TW201524663A - 蛇腹機構以及具備其之搬送裝置、基板切斷裝置、加工裝置及檢查裝置 - Google Patents

蛇腹機構以及具備其之搬送裝置、基板切斷裝置、加工裝置及檢查裝置 Download PDF

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Abstract

本發明提供對反覆伸縮的耐久性優異的蛇腹機構。該蛇腹機構具備：第一外折線(R1)；第二外折線(R2)，透過曲折點(a)成一條直線狀地與第一外折線(R1)相連；第三外折線(R3)，聯接相鄰的曲折點之間；第一內折線(V1)，平行地形成於第一外折線(R1)之間並與第三外折線(R3)的中點(c)連接；第二內折線(V2)，平行地形成於第二外折線(R2)之間；第四外折線(R4)，形成在第二內折線(V2)的內側端(b)和第三外折線(R3)的中點(c)之間；和第三內折線(V3)，形成在曲折點(a)和第二內折線(V2)的內側端(b)之間，由第三、第四外折線(R3,R4)和第三內折線(V3)包圍的折入部(12)隨著蛇腹的壓縮被折疊到第二面蛇腹部(10S)的內部，第四外折線(R4)的長度被設定為大於第三外折線(R3)的長度。

Description

蛇腹機構以及具備其之搬送裝置、基板切斷裝置、加工裝置及檢查裝置
本發明係關於一種於各種機械加工裝置中遍及可動部位與固定部位而被安裝的防水用或防塵用蛇腹機構和具備該蛇腹機構的基板切斷裝置及裝置。
由於作為機械加工裝置的一例的基板切斷裝置(切割裝置)對切削加工處供給切削水的同時進行切斷處理，因此具備用於防止飛散的切削水和切削粉末進入到裝置內部的防水防塵機構。例如，專利文獻1所示的基板切斷裝置構成為使用滾珠螺桿使具備用於保持基板(半導體晶圓)的裝夾台的可動台進行水準往復移動，並且遍及可動台和固定台框架而安裝蛇腹機構，並且利用蛇腹機構圍繞進料螺桿驅動機構等。
專利文獻1：日本特開平7-156039號公報
圖11中示有構成習知之蛇腹機構的片材11的展開俯視圖。在片材11上沿蛇腹的伸縮方向以既定的間隔形成有第一外折線R1，並且在第一外折線R1透過曲折點a一連串地形成有第二外折線R2，而且，通過一直線狀的第三外折線R3聯接沿蛇腹的伸縮方向相鄰的曲折點a彼此之間。在沿蛇腹的伸縮方向相鄰的第一外折線R1之間的中央位置形成有第一內折線V1，並且在沿蛇腹的伸縮方向相鄰的第二外折線R2之間的中央位置， 從片材端形成有既定長度的第二內折線V2。另外，遍及第二內折線V2的內側端b和第三外折線R3的中點c之間而形成有第四外折線R4，並且遍及第二內折線V2的內側端b和曲折點a之間且相對於第三外折線R3以45度的傾斜形成有第三內折線V3。
如圖12和圖13所示，當沿各折線R1至R3、V1至V3折彎片材11而形成第一面蛇腹部10U和第二面蛇腹部10S時，則在第二面蛇腹部10S的上端部沿蛇腹的伸縮方向形成有一對以第四外折線R4為棱線而折入的直角三角形形狀的折入部12，從而該折入部12在從前後及下側覆蓋第一面蛇腹部10U的外端部的狀態下因應蛇腹機構的伸縮而進行變形。
圖14中示有具備上述規格的折線的蛇腹機構的伸縮動作。該圖是通過使曲折點a、內側端b和中點c單純地沿前後方向平行移動來進行製圖的。此外，圖中a’、b’和c’表示移動中途的曲折點a、內側端b和中點c。
