JP7232136B2

JP7232136B2 - 加工装置

Info

Publication number: JP7232136B2
Application number: JP2019117155A
Authority: JP
Inventors: 健太郎和田; 利康力石; 真人服部
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2019-06-25
Filing date: 2019-06-25
Publication date: 2023-03-02
Anticipated expiration: 2039-06-25
Also published as: JP2021003739A

Description

本発明は、チャックテーブルで保持された半導体ウェーハ等の被加工物を加工具で加工する加工装置に関し、特にチャックテーブルと加工具とを囲繞する加工カバーを備える加工装置に関する。

チャックテーブルに保持された被加工物を研削砥石で研削する研削装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、スピンドルの先端に装着され研削砥石を環状に配設した研削ホイールと、を収容する加工室を備えている。加工室は、上板と、底板と、上板及び底板を連結すると共にチャックテーブルと研削ホイールとを囲繞する側板と、を備えていて、上板には昇降する研削ホイールが出入り可能な開口が形成されている。

研削手段は、スピンドルを支持するハウジングとスピンドルを回転させるモータとを備えるスピンドルユニットと、スピンドルユニットを支持する支持手段とを備え、研削送り手段によってチャックテーブルに接近又は離間する方向（鉛直方向）に昇降可能となっている。ここで、研削送り手段で研削手段を昇降させた際に、加工室内に発生する研削水噴霧が加工室の開口から漏れ出るのを防止する必要があり、そのために、研削装置は、該開口の周囲を覆い研削手段の昇降方向に伸縮可能な筒状の蛇腹カバーを備えている（例えば、特許文献１参照）。そして、蛇腹カバーによって研削加工中に開口から研削屑を含んだ研削水噴霧が噴出しないようにしている。

特開２０１７－０８０８２３号公報

例えば、研削ホイールの交換時等においては、加工室の上板を開いて作業を行うことがある。そして、研削ホイールの交換では、研削手段を研削送り手段で上昇させ、研削手段に装着された蛇腹カバーを上側に引き上げて縮め、加工室の開口が開いた状態で作業が行われる。蛇腹カバーは、上記交換作業を実施している最中に縮められた状態を維持できるように、蛇腹カバーの上端側に配設される上環状プレートと、下端側に配設される下環状プレートとを磁石で磁着させている。

しかし、研削ホイールの交換作業等をしているときに、作業者の腕が蛇腹カバーに接触し磁着していた部分が外れ、蛇腹カバーは自重によって下方向に伸びてしまう場合がある。このように、交換作業中に蛇腹カバーが伸びてしまうと、研削ホイールを装着するマウントが蛇腹カバーで隠れてしまい作業者が作業できなくなるという問題がある。

よって、チャックテーブルと加工具とを囲繞可能な蛇腹カバー（伸縮カバー）を備える研削装置では、研削ホイールの交換作業等を行う際に蛇腹カバーが不慮に伸びてしまうことが無いようにするという課題がある。

上記課題を解決するための本発明は、保持面で被加工物を保持するチャックテーブルと、該保持面に保持された被加工物を加工具で加工する加工手段と、該保持面に垂直方向に該加工手段を昇降させる昇降手段と、少なくとも該チャックテーブルと該加工具とを囲繞する加工カバーと、を備える加工装置であって、該加工カバーは、該チャックテーブルを囲繞するケースと、該ケースの上に連結され該加工手段を該昇降手段によって昇降可能な状態で該加工具を囲繞し該加工手段の昇降に追従して伸縮可能な伸縮カバーと、を備え、該ケースは、該チャックテーブルを囲う側板と、該側板に連接される上板と、該上板に形成され該加工具が該ケース内に出入可能とする開口部と、を備え、該伸縮カバーは、該加工手段に連結する上連結部と、該開口部を囲むようにして該上板に連結又は離反可能な下連結部と、該上連結部と該下連結部とを接続する筒蛇腹と、該上板から離した該下連結部を上昇させ該上連結部に接近させ該筒蛇腹を縮めた状態で固定するロック機構と、を備え、該ロック機構は、該上連結部に配設される引っかけ部と、該下連結部に配設され該引っかけ部に引っかける引っかけ爪と、該下連結部に配設され該引っかけ爪を該引っかけ部に対して接近又は離反する方向に移動可能な移動機構と、を備え、該上板から離した該下連結部を上昇させ該上連結部に接近させ該筒蛇腹を縮め、該引っかけ部に該引っかけ爪を引っかけて、該筒蛇腹を縮めた状態で固定する加工装置である。

前記移動機構は、前記下連結部に配設され、前記筒蛇腹の外周の接線方向に延在する回転軸で前記引っかけ爪を回動可能に支持する回動支持部を備え、前記上板から離された該下連結部を上昇させ前記上連結部に接近させ該筒蛇腹を縮め、該引っかけ爪を前記引っかけ部に接近する方向に回動させ、該引っかけ部に該引っかけ爪を引っかけて、該筒蛇腹を縮めた状態で固定すると好ましい。

前記移動機構は、前記下連結部に配設され、水平方向に前記引っかけ爪を移動させるスライダを備え、前記上板から離された該下連結部を上昇させ前記上連結部に接近させ該筒蛇腹を縮め、該引っかけ爪を前記引っかけ部に接近する方向にスライドさせ、該引っかけ部に該引っかけ爪を引っかけて、該筒蛇腹を縮めた状態で固定すると好ましい。

本発明に係る加工装置は、前記引っかけ爪を前記引っかけ部から離れる方向に付勢する付勢部を備え、該付勢部の付勢力が作用する方向の反対方向に該引っかけ爪を移動させることで該引っかけ部に該引っかけ爪が引っかけられた状態から、前記下連結部を押し上げ縮められ固定された状態の前記筒蛇腹をさらに縮め該引っかけ爪を上昇させることで該引っかけ部から離された該引っかけ爪が該付勢部の付勢力によって該引っかけ部から遠ざかる方向に移動し、縮められた状態の該筒蛇腹の固定が解除されて該下連結部が前記上板に連結可能となると好ましい。

