TW201632841A - 液面偵測電路、液面計、具備其之容器、及使用該容器的汽化器 - Google Patents

液面偵測電路、液面計、具備其之容器、及使用該容器的汽化器 Download PDF

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Abstract

關於本發明的液面計(30)係具備第1電阻測溫體(R11)、配置於第1電阻測溫體的附近的第1溫度測定體(R12)、及根據第1電阻測溫體及第1溫度測定體的溫度，偵測液面的位置的液面偵測部(39)，更具備：檢測出第1電阻測溫體及第1溫度測定體的溫度的溫度檢測部(37)、以藉由溫度檢測部所檢測出之第1電阻測溫體的溫度與第1溫度測定體的溫度的差成為第1一定值之方式，決定施加於第1電阻測溫體的電流值的電流控制部(38)、及將決定之電流值的電流，施加於第1電阻測溫體的電源部(32)，液面偵測部，係使用施加於第1電阻測溫體的電流值，判定第1電阻測溫體是存在於液體中，或存在於液體外。藉此，可不受到周圍溫度的影響而進行液面的檢測，以定溫度差進行溫度控制，故不會對電阻測溫體施加必要以上的電力，可謀求長壽命化。

Description

液面偵測電路、液面計、具備其之容器、及使用該容器的汽化器
本發明係關於偵測液面位準的液面計及該液面計所使用的液面偵測電路。
先前，提案有例如對使用有機金屬化學氣相沉積法(MOCVD：Metal Organic Chemical Vapor Deposition)的半導體製造裝置，供給原料流體的液體原料汽化供給裝置(例如專利文獻1~3)。
此種液體原料汽化供給裝置係將TEOS(Tetraethyl orthosilicate)等的液體原料在汽化處理室內進行加熱使其汽化，藉由流量控制裝置將汽化的氣體控制成所定流量，並供給至半導體製造裝置。然後，為了彌補使原料液體汽化所致之原料液體的減少，需要藉由檢測出原料液體的液面，供給減少份量，來控制液面。
作為檢測出原料液體的液面的方法，例如，公知有利用監視汽化器內的壓力減少，檢測出汽化器內的原料液體因汽化而減少之狀況的壓力偵測式液面檢測裝置 (專利文獻2等)，及利用液相與氣相中散熱常數不同之狀況的熱式液面檢測裝置(專利文獻4~6等)。
在此種熱式液面檢測裝置中，如圖8所示，將分別封入白金等的電阻測溫體(Resistive Temperature Detector)R1、R2之兩支保護管P於垂直方向插入至容器T內，於一方的電阻測溫體R1，為了將電阻測溫體R1藉由自身發熱來保持成比周圍溫度還高溫而流通比較大的定電流I1(加熱電流)，於另一方的電阻測溫體R2，以可測定周圍溫度的程度，流通可無視於發熱之大小的微小定電流I2(周圍溫度測定用電流)。
如此一來，流通較大電流I1的電阻測溫體R1會發熱。此時，電阻測溫體是液相L中時的散熱常數，大於是氣相G中時的散熱常數，所以，是氣相G中時的電阻測溫體的溫度，相較於液相中時比較高。
電阻值，此係代表氣相中的電阻測溫體電阻值比液相中的電阻測溫體還高，故可利用觀測流通較大電流之電阻測溫體R1的電壓輸出，與流通微小電流之電阻測溫體R2電壓輸出的差分(絕對值)，判別電阻測溫體是在液面的上方或下方。亦即，在差分小時，可判斷電阻測溫體位於比液面還下方，差分大時，可判斷電阻測溫體位於比液面還上方。
圖9係液面偵測電路之一例，於電阻測溫體R1、R2，透過定電流電路S1、S2，從電源Vcc供給定電流。以於電阻測溫體R2，以可測定周圍溫度的程度流通 可無視發熱之大小的微小電流，於電阻測溫體R1，流通比電阻測溫體R2大之電流值的電流，且為了將電阻測溫體R1加熱成高溫而比較大的電流之方式，設定於定電流電路S1流通比定電流電路S2還大之電流。電阻測溫體R1的端子電壓V1與電阻測溫體R2的端子電壓V2分別輸入至差動放大電路D的反轉輸入及非反轉輸入，從差動放大電路D，相當於端子電壓V1、V2的差電壓(V1-V2)的電壓訊號被輸入至比較器C。比較器C係比較藉由分壓電阻器R3、R4所設定之基準電壓V3，與差電壓(V1-V2)。
在電阻測溫體R1是液相中時，電阻測溫體R1係相對於周圍溫度的溫度上升小於氣相中的溫度上升。結果，與和同樣是液相中的電阻測溫體R2發出之對應周圍溫度之大小的電壓訊號的差相當之來自動作放大電路D的輸出電壓會小於基準電壓，比較器C的輸出成為低位準。另一方面，液面降低，電阻測溫體R1露出於氣相中的話，相對於周圍溫度的溫度上升會成為氣相中的溫度上升，所以，與和同樣是氣相中的電阻測溫體R2發出之對應周圍溫度之大小的電壓訊號的差相當之來自差動放大電路D的輸出電壓會大於基準電壓，比較器C的輸出成為高位準。比較器C的輸出是高位準時，可判別電阻測溫體R1、R2是氣相中，比較器C的輸出是低位準時，可判別電阻測溫體R1、R2是液相中。
測定端子電壓V1、V2的話，可根據電流值 I1、I2，藉由歐姆定律，求出電阻測溫體R1、R2的電阻值，得知電阻測溫體R1、R2的電阻值的話，如果相對於電阻測溫體R1、R2之溫度的電阻變化率為既知，則可導出電阻測溫體R1、R2的溫度。所以，在液面偵測電路中，即使藉由比較電阻測溫體R1、R2的電阻值，代替電阻測溫體R1、R2之電壓輸出的比較，也可進行判別，或者，也可藉由利用相對於電阻測溫體R1、R2之溫度的電阻變化率，根據各電阻值來測定電阻測溫體R1、R2的溫度，並比較該等溫度來進行判別。
〔先前技術文獻〕 〔專利文獻〕
[專利文獻1]日本特開2009-252760號公報
[專利文獻2]日本特開2010-180429號公報
[專利文獻3]日本特開2013-77710號公報
[專利文獻4]日本專利第3009809號公報
