JP2013173215A - 研磨装置 - Google Patents

Abstract

【課題】鉛直方向及び水平方向に移動可能な蛇腹部の耐久性低下を抑制すること。
【解決手段】研磨装置は、研磨工具と保持手段とを囲む筐体、を備え、筐体は、底部と側部と天井部とからなり、天井部には研磨手段が移動可能な楕円形の開口が形成され、一端が該楕円形の開口に固定され他端が研磨手段に固定され、かつ伸縮可能な蛇腹部５１ｅを備えている。蛇腹部５１ｅは、山谷形状で形成され、かつ段階的に研磨手段側の円形から筐体の開口の楕円形に至る山部６０Ｍを有する樹脂製蛇腹部材６０と、山部６０Ｍの形状を維持するために山部６０Ｍの内部に挿入された形状維持ワイヤー６２と、それぞれの形状維持ワイヤー６２を樹脂製蛇腹部材６０の外側から少なくとも１箇所で挟み込んで樹脂製蛇腹部材６０の所定位置に固定し形状維持ワイヤー６２の回動を防止する固定具６３と、を備える。
【選択図】図６

Description

本発明は、半導体ウエーハ等のワークを研磨加工する研磨装置に関する。

半導体ウエーハは、近年の各種電子機器の小型化・薄型化に伴い、より一層の薄化が求められている。そのため、半導体ウエーハの厚さが薄くなった場合、チップ化した後の強度の維持が問題になっている。そこで、研削処理を行った後に加工面をポリッシュやエッチングすることで、研削処理による機械的ダメージを除去する技術が用いられており、研削と研磨の両方の加工を行える加工装置も提案されている。

研削手段及び研磨手段は、加工雰囲気を囲むチャンバ（筐体）内で、湿式又は乾式でウエーハに加工が施される（例えば、特許文献１）。ここで、研磨手段とウエーハを保持する保持手段は相対的に鉛直方向と水平方向に移動をしながら加工を行うため、研磨手段と保持手段とを囲う筐体には一端を研磨手段に他端を筐体の開口を覆う蛇腹部が設けられている。

特開２０１０−２４７２７２号公報

上述した蛇腹部は、鉛直方向及び水平方向に移動可能であるため、外形が円形である研磨手段と楕円形状の開口を有する筐体とをつなぐように、徐々に円形から楕円形になる。蛇腹部は、その形状を維持するために、蛇腹形状の山部分に形状維持ワイヤーが挿入されている。この形状維持ワイヤーは、水平移動及び鉛直移動を繰り返すうちに内部で周方向に移動することがある。特に、楕円形状の箇所で周方向に移動することにより、蛇腹部が有する樹脂製の蛇腹部材の耐久性低下を招くことがあった。また、接着剤等で形状維持ワイヤーと蛇腹部材とを接着固定すると、水平移動及び鉛直移動を繰り返した場合に蛇腹部材に無理な力が作用して、蛇腹部材の耐久性低下を招くことがあった。

本発明は、鉛直方向及び水平方向に移動可能な蛇腹部の耐久性低下を抑制することを目的とする。

本発明は、被加工物を回転可能に保持する保持面を有する保持手段と、該保持面に対向して配置される研磨工具を有し、該研磨工具を該保持面に直交する回転軸を中心として回転可能に支持する研磨手段と、該研磨手段を該保持手段に対し該保持面と平行方向に相対的に移動させる平行送り手段と、該研磨手段を該保持手段に対し該保持面と直交方向に相対的に移動させる直交送り手段と、を備える研磨装置であって、該研磨工具と該保持手段とを囲む筐体、を備え、該筐体は、底部と側部と天井部とからなり、該天井部には該研磨手段が平行送り手段により移動可能な楕円形の開口が形成され、一端が該楕円形の開口に固定され他端が該研磨手段に固定され伸縮可能な蛇腹部を備えており、該蛇腹部は、山谷形状で形成され、かつ段階的に該研磨手段側の円形から該開口の楕円形に至る山部を有する樹脂製蛇腹部材と、該山部の形状を維持するために該山部の内部に挿入された形状維持ワイヤーと、少なくとも、該研磨手段に最も近い該形状維持ワイヤー以外のそれぞれの該形状維持ワイヤーを、該樹脂製蛇腹部材の外側から少なくとも１箇所で挟み込んで該樹脂製蛇腹部材の所定位置に固定し該形状維持ワイヤーの回動を防止する固定具と、から構成されること、を特徴とする研磨装置である。