本発明に係る加工装置は、加工カバーは、チャックテーブルを囲繞するケースと、ケースの上に連結され加工手段を昇降手段によって昇降可能な状態で加工具を囲繞し、加工手段の昇降に追従して伸縮可能な伸縮カバーと、を備え、ケースは、チャックテーブルを囲う側板と、側板に連接される上板と、上板に形成され加工具がケース内に出入可能とする開口部と、を備え、伸縮カバーは、加工手段に連結する上連結部と、開口部を囲むようにして上板に連結又は離反可能な下連結部と、上連結部と下連結部とを接続する筒蛇腹と、上板から離した下連結部を上昇させ上連結部に接近させ筒蛇腹を縮めた状態で固定するロック機構と、を備え、ロック機構は、上連結部に配設される引っかけ部と、下連結部に配設され引っかけ部に引っかける引っかけ爪と、下連結部に配設され引っかけ爪を引っかけ部に対して接近又は離反する方向に移動可能な移動機構と、を備えることで、上板から離した下連結部を上昇させ上連結部に接近させ筒蛇腹を縮め、引っかけ部に引っかけ爪を引っかけて筒蛇腹を縮めた状態で固定することが可能となる。したがって、例えば作業者が固定された状態の伸縮カバーをさらに押し上げたりしない限り引っかけ爪は引っかけ部から外れることが無く、研削ホイールの交換やその他のメンテナンス作業中に作業者の腕等が伸縮カバーに接触しても引っかけ爪は外れず、伸縮カバーの横ずれ等も起きず、不慮に伸縮カバーが伸びてしまうことが無いため、伸びてしまった伸縮カバーによって研削ホイールの交換作業等ができなくなってしまうといった事態が生じるのを防ぐことができる。

移動機構は、下連結部に配設され、筒蛇腹の外周の接線方向に延在する回転軸で引っかけ爪を回動可能に支持する回動支持部を備え、上板から離された下連結部を上昇させ上連結部に接近させ筒蛇腹を縮め、引っかけ爪を引っかけ部に接近する方向に回動させ、引っかけ部に引っかけ爪を引っかけて、筒蛇腹を縮めた状態で固定することで、研削ホイールの交換やその他のメンテナンス作業中に作業者の腕等が伸縮カバーに接触しても引っかけ爪は外れず、伸縮カバーの横ずれ等も起きず、不慮に伸縮カバーが伸びてしまうことが無くなる。また、引っかけ爪の引っかけ部に対する引っかけも容易に行うことができる。

移動機構は、下連結部に配設され、水平方向に引っかけ爪を移動させるスライダを備え、上板から離された下連結部を上昇させ上連結部に接近させ筒蛇腹を縮め、引っかけ爪を引っかけ部に接近する方向にスライドさせ、引っかけ部に引っかけ爪を引っかけて、筒蛇腹を縮めた状態で固定することで、研削ホイールの交換やその他のメンテナンス作業中に作業者の腕等が伸縮カバーに接触しても引っかけ爪は外れず、伸縮カバーの横ずれ等も起きず、不慮に伸縮カバーが伸びてしまうことが無くなる。また、引っかけ爪の引っかけ部に対する引っかけも容易に行うことができる。

本発明に係る加工装置は、引っかけ爪を引っかけ部から離れる方向に付勢する付勢部を備え、付勢部の付勢力が作用する方向の反対方向に引っかけ爪を移動させることで引っかけ部に引っかけ爪が引っかけられた状態から、下連結部を押し上げ縮められ固定された状態の筒蛇腹をさらに縮め引っかけ爪を上昇させることで引っかけ部から離された引っかけ爪が付勢部の付勢力によって引っかけ部から遠ざかる方向に移動し、縮められた状態の筒蛇腹の固定が解除されて下連結部が上板に連結可能となることで、作業者が伸縮カバーを伸ばして上板に下連結部を連結したいときに容易に伸縮カバーを下方に伸ばすことが可能となる。

加工装置の一例を示す斜視図である。伸縮カバーが伸びた状態の加工カバーを説明する斜視図である。伸縮カバーが伸びた状態の加工カバーを説明する側面図である。上板から離された下連結部を上昇させ上連結部に接近させ筒蛇腹を縮め、引っかけ爪を引っかけ部に接近する方向に回動させ、引っかけ部に引っかけ爪を引っかけて、筒蛇腹を縮めた状態で固定する場合を説明する側面図である。伸縮カバーの筒蛇腹が縮められた状態で固定された加工カバーを説明する斜視図である。伸縮カバーが伸びた状態の加工カバーを説明する側面図である。上板から離された下連結部を上昇させ上連結部に接近させ筒蛇腹を縮め、引っかけ爪を引っかけ部に接近する方向にスライドさせ、引っかけ部に引っかけ爪を引っかけて、筒蛇腹を縮めた状態で固定する場合を説明する側面図である。

図１に示す本発明に係る加工装置１は、チャックテーブル３０上に保持された被加工物Ｗを加工手段１５によって研削する装置であり、加工装置１の装置ベース１０上の前方（－Ｙ方向側）は、チャックテーブル３０に対して被加工物Ｗの着脱が行われる着脱領域であり、装置ベース１０上の後方（＋Ｙ方向側）は、加工手段１５によってチャックテーブル３０上に保持された被加工物Ｗの研削加工が行われる加工領域である。
なお、本発明に係る加工装置は、加工装置１のような加工手段１５が１軸の研削装置に限定されるものではなく、少なくとも粗研削手段と仕上げ研削手段とを備え、回転するターンテーブルで被加工物Ｗを各研削手段の下方に位置づけ可能な２軸の研削装置等であってもよい。また、加工装置は、研磨パッドを備える加工手段で被加工物Ｗに研磨加工を施す研磨装置であってもよい。

