JP7841894B2 - 研削装置 - Google Patents

Description

本発明は、研削装置に関するものであり、特に、下面側に砥石部を有する研削ホイールを、円板状のスピンドルフランジに着脱自在に取り付け可能な研削装置に関するものである。

従来、半導体製造分野では、シリコンウエハ等の半導体ウエハ（以下、「ウエハ」という）を薄膜に形成するために、ウエハの裏面を研削する裏面研削が行われている（例えば、特許文献１参照）。

特許文献１には、スピンドルの先端に連結されたスピンドルフランジに、リング型砥石が取り付けられた研削装置が開示されている。リング型砥石は、スピンドルフランジに、図示しない１０本程度のボルトで締結されており、スピンドルフランジに対してリリース（解放）可能に構成されている。しかしながら、特許文献１に記載の研削装置では、作業員が１０本程度のボルトを手作業で締結することによって、リング型砥石がスピンドルフランジに取り付けられるため、リング型砥石の着脱作業が煩雑になりがちであった。

また、ボルトで締結されたリング型砥石は、研削ホイールをスピンドルフランジに装着するとき、作業者が研削装置の一部にリング型砥石を誤って衝突させて砥石部を傷める恐れや、装着作業に使用する工具を砥石部に誤って衝突させて研削ホイールを傷める恐れがあった。特に、近年では、砥石が微細化し、砥石の中には掴むだけで割れてしまうものも開発されており、砥石の保護は重要な課題になっている。

そこで、研削ホイールをスピンドルフランジに装着するときに研削ホイールの下部を保護する保持部材を利用しつつ、研削ホイールの他面側を円板状のスピンドルフランジに着脱可能に固定する研削装置が知られている（例えば、特許文献２参照）。

特許文献２に開示される研削装置の保持部材には、研削ホイールの自由端側を収容する収容凹部が設けられており、また収容凹部内に摩擦係数の大きな部材からなる吸盤等が設けられている。そして、研削ホイールをスピンドルフランジに取り付ける場合は、保持部材の収容凹部内に研削ホイールを収容し、研削ホイールの下面全体を外側から覆った状態にして、保持部材を研削ホイールに摩擦力で取り付ける。また、保持部材を研削ホイールに取り付けた状態で、研削ホイールの上面側をスピンドルフランジの下面側に一時的に固定をする。その後、研削ホイール及びホイールマウントとの間をボルト等の固定部材で確実に固定する。また、固定作業終了後は、研削ホイールから保持部材を取り外して、装着作業を終了する。

逆に、研削ホイールをスピンドルフランジから取り外す場合は、保持部材の収容凹部内に研削ホイールの自由端側を収容して、研削ホイールの下面全体を外側から覆った状態にし、保持部材を研削ホイールに取り付ける。また、保持部材を研削ホイールに取り付けた状態で、研削ホイールをスピンドルフランジの下面側から取り外す。取り外し終了後、研削ホイールと保持部材を一体化した状態で、所定の保管位置に配置しておくことにより、取り外し作業が完了する。

特開平１１―３０９６７３号公報 特開２００８－２０７２７７号公報

しかしながら、特許文献２に開示される研削装置の保持部材は、保持部材を研削ホイールに摩擦力で取り付けているので、保持部材と研削ホイールとの間の結合が不安定になり易く、研削ホイールのスピンドルフランジへの取り付け及び取り外し作業をしているときに、保持部材が研削ホイールから簡単に外れて保持部材を破損する恐れがある。また、保持部材が外れたままの状態で作業を進めて、砥石部を傷める恐れや、装着作業に使用する工具を砥石部に誤って衝突させて研削ホイールを傷める恐れがあった。さらに、特殊形状の砥石が必要になってしまい汎用品では使用できないという問題があった。

そこで、汎用品の下面側に砥石部を有する研削ホイールを円板状のスピンドルフランジに安全に着脱できる構造にした研削装置を提供するために解決すべき技術的課題が生じてくるのであり、本発明はこの課題を解決することを目的とする。

本発明は上記目的を達成するために提案されたものであり、請求項１に記載の発明は、ウエハを加工する研削装置であって、下面側に砥石を設けた研削ホイールと、前記研削ホイールを着脱可能に保持して前記研削ホイールと共に回転するスピンドルフランジと、前記下面側から前記研削ホイールの外側を覆って前記スピンドルフランジに取り付けられるホイールカバーと、第１の結合部と、前記第１の結合部と着脱可能な第２の結合部と、を備え、前記第１の結合部又は前記第２の結合部の一方を前記スピンドルフランジの軸中心に対応して設けるとともに、前記第１の結合部又は前記第２の結合部の他方を前記ホイールカバーの軸中心に対応して設けてなる着脱機構と、を備えている研削装置を提供する。

この構成によれば、研削ホイールの略軸中心とホイールカバーの略軸中心にそれぞれ設けられている着脱機構の第１の結合部と第２の結合部を互いに結合させると、ホイールカバーが、スピンドルフランジに研削ホイールの下面全体を外側から覆って、略ワンタッチで一時的に着脱可能に取り付けられる。その後、この状態で、研削ホイールをスピンドルフランジに本固定して取り付けると、研削ホイールの下側、すなわち砥石を設けている研削ホイールの外側をホイールカバーで覆って保護した状態で、研削ホイールをスピンドルフランジに本固定して取り付けることができる。また、研削ホイールをスピンドルフランジに本固定して取り付けた後は、着脱機構により、ホイールカバーをスピンドルフランジから略ワンタッチで取り外して、研削ホイールをスピンドルフランジの下面に露出させ、研削ホイールを使用した研削作業を行うことができる。反対に、研削ホイールをスピンドルフランジから取り外す場合は、スピンドルフランジとホイールカバーとの間に設けられている着脱機構の第１の結合部と第２の結合部を互いに結合させると、ホイールカバーをスピンドルフランジに、研削ホイールの下面全体を外側から覆って略ワンタッチで一時的に着脱可能に取り付けることができる。そして、このホイールカバーをスピンドルフランジに取り付けた状態で、研削ホイールをスピンドルフランジから取り外すと、砥石等をホイールカバーで保護した状態にして、研削ホイールをスピンドルフランジから取り外すことができる。

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の構成において、前記第１の結合部には、前記研削ホイールの回転軸線に沿って設けられ、下面側が開口する挿入穴が形成され、前記第２の結合部は、前記挿入穴に着脱可能に挿入される挿入ピンを備えている、研削装置を提供する。

この構成によれば、着脱機構の第１の結合部の挿入穴に第２の結合部の挿入ピンを挿入すると、第１の結合部と第２の結合部との間が着脱可能に連結され、スピンドルフランジにホイールカバーを略ワンタッチで取り付けることができる。反対に取り外す場合も、第１の結合部と第２の結合部との間の連結を瞬時に切り離して、研削ホイールからホイールカバーを略ワンタッチで取り外すことができる。

