由輔助膜11的微孔110對探針組件12的第一非彈簧區121b所產生的定位效果，還可避免外彈簧套筒121的彈簧區121a因安裝孔之內壁面不平整(例如，因組裝誤差而造成任兩導位板之間的接合處非相互齊平)而卡住的問題發生。

如第1圖所示，於本實施方式中，由於輔助膜11係位於第三導位板102與第二導位板101之間，也就是說，輔助膜11非常靠近第一非彈簧區121b的結合段121b1。因此當欲組裝或維修第1圖中的彈簧式探針頭1時，即使將彈簧式探針頭1上下倒置，也可有效地縮減探針組件12離開探針座10的安裝孔的行程。

另外，要說明的是，外彈簧套筒121的非彈簧區的數量可多於兩個。舉例來說，請參照第1圖，外彈簧套筒121還包含第三非彈簧區121d，其係位於第一非彈簧區121b與第二非彈簧區121c之間，且任兩相鄰非彈簧區之間連接著彈簧區121a。於本實施方式中，第三非彈簧區121d可視為外彈簧套筒121的另一非結合非彈簧區。

然而，輔助膜11設置於探針座10內的位置並不以第1圖所示的實施方式為限。請參照第3圖，其為繪示本發明另一實施方式之彈簧式探針頭2的局部剖視示意圖。如圖所示，本實施方式中的彈簧式探針頭2相較於第1圖所示之彈簧式探 針頭1的差異處，在於本實施方式中的輔助膜11係位於第一導位板100與第二導位板101之間。舉例來說，輔助膜11可藉由鎖固第一導位板100與第二導位板101的鎖固件13(見第1圖)而固定於第一導位板100與第二導位板101之間，且在外彈簧套筒121抵靠第三導位板102的狀況下，輔助膜11位於第三非彈簧區121d，但本案並不以此為限。於實際應用中，輔助膜11可黏固至第一導位板100或第二導位板101。

不僅如此，藉由輔助膜11的微孔110對探針組件12的第三非彈簧區121d所產生的定位效果，還可避免外彈簧套筒121的彈簧區121a因安裝孔之內壁面不平整(例如，因組裝誤差而造成任兩導位板之間的接合處非相互齊平)而卡住的問題發生。除此之外，本實施方式的彈簧式探針頭2所包含的其他元件的結構、功能以及各元件之間的連接關係皆與第1圖所示之彈簧式探針頭1大致相同，因此可參照前述相關說明，在此不再贅述。

於多個實施方式中，結合非彈簧區可以是第一非彈簧區121b或第三非彈簧區121d。舉例來說，請參照第3圖，若第三非彈簧區121d是結合非彈簧區(亦即，與第一非彈簧區121b一樣具有結合段121b1)，則第三非彈簧區121d的結合段121b1同樣限位於探針座10的第三導位板102與輔助膜11之間，但第三非彈簧區121d的結合段121b1會更靠近輔助膜11。藉此，當欲組裝或維修第三非彈簧區121d也是結合非彈簧區的彈簧式探針頭2時，即使將彈簧式探針頭2上下倒置，第三非 彈簧區121d的結合段121b1可有效地縮減探針組件12離開探針座10的安裝孔的行程。

於一實施方式中，形成於微孔110的內壁的這些凹槽111的數量為奇數。當輔助膜11上設置有複數個微孔110時，在任兩微孔110的中心之間的距離為一定值且方位相同(即微孔110與其凹槽111的相對位置相同)的前提之下，經過模擬估算，可得到等距排列有奇數個凹槽111的兩微孔110之間的間距，會大於等距排列有偶數個凹槽111的兩微孔110之間的間距的結果。藉此，具有奇數個凹槽111的微孔110可使輔助膜11較不易破裂。