加工装置１は、保持面３００ａで被加工物Ｗを保持するチャックテーブル３０と、保持面３００ａに保持された被加工物Ｗを加工具１５４で加工する加工手段１５と、保持面３００ａに垂直なＺ軸方向に加工手段１５を昇降させる昇降手段１６と、を備えている。

被加工物Ｗを保持するチャックテーブル３０は、例えば、その外形が円形状であり、ポーラス部材等からなり被加工物Ｗを吸着する吸着部３００と、吸着部３００を支持する枠体３０１とを備える。吸着部３００は図示しない吸引源に連通し、吸着部３００の露出面と枠体３０１の上面とからなる保持面３００ａ上で被加工物Ｗを吸引保持する。

図１に示すように、チャックテーブル３０は、カバー３９によって囲繞されていると共にＺ軸方向の回転軸を軸として回転可能である。また、チャックテーブル３０は、カバー３９及びカバー３９に連結された蛇腹カバー３９ａの下方に配設された図示しないＹ軸移動手段によって着脱領域と加工領域との間をＹ軸方向に往復移動可能となっている。

装置ベース１０上の後方（＋Ｙ方向側）にはコラム１１が立設されている。
コラム１１の前面には昇降手段１６が配設されており、昇降手段１６は、Ｚ軸方向の軸心を有するボールネジ１６０と、ボールネジ１６０と平行に配設された一対のガイドレール１６１と、ボールネジ１６０の上端に連結しボールネジ１６０を回動させるモータ１６２と、内部のナットがボールネジ１６０に螺合し側部がガイドレール１６１に摺接する昇降板１６３とを備えており、モータ１６２がボールネジ１６０を回動させると、これに伴い昇降板１６３がガイドレール１６１にガイドされてＺ軸方向に往復移動し、昇降板１６３に固定された加工手段１５がチャックテーブル３０の保持面３００ａに垂直なＺ軸方向に研削送りされる。

加工手段１５は、軸方向がＺ軸方向であるスピンドル１５０と、スピンドル１５０を回転可能に支持するハウジング１５１と、スピンドル１５０を回転駆動するモータ１５２と、スピンドル１５０の先端に連結された円形板状のマウント１５３と、マウント１５３の下面に装着された加工具１５４と、ハウジング１５１を支持し昇降手段１６の昇降板１６３にその側面が固定されたホルダ１５５と、を備える。
図１に示す加工具１５４は、ホイール基台の下面に略直方体形状の研削砥石が環状に複数配設された研削ホイールである。

加工装置１は、少なくともチャックテーブル３０と加工具１５４とを囲繞する加工カバー１２を備えている。加工カバー１２は、チャックテーブル３０を囲繞するケース２と、ケース２の上に連結され加工手段１５を昇降手段１６によって昇降可能な状態で加工具１５４を囲繞し加工手段１５の昇降に追従して伸縮可能な伸縮カバー４（図１には不図示、図２参照）と、を備えている。

図１に示す装置ベース１０上のコラム１１の前方かつ加工手段１５の下方となる位置には、例えば、箱状の外形を備えた上記ケース２が配設されている。ケース２は、例えば、装置ベース１０上に立設されチャックテーブル３０を囲う側板２０、側板２１、側板２２、及び側板２３と、側板２０～側板２３の上端に連接された上板２５とを備えている。

例えば、－Ｙ方向側に位置しケース２の前面となる側板２０は、その下部側が略矩形状に切り欠かれて搬入出口２００が形成されており、＋Ｙ方向に向かって移動するチャックテーブル３０がこの搬入出口２００を通過することで、チャックテーブル３０はケース２内に収容された状態になる。側板２０には、この搬入出口２００を開閉する図示しないシャッターが配設されており、該シャッターによって搬入出口２００から研削水噴霧がケース２外に飛散しないようになる。

上板２５の略中央部には、加工具１５４がケース２に出入可能とする開口部２６が形成されている。開口部２６は、例えば、加工具１５４及びマウント１５３よりも少し大径の円形に形成されている。

例えば、図１に示す上板２５は、第一の上板２５１と第二の上板２５２とからなり、第一の上板２５１は、ケース２内の上方の約半分を覆っており、その側端から中腹にかけて半円形状に切り欠かれている。また、第二の上板２５２は、その側端から中腹にかけて半円形状に切り欠かれており、図１に示すように上板２５が閉じた状態において、第一の上板２５１の半円形状の切り欠き部分及び第二の上板２５２の半円形状の切り欠き部分によって開口部２６が加工手段１５の直下に形成される。
第一の上板２５１は、図１に示すヒンジ２５３によって例えばその略半分が上側に回動して上板２５を開いた状態にすることができる。第一の上板２５１の上面には、例えば、作業者が掴む取っ手２５４が取り付けられている。

図２、３に示す伸縮カバー４は伸びた状態になっている。そして、図２、３に示す伸縮カバー４は、加工手段１５に連結する上連結部４０と、図１に示す開口部２６を囲むようにして上板２５に連結又は離反可能な下連結部４１と、上連結部４０と下連結部４１とを接続する筒蛇腹４２と、上板２５から離した下連結部４１を上昇させ上連結部４０に接近させ筒蛇腹４２を縮めた状態で固定するロック機構４３と、を備えている。

上連結部４０は、例えば、平面視略円環板状の外形を備えており、ＳＵＳ等の剛性を備える素材で構成されている。円環板状の上連結部４０は、その開口内に加工手段１５のハウジング１５１が挿入された状態でハウジング１５１の外側面に図示しないボルト等によって固定されている。

