JP5400816B2 - 液面レベルセンサー - Google Patents

液面レベルセンサー Download PDF

Info

Publication number
JP5400816B2
JP5400816B2 JP2011017809A JP2011017809A JP5400816B2 JP 5400816 B2 JP5400816 B2 JP 5400816B2 JP 2011017809 A JP2011017809 A JP 2011017809A JP 2011017809 A JP2011017809 A JP 2011017809A JP 5400816 B2 JP5400816 B2 JP 5400816B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
protective tube
reinforcing member
liquid level
protective
level sensor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2011017809A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2012159341A (ja
Inventor
久勝 菅原
正幸 榎本
淳一 吉田
拓郎 橋口
光陽 渡部
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TRI Chemical Laboratorories Inc
Rasco Co Ltd
Original Assignee
TRI Chemical Laboratorories Inc
Rasco Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TRI Chemical Laboratorories Inc, Rasco Co Ltd filed Critical TRI Chemical Laboratorories Inc
Priority to JP2011017809A priority Critical patent/JP5400816B2/ja
Publication of JP2012159341A publication Critical patent/JP2012159341A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5400816B2 publication Critical patent/JP5400816B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Measurement Of Levels Of Liquids Or Fluent Solid Materials (AREA)

Description

本発明は液面レベルセンサーに係り、より詳しくは、液相と気相とで熱放散定数が異なることを利用した測温抵抗体を用いた液面レベルセンサーに関する。
従来から、薬液タンク等の容器内の、液体の液面レベルを検知する方法として、測温抵抗体を用いた液面レベルセンサーが提供されている。
即ち、液面レベルセンサーとしては、光を利用した液面センサ、静電容量タイプの液面センサ等が知られているが、光を利用した液面センサでは、光の照射によって、原料化合物を分解させる恐れが有って好ましいとは言えず、又、静電容量タイプの液面センサでは、電流(電荷)によって原料化合物が分解する恐れが有って、好ましいとは言えないため、このような問題点が無い液面レベルセンサーとして、測温抵抗体を用いた液面レベルセンサーが提供されている。
ここで、測温抵抗体を用いた前記液面レベルセンサーについて説明すると、測温抵抗体を用いた液面レベルセンサーでは一般的に、それぞれに測温抵抗体を封入した複数本の保護管を容器内に挿入して、一方の測温抵抗体には比較的大きな電流を流し、他方の測温抵抗体には微小な電流を流す。
そうすると、大きな電流を流した測温抵抗体は発熱するが、このとき、測温抵抗体が液相中にある場合の熱放散定数は、気相中にある場合の熱放散定数よりも大きいために、気相中にある場合の測温抵抗体の温度は、液相中にある場合と比べると高くなる。
そしてこのことは、気相中の測温抵抗体は、液相中の測温抵抗値よりも抵抗値が高いことを意味するため、大きな電流を流した測温抵抗体の電圧出力と、微小な電流を流した測温抵抗体の電圧出力との差分を見ることで、測温抵抗体が液面の上方か下方かを判別することが可能となる。即ち、差分が小さいときは測温抵抗体は液面よりも下方にあり、差分が大きい場合には測温抵抗体は液面よりも上方にあると判断することができる。
ところで、このような測温抵抗体を用いた液面レベルセンサーでは、容器が大型化すると、それに伴って保護管が長くならざるを得なくなるが、このように容器が大きくなることにより保護管が長くなった場合は、容器に振動が加わった場合には、保護管に損傷が発生する恐れが十分に考えられる。
そのために、このような問題点を解決する方法として、従来は、補強板を備えて、この補強板に複数の保護管を溶接して連結する方法が採用されており、この補強板の構成としては、補強板に保護管と同数の円形凹部を形成して、この円形凹部の内径を保護管の外径より大きくして、円形凹部の外縁に保護管を溶接する方法が提案されている。
特許第3985071号公報 特許第3985072号公報
しかしながら、保護管の外径よりも大きい内径の円形凹部を保護管と同数形成した補強板を備えて、円形凹部の外縁に保護管を溶接する前述の方法によると、補強板の加工が大変でありそのためにコストも上がってしまうという問題点が指摘できる。
そこで、本発明は、コストを上げること無く、保護管を長くしても、振動による保護管の損傷を防止可能な液面レベルセンサーを得ることを課題としている。
本発明の液面レベルセンサーは、
