JP2017001158A - 筒状蛇腹カバー - Google Patents

Abstract

【課題】左右方向の移動時に蛇腹布が突っ張って筒状蛇腹カバーが破れるのを防止すること。
【解決手段】加工手段の移動に追従して変形する筒状蛇腹カバー（９１）であって、複数のリング（９６）と、複数のリングを平行に連結する筒状の蛇腹布（９７）と、蛇腹布において隣り合うリングの間に設けられた開口を覆うゴム板（９９）とを備えている。加工手段が左右方向に動作したときに蛇腹布に配設されたゴム板が伸長することで、蛇腹布に生じる応力が分散されて、蛇腹布の突っ張りが大幅に緩和される構成にした。
【選択図】図４

Description

本発明は、加工領域をカバーすると共に研磨パッドの移動に追従して変形する筒状蛇腹カバーに関する。

研磨装置は、チャックテーブルにウエーハを保持して、研磨パッドをウエーハに押し付けて研磨加工を実施している。研磨加工では、水平回転した研磨パッドがウエーハに押し付けられた状態で、研磨パッドがウエーハの被研磨面に対して平行に水平移動（左右方向に移動）される。研磨終了後には研磨パッドがウエーハから離間されて原点位置まで移動する。つまり、研磨加工時には研磨パッドがウエーハに上方から押し当てられて水平移動しながら研磨され、研磨終了時には研磨パッドが上昇された後に水平移動によって原点位置に戻される。

また、研磨装置では、研磨加工が所定回数繰り返されたときには研磨パッドの研磨面を整形するためにドレッシングが実施される。このため、チャックテーブルの近くには、研磨パッドの研磨面を整形するドレッシングユニットが備えられている。ドレッシング時にはドレッシングユニットの上方まで研磨パッドが水平移動され、水平回転した研磨パッドが下降されてドレッシングユニットに接触した状態で、研磨パッドがドレッシングユニットに対して水平移動される。このように、研磨パッドは昇降方向及び水平方向に移動されている。

この種の研磨装置には、研磨パッドの昇降移動及び水平移動に追従して変形する筒状蛇腹カバーが設けられている（例えば、特許文献１参照）。筒状蛇腹カバーは、複数のリングを筒状の蛇腹布によって平行に連結し、駆動機構によって研磨パッドが動作する動作領域をカバーしている。筒所蛇腹カバーは、複数のリングが接近して蛇腹布が畳まれることで研磨パッドの下降移動に追従し、複数のリングが離間して蛇腹布が広げられることで研磨パッドの上昇移動に追従する。また、複数のリングが横移動して蛇腹布が斜めになることで、研磨パッドの水平移動に追従する。

特許第４４６４１１３号公報

ところで、特許文献１に記載の筒状蛇腹カバーでは、駆動機構によって研磨パッドが水平移動すると、筒状蛇腹カバーの左右両側に弛みと突っ張りがアンバランスに生じる。より詳細には、研磨パッドの移動側では蛇腹布に弛みが生じ、研磨パッドの移動側とは逆側では蛇腹布に突っ張りが生じている。研磨パッドが左右方向に往復移動されて、蛇腹布の左右両側に弛みと突っ張りが繰り返されることで、特に各リングと蛇腹布の接続部分が疲労して、この接続部分を起点として蛇腹布が破れ始めるという問題があった。

本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、左右方向の移動時に蛇腹布が突っ張って破れることを防止できる筒状蛇腹カバーを提供することを目的とする。

本発明の筒状蛇腹カバーは、上下左右方向に動作する駆動機構の動作領域をカバーする筒状蛇腹カバーであって、円リング状の上リングと、長円リング状の下リングと、上下に配置される該上リングと該下リングとを連結する筒状の蛇腹布と、該上リングと該下リングと平行で上下に複数配設させ該蛇腹布を補強する補強リングと、を備え、該蛇腹布には、該上リングの中心と該下リングの中心とを結ぶ直線上で、該上リングと該補強リングと該下リングとのそれぞれのリングの間に、所定領域で配設されるゴム板を備え、該駆動機構で上下左右に動作したとき該蛇腹布に配設される該ゴム板が伸縮する事によって筒形状を維持させ該動作領域を保護する。