図３に示すように、上連結部４０の外周部分には、例えば、上連結部４０の円環板部４００から＋Ｚ方向に延びた後上連結部４０の径方向外側に水平に延在する上張り出し部４０１が２つ形成されており、上張り出し部４０１の上面に後述するロック機構４３の引っかけ部４３０が配設されている。

上連結部４０の下面には、上連結部４０の中心と筒蛇腹４２の中心とを略合致させた状態で筒蛇腹４２の上端側が固定されている。筒蛇腹４２は、樹脂等の伸縮部材で構成される円筒を山谷形状に折畳んで形成されている。例えば、筒蛇腹４２の各山部分には、ワイヤー等の図示しない補強リングが全周に渡って配設されていてもよい。
筒蛇腹４２の谷部分の径は、図１に示す加工具１５４及びマウント１５３が筒蛇腹４２内を昇降可能なように加工具１５４及びマウント１５３よりも大径となっている。

図３に示す開口部２６を囲むようにして上板２５に連結又は離反可能な下連結部４１は、例えば、中央に加工具１５４及びマウント１５３の昇降させるための開口を備えた平面視略円環板状に形成されている。下連結部４１は、例えば、ＳＵＳ等の剛性を備える素材で構成されており、下連結部４１の外周部分には、下連結部４１の円環板部４１０から＋Ｚ方向に延びた後下連結部４１の径方向外側に水平に延在する下張り出し部４１１が形成されている。そして、下張り出し部４１１の下面には、柱形状の磁石４１２が取り付けられている。

下連結部４１の図示しない開口の中心と筒蛇腹４２の中心とを略合致させた状態で、下連結部４１の上面の開口周囲に筒蛇腹４２の下端側が固定されている。下連結部４１の外径は、開口部２６の直径よりも大径となっており、下連結部４１の円環板部４１０の下面は、図３に示す円環状のパッキン４１４を介して上板２５の上面に接触する。パッキン４１４は、下連結部４１の下面と上板２５の上面との間の密閉性を向上させて、ケース２内に発生する研削水噴霧が下連結部４１の下面と上板２５の上面との間から漏れ出すのを防ぐ。

例えば、上板２５には、下連結部４１の下張り出し部４１１の下面に固定された柱形状の磁石４１２が磁着する磁着プレート２５５が２つ配設されている。伸びた状態の伸縮カバー４の下連結部４１が上板２５に連結された状態は、磁石４１２が磁着プレート２５５に磁着していることで維持され、作業者が下連結部４１を持ち上げたりしない限り、伸縮カバー４が横ずれしたり上板２５から離反してしまったりすることはない。

例えば、上板２５に配設された各磁着プレート２５５の近傍には、第一の上板２５１が開いた事を検知するインターロック機構２５７が配設されている。例えば、インターロック機構２５７は、磁石４１２と磁着プレート２５５との磁着を検知できる図示しない磁気型近接センサを備えている。磁気型近接センサは、磁石４１２が磁着プレート２５５に磁着して伸縮カバー４の下連結部４１が上板２５に連結された状態と下連結部４１が上板２５から離間した状態とを検知でき、スピンドル１５０が回転している際に、下連結部４１が上板２５から離れたらスピンドル１５０を停止させ作業者の安全を確保している。
なお、伸縮カバー４の下連結部４１が上板２５に連結された状態を検知するセンサは、磁気型近接センサに限定されるものではない。

（実施形態１の移動機構を備えるロック機構）
図２、３に示す上板２５から離した下連結部４１を上昇させ上連結部４０に接近させ筒蛇腹４２を縮めた状態で固定するロック機構４３は、上連結部４０に配設される引っかけ部４３０と、下連結部４１に配設され引っかけ部４３０に引っかける引っかけ爪４３１と、下連結部４１に配設され引っかけ爪４３１を引っかけ部４３０に対して接近又は離反する方向に移動可能な移動機構４６と、を備えている。
なお、図２、３に示す移動機構４６を実施形態１の移動機構とする。

引っかけ部４３０は、上連結部４０の上張り出し部４０１の上面に立設されており、例えば柱状の外形を備えている。引っかけ部４３０は、例えば、上連結部４０の周方向に等間隔空けて複数、図示の例においては１８０度空けて２つ配設されている。

例えば、下連結部４１の下張り出し部４１１上には、板状の取っ手板４１６が固定されており、取っ手板４１６上に、引っかけ爪４３１が移動機構４６を介して配設されている。引っかけ爪４３１の外形は、例えば側面視略Ｌ字の鉤状となっており、実施形態１の移動機構４６に根元部分が連結されている。図３に示すように、引っかけ爪４３１の上部側には、例えば引っかけ部４３０が挿入される大きさの挿入孔４３１ａが形成されている。また、引っかけ爪４３１の先端側は、作業者が引っかけ爪４３１を回動させる際に引っかけ爪４３１を把持しやすいように、くの字に折れ曲がっている。引っかけ爪４３１は、引っかけ部４３０に引っかけられていない状態において、取っ手板４１６上で横倒しになっている。

実施形態１の移動機構４６は、下連結部４１に配設され、筒蛇腹４２の外周の接線方向（図３においては、Ｘ軸方向）に延在する回転軸で引っかけ爪４３１を矢印Ｒ１方向に回動可能に支持する回動支持部４６０を備えている。回動支持部４６０は、例えば、ばね丁番であり、取っ手板４１６の内側端上面に取り付けられている。なお、回動支持部４６０は、ばねを備えない丁番であってもよい。

本実施形態における加工装置１において、図３に示すように、回動支持部４６０は、引っかけ爪４３１を引っかけ部４３０から離れる方向（紙面上から見て時計回り方向）に付勢する付勢部４６０としても働く。