[專利文獻5]日本專利第5400816號公報
[專利文獻6]日本特開2001-99692號公報
於前述先前的液面偵測中，作為驅動電路，使用對於各電阻測溫體流通定電流，進行電阻測溫體之電阻值的比較的定電流電路。然而，驅動電路使用定電流電 路時，會有測定時受到周邊溫度的影響，對電阻測溫體施加必要以上的電流的問題。
本發明的主要目的係提供可解決前述問題的液面偵測電路及液面計。
為了達成前述目的，本發明之第1觀點的液面計，係具備：第1電阻測溫體，係施加任意大小的電流；第1溫度測定體，係配置於前述第1電阻測溫體的附近；及液面偵測部，係根據前述第1電阻測溫體的溫度及前述第1溫度測定體的溫度，偵測液面的位置；更具備：溫度檢測部，係檢測出前述第1電阻測溫體的溫度及前述第1溫度測定體的溫度；電流控制部，係以藉由前述溫度檢測部所檢測出之前述第1電阻測溫體的溫度與前述第1溫度測定體的溫度的差成為第1一定值之方式，決定施加於前述第1電阻測溫體的電流值；及電源部，係將藉由前述電流控制部所決定之電流值的電流，施加於前述第1電阻測溫體；前述液面偵測部，係使用施加於前述第1電阻測溫體的電流值，判定前述第1電阻測溫體是存在於液體中，或存在於液體外。
前述第1溫度測定體，係被施加比施加於前述第1電阻測溫體的電流還小之電流的第2電阻測溫體亦可。
前述液面偵測部，係可利用判定藉由前述電 流控制部而施加於前述第1電阻測溫體的電流值，是否比所定第1臨限值還大，來判定前述第1電阻測溫體是存在於液體中，或存在於液體外。
前述液面計更具備：電壓測定部，係測定前述第1電阻測溫體之兩端的電壓；前述溫度檢測部，係根據藉由前述電壓測定部所測定之前述第1電阻測溫體之兩端的電壓，決定前述第1電阻測溫體的溫度；前述電流控制部，係可在前述差大於所定基準值時，將施加於前述第1電阻測溫體的電流值，決定為比正施加於前述第1電阻測溫體的電流值還小之值；在前述差小於前述基準值時，將施加於前述第1電阻測溫體的電流值，決定為比正施加於前述第1電阻測溫體的電流值還大之值；在前述差等於前述基準值時，將施加於前述第1電阻測溫體的電流值，決定為與正施加於前述第1電阻測溫體的電流值相同之值。
前述液面計更具備：第2電阻測溫體，係施加任意大小的電流；前述第2電阻測溫體，係配置於與前述第1電阻測溫體不同的高度；前述溫度檢測部，係檢測出前述第2電阻測溫體的溫度；前述電流控制部，係以藉由前述溫度檢測部所檢測出之前述第2電阻測溫體的溫度與前述第1溫度測定體的溫度的差成為第2一定值之方式，決定施加於前述第2電阻測溫體的電流值；前述電源部，係將藉由前述電流控制部所決定之施加於前述第2電阻測溫體之電流值的電流，施加於前述第2電阻測溫體； 前述液面偵測部，係可使用施加於前述第2電阻測溫體的電流值，判定前述第2電阻測溫體是存在於液體中，或存在於液體外。
前述第2電阻測溫體，係可配置於比前述第1電阻測溫體及前述第1溫度測定體還低的位置。
前述液面計更具備：第2電阻測溫體，係施加任意大小的電流；及第2溫度測定體，係配置於前述第2電阻測溫體的附近；前述第2電阻測溫體，係配置於與前述第1電阻測溫體不同的高度；前述溫度檢測部，係檢測出前述第2電阻測溫體的溫度及前述第2溫度測定體的溫度；前述電流控制部，係以藉由前述溫度檢測部所檢測出之前述第2電阻測溫體的溫度與前述第2溫度測定體的溫度的差成為第2一定值之方式，決定施加於前述第2電阻測溫體的電流值；前述電源部，係將藉由前述電流控制部所決定之施加於前述第2電阻測溫體之電流值的電流，施加於前述第2電阻測溫體；前述液面偵測部，係可使用施加於前述第2電阻測溫體的電流值，判定前述第2電阻測溫體是存在於液體中，或存在於液體外。
前述第2電阻測溫體及前述第2溫度測定體，係配置於比前述第1電阻測溫體及前述第1溫度測定體還高的位置；前述第1電阻測溫體的溫度與前述第1溫度測定體的溫度的差比前述第1一定值還大的話，前述液面偵測部，係輸出應使液面上升的訊號；前述第1電阻測溫體的溫度與前述第1溫度測定體的溫度的差比前述第1 一定值還小的話，前述液面偵測部，係輸出應使液面的上升停止的訊號。
前述液面偵測部，係在前述第1電阻測溫體的溫度與前述第1溫度測定體的溫度的差變成比前述第1一定值還大之後，在所定時間內，前述第1電阻測溫體的溫度與前述第1溫度測定體的溫度的差變成比前述第1一定值還小時，不輸出應使液面的上升停止的訊號，維持應使液面上升的訊號的輸出亦可。
前述第2電阻測溫體的溫度與前述第2溫度測定體的溫度的差比前述第2一定值還小的話，前述液面偵測部，係輸出應使液面的上升停止的訊號亦可。
前述第1電阻測溫體、前述第2電阻測溫體、前述第1溫度測定體、及前述第2溫度測定體，係白金電阻測溫體亦可。
關於本發明之第2觀點的容器，係安裝有上述之液面計，並藉由前述液面計偵測收容之液體的液面。
關於本發明之第3觀點的汽化器，係具備上述之容器，汽化的液體被收容於前述容器。
關於本發明之第4觀點的液面偵測電路，係具備：橋接電路，係包含串聯連接自身發熱用電阻測溫體與第1電阻的第1線路，與串聯連接和前述第1線路並聯連接，且流通比前述第1線路還小之電流的第2電阻及第3電阻的第2線路；電晶體，係為了將來自電源的電流供給至前述橋接電路，而串聯連接於前述橋接電路；第3線 路，係連接於前述第2電阻與第3電阻之間，串聯連接與前述第1電阻同電阻值之第4電阻、第5電阻、及使用與前述自身發熱用電阻體相同電阻測溫體的周圍溫度測定用電阻測溫體；第4線路，係連接於前述自身發熱用電阻測溫體與前述第1電阻體之間，串聯連接具有與前述第2電阻和前述第3電阻的電阻值之比相同的電阻值之比的第6電阻及第7電阻；比較器，係前述第4電阻與第5電阻之間的第1電位被輸入至非反轉輸入端子，前述第6電阻與前述第7電阻的第2電位被輸入至反轉輸入端子；及第5線路，係作為前述電晶體的基極電壓，施加前述比較器的輸出電位；前述比較器的輸出電位設為偵測輸出。