請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の構成において、前記挿入ピンは、外周面から略直角に突出しているラッチピンを備え、前記挿入穴は、前記挿入ピンを所定の位置まで挿入した状態で前記研削ホイールが前記回転軸線を中心として回転されると、前記ラッチピンが係合係止されるカムを備えている、研削装置を提供する。

この構成によれば、着脱機構の第１の結合部の挿入穴に第２の結合部の挿入ピンを所定の位置まで挿入して研削ホイールの回転軸線を中心として回転させると、挿入ピンの外周面から突出しているラッチピンが第２の結合部の挿入穴に設けているカムに係合係止されて、第１の結合部と第２の結合部との間が着脱可能に連結され、研削ホイールにホイールカバーを略ワンタッチで取り付けることができる。反対に取り外す場合も、第１の結合部を前とは逆の軸回り方向に回転させると、ラッチピンがカムから抜け出て、ラッチピンとカムとの係合が解除される。そして、第１の結合部と第２の結合部との間の連結を瞬時に切り離して、研削ホイールからホイールカバーを略ワンタッチで取り外すことができる。

請求項４に記載の発明は、請求項２に記載の構成において、前記挿入ピンは、前記第２の結合部の取付孔に挿入可能な外装部材と、前記外装部材内に、前記外装部材の軸中心上における連結位置と連結解除位置に択一的にスライド切り換え可能に設けられたピン状の操作部材と、前記操作部材の外径よりも小さな内径を有して、前記外装部材の前記軸中心と略同心上に設けられた伸縮可能なボールと、前記操作部材が前記連結解除位置に配置されたときに前記ボールに対応して前記ボールを受け入れる、前記操作部材の外周面上に形成された凹溝と、を備え、前記第１の結合部は、前記挿入穴の内周面に、前記ボールの外側部分を係止可能な位置決め溝を有し、前記ボールが前記凹溝内に受け入れられると、前記位置決め溝と前記ボールの前記外側部分との係合が解除される、研削装置を提供する。

この構成によれば、操作部材を連結解除位置にスライドさせて切り換えた状態で、着脱機構の第１の結合部の挿入穴に第２の結合部の挿入ピンを所定の位置まで挿入し、その挿入した位置で操作部材を連結位置にスライドさせて切り換えると、ボールの外側部分が外装部材の外周面から突出して第１の結合部の位置決め溝内に入る。そして、ボールと位置決め溝との係合を介して第１の結合部と第２の結合部との間が連結され、これによりホイールカバーを研削ホイールに略ワンタッチで取り付けることができる。反対に取り外す場合は、操作部材を連結位置から連結解除位置にスライドさせて切り換えると、操作部材の凹溝がボールと対応し、ボールが凹溝内に落ち込み縮径されて、ボールの外側部分が外装部材の内側に逃がされる。これにより、ボールと位置決め溝との係合が解かれ、第１の結合部と第２の結合部との間の連結が解かれて、第１の結合部と第２の結合部との間の連結を略ワンタッチで解除できる。これにより、ホイールカバーを研削ホイールから略ワンタッチで取り外すことができる。

請求項５に記載の発明は、請求項２から４のいずれか１項に記載の構成において、前記研削ホイール側に、前記着脱機構の周辺部分に流体を流して研削屑を排出する通路が設けられている、研削装置を提供する。

この構成によれば、互いに挿入連結される第１の結合部と第２の結合部を有する着脱機構の周辺部分に水またはエアなどの流体を流して、スピンドルフランジ周辺に存在する研削屑等を流して外部に排出する共に、第２の結合部内に入った研削屑を流して第２の結合部の挿入穴内における目詰まりをなくし、第１の結合部と第２の結合部との連結を確実に行うことができる。

請求項５に記載の発明は、請求項２から４のいずれか１項に記載の構成において、前記挿入穴にねじ部が設けられている、研削装置を提供する。

この構成によれば、挿入穴のねじ部に、例えばウエハを吸着保持するチャックテーブルの任意の位置の高さを計るダイヤルゲージ等を取り付けて測定することにより、チャックテーブルの平行度を測定することができる等、挿入穴のねじ部を使用して各種の調整部材を取り付けて地要請作業を行うことができる。

請求項６に記載の発明は、請求項１に記載の構成において、前記着脱機構は、前記第１の結合部と前記第２の結合部とにそれぞれ設けられて互いに磁力で結合可能な磁石結合手段である、研削装置を提供する。

この構成によれば、第１の結合部と第２の結合部を互いに近づけると磁石結合手段による磁気吸引により、第１の結合部と第２の結合部との間が着脱可能に連結され、これによりホイールカバーを研削ホイールに略ワンタッチで取り付けることができる。反対に取り外す場合は、磁石結合手段の磁気吸引力に抗して第１の結合部と第２の結合部との間を引き離すと、第１の結合部と第２の結合部の連結が外れ、研削ホイールからホイールカバーを略ワンタッチで取り外すことができる。なお、磁石結合手段で使用する磁石は、永久磁石であっても、電気で励磁する電磁石の、いずれであってもよい。電磁石の場合では、電磁石側のＮ－Ｓ極を反転させて、連結・解除の操作をワンタッチで行うことが可能になる。

本発明によれば、スピンドルフランジの略軸中心とホイールカバーの略軸中心にそれぞれ設けられている着脱機構の第１の結合部と第２の結合部を互いに挿入結合させると、ホイールカバーが研削ホイールの下面全体を外側から覆った状態で、スピンドルフランジに略ワンタッチで一時的に着脱可能に取り付けることができ、この状態で研削ホイールをスピンドルフランジに取り付けると、研削ホイールの下側、すなわち砥石部を設けている研削ホイールの外側をホイールカバーで覆って保護した状態で、研削ホイールをスピンドルフランジに取り付けることができる。
また、研削ホイールをスピンドルフランジに取り付けた後は、着脱機構により、スピンドルフランジからホイールカバーを略ワンタッチで取り外して、研削ホイールを使用した研削作業を行うことができる。
反対に、研削ホイールをスピンドルフランジから取り外す場合は、着脱機構の第１の結合部と第２の結合部を互いに挿入結合させると、ホイールカバーを研削ホイールに、研削ホイールの下面全体を外側から覆った状態にして、略ワンタッチで着脱可能に取り付けることができる。そして、このホイールカバーをスピンドルフランジに取り付けた状態で研削ホイールをスピンドルフランジから取り外し、更にホイールカバーをスピンドルフランジから外すと、砥石部等を保護した状態で研削ホイールをスピンドルフランジから取り外すことができる。
したがって、この着脱機構を有する構造をした研削装置では、下面側に砥石部を設けた研削ホイールを、円板状のスピンドルフランジに対して安全に着脱することができる。