それぞれに測温抵抗体を封入した複数本の保護管と、
該複数本の保護管の基端部が連結された、前記複数本の保護管を容器に取り付けるための取付部と、
前記複数本の保護管が固定された補強部材と、を具備して、
前記複数本の保護管はそれぞれ、
前記取付部に基端部が連結された保護管本体と、
該保護管本体の先端部に連設された、前記保護管本体よりも小径にするとともに先端部分を球状に形成し、内部に前記測温抵抗体を配設した検出部と、を具備し、
前記補強部材は無端のベルト状とし、
前記補強部材の内壁と保護管の外周部分が当接する配置で、前記保護管を前記補強部材の内周側に配設し、保護管の外周部分を前記補強部材の内壁に溶接により固着した、ことを特徴としている。
本発明の液面レベルセンサーでは、それぞれに測温抵抗体が封入された複数本の保護管を補強部材によって連結補強する構成において、補強部材を無端状のベルト状に形成して、この補強部材の内壁と保護管の外周部分が当接する配置で保護管を補強部材の内周側に配設し、保護管の外周部分を補強部材の内壁に溶接により固着している。
そのために、保護管の外径よりも大きい内径の円形凹部を保護管と同数だけ形成した補強板を備えて、円形凹部の外縁に保護管を溶接する方法と異なり、補強部材の加工が容易であり、したがって、コストを抑えることが可能である。
本発明の液面レベルセンサーの実施例の構成を示す側面図である。 本発明の液面レベルセンサーの実施例における保護管を説明するための一部断面図である。 本発明の液面レベルセンサーの実施例における補強部材と保護管の関係を示す図である。 本発明の液面レベルセンサーの実施例の使用方法を説明するための図である。
本発明の液面レベルセンサーでは、複数本の保護管を有しており、この複数本の保護管の内部にはそれぞれ、白金等により構成される測温抵抗体が封入されている。
また、複数本の保護管はそれぞれ、基端部において取付部に連結されており、取付部を介して、前記複数本の保護管は、容器の蓋に取り付けられつつ容器内に挿入されることとしている。
更に、前記複数本の保護管はそれぞれ、取付部に基端部が連結された保護管本体と、この保護管本体の先端部に連設された検出部とを具備しており、補強部材に固定されている。
そして、検出部は、保護管本体よりも小径にするとともに先端部分を球状に形成し、内部の先端部分に、測温抵抗体を配設している。
また、保護管が固定されている補強部材は、無端のベルト状としており、この補強部材の内壁と保護管の外周部分が当接する配置で、保護管を補強部材の内周側に配設しているとともに、保護管の外周部分を補強部材の内壁に溶接により固定している。
ここで、補強部材を角柱形状にするとともに、補強部材の内周側の四隅部分に保護管を配設して溶接により固定するとよく、これにより、保護管を補強部材の内周側に配設する際の位置決め等を容易に行うことができる。
また、このとき、補強部材の内周側の四隅部分を、保護管の外周形状に沿った湾曲形状にするとよく、これにより、保護管の外周と補強部材の内周側四隅部分との間にスペースができてしまうことを防止することができる。
本発明の液面レベルセンサーの実施例について図面を参照して説明すると、図1は、本実施例の液面レベルセンサーの構成を説明するための側面図であり、図において1が本実施例の液面レベルセンサーである。
そして、本実施例における液面レベルセンサー1は、薬液タンク内の薬液残量を検知するための液面レベルセンサーとしており、複数本の保護管を有し、この複数本の保護管のそれぞれの内部に測温抵抗体が装挿されている。
即ち、図において2が保護管であり、本実施例において前記保護管2は、同じ長さの保護管を2本ずつで一組として、これを二組用意して、合計で4本を備えている。そしてこれにより、容器内の2箇所において液面レベルを検知可能としており、具体的には、容器内の薬液残量が僅かになった時点を検知するための短めの保護管一対本と、容器内の薬液が無くなった時点を検知するための長めの保護管一対本を備えており。
ここで、前記保護管2について説明すると、本実施例において前記保護管2は、所定長及び所定径とした保護管本体と、この保護管本体の先端部に連設された検出部とで構成されており、検出部は、保護管本体よりも小径としている。
即ち、図において3が保護管本体であり、本実施例においてこの保護管本体3は、全長116mmとした一方側の保護管本体3aと、全長106mmとした他方側の保護管本体3bを有しており、これらの保護管3a、3bはいずれも、ステンレス製の中空のパイプ状としており、外径を3.2mmとしている。
そして、これらの保護管本体3a、3bの先端部にはそれぞれ、検出部が連設されている。即ち、図において4が検出部であり、本実施例においてこの検出部4はそれぞれ、外径を2.3mmとし、全長を50mmとしたステンレス製の中空のパイプ状であり、前記保護管本体3a、3bとの連設部分の内部において保護管本体3a、3bと連通している。
なお、本実施例において、前記保護管本体3a、3bと検出部4は、段付溶接で連結しているが、必ずしも溶接により保護管本体3a、3bと検出部4を連設する必要はなく、その他、例えば、保護管本体3a、3bの先端部分をスエージング処理して検出部4を形成してもよい。
ここで、図2は前記保護管2の一部分の断面を示した図であり、図において5は、測温抵抗体である。即ち、本実施例の液面レベルセンサー1では、前記検出部4内に、リード線6を接続した測温抵抗体5を装挿しており、これにより、検出部4の先端部分が液相にあるか気相にあるかを検知することとしている。
また、本実施例における前記検出部4は、その先端部を球状に形成しており、これにより、容器内の薬液残量が減っていき、薬液の液面が検出部4よりも下方になるときに、薬液が検出部4の先端に残ってしまうことを防止することが可能である。
なお、本実施例において前記測温抵抗体5としては、Pt1000を用いているが、この測温抵抗体の種類は特に限定されない。