於前述第3線路，可連接有緩衝電路。
於前述第4線路，可連接有緩衝電路。
前述第5電阻可設為可變電阻器。
前述自身發熱用電阻測溫體與前述周圍溫度測定用電阻測溫體，可設為白金電阻測溫體。
將前述第2電阻與前述第6電阻設為相同電阻值，將前述第3電阻與前述第7電阻設為相同電阻值亦可。
關於本發明之第5觀點的液面計，係使用上述之液面偵測電路。
依據本發明的液面偵測電路及液面計，因為 以定溫度差驅動自身發熱用電阻測溫體與周圍溫度測定用電阻測溫體，所以，可不受到周圍溫度的影響而進行液面的檢測，以定溫度差進行溫度控制，故不會對電阻測溫體施加必要以上的電力，可謀求長壽命化。
1‧‧‧液面偵測電路
2‧‧‧第1電阻
3‧‧‧第1線路
4‧‧‧第2電阻
5‧‧‧第3電阻
6‧‧‧第2線路
7‧‧‧橋接電路
8‧‧‧電晶體
9‧‧‧第4電阻
10‧‧‧第5電阻
11‧‧‧第3線路
12‧‧‧第6電阻
13‧‧‧第7電阻
14‧‧‧第4線路
15‧‧‧比較器
16‧‧‧第5線路
17、18‧‧‧緩衝電路
R1‧‧‧自身發熱用電阻測溫體
R2‧‧‧周圍溫度測定用電阻測溫體
V‧‧‧電源
30‧‧‧液面計
31‧‧‧控制部
32‧‧‧電源部
33‧‧‧電壓測定部
34‧‧‧記憶部
35‧‧‧計時器
36‧‧‧時脈產生部
37‧‧‧溫度檢測部
38‧‧‧電流控制部
39‧‧‧液面偵測部
R11‧‧‧第1電阻測溫體
R12‧‧‧第2電阻測溫體
R13‧‧‧第3電阻測溫體
R14‧‧‧第4電阻測溫體
[圖1]揭示關於本發明第1實施形態之液面偵測電路的電路圖。
[圖2]揭示關於本發明第2實施形態之液面計的區塊圖。
[圖3]揭示關於本發明第2實施形態之液面計的第1~第4電阻測溫體之配置的模式圖。
[圖4]揭示控制部之功能的區塊圖。
[圖5]揭示圖2的液面計之動作的流程圖。
[圖6]揭示用以偵測液面與上限位置之位置關係的電阻測溫體之電流值的圖表。
[圖7]揭示用以偵測液面與下限位置之位置關係的電阻測溫體之電流值的圖表。
[圖8]揭示先前之液面計的概略構造圖。
[圖9]揭示先前之液面計的液面偵測電路之一例的電路圖。
針對關於本發明之液面偵測電路的實施形態，以下一邊參照圖面一邊進行說明。再者，於全圖及全實施形態中相通，對於相同或類似的構造部分附加同符號。
(第1實施形態)
圖1係揭示關於本發明第1實施形態之液面偵測電路。針對使用本發明之液面偵測電路的液面計之設置例，適當參照圖8。
液面偵測電路1係如圖1所示，具備包含串聯連接自身發熱用電阻測溫體R1與第1電阻2的第1線路3，與串聯連接和第1線路3並聯連接，且流通比第1線路3還小之電流的第2電阻4及第3電阻5的第2線路6的橋接電路7、為了將來自電源V的電流供給至橋接電路7，而串聯連接於橋接電路7的nMOS電晶體8、連接於第2電阻4與第3電阻5之間，串聯連接與第1電阻2同電阻值之第4電阻9、第5電阻10、及使用與自身發熱用電阻測溫體R1相同電阻測溫體的周圍溫度測定用電阻測溫體R2的第3線路11、連接於自身發熱用電阻測溫體R1與第1電阻2之間，串聯連接與第2電阻4同電阻值之第6電阻12、及與第3電阻5同電阻值的第7電阻13的第4線路14、第4電阻9與第5電阻10之間的第1電位Va被輸入至非反轉輸入端子，第6電阻12與第7電阻13的第2電位Vb被輸入至反轉輸入端子的比較器15、及 作為電晶體8的基極電壓，施加比較器15的輸出電位的第5線路16；比較器15的輸出電位設為液面的偵測輸出。
為了使從橋接電路7對第3線路11的電壓輸出穩定，第3線路11連接有緩衝電路17。相同地，為了使從橋接電路7對第4線路14的電壓輸出穩定，第4線路14連接有緩衝電路18。第3線路11及第4線路14任一皆連接接地。
於圖示例中，第1電阻2及第4電阻9為100Ω，第2電阻4及第6電阻12為10kΩ，第3電阻5及第7電阻為1kΩ。於圖示例中，第5電阻10是最大50Ω的可變電阻器，被調節成8Ω。電源V係DC12V。
又，於圖示例中，自身發熱用電阻測溫體R1及周圍溫度測定用電阻測溫體R2任一皆使用與日本工業規格(JIS)或IEC規格所規定之Pt100相當的白金電阻測溫體，公稱電阻值為100Ω。白金電阻測溫體因電阻值與溫度的關係線性變化而其變化率大，也有優良再現性，故適合用於電阻測溫體。白金電阻測溫體係一般來說可由白金電阻元件、內部導線、絕緣物、保護管、端子等所構成。
針對前述構造之液面偵測電路1的動作，於以下說明。
電晶體8導通時，對來自電源V的橋接電路7供給電流，於第1線路3流通比第2線路還大的電流。 流通於第1線路3的電流係使自身發熱用電阻測溫體R1自身發熱，並將自身發熱用電阻測溫體R1保持為比周圍溫度還高溫的加熱電流。
第1線路3的與橋接電路7的連接點之電壓輸出Vc，係藉由緩衝電路18穩定化之後，藉由第6電阻12與第7電阻13分壓，第6電阻12與第7電阻13之間的電壓輸出Vb被輸入至比較器15的反轉輸入端子。
另一方面，於橋接電路7的第2線路6，流通用以將以可測定周圍溫度的程度且可無視發熱之大小的微小電流(周圍溫度測定用電流)流通於第3線路11的電流。第3線路11的與橋接電路7的連接點之電壓輸出Vd，係藉由緩衝電路17穩定化之後，藉由第4電阻9、第5電阻10及周圍溫度測定用電阻測溫體R2分壓，第4電阻9與第5電阻10之間的電位輸出Va被輸入至比較器15的非反轉輸入端子。