この構成によれば、上下で隣り合うリングの間には、蛇腹布における上リングの中心と下リングの中心とを結ぶ直線上の所定領域にゴム板が配設されている。駆動機構の左右方向の動作時には、ゴム板が伸長することで蛇腹布に生じる応力が分散され、蛇腹布の突っ張りが大幅に緩和される。よって、駆動機構が左右方向に繰返し動作しても、蛇腹布が突っ張ることによって破れることがない。また、伸縮可能なゴム板であるため、駆動機構の上下方向の移動時の筒状蛇腹カバーの伸縮変形がゴム板によって阻害されることがない。

また、上記筒状蛇腹カバーにおいて、前記ゴム板は、前記所定領域に形成された破断部に配設される。

本発明によれば、上下で隣り合うリングの間にゴム板が配設されているため、駆動機構の左右方向の動作時にゴム板が伸長することで蛇腹布の突っ張りが緩和される。よって、駆動機構が左右方向に繰返し動作しても蛇腹布が破れることがない。

本実施の形態に係る研削研磨装置の斜視図である。 一般的な筒状蛇腹カバーの変形状態を示す図である。 本実施の形態に係る筒状蛇腹カバーの側面図である。 本実施の形態に係る筒状蛇腹カバーの変形動作の説明図である。 本実施の形態に係る研磨手段による研磨動作の説明図である。

以下、添付図面を参照して、本実施の形態に係る筒状蛇腹カバーを備えた研削研磨装置について説明する。図１は、本実施の形態に係る研削研磨装置の斜視図である。なお、筒状蛇腹カバーは、上下左右に動かされる加工手段を備えた加工装置に適用可能であり、図１に示す研削研磨装置に限定されない。

図１に示すように、研削研磨装置１は、フルオートタイプの加工装置であり、ウエーハＷに対して搬入処理、粗研削加工、仕上げ研削加工、研磨加工、洗浄処理、搬出処理からなる一連の作業を全自動で実施するように構成されている。ウエーハＷは、略円板状に形成されており、カセットＣに収容された状態で研削研磨装置１に搬入される。なお、ウエーハＷは、研削対象及び研磨対象になる板状のワークであればよく、シリコン、ガリウムヒ素等の半導体基板でもよいし、セラミック、ガラス、サファイア等の無機材料基板でもよいし、さらに半導体製品のパッケージ基板等でもよい。

研削研磨装置１の基台１１の前側には、複数のウエーハＷが収容された一対のカセットＣが載置されている。一対のカセットＣの後方には、カセットＣに対してウエーハＷを出し入れするカセットロボット１６が設けられている。カセットロボット１６の両斜め後方には、加工前のウエーハＷを位置決めする位置決め機構２１と、加工済みのウエーハＷを洗浄する洗浄機構２６とが設けられている。位置決め機構２１と洗浄機構２６の間には、加工前のウエーハＷをチャックテーブル４２に搬入する搬入手段３１と、チャックテーブル４２から加工済みのウエーハＷを搬出する搬出手段３６とが設けられている。

カセットロボット１６は、多節リンクからなるロボットアーム１７の先端にハンド部１８を設けて構成されている。カセットロボット１６では、カセットＣから位置決め機構２１に加工前のウエーハＷが搬送される他、洗浄機構２６からカセットＣに加工済みのウエーハＷが搬送される。位置決め機構２１は、仮置きテーブル２２の周囲に、仮置きテーブル２２の中心に対して進退可能な複数の位置決めピン２３を配置して構成される。位置決め機構２１では、仮置きテーブル２２上に載置されたウエーハＷの外周縁に複数の位置決めピン２３が突き当てられることで、ウエーハＷの中心が仮置きテーブル２２の中心に位置決めされる。