本発明の実施の形態に係る半導体ウエハの研削装置を模式的に示した概略縦断面図であり、（ａ）は研削ホイールをスピンドルフランジに取り付ける前の状態を示している図、（ｂ）研削ホイールをスピンドルフランジに取り付けている途中の状態を示している図、（ｃ）は研削ホイールをスピンドルフランジに取り付けた後の状態を示している図である。 同上研削装置の要部拡大図であり、（ａ）はウエハの平面加工を行っている状態で示す縦断側面図、（ｂ）はインナープレートとスピンドルフランジとの間に流す水の流路を示す図、（ｃ）は水が雌部の挿入穴内に流れる流路を示す図である。 研削ホイールをスピンドルフランジに取り付ける動作を説明する図であり、（ａ）はホイールカバーに研削ホイールをセットした状態を示す図、（ｂ）はホイールカバーにセットした研削ホイールをスピンドルフランジにセットする前の図、（ｃ）は研削ホイールをスピンドルフランジに仮にセットした状態を示す図、（ｄ）は取付ボルトにより研削ホイールをスピンドルフランジに取り付けている途中の状態を部分的に拡大して示している図、（ｅ）は取付ボルトにより研削ホイールをスピンドルフランジに取り付け終えた図である。 研削ホイールをスピンドルフランジから取り外す動作を説明する図であり、（ａ）はスピンドルフランジに取り付けられている研削ホイールの下側にホイールカバーを配置した状態を示す図、（ｂ）は研削ホイールが取り付けられているスピンドルフランジに、研削ホイールの下側からホイールカバーを取り付けた状態を示す図、（ｃ）は研削ホイールをスピンドルフランジから取り外し、研削ホイールをホイールカバーで受けている状態を示す図、（ｄ）はスピンドルフランジからホイールカバーを研削ホイールと共に取り外した状態を示す図である。 スピンドルフランジの下面に取り付けた研削ホイールと研削ホイールから取り外されたホイールカバーを示す斜視図である。 同上研削装置で使用している着脱機構を示すもので、（ａ）は雄部のラッチピンが雌部の縦方向カムに対応している状態で雌部の下側から見た図、（ｂ）は雄部のラッチピンが円筒カム内に係合された途中の状態を示す図、（ｃ）は雄部のラッチピンが円筒カムの終端に係合された状態を示す図である。 同上研削装置で使用可能な着脱機構の一変形例を示す断面図である。 同上研削装置で使用可能な着脱機構の他の変形例を示す断面図である。 図８に示した着脱機構の動作説明図で、（ａ）は連結解除状態を示している図、（ｂ）は連結保持状態を示している図である。 スピンドルフランジの軸中心に対応して設けられた着脱機構に調整冶具を取り付けた状態を示している図である。

本発明は、下面側に砥石部を有する研削ホイールを円板状のスピンドルフランジに安全に着脱できる構造にした研削装置を提供するという目的を達成するために、ウエハを加工する研削装置であって、下面側に砥石を設けた研削ホイールと、前記研削ホイールを着脱可能に保持して前記研削ホイールと共に回転するスピンドルフランジと、前記下面側から前記研削ホイールの外側を覆って前記スピンドルフランジに取り付けられるホイールカバーと、第１の結合部と、第１の結合部と着脱可能な第２の結合部と、を備え、前記第１の結合部又は、前記第２の結合部の一方を前記スピンドルフランジの軸中心に対応して設けるとともに、前記第１の結合部又は前記第２の結合部の他方を前記ホイールカバーの軸中心に対応して設けてなる着脱機構と、を備えている構成にしたことにより実現した。

以下、本発明の実施形態に係る一実施例を添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下の実施例において、構成要素の数、数値、量、範囲等に言及する場合、特に明示した場合及び原理的に明らかに特定の数に限定される場合を除き、その特定の数に限定されるものではなく、特定の数以上でも以下でも構わない。

また、構成要素等の形状、位置関係に言及するときは、特に明示した場合及び原理的に明らかにそうでないと考えられる場合等を除き、実質的にその形状等に近似又は類似するもの等を含む。

また、図面は、特徴を分かり易くするために特徴的な部分を拡大する等して誇張する場合があり、構成要素の寸法比率等が実際と同じであるとは限らない。また、断面図では、構成要素の断面構造を分かり易くするために、一部の構成要素のハッチングを省略することがある。

また、以下の説明において、上下や左右等の方向を示す表現は、絶対的なものではなく、本発明の研削装置の各部が描かれている姿勢である場合に適切であるが、その姿勢が変化した場合には姿勢の変化に応じて変更して解釈されるべきものである。また、実施例の説明の全体を通じて同じ要素には同じ符号を付している。

図１から図６は、本発明の実施の形態に係るウエハの研削装置１０及びその要部構成を示す図である。以下、図１から図６を用いて研削装置１０の構成及び動作を説明する。

図１は、ウエハＷの研削装置１０を模式的に示している概略縦断面図であり、（ａ）は研削ホイール２２をスピンドルフランジ１７に取り付ける前の状態を示している図、（ｂ）研削ホイール２２をスピンドルフランジ１７に取り付けている途中の状態を示している図、（ｃ）は研削ホイール２２をスピンドルフランジ１７に取り付けた後の状態を示している図である。図２は、研削装置１０の要部拡大図であり、図３及び図４は研削ホイール２２の交換作業を説明する図を兼ねる研削装置１０における要部拡大図である。

研削装置１０は、平面研削装置であり、図１に示すように、主として装置本体１１、ケーシング１２、移動機構部１３、スピンドルケーシング１４、チャックテーブル１５、ターンテーブル１６等から構成されているとともに、研削ホイール２２の交換時に研削ホイール２２の砥石２２Ｂを保護するホイールカバー２４が用意されている。

ケーシング１２は、装置本体１１に立設され、その内部に図示しない昇降機構が配設されている。移動機構部１３は、ケーシング１２に対し図示しないガイドを介してＸ－Ｙ方向に移動自在に設けられると共に、ケーシング１２内に設けられた前記昇降機構に連結されている。したがって、移動機構部１３は、昇降機構を駆動することにより、上下方向に昇降移動することができる。

チャックテーブル１５は、ターンテーブル１６上に設置されている。チャックテーブル１５は、図示しない負圧源に接続されており、平面研削加工されるウエハＷが所定の位置に吸着保持され、吸着保持されたウエハＷは、ここで研削加工される。図２の（ａ）は、その切削加工時の一例を示している。