以下に、図１に示すチャックテーブル３０に保持された被加工物Ｗを研削加工する場合の加工装置１の動作について説明する。図１に示す被加工物Ｗは、例えば、外形が円形の半導体ウェーハであり、図１において上側を向いている裏面Ｗｂが被研削面となる。図１において下側を向いている被加工物Ｗの表面Ｗａは、デバイスが形成されており、図示しない保護テープが貼着されて保護されている。

まず、被加工物Ｗはチャックテーブル３０の保持面３００ａに載置され吸引保持される。次いで、図示しないＹ軸移動手段が、被加工物Ｗを保持したチャックテーブル３０を＋Ｙ方向へ移動させる。また、ケース２の図示しないシャッターが開き、チャックテーブル３０が側板２０の搬入出口２００を通りケース２内に搬入された後、シャッターが閉じられる。

被加工物Ｗを保持したチャックテーブル３０が加工手段１５の下まで移動して、加工具１５４の回転中心が被加工物Ｗの回転中心に対して所定の距離だけ水平方向にずれ、研削砥石の回転軌道が被加工物Ｗの回転中心を通るように位置付けられる。

図１に示すモータ１５２によりスピンドル１５０が回転駆動されるのに伴って、加工具１５４が回転する。また、加工手段１５が図１に示す昇降手段１６により－Ｚ方向へと送られ、加工手段１５が上板２５の開口部２６を通りケース２内に進入していく。そして、回転する加工具１５４の研削砥石が被加工物Ｗの裏面Ｗｂに当接することで研削加工が行われる。また、チャックテーブル３０が回転することに伴い保持面３００ａ上に保持された被加工物Ｗも回転するので、被加工物Ｗの裏面Ｗｂの全面が研削される。研削加工中は、研削水を例えばスピンドル１５０中の流路を通して研削砥石と被加工物Ｗとの接触部位に対して供給して、接触部位を冷却・洗浄する。
被加工物Ｗが所望の厚さまで研削されると、加工手段１５が上昇して加工具１５４が被加工物Ｗの裏面Ｗｂから離間して、被加工物Ｗの研削加工が終了する。

上記のような研削加工中においては、図２、３に示すように、伸縮カバー４の筒蛇腹４２が伸びて下連結部４１が開口部２６を囲むようにして上板２５に連結される。即ち、下連結部４１の下面と上板２５の上面との間は、パッキン４１４によって密閉され、下連結部４１の下張り出し部４１１の下面に固定された柱形状の磁石４１２が上板２５上の磁着プレート２５５に磁着する。そして、伸縮カバー４によって、ケース２内に発生する研削水噴霧が開口部２６からケース２外へ飛散してしまうことが無いようになる。また、ハウジング１５１に取り付けられている伸縮カバー４の筒蛇腹４２は、図１に示す加工手段１５の下降に追従して縮むことができる。

上記のように被加工物Ｗに対して図１に示す加工具１５４で研削加工を施していくことで、加工具１５４は磨耗していくため、例えば、被加工物Ｗを複数枚研削した後に、作業者が加工具１５４を新しい物に交換する。以下、この場合における加工カバー１２の各構成の動作について説明していく。

例えば、図４、５に示すように、作業者が取っ手板４１６を掴んで下連結部４１を上側に持ち上げていくことで、磁石４１２と磁着プレート２５５との磁着が解除され、下連結部４１の上板２５との連結が解除される。そして、下連結部４１が上側に持ち上げられ上連結部４０に接近していくことで、筒蛇腹４２が縮められていく。

下連結部４１を所定の高さ位置まで持ち上げた後、図４に示すように、作業者が、付勢部４６０（回動支持部４６０）の反力に抗して、引っかけ爪４３１を紙面上から見て引っかけ部４３０に接近する反時計回り方向に回動させ、引っかけ爪４３１の挿入孔４３１ａに引っかけ部４３０を挿入することで、引っかけ爪４３１を引っかけ部４３０に引っかける。ばね丁番である付勢部４６０は、引っかけ爪４３１を紙面上から見て時計回り方向に回動させて戻そうとする付勢力を蓄える。

もう１つの引っかけ爪４３１も、上記のように引っかけ部４３０に引っかけることで、ロック機構４３によって下連結部４１を上連結部４０に接近させ筒蛇腹４２を縮めた状態で固定できる。即ち、図４に示すばね丁番である付勢部４６０は、引っかけ爪４３１を時計回り方向に回動させて戻そうとする付勢力を蓄えているので、作業者が取っ手板４１６を離すことで、筒蛇腹４２及び下連結部４１の重みが引っかけ爪４３１に掛かり、引っかけ爪４３１が挿入孔４３１ａに挿入されている状態の引っかけ部４３０から外れ無いようになる。

図４、５に示すように、下連結部４１と上板２５との連結が解除されたことによって、作業者が図５に示す取っ手２５４を把持して、閉じられた状態の第一の上板２５１を上側に引き上げてケース２の上板２５が開かれた状態にすることで、例えばケース２内に位置している加工具１５４が露出した状態になるため、作業者が加工具１５４にアクセスして新しいものと交換することができる。