搬入手段３１は、基台１１上で旋回可能な搬入アーム３２の先端に搬入パッド３３を設けて構成される。搬入手段３１では、搬入パッド３３によって仮置きテーブル２２からウエーハＷが持ち上げられ、搬入アーム３２によって搬入パッド３３が旋回されることでチャックテーブル４２にウエーハＷが搬入される。搬出手段３６は、基台１１上で旋回可能な搬出アーム３７の先端に搬出パッド３８を設けて構成される。搬出手段３６では、搬出パッド３８によってチャックテーブル４２からウエーハＷが持ち上げられ、搬出アーム３７によって搬出パッド３８が旋回されることでチャックテーブル４２からウエーハＷが搬出される。

洗浄機構２６は、スピンナーテーブル２７に向けて洗浄水及び乾燥エアーを噴射する各種ノズル（不図示）を設けて構成される。洗浄機構２６では、ウエーハＷを保持したスピンナーテーブル２７が基台１１内に降下され、基台１１内で洗浄水が噴射されてウエーハＷがスピンナー洗浄された後、乾燥エアーが吹き付けられてウエーハＷが乾燥される。搬入手段３１及び搬出手段３６の後方には、４つのチャックテーブル４２が周方向に均等間隔で、回転可能に配置されたターンテーブル４１が設けられている。各チャックテーブル４２の上面には、ウエーハＷを保持する保持面４３が形成されている。

ターンテーブル４１が９０度間隔で間欠回転することで、ウエーハＷが搬入及び搬出される搬入出位置、粗研削手段４６に対峙する粗研削位置、仕上げ研削手段５１に対峙する仕上げ研削位置、研磨手段５６に対峙する研磨位置に順に位置付けられる。粗研削位置では、粗研削手段４６によってウエーハＷが所定の厚みまで粗研削される。仕上げ研削位置では、仕上げ研削手段５１によってウエーハＷが仕上げ厚みまで仕上げ研削される。研磨位置では、研磨手段５６によってウエーハＷが研磨される。ターンテーブル４１の周囲には、コラム１２、１３、１４が立設されている。

コラム１２には、粗研削手段４６を上下動させる駆動機構６１が設けられている。駆動機構６１は、コラム１２の前面に配置されたＺ軸方向に平行な一対のガイドレール６２と、一対のガイドレール６２にスライド可能に設置されたモータ駆動のＺ軸テーブル６３とを有している。Ｚ軸テーブル６３の前面には、ハウジング６４を介して粗研削手段４６が支持されている。Ｚ軸テーブル６３の背面側にはボールネジ６５が螺合されており、ボールネジ６５の一端には駆動モータ６６が連結されている。駆動モータ６６によってボールネジ６５が回転駆動され、粗研削手段４６がガイドレール６２に沿ってＺ軸方向に移動される。

同様に、コラム１３には、仕上げ研削手段５１を上下動させる駆動機構７１が設けられている。駆動機構７１は、コラム１３の前面に配置されたＺ軸方向に平行な一対のガイドレール７２と、一対のガイドレール７２にスライド可能に設置されたモータ駆動のＺ軸テーブル７３とを有している。Ｚ軸テーブル７３の前面には、ハウジング７４を介して仕上げ研削手段５１が支持されている。Ｚ軸テーブル７３の背面側にはボールネジ７５が螺合されており、ボールネジ７５の一端には駆動モータ７６が連結されている。駆動モータ７６によってボールネジ７５が回転駆動され、仕上げ研削手段５１がガイドレール７２に沿ってＺ軸方向に移動される。