ターンテーブル１６は、図示しないモータの駆動によりチャックテーブル１５の軸中心回りに、チャックテーブル１５と共に回動する。

スピンドルケーシング１４は、移動機構部１３に回転可能に取り付けられており、移動機構部１３と共に上下方向に移動可能で、また図示しないモータの駆動力によってスピンドルケーシング１４の軸中心回りに回転する。図２に詳細に示すように、スピンドルケーシング１４の下面には、スピンドルケーシング１４と共に一体に回転する略円板状に形成されているスピンドルフランジ１７が連結固定されて設けられている。また、図２及び図３の（ｄ）に詳細に示すように、スピンドルフランジ１７の本体部１７Ａの下面には、外径が本体部１７Ａの外径よりも小さい円形をしている小径突出部１７Ｂが一体に設けられている。小径突出部１７Ｂの下面には、内周面に下方開口部から上方に進むに従って徐々に中心側に向かって傾斜している傾斜面１８を設けてなる逆摺鉢状をした凹部１９が形成されている。その凹部１９内には、インナープレート２０が配設されている。

インナープレート２０は、スピンドルフランジ１７の凹部１９内に収容可能な円板形状の部材であり、外周面には凹部１９の傾斜面１８に対応した傾斜面２０ａが設けられている。そして、インナープレート２０は、凹部１９内に収容されて、図示しないボルトでスピンドルフランジ１７の下側に取り付けられている。

また、スピンドルケーシング１４及びスピンドルフランジ１７の略軸中心には、水又はエアなどの流体１００を運ぶ流路２１が形成されている。流路２１は、用力から流体１００を取り入れる供給口２１ａと、供給口２１ａから取り入れた流体１００を外部に噴出させる、スピンドルフランジ１７とインナープレート２０との間に設けた吹出口２１ｂと、を有している。また、流路２１から流体１００の一部はスピンドルフランジ１７と研削ホイール２２との間に供給され、研削ホイール２２をスピンドルフランジ１７から取り外す際に、研削ホイール２２がスピンドルフランジ１７から引き離し、外し易くするのに使用される。

スピンドルフランジ１７の下面には、取付ボルト２３を用いて研削ホイール２２が着脱自在に取り付けられている。研削ホイール２２は、環状の台金部２２Ａと台金部２２Ａの下面に設置される砥石２２Ｂとを備えている。なお、図３及び図４に詳細に示すように、スピンドルフランジ１７の本体部１７Ａの外周端側には、取付ボルト２３が挿通される取付孔１７ｃが、外周面１７ｂに沿って略等間隔で複数設けられている。また、研削ホイール２２の台金部２２Ａの上面２２ｄには、取付ボルト２３がネジ止めされる取付ネジ穴２２ｆが、スピンドルフランジ１７における本体部１７Ａの取付孔１７ｃに対応して複数設けられている。したがって、スピンドルフランジ１７の下面に研削ホイール２２を取り付けるときは、図３の（ｃ）に示すように、スピンドルフランジ１７の取付孔１７ｃに研削ホイール２２の取付ネジ穴２２ｆを対応させて配置する。また、この状態で図３の（ｄ）に示すように、スピンドルフランジ１７の本体部１７Ａの上方から取付ボルト２３を、取付孔１７ｃを通って取付ネジ穴２２ｆにねじ込み、スピンドルフランジ１７の本体部１７Ａと研削ホイール２２の台金部２２Ａとの間を締め付けることにより、図３の（ｅ）に示すように、研削ホイール２２をスピンドルフランジ１７に着脱可能に固定することができる。

台金部２２Ａは、図５に示すように環状に形成されている。なお、図５は、スピンドルフランジ１７の下面に取り付けた研削ホイール２２と、研削ホイール２２から取り外されたホイールカバー２４を示している。また、台金部２２Ａの断面は、図３及び図４に、より詳細に示しているように、傾斜面２２ａと、内周面２２ｂと、外周面２２ｃと、上面２２ｄと、下面２２ｅとを有して、概略五角形の断面を呈している。台金部２２Ａの、内径はスピンドルフランジ１７の小径突出部１７Ｂの外径に略等しく、外径はスピンドルフランジ１７の本体部１７Ａの外径に略等しく形成されている。また、台金部２２Ａの厚み、すなわち外周面２２ｃの高さは、スピンドルフランジ１７の下面に設けられている凹部１９内に収容して取り付けたインナープレート２０の底面よりも大きく下方に突出した状態で設定されている。なお、インナープレート２０における傾斜面２０ａの傾斜角度は約３０度であり、内周面２２ｂから外周側に向かって下がるようにして傾斜している。

砥石２２Ｂは、図３の（ｄ）及び図５に、より詳細に示しているように、台金部２２Ａの下面２２ｅに、台金部２２Ａの外周に沿って複数設置されて台金部２２Ａと一体化され、リング型をした研削ホイール２２として形成されている。

そして、研削ホイール２２は、スピンドルフランジ１７に取り付けて使用されるとき、図１の（ｃ）及び図２の（ａ）等に示すように、砥石２２Ｂを下側に向け、かつ、台金部２２Ａの上面２２ｄをスピンドルフランジ１７の外周底面１７ａに密着当接させた状態で、取付ボルト２３を用いてスピンドルフランジ１７に固定して取り付けられる。また、この取付状態では、台金部２２Ａの内周面２２ｂとスピンドルフランジ１７における小径突出部１７Ｂの外周面１７ｂとの間も略密着当接した状態になる。

ホイールカバー２４は、ポリエチレンテレフタラート（ＰＥＴ）などの透明な樹脂材料で上面が開口された概略円形トレイ状に形成されている。図２から図５に示すように、ホイールカバー２４は、円板部２４Ａを有しており、円板部２４Ａの外周部には、円筒部２４Ｂが円板部２４Ａから上方に向かって一体に形成されている。円筒部２４Ｂの内径は、研削ホイール２２の台金部２２Ａの外周面２２ｃと略等しい。また、図３の（ｄ）に詳しく示しているように、円筒部２４Ｂの開口端には、円筒部２４Ｂ内に台金部２２Ａの受容を誘うための、下側から上側に向かって外側に開いている導入傾斜面２４ａが形成されている。

図３及び図４に詳しく示しているように、ホイールカバー２４の円板部２４Ａには、円筒部２４Ｂの内側において、上方に向かって突出されている環状凸部２４Ｃが円筒部２４Ｂの内周面に沿って、全周にわたって形成されている。環状凸部２４Ｃの高さは、図３の（ｄ）に示すように、円筒部２４Ｂの内周面が研削ホイール２２の台金部２２Ａの外周面の所定の位置と当接した時、環状凸部２４Ｃの頂部２４ｄが台金部２２Ａの傾斜面２２ａと当接し、研削ホイール２２とホイールカバー２４とが、互いに所定の関係位置に配置される。また、研削ホイール２２とホイールカバー２４とが互いに所定の位置関係に配置された状態では、研削ホイール２２の砥石２２Ｂの下側に環状凹部２４Ｄが形成され、この環状凹部２４Ｄにより砥石２２Ｂがホイールカバー２４と接触するのを避けるようにしている。