次に、図において7は取付部である。即ち、液面レベルセンサー1は薬液容器内に装挿されて使用されるが、このとき、本実施例では、取付部7によって、保護管3a、3bを薬液容器内に配設することとしている。
即ち、本実施例における前記取付部7は、一端側において、前記保護管2の基端部が連結されており、使用に際しては、保護管2を連結した面を薬液容器側に向けて、薬液容器の上面に形成したポートに連結される。
また、前記取付部7の他端側にはチューブ8が連設されており、このチューブ8は、その内部に、前記測温抵抗体5に接続された前記リード線6が装挿されている。
そして、前記チューブ8の基端側にはコネクタ10が備えられており、このコネクタ10を装置側のコネクタに連結することで、リード線6を、図示しない制御部に接続して、制御部の制御により、前記リード線6を介して、前記測温抵抗体5に電流を流すこととしている。
従って、前記取付部7を薬液容器の上面に取り付けることで、前記保護管2がそれぞれ、薬液容器内に装挿され、これにより、保護管2内の測温抵抗体5に電流を流すことで、薬液容器内の薬液残量を検知することが可能となる。
次に、図において9は、前記保護管2の損傷等を防止するための補強部材である。即ち、本実施例の液面レベルセンサー1では、従来の液面レベルセンサーにおける補強板と同様に、容器に振動が加わった際に保護管2が損傷することを防止するための補強部材を備えている。
そして、本実施例における前記補強部材9は、正面形状を四角形状の枠体とした無端のベルト状としており、この補強部材9の内周側に四隅部分に前記4本の保護管2を固定している。
ここで、図3は、前記補強部材9と前記保護管2との関係を説明するための図であり、正面側から見た状態を示している。そして、前記補強部材9は、図1にも示されているように、前記保護管2における保護管本体3の先端側近傍に備えられており、補強部材9の内壁と前記保護管本体3の外周部分が当接するようにして、補強部材9の内周側の四隅部分に前記保護管2を配設している。
そして更に、この状態で、保護管本体3の外周部分と前記補強部材9の内壁における当接部分を、溶接により固着している。
そのために、本実施例の液面レベルセンサー1では、保護管の外径よりも大きい内径の円形凹部を保護管と同数だけ形成して、この円形凹部の外縁に保護管を溶接する方法と異なり、補強部材の加工が容易で、コストを抑えることも可能である。
また、このとき、本実施例において前記補強部材9は、図3からも明らかなように、内周側の四隅部分を円弧状に湾曲させているとともに、その湾曲形状を、前記保護管本体3の外周の円弧形状に沿った形状にしている。
そのために、本実施例によれば、保護管本体3の外周と補強部材9の内周側の四隅部分との間にスペースができてしまうことを防止することができ、保護管2を強固に補強部材9に固定し、保護管2の損傷を防止することが可能である。
なお、前述したように、前記保護管本体3及び検出部4はいずれもステンレス製としているが、必ずしもステンレス製にする必要はない。また、本実施例において前記補強板9もまたステンレス製としたが、この補強部材9の材質も特にステンレスには限定されない。
次に、このように構成される本実施例の液面レベルセンサー1の作用について図4を参照して説明すると、図4は本実施例の液面レベルセンサー1を取り付けた状態の薬液容器の一部断面図であり、図4において11は薬液容器であり、また12は薬液容器11内の薬液であり、更に13は薬液の液面である。
そして、前記薬液容器11の上面には、前記取付部7が取り付けられており、これにより、薬液容器11内には前記保護管2が配設されている。
また、前述したように、前記取付部7には、前記保護管2内に装挿された測温抵抗体5に接続されたリード線6が装挿されているチューブ8が連結されており、このチューブ8は前述したように、コネクタを介して制御部に接続され、制御部を介して、前記測温抵抗体5に電流を流すことを可能としている。
そして、図4の状態において、前記2対の保護管2のそれぞれについて、一方の測温抵抗体には比較的大きな電流を流し、他方の測温抵抗体には微小な電流を流すとともに、測温抵抗体の抵抗値を測定して、大きな電流を流した一方の測温抵抗体の電圧出力と、微小な電流を流した他方の測温抵抗体の電圧出力との差分を比較する。
そうすると、差分が小さいときは測温抵抗体5は液面13よりも下方で、差分が大きい場合には測温抵抗体5は液面13よりも上方にある、と判断することができる。
このように、本実施例の液面レベルセンサー1を用いることにより、測温抵抗体に電流を供給することで、容器内の液体の液面レベルを知ることができる。
そしてそのとき、本実施例の液面レベルセンサー1では、正面形状を四角形状とした無端のベルト状とした補強部材9を用いており、この補強部材9の内壁と前記保護管本体3a、3bの外周部分が当接するようにして、補強部材9の内周側の四隅部分に前記保護管2を配設するとともに、この状態で、保護管本体3a、3bの外周部分と前記補強部材9の内壁を、溶接により固着しているため、保護管の外径よりも大きい内径の円形凹部を保護管と同数だけ形成してこの円形凹部の外縁に保護管を溶接する方法と異なり、補強部材の加工が容易で、コストを抑えることも可能である。
また、本実施例において前記補強部材9は、内周側の四隅部分を円弧状に湾曲させているとともに、その湾曲形状を、前記保護管本体3a、3bの外周形状に沿った形状にしているため、保護管本体3a、3bの外周と補強部材9の内周側の四隅部分との間にスペースができてしまうことを防止することができ、保護管2を強固に補強部材9に固定し、保護管2の損傷を防止することが可能である。
本発明によれば、コストを上げること無く、保護管を長くした場合でも振動による保護管の損傷を防止可能であるため、保護管の内部に測温抵抗体を配設した液面レベルセンサーの全般に適用可能である。
1 液面レベルセンサー
2 保護管
3a、3b 保護管本体
4 検出部
5 測温抵抗体
6 リード線
7 取付部
8 チューブ
9 補強部材
11 薬液容器
12 薬液
13 液面