粗研削手段４６のスピンドル４７の下端にはマウント４８が設けられ、マウント４８の下面に複数の粗研削砥石５０が環状に配設された粗研削用の研削ホイール４９が装着される。粗研削砥石５０は、例えば、ダイヤモンド砥粒をメタルボンドやレジンボンド等の結合剤で固めたダイヤモンド砥石で構成される。また、仕上げ研削手段５１のスピンドル５２の下端にはマウント５３が設けられ、マウント５３の下面に複数の仕上げ研削砥石５５が環状に配設された仕上げ研削用の研削ホイール５４が装着される。仕上げ研削砥石５５は、粗研削砥石５０よりも粒径が細かい砥粒で構成される。

コラム１４には、研磨手段５６をウエーハＷに対して所定の研磨位置に位置付ける駆動機構８１が設けられている。駆動機構８１は、コラム１４の前面に配置されたＹ軸方向に平行な一対のガイドレール８２と、一対のガイドレール８２にスライド可能に設置されたモータ駆動のＹ軸テーブル８３とを有している。また、駆動機構８１は、Ｙ軸テーブル８３の前面に配置されたＺ軸方向に平行な一対のガイドレール８４と、一対のガイドレール８４にスライド可能に設置されたモータ駆動のＺ軸テーブル８５とを有している。Ｚ軸テーブル８５の前面には、ハウジング８６を介して研磨手段５６が支持されている。

Ｙ軸テーブル８３、Ｚ軸テーブル８５の背面側にはボールネジ（不図示）が螺合されており、ボールネジの一端には駆動モータ８７、８８が連結されている。駆動モータ８７、８８によってボールネジが回転駆動され、研磨手段５６がガイドレール８２、８４に沿ってＹ軸方向及びＺ軸方向に移動される。スピンドルハウジングには、スピンドル９３の上下左右方向の動作に追従する筒状蛇腹カバー９１が設けられている。筒状蛇腹カバー９１の下端は、研磨位置のチャックテーブル４２を覆うケース９２に接続されている。筒状蛇腹カバー９１及びケース９２によって研磨加工の加工領域がカバーされている。

ケース９２は、直方体の箱状に形成されており、ケース９２の側面はターンテーブル４１の回転時にチャックテーブル４２が干渉しないように部分的に切り欠かれている。ケース９２の天面は、Ｙ軸方向を長軸とした長穴状に開口されている。ケース９２の長穴状の開口によって研磨手段５６のＹ軸方向の動作が許容される。筒状蛇腹カバー９１及びケース９２の内側では、スピンドル９３の下端にマウント９４（図５参照）が設けられ、マウント９４の下面に発泡材や繊維質等で形成された研磨パッド９５（図５参照）が装着されている。研磨パッド９５によるウエーハＷの研磨により、ウエーハＷに残された研削ダメージが除去される。

このような研削研磨装置１では、カセットＣ内からウエーハＷが位置決め機構２１に搬送されて、位置決め機構２１でウエーハＷがセンタリングされる。次に、チャックテーブル４２上にウエーハＷが搬入され、ターンテーブル４１の回転によってウエーハＷが粗研削位置、仕上げ研削位置、研磨位置の順に位置付けられる。粗研削位置ではウエーハＷが粗研削加工され、仕上げ研削位置ではウエーハＷが仕上げ研削加工され、研磨位置ではウエーハＷが研磨加工される。そして、洗浄機構２６でウエーハＷが洗浄され、洗浄機構２６からカセットＣへウエーハＷが搬出される。

ところで、筒状蛇腹カバー９１は、研磨手段５６の上下左右方向（Ｚ軸方向及びＹ軸方向）の動作に追従して変形可能に形成されている。筒状蛇腹カバー９１は、研磨手段５６の下方向の移動時には蛇腹を畳むように変形し、研磨手段５６の上方向の移動時には蛇腹を伸ばすように変形する。また、筒状蛇腹カバー９１は、研磨手段５６の左右方向の移動時には蛇腹を横にずらすように変形する。この研磨手段５６の左右方向の移動時には蛇腹の伸縮方向とは異なる方向に筒状蛇腹カバー９１が動かされるため、蛇腹の左右両側には突っ張りと弛みがアンバランスに生じる。