在使蛇腹最大程度壓縮的狀態下，在第二面蛇腹部10S的上端部上形成的直角三角形形狀的折入部12的棱線即第四外折線R4與第一面蛇腹部10U中的內折線(第一內折線V1)的下方平行地重複，但是隨著蛇腹的伸展，折入部12的棱線(第四外折線R4)向外側上方傾斜。而且，在圖14的(b)所示的前視圖中，在製圖上(理論上)蛇腹越伸展，內側端b與中點c之間的距離即折入部12的棱線(第四外折線R4)越短。實際上，蛇腹越伸展，折入部12的棱線(第四外折線R4)就會承受壓縮應力，通過棱線(第四外折線R4)的周邊的片材彎曲而吸收長度變化。即在製圖上，在圖14的(b)中，關於成為第四外折線R4的兩端的內側端b和中點 c而言，以內側端b沿水準方向左右移動，且中點c沿垂直方向上下移動為前提進行了描繪。因此，在製圖上，蛇腹越伸展，第四外折線R4的距離越短。實際上，第四外折線R4的距離不會變短或變長，具有既定的距離。雖然實際上第四外折線R4的距離不變，但在製圖上變短，並且與其距離之差相應地，在第四外折線R4的中點c上產生向內側端b的方向壓縮的力，並且該力集中在內側端b上。此時，通過第四外折線R4的周邊的片材彎曲而吸收距離變化，但是若增加折回的伸縮次數，則內側端b就會因疲勞而損壞。
因此，在折入部12中的棱線(第四外折線R4)的端部，例如在內側端b和中點c等上，由於數萬次左右的伸縮動作而容易產生小孔狀的疲勞損壞，在耐久性方面具有改良的餘地。
本發明是著眼於如此實情而提出，其目的在於提供一種應對反覆伸縮的耐久性優異的蛇腹機構和具備該蛇腹機構的基板切斷裝置及裝置。
為了達成上述目的，本發明以如下構成。
(1)本發明的蛇腹機構，其特徵在於，具備：第一面蛇腹部形成用的第一外折線，沿蛇腹的伸縮方向以既定的間隔彼此平行地形成為複數個；第二面蛇腹部形成用的第二外折線，透過曲折點成一條直線狀地與前述第一外折線相連；第三外折線，聯接沿蛇腹的伸縮方向相鄰的前述曲折點彼此之間；第一內折線，位於相鄰的前述第一外折線之間且與前述第一外折線平行地形成並與前述第三外折線的中點連接；第二內折線， 位於相鄰的前述第二外折線之間且與前述第二外折線平行地形成；第四外折線，形成為遍及前述第二內折線的內側端和前述第三外折線的中點之間；和第三內折線，形成為遍及前述曲折點和前述第二內折線的內側端之間；由前述第三外折線、前述第四外折線和前述第三內折線包圍的三角形形狀的折入部構成為伴隨蛇腹的壓縮而被折疊到第二面蛇腹部的內部，前述第四外折線的長度被設定為大於前述第三外折線的長度。
根據該結構，當蛇腹機構從壓縮狀態進行伸展時，第三外折線的中點與第二內折線的內端點之間的距離變化盡可能少，從而作用於折入部的棱線的應力小，即使蛇腹機構反覆伸縮，亦可長期地抑制小孔等損傷的產生。
(2)在本發明較佳的實施方式中，由前述第四外折線和前述第三內折線構成的內角被設定為小於45度。根據該結構，能夠將第四外折線的長度設定為大於第三外折線的長度，並且能夠形成發揮預期的功能的折入部。
(3)在本發明的另一實施方式中，由前述第三外折線和前述第三內折線構成的內角被設定為45度。根據該結構，能夠構成使第二面蛇腹部正交於第一面蛇腹部的蛇腹機構。
(4)在本發明的另一實施方式中，各個前述曲折點被設置在前述第一外折線的長度方向的相同位置上，前述第三外折線的中點被配置在與連結相鄰的前述曲折點之間的線相比靠近前述第二內折線側，由連結相鄰的前述曲折點之間的線和前述第三外折線構成的內角被設定為3~27度。