請參照第4圖，其為繪示本發明另一實施方式之彈簧式探針頭3的局部剖視示意圖。如圖所示，本實施方式中的彈簧式探針頭3相較於第1圖所示之彈簧式探針頭1的差異處，在於本實施方式中的輔助膜11係位於第一導位板100遠離第二導位板101的一側，且在外彈簧套筒321抵靠第三導位板102的狀況下，輔助膜11位於第二非彈簧區321c，並且本實施方式中的探針組件32的外彈簧套筒321的結構也進一步修改。具體來說，於本實施方式中，探針組件32的外彈簧套筒321的第二非彈簧區321c具有溝槽321c1，而微孔110具有中心點CP。微孔110的中心點CP與針體120的中心軸CA錯位，且輔助膜11鄰接微孔110的一部分係卡合至第二非彈簧區321c的溝槽321c1(類似卡榫的固定機制)。藉由此結構配置，同樣可將第一非彈簧區121b的結合段121b1限位於探針座10的第 三導位板102與輔助膜11之間，並同樣可防止探針組件32由探針座10的安裝孔掉出。

基於上述結構配置，在將探針組件32安裝於探針座10的安裝孔時，可先使微孔110的中心點CP與針體120的中心軸CA對齊，以利探針組件32穿過微孔110，接著再平移輔助膜11而使微孔110的中心點CP與針體120的中心軸CA錯位，最後再將輔助膜11固定至第一導位板100(例如透過鎖固件13，見第1圖)，即可完成彈簧式探針頭3的組裝。

除此之外，本實施方式的彈簧式探針頭3所包含的其他元件的結構、功能以及各元件之間的連接關係皆與第1圖所示之彈簧式探針頭1大致相同，因此可參照前述相關說明，在此不再贅述。

於實際應用中，設置於第二非彈簧區321c的溝槽321c1亦可改為設置於第三非彈簧區121d，並配合將輔助膜11設置於第一導位板100與第二導位板101之間。或者，設置於第二非彈簧區321c的溝槽321c1亦可改為設置於第一非彈簧區121b，並配合將輔助膜11設置於第二導位板101與之間第三導位板102。藉此，同樣可達到利用輔助膜11防止探針組件32由探針座10的安裝孔掉出的目的。

請參照第5圖以及第6圖。第5圖為繪示本發明另一實施方式之彈簧式探針頭4的局部剖視示意圖。第6圖為繪示第5圖中之輔助膜41的局部上視圖。如圖所示，於本實施方式中，本實施方式中的彈簧式探針頭4相較於第1圖所示之彈簧式探針頭1的差異處，在於本實施方式中的輔助膜41係位於第一 導位板100遠離第二導位板101的一側，並且本實施方式中的輔助膜41與探針組件42的外彈簧套筒421的結構也進一步修改。具體來說，於本實施方式中，探針組件42的外彈簧套筒421的第二非彈簧區421c的相對兩側分別具有兩溝槽421c1，且輔助膜41的相對兩側也對應地具有兩延伸部411形成於微孔410的內壁(類似跳水板的設計)，藉以分別與兩溝槽421c1相互卡合(類似卡榫的固定機制)。藉由此結構配置，同樣可將第一非彈簧區121b的結合段121b1限位於探針座10的第三導位板102與輔助膜41之間，並同樣可防止探針組件42由探針座10的安裝孔掉出。

除此之外，本實施方式的彈簧式探針頭4所包含的其他元件的結構、功能以及各元件之間的連接關係皆與第1圖所示之彈簧式探針頭1大致相同，因此可參照前述相關說明，在此不再贅述。

於實際應用中，設置於第二非彈簧區421c的兩溝槽421c1亦可改為設置於第三非彈簧區121d，並配合將輔助膜41設置於第一導位板100與第二導位板101之間。或者，設置於第二非彈簧區421c的兩溝槽421c1亦可改為設置於第一非彈簧區121b，並配合將輔助膜41設置於第二導位板101與之間第三導位板102。藉此，同樣可達到利用輔助膜41防止探針組件42由探針座10的安裝孔掉出的目的。