着脱機構２５は、スピンドルフランジ１７の軸中心と、スピンドルフランジ１７の軸中心に対応しているホイールカバー２４の略軸中心に設けられている。着脱機構２５は、第１の結合部としての雌部２５Ｂと第２の結合部としての雄部２５Ａとでなる。本実施例では、雄部２５Ａをホイールカバー２４における円板部２４Ａの略軸中心に、その軸中心に沿って設けている。一方、雌部２５Ｂは、図２から図５により詳しく示しているように、スピンドルフランジ１７側のインナープレート２０の略軸中心に、その軸中心に沿って設けている。また、図２に示すように、雌部２５Ｂの先端部分は、流路２１内に突出して取り付けられている。

雄部２５Ａは、ホイールカバー２４における円板部２４Ａの中心を上下に貫通して、ホイールカバー２４に回転可能に取り付けられている挿入ピン２６を有する。挿入ピン２６の先端側（上端側）には、挿入ピン２６の外周面から略直角に突出している左右１対のラッチピン２７が設けられている。一方、挿入ピン２６の基端（下端側）には、ホイールカバー２４の下側から挿入ピン２６を回転させるためのツマミ２８が設けられている。

雌部２５Ｂは、挿入ピン２６の挿入を受容する挿入穴３０を中心に有した筒状体であり、研削ホイール２２の回転軸線に沿って設けられている。また、図６により詳しく示しているように、挿入穴３０には、挿入ピン２６の挿入時に、ラッチピン２７を逃げる縦方向カム部３１Ａと、挿入ピン２６が挿入された所定の位置で、挿入ピン２６を軸回りに回転させると、ラッチピン２７が所定量回転するのを許容する円筒カム部３１Ｂが、縦方向カム部３１Ａと連続して、挿入穴３０の左右両側にそれぞれ挿入ピン２６の１対のラッチピン２７と対応して形成されている。なお、挿入穴３０内には、挿入ピン２６の挿入量を規制するためのストッパとしてのスプリングプランジャ２９が設けられている。

また、円筒カム部３１Ｂは、雌部２５Ｂの外周に開口されて、流路２１と連通されている。したがって、雌部２５Ｂの挿入穴３０内に雄部２５Ａの挿入ピン２６が挿入されてないとき、流路２１内に水またはエアなどの流体が送り込まれると、送り込まれた水またはエアなどの流体は、吹出口２１ｂから吹き出される図２の（ｂ）に示す水またはエアなどの流体だけでなしに、図２の（ｃ）に示すように、円筒カム部３１Ｂから挿入穴３０に入って下端より吹き出され、挿入穴３０内の塵等を排出する水またはエアなどの流体としても流れるようになっている。また、図６の（ｃ）に示すように、円筒カム部３１Ｂの外周方向終端には、雄部２５Ａのラッチピン２７が一時的に落ち込み、挿入ピン２６が不用意に円筒カム部３１Ｂの外周方向始端側（縦方向カム部３１Ａ側）に戻らないようにする係止凹部３１Ｃが設けられており、スプリングプランジャ２９が挿入ピン２６を下方向に付勢することによりラッチピン２７が係止凹部３１Ｃに押え付けられる。

次に、このように構成された着脱機構２５だけの動作を説明する。まず、ツマミ２８を掴んで、雄部２５Ａにおける挿入ピン２６のラッチピン２７を雌部２５Ｂの縦方向カム部３１Ａに対応させると、挿入穴３０内のスプリングプランジャ２９に挿入ピン２６の先端がぶつかる所定の位置まで、挿入穴３０内に挿入ピン２６を挿入させることができる。また、図６の（ａ）に示すように、挿入ピン２６を挿入穴３０の所定の位置まで挿入した状態で、挿入ピン２６を軸回りに右回転させると、図６の（ｂ）に示すように、ラッチピン２７が円筒カム部３１Ｂ内に入り込んで軸回りに回転される。また、円筒カム部３１Ｂの外周方向端まで回転されると、図６の（ｃ）に示すように、ラッチピン２７が係止凹部３１Ｃ内に一時的に落ち込み、挿入ピン２６が下端側に移動するのを規制し、かつ、ラッチピン２７が不用意に縦方向カム部３１Ａ側に戻らないように保持される。これにより、雄部２５Ａと雌部２５Ｂとの間が略ワンタッチで抜け止め結合される。

反対に、雄部２５Ａと雌部２５Ｂとの間が抜け止め結合された状態で、ツマミ２８を掴んで挿入ピン２６を左回転させると、ラッチピン２７が係止凹部３１Ｃ内から抜け出る。そして、ラッチピン２７を縦方向カム部３１Ａ内まで戻すと、ラッチピン２７と円筒カム部３１Ｂとの係合が解除され、この係合解除の際、挿入ピン２６をラッチピン２７と共に挿入穴３０内から引き抜いて、雄部２５Ａを雌部２５Ｂから略ワンタッチで取り外すことができる。したがって、この着脱機構２５では、略ワンタッチ操作で、雄部２５Ａと雌部２５Ｂとの間を結合・離脱操作することができる。

次に、上記着脱機構２５を備えた、研削装置１０における研削ホイール２２の取付作業の動作を、図３及び図４を用いて説明する。

まず、スピンドルフランジ１７に研削ホイール２２を取り付ける場合について、図３の（ａ）～（ｅ）及び図４の（ａ）を用いて説明する。

スピンドルフランジ１７に研削ホイール２２を取り付ける場合は、図３の（ａ）に示すように、円筒部２４Ｂの開口端を上側に向けて、配置されたホイールカバー２４内に、砥石２２Ｂを下側に向けて研削ホイール２２をゆっくりと落とし込む。研削ホイール２２が、円筒部２４Ｂ内に所定の位置まで落とし込まれると、研削ホイール２２の台金部２２Ａの傾斜面２２ａがホイールカバー２４の環状凸部２４Ｃに当接し、ホイールカバー２４内に研削ホイール２２が位置決めされる。図３の（ａ）は、この研削ホイール２２がホイールカバー２４内に位置決めされた状態を示す。また、研削ホイール２２がホイールカバー２４内に位置決めされた状態では、円筒部２４Ｂの内周面が台金部２２Ａの外周面２２ｃに当接し、砥石２２Ｂは環状凹部２４Ｄ内にホイールカバー２４と接触していない状態で保持される。