根據該結構，則在使第二面蛇腹部正交於第一面蛇腹部的蛇腹機構的結構中，通過將由連結相鄰的前述曲折點之間的線和第三外折線構成的內角設定為3~27度，從而能夠抑制蛇腹機構進行伸縮時的應力產生，能夠有效地提高耐久性。
(4)在本發明的另一實施方式中，各個前述曲折點被設置在前述第一外折線的長度方向的相同位置上，前述第三外折線的中點被配置在與連結相鄰的前述曲折點之間的線相比靠近前述第二內折線側，由連結相鄰的前述曲折點之間的線和前述第三外折線構成的內角被設定為5~25度。
根據該結構，在使第二面蛇腹部正交於第一面蛇腹部的蛇腹機構的結構中，通過將由連結相鄰的前述曲折點之間的線和第三外折線構成的內角設定為5~25度，從而能夠更確實地抑制蛇腹機構進行伸縮時的應力產生，能夠有效地提高耐久性。
(4)在本發明的另一實施方式中，各個前述曲折點被設置在前述第一外折線的長度方向的相同位置上，前述第三外折線的中點被配置在與連結相鄰的前述曲折點之間的線相比靠近前述第二內折線側，由連結相鄰的前述曲折點之間的線和前述第三外折線構成的內角被設定為15度。
根據該結構，則在使第二面蛇腹部正交於第一面蛇腹部的蛇腹機構的結構中，能夠使蛇腹機構進行伸縮時的應力產生縮減到最小限度，從而能夠有效地提高耐久性。
(5)在本發明的另一實施方式中，在形成曲折的狀態下， 前述第三外折線的中點與前述第二外折線相比位於外側。根據該結構具有如下的作用效果。即，若折彎成型第四外折線的長度被設定為大於第三外折線的長度的本發明的蛇腹機構，則成為該實施方式的結構。其結果，能夠形成發揮前述的預期功能的折入部。
(6)本發明的基板切斷裝置具備：可動台，具備用於吸附保持基板的裝夾台且進行往復移動；驅動機構，使可動台進行往復移動；固定台框架，收容驅動機構；和基板切斷用的旋轉刀片，前述基板切斷裝置在前述可動台與前述固定台框架之間配備有伴隨可動台的往復移動而進行伸縮的蛇腹機構，並且構成為利用蛇腹機構覆蓋前述驅動機構，或者，本發明的裝置具備：可動台，具備工作臺且進行往復移動；驅動機構，使前述可動台進行往復移動；和固定台框架，收容前述驅動機構，前述裝置在前述可動台的移動方向的兩端部與前述固定台框架之間配備有伴隨前述可動台的往復移動而進行伸縮的蛇腹機構，並且構成為利用前述蛇腹機構覆蓋前述驅動機構，其特徵在於，前述蛇腹機構為上述結構(1)至(5)中任一項記載的結構。
根據該結構，因無需頻繁檢查蛇腹機構而提高維護性，並且顯著減少為了伴隨龜裂產生的蛇腹機構的更換而停止運轉的頻率，在提高裝置的運轉效率方面是有效的。
如此，根據本發明，通過在片材上形成的折線的改良而能夠提供應對反覆伸縮的耐久性優異的蛇腹機構，另外，通過具備該蛇腹機構，能夠提高維護性優異且運轉效率高的基板切斷裝置及裝置。
1‧‧‧裝夾台
2‧‧‧可動台
5‧‧‧驅動機構
6‧‧‧固定台框架
7‧‧‧旋轉刀片
10‧‧‧蛇腹機構
10U‧‧‧第一面蛇腹部
10S‧‧‧第二面蛇腹部
12‧‧‧折入部
a‧‧‧曲折點
b‧‧‧內端點
c‧‧‧中點
α‧‧‧曲折角度
β‧‧‧內角
γ‧‧‧內角
R1‧‧‧第一外折線
R2‧‧‧第二外折線
R3‧‧‧第三外折線
R4‧‧‧第四外折線
V1‧‧‧第一內折線
V2‧‧‧第二內折線
V3‧‧‧第三內折線
圖1是表示本發明的第一實施方式的基板切斷裝置的大致結構的第二面圖。
圖2是第一實施方式的蛇腹機構的立體圖。
圖3A是構成第一實施方式的蛇腹機構的片材的展開俯視圖。
圖3B是構成第一變形例的蛇腹機構的片材的展開俯視圖。