請參照第7圖以及第8圖。第7圖為繪示本發明另一實施方式之彈簧式探針頭5的局部剖視示意圖。第8圖為繪示第7圖中之輔助膜51的局部上視圖。如圖所示，於本實施方式 中，本實施方式中的彈簧式探針頭5相較於第1圖所示之彈簧式探針頭1的差異處，在於本實施方式中的輔助膜51係位於第一導位板100遠離第二導位板101的一側，並且本實施方式中的輔助膜51的結構也進一步修改。具體來說，於本實施方式中，輔助膜51還具有複數個延伸部511，且這些延伸部511形成於微孔510的內壁，用以承靠外彈簧套筒121的第二非彈簧區121c，進而對探針組件12施加朝向中心軸CA的夾持力。藉由此結構配置，同樣可將第一非彈簧區121b的結合段121b1限位於探針座10的第三導位板102與輔助膜51之間，並同樣可防止探針組件12由探針座10的安裝孔掉出。

除此之外，本實施方式的彈簧式探針頭5所包含的其他元件的結構、功能以及各元件之間的連接關係皆與第1圖所示之彈簧式探針頭1大致相同，因此可參照前述相關說明，在此不再贅述。

於實際應用中，輔助膜51可改為設置於第一導位板100與第二導位板101之間。或者，輔助膜51亦可改為設置於第二導位板101與之間第三導位板102。藉此，同樣可達到利用輔助膜51防止探針組件12由探針座10的安裝孔掉出的目的。

另外，於實際應用中，輔助膜51可不具有上述延伸部511，而微孔510的內壁係直接與彈簧套筒的第二非彈簧區121c呈緊配，同樣可將第一非彈簧區121b的結合段121b1限位於探針座10的第三導位板102與輔助膜51之間，並同樣可防止探針組件12由探針座10的安裝孔掉出。

請參照第9圖，其為繪示本發明另一實施方式之探針組件62的剖視示意圖。如圖所示，於本實施方式中，探針組件62具有針體、外彈簧套筒621、中介套筒622以及絕緣膜623。另外，最外側配置有外彈簧套筒621，外彈簧套筒621之內側配置有中介套筒622，而最內側配置有針體。特別來說，本實施方式相較於前述實施方式的差異處，在於本實施方式的針體為內彈簧套筒620。由此可知，探針組件62係由直徑不同的三個筒狀構件配置成同心軸狀所構成。為了固定外彈簧套筒621與中介套筒622，可藉由從外側往內側進行壓合來加以固定的情況下所形成。或者，也可使用雷射焊接、電弧焊接或黏結劑等其他固定方法。為了固定中介套筒622與內彈簧套筒620，同樣可藉由從外側往內側進行壓合來加以固定的情況下所形成。或者，也可使用黏結劑等其他固定方法。中介套筒622與內彈簧套筒620兩者之間可透過絕緣膜623連接，藉以使兩者呈絕緣狀態。絕緣膜623可形成在內彈簧套筒620的外側表面，或者可形成在中介套筒622的內側表面。

由以上對於本發明之具體實施方式之詳述，可以明顯地看出，本發明的彈簧式探針頭係藉由在探針座中設置輔助膜，並使探針組件的結合段限位於探針座的其中一導位板與輔助膜之間，藉以防止探針組件由探針座的安裝孔掉出。換句話說，本發明的彈簧式探針頭可達到防止探針組件因突發意外而彈出或掉落的功效。在組裝或維修時，工作人員並不需要先將整個探針卡傾斜或倒置(即，使探針座的安裝孔朝上)再拆卸彈簧式探針頭，因此可提高組裝與維修的效率。另外，藉由將 輔助膜設置於靠近探針組件的結合段的兩導位板之間，特別是輔助膜在第一導位板靠近該第二導位板的位置與該第三導位板之間，可有效地縮減探針組件離開探針座的安裝孔的行程。此外，在輔助膜設置於任兩導位板之間的情況之下，藉由輔助膜的微孔對探針組件所產生的定位效果，還可避免外彈簧套筒的彈簧區因安裝孔之內壁面不平整(例如，因組裝誤差而造成任兩導位板之間的接合處非相互齊平)而卡住的問題發生。

雖然本發明已以實施方式揭露如上，然其並不用以限定本發明，任何熟習此技藝者，在不脫離本發明的精神和範圍內，當可作各種的更動與潤飾，因此本發明的保護範圍當視後附的申請專利範圍所界定者為準。