由圖1的電路構造可知，自身發熱用電阻測溫體R1的電阻值(R1)比第5電阻10的電阻值(R)與周圍溫度測定用電阻測溫體R2的電阻值(R2)的合計電阻值(R2+R)還小時(R1<R2+R)，比較器15的非反轉輸入會比反轉輸入大，比較器15成為高位準，對電晶體8輸出基極電壓(5V)，電晶體8變成導通，從電源V對橋接電路7供給電流。
自身發熱用電阻測溫體R1因為自身發熱而電阻值上升，其電阻值(R1)超過第5電阻10的電阻值 (R)與周圍溫度測定用電阻測溫體R2的電阻值(R2)的合計電阻值(R2+R)的話(亦即，R1>R2+R)，比較器15的反轉輸入會比非反轉輸入大，比較器15成為低位準，對電晶體8不輸出基極電壓，故電晶體8變成截斷，從電源V對橋接電路7不會供給電流。所以，自身發熱用電阻測溫體R1因自身發熱而溫度過度上升，電阻值過度提升的話，加熱電流的供給會停止。
液面偵測電路1係如上所述，進行將自身發熱用電阻測溫體R1的電阻值(R1)，保持為第5電阻10的電阻值(R)與周圍溫度測定用電阻測溫體R2的電阻值(R2)之和(亦即，R1=R2+R)的回授控制。
比較器15的輸出為低位準的話，可判斷自身發熱用電阻測溫體R1的放熱量較少，電阻值變高，所以，判斷為氣相(G)中，相反地，比較器15的輸出為高位準的話，可判斷自身發熱用電阻測溫體R1的放熱量較多，電阻值變低，所以，判斷為液相(L)中。
藉由前述構造的液面偵測電路，對自身發熱用電阻測溫體R1與周圍溫度測定用電阻測溫體R2進行定溫度差驅動，故可不受到周圍溫度的影響，進行液面的檢測。
進而，為了以定溫度差進行溫度控制，不對電阻測溫體施加必要以上的電力，可謀求長壽命化。
又，因為自身發熱用電阻測溫體R1與周圍溫度測定用電阻測溫體R2，可使用萬用品即如100Ω的白金 電阻測溫體之相同規格的電阻測溫體，可低成本化。
於前述實施形態中，已針對將第2電阻4與第6電阻12設為相同電阻值，將第3電阻5與第7電阻13設為相同電阻值的範例進行說明，但並不限於此，只要第2電阻4的電阻值(Ra)與第3電阻5的電阻值(Rb)的比(Ra/Rb)，與第6電阻12的電阻值(Rc)與第7電阻13的電阻值(Rd)的比(Rc/Rd)相同(亦即，(Ra/Rb)=(Rc/Rd))即可。
再者，對於使圖1的電路連續動作來說，設置用以使電晶體8一旦截斷之後，使電晶體8導通的電路即可。例如，與電晶體8並聯，在電源V與第1電阻2之間連接所定電阻值的電阻即可。
(第2實施形態)
圖2係揭示關於本發明第2實施形態之液面計的概略構造。本實施形態的液面計30係具備第1~第4電阻測溫體R11~R14、控制部31、電源部32、電壓測定部33、記憶部34、計時器35、及時脈產生部36。雖於圖2並未圖示，但液面計30也具備用以對各部供給電力的電源等，為了具有液面計的功能所需的構造要素。
第1~第4電阻測溫體R11~R14任一皆與第1實施形態相同，是相當於Pt100(0℃的電阻值為100Ω)的白金電阻測溫體。參照圖3，第1~第4電阻測溫體R11~R14與圖8相同，分別被封入至保護管P，配置 於收容所定液體(液相)L的容器T。第1電阻測溫體R11與第2電阻測溫體R12被配置於相同高度(從初始液面S0起算相同距離D1)的位置，第3電阻測溫體R13及第4電阻測溫體R14被配置於相同高度，且比第1電阻測溫體R11與第2電阻測溫體R12還高的位置(從初始液面S0起算相同距離D2(D2<D1))。因為液體L汽化的氣體(氣相)G供給至外部裝置，液體L的液面係從初始液面S0降低(以S表示降低的液面)。
控制部31係控制液面計30整體。控制部31係例如藉由公知的半導體運算元件(CPU)及半導體記憶元件(RAM等)所構成。控制部31所執行的所定程式被記憶於記憶部34。液面計30的電源被投入時，控制部31係從記憶部34的所定位址讀出並執行所定程式。如後述般，控制部31係以藉由第1~第4電阻測溫體R11~R14檢測出液面的變化，因應液面的位置，外部裝置即液體供給裝置可進行對容器T內之液體的供給，或供給的停止之方式，對液體供給裝置輸出液供給訊號SG。
電源部32係從控制部31輸入電流設定資料，對第1~第4電阻測溫體R11~R14，流通因應被輸入之電流設定資料的電流I11~I14。電源部32係具備D/A轉換器，產生因應從控制部31接收之數位的電流設定資料之類比的電流I11~I14。電源部32係可使用4組公知的D/A轉換器及放大器來構成。
電壓測定部33係測定第1~第4電阻測溫體 R11~R14之各兩端的電壓V11~V14，將測定值V11~V14輸出至控制部31。電壓測定部33係具備A/D轉換器，測定值V11~V14係根據類比的電壓所產生的數位資料。電壓測定部33使用公知的數位電壓計IC，或也可使用4組公知的放大器及A/D轉換器來構成。
記憶部34也記憶控制部31為了控制液面計30整體所需之參數的初始值(以下稱為初始參數)。控制部31係在前述之程式的執行後，從記憶部34讀取出初始參數。
計時器35係根據輸入的時脈，產生時刻資料，並輸出至控制部31。時脈產生部36係產生各部的動作所需之時脈，並供給至各部。
液面計30的動作原理與第1實施形態相同。亦即，第1~第4電阻測溫體R11~R14被通電時溫度會上升。可藉由白金電阻測溫體之電阻值的溫度直線性，根據第1~第4電阻測溫體R11~R14之兩端的電壓V11~V14，計算出第1~第4電阻測溫體R11~R14的各別溫度T1~T4。具體來說，R1j(j=1~4)的溫度Tj(℃)可使用0℃之電阻值R1j(0)及現在的電流值I1j，藉由Tj={(V1j/I1j)-R1j(0)}/(α×R1j(0))來計算出。在此，α是將電阻值設為溫度的1次函數時的溫度係數(Ω/℃)，如果是白金電阻測溫體Pt100的話，α=0.003851。
