JP4151596B2 - ガス検出装置 - Google Patents
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Description
Rs=Rb×(Vp−V0)/(V0−Vr)
ここでVpはセンサ素子1の構造によって決まる電圧であるが、通常、回路的には感応部2の一端はヒータ3が有する抵抗の中点に接続された構成とみなすことができるため、理想的にはVp=(1/2)Vhとなる。
a)前記第1電極に接続され、前記感応部の抵抗値を検出する検出手段と、
b)前記第2電極に接続され、前記ヒータにパルス状の加熱電圧を印加する電圧印加手段と、
c)前記ヒータに印加される加熱電圧がオフである期間に前記検出手段により前記感応部の抵抗値を検出するように、前記検出手段の検出タイミングと前記電圧印加手段による電圧印加タイミングとを制御する制御手段と、
d)前記第2電極に接続され、前記電圧印加手段により加熱電圧が印加されていない期間に前記ヒータの抵抗値を検出するヒータ抵抗値検出手段と、
を備え、前記制御手段は前記ヒータ抵抗値検出手段により検出されたヒータ抵抗値に基づいて前記ヒータの温度が所定値になるように加熱電圧のパルス幅を決定し、前記電圧印加手段は決められたパルス幅を有するパルス状の電圧をヒータに印加することを特徴としている。
2…感応部
3…ヒータ
4…感応部電極
5…ヒータ電極
6…共通電極
10…負荷抵抗
11…アンプ
20…電圧発生部
21…抵抗値検出部
22…出力検出部
23…制御部
Claims (1)
- 酸化物半導体である感応部と、該感応部を加熱するためのヒータと、前記感応部の出力取り出し用の第1電極と、前記ヒータへの加熱電圧印加用の第2電極と、前記感応部及びヒータの両者に共通の第3電極とを有する三端子型の酸化物半導体センサを用いたガス検出装置において、
a)前記第1電極に接続され、前記感応部の抵抗値を検出する検出手段と、
b)前記第2電極に接続され、前記ヒータにパルス状の加熱電圧を印加する電圧印加手段と、
c)前記ヒータに印加される加熱電圧がオフである期間に前記検出手段により前記感応部の抵抗値を検出するように、前記検出手段の検出タイミングと前記電圧印加手段による電圧印加タイミングとを制御する制御手段と、
d)前記第2電極に接続され、前記電圧印加手段により加熱電圧が印加されていない期間に前記ヒータの抵抗値を検出するヒータ抵抗値検出手段と、
を備え、前記制御手段は前記ヒータ抵抗値検出手段により検出されたヒータ抵抗値に基づいて前記ヒータの温度が所定値になるように加熱電圧のパルス幅を決定し、前記電圧印加手段は決められたパルス幅を有するパルス状の電圧をヒータに印加することを特徴とするガス検出装置。
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