例えば、図２に示すように、一般的な筒状蛇腹カバー９１は、複数のリング９６が筒状の蛇腹布９７で平行に連結されている。研磨手段５６（図１参照）の右方向の移動時には、蛇腹布９７の右側に弛みが生じ、蛇腹布９７の左側に突っ張りが生じている。このとき、上下で隣り合う一対のリング９６には横ズレが生じており、この一対のリング９６の横ズレによって蛇腹布９７に引っ張り力が発生している。すなわち、上側のリング９６の右端側によって蛇腹布９７が研磨手段５６の移動方向である右側に引っ張られ、下側のリング９６の左端側によって蛇腹布９７が研磨手段５６の移動方向とは逆の左側に引っ張られている。

このため、上側のリング９６の右端側と蛇腹布９７の連結部分Ｐ１や、下側のリング９６の左端側と蛇腹布９７の連結部分Ｐ２に強い負荷が生じている。研磨手段５６の左右方向の移動が繰り返されると、リング９６と蛇腹布９７の連結部分Ｐ１、Ｐ２が疲労して、この連結部分Ｐ１、Ｐ２を起点として蛇腹布９７が破れ始めるおそれがある。また、研磨手段５６の左右方向の移動時には、蛇腹布９７に下側のリング９６から上側のリング９６に斜めに延びるシワ１０１が作られる。このため、研磨手段５６の左右方向の移動が繰り返されることで、蛇腹布９７の表面にクセが付いて外観性が悪化する。

そこで、本実施の形態では、上下に並んだ複数のリング９６の間に、それぞれゴム板９９（図３参照）を配設するようにしている。これにより、研磨手段５６（図１参照）の左右方向の動作時にはゴム板９９が伸長することで蛇腹布９７に生じる応力が分散される。蛇腹布９７の応力が分散されることで蛇腹布９７の突っ張りが大幅に緩和され、リング９６と蛇腹布９７の接続部分を起点に蛇腹布９７が破けることが防止される。また、蛇腹布９７のシワが抑えられるため、蛇腹布９７の表面にクセが付き難くなり、筒状蛇腹カバー９１の外観を良好な状態で維持することが可能になっている。

以下、図３を参照して、本実施の形態に係る筒状蛇腹カバーについて詳細に説明する。図３は、本実施の形態に係る筒状蛇腹カバーの側面図である。なお、図３Ａは蛇腹布に開口を形成した一例を示し、図３Ｂは蛇腹布に切り込みを形成した一例を示している。

図３Ａに示すように、筒状蛇腹カバー９１は、上下左右方向に動作する駆動機構８１（図１参照）の動作領域をカバーし、研磨手段５６（図１参照）の動作に追従して変形するように構成されている。なお、駆動機構８１の動作領域とは、研磨手段５６を上下左右に動作する領域である。筒状蛇腹カバー９１は、円リング状の上リング９６ａと長円リング状の下リング９６ｂとを筒状の蛇腹布９７で連結し、上リング９６ａと下リング９６ｂに平行な複数の補強リング９６ｃを蛇腹布９７に配設して蛇腹布９７を補強して形成される。これら複数のリング９６は、上から下に向かってリング径が大きくなるように並んでおり、互いに平行になるように蛇腹布９７に配設されている。

上リング９６ａは、円形リング状の金属板であり、スピンドル９３（図１参照）のハウジングに固定されている。下リング９６ｂは、長円リング状の金属板であり、長軸を左右方向（Ｙ軸方向）に向けた状態で、長穴を有するケース９２（図１参照）の天面に固定されている。複数の補強リング９６ｃは、長円リング状の金属ワイヤであり、長軸を左右方向に向けた状態で蛇腹布９７に配設されている。なお、複数のリング９６の材質は金属に限定されるものではなく、例えば、可撓性樹脂等で形成されてもよい。また、各リング９６は、板状に形成されてもよいし、ワイヤ状に形成されてもよい。