圖3C是構成第二變形例的蛇腹機構的片材的展開俯視圖。
圖3D是構成第三變形例的蛇腹機構的片材的展開俯視圖。
圖4是表示第一實施方式中的經伸展的蛇腹機構的主要部分的立體圖。
圖5是表示第一實施方式中的經壓縮的蛇腹機構的主要部分的立體圖。
圖6是表示第一實施方式中的經壓縮的蛇腹機構的主要部分的正視圖。
圖7A是分別表示第一實施方式中的蛇腹機構的伸縮動作的說明圖，其中，(a)表示側面，(b)表示正面，(c)表示底面。
圖7B是分別表示第一變形例中的蛇腹機構的伸縮動作的說明圖，其中，(a)表示側面，(b)表示正面，(c)表示底面。
圖7C是分別表示第二變形例中的蛇腹機構的伸縮動作的說明圖，其中，(a)表示側面，(b)表示正面，(c)表示底面。
圖7D是分別表示第三變形例中的蛇腹機構的伸縮動作的說明圖，其中，(a)表示側面，(b)表示正面，(c)表示底面。
圖8是構成第二實施方式的蛇腹機構的片材的展開俯視圖。
圖9是表示第二實施方式中的經壓縮的蛇腹機構的主要部分的前視圖。
圖10是表示第二實施方式中的蛇腹機構的主要部分的前視圖。
圖11是習知蛇腹機構中的片材的展開俯視圖。
圖12是表示習知蛇腹機構的主要部分的立體圖。
圖13是表示習知的經壓縮的蛇腹機構的主要部分的前視圖。
圖14是分別表示習知的蛇腹機構的伸縮動作的說明圖，其中，(a)表示側面，(b)表示正面，(c)表示底面。
以下，參照圖示，對本發明的實施形態進行說明。此外，並不通過該實施形態限定本發明。
圖1中示有作為本發明的第一實施形態的具備蛇腹機構10的基板切斷裝置的主要部分。該基板切斷裝置具備：裝夾台1，用於載置半導體晶圓、樹脂封裝基板等的基板w並進行吸附保持；可動台2，支撐裝夾台1並沿前後方向移動；驅動機構5，構成為通過由馬達3進行正反轉驅動的滾珠螺桿4使可動台2以既定的行程向前後進行往復移動；固定台框架6，收容並支撐驅動機構5；和旋轉刀片7等，前述旋轉刀片7被配備成能夠在工作臺移動路徑的上側進行升降，並且能夠沿作為其旋轉軸心方向的左右水準方向進行位置變更，前述基板切斷裝置相對於下降至既定的切斷高度且進行旋轉驅動的旋轉刀片7，使保持在裝夾台1上的基板W以既定的行程向前後進行往復移動，並且，在每次進行基板w的前進及後退時，使旋轉刀片7沿其旋轉軸心方向按既定的間距進行位置變更，從而進行既定間距下的平行切斷，之後，通過對基板w進行90度的姿勢變更並進行相同的平行切斷，從而將基板w切削切斷成格子狀。
當進行基板切斷處理時，藉由未圖示的噴嘴等對切削部位供 給切削水，以進行切削粉末的排除和切削部位的冷卻，並且安裝有防水防塵用的蛇腹機構10，以防止被旋轉刀片7飛散的切削水和切削粉末濺落到驅動機構5的現象。
蛇腹機構10分別沿前後方向且伸縮自如地安裝在收容驅動機構5的固定台框架6的前端部與可動台2的前端部之間以及固定台框架6的後端部與可動台2的後端部之間，並且與可動台2的前後移動無關，始終能夠防水地圍繞驅動機構5。
如圖2所示，蛇腹機構10通過沿既定的折線折彎防水性片材，從而形成為一對第二面蛇腹部10S、10S從第一面蛇腹部10U的左右朝下方伸出的門型，圖3A中示出經展開的片材11的局部。此外，在圖3A中，用一點鍊線線表示外折線R，另外，用虛線表示內折線V。
