JP7002291B2

JP7002291B2 - 研磨装置

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Publication number: JP7002291B2
Application number: JP2017213645A
Authority: JP
Inventors: 敏文松山; 舞羽田; 晋一藤澤; 純諏訪野; 愛実大和
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2017-11-06
Filing date: 2017-11-06
Publication date: 2022-01-20
Anticipated expiration: 2037-11-06
Also published as: JP2019084611A

Description

本発明は、ウェーハを研磨パッドで研磨加工する研磨装置に関する。

研磨パッドによりウェーハを研磨するウェーハの研磨加工においては、保持テーブルに保持されたウェーハの上面に対して垂直方向を軸とした回転軸の先端に装着した研磨パッドをウェーハに押し付けるとともに研磨パッドをウェーハの上面に対して平行な水平方向に移動させウェーハを研磨している。そのため、ウェーハの研磨加工中に発生する研磨屑を加工室内から飛散させないように加工室の上を覆う筒状蛇腹カバーが配設されている（例えば、下記の特許文献１を参照）。この筒状蛇腹カバーは、筒状の蛇腹布において複数のリングが平行に階段状に配設されており、蛇腹布の下端が加工室の開口の周縁に装着され、蛇腹布の上端が回転軸を回転自在に支持するスピンドルユニットに装着されて使用される。

特許第４４６４１１３号公報

ウェーハを研磨加工するときには、研磨パッドの下降動作に追従して筒状蛇腹カバーが垂直方向に縮んで複数のリングが接近し、この状態で研磨パッドを水平方向に移動させるため、縮んだ状態の筒状蛇腹カバーが水平方向にも変形する。また、筒状蛇腹カバーは、研磨パッドの研磨面をドレッシングする時にも上記同様に研磨パッドの垂直移動及び水平移動に追従して変形する。特に、研磨パッドの水平移動時には、接近した複数のリングが傾けられることから、リングとリングとの間で蛇腹布が擦れて破れる問題がある。蛇腹布が破れたら、新しい筒状蛇腹カバーに交換しているが、従来の筒状蛇腹カバー及び加工室の構成においては交換作業が簡単に行えないという問題がある。特殊な材質を用いれば蛇腹布の擦れを低減できるが、蛇腹布の破れ自体を防止することは困難であるし、特殊な材質を用いるため、筒状蛇腹カバーの製造コストが高価になる。

本発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので、安価な筒状蛇腹カバーで研磨屑の飛散を防止するとともに筒状蛇腹カバーの脱着を容易に行うことができるようにすることを目的としている。

本発明は、ウェーハを保持する保持面を有する保持テーブルと、スピンドルユニットが回転自在に支持する回転軸の先端に装着された研磨パッドにより保持テーブルが保持したウェーハを研磨する研磨手段と、該研磨手段を該保持面に対して垂直方向と水平方向とに移動させる移動機構と、該回転軸を貫通させ該研磨手段の水平移動を可能にする長円開口を有し該研磨パッドと該保持テーブルとを収容する加工室と、該移動機構で垂直方向と水平方向とに移動される該研磨手段と該加工室との間をカバーする筒状蛇腹カバーと、を備えた研磨装置であって、該加工室は、該長円開口から立ち上がった長円環立設部を備え、該筒状蛇腹カバーは、上端に形成された第１の開口の大きさを拡張および縮小させる上伸縮部と、下端に形成された第２の開口の大きさを拡張および縮小させる下伸縮部とを備え、該上伸縮部によって該第１の開口の大きさを拡張および縮小させ該スピンドルユニットの外側面に脱着するとともに、該下伸縮部によって該第２の開口の大きさを拡張および縮小させ該長円環立設部に脱着することにより、該研磨手段と該加工室との間で該該筒状蛇腹カバーの脱着を行うことを特徴とする。