第1~第4電阻測溫體R11~R14中，於第2 電阻測溫體R12及第4電阻測溫體R14，如上所述，流通微小的一定電流(例如2mA)，於第1電阻測溫體R11及第3電阻測溫體R13，流通比第2電阻測溫體R12及第4電阻測溫體R14還大的電流(加熱電流)，藉由自身發熱，將第1電阻測溫體R11及第3電阻測溫體R13保持比周圍溫度還高溫。第1電阻測溫體R11及第3電阻測溫體R13對應第1實施形態之自身發熱電阻測溫體R1，第2電阻測溫體R12及第4電阻測溫體R14對應第1實施形態之周圍溫度電阻測溫體R2。T1-T2會受第1電阻測溫體R11及第2電阻測溫體R12的周圍環境(熱傳導性)所致之影響。亦即，T1-T2係第1電阻測溫體R11及第2電阻測溫體R12在液體L中的話則小(散熱效果高)，第1電阻測溫體R11及第2電阻測溫體R12在氣體G中的話則大(散熱效果低)。同樣地，T3-T4係第3電阻測溫體R13及第4電阻測溫體R14在液體L中的話則小，第3電阻測溫體R13及第4電阻測溫體R14在氣體G中的話則大。所以，觀測T1-T2及T3-T4的話，可特定液面S，與上限位置即第1位準Su及下限位置即第2位準Sd的位置關係。
於本實施形態中，控制部31係以將△Td設為所定值，成為T1-T2=△Td之方式，對流通於第1電阻測溫體R11的電流值進行回授控制。又，控制部31係以將△Tu設為所定值，成為T3-T4=△Tu之方式，對流通於第3電阻測溫體R13的電流值進行回授控制。具體來說，參 照圖4所示之控制部31的功能區塊圖，溫度檢測部37係根據電壓V1j(j=1~4)及前述計算式，計算出現在的溫度Tj(j=1~4)，收到計算結果，電流控制部38係以滿足T1-T2=△Td之方式，使電流I11之值變化。亦即，電流控制部38係以T1-T2>△Td的話則減少電流I11，T1-T2<△Td的話則增大電流I11，T1-T2=△Td的話則維持現在的電流值之方式，控制電源部32。同樣地，電流控制部38係以T3-T4>△Tu的話則減少電流I13，T3-T4<△Tu的話則增大電流I13，T3-T4=△Tu的話則維持現在的電流值之方式，控制電源部32。然後，溫度檢測部37、電流控制部38及電源部32係重複進行上述的回授控制，液面偵測部39係藉由比較現在的電流值，與所定基準值，特定現在的液面S，與第1位準Su及第2位準Sd的位置關係。液面偵測部39係因應液面的位置，控制液體供給裝置。
此時，以電流I11及I13不會無限制地被設定為較大之值之方式，於電流I11及I13設置上限值為佳。亦即，於增大電流I11之狀況中，新設定之電流值超過所定上限值時，則維持電流I11的現在值。關於電流I13也相同。
於圖5，揭示控制部31所進行之處理的流程圖。以下，參照圖5，更具體說明液面計30整體的動作。在此，如圖3所示，第1~第4電阻測溫體R11~R14配置於所定高度，初始液面S0在比第3電阻測溫體 R13及第4電阻測溫體R14還高的位置。
於步驟40中，控制部31係從記憶部34讀出控制參數，將控制參數中，用以特定第1~第4電阻測溫體R11~R14之初始電流值的資料，作為電流設定資料，輸出至電源部32。控制參數係例如包含第1~第4電阻測溫體R11~R14的電流I11~I14的初始電流值、第1電阻測溫體R11的電流臨限值Is1、第33電阻測溫體R13的電流臨限值Is3、第1~第4電阻測溫體R11~R14的0℃之電阻值R11(0)~R14(0)、溫度差的基準值△Td及△Tu、以及ON保持時間Tr_timer。
輸入第1~第4電阻測溫體R11~R14的初始電流值之資料的電源部32，係藉由內部的D/A轉換器，對第1~第4電阻測溫體R11~R14，流通對應的電流(類比)I11~I14。在此，電流I12及I14係如上所述，為微小的一定電流(例如2mA)。
於步驟41中，控制部31係從電壓測定部33取得第1~第4電阻測溫體R11~R14之各兩端的電壓V11~V14(數位)。電壓測定部33係以所定時機，如上所述，測定第1~第4電阻測溫體R11~R14之各兩端的電壓V11~V14(類比)，藉由A/D轉換器轉換成數位資料，輸出至控制部31。
於步驟42中，控制部31係根據步驟41中取得之電壓V11~V14，藉由前述計算式，計算出第1~第4電阻測溫體R11~R14之各別溫度T1~T4。
於步驟43中，控制部31係根據步驟42中求出之溫度T1~T4，決定應流通於第1電阻測溫體R11及第3電阻測溫體R13的電流值。具體來說，控制部31係為了以成為T1-T2=△Td及T3-T4=△Tu之方式進行回授控制，決定流通於第1電阻測溫體R11及第3電阻測溫體R13的電流值。例如，T1-T2>△Td的話，控制部31係將比現在的電流值I11還小之值，決定為下個應流通的第1電阻測溫體R11的電流值。例如，T1-T2<△Td的話，控制部31係將比現在的電流值I11還大之值，決定為下個應流通的第1電阻測溫體R11的電流值。控制部31係如果為T1-T2=△Td的話，將與現在的電流值I11相同之值，決定為下個應流通的第1電阻測溫體R11的電流值。同樣地，控制部31係關於第3電阻測溫體R13，如果是T3-T4>△Tu的話，將比現在的電流值I13還小之值，決定為下個應流通的電流值，如果是T3-T4<△Tu的話，將比現在的電流值I13還大之值，決定為下個應流通的電流值，如果是T3-T4=△Tu的話，將與現在的電流值I13相同之值，決定為下個應流通的電流值。
於步驟44中，控制部31係將與步驟43中決定之電流值對應的電流設定資料，輸出至電源部32。藉此，電源部32係如上所述，將因應輸入之電流設定資料的電流，流通於第1~第4電阻測溫體R11~R14。