本発明において、該固定具は、該形状維持ワイヤーの外径よりも大きな内径を有する断面Ｃ形状の金具であり、該樹脂製蛇腹部材の該山部の内部に挿入された該形状維持ワイヤーを、該樹脂製蛇腹部材を介して該固定具で挟み込みかしめることで固定することが好ましい。

本発明は、蛇腹を形成する樹脂製蛇腹部材の山部に挿入された形状維持ワイヤーを外側から固定具でかしめて固定する。このような構造により、樹脂製蛇腹部材の内部における形状維持ワイヤーの回転が抑制されるとともに、形状維持ワイヤーが適度に樹脂製蛇腹部材の山部の内部で動くことが可能になる。その結果、蛇腹の耐久性低下を抑制することができる。

図１は、本実施形態に係る研磨装置の構成例を示す斜視図である。 図２は、本実施形態に係る各部の位置関係等を示すレイアウト図である。 図３は、研磨部の構成を模式的に示す概略側面図である。 図４は、本実施形態に係る研磨装置の筐体が有する開口を示す平面図である。 図５は、本実施形態に係る研磨装置が備える蛇腹部の平面図である。 図６は、図５のＡ−Ａ断面図である。 図７は、固定具の斜視図である。 図８は、固定具の取付工具を示す図である。

以下、この発明を実施するための形態（以下、実施形態という）につき図面を参照しつつ詳細に説明する。

図１は、本実施形態に係る研磨装置の構成例を示す斜視図である。図２は、本実施形態に係る各部の位置関係等を示すレイアウト図である。図３は、研磨部の構成を模式的に示す概略側面図である。図４は、本実施形態に係る研磨装置の筐体が有する開口を示す平面図である。研磨装置１は、半導体ウエーハ等の円盤状のワークＷの裏面を薄型化のために研削加工するとともに、研削加工されたワークＷの研削面を高精度に平坦化するために研磨加工するものである。研磨装置１は、例えば、ハウジング２と、第１の研削部３と、第２の研削部４と、研磨部５と、ターンテーブル６上に設置された例えば４つの保持手段７と、カセット８、９と、位置合わせ手段１０と、搬入手段１１と、搬出手段１２と、洗浄手段１３と、搬出入手段１４とを主に備えている。

第１の研削部３は、スピンドルの下端に装着された研削砥石を有する研削ホイールを回転させながら粗研削位置Ｂの保持手段７に保持された、被加工物としてのワークＷの裏面（上面）に押圧することによって、ワークＷの裏面を粗研削加工するためのものである。同様に、第２の研削部４は、スピンドルの下端に装着された研削砥石を有する研削ホイールを回転させながら仕上げ研削位置Ｃに位置する保持手段７に保持された粗研削済みのワークＷの裏面に押圧することによって、ワークＷの裏面を仕上げ研削加工するためのものである。

本実施形態において、研磨部５は、図３に示すように、スピンドル５ａの下端に装着された研磨パッド等の乾式の研磨工具５ｂを保持手段７の保持面に対向して配置させる。研磨部５は、研磨工具５ｂを回転させながら、研磨位置Ｄに位置する保持手段７の保持面に保持された仕上げ研削済みのワークＷの被研磨面（裏面）Ｗｂに押圧することによって、ワークＷの被研磨面Ｗｂを研磨加工するためのものである。

