JP4988413B2 - 廃液飛散防止用蛇腹装置 - Google Patents

Description

本発明は、伸縮自在とされた蛇腹装置に関し、特に、ワークの切削，穴あけ，切断等をする際に切削水又は切削油等の流体を供給しながら加工を行う加工装置等に組み込まれる廃液飛散防止用蛇腹装置に関するものである。

例えば、半導体ウェハーを切断するダイシングマシンのように、往復動を繰り返す加工テーブル上に固定されたワークを切断する際に純水やクーラント液等の液体を用いる加工装置がある。そして、これらの加工装置に装着される蛇腹装置は、上記液体が切削屑とともに廃液として流入される廃液トレーが形成されている場合が多く、該蛇腹装置を構成する左側垂直シート部や右側垂直シート部の下端側は、この廃液トレー内の廃液中に潜入した状態で伸縮する場合が多い。

しかし、このように左側垂直シート部や右側垂直シート部の下端側が廃液中に潜入した状態において、蛇腹装置が伸縮動作を繰り返すと、縮小時に上記廃液を跳ね上げる場合が多い。このように、廃液が跳ね上げられると、該廃液がボールネジ等の直動装置など上記加工テーブルの駆動系に付着し腐食することにより加工精度が大きく低下したり、場合によっては廃液の侵入を検出するセンサを介して加工装置が停止したりする場合もある。特に、最近の加工装置では、ワークが載置される加工テーブルや加工ヘッドの動作スピードは極めて早いことから、廃液が跳ねあげられる危険性は極めて高い。

そこで、従来では、こうした廃液の跳ね上げを防止するために、図１０（図９を上下反転した下面側からの斜視図）又は図１１に示す廃液飛散防止用蛇腹装置１０１が提案され実施されている。この従来の廃液飛散防止用蛇腹装置１０１は、蛇腹シート１３０と、左下側遮断部材１３５と、右下側遮断部材１３６と、左上側遮断部材１３７と、右上側遮断部材１３８とを備えている。これらのうち、蛇腹シート１３０は、水平シート部１３１と、この水平シート部１３１の左側と連続する左側垂直シート部１３２と、前記水平シート部１３１の右側と連続する右側垂直シート部１３３とから構成されるとともに、水平シート部１３１、左側垂直シート部１３２及び右側垂直シート部１３３には山部と谷部とが伸縮方向に交互に形成される。

また、前記各遮断部材１３５，１３６，１３７，１３８は図１０又は図１１に示すように、左下側遮断部材１３５は、左側垂直シート部１３２の山部１３２ａ内の下方内側位置に折曲山部１３５ａを上側にして突設され、右下側遮断部材１３６は、右側垂直シート部１３３の山部１３３ａ内の下方内側位置に折曲山部１３６ａを上側にして突設されている。また、左上側遮断部材１３７は、水平シート部１３１の山部１３１ａ内の図１１に示す左方内側位置に折曲山部１３７ａを下側にして突設され、右上側遮断部材１３８は、水平シート部１３１の山部１３１ａ内の図１１に示す右方内側位置に折曲山部１３８ａを下側にして突設されている。

そして、図１１に示すように、左側垂直シート部１３２においては、左側の廃液トレー１１０Ｌ内から跳ね上がった廃液Ｗｌの飛沫は、左下側遮断部材１３５により遮断されるとともに、さらにその上方へ跳ね上がったり又は左側垂直シート部１３２を伝って水平シート部１３１に達した廃液Ｗｌの飛沫は、左上側遮断部材１３７により遮断される。また、右側垂直シート部１３３においては、右側の廃液トレー１１０Ｒ内から跳ね上がった廃液Ｗｒの飛沫は、右下側遮断部材１３６により遮断されるとともに、さらにその上方へ跳ね上がったり又は右側垂直シート部１３３を伝って水平シート部１３１に達した廃液Ｗｒの飛沫は、右上側遮断部材１３８により遮断されるものである。

しかしながら、上記従来の廃液飛散防止用蛇腹装置１０１では、図１０に示すように、左下側遮断部材１３５の相互の間、右下側遮断部材１３６の相互の間、左上側遮断部材１３７の相互の間及び右上側遮断部材１３８の相互の間のそれぞれには、上記の各折曲山部が突設されておらず廃液の飛沫を遮断する構成要素のない空隙が形成されている。例えば、左側垂直シート部１３２の部分を示す図１２において、左下側遮断部材１３５が突設された伸縮方向の遮断幅１３５ｂの間は、下方から上方へ跳ね上がる廃液の飛沫を遮断できるが、左下側遮断部材１３５が突設されていない空隙幅１３５ｃの間は、下方から上方へ跳ね上がる廃液の飛沫を遮断することができない。

また、同様に、左上側遮断部材１３７が突設された伸縮方向の遮断幅１３７ｂの間は、下方から上方へ跳ね上がる廃液の飛沫を遮断できるが、左上側遮断部材１３７が突設されていない空隙幅１３７ｃの間は、下方から上方へ跳ね上がる廃液の飛沫を遮断することができない。すなわち、空隙幅１３５ｃ及び空隙幅１３７ｃを含む斜線で示した空間Ｓの域内では廃液の飛沫が自由に流通することができる。

したがって、これら各遮断部材１３５，１３６，１３７，１３８が突設された領域内は廃液の飛沫を遮断できるが、各遮断部材１３５，１３６，１３７，１３８が突設されていない図１２に示す空隙幅１３５ｃ及び空隙幅１３７ｃを含む斜線で示した空間Ｓの領域内では廃液の飛沫を遮断することができず、該廃液がボールネジ１１３の直動装置などの駆動系に付着して腐食する問題や、廃液の侵入を検出するセンサ１１７Ｌ，１１７Ｒを介して加工装置が停止する問題があった。