Claims (3)

  1. それぞれに測温抵抗体(5)を封入した複数本の保護管(2)と、
    該複数本の保護管(2)の基端部が連結された、前記複数本の保護管(2)を容器に取り付けるための取付部(7)と、
    前記複数本の保護管(2)が固定された補強部材(9)と、を具備して、
    前記複数本の保護管(2)はそれぞれ、
    前記取付部(7)に基端部が連結された保護管本体(3)と、
    該保護管本体(3)の先端部に連設された、前記保護管本体(3)よりも小径にするとともに先端部分を球状に形成し、内部に前記測温抵抗体(5)を配設した検出部(4)と、を具備し、
    前記補強部材(9)は無端のベルト状とし、
    前記補強部材(9)の内壁と保護管(2)の外周部分が当接する配置で、前記保護管(2)を前記補強部材(9)の内周側に配設し、保護管(2)の外周部分を前記補強部材(9)の内壁に溶接により固着した、ことを特徴とする液面レベルセンサー。
  2. 前記補強部材(9)を角柱形状にするとともに、該補強部材(9)の四隅の内壁部分に前記保護管(2)を配設したことを特徴とする請求項1に記載の液面レベルセンサー。
  3. 前記補強部材(9)の内周側の四隅部分を、前記保護管(2)の外周形状に沿った湾曲形状にしたことを特徴とする請求項2に記載の液面レベルセンサー。
JP2011017809A 2011-01-31 2011-01-31 液面レベルセンサー Active JP5400816B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011017809A JP5400816B2 (ja) 2011-01-31 2011-01-31 液面レベルセンサー