本発明に係る研磨装置は、回転軸を貫通させ研磨手段の水平移動を可能にする長円開口を有し研磨パッドと保持テーブルとを収容する加工室と、移動機構で垂直方向と水平方向とに移動される研磨手段と加工室との間をカバーする筒状蛇腹カバーとを備え、加工室は、長円開口から立ち上がった長円環立設部を備え、筒状蛇腹カバーは、上端に形成された第１の開口の大きさを拡張および縮小させる上伸縮部と、筒下端に形成された第２の開口の大きさを拡張および縮小させる下伸縮部とを備えたため、上伸縮部を伸縮させるだけで第１の開口を拡張および縮小させることができ、下伸縮部を伸縮させるだけで第２の開口を拡張および縮小させることができ、研磨手段と加工室との間で筒状蛇腹カバーの脱着を容易に行うことができる。このように、筒状蛇腹カバーが安価で簡易な構造となっているため、筒状蛇腹カバーの交換を容易に行うことができ、作業時間を短縮することができる。また、研磨中は筒状蛇腹カバーによって常に研磨手段と加工室との間がカバーされているため、研磨が飛散するのを防止することができる。

加工装置の構成を示す斜視図である。筒状蛇腹カバーが研磨手段と加工室との間に装着される前の状態を示す分解斜視図である。研磨パッドが加工室の長円開口の上に位置づけられた状態を部分的に示す断面図である。研磨パッドが加工室の長円開口から加工室内に収容された状態を部分的に示す断面図である。加工室内で研磨パッドによってウェーハを研磨する状態を示す断面図である。加工室内でドレッシングユニットを用いて研磨パッドをドレスする状態を示す断面図である。筒状蛇腹カバーの変形例の構成を示す斜視図である。

図１に示す加工装置１は、被加工物であるウェーハＷに対して研削加工を行う研削装置２と、研削後のウェーハＷに対して研磨加工を行う研磨装置３とを含んで構成されている。加工装置１は、Ｙ軸方向に延在する装置ベース１０を有し、装置ベース１０の中央部には、回転可能なターンテーブル１１が配設されている。ターンテーブル１１の上には、ウェーハＷを保持し自転可能な保持テーブル１２が複数配設されている。保持テーブル１２の上面は、ウェーハＷを吸引保持する保持面１２０となっている。そして、ターンテーブル１１が回転することにより、保持テーブル１２を公転させることができる。

装置ベース１０のＹ軸方向前部には、ステージ１３ａ，１３ｂが取り付けられている。ステージ１３ａには加工前のウェーハＷが収容されたカセット１４ａが載置され、ステージ１３ｂには加工後のウェーハＷが収容されたカセット１４ｂが載置されている。カセット１４ａ，１４ｂに対面する位置には、カセット１４ａからのウェーハＷの搬出を行うとともにカセット１４ｂへのウェーハＷの搬入を行う搬出入手段１５が配設されている。搬出入手段１５の可動範囲には、ウェーハＷを仮置きするための仮置き手段１６と、加工後のウェーハＷに付着した加工屑を洗浄する洗浄手段１７とが配設されている。

仮置き手段１６の近傍には、仮置き手段１６に仮置きされた加工前のウェーハＷを保持テーブル１２に搬送する第１の搬送手段１８ａが配設されている。また、洗浄手段１７の近傍には、保持テーブル１２に保持された加工後のウェーハＷを洗浄手段１７に搬送する第２の搬送手段１８ｂが配設されている。

研削装置２は、装置ベース１０のＹ軸方向後部側に配置されている。研削装置２は、保持テーブル１２が保持したウェーハＷを粗研削する第１の研削手段２０ａと、第１の研削手段２０ａをＺ軸方向に研削送りする第１の研削送り手段２５ａと、粗研削後のウェーハＷを仕上げ研削する第２の研削手段２０ｂと、第２の研削手段２０ｂをＺ軸方向に研削送りする第２の研削送り手段２５ｂとを備えている。