次いで、図３の（ｂ）に示すように、研削ホイール２２を内部に配置させたホイールカバー２４を研削ホイール２２と共に持ち上げる。そして、スピンドルフランジ１７側のインナープレート２０に取り付けられている着脱機構２５における雄部２５Ａのラッチピン２７を、同じく着脱機構２５における雌部２５Ｂの縦方向カム部３１Ａに対応させて、挿入ピン２６の先端が雌部２５Ｂのスプリングプランジャ２９とぶつかるまで、挿入ピン２６を挿入穴３０内に挿入させる。

また、挿入ピン２６の先端がスプリングプランジャ２９とぶつかる所定の位置まで、挿入ピン２６が挿入穴３０内に挿入されたら、作業者が手でツマミ２８を摘まんで、挿入ピン２６を軸回りに右回転させ、ラッチピン２７を円筒カム部３１Ｂ内に入り込ませる。また、ラッチピン２７が円筒カム部３１Ｂの外周方向終端に到達するまで挿入ピンを回転させると、ラッチピン２７が係止凹部３１Ｃ内に一時的に落ち込み、挿入ピン２６が下端側に移動するのを規制し、かつ、ラッチピン２７が不用意に縦方向カム部３１Ａ側に戻らないように保持される。これにより、雄部２５Ａと雌部２５Ｂとの間が略ワンタッチで抜け止め結合され、研削ホイール２２が、台金部２２Ａの上面２２ｄをスピンドルフランジ１７の外周底面１７ａに対向させた状態で、ホイールカバー２４と共に待機される。図３の（ｃ）はこの待機状態を示している。この待機状態でのスピンドルフランジ１７の外周底面１７ａと研削ホイール２２の上面２２ｄまでの距離は約８ミリである。

次いで、挿入ピン２６を中心にしてホイールカバー２４と共に研削ホイール２２を水平回転させ、スピンドルフランジ１７側の取付孔１７ｃと台金部２２Ａ側の取付ネジ穴２２ｆを上下で対応させる。そして、図３の（ｄ）に示すように、スピンドルフランジ１７の本体部１７Ａの上方から、取付孔１７ｃを通って取付ボルト２３を取付ネジ穴２２ｆにねじ込み、スピンドルフランジ１７の本体部１７Ａと研削ホイール２２の台金部２２Ａとの間を締め付ける。これにより、図３の（ｅ）に示すように、スピンドルフランジ１７の本体部１７Ａに研削ホイール２２が本固定される。

また、スピンドルフランジ１７の本体部１７Ａに対する研削ホイール２２の本固定が終了したら、ツマミ２８を掴んで挿入ピン２６を左回転させると、ラッチピン２７が係止凹部３１Ｃ内から抜け出る。そして、ラッチピン２７を縦方向カム部３１Ａ内まで戻すと、ラッチピン２７と円筒カム部３１Ｂとの係合が解除されて、挿入ピン２６をラッチピン２７と共に挿入穴３０内から引き抜いて、雄部２５Ａを雌部２５Ｂから略ワンタッチで取り外すことができる。これと同時にホイールカバー２４が研削ホイール２２の下方に移動され、図４の（ａ）に示すように、スピンドルフランジ１７に研削ホイール２２が取り付けたままの状態で、ホイールカバー２４だけをスピンドルフランジ１７側から略ワンタッチで取り外すことができる。そして、ホイールカバー２４を取り外すことにより研削ホイール２２をスピンドルフランジ１７の下面に露出させ、研削ホイール２２を使用した研削作業を行うことができる。

次に、スピンドルフランジ１７から研削ホイール２２を取り外す作業の動作を、図４の（ａ）～（ｄ）を用いて説明する。

スピンドルフランジ１７から研削ホイール２２を取り外す場合は、図４の（ａ）に示すように、取付ボルト２３でスピンドルフランジ１７に取り付けられている研削ホイール２２の下側から、着脱機構２５の雄部２５Ａを備えたホイールカバー２４を、円筒部２４Ｂの開口端を上側に向けて、研削ホイール２２に近づける。

さらに、スピンドルフランジ１７側のインナープレート２０に取り付けられている着脱機構２５における雄部２５Ａのラッチピン２７を、同じく着脱機構２５における雌部２５Ｂの縦方向カム部３１Ａに対応させ、更にスプリングプランジャ２９の下端に先端がぶつかるまで、挿入ピン２６を挿入穴３０内に挿入させる。

また、スプリングプランジャ２９の下端に挿入ピン２６の先端がぶつかるまで、挿入ピン２６が挿入穴３０内に挿入されたら、作業者が挿入ピン２６のツマミ２８を手で掴んで、その挿入ピン２６を軸回りに右回転させ、ラッチピン２７を円筒カム部３１Ｂ内に入り込ませる。そして、ラッチピン２７が円筒カム部３１Ｂの外周方向終端に移動するまで挿入ピン２６を回転させると、ラッチピン２７が係止凹部３１Ｃ内に一時的に落ち込む。そして、挿入ピン２６が下端側に移動するのを円筒カム部３１Ｂとラッチピン２７との係合係止により規制されるとともに、ラッチピン２７が縦方向カム部３１Ａ側に不用意に戻らないように保持される。よって、雄部２５Ａと雌部２５Ｂとの間が略ワンタッチで抜け止め結合され、ホイールカバー２４がスピンドルフランジ１７側に一時的に固定される。また、ホイールカバー２４の円筒部２４Ｂの内周面が台金部２２Ａの外周面２２ｃに当接された状態になる。図４の（ｂ）は、この状態を示している。

また、ホイールカバー２４がスピンドルフランジ１７側に取り付けられたら、研削ホイール２２の台金部２２Ａの取付ネジ穴２２ｆに取り付けられていた取付ボルト２３を全て外す。すると、研削ホイール２２がスピンドルフランジ１７から切り離されて、ホイールカバー２４の円筒部２４Ｂ内に落とされる。その際、流路２１から水またはエアなどの流体１００をスピンドルフランジ１７と研削ホイール２２との間に供給し、研削ホイール２２がスピンドルフランジ１７から引き離す力を付与する。そして、研削ホイール２２がスピンドルフランジ１７から引き離された後は、ホイールカバー２４の円筒部２４Ｂの内周面が台金部２２Ａの外周面２２ｃに当接する。また、台金部２２Ａの傾斜面２２ａが環状凸部２４Ｃと当接位置決めされ、砥石２２Ｂが環状凹部２４Ｄ内にホイールカバー２４と接触していない状態で保持される。図４の（ｃ）は、この状態を示している。