蛇腹布９７は、樹脂系シートで略円錐台筒状に形成されており、小径の上端に上リング９６ａが固定され、大径の下端に下リング９６ｂが固定されている。また、蛇腹布９７には、複数の補強リング９６ｃが等間隔に配設されており、複数の補強リング９６ｃによって蛇腹布９７の上下で隣り合うリング９６の間に弛みが作られている。蛇腹布９７の弛みによって複数のリング９６の水平方向の相対的な移動が許容される。また、蛇腹布９７には、上リング９６ａと下リング９６ｂの中心を結ぶ直線Ｃ上で、複数のリング９６のそれぞれのリング９６間の所定領域にゴム板９９が配設されている。

この場合、蛇腹布９７には、複数のリング９６のそれぞれの間に、破断部として四角形状の開口９８が形成されており、この開口９８を覆うように蛇腹布９７に四角形状のゴム板９９が取り付けられている。これにより、蛇腹布９７の所定領域がゴムで形成されることになり、蛇腹布９７が部分的に伸縮するように構成されている。また、開口９８及びゴム板９９は、左右方向に長く形成されており、蛇腹布９７の左右方向の可動範囲が広げられている。筒状蛇腹カバー９１は、駆動機構８１によって上下左右に動作されたときに、蛇腹布９７に配設されるゴム板９９が伸縮する事によって筒形状を維持させつつ動作領域を保護している。

このような筒状蛇腹カバー９１は、複数のリング９６が接近して蛇腹布９７が畳まれることで、研磨手段５６の下方向の移動に追従し、複数のリング９６が離間して蛇腹布９７が広げられることで、研磨手段５６の上方向の移動に追従する。また、複数のリング９６が横移動して蛇腹布９７が斜めになることで、研磨手段５６の左右方向の移動に追従する。研磨手段５６の上下方向の移動時には、軟質性のゴム板９９が筒状蛇腹カバー９１の変形を阻害することがなく、研磨手段５６の左右方向の移動時には、ゴム板９９の伸長によって蛇腹布９７に生じる突っ張りが緩和される。

なお、ゴム板９９は、左右方向に長い四角形状に限らず、左右方向を長軸とした楕円形状に形成されていてもよい。この場合、蛇腹布９７の破断部として四角形状の開口９８の代わりに楕円形状の開口９８を形成するようにしてもよい。また、蛇腹布９７の破断部として四角形状の開口９８の代わりに、図３Ｂに示すように、蛇腹布９７にＸ字状の切り込み１００を入れるようにしてもよい。切り込み１００を覆うようにゴム板９９を配設することで、四角形状の開口９８をゴム板９９で覆う構成と同様な効果を得ることが可能である。

図４を参照して、筒状蛇腹カバーの変形動作について説明する。図４は、本実施の形態に係る筒状蛇腹カバーの変形動作の説明図である。

図４Ａに示すように、下リング９６ｂの真上に上リング９６ａが位置付けられると、複数のリング９６の中心が上下一列に並べられる。複数のリング９６が離間して蛇腹布９７が広げられているが、蛇腹布９７の左右両側にバランス良く弛みが生じている。また、図４Ｂに示すように、この状態から上リング９６ａが真下に降ろされると、複数のリング９６が接近して蛇腹布９７が畳まれて、蛇腹布９７の弛みが大きくなる。このように、筒状蛇腹カバー９１が上下方向に動かされる場合には、蛇腹布９７に弛みが作られるため、蛇腹布９７が突っ張って破損することはない。

一方、図４Ｃに示すように、下リング９６ｂに対して上リング９６ａが左方向に移動されると、複数のリング９６の中心が斜めに並べられる。複数のリング９６が左寄りに位置付けられるため、蛇腹布９７の左側に弛みが生じると共に蛇腹布９７の右側に突っ張りが生じる。このとき、上下で隣り合う一対のリング９６のうち、上側のリング９６によって蛇腹布９７が左方向に引っ張られ、下側のリング９６によって蛇腹布９７が右方向に引っ張られている。蛇腹布９７にはゴム板９９が配設されているため、蛇腹布９７が引っ張られることでゴム板９９が左右方向に伸長する。