在片材11上，沿作為伸縮方向的前後方向以既定的間隔彼此平行地形成有形成第一面蛇腹部10U的峰部的複數個第一外折線R1，並且在第一外折線R1透過曲折點a一連串地形成有用於形成第二面蛇腹部10S的峰部的第二外折線R2。在沿蛇腹的伸縮方向相鄰的第一外折線R1、R1之間的中央位置上分別平行地形成有形成第一面蛇腹部10U的谷底部的第一內折線V1，並且在沿蛇腹的伸縮方向相鄰的第二外折線R2、R2之間的中央位置上，從片材端部分別平行地形成有形成第二面蛇腹部10S的穀底部的既定長度的第二內折線V2。通過第三外折線R3聯接沿蛇腹的伸縮方向相鄰的曲折點a彼此之間。遍及第二內折線V2的內側端b和第三外折線R3的中點c之間而形成有第四外折線R4，並且遍及第二內折線V2的內側端b和曲折點a之間而形成有第三內折線V3。各個曲折點a被配置在第 一外折線R1的長度方向的相同位置上。第三外折線R3以既定的曲折角度α向橫向外側方向曲折配置。對第三外折線R3和曲折角度α進行進一步詳細說明。
相鄰的第三外折線R3彼此未被排列在一條直線上，而被連結成在中點c曲折的狀態。即，中點c位於與連結相鄰的曲折點a之間的線相比向第二內折線V2側變位的位置，相鄰的第三外折線R3彼此之間被連結成向橫向外側方向曲折的狀態。由此，各個第三外折線R3沿相對於連結相鄰的曲折點a之間的線傾斜的方向配置。曲折角度α為由連結相鄰的曲折點a、a之間的線和第三外折線R3構成的內角。
在本實施形態中，曲折角度α被設定為15度。相對於第三外折線R3以45度的內角β形成有第三內折線V3。進而，形成在第四外折線R4與第三外折線R3之間的內角γ為30度(小於45度)。由此，第四外折線R4的長度大於第三外折線R3的長度。
根據以上的形狀設定，在本實施形態中，如圖4至圖6所示，將片材11沿各外折線R1至R4以及內折線V1至V3折彎而形成的蛇腹機構10為如下狀態(參照圖6)：第一面蛇腹部10U的棱線(第一外折線R1)和第二面蛇腹部10S的棱線(第二外折線R2)正交，並且，作為第一面蛇腹部10U的穀底部中的外端的第三外折線R3的中點c與第二外折線R2相比向外側突出，即與第二面蛇腹部10S相比向橫向外側突出的狀態。
在如此構成的本實施形態中，對第一面蛇腹部10U的棱線和第二面蛇腹部10S的棱線正交的結構來說為如下結構：曲折角度α被設定為最佳值(15度)。以下，參照圖7A，對本實施形態的蛇腹機構10在伸 縮時的主要部分的動作狀態進行說明。圖7A是通過使曲折點a和中點c單純地沿前後方向平行移動來進行製圖的。此外，圖中a’、b’和c’表示移動中途的曲折點a、內側端b和中點c。
在使蛇腹最大程度壓縮的狀態下，在第二面蛇腹部10S的上端部上形成的三角形形狀的折入部12的棱線即第四外折線R4處於相對於第一面蛇腹部10U中的穀底線(第一內折線V1)朝向內側下方傾斜的姿勢，隨著蛇腹的伸展，折入部12的棱線(第四外折線R4)進一步向外側上方傾斜，並且棱線(第四外折線R4)的內側端即第二面蛇腹部10S的谷底部朝向橫向外側移動。
此時，折入部12中的內側端b與中點c之間的距離L的變化極小。換言之，當蛇腹機構10伸縮時，作用於折入部12的棱線(第四外折線R4)的應力少，與此相應地，對伸縮的耐久性高。
在圖3B中示有構成作為本實施形態的第一變形例的蛇腹機構10的片材的展開俯視圖，第一變形例中曲折角度α=20度、內角β=45度；在圖3C中示有構成作為本實施形態的第二變形例的蛇腹機構10的片材的展開俯視圖，第二變形例中曲折角度α=25度、內角β=45度；在圖3D中示有構成作為本實施形態的第三變形例的蛇腹機構10的片材的展開俯視圖，第三變形例中曲折角度α=5度、內角β=45度。另外，在圖7B中示有當曲折角度α=20度、內角β=45度的本實施形態的第一變形例的蛇腹機構10進行伸縮時的主要部分的動作狀態，在圖7C中示有當曲折角度α=25度、內角β=45度的本實施形態的第二變形例的蛇腹機構10進行伸縮時的主要部分的動作狀態，在圖7D中示有當曲折角度α=5度、內角β=45度的 本實施形態的第三變形例的蛇腹機構10進行伸縮時的主要部分的動作狀態。