次いで、作業者がツマミ２８を手で掴んで挿入ピン２６を左回転させると、ラッチピン２７が係止凹部３１Ｃ内から抜け出る。そして、ラッチピン２７を縦方向カム部３１Ａ内まで戻すと、ラッチピン２７と円筒カム部３１Ｂとの係合が解除され、挿入ピン２６をラッチピン２７と共に挿入穴３０内から引き抜いて雄部２５Ａを雌部２５Ｂから略ワンタッチで取り外すことができる。これと同時にホイールカバー２４も研削ホイール２２と共に下方に移動され、図４の（ｄ）に示すように、研削ホイール２２をホイールカバー２４内に収容した状態で、ホイールカバー２４と研削ホイール２２を、スピンドルフランジ１７側から略ワンタッチで取り外すことができる。

これにより、この着脱機構２５を有する構造をした研削装置１０では、下面側に砥石２２Ｂを有する研削ホイール２２を、円板状のスピンドルフランジ１７に対して安全に着脱することができる。

また研削ホイール２２側において、研削ホイール２２をスピンドルフランジ１７から取り外す際に使用した水またはエアなどの流体と同じ水またはエアなどの流体１００を、流路２１から着脱機構２５の周辺部分に流す。この流路２１は、研削屑を排出する水またはエアなどの流体通路としても使用しているので、そのスピンドルフランジ１７の上面に流す水またはエアなどの流体により、スピンドルフランジ１７の上面に付着している研削屑等を外部に排出できると共に、雌部２５Ｂの挿入穴３０内に入った研削屑を外部に流して排出し、雌部２５Ｂの挿入穴３０内における目詰まりをなくすことができる。これにより、雌部２５Ｂの挿入穴３０に、雄部２５Ａの挿入ピン２６をスムーズに挿入でき、雄部２５Ａと雌部２５Ｂとの連結を確実に行うことができる。なお、着脱機構２５の周辺部分に、水またはエアなどの流体を流して研削屑を排出する通路としての流路２１に変えて、着脱機構２５の周辺部分に水（純水）を流して研削屑を排出する通路としてもよい。

また、上記実施例では、着脱機構２５の雄部２５Ａをホイールカバー２４側に設け、雌部２５Ｂをスピンドルフランジ１７側に設けた構造を開示したが、反対に、雌部２５Ｂをホイールカバー２４側に設け、雄部２５Ａをスピンドルフランジ１７側に設けた構造としてもよい。なお、図７及び図８において、図１から図６と同じ符号を付した部材は、図１から図６に対応する部材である。

また、着脱機構２５の雄部２５Ａと雌部２５Ｂとの着脱を可能にする連結構造としては、例えば図７及び図８に示すような連結構造を採用することも可能である。

図７に示す着脱機構２５は、図１から図６に示した着脱機構２５に変えて研削装置１０に使用可能な着脱機構２５の一変形例を示すものである。図７に示す着脱機構２５は、第２の結合部である雄部２５Ａにおける挿入ピン２６の先端部分に鉄片３２Ａを設けるとともに、第１の結合部である雌部２５Ｂにおける挿入穴３０の突き当たりの壁に、挿入ピン２６の鉄片３２Ａを磁気吸引する永久磁石３２Ｂを設けた磁石結合手段３２を備えたものである。

図７に示す着脱機構２５の構造では、挿入穴３０に挿入ピン２６を挿入させると、永久磁石３２Ｂが、磁束力で鉄片３２Ａを磁気気吸引して、雌部２５Ｂと雄部２５Ａとの間を略ワンタッチで着脱可能に連結することができる。また、雌部２５Ｂと雄部２５Ａとの間を切り離す場合は、鉄片３２Ａと永久磁石３２Ｂとの間を磁束の吸引力に抗して引き離すことにより連結を容易に断つことができる。

なお、磁石結合手段３２として、鉄片３２Ａを永久磁石にし、また永久磁石３２Ｂを電磁石等に変えた構造にして、連結状態を作る場合は、互いに向かい合う極をＮ極とＳ極の異極にし、連結状態を解除する場合には、互いに向かい合う極をＮ極とＮ極又はＳ極とＳ極の同極にして反発させるようにすると、瞬時に結合を解除することも可能である。

図８に示す着脱機構２５は、図１から図６に示した着脱機構２５に変えて研削装置１０に使用可能な着脱機構２５の更に他の変形例を示すものである。また、図９は図８に示す着脱機構２５の動作の一例を示した図である。

図８及び図９において、着脱機構２５は、第２の結合部としての雄部２５Ａにおける挿入ピン２６の中心に、挿入ピン２６に対して軸方向にスライド可能な断面円形をしたピン状の操作部材３３を設けたものである。ここでの挿入ピン２６は、第１の結合部としての雌部２５Ｂの挿入穴３０に挿入される、挿入ピン２６の外形を形成している、ピン状をした外装部材３４を有している。外装部材３４の内部には、操作部材３３の主軸３３Ａを収容する収容空間３５と、操作部材３３の位置規制部３３Ｂを収容する位置規制空間３６と、が一体的に、軸方向に沿って設けられている。また、位置規制空間３６は、外装部材３４の下面に開口している開口部３６ａを有している。

また、外装部材３４の先端部には、弾性材で作られた伸縮可能なボール３９を、外装部材３４の軸中心と略同心的に取り付けている窓部３７が設けられている。ボール３９の内径の大きさは操作部材３３の外径よりも小さく、外径の大きさは外装部材３４の外径と略同じに形成されている。

操作部材３３の先端側の外周面には、環状をした凹溝３８が形成されている。また、凹溝３８の上下の面は、傾斜面３８ａとなっている。操作部材３３は、収容空間３５内に、図８に示すように位置規制部３３Ｂを位置規制空間３６内に配置させて、外装部材３４の軸中心上における連結解除位置（位置規制部３３Ｂが位置規制空間３６の上端にぶつかる位置）と連結位置（位置規制部３３Ｂが位置規制空間３６の下端にぶつかる位置）とに択一的にスライド切り換え可能に取り付けられている。そして、図８に示すように、操作部材３３が下方端、すなわち連結位置に移動している時には凹溝３８がボール３９と外れた位置にある。したがって、ボール３９は凹溝３８と外れた操作部材３３の外周面上に配置され、また操作ボタン３３Ｃが外装部材３４の下面から外側に大きく突出した状態、すなわち連結状態にある。図８及び図９の（ｂ）は、操作部材３３が連結位置に配置されている状態を示している。また、操作部材３３が連結位置に配置されると、ボール３９の内側部分が操作部材３３の外周に押されて、ボール３９の外側部分が外装部材３４の窓部３７から外側に突出し、その突出した外側部分の一部が雌部２５Ｂの内周面に設けられた環状の位置決め溝４０内に係合され、この係合により雄部２５Ａの挿入ピン２６が雌部２５Ｂの挿入穴３０内から抜け出るのを阻止する。