於步驟45中，控制部31係特定現在的液面S，與第1位準Su及第2位準Sd的位置關係。具體來 說，控制部31係如果現在的電流值I11未滿臨限值Is1(I11<Is1)，且現在的電流值I13未滿臨限值Is3(I13<Is1)的話，則判斷液面S比第2位準Sd還低(S<Sd)。控制部31係如果現在的電流值I11是臨限值Is1以上(I11≧Is1)，且現在的電流值I13未滿臨限值Is3(I13<Is1)的話，則判斷液面S在第1位準Su與第2位準Sd之間(Sd≦S≦Su)。控制部31係如果現在的電流值I11是臨限值Is1以上(I11≧Is1)，且現在的電流值I13是臨限值Is3以上(I13≧Is1)的話，則判斷液面S超過第1位準Su(S>Su)。
於步驟46中，控制部31係輸出因應步驟45之判斷結果的液供給訊號SG。
具體來說，S<Sd時，控制部31係對液供給裝置輸出對容器T供給液體L之位準(例如高位準)的液供給訊號SG。同時，控制部31係從計時器35取得現在時刻，作為「開始時間」記憶於內部的RAM。如果已記憶開始時間的話，則予以保持。開始時間係如後所述，至少在ON保持時間Tr_timer之間，將液供給訊號SG保持為高位準，為了使液供給裝置維持液體L的供給所使用。
Sd≦S≦Su時，現在，液供給訊號SG為高位準，RAM未記憶開始時間的話，控制部31係對液供給裝置輸出停止對容器T之液體L的供給的位準(低位準)的液供給訊號SG。控制部31係如果RAM記憶有開始時間的話(如後述般，此係代表並未經過ON保持時間 Tr_timer)，維持液供給訊號SG的高位準。
S>Su時，控制部31係對液供給裝置輸出停止對容器T之液體L的供給之位準(低位準)的液供給訊號SG。此時，控制部31係不判斷RAM是否記憶有開始時間，亦即，不考慮有無經過ON保持時間Tr_timer，將液供給訊號SG設為低位準。
於步驟47中，控制部31係判斷現在，是否正在監視ON保持時間Tr_timer的經過。具體來說，控制部31係判斷RAM是否記憶有開始時間。如果未記憶開始時間的話，則判斷並不是正在監視時間經過，控制回到步驟41，重複上述的步驟。如果有記憶開始時間的話，則判斷正在監視時間經過，控制轉移到步驟48。
於步驟48中，控制部31係判斷是否已經過ON保持時間Tr_timer。具體來說，控制部31係從計時器35取得現在時刻，與RAM的開始時間進行比較，判斷是否已經過ON保持時間Tr_timer。如果未經過的話，控制會回到步驟41，重複上述的步驟。如果經過的話，控制則轉移到步驟49。
於步驟49中，控制部31係為了結束時間經過的監視，消去記憶於RAM的開始時間。之後，控制會回到步驟41，重複上述的步驟。
再者，步驟40~49之一連串處理係根據液面計30的電源被截斷而結束。
以上，可藉由步驟40~49，液面計30重複監 視液面的位置，液面S降低至比第2位準Sd還低的話，則從外部的液體供給裝置對容器T內供給液體，液面S超過第1位準Su的話，則停止外部的液體供給裝置對容器T內的液體供給。藉此，可將容器T內之液體L的液面維持在適當的範圍。
藉由重複步驟40~49，第1電阻測溫體R11的電流值I11係以成為T1-T2=△Td之方式，被控制在臨限值Is1的附近，第3電阻測溫體R13的電流值I13係以成為T3-T4=△Tu之方式，被控制在臨限值Is3的附近。於圖6及圖7揭示該等樣子。
於圖6中，在I11>Is1(液面S是S>Sd)之狀態下，藉由氣體G的排出而液面降低，成為S<Sd的話，第1電阻測溫體R11的溫度會上升，在時刻t1中成為T1-T2>△Td，電流I11逐漸減少(此時開始液體的供給)，成為I11<Is1，最後成為均衡狀態(T1-T2=△Td)。之後，藉由液體的供給而液面上升，第1電阻測溫體R11及第2電阻測溫體R12沒於液體中的話，第1電阻測溫體R11的溫度會降低，在時刻t2成為T1-T2<△Td，電流I11逐漸增大，成為I11>Is1，最後成為均衡狀態(T1-T2=△Td)。此時，液體的供給係維持到經過ON保持時間Tr_timer的時刻t3為止。電流I11係每於液面S降低而成為S<Sd時，如圖6般控制。再者，電流I12被維持為一定值。
於圖7中，在I13<Is3(液面S是S<Su)之 狀態下，藉由液體的供給而液面上升，成為S>Su，第3電阻測溫體R13沒於液體中的話，第3電阻測溫體R13的溫度會降低，在時刻t4中成為T3-T4<△Tu，電流I13逐漸增大(此時停止液體的供給)，成為I13>Is3，最後成為均衡狀態(T3-T4=△Tu)。之後，藉由氣體G的排出而液面S降低，第3電阻測溫體R13及第4電阻測溫體R14從液體露出的話，第3電阻測溫體R13的溫度會上升，在時刻t5中成為T3-T4>△Tu，電流I13逐漸減少，成為I13<Is3，最後成為均衡狀態(T3-T4=△Tu)。電流I13係每於液面S上升而成為S>Su時，如圖7般控制。再者，電流I14被維持為一定值。
如此，液面計30係與第1實施形態相同，對自身發熱用電阻測溫體(第1電阻測溫體R11及第3電阻測溫體R13)與周圍溫度測定用電阻測溫體(第2電阻測溫體R12及第4電阻測溫體R14)進行定溫度差驅動。亦即，以將第1電阻測溫體R11與第2電阻測溫體R12配置成相同高度，將第3電阻測溫體R13與第4電阻測溫體R14配置成相同高度，1T1-T2及T3-T4分別成為一定之方式，控制第1電阻測溫體R11及第3電阻測溫體R13的電流值，故可不受周圍溫度的影響，進行液面的檢測，對電阻測溫體不施加必要以上的電力，可謀求長壽命化。又，因為第1~第4電阻測溫體R11~R14，可使用萬用品即如100Ω的白金電阻測溫體之相同規格的電阻測溫體，可低成本化。