從這些資料明確可知，在本發明的第一實施形態以及其第一至第三變形例中可得到相同的效果(抑制伴隨蛇腹伸縮的變形應力)，但是折入部12中的內側端b與中點c之間的距離L伴隨蛇腹伸縮的製圖上的長度變化，則會根據第三外折線R3的曲折角度α而變動，在圖3A所示的結構，即在曲折角度α(=15度)的結構中，上述長度變化最少，且不管曲折角度α大於15度還是小於15度，上述長度變化變大，從而伴隨蛇腹伸縮的變形應力的產生有所變大。由此明確可知，在第一面蛇腹部10U的棱線(第一外折線R1)和第二面蛇腹部10S的棱線(第二外折線R2)以曲折點a為中心正交(以90度相交)的結構中，在5~25度的曲折角度α下，可得到抑制伴隨蛇腹伸縮的變形應力產生的效果，15度的曲折角度α為最佳值。此外，在將防水性片材折彎而成型的蛇腹機構10中，無法避免產生某種程度的成型誤差。因此，若考慮成型誤差，則可將上述的曲折角度α的範圍(5~25度)設為3~27度，在這種曲折角度α的範圍(3~27度)下也能獲得上述效果。另外，第一實施形態和其第一至第三變形例為第一面蛇腹部10U的棱線和第二面蛇腹部10S的棱線正交的結構，並且3~27度的曲折角度α的範圍、5~25度的曲折角度α的範圍和15度的曲折角度α為在這種正交結構中的最佳值。
在第一實施形態中，成為如下的規格：第二面蛇腹部10S從第一面蛇腹部10U的左右向直角下方延伸，第一面蛇腹部10U中的穀底部的左右端與第二面蛇腹部10S相比向橫向外側突出。但是當實際安裝到 基板切斷裝置上時，需要對應現有的附屬裝置等的尺寸規格，在圖8至圖10中示有與其相對應的第二實施形態。
在第二實施形態中，第三外折線R3的曲折角度α、內角β以及折入部12的內角γ如下：α≒13度<15度、β<45度、γ<45度。另外，如圖9所示，在折彎成型蛇腹機構10時，以如下的方式進行規格設定：當將作為折入部12的棱線的第四外折線R4及第三外折線R3的外端位置(中點c)與作為第二面蛇腹部10S的棱線的第二外折線R2的下端位置d相比較時，前者與後者相比位於第一面蛇腹部10U的寬度方向的內側(第一外折線R1的長度方向的內側)。因此，構成為第四外折線R4的外端位置(中點c)與後述的護欄15不接觸。另外，以如下方式構成：在折彎成型的狀態下，以曲折點a為中心，且相對於第一面蛇腹部10U的棱線(第一外折線R1)，第二面蛇腹部10S的棱線(第二外折線R2)以大於90度的角度折彎(參照圖9)。
在以如此方式進行了規格設定的蛇腹機構10中，折入部12的棱線長度，即雖然沒有圖示但是內側端b與中點c之間的距離在製圖上的長度變化，與第三外折線R3的曲折角度α為α=15度的情況相比有所變大(參照圖7A的(b))。因此，伴隨蛇腹伸縮的折入部12中的應力雖然有所變大，但在實用上的耐久性充分，從而能夠確認即使對超過200萬次的伸縮也沒有發現到小孔的產生。