ターンテーブル６は、ハウジング２の上面に設けられた円盤状のテーブルであり、水平面内で回転可能に設けられ、所定のタイミングで回転駆動される。このターンテーブル６上には、例えば４個の保持手段７が、例えば９０度の位相角で等間隔に配設されている。これら４個の保持手段７は、上面に真空チャックを備えたチャックテーブル構造のものであり、載置されたワークＷを真空吸着して保持する。これら保持手段７は、研削加工時及び研磨加工時には、鉛直方向と平行な軸を回転軸として、回転駆動機構によって水平面内で回転駆動される。このように、保持手段７は、被加工物としてのワークＷを回転可能に保持する保持面を有している。このような保持手段７は、ターンテーブル６の回転によって、搬入搬出位置Ａ、粗研削位置Ｂ、仕上げ研削位置Ｃ、研磨位置Ｄ、搬入搬出位置Ａに順次移動される。

カセット８、９は、複数のスロットを有するウエーハ用の収容器である。一方のカセット８は、研削加工前のワークＷを収容し、他方のカセット９は、研磨加工後のワークＷを収容する。また、位置合わせ手段１０は、カセット８から取り出されたワークＷが仮置きされて、その中心位置合わせを行うためのテーブルである。

搬入手段１１は、吸着パッドを有して水平面内で回転駆動される搬送アームを有し、位置合わせ手段１０で位置合わせされた研削加工前のワークＷを吸着保持して搬入搬出位置Ａに位置する保持手段７上に搬入する。搬出手段１２は、吸着パッドを有して水平面内で回転駆動される搬送アームを有し、搬入搬出位置Ａに位置する保持手段７上に保持された研磨加工後のワークＷを吸着保持して洗浄手段１３に搬出する。

搬出入手段１４は、例えばＵ字型ハンド１４ａを備えるロボットピックであり、Ｕ字型ハンド１４ａによってワークＷを吸着保持して搬送する。具体的には、搬出入手段１４は、研削加工前のワークＷをカセット８から位置合わせ手段１０へ搬出するとともに、研磨加工後のワークＷを洗浄手段１３からカセット９へ搬入する。洗浄手段１３は、研磨加工後のワークＷを洗浄し、研削及び研磨された加工面に付着している研削屑及び研磨屑等のコンタミネーションを除去する。

本実施形態において、図２に示すように、研磨装置１は、第１、第２の研削部３、４によりワークＷを研削する粗研削位置Ｂ、仕上げ研削位置Ｃ周りの領域が研削領域Ｅ１として設定され、研磨部５によりワークＷに対して研磨を行う研磨位置Ｄ周りの領域が研磨領域Ｅ２として設定されている。そして、研削領域Ｅ１及び研磨領域Ｅ２に対応して少しでも閉塞的となる研削雰囲気及び研磨雰囲気を形成するようにターンテーブル６上を覆う、平面視において略Ｌ字状に形成された筐体５１がハウジング２上に設けられている。

次に、研磨部５について、図３を用いてより詳細に説明する。研磨部５は、上述の研磨工具５ｂ及び筐体５１の他、回転支持部５２、蓋部５３、筐体内洗浄手段５４、平行送り手段５５、直交送り手段５６及び制御手段５７を備える。

研磨手段としての回転支持部５２は、保持手段７の保持面７Ｓに対向して配置される研磨工具５ｂを有し、研磨工具５ｂを保持手段７の保持面７Ｓに直交する回転軸を中心として回転可能に支持している。本実施形態において、回転支持部５２は、鉛直方向を回転軸として回転可能に研磨工具５ｂを上側から支持するスピンドル５ａとこのスピンドル５ａを囲む円筒形状のカバー部５ｃとをさらに備えるとともに、スピンドル５ａを回転させるモータを内蔵している。筐体５１は、少なくとも研磨位置Ｄに位置する保持手段７と研磨工具５ｂとを、閉塞的空間が形成されるように囲むものである。

筐体５１は、底部５１ａと、側部５１ｂと、天井部５１ｃとからなり、さらに伸縮可能な蛇腹部５１ｅを備えている。天井部５１ｃには、回転支持部５２が平行送り手段５５により移動可能な楕円形の開口５１ｄが形成されている。本実施形態において、開口５１ｄは、平面視において、図４に示すように、２本の円弧（半円）Ｒ、Ｒを２本の直線Ｓ、Ｓで連結した形状になっている。このように、本実施形態における楕円形には、いわゆる楕円の他、２本の円弧を２本の直線で連結した形状も含まれる。蛇腹部５１ｅは、一端５１ｅａが楕円形の開口５１ｄに固定され、他端５１ｅｂが研磨手段としての回転支持部５２に、天井板５１ｇを介して固定されている。