第１の研削手段２０ａは、装置ベース１０のＹ軸方向端部に立設されたコラム１９ａにおいて第１の研削送り手段２５ａを介して配設されている。第１の研削手段２０ａは、Ｚ軸方向に軸心を有するスピンドル２１と、スピンドル２１の一端に接続されたモータ２２と、スピンドル２１の下端にマウントを介して装着された研削ホイール２３と、研削ホイール２５の下部に環状に固着された粗研削用の砥石２４ａとを備えている。第２の研削手段２０ｂは、仕上げ研削用の砥石２４ｂを備えた点以外は、第１の研削手段２０ａと同様の構成である。

第１の研削送り手段２５ａは、Ｚ軸方向に延在するボールネジ２６と、ボールネジ２６の一端に接続されたモータ２７と、ボールネジ２６と平行に延在する一対のガイドレール２８と、第１の研削手段２０ａに接続された昇降板２９とを備えている。昇降板２９の側部には一対のガイドレール２８が摺接するとともに昇降板２９の中央部に形成されたナットにボールネジ２６が螺合している。モータ２７がボールネジ２６を駆動することにより、昇降板２９とともに第１の研削手段２０ａをＺ軸方向に昇降させることができる。なお、第２の研削送り手段２５ｂは、第１の研削送り手段２５ａと同様の構成となっている。

研磨装置３は、装置ベース１０のＸ軸方向後部側で、第２の研削手段２０ｂと洗浄手段１７との間に配置されている。研磨装置３は、保持テーブル１２が保持した仕上げ研削後のウェーハＷを研磨する研磨手段３０と、研磨手段３０を保持テーブルの保持面１２０に対して垂直方向と水平方向とに移動させる移動機構と、後述する研磨手段３０の研磨パッド３６と保持テーブル１２とを収容する加工室６０と、研磨手段３０と加工室６０との間をカバーする筒状蛇腹カバー７０とを備えている。

研磨手段３０は、装置ベース１０のＸ軸方向端部に立設されたコラム１９ｃにおいて移動機構を介して配設されている。研磨手段３０は、Ｚ軸方向の軸心を有する図２に示す回転軸３１と、回転軸３１を回転自在に支持するスピンドルユニット３２と、スピンドルユニット３２を保持するホルダ３３と、回転軸３１に取り付けられたモータ３４と、回転軸３１の先端にマウントを介して着脱自在に装着された研磨ホイール３５と、研磨ホイール３５の下面に接着固定された研磨パッド３６とを備えている。そして、モータ３４により回転軸３１が回転することにより研磨パッド３６を所定の回転速度で回転させることができる。

移動機構は、研磨手段３０を保持テーブル１２の保持面１２０に対して垂直方向に移動させる昇降手段４０と、研磨手段３０を保持面１２０に対して水平方向に移動させる水平移動手段５０とを備えている。昇降手段４０は、Ｚ軸方向に延在するボールネジ４１と、ボールネジ４１の一端に接続されたモータ４２と、ボールネジ４１と平行に延在する一対のガイドレール４３と、一方の面にホルダ３３が連結された昇降板４４とを備えている。昇降板４４の他方の面には一対のガイドレール４３が摺接し、昇降板４４の中央に形成されたナットにはボールネジ４１が螺合している。モータ４２がボールネジ４１を駆動することにより、一対のガイドレール４３に沿って昇降板４４とともに研磨手段３０をＺ軸方向に垂直移動させることができる。

水平移動手段５０は、コラム１９ｃの前面に配設されＹ軸方向に延在するボールネジ５１と、ボールネジ５１の一端に接続されたモータ５２と、ボールネジ５１と平行に延在する一対のガイドレール５３と、一方の面に昇降手段４０を介して研磨手段３０が配設された移動板５４とを備えている。移動板５４の他方の面には一対のガイドレール５３が摺接し、移動板５４の中央に形成されたナットにはボールネジ５１が螺合している。モータ５２がボールネジ５１を駆動することにより、一対のガイドレール５３に沿って移動板５４とともに研磨手段３０をＹ軸方向に水平移動させることができる。

