JP2010247272A - 研磨装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】鉛直方向を回転軸としてワークWを回転可能に保持する保持手段7に保持されたワークWを乾式で研磨加工する研磨手段5を有する研磨装置であって、研磨手段5は、ワークWの被研磨面Wbに接触して被研磨面Wbを研磨する研磨工具5bと、鉛直方向を回転軸として回転可能に研磨工具5bを上側から支持するスピンドル5aと、スピンドル5aを囲むカバー部5cと、を含む回転支持部52と、少なくとも保持手段7と研磨工具5bとを囲む筺体51と、筺体51の一部に設けられた開閉可能な蓋部53と、筺体51の内壁に配設されて、筺体51内で水を噴出する筺体内洗浄手段54と、研磨加工によって消耗した研磨工具5bを交換するために蓋部53を開ける前に筺体内洗浄手段54から水が噴出するように筺体内洗浄手段54を制御する制御手段56と、を有する。
【選択図】図3
Description
5 研磨手段
5a スピンドル
5b 研磨工具
5c カバー部
7 保持手段
51 筐体
51a 本体部
51b 天井部
51c 蛇腹部
52 回転支持部
53 蓋部
54 筐体内洗浄手段
54a ノズル部
54b ノズル支持部
54c 噴出口
54d 連通路
55 水平移動手段
56 制御手段
57 水源
58 エア源
W ワーク
S 円
Claims (3)
- 鉛直方向を回転軸としてワークを回転可能に保持する保持手段と、該保持手段に保持されたワークを乾式で研磨加工する研磨手段と、を有する研磨装置であって、
前記研磨手段は、
ワークの被研磨面に接触して該被研磨面を研磨する研磨工具と、
鉛直方向を回転軸として回転可能に前記研磨工具を上側から支持するスピンドルと、該スピンドルを囲むカバー部と、を含む回転支持部と、
少なくとも前記保持手段と前記研磨工具とを囲む筺体と、
該筺体の一部に設けられた開閉可能な蓋部と、
前記筺体の内壁に配設されて、該筺体内で水を噴出する筺体内洗浄手段と、
研磨加工によって消耗した前記研磨工具を交換するために前記蓋部を開ける前に前記筺体内洗浄手段から水が噴出するように該筺体内洗浄手段を制御する制御手段と、
を有することを特徴とする研磨装置。 - 前記研磨手段は、前記回転支持部と前記研磨工具とを水平方向に移動させる水平移動手段を有し、
前記筺体は、
底面と側面とを含む本体部と、
前記回転支持部に固定された天井部と、
一端が前記本体部に固定され他端が前記天井部に固定された伸縮可能な蛇腹部と、を有し、
前記筺体内洗浄手段は、前記天井部に配設され、前記水平移動手段によって前記回転支持部と一体に前記筺体内を水平方向に移動することを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。 - 前記筺体内洗浄手段は、
水とエアとの混合体を噴出する噴出口を有するノズル部と、
一方が前記ノズル部を回転可能に支持するとともに前記噴出口に連通し他方が前記水を供給する水源と前記エアを供給するエア源とに連通する連通路を含むノズル支持部と、を有し、
前記噴出口は、前記ノズル支持部を中心として描かれる円の接線方向に開口し、
前記ノズル部は、前記噴出口から噴出される混合体の圧力により前記ノズル支持部を回転軸として回転することを特徴とする請求項1または2に記載の研磨装置。
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