如圖10所示，在該實施形態中，為了防止蛇腹機構10在上下及前後方向上的彎曲變形，按伸縮間距，在片材的背面填隙安裝有由金屬板或硬質樹脂材料板構成的門型的中間板13，並且，通過這些中間板13 安裝有由耐磨損性樹脂材料構成的滑動部件14。而且，以覆蓋第二面蛇腹部10S的橫向側方及下側方的方式前後水準地固定配備有折彎金屬板材而形成的前後長的護欄15，並且通過該護欄15滑動引導滑動部件14，從而防止伴隨蛇腹機構10的伸縮動作而左右晃動的現象。此外，在相對於第一面蛇腹部10U，第二面蛇腹部10S以大於90度的角度折彎，從而蛇腹機構10整體成為向下擴展的門型的該實施形態中，由於伴隨蛇腹機構10的伸展動作而第二面蛇腹部10S的棱線向左右內側變形，因此構成為使中間板13的橫外端13e從第二面蛇腹部10S的棱線向內側避讓的形狀，從而允許第二面蛇腹部10S的棱線向內側變形。
[其他實施例]
本發明也可以以如下形態實施。
(1)根據需要，也可按照蛇腹機構10的伸縮間距，安裝不銹鋼板等百葉窗板(板條)並依次層壓，從而以抑制切削液和切削粉末直接濺落到蛇腹機構10的方式進行實施。
(2)上述實施形態的蛇腹機構10被形成為一對第二面蛇腹部10S、10S從第一面蛇腹部10U的左右朝下方伸出的門型。然而，雖然未圖示，但也可被形成為一對第一面蛇腹部10U、10U從第二面蛇腹部10S的左右朝下方伸出的門型。
(3)在上述實施形態的蛇腹機構10中，將第一面蛇腹部10U配置在蛇腹機構10的上方，並且將第二面蛇腹部10S、10S配置在側方。然而，雖然未圖示，還可以使蛇腹機構10的方向旋轉90度，將第一面蛇腹部10U配置在蛇腹機構10的側方，並且將一個第二面蛇腹部10S配置在蛇 腹機構10的上方，將另一個第二面蛇腹部10S配置在蛇腹機構10的下方。
(4)本發明的蛇腹機構10不僅適用於基板切斷裝置上，而且同樣可適用於其他要求防水和防塵的以下所列舉的裝置上。即，在電子領域中，可在對基板進行研磨的研磨裝置、塗敷裝置、曝光裝置、顯影裝置和用於切斷對基板上安裝的電子元件進行樹脂封裝了的樹脂封裝基板的切斷裝置等中適用本發明的蛇腹機構10。在機械加工領域中，可在加工中心、磨床、車床和研磨裝置等中使用適用本發明的蛇腹機構10。在醫療領域中，可在CT掃描器(Computed Tomography Scanner)和MRI(Magnetic Resonance Imaging)裝置等中適用本發明的蛇腹機構10。此外，還可以在清洗裝置、運送裝置、試驗裝置和乾燥裝置等不限定於特定領域的裝置中適用本發明的蛇腹機構10。
11‧‧‧片材
12‧‧‧折入部
a‧‧‧曲折點
b‧‧‧內端點
c‧‧‧中點
α‧‧‧曲折角度
β‧‧‧內角
γ‧‧‧內角
R1‧‧‧第一外折線
R2‧‧‧第二外折線
R3‧‧‧第三外折線
R4‧‧‧第四外折線
V1‧‧‧第一內折線
V2‧‧‧第二內折線
V3‧‧‧第三內折線

Claims (11)

  1. 一種蛇腹機構，其特徵在於，具備：第一面蛇腹部形成用的第一外折線，沿蛇腹的伸縮方向以既定的間隔彼此平行地形成為複數個；第二面蛇腹部形成用的第二外折線，透過曲折點成一條直線狀地與前述第一外折線相連；第三外折線，聯接沿蛇腹的伸縮方向相鄰的前述曲折點彼此之間；第一內折線，位於相鄰的前述第一外折線之間且與前述第一外折線平行地形成並與前述第三外折線的中點連接；第二內折線，位於相鄰的前述第二外折線之間且與前述第二外折線平行地形成；第四外折線，形成為遍及前述第二內折線的內側端和前述第三外折線的中點之間；和第三內折線，形成為遍及前述曲折點和前述第二內折線的內側端之間，由前述第三外折線、前述第四外折線和前述第三內折線包圍的三角形形狀的折入部構成為伴隨蛇腹的壓縮而被折疊到第二面蛇腹部的內部，前述第四外折線的長度被設定為大於前述第三外折線的長度。