図２に示すように、加工室６０は、例えば直方体の箱状に形成されており、上板６０ａと底板６０ｂと側板６０ｃとにより囲繞され研磨加工が施される内部空間を有する。加工室６０の上板６０ａには、回転軸３１を貫通させ研磨手段３０の水平移動を可能にする長円開口６１が形成されている。長円開口６１のＸ軸方向の幅は、少なくとも研磨パッド３６が通過できる幅に設定されている。なお、加工室６０の側板６０ｃには、図示していないが、ターンテーブル１１の回転時に保持テーブル１２が接触しないように部分的に保持テーブル１２が通過可能な開口が形成されている。

また、加工室６０は、長円開口６１から立ち上がった長円環立設部６２を備えている。長円環立設部６２は、図３に示すように、例えば、断面略Ｌ字形状に形成されており、外壁６２ａと内壁６２ｂとを有している。長円環立設部６２は、外壁６２ａが長円開口６１側に向けられるとともに内壁６２ｂが外側に向けられ、長円開口６１の周縁に沿って上板６０ａの上に立設された構成となっており、長円環立設部６２の内壁６２ｂと上板６０ａとの間に溝６３が形成されている。この溝６３は、後述する筒状蛇腹カバー７０の筒下端を装着するための凹状の取り付け溝である。

筒状蛇腹カバー７０は、図２に示す研磨手段３０と加工室６０との間に装着され、移動機構（昇降手段４０及び水平移動手段５０）による研磨手段３０の垂直移動及び水平移動に追従して変形可能なカバー部材である。筒状蛇腹カバー７０は、筒状の蛇腹布７１と、蛇腹布７１の筒上端に形成された第１の開口７３の大きさを拡張および縮小させる上伸縮部７４と、蛇腹布７１の筒下端に形成された第２の開口７５の大きさを拡張および縮小させる下伸縮部７６とを備えている。第１の開口７３は、スピンドルユニット３２の外形に合わせて円形状に形成されている。また、第２の開口７５は、加工室６０の長円開口６１の形状に合わせて長円形状に形成されている。

蛇腹布７１の内側には、図３に示す複数のリング７２が上下方向に所定の間隔を設けて配設され、山谷形状に折り曲げられている。複数のリング７２の径は、蛇腹布７１の上方側から下方側にかけて段階的に大きく形成されており、リング７２の径に応じて蛇腹布７１も筒上端から筒下端にかけて拡がっている。蛇腹布７１の材質は特に限定されない。また、リング７２の材質についても特に限定されず、例えば、可撓性を有する合成樹脂製のワイヤーにより構成されている。

上伸縮部７４は、蛇腹布７１の筒上端に形成された伸縮部材である。上伸縮部７４を水平方向に伸縮させることにより、第１の開口７３を拡張させたり、第１の開口７３を縮小させたりすることができる。また、下伸縮部７６は、蛇腹布７１の筒下端に形成された伸縮部材である。下伸縮部７６を水平方向に伸縮させることにより、第２の開口７５を拡張させたり、第２の開口７５を縮小させたりすることができる。上伸縮部７４及び下伸縮部７６の材質は、伸縮性を有する部材であれば特に限定されず、例えば環状のゴムによって構成されている。上伸縮部７４及び下伸縮部７６がゴムからなる場合、蛇腹布７１の筒上端及び筒下端にそれぞれ上伸縮部７４及び下伸縮部７６を接着固定させた構成でもよい。

筒状蛇腹カバー７０を研磨手段３０と加工室６０との間に装着する場合は、図２に示すように、筒状蛇腹カバー７０を研磨手段３０のスピンドルユニット３２と加工室６０の長円開口６１との間に位置づける。続いて、例えば作業者の手で上伸縮部７４を把持して外側に拡げることにより第１の開口７３を少なくともスピンドルユニット３２の直径以上に拡張させ、拡がった第１の開口７３の内側にスピンドルユニット３２の下端を位置づける。この状態で、作業者が上伸縮部７４を離すと、上伸縮部７４が内側に収縮して第１の開口７３を縮小させることができる。その結果、図３に示すように、上伸縮部７４をスピンドルユニット３２の外側面３２０に装着することができる。