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011017809A JP5400816B2 (ja) 2011-01-31 2011-01-31 液面レベルセンサー

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2012159341A JP2012159341A (ja) 2012-08-23
JP5400816B2 true JP5400816B2 (ja) 2014-01-29

Family

ID=46840012

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011017809A Active JP5400816B2 (ja) 2011-01-31 2011-01-31 液面レベルセンサー

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5400816B2 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20170026607A (ko) 2014-11-13 2017-03-08 가부시키가이샤 후지킨 액면계 및 액체 원료 기화 공급 장치
US10274356B2 (en) 2014-12-02 2019-04-30 Fujikin Incorporated Liquid level detection circuit, liquid level meter, container provided with liquid level meter, and vaporizer using container
US11402250B2 (en) 2016-12-27 2022-08-02 Fujikin Incorporated Liquid level meter, vaporizer equipped with the same, and liquid level detection method

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP4053516A1 (en) * 2021-03-05 2022-09-07 HORIBA STEC, Co., Ltd. Material supply system, program for a material supply system and material supply method

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS556204A (en) * 1978-06-28 1980-01-17 Toshiba Corp Liquid level holder
JPS57198017U (ja) * 1981-06-12 1982-12-16
JPH0738832Y2 (ja) * 1988-11-11 1995-09-06 大倉電気株式会社 温度検出器
JPH0477624A (ja) * 1990-07-20 1992-03-11 Sumitomo Electric Ind Ltd 水位センサ及び水位監視方法
JP3985071B2 (ja) * 2000-03-15 2007-10-03 株式会社鷺宮製作所 液面レベルスイッチ
JP3985072B2 (ja) * 2000-03-15 2007-10-03 株式会社鷺宮製作所 液面レベルスイッチ

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20170026607A (ko) 2014-11-13 2017-03-08 가부시키가이샤 후지킨 액면계 및 액체 원료 기화 공급 장치
US10604840B2 (en) 2014-11-13 2020-03-31 Fujikin Incorporated Liquid level indicator and liquid raw material vaporization feeder
US10274356B2 (en) 2014-12-02 2019-04-30 Fujikin Incorporated Liquid level detection circuit, liquid level meter, container provided with liquid level meter, and vaporizer using container
US11402250B2 (en) 2016-12-27 2022-08-02 Fujikin Incorporated Liquid level meter, vaporizer equipped with the same, and liquid level detection method

Also Published As

Publication number Publication date
JP2012159341A (ja) 2012-08-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5400816B2 (ja) 液面レベルセンサー
EP1906176B1 (en) Liquid state sensor
JP5965914B2 (ja) 金属管の腐食モニタリング装置およびその用途
CN1715847B (zh) 温度传感器
JP5898595B2 (ja) 腐食電位センサ
US9429458B2 (en) Flowmeter having electrical sensor elements connected in series and applied to an outer surface of a guide structure
JP2011112557A (ja) ガス濃度検出センサー
JP2008286789A (ja) 温度センサ
US20070193345A1 (en) Liquid-condition detection sensor
CN103487487B (zh) 气体传感器
JP4129881B2 (ja) 防爆高温対応形マルチ渦流量計
JP7080680B2 (ja) 導電率測定構造体及び純水製造装置
JP2007263845A (ja) 流量計測装置及び流量計測方法
JP2008020198A (ja) 水素漏れ検知装置および水素漏れ検知方法
JP6037112B2 (ja) 差圧/圧力発信器
KR101211998B1 (ko) 관 내부 유체용 온도센서
JP4781379B2 (ja) 静電容量式センサのカバー及び、静電容量式センサ
JP5931111B2 (ja) 検出装置
CN206772455U (zh) 一种多点式测量热电偶
JP3985072B2 (ja) 液面レベルスイッチ
US20080156105A1 (en) Vortex flow meter
JP2009063500A (ja) レベルゲージセンサ
KR101071071B1 (ko) 정전용량형 수위 감지시스템
JP2006208234A (ja) 液濃度検出装置
JP2015158480A (ja) センサ装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20130110

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20131004

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20131017

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20131025

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5400816

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250