この場合、ゴム板９９の上側は左方向に引っ張られて伸長し、ゴム板９９の下側は右方向に引っ張られて伸長する。ゴム板９９が左右方向に伸長することで、引っ張り力によって蛇腹布９７に生じる応力がゴム板９９によって分散され、蛇腹布９７の突っ張りが大幅に緩和される。よって、筒状蛇腹カバー９１が左右方向に繰返し動かされても、複数のリング９６と蛇腹布９７の連結部分Ｐ３、Ｐ４に強い負荷がかかることがない。また、図４Ｄに示すように、この状態から上リング９６ａが真下に降ろされると、蛇腹布９７の左側の弛みが大きくなり、蛇腹布９７の右側が僅かに弛んで突っ張りが更に緩和される。

このように、駆動機構８１によって筒状蛇腹カバー９１が左右方向に動かされる場合であっても、蛇腹布９７の突っ張りがゴム板９９によって緩和されるため、蛇腹布９７が突っ張って破損することが防止される。また、蛇腹布９７の応力が分散されることで、蛇腹布９７のシワ（よじれ）が抑えられている。よって、蛇腹布９７の表面にクセが付き難くなり、筒状蛇腹カバー９１の外観が良好な状態で維持される。

ここで、図５を参照して、研磨手段による研磨動作について簡単に説明する。図５は、本実施の形態に係る研磨手段による研磨動作の説明図である。

図５Ａに示すように、チャックテーブル４２上のウエーハＷがターンテーブル４１（図１参照）の間欠回転によって、ケース９２内の研磨位置に位置付けられている。研磨位置では、研磨手段５６がチャックテーブル４２の上方に位置付けられ、ウエーハＷから研磨パッド９５が離間されている。また、研磨手段５６によって筒状蛇腹カバー９１が上方に引き上げられており、複数のリング９６が離間して蛇腹布９７が上下方向で広げられている。この初期状態では、蛇腹布９７に左右両側にバランス良く弛みが残されているため、蛇腹布９７に突っ張りが生じることがない。

図５Ｂに示すように、研磨パッド９５が回転された状態で、駆動機構８１によって研磨手段５６が下方向に移動されると、研磨パッド９５の研磨面がウエーハＷの被研磨面に接触される。また、研磨手段５６の下方向の移動に追従して筒状蛇腹カバー９１が縮められ、複数のリング９６が接近して蛇腹布９７が上下方向で畳まれる。研磨手段５６が真下に降ろされた状態では、蛇腹布９７の左右両側の弛みが大きくなるため、蛇腹布９７に突っ張りが生じることがない。この研磨パッド９５とウエーハＷが回転接触している状態で、駆動機構８１によって研磨手段５６が右方向に移動され始める。

図５Ｃに示すように、研磨手段５６の右方向の移動時には、蛇腹布９７の右側を弛ませると共に蛇腹布９７の左側に突っ張らせながら、筒状蛇腹カバー９１が研磨手段５６に追従する。このとき、蛇腹布９７には左右方向に引っ張り力が作用するが、この引っ張り力によって蛇腹布９７に生じる応力が蛇腹布９７のゴム板９９（図４参照）で分散される。これにより、蛇腹布９７の左側の突っ張りを緩和させることができ、蛇腹布９７の突っ張りによる破損が防止される。また、研磨終了後は、駆動機構８１によって研磨手段５６が上方向に移動された後、左右方向に移動されて初期状態に戻される。