また、例えば作業者の手で下伸縮部７６を把持して外側に拡げることにより第２の開口７５を少なくとも長円環立設部６２よりも大きく拡張させ、拡がった第２の開口７５の内側に長円環立設部６２を位置づける。この状態で、作業者が下伸縮部７６を離すと、下伸縮部７６が内側に収縮して第２の開口７５を縮小させることができる。その結果、下伸縮部７６を長円環立設部６２の周囲、すなわち、溝６３に装着することができる。このようにして筒状蛇腹カバー７０を研磨手段３０と加工室６０との間に装着することにより、スピンドルユニット３２の下端側の周囲と加工室６０の長円開口６１とをカバーする。

一方、筒状蛇腹カバー７０を研磨手段３０と加工室６０との間から取り外す場合は、収縮した上伸縮部７４を作業者の手で把持して外側に拡げることにより第１の開口７３を少なくともスピンドルユニット３２の直径以上に拡張させてから、スピンドルユニット３２の下端から上伸縮部７４を取り外すとともに、収縮した下伸縮部７６を作業者の手で把持して外側に拡げることにより第２の開口７５を少なくとも長円環立設部６２よりも大きく拡張させてから、溝６３から下伸縮部７６を取り外せばよい。このように、筒状蛇腹カバー７０は、簡易な構造となっていることから、操作性に優れており、研磨手段３０と加工室６０との間での脱着（装着及び取り外し）を容易に行うことが可能となる。

次に、図１に示した加工装置１の動作例について説明する。ウェーハＷは、円形板状の被加工物の一例であり、その材質等が限定されるものではない。加工前のウェーハＷは、カセット１４ａに複数収容されている。搬出入手段１５は、カセット１４ａから加工前のウェーハＷを一枚取り出して仮置き手段１６に仮置きする。第１の搬送手段１８ａは、仮置き手段１６に仮置きされたウェーハＷを保持テーブル１２に搬送する。保持テーブル１２の保持面１２０でウェーハＷを保持したら、ターンテーブル１１が回転し、保持テーブル１２を第１の研削手段２０ａの下方に移動させる。第１の研削手段２０ａは、保持テーブル１２に保持されたウェーハＷに対し粗研削を行う。その後、ターンテーブル１１がさらに回転し、粗研削が施されたウェーハＷを保持した保持テーブル１２を第２の研削手段２０ｂの下方に移動させる。第２の研削手段２０ｂは、保持テーブル１２に保持されたウェーハＷに対して所定の厚みに達するまで仕上げ研削を行う。そして、仕上げ研削後、ターンテーブル１１がさらに回転し、仕上げ研削が施されたウェーハＷを保持した保持テーブル１２を加工室６０内に収容させる。

図４に示すように、保持テーブル１２が研磨手段３０の下方側に移動したら、保持テーブル１２を回転させつつ、回転軸３１が回転することにより研磨パッド３６を例えば矢印Ａ方向に回転させながら、図１に示した昇降手段４０によってスピンドルユニット３２を保持テーブル１２に対して垂直方向に下降させる。これにより、研磨パッド３６を長円開口６１から加工室６０の内部に進入させていき、回転する研磨パッド３６でウェーハＷを研磨する。このとき、スピンドルユニット３２の下降動作に追従して筒状蛇腹カバー７０が垂直方向に縮んで、複数のリング７２が接近した状態となる。

また、図５に示すように、ウェーハＷの研磨中は、水平移動手段５０が作動し、スピンドルユニット３２をＹ軸方向に水平移動させながら研磨パッド３６とウェーハＷとを相対的に摺動させて研磨を行う。このとき、縮んだ状態の筒状蛇腹カバー７０がスピンドルユニット３２の水平移動に追従して水平方向に変形する。ウェーハＷの研磨中は常に筒状蛇腹カバー７０によりスピンドルユニット３２の下端側の周囲と加工室６０の長円開口６１とがカバーされているため、加工室６０の室外に研磨屑が飛散することはない。