上記のように、本発明に係る加工装置１は、加工カバー１２は、チャックテーブル３０を囲繞するケース２と、ケース２の上に連結され加工手段１５を昇降手段１６によって昇降可能な状態で加工具１５４を囲繞し、加工手段１５の昇降に追従して伸縮可能な伸縮カバー４と、を備え、ケース２は、チャックテーブル３０を囲う側板２０～２３と、側板２０～２３に連接される上板２５と、上板２５に形成され加工具１５４がケース２内に出入可能とする開口部２６と、を備え、伸縮カバー４は、加工手段１５に連結する上連結部４０と、開口部２６を囲むようにして上板２５に連結又は離反可能な下連結部４１と、上連結部４０と下連結部４１とを接続する筒蛇腹４２と、上板２５から離した下連結部４１を上昇させ上連結部４０に接近させ筒蛇腹４２を縮めた状態で固定するロック機構４３と、を備え、ロック機構４３は、上連結部４０に配設される引っかけ部４３０と、下連結部４１に配設され引っかけ部４３０に引っかける引っかけ爪４３１と、下連結部４１に配設され引っかけ爪４３１を引っかけ部４３０に対して接近又は離反する方向に移動可能な移動機構４６と、を備えることで、上板２５から離した下連結部４１を上昇させ上連結部４０に接近させ筒蛇腹４２を縮め、引っかけ部４３０に引っかけ爪４３１を引っかけて筒蛇腹４２を縮めた状態で固定することが可能となる。したがって、例えば作業者が固定された状態の伸縮カバー４をさらに押し上げたりしない限り引っかけ爪４３１は引っかけ部４３０から外れることが無く、加工具１５４の交換作業中に作業者の腕等が伸縮カバー４に接触しても引っかけ爪４３１は外れず、伸縮カバー４の横ずれ等も起きず、不慮に伸縮カバー４が伸びてしまうことが無いため、伸びてしまった伸縮カバー４によって加工具１５４の交換作業等ができなくなってしまうといった事態が生じるのを防ぐことができる。

実施形態１の移動機構４６は、下連結部４１に配設され、筒蛇腹４２の外周の接線方向に延在する回転軸で引っかけ爪４３１を回動可能に支持する回動支持部４６０を備え、上板２５から離された下連結部４１を上昇させ上連結部４０に接近させ筒蛇腹４２を縮め、引っかけ爪４３１を引っかけ部４３０に接近する方向に回動させ、引っかけ部４３０に引っかけ爪４３１を引っかけて、筒蛇腹４２を縮めた状態で固定することで、加工具１５４の交換作業中等に作業者の腕等が伸縮カバー４に接触しても引っかけ爪４３１は外れず、伸縮カバー４の横ずれ等も起きず、不慮に伸縮カバー４が伸びてしまうことが無くなる。また、作業者による引っかけ爪４３１の引っかけ部４３０に対する引っかけも容易に実施可能となる。

例えば、作業者が図１に示す加工手段１５の加工具１５４を新しいものに交換してから、図５に示す第一の上板２５１を閉じて、縮められた状態の筒蛇腹４２の固定を解除し下連結部４１を上板２５に連結させる場合について、以下に説明する。

図４、５に示す筒蛇腹４２が縮められ引っかけ部４３０に引っかけ爪４３１が引っかけられた状態の伸縮カバー４において、付勢部４６０は、引っかけ爪４３１を引っかけ部４３０から離れる方向（図４において、紙面上から見て時計回り方向）に付勢する付勢力を蓄えている。そこで、作業者が取っ手板４１６を掴んで下連結部４１を押し上げることによって、縮められ固定された状態の筒蛇腹４２をさらに縮め引っかけ爪４３１を上昇させることで、該付勢力によって引っかけ爪４３１の挿入孔４３１ａから引っかけ部４３０が抜けて、引っかけ爪４３１が引っかけ部４３０から離れる。

このように引っかけ部４３０から離された引っかけ爪４３１が、付勢部４６０の付勢力によって引っかけ部４３０から遠ざかる紙面上から見て時計回り方向に移動し元の位置まで戻る。そして、縮められた状態の筒蛇腹４２の固定が解除されて下連結部４１が上板２５に連結可能な状態になる。即ち、作業者が取っ手板４１６を掴んだ状態で下連結部４１を降下させていき、下連結部４１の下張り出し部４１１の下面に固定された磁石４１２を上板２５上の磁着プレート２５５に磁着させることができる。

上記のように本発明に係る加工装置１は、引っかけ爪４３１を引っかけ部４３０から離れる方向に付勢する付勢部４６０を備え、付勢部４６０の付勢力が作用する方向の反対方向に引っかけ爪４３１を移動させることで引っかけ部４３０に引っかけ爪４３１が引っかけられる。引っかけ部４３０に引っかけ爪４３１が引っかけられた状態から、下連結部４１を押し上げ縮められ固定された状態の筒蛇腹４２をさらに縮め引っかけ爪４３１を上昇させることで引っかけ部４３０から離された引っかけ爪４３１が付勢部４６０の付勢力によって引っかけ部４３０から遠ざかる方向に移動し、縮められた状態の筒蛇腹４２の固定が解除されて下連結部４１が上板２５に連結可能となる。即ち、作業者が伸縮カバー４を伸ばして上板２５に下連結部４１を連結したいときに容易に伸縮カバー４を下方に伸ばすことが可能となる。

（実施形態２の移動機構を備えるロック機構）
上板２５から離した下連結部４１を上昇させ上連結部４０に接近させ筒蛇腹４２を縮めた状態で固定するロック機構４３は、先に説明した移動機構４６に代えて、図６に示す下連結部４１に配設され引っかけ爪４３１を引っかけ部４３０に対して接近又は離反する下連結部４１の径方向に移動可能な移動機構４７を備えていてもよい。図６に示す移動機構４７を実施形態２の移動機構とする。

図６に示す加工カバー１２においては、伸縮カバー４の筒蛇腹４２が伸びて下連結部４１が開口部２６を囲むようにして閉じられた状態のケース２の上板２５に連結されている。即ち、下連結部４１の下面と上板２５の上面との間は、パッキン４１４によって密閉され、下連結部４１の下張り出し部４１１の下面に固定された磁石４１２が上板２５上の磁着プレート２５５に磁着している。そして、伸縮カバー４によって開口部２６からの研削水噴霧のケース２外への飛散が防止された状態で、図１に示す加工手段１５がチャックテーブル３０に保持された被加工物Ｗを研削可能となっている。