このような構造により、筐体５１は、研磨工具５ｂ及び回転支持部５２を上下左右に移動可能とし、かつ閉塞的な空間を維持する。また、蓋部５３は、筐体５１の一部に設けられた開口部５１ｆを閉塞するためのものであり、図示しないロック機構を備えている。蓋部５３は、前記ロック機構のロックを解除することにより開口部５１ｆを開閉することができる。蓋部５３は、例えば研磨加工によって消耗した研磨工具５ｂを交換する際に開放される。

平行送り手段５５は、研磨手段としての回転支持部５２を、保持手段７に対し保持面７Ｓと平行方向に相対的に移動させるものである。本実施形態において、平行送り手段５５は、図１に示すように、垂直に設けられた固定板１５に搭載されて回転支持部５２と研磨工具５ｂとを一体として水平方向に往復移動させる。平行送り手段５５は、研磨位置Ｄに位置するワークＷに対する研磨工具５ｂの接触量（オーバーラップ量）を調整したり、研磨工具５ｂを水平方向に往復運動させたりしながらワークＷを研磨する。平行送り手段５５は、例えばボールねじ構造を有しており、水平に配設支持されたボールねじ５５ａと、このボールねじ５５ａを回転駆動させるモータ５５ｂと、水平に配設されたガイド５５ｃ等とを含む。ボールねじ５５ａの一部は、回転支持部５２を支持する支持板５５ｄの一部に螺合している。

直交送り手段５６は、研磨手段としての回転支持部５２を、保持手段７に対し保持面７Ｓと直交方向に相対的に移動させるものである。本実施形態において、直交送り手段５６は、図１に示すように、平行送り手段５５が有する支持板５５ｄに搭載されて、回転支持部５２と研磨工具５ｂとを一体として鉛直方向に往復移動させる。直交送り手段５６は、支持板５５ｄに取り付けられる一対のガイドレール５６ａ、５６ａと、それぞれのガイドレール５６ａ、５６ａにガイドされるとともに回転支持部５２が取り付けられる一対の移動体５６ｂ、５６ｂと、一対の移動体５６ｂ、５６ｂを移動させる図示しないモータ等と、を含む。直交送り手段５６は、研磨工具５ｂとワークＷとの距離を調整したり、研磨工具５ｂがワークＷを押圧する力を調整したりするものである。

筐体内洗浄手段５４は、筐体５１の内壁として天井部５１ｃの下面に配設されて、筐体５１内で水を噴出して洗浄を行うためのものであり、複数個設けられている。制御手段５７は、平行送り手段５５及び直交送り手段５６の動作を制御する。また、制御手段５７は、研磨加工によって消耗した研磨工具５ｂを交換するために蓋部５３を開ける前に筐体内洗浄手段５４の噴出口５４ｃから水が噴出するように筐体内洗浄手段５４を制御する。このような構造により、研磨装置１は、第１の研削部３及び第２の研削部４によるワークＷの研削加工に並行して、研磨領域Ｅ２では、保持手段７に保持された研削済みのワークＷに対して研磨工具５ｂによって研磨加工を行う。次に、蛇腹部５１ｅについて、より詳細に説明する。

図５は、本実施形態に係る研磨装置が備える蛇腹部の平面図である。図６は、図５のＡ−Ａ断面図である。図７は、固定具の斜視図である。蛇腹部５１ｅは、樹脂製蛇腹部材６０と、形状維持ワイヤー６２と、固定具６３とを含む。樹脂製蛇腹部材６０は、可撓性を有する樹脂材料（例えば、セシーナ生地等）で作られている。樹脂製蛇腹部材６０は、山部６０Ｍと谷部６０Ｖとが繰り返す山谷形状で形成されている。そして樹脂製蛇腹部材６０は、研磨手段としての回転支持部５２側の円形から筐体５１の開口５１ｄの楕円形に、段階的に至る山部６０Ｍを有している。すなわち、蛇腹部５１ｅの他端５１ｅｂにおいて山部６０Ｍは円形であり、他端５１ｅｂよりも一端５１ｅａ側においては、山部６０Ｍは楕円形になる。