研磨終了後、図１に示したターンテーブル１１が回転して加工室６０の外側に保持テーブル１２を移動させる。そして、第２の搬送手段１８ｂにより、研磨後のウェーハＷを保持テーブル１２から洗浄手段１７に搬送する。ウェーハＷを洗浄後、搬出入手段１５により洗浄済みのウェーハＷをカセット１４ｂに収容する。

本実施形態に示す研磨装置３のように、図５に示す加工室６０の内部にドレッシングボード８１を有するドレッシングユニット８０が配設されている場合は、研磨パッド３６のドレッシングを定期的に実施するとよい。ドレッシングを実施するときは、水平移動手段５０が作動し、図６に示すように、スピンドルユニット３２をＹ軸方向にさらに水平移動させ、ドレッシングユニット８０の上方側にスピンドルユニット３２を位置づけ、研磨パッド３６を回転させながら研磨パッド３６の研磨面をドレッシングボード８１に押し当ててドレッシングする。ドレッシング中においても、筒状蛇腹カバー７０はスピンドルユニット３２の水平移動及び垂直移動に追従して変形する。

研磨パッド３６の研磨面をドレッシングして所望の面状態に調整したら、ドレッシングが終了する。ここで、研磨装置３を連続稼働させ、加工室６０において研磨及びドレッシングを繰り返し実施することで筒状蛇腹カバー７０が破れた場合、筒状蛇腹カバー７０の交換を行う。交換時には、上記した取り外し動作によって破れた筒状蛇腹カバー７０を研磨手段３０と加工室６０との間から取り外し、その後、上記した装着動作によって新たな筒状蛇腹カバー７０を研磨手段３０と加工室６０との間に装着すればよい。

このように、本発明に係る研磨装置３では、加工室６０が長円開口６１から立ち上がった長円環立設部６２を備え、筒状蛇腹カバー７０は、スピンドルユニット３２の外側面３２０に装着する筒上端に形成された第１の開口７３の大きさを拡張および縮小させる上伸縮部７４と、長円環立設部６２に装着する筒下端に形成された第２の開口７５の大きさを拡張および縮小させる下伸縮部７６とを備えたため、上伸縮部７４を伸縮させるだけで第１の開口７３を拡張および縮小させることができ、下伸縮部７６を伸縮させるだけで第２の開口７５を拡張および縮小させることができ、研磨手段３０と加工室６０との間で筒状蛇腹カバー７０の脱着を容易に行うことができる。本発明によれば、筒状蛇腹カバー７０が安価で簡易な構造となっているため、筒状蛇腹カバー７０の交換を容易に行うことができ、作業時間の短縮を図れる。また、研磨中は筒状蛇腹カバー７０によって常に研磨手段３０と加工室６０との間がカバーされているため、研磨屑が飛散するのを防止することができる。

図７に示す筒状蛇腹カバー９０は、上記研磨手段３０と上記加工室６０との間に装着される筒状蛇腹カバーの変形例である。筒状蛇腹カバー９０は、筒状の蛇腹布９１と、蛇腹布９１の筒上端に形成された第１の開口９３を囲繞する環状袋９２と、環状袋９２の内部に挿通された紐９４と、蛇腹布９１の筒下端に形成された第２の開口９６の大きさを拡張および縮小させる下伸縮部９５とを備えている。蛇腹布９１の内側には、図示してないが、複数のリングが上下方向に所定の間隔を設けて配設され、山谷形状に折り曲げられている。