圖2所示構造為一例，只要是遵從上述的動作原理(複數電阻測溫體的定溫度差驅動)，可檢測出液面的構造即可。與第1實施形態相同，僅將一對電阻測溫體配置成相同高度，以電阻測溫體的位置為基準，檢測出液面的位置亦可。
又，因應用途，使用3對以上的電阻測溫體，以3種類以上的位置為基準，檢測出液面的位置亦可。
又，為了測定周圍溫度而流通微小電流的電阻測溫體的數量，比對電流值進行回授控制之電阻測溫體的數量還少亦可。例如，於圖3中，不具備第2電阻測溫體R12或第4電阻測溫體R14亦可。省略哪個為任意。未具備第2電阻測溫體R12時，則以T1-T4成為一定值(例如△Td)之方式，對第1電阻測溫體R11的電流I11進行回授控制即可。再者，在所有電阻測溫體從容器T內的液體L露出之狀態下，低溫的液體從外部注入的話，容器T內的液體L急遽溫度變化，所以，於圖3中，將為了測定周圍溫度而流通微小電流的電阻測溫體設為1個時，則留下第4電阻測溫體R14，不設置第2電阻測溫體R12為佳。
又，已說明控制部31執行從記憶部34讀出之程式的狀況，但是，藉由ASIC、FPGA等的專用IC來實現控制部31亦可。此時，藉由1個IC或複數IC來實現控制部31亦可，例如，藉由IC來實現圖4所示之各功 能區塊亦可。
上述之圖5的流程圖為一例，可進行各種變更。例如，在決定下個電流值的處理(步驟41~步驟44)之前，執行特定液面之位置的處理(步驟45~步驟46)亦可。
又，以成為定溫度差之方式對電阻測溫體的電流值進行回授控制的方法，可採用任意方法。例如，以溫度差T1-T2成為所定值△Td之方式，根據前述計算式計算出第1電阻測溫體R11的電流值，並將該值決定做為應流通於第1電阻測溫體R11之下個電流值亦可。同樣地，以溫度差T3-T4成為所定值△Tu之方式，根據前述計算式計算出第3電阻測溫體R13的電流值，並將該值決定做為應流通於第3電阻測溫體R13之下個電流值亦可。
ON保持時間Tr_timer只要是考慮容器T的電容、液體供給裝置的能力(每一單位時間的供給量)等之條件等的適當值即可。ON保持時間Tr_timer=0，或初始參數不包含ON保持時間Tr_timer亦可。此時，時間經過的監視相關的處理不被執行即可。
△Td及△Tu是分別具有所定寬度之值亦可。亦即，將△1及△2作為微小之值，T1-T2=△Td代表△Td-△1<T1-T2<△Td+△1，T3-T4=△Tu代表△Tu-△2<T3-T4<△Tu+△2亦可。
周圍溫度測定用的第2電阻測溫體R12及第4電阻測溫體R14，並不限定於電阻測溫體，只要是可測 定溫度者(溫度測定體)即可。例如，作為熱電偶亦可。
又，電阻測溫體的溫度是與該電阻值1對1對應，所以，以第1電阻測溫體R11及第2電阻測溫體R12之電阻值的差，及第3電阻測溫體R13及第4電阻測溫體R14之電阻值的差，分別成為一定值之方式，對電流I11及I13進行回授控制亦可。此時，於圖5的流程圖中，藉由V1j/I1j(j=1~4)計算出現在的電阻值，代替根據第1~第4電阻測溫體R11~R14的電壓值，計算出溫度即可。
在前述中，已說明本發明的液面計適用於使用於液體原料汽化供給裝置之狀況，但並不限定於此。本發明的液面計也可使用於半導體用的容器罐(氣體搬運用的容器)等。亦即，可實現安裝本發明的液面計的容器，或使用該容器的汽化器。
本次揭示之實施形態是例示，本發明並不限制於上述之實施形態。本發明的範圍係包含斟酌發明內容的記載，藉由申請專利範圍的各請求項特定，各請求項所記載之文言的均等範圍內的所有變更。
〔產業上之利用可能性〕
依據本發明，因為定溫度差驅動自身發熱用電阻測溫體與周圍溫度測定用電阻測溫體，可不受到周圍溫度的影響而進行液面的檢測，且藉由以定溫度差進行溫度控制，可提供不會對電阻測溫體施加必要以上的電力， 可謀求長壽命化的液面偵測電路及液面計。
1‧‧‧液面偵測電路
2‧‧‧第1電阻
3‧‧‧第1線路
4‧‧‧第2電阻
5‧‧‧第3電阻
6‧‧‧第2線路
7‧‧‧橋接電路
8‧‧‧電晶體
9‧‧‧第4電阻
10‧‧‧第5電阻
11‧‧‧第3線路
12‧‧‧第6電阻
13‧‧‧第7電阻
14‧‧‧第4線路
15‧‧‧比較器
16‧‧‧第5線路
17、18‧‧‧緩衝電路
R1‧‧‧自身發熱用電阻測溫體
R2‧‧‧周圍溫度測定用電阻測溫體

Claims (20)

  1. 一種液面計，係具備：第1電阻測溫體，係施加任意大小的電流；第1溫度測定體，係配置於前述第1電阻測溫體的附近；及液面偵測部，係根據前述第1電阻測溫體的溫度及前述第1溫度測定體的溫度，偵測液面的位置；其特徵為：更具備：溫度檢測部，係檢測出前述第1電阻測溫體的溫度及前述第1溫度測定體的溫度；電流控制部，係以藉由前述溫度檢測部所檢測出之前述第1電阻測溫體的溫度與前述第1溫度測定體的溫度的差成為第1一定值之方式，決定施加於前述第1電阻測溫體的電流值；及電源部，係將藉由前述電流控制部所決定之電流值的電流，施加於前述第1電阻測溫體；前述液面偵測部，係使用施加於前述第1電阻測溫體的電流值，判定前述第1電阻測溫體是存在於液體中，或存在於液體外。
  2. 如申請專利範圍第1項所記載之液面計，其中，前述第1溫度測定體，係被施加比施加於前述第1電阻測溫體的電流還小之電流的電阻測溫體。
  3. 如申請專利範圍第1項所記載之液面計，其中， 前述液面偵測部，係利用判定藉由前述電流控制部而施加於前述第1電阻測溫體的電流值，是否比所定第1臨限值還大，來判定前述第1電阻測溫體是存在於液體中，或存在於液體外。