以上のように、本実施の形態に係る筒状蛇腹カバー９１によれば、蛇腹布９７には上下で隣り合うリング９６の間の所定領域にゴム板９９が配設されている。駆動機構８１の左右方向の動作時には、ゴム板９９が伸長することで蛇腹布９７に生じる応力が分散され、蛇腹布９７の突っ張りが大幅に緩和される。よって、駆動機構８１が左右方向に繰返し動作しても、蛇腹布９７が突っ張ることによって破れることがない。また、伸縮可能なゴム板９９であるため、駆動機構８１の上下方向の移動時の筒状蛇腹カバー９１の伸縮変形がゴム板９９によって阻害されることがない。

なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。上記実施の形態において、添付図面に図示されている大きさや形状などについては、これに限定されず、本発明の効果を発揮する範囲内で適宜変更することが可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。

例えば、上記した実施の形態においては、研削研磨装置１に筒状蛇腹カバー９１を設ける構成にしたが、この構成に限定されない。筒状蛇腹カバー９１は、研磨専用の研磨装置に設けられてもよいし、その他、加工手段の動作領域のカバーが必要な加工装置に設けられてもよい。

また、上記した実施の形態においては、補強リング９６ｃが長円リング状に形成される構成にしたが、この構成に限定されない。補強リング９６ｃは、円形リング状に形成されていてもよい。

また、上記した実施の形態においては、蛇腹布９７に複数の補強リング９６ｃが平行に配設される構成にしたが、この構成に限定されない。補強リング９６ｃを螺旋状に形成して、蛇腹布９７に螺旋状の補強リング９６ｃが配設されてもよい。

また、上記した実施の形態においては、蛇腹布９７の破断部として開口９８及び切り込み１００を例示したが、この構成に限定されない。蛇腹布９７の破断部は、蛇腹布９７の応力を分散させるように形成されていれば、どのように形成されてもよい。

また、上記した実施の形態においては、蛇腹布９７のリング９６間の所定領域に破断部が形成される構成にしたが、この構成に限定されない。すなわち、蛇腹布９７のリング９６間の破断部が形成されていない所定領域にゴム板９９が配設されていてもよい。このような構成により、蛇腹布９７に破断部を備えた時の同様な効果が得られ、蛇腹布９７からゴム板９９が剥がれたとしても蛇腹布９７が破断することがない。この場合、蛇腹布９７の所定領域に弛みを持たせた状態でゴム板９９が配設されることが好ましい。

また、上記した実施の形態においては、複数のリング９６の間に、それぞれ１つのゴム板９９が配設される構成にしたが、この構成に限定されない。複数のリング９６の間には、それぞれ複数のゴム板９９が配設されてもよい。

以上説明したように、本発明は、蛇腹布が突っ張ることで破れることを防止できるという効果を有し、特に、研磨パッドの移動に追従して変形する筒状蛇腹カバーに有用である。

１ 研削研磨装置
８１ 駆動機構
９１ 筒状蛇腹カバー
９５ 研磨パッド
９６ａ 上リング
９６ｂ 下リング
９６ｃ 補強リング
９７ 蛇腹布
９８ 開口
９９ ゴム板
１０１ シワ

Claims (2)

1. 上下左右方向に動作する駆動機構の動作領域をカバーする筒状蛇腹カバーであって、
   円リング状の上リングと、長円リング状の下リングと、上下に配置される該上リングと該下リングとを連結する筒状の蛇腹布と、該上リングと該下リングと平行で上下に複数配設させ該蛇腹布を補強する補強リングと、を備え、
   該蛇腹布には、該上リングの中心と該下リングの中心とを結ぶ直線上で、該上リングと該補強リングと該下リングとのそれぞれのリングの間に、所定領域で配設されるゴム板を備え、
   該駆動機構で上下左右に動作したとき該蛇腹布に配設される該ゴム板が伸縮する事によって筒形状を維持させ該動作領域を保護する筒状蛇腹カバー。
2. 前記ゴム板は、前記所定領域に形成された破断部に配設される請求項１に記載の筒状蛇腹カバー。

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