形状維持ワイヤー６２は、金属で作られており、山部６０Ｍの形状を維持するために、山部６０Ｍの内部に挿入されている。形状維持ワイヤー６２は、山部６０Ｍと同様に、蛇腹部５１ｅの他端５１ｅｂにおいて円形である。他端５１ｅｂよりも一端５１ｅａ側において、形状維持ワイヤー６２は楕円形になる。

固定具６３は、それぞれの形状維持ワイヤー６２を樹脂製蛇腹部材６０の外側から少なくとも１箇所で挟み込んで、樹脂製蛇腹部材６０の所定位置に固定する。このようにすることで、固定具６３は、形状維持ワイヤー６２が樹脂製蛇腹部材６０の山部６０Ｍの内部で回動（周方向への移動）を防止する。図７に示すように、固定具６３は、円筒形状の部材の一部を、一端部から他端部にわたって取り除いた、断面がＣ形状の金具である。固定具６３は、形状維持ワイヤー６２の外径よりも大きい内径ｄを有している。このようにすることで、固定具６３を容易かつ確実に樹脂製蛇腹部材６０の山部６０Ｍに取り付けることができる。固定具６３の材料は特に問わないが、例えば、アルミニウム合金等を用いることができる。

図５に示すように、複数の固定具６３は、一端５１ｅａから他端５１ｅｂへ向かって、それぞれが重ならないように、例えば、互い違いに取り付けられることが好ましい。このようにすることで、蛇腹部５１ｅが揺動した場合において、固定具６３同士の干渉を回避できるので、固定具６３の耐久性低下を抑制できる。

固定具６３は、開口部６３Ｈから形状維持ワイヤー６２の部分における樹脂製蛇腹部材６０の外側に取り付けられる。その後、固定具６３の径方向内側（図７の矢印Ｋで示す方向）に向かって固定具６３をかしめることによって、固定具６３が形状維持ワイヤー６２を樹脂製蛇腹部材６０の外側から挟み込む。そして、形状維持ワイヤー６２は、固定具６３によって樹脂製蛇腹部材６０の所定位置に固定される。

固定具６３が取り付けられたら、固定具６３の外周面に、補強材として、例えば樹脂シート等を貼り付ける。このようにすることで、固定具６３と樹脂製蛇腹部材６０とがこすれることによる樹脂製蛇腹部材６０の耐久性低下を抑制できるとともに、固定具６３の本体部６３Ｂの腐食を抑制できる。次に、固定具６３を取り付ける工具について説明する。

図８は、固定具の取付工具を示す図である。取付工具７０は、本体部７１と、締め付け部７２と、締め付けボルト７３とを含む。本体部７１と締め付け部７２とは、それぞれ断面三角形状の溝７４、７５を有している。本体部７１と締め付け部７２とは、それぞれの溝７４、７５が対向した状態で、締め付けボルト７３によって連結されている。本実施形態において、締め付けボルト７３は２本である。また、本実施形態において、締め付けボルト７３と溝７４、７５の底部（三角形の頂部）との距離は、７ｍｍ〜８ｍｍ程度である。

取付工具７０を用いて固定具６３をかしめる場合、本体部７１の溝７４と締め付け部７２の溝７５との間に固定具６３を配置する。そして、締め付けボルト７３を規定のトルクで締め込み、固定具６３をその径方向内側に向かって変形させることにより、固定具６３を樹脂製蛇腹部材６０の外側から形状維持ワイヤー６２の部分に取り付ける。締め付けボルト７３を適切なトルクで締め込むことにより、形状維持ワイヤー６２の回動を十分に抑制できるとともに、樹脂製蛇腹部材６０及び形状維持ワイヤー６２に傷が付く等の不具合を回避できる。締め付けボルト７３を適切なトルクは、形状維持ワイヤー６２の外径及び材質等によって適宜変更できるが、一例としては、１７Ｎ・ｍ以上２０Ｎ・ｍ以下である。