一方、連結位置に配置されている操作部材３３の操作ボタン３３Ｃが、外装部材３４の下面外側から押し上げられて、位置規制部３３Ｂが位置規制空間３６の上端にぶつかる連結解除位置に、操作部材３３がスライド切り換えされると、操作部材３３の凹溝３８がボール３９と対応する位置に配置される。そして、図９の（ａ）に示すように、ボール３９が凹溝３８内に落ち込んで収容される。そして、ボール３９が外装部材３４の内側へ逃げ、ボール３９と環状の位置決め溝４０との係合が解かれる。これにより、雄部２５Ａの挿入ピン２６が雌部２５Ｂの挿入穴３０内から抜け出るのを許容する。

したがって、図８及び図９に示す着脱機構２５の構造では、操作ボタン３３Ｃを連結解除位置まで押し上げ、ボール３９を凹溝３８内に逃がしている状態で、雄部２５Ａの挿入ピン２６を雌部２５Ｂの挿入穴３０内に挿入し、外装部材３４の先端が挿入穴３０の奥壁にぶつかったら、操作ボタン３３Ｃを介して操作部材３３を下方へ連結位置まで移動させる。すると、ボール３９が凹溝３８内から抜け出て、図８及び図９の（ｂ）に示すように、ボール３９が凹溝３８と外れた操作部材３３の外周面上に配置されて、ボール３９の全体の径が拡大される。これにより、ボール３９の外側部分が雌部２５Ｂにおける挿入穴３０の位置決め溝４０内に係合されて、雄部２５Ａの挿入ピン２６が雌部２５Ｂの挿入穴３０内から抜け出るのを阻止し、雄部２５Ａと雌部２５Ｂとの間を瞬時に連結することができる。

反対に、雄部２５Ａと雌部２５Ｂとの連結を解除する場合は、外装部材３４の下面外側から操作ボタン３３Ｃが連結位置まで押し上げると、操作部材３３の凹溝３８がボール３９と対応する位置に配置される。そして、図９の（ａ）に示すように、ボール３９が凹溝３８内に落ち込んで逃げ、ボール３９の全体が縮径される。この縮径に伴い、ボール３９の外側部分が位置決め溝４０から外装部材３４内に逃げ、ボール３９と位置決め溝４０との係合が解除される。

図１０はスピンドルフランジ１７の軸中心に対応して設けられた着脱機構２５の雌部２５Ｂにねじ部２５aを設け、（測定）冶具５０をねじ部２５aに取り付けた状態を示している。図１０に示すようにチャックテーブル１５の任意の位置の高さをダイヤルゲージ５０aで測定することにより、チャックテーブルの平行度を測定することができる。このように雌部２５Ｂにねじ部２５aを設けることにより、本発明の着脱機構２５を備えた研削装置においても各調整作業を妨げることはない。

なお、本発明は、上記以外にも本発明の精神を逸脱しない限り種々の改変を成すことができ、そして、本発明が該改変されたものに及ぶことは当然である。

１０ ：研削装置
１１ ：装置本体
１２ ：ケーシング
１３ ：移動機構部
１４ ：スピンドルケーシング
１５ ：チャックテーブル
１６ ：ターンテーブル
１７ ：スピンドルフランジ
１７Ａ ：本体部
１７Ｂ ：小径突出部
１７ａ ：外周底面
１７ｂ ：外周面
１７ｃ ：取付孔
１８ ：傾斜面
１９ ：凹部
２０ ：インナープレート
２０ａ ：傾斜面
２１ ：流路
２１ａ ：供給口
２１ｂ ：吹出口
２２ ：研削ホイール
２２Ａ ：台金部
２２Ｂ ：砥石
２２ａ ：傾斜面
２２ｂ ：内周面
２２ｃ ：外周面
２２ｄ ：上面
２２ｅ ：下面
２２ｆ ：取付ネジ穴
２３ ：取付ボルト
２４ ：ホイールカバー
２４Ａ ：円板部
２４Ｂ ：円筒部
２４Ｃ ：環状凸部
２４Ｄ ：環状凹部
２４ａ ：導入傾斜面
２４ｄ ：頂部
２５ ：着脱機構
２５Ａ ：雄部（第２の結合部）
２５Ｂ ：雌部（第１の結合部）
２６ ：挿入ピン
２７ ：ラッチピン
２８ ：ツマミ
２９ ：スプリングプランジャ（ストッパ）
３０ ：挿入穴
３１Ａ ：縦方向カム部
３１Ｂ ：円筒カム部
３１Ｃ ：係止凹部
３２ ：磁石結合手段
３２Ａ ：鉄片
３２Ｂ ：永久磁石
３３ ：操作部材
３３Ａ ：主軸
３３Ｂ ：位置規制部
３３Ｃ ：操作ボタン
３４ ：外装部材
３５ ：収容空間
３６ ：位置規制空間
３６ａ ：開口部
３７ ：窓部
３８ ：凹溝
３８ａ ：傾斜面
３９ ：ボール
４０ ：位置決め溝
１００ ：流体（水またはエア）
Ｗ ：ウエハ

Claims (3)

1. ウエハを加工する研削装置であって、
   下面側に砥石を設けた研削ホイールと、
   前記研削ホイールを着脱可能に保持して前記研削ホイールと共に回転するスピンドルフランジと、
   前記研削ホイールの交換時に前記下面側から前記研削ホイールの外側を覆って前記スピンドルフランジに取り付けられるホイールカバーと、
   第１の結合部と、前記第１の結合部と着脱可能な第２の結合部と、を備え、前記第１の結合部又は前記第２の結合部の一方を前記スピンドルフランジの軸中心に対応して設けるとともに、前記第１の結合部又は前記第２の結合部の他方を前記ホイールカバーの軸中心に対応して設けてなる着脱機構と、
   を備え、
   前記第１の結合部は、前記スピンドルフランジに設けられ、
   前記第１の結合部には、前記研削ホイールの回転軸線に沿って設けられ、下面側が開口する挿入穴が形成され、
   前記第２の結合部は、前記ホイールカバーに設けられ、
   前記第２の結合部は、前記挿入穴に着脱可能に挿入される挿入ピンを備え、
   前記挿入ピンは、外周面から略直角に突出しているラッチピンを備え、
   前記挿入穴は、前記挿入ピンを所定の位置まで挿入した状態で前記研削ホイールが前記回転軸線を中心として回転されると、前記ラッチピンが係合係止されるカムを備えていることを特徴とする研削装置。
2. 前記挿入穴は、前記スピンドルフランジ内に形成されて前記着脱機構の周辺部分に流体を流して研削屑を排出する通路に連通されている、
   ことを特徴とする請求項１に記載の研削装置。
3. 前記挿入穴にねじ部が設けられている、
   ことを特徴とする請求項１に記載の研削装置。