1‧‧‧彈簧式探針頭

10‧‧‧探針座

100‧‧‧第一導位板

100a‧‧‧第一導位孔

101‧‧‧第二導位板

101a‧‧‧第二導位孔

102‧‧‧第三導位板

102a‧‧‧第三導位孔

11‧‧‧輔助膜

110‧‧‧微孔

12‧‧‧探針組件

120‧‧‧針體

120a‧‧‧針尖

120b‧‧‧針尾

121‧‧‧外彈簧套筒

121a‧‧‧彈簧區

121b‧‧‧第一非彈簧區

121b1‧‧‧結合段

121c‧‧‧第二非彈簧區

13‧‧‧鎖固件

CA‧‧‧中心軸

D1‧‧‧孔徑

D2‧‧‧外徑

W‧‧‧寬度

Claims (15)

1. 一種彈簧式探針頭，包含：一探針座，包含一第一導位板、一第二導位板以及一第三導位板，該第二導位板設置於該第一導位板與該第三導位板之間，該第一導位板具有至少一第一導位孔，該第二導位板具有至少一第二導位孔，該第三導位板具有至少一第三導位孔；一輔助膜，固定至該探針座，並具有至少一微孔；以及一探針組件，穿設該至少一第一導位孔、該至少一第二導位孔、該至少一第三導位孔與該至少一微孔，並包含：一針體，具有一針尖由該第三導位板穿出；以及一外彈簧套筒，套設於該針體外，並具有至少一彈簧區以及複數個非彈簧區，該至少一彈簧區設置於該些非彈簧區中之相鄰兩者之間，該些彈簧區其中一者具有一結合段，該結合段與該針體固接，並限位於該第三導位板與該輔助膜之間，該第三導位孔用以供該針尖穿出，且擋止該外彈簧套筒。
2. 如請求項第1項所述之彈簧式探針頭，其中該結合段在垂直於該針體的一中心軸的一方向上具有一寬度，並且該寬度大於該至少一微孔的一孔徑。
3. 如請求項第2項所述之彈簧式探針頭，其中該輔助膜還具有複數個凹槽，並且該些凹槽係等間距地形成於該至少一微孔的內壁。
4. 如請求項第2項所述之彈簧式探針頭，其中該些凹槽的數量為奇數。
5. 如請求項第1項所述之彈簧式探針頭，其中該輔助膜位於該第一導位板遠離該第二導位板的一側。
6. 如請求項第1項所述之彈簧式探針頭，其中該彈簧區與該些非彈簧區在垂直於該針體的一中心軸的一方向上具有一外徑，並且該至少一微孔的一孔徑大於該外徑。
7. 如請求項第1項所述之彈簧式探針頭，其中不具有該結合段之該些非彈簧區其中一者具有一溝槽，該輔助膜還具有至少一延伸部，且該延伸部形成於該至少一微孔的內壁，用以與該溝槽相互卡合。
8. 如請求項第1項所述之彈簧式探針頭，不具有該結合段之該些非彈簧區其中一者具有一溝槽，該至少一微孔具有一中心點，該中心點與該針體的該中心軸錯位，且該輔助膜鄰接該至少一微孔的一部分卡合至該溝槽。
9. 如請求項第1項所述之彈簧式探針頭，該輔助膜還具有複數個延伸部，且該些延伸部形成於該至少一微孔的內壁，用以承靠不具有該結合段之該些非彈簧區其中一者。
10. 如請求項第1項所述之彈簧式探針頭，其中該針體為一內彈簧套筒。
11. 如請求項第1項所述之彈簧式探針頭，其中當該外彈簧套筒抵靠該第三導位板時，該輔助膜位於該些非彈簧區其中一者。
12. 如請求項第11項所述之彈簧式探針頭，其中當該外彈簧套筒抵靠該第三導位板時，該輔助膜位於該第一導位板靠近該第二導位板的位置與該第三導位板之間。
13. 如請求項第12項所述之彈簧式探針頭，該輔助膜位於不具有該結合段之該些非彈簧區其中一者。
14. 如請求項第12項所述之彈簧式探針頭，該輔助膜位於具有該結合段之該非彈簧區。
15. 如請求項第1項所述之彈簧式探針頭，其中該輔助膜為可撓性基材。