研磨装置１は、蛇腹部５１ｅの山部６０Ｍの内部に配置されている形状維持ワイヤー６２を、樹脂製蛇腹部材６０の外側から固定具６３で所定位置に固定する。このようにすることで、形状維持ワイヤー６２の回動が抑制されるので、山部６０Ｍにおける樹脂製蛇腹部材６０に作用する、形状維持ワイヤー６２の回動に起因した力を抑制できる。特に、山部６０Ｍ及び形状維持ワイヤー６２が楕円形状となる部分で形状維持ワイヤー６２の回動が発生すると、この回動によって山部６０Ｍにおける樹脂製蛇腹部材６０に無理な力が発生するが、固定具６３によってこの無理な力を大幅に低減できる。また、形状維持ワイヤー６２と樹脂製蛇腹部材６０とを全周にわたって接着する訳ではないので、両者間における相対的な移動はある程度許容される。このため、蛇腹部５１ｅが水平移動及び鉛直移動を繰り返した場合における形状維持ワイヤー６２と樹脂製蛇腹部材６０との微少な移動を許容して、樹脂製蛇腹部材６０に作用する無理な力を低減できる。これらの作用により、蛇腹部５１ｅの耐久性低下が抑制される。また、樹脂製蛇腹部材６０の外側から固定具６３を取り付けるだけでよいので、既存の研磨装置１が有する蛇腹部５１ｅに対しても容易に適用できる。

図８に示す取付工具７０を用いて蛇腹部５１ｅに固定具６３を取り付けて耐久試験を行った。固定具６３をかしめる際のトルクは１７Ｎ・ｍとし、固定具６３を取り付けた蛇腹部５１ｅに対して、７年分の動作に相当する負荷を与えた。その結果、形状維持ワイヤー６２の動き及び樹脂製蛇腹部材６０の破損は発生しなかった。

以上、本実施形態について説明したが、上述した内容により本実施形態が限定されるものではない。上述した本実施形態の構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のもの、いわゆる均等の範囲のものが含まれる。さらに、上述した構成要素は適宜組み合わせることが可能である。また、本実施形態の要旨を逸脱しない範囲で構成要素の種々の省略、置換及び変更を行うことができる。

例えば、固定具６３は、それぞれの形状維持ワイヤー６２を樹脂製蛇腹部材６０の外側から少なくとも１箇所で挟み込んでいればよいので、複数の固定具６３を用いて、形状維持ワイヤー６２の周方向において、複数箇所で形状維持ワイヤー６２を挟み込んでもよい。

また、上記説明において、固定具６３は、形状維持ワイヤー６２の外径よりも大きい内径ｄを有しているとしたが、固定具６３の内径ｄは、形状維持ワイヤー６２が内部に配置される樹脂製蛇腹部材６０の山部６０Ｍの外径よりも大きいことが好ましい。さらには、固定具６３の周方向における開口部６３Ｈの寸法は、形状維持ワイヤー６２が内部に配置される樹脂製蛇腹部材６０の山部６０Ｍの外径よりも大きいことが好ましい。このようにすれば、固定具６３をさらに容易に樹脂製蛇腹部材６０の山部６０Ｍに取り付けることができる。

また、円形の形状維持ワイヤー６２、すなわち、研磨手段としての回転支持部５２に最も近い形状維持ワイヤー６２（他端５１ｅｂの形状維持ワイヤー６２）は、樹脂製蛇腹部材６０の山部６０Ｍの内部で回転しても、樹脂製蛇腹部材６０に無理な力は作用しない。このため、上記説明においては、蛇腹部５１ｅのすべての形状維持ワイヤー６２を固定具６３で固定したが、回転支持部５２に最も近い形状維持ワイヤー６２は、固定具６３で固定しなくてもよい。すなわち、少なくとも、回転支持部５２に最も近い形状維持ワイヤー６２以外のそれぞれの形状維持ワイヤー６２については、樹脂製蛇腹部材６０の外側から少なくとも１箇所を固定具６３で挟み込んで樹脂製蛇腹部材６０の所定位置に固定することが好ましい。このようにすることで、蛇腹部５１ｅに取り付ける固定具６３の数を低減できるので、コスト低減及び作業負荷の軽減といった利点が得られる。