図示の例における環状袋９２は、任意の位置で切断され、一対の紐通し口９２ａを有している。紐９４は、例えばゴム紐からなり、環状袋９２の内部に挿通されて一対の紐通し口９２ａから紐９４の端部が突出している。筒状蛇腹カバー９０では、環状袋９２内に紐９４が挿通された状態の蛇腹布９１の筒上端が第１の開口９３の大きさを拡張および縮小させる上伸縮部として機能する。すなわち、例えば作業者が環状袋９２を外側に拡げることにより第１の開口９３を拡張させたり、一対の紐通し口９２ａから突出した紐９４の両端を把持して引っ張ることにより第１の開口９３を縮小させたりすることができる。このように筒状蛇腹カバー９０の上伸縮部を操作することにより、スピンドルユニット３２の外側面３２０の周囲に蛇腹布９１の筒上端を装着したり取り外したりすることができる。下伸縮部９５は、上記筒状蛇腹カバー７０の下伸縮部７６と同様の構成としたが、これに限定されない。したがって、蛇腹布９１の筒下端にも環状袋を形成して、環状袋の内部に紐を挿通した構成にしてもよい。この場合においても、環状袋を外側に拡げたり紐を引っ張ったりすることで、加工室６０の長円環立設部６２に蛇腹布９１の筒下端を装着したり取り外したりすることができる。

なお、上記の研磨装置３は、加工装置１に含まれて構成されているが、本実施形態に示した構成に限られず、単体の研磨装置として構成してもよい。

１：加工装置１０：装置ベース１１：ターンテーブル１２：保持テーブル
１２０：保持面１３ａ，１３ｂ：ステージ１４ａ，１４ｂ：カセット
１５：搬入出手段１６：仮置き手段１７：洗浄手段１８ａ：第１の搬送手段
１８ｂ：第２の搬送手段１９ａ，１９ｂ，１９ｃ：コラム
２：研削装置２０ａ：第１の研削手段２０ｂ：第２の研削手段
２１：スピンドル２２：モータ２３：研削ホイール２４ａ，２４ｂ：研削砥石
２５ａ：第１の研削送り手段２５ｂ：第２の研削送り手段
２６：ボールネジ２７：モータ２８：ガイドレール２９：昇降板
３：研磨装置３０：研磨手段３１：回転軸３２：スピンドルユニット
３３：ホルダ３４：モータ３５：研磨ホイール３６：研磨パッド
４０：昇降手段４１：ボールネジ４２：モータ４３：ガイドレール４４：昇降板
５０：水平移動手段５１：ボールネジ５２：モータ５３：ガイドレール
５４：移動板
６０：加工室６１：長円開口６２：長円環立設部６３：溝
７０：筒状蛇腹カバー７１：蛇腹布７２：リング
７３：第１の開口７４：上伸縮部７５：第２の開口７６下伸縮部
８０：ドレッシングユニット８１：ドレッシングボード
９０：筒状蛇腹カバー９１：蛇腹布９２：環状袋９３：第１の開口
９４：紐９５：下伸縮部９６：第２の開口

Claims

ウェーハを保持する保持面を有する保持テーブルと、スピンドルユニットが回転自在に支持する回転軸の先端に装着された研磨パッドにより保持テーブルが保持したウェーハを研磨する研磨手段と、該研磨手段を該保持面に対して垂直方向と水平方向とに移動させる移動機構と、該回転軸を貫通させ該研磨手段の水平移動を可能にする長円開口を有し該研磨パッドと該保持テーブルとを収容する加工室と、該移動機構で垂直方向と水平方向とに移動される該研磨手段と該加工室との間をカバーする筒状蛇腹カバーと、を備えた研磨装置であって、
該加工室は、該長円開口から立ち上がった長円環立設部を備え、
該筒状蛇腹カバーは、上端に形成された第１の開口の大きさを拡張および縮小させる上伸縮部と、
下端に形成された第２の開口の大きさを拡張および縮小させる下伸縮部とを備え、
該上伸縮部によって該第１の開口の大きさを拡張および縮小させ該スピンドルユニットの外側面に脱着するとともに、該下伸縮部によって該第２の開口の大きさを拡張および縮小させ該長円環立設部に脱着することにより、該研磨手段と該加工室との間で該筒状蛇腹カバーの脱着を行うことを特徴とする研磨装置。