  2. 如申請專利範圍第1項之蛇腹機構，其中，由前述第四外折線和前述第三內折線構成的內角被設定為小於45度。
  3. 如申請專利範圍第1或2項之蛇腹機構，其中，由前述第三外折線和前述第三內折線構成的內角被設定為45度。
  4. 如申請專利範圍第3項之蛇腹機構，其中，前述曲折點分別被設置 在前述第一外折線的長度方向的相同位置上，前述第三外折線的中點被配置在與連結相鄰的前述曲折點之間的線相比靠近前述第二內折線側，由連結相鄰的前述曲折點之間的線和前述第三外折線構成的內角被設定為3~27度。
  5. 如申請專利範圍第3項之蛇腹機構，其中，前述曲折點分別被設置在前述第一外折線的長度方向的相同位置上，前述第三外折線的中點被配置在與連結相鄰的前述曲折點之間的線相比靠近前述第二內折線側，由連結相鄰的前述曲折點之間的線和前述第三外折線構成的內角被設定為5~25度。
  6. 如申請專利範圍第3項之蛇腹機構，其中，前述曲折點分別被設置在前述第一外折線的長度方向的相同位置上，前述第三外折線的中點被配置在與連結相鄰的前述曲折點之間的線相比靠近前述第二內折線側，由連結相鄰的前述曲折點之間的線和前述第三外折線構成的內角被設定為15度。
  7. 如申請專利範圍第1或2項之蛇腹機構，其中，在形成曲折的狀態下，前述第三外折線的中點與前述第二外折線相比位於外側。
  8. 一種基板切斷裝置，具備：可動台，具備用於吸附保持基板的裝夾台且進行往復移動；驅動機構，使可動台進行往復移動；固定台框架，收容前述驅動機構；和基板切斷用的旋轉刀片；前述基板切斷裝置在前述可動台的移動方向的兩端部與前述固定台框 架之間配備有伴隨可動台的往復移動而進行伸縮的蛇腹機構，並且構成為利用前述蛇腹機構覆蓋前述驅動機構，其特徵在於，前述蛇腹機構為如申請專利範圍第1或2項所記載的結構。
  9. 一種搬送裝置，具備：可動台，具備工作臺且進行往復移動；驅動機構，使前述可動台進行往復移動；和固定台框架，收容前述驅動機構；前述裝置在前述可動台的移動方向的兩端部與前述固定台框架之間配備有伴隨前述可動台的往復移動而進行伸縮的蛇腹機構，並且構成為利用前述蛇腹機構覆蓋前述驅動機構，其特徵在於，前述蛇腹機構為如申請專利範圍第1或2項所記載的結構。
  10. 一種加工裝置，具備：可動台，具備工作臺且進行往復移動；驅動機構，使前述可動台進行往復移動；和固定台框架，收容前述驅動機構；前述裝置在前述可動台的移動方向的兩端部與前述固定台框架之間配備有伴隨前述可動台的往復移動而進行伸縮的蛇腹機構，並且構成為利用前述蛇腹機構覆蓋前述驅動機構，其特徵在於，前述蛇腹機構為如申請專利範圍第1或2項所記載的結構。
  11. 一種檢查裝置，具備：可動台，具備工作臺且進行往復移動；驅動機構，使前述可動台進行往復移動；和 固定台框架，收容前述驅動機構；前述裝置在前述可動台的移動方向的兩端部與前述固定台框架之間配備有伴隨前述可動台的往復移動而進行伸縮的蛇腹機構，並且構成為利用前述蛇腹機構覆蓋前述驅動機構，其特徵在於，前述蛇腹機構為如申請專利範圍第1或2項所記載的結構。
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