なお、回転支持部５２に最も近い形状維持ワイヤー６２の形状が楕円形である場合、この形状維持ワイヤー６２の部分にも固定具６３を取り付けることが好ましい。このようにすれば、すべての形状維持ワイヤー６２の部分において、蛇腹部５１ｅの耐久性低下を抑制することができる。

また、上記説明においては、固定具６３を樹脂製蛇腹部材６０の外側に取り付けたが、これに限定されるものではない。例えば、固定具６３を取り付ける樹脂製蛇腹部材６０の部分に、補強材として、例えば、樹脂シート等を貼り付け、固定具６３と樹脂製蛇腹部材６０との間に前記補強材を介在させてもよい。このようにすることで、樹脂製蛇腹部材６０に傷等が発生することを抑制できるので、樹脂製蛇腹部材６０の耐久性低下を抑制できる。なお、補強材は、例えば、樹脂製蛇腹部材６０の材料と同種の材料を用いることができる。

また、上記説明においては、形状維持ワイヤー６２の部分における樹脂製蛇腹部材６０に固定具６３を取り付けた後、その外周面に、補強材として、例えば樹脂シート等を貼り付けたが、このような形態に限定されない。例えば、形状維持ワイヤー６２の部分における樹脂製蛇腹部材６０に、樹脂シート等を貼り付けないで、固定具６３を取り付けたままにしてもよい。このようにすることで、作業の手間及び製造コストを軽減できる。

１ 研磨装置
２ ハウジング
３ 第１の研削部
４ 第２の研削部
５ 研磨部
５ａ スピンドル
５ｂ 研磨工具
５ｃ カバー部
６ ターンテーブル
７ 保持手段
７Ｓ 保持面
５１ 筐体
５１ａ 底部
５１ｂ 側部
５１ｃ 天井部
５１ｄ 開口
５１ｅ 蛇腹部
５１ｅａ 一端
５１ｅｂ 他端
５１ｆ 開口部
５１ｇ 天井板
５２ 回転支持部
５５ 平行送り手段
５６ 直交送り手段
５７ 制御手段
６０ 樹脂製蛇腹部材
６２ 形状維持ワイヤー
６３ 固定具
７０ 取付工具
Ｗ ワーク

Claims (2)

1. 被加工物を回転可能に保持する保持面を有する保持手段と、
   該保持面に対向して配置される研磨工具を有し、該研磨工具を該保持面に直交する回転軸を中心として回転可能に支持する研磨手段と、
   該研磨手段を該保持手段に対し該保持面と平行方向に相対的に移動させる平行送り手段と、
   該研磨手段を該保持手段に対し該保持面と直交方向に相対的に移動させる直交送り手段と、を備える研磨装置であって、
   該研磨工具と該保持手段とを囲む筐体、を備え、
   該筐体は、
   底部と側部と天井部とからなり、該天井部には該研磨手段が平行送り手段により移動可能な楕円形の開口が形成され、一端が該楕円形の開口に固定され他端が該研磨手段に固定され伸縮可能な蛇腹部を備えており、
   該蛇腹部は、
   山谷形状で形成され、かつ段階的に該研磨手段側の円形から該開口の楕円形に至る山部を有する樹脂製蛇腹部材と、
   該山部の形状を維持するために該山部の内部に挿入された形状維持ワイヤーと、
   少なくとも、該研磨手段に最も近い該形状維持ワイヤー以外のそれぞれの該形状維持ワイヤーを、該樹脂製蛇腹部材の外側から少なくとも１箇所で挟み込んで該樹脂製蛇腹部材の所定位置に固定し該形状維持ワイヤーの回動を防止する固定具と、
   から構成されること、を特徴とする研磨装置。
2. 該固定具は、該形状維持ワイヤーの外径よりも大きな内径を有する断面Ｃ形状の金具であり、
   該樹脂製蛇腹部材の該山部の内部に挿入された該形状維持ワイヤーを、該樹脂製蛇腹部材を介して該固定具で挟み込みかしめることで固定すること、
   を特徴とする請求項１に記載の研磨装置。

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