実施形態２の移動機構４７は、下連結部４１に配設され、水平方向に引っかけ爪４３１を移動させるスライダ４７０を備えている。例えば、下連結部４１の下張り出し部４１１上には取っ手板４１６が配設されており、取っ手板４１６上には下連結部４１の径方向に延在するガイドレール４７１が配設されている。そして、スライダ４７０は、ガイドレール４７１上を摺動可能となっている。
引っかけ爪４３１は、引っかけ部４３０が挿入される挿入孔４３１ａを上側にしてスライダ４７０上に立てられた状態で配設されている。

本実施形態における加工装置１は、引っかけ爪４３１を引っかけ部４３０から離れる方向（図６においては下連結部４１の径方向外側である＋Ｙ方向）に付勢する付勢部４８を備えている。付勢部４８は、例えば、引張コイルバネであるが伸縮するゴムベルト等であってもよい。
例えば、取っ手板４１６の外側端には＋Ｚ方向に延在する付勢部支持板４１９が取り付けられており、付勢部支持板４１９の内側面に付勢部４８の他端が連結されている。また、付勢部４８の一端は、引っかけ爪４３１に連結されている。
例えば、図６に示すように、ロック機構４３の非作動状態においては、引張コイルバネである付勢部４８は自然長となっており、下連結部４１の径方向において、引っかけ爪４３１は上昇した場合に上連結部４０の上張り出し部４０１に衝突しない位置に位置づけられている。

以下に、作業者が例えば図１に示す加工具１５４を交換する場合等において、図６に示す上板２５から離した下連結部４１を上昇させ上連結部４０に接近させ筒蛇腹４２を縮め、引っかけ部４３０に引っかけ爪４３１を引っかけて筒蛇腹４２を縮めた状態で固定する場合について説明する。

例えば、作業者が取っ手板４１６を掴んで下連結部４１を上側に持ち上げていくことで、磁石４１２と磁着プレート２５５との磁着が解除され、下連結部４１の上板２５との連結が解除される。また、下連結部４１が上側に持ち上げられ上連結部４０に接近していくことで、筒蛇腹４２が縮められていく。

作業者が、図７に示す引っかけ爪４３１の挿入孔４３１ａが引っかけ部４３０の上面よりも高くなる位置まで下連結部４１を持ち上げた後、付勢部４８の反力に抗して、スライダ４７０によって引っかけ爪４３１を引っかけ部４３０に接近する下連結部４１の径方向内側（－Ｙ方向）にスライドさせていき、引っかけ爪４３１の挿入孔４３１ａを引っかけ部４３０の上方に位置付ける。

次いで、作業者が下連結部４１を降下させて、引っかけ爪４３１の挿入孔４３１ａに引っかけ部４３０を挿入することで、引っかけ爪４３１を引っかけ部４３０に引っかける。引張コイルバネである付勢部４８は、引っかけ爪４３１を径方向外側（＋Ｙ方向側）に移動させて元の位置まで戻そうとする付勢力を蓄える。

もう１つの引っかけ爪４３１も、上記のように引っかけ部４３０に引っかけることで、図７に示すように、ロック機構４３によって下連結部４１を上連結部４０に接近させ筒蛇腹４２を縮めた状態で固定できる。
下連結部４１と上板２５との連結が解除されてから、作業者が図１に示す取っ手２５４を把持して、閉じられた状態の第一の上板２５１を上側に引き上げてケース２を開かれた状態にすることで、例えばケース２内にある加工具１５４が露出した状態になるため、作業者が加工具１５４にアクセスして新しいものと交換することができる。

図７に示すように、本発明に係る加工装置１は、加工具１５４の交換中等において、例えば作業者が固定された状態の伸縮カバー４をさらに押し上げたりしない限り引っかけ爪４３１は引っかけ部４３０から外れることが無く、加工具１５４の交換作業中に作業者の腕等が伸縮カバー４に接触しても引っかけ爪４３１は外れず、伸縮カバー４の横ずれ等も起きず、不慮に伸縮カバー４が伸びてしまうことが無いため、伸びてしまった伸縮カバー４によって加工具１５４の交換作業等ができなくなってしまうといった事態が生じるのを防ぐことができる。

図６、７に示す実施形態２の移動機構４７は、下連結部４１に配設され、水平方向に引っかけ爪４３１を移動させるスライダ４７０を備え、上板２５から離された下連結部４１を上昇させ上連結部に接近させ筒蛇腹４２を縮め、引っかけ爪４３１を引っかけ部４３０に接近する下連結部４１の径方向内側にスライドさせ、引っかけ部４３０に引っかけ爪４３１を引っかけて、筒蛇腹４２を縮めた状態で固定することで、加工具１５４の交換作業中等に作業者の腕等が伸縮カバー４に接触しても引っかけ爪４３１は外れず、伸縮カバー４の横ずれ等も起きず、不慮に伸縮カバー４が伸びてしまうことが無くなる。また、作業者が、引っかけ爪４３１の引っかけ部４３０に対する引っかけを容易に実施可能となる。

例えば、作業者が加工具１５４を新しいものに交換してから、図１、７に示す第一の上板２５１を閉じて、縮められた状態の図７に示す筒蛇腹４２の固定を解除し下連結部４１を上板２５に連結させる場合について説明する。

図７に示す筒蛇腹４２が縮められ引っかけ部４３０に引っかけ爪４３１が引っかけられた状態の伸縮カバー４において、付勢部４８は、引っかけ爪４３１を径方向外側に移動させて元の位置まで戻そうとする付勢力を蓄えている。そこで、作業者が取っ手板４１６を掴んで下連結部４１を押し上げることによって、縮められ固定された状態の筒蛇腹４２をさらに縮め引っかけ爪４３１を上昇させることで、引っかけ爪４３１の挿入孔４３１ａから引っかけ部４３０が抜けて引っかけ爪４３１が引っかけ部４３０から離れる。