  4. 如申請專利範圍第1項所記載之液面計，其中，更具備：電壓測定部，係測定前述第1電阻測溫體之兩端的電壓；前述溫度檢測部，係根據藉由前述電壓測定部所測定之前述第1電阻測溫體之兩端的電壓，決定前述第1電阻測溫體的溫度；前述電流控制部，係在前述差大於所定基準值時，將施加於前述第1電阻測溫體的電流值，決定為比正施加於前述第1電阻測溫體的電流值還小之值；在前述差小於前述基準值時，將施加於前述第1電阻測溫體的電流值，決定為比正施加於前述第1電阻測溫體的電流值還大之值；在前述差等於前述基準值時，將施加於前述第1電阻測溫體的電流值，決定為與正施加於前述第1電阻測溫體的電流值相同之值。
  5. 如申請專利範圍第1項所記載之液面計，其中，更具備：第2電阻測溫體，係施加任意大小的電流；前述第2電阻測溫體，係配置於與前述第1電阻測溫體不同的高度； 前述溫度檢測部，係檢測出前述第2電阻測溫體的溫度；前述電流控制部，係以藉由前述溫度檢測部所檢測出之前述第2電阻測溫體的溫度與前述第1溫度測定體的溫度的差成為第2一定值之方式，決定施加於前述第2電阻測溫體的電流值；前述電源部，係將藉由前述電流控制部所決定之施加於前述第2電阻測溫體之電流值的電流，施加於前述第2電阻測溫體；前述液面偵測部，係使用施加於前述第2電阻測溫體的電流值，判定前述第2電阻測溫體是存在於液體中，或存在於液體外。
  6. 如申請專利範圍第5項所記載之液面計，其中，前述第2電阻測溫體，係配置於比前述第1電阻測溫體及前述第1溫度測定體還低的位置。
  7. 如申請專利範圍第1項所記載之液面計，其中，更具備：第2電阻測溫體，係施加任意大小的電流；及第2溫度測定體，係配置於前述第2電阻測溫體的附近；前述第2電阻測溫體，係配置於與前述第1電阻測溫體不同的高度；前述溫度檢測部，係檢測出前述第2電阻測溫體的溫度及前述第2溫度測定體的溫度； 前述電流控制部，係以藉由前述溫度檢測部所檢測出之前述第2電阻測溫體的溫度與前述第2溫度測定體的溫度的差成為第2一定值之方式，決定施加於前述第2電阻測溫體的電流值；前述電源部，係將藉由前述電流控制部所決定之施加於前述第2電阻測溫體之電流值的電流，施加於前述第2電阻測溫體；前述液面偵測部，係使用施加於前述第2電阻測溫體的電流值，判定前述第2電阻測溫體是存在於液體中，或存在於液體外。
  8. 如申請專利範圍第7項所記載之液面計，其中，前述第2電阻測溫體及前述第2溫度測定體，係配置於比前述第1電阻測溫體及前述第1溫度測定體還高的位置；前述第1電阻測溫體的溫度與前述第1溫度測定體的溫度的差比前述第1一定值還大的話，前述液面偵測部，係輸出應使液面上升的訊號；前述第1電阻測溫體的溫度與前述第1溫度測定體的溫度的差比前述第1一定值還小的話，前述液面偵測部，係輸出應使液面的上升停止的訊號。
  9. 如申請專利範圍第8項所記載之液面計，其中，前述液面偵測部，係在前述第1電阻測溫體的溫度與前述第1溫度測定體的溫度的差變成比前述第1一定值還大之後，在所定時間內，前述第1電阻測溫體的溫度與前 述第1溫度測定體的溫度的差變成比前述第1一定值還小時，不輸出應使液面的上升停止的訊號，維持應使液面上升的訊號的輸出。
  10. 如申請專利範圍第9項所記載之液面計，其中，前述第2電阻測溫體的溫度與前述第2溫度測定體的溫度的差比前述第2一定值還小的話，前述液面偵測部，係輸出應使液面的上升停止的訊號。
  11. 如申請專利範圍第7項所記載之液面計，其中，前述第1電阻測溫體、前述第2電阻測溫體、前述第1溫度測定體、及前述第2溫度測定體，係白金電阻測溫體。
  12. 一種容器，其特徵為安裝有申請專利範圍第1項所記載之液面計，並藉由前述液面計偵測收容之液體的液面。
  13. 一種汽化器，其特徵為具備申請專利範圍第12項所記載之容器，汽化的氣體被收容於前述容器。
  14. 一種液面偵測電路，其特徵為：具備：橋接電路，係包含串聯連接自身發熱用電阻測溫體與第1電阻的第1線路，與串聯連接和前述第1線路並聯連接，且流通比前述第1線路還小之電流的第2電阻及第3電阻的第2線路；電晶體，係為了將來自電源的電流供給至前述橋接電路，而串聯連接於前述橋接電路； 第3線路，係連接於前述第2電阻與第3電阻之間，串聯連接與前述第1電阻同電阻值之第4電阻、第5電阻、及使用與前述自身發熱用電阻體相同電阻測溫體的周圍溫度測定用電阻測溫體；第4線路，係連接於前述自身發熱用電阻測溫體與前述第1電阻體之間，串聯連接具有與前述第2電阻和前述第3電阻的電阻值之比相同的電阻值之比的第6電阻及第7電阻；比較器，係前述第4電阻與第5電阻之間的第1電位被輸入至非反轉輸入端子，前述第6電阻與前述第7電阻的第2電位被輸入至反轉輸入端子；及第5線路，係作為前述電晶體的基極電壓，施加前述比較器的輸出電位；前述比較器的輸出電位設為偵測輸出。
  15. 如申請專利範圍第14項所記載之液面偵測電路，其中，於前述第3線路，連接有緩衝電路。
  16. 如申請專利範圍第14項所記載之液面偵測電路，其中，於前述第4線路，連接有緩衝電路。
  17. 如申請專利範圍第14項所記載之液面偵測電路，其中，前述自身發熱用電阻測溫體與前述周圍溫度測定用電阻測溫體，係白金電阻測溫體。
  18. 如申請專利範圍第14項所記載之液面偵測電路，其中，前述第5電阻是可變電阻器。
  19. 如申請專利範圍第14項所記載之液面偵測電路，其中，前述第2電阻與前述第6電阻是相同電阻值，前述第3電阻與前述第7電阻是相同電阻值。
  20. 一種液面計，其特徵為使用申請專利範圍第14項所記載之液面偵測電路。
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