このように引っかけ部４３０から離された引っかけ爪４３１が、付勢部４８の付勢力によって引っかけ部から遠ざかる径方向外側（図７に示す＋Ｙ方向側）に移動し元の位置まで戻る。そして、縮められた状態の筒蛇腹４２の固定が解除されて下連結部４１が上板２５に連結可能な状態になる。即ち、作業者が取っ手板４１６を掴んだ状態で下連結部４１を降下させていき、下連結部４１の下張り出し部４１１の下面に固定された磁石４１２を上板２５上の磁着プレート２５５に磁着させることができる。

上記のように本発明に係る加工装置１は、引っかけ爪４３１を引っかけ部４３０から離れる方向に付勢する付勢部４８を備え、付勢部４８の付勢力が作用する方向の反対方向に引っかけ爪４３１を移動させることで引っかけ部４３０に引っかけ爪４３１が引っかけられた状態から、下連結部４１を押し上げ縮められ固定された状態の筒蛇腹４２をさらに縮め引っかけ爪４３１を上昇させることで引っかけ部４３０から離された引っかけ爪４３１が付勢部４８の付勢力によって引っかけ部４３０から遠ざかる方向に移動し、縮められた状態の筒蛇腹４２の固定が解除されて下連結部４１が上板２５に連結可能となることで、作業者が伸縮カバー４を伸ばして上板２５に下連結部４１を連結したいときに、容易に伸縮カバー４を下方に伸ばすことが可能となる。

本発明に係る加工装置１は、上記実施形態に限定されるものではなく、その技術的思想の範囲内において種々異なる形態にて実施されてよいことは言うまでもない。また、添付図面に図示されている加工装置１の各構成の形状等についても、これに限定されず、本発明の効果を発揮できる範囲内で適宜変更可能である。

Ｗ：被加工物
１：加工装置１０：装置ベース１１：コラム
１６：昇降手段１５：加工手段１５０：スピンドル１５１：ハウジング１５２：モータ１５４：加工具
３０：チャックテーブル３００ａ：保持面３９：カバー３９ａ：蛇腹カバー
１２：加工カバー
２：ケース２０：側板２００：搬入出口２１～２３：側板
２５：上板２５１：第一の上板２５２：第二の上板２５３：ヒンジ２５４：取っ手
２５５：磁着プレート２５７：インターロック機構
２６：開口部
４：伸縮カバー
４０：上連結部４０１：上張り出し部
４１：下連結部４１０：円環板部４１１：下張り出し部４１２：磁石４１４：パッキン
４１６：取っ手板
４２：筒蛇腹
４３：ロック機構４３０：引っかけ部４３１：引っかけ爪４３１ａ：挿入孔
４６：移動機構４６０：回動支持部（付勢部）
４７：移動機構４７０：スライダ４７１：ガイドレール４８：付勢部

Claims

保持面で被加工物を保持するチャックテーブルと、該保持面に保持された被加工物を加工具で加工する加工手段と、該保持面に垂直方向に該加工手段を昇降させる昇降手段と、少なくとも該チャックテーブルと該加工具とを囲繞する加工カバーと、を備える加工装置であって、
該加工カバーは、該チャックテーブルを囲繞するケースと、該ケースの上に連結され該加工手段を該昇降手段によって昇降可能な状態で該加工具を囲繞し該加工手段の昇降に追従して伸縮可能な伸縮カバーと、を備え、
該ケースは、該チャックテーブルを囲う側板と、該側板に連接される上板と、該上板に形成され該加工具が該ケース内に出入可能とする開口部と、を備え、
該伸縮カバーは、該加工手段に連結する上連結部と、該開口部を囲むようにして該上板に連結又は離反可能な下連結部と、該上連結部と該下連結部とを接続する筒蛇腹と、該上板から離した該下連結部を上昇させ該上連結部に接近させ該筒蛇腹を縮めた状態で固定するロック機構と、を備え、
該ロック機構は、該上連結部に配設される引っかけ部と、該下連結部に配設され該引っかけ部に引っかける引っかけ爪と、該下連結部に配設され該引っかけ爪を該引っかけ部に対して接近又は離反する方向に移動可能な移動機構と、を備え、
該上板から離した該下連結部を上昇させ該上連結部に接近させ該筒蛇腹を縮め、該引っかけ部に該引っかけ爪を引っかけて、該筒蛇腹を縮めた状態で固定する加工装置。
前記移動機構は、前記下連結部に配設され、前記筒蛇腹の外周の接線方向に延在する回転軸で前記引っかけ爪を回動可能に支持する回動支持部を備え、
前記上板から離された該下連結部を上昇させ前記上連結部に接近させ該筒蛇腹を縮め、該引っかけ爪を前記引っかけ部に接近する方向に回動させ、該引っかけ部に該引っかけ爪を引っかけて、該筒蛇腹を縮めた状態で固定する請求項１記載の加工装置。
前記移動機構は、前記下連結部に配設され、水平方向に前記引っかけ爪を移動させるスライダを備え、前記上板から離された該下連結部を上昇させ前記上連結部に接近させ該筒蛇腹を縮め、該引っかけ爪を前記引っかけ部に接近する方向にスライドさせ、該引っかけ部に該引っかけ爪を引っかけて、該筒蛇腹を縮めた状態で固定する請求項１記載の加工装置。
前記引っかけ爪を前記引っかけ部から離れる方向に付勢する付勢部を備え、
該付勢部の付勢力が作用する方向の反対方向に該引っかけ爪を移動させることで該引っかけ部に該引っかけ爪が引っかけられた状態から、前記下連結部を押し上げ縮められ固定された状態の前記筒蛇腹をさらに縮め該引っかけ爪を上昇させることで該引っかけ部から離された該引っかけ爪が該付勢部の付勢力によって該引っかけ部から遠ざかる方向に移動し、縮められた状態の該筒蛇腹の固定が解除されて該下連結部が前記上板に連結可能となる請求項１記載の加工装置。