そこで、本発明は、上述した従来の廃液飛散防止用蛇腹装置が有する課題を解決するために提案されたものであって、蛇腹シートの伸縮方向のいかなる位置において廃液トレー内の廃液が跳ね上げられても、その飛沫を遮断できる新規な廃液飛散防止用蛇腹装置を提供することを目的とするものである。

上述した目的を達成するため、第１の発明（請求項１記載の発明）に係る廃液飛散防止用蛇腹装置は、下端側が廃液トレー内の左側の廃液中に潜入される左側垂直シート部と、下端側が廃液トレー内の右側の廃液中に潜入される右側垂直シート部と、左側は上記左側垂直シート部と連続し右側は上記右側垂直シート部と連続してなる水平シート部と、を有してなるとともに上記左側垂直シート部，右側垂直シート部並びに水平シート部には山部と谷部とが伸縮方向に交互に形成されてなる蛇腹シートと、上記蛇腹シートを構成する左側垂直シート部の内側に固定され上記廃液トレー内の廃液の飛沫が上方へ飛散しないように遮断する遮断部を有してなる左側遮断部材と、上記右側垂直シート部の内側に固定され上記廃液トレー内の廃液の飛沫が上方へ飛散しないように遮断する遮断部を有してなる右側遮断部材と、を備えてなる廃液飛散防止用蛇腹装置であって、上記左側遮断部材は、左側垂直シート部の内側に貼付された左側貼付部と、この左側貼付部から上記右側垂直シート部側に突出してなる左側遮断部とを有してなるとともに該左側遮断部は上記蛇腹シートの伸縮方向の一方端側から他方端側にまで連続して突出してなり、上記右側遮断部材は、上記右側垂直シート部の内側に貼付された右側貼付部と、この右側貼付部から上記左側垂直シート部側に突出してなる右側遮断部とを有してなるとともに該右側遮断部は上記蛇腹シートの伸縮方向の一方端側から他方端側にまで連続して突出してなり、上記左側遮断部と右側遮断部には、それぞれ前記蛇腹シートに形成された山部に対応した位置に形成された遮断部側山部と該蛇腹シートに形成された谷部に対応した位置に形成された遮断部側谷部とが交互に形成され、該蛇腹シートの伸縮動作に対応して、これら左側遮断部材及び右側遮断部材も伸縮されるよう構成されてなること特徴とするものである。

この第１の発明では、上記左側遮断部材は、左側垂直シート部の内側に基端が固定され先端は右側垂直シート部側に突出してなるとともに上記蛇腹シートの伸縮方向の一方端側から他方端側にまで連続してなり、上記右側遮断部材は、右側垂直シート部の内側に基端が固定され先端は左側垂直シート部側に突出してなるとともに上記蛇腹シートの伸縮方向の一方端側から他方端側にまで連続してなることから、左側垂直シート部と右側垂直シート部とのそれぞれの伸縮方向の一方端側から他方端側までの全域において、廃液トレー内の液面から上方へ飛散する廃液の飛沫を左側遮断部材と右側遮断部材とのそれぞれの下面により受け止めて遮断するとともに、廃液トレー内へ滴下させて回収することができる。

また、この発明はさらに、上記左側遮断部材は、上記左側垂直シート部の内側に貼付された左側貼付部と、この左側貼付部から上記右側垂直シート部側に突出してなる左側遮断部とを有し、上記右側遮断部材は、上記右側垂直シート部の内側に貼付された右側貼付部と、この右側貼付部から上記左側垂直シート部側に突出してなる右側遮断部とを有し、上記左側遮断部と右側遮断部には、それぞれ前記蛇腹シートに形成された山部に対応した位置に形成された遮断部側山部と該蛇腹シートに形成された谷部に対応した位置に形成された遮断部側谷部とが交互に形成され、該蛇腹シートの伸縮動作に対応して、これら左側遮断部材及び右側遮断部材も伸縮されるよう構成されてなること特徴とするものである。

この発明では、左側遮断部材及び右側遮断部材は、それぞれ遮断部側山部及び遮断部側谷部が形成されてなることから、不規則な位置で伸縮することなく、蛇腹シートの伸縮動作に伴い常に規則正しく伸縮することとなるとともに、剛性も増され、上方に移動しようとする液体の圧力により変形することもなく、さらには、蛇腹シートが最も縮小された際における蛇腹装置全体の長さに関しても大きく変更されることがない。

また、第２の発明（請求項２記載の発明）は、上記第１の発明において、前記左側遮断部材を構成する左側遮断部の右側垂直シート部側には、先端側にかけて徐々に低くなるよう傾斜した左傾斜折曲部が形成され前記右側遮断部材を構成する右側遮断部の左側垂直シート部側には、先端側にかけて徐々に低くなるよう傾斜した右傾斜折曲部が形成されてなることを特徴とするものである。

この第２の発明では、前記左側遮断部材を構成する左側遮断部の右側垂直シート部側には、先端側にかけて徐々に低くなるよう傾斜した左傾斜折曲部が形成され、前記右側遮断部材を構成する右側遮断部の左側垂直シート部側には、先端側にかけて徐々に低くなるよう傾斜した右傾斜折曲部が形成されてなることから、廃液トレーの液面から上方へ飛散する廃液の飛沫が左側遮断部材又は右側遮断部材の下面に付着した場合に、先端側にかけて徐々に低くなるよう傾斜した左傾斜折曲部及び右傾斜折曲部が形成されているので、付着した廃液の飛沫は左側遮断部材又は右側遮断部材の下面に留まることなく、左傾斜折曲部及び右傾斜折曲部の下面から速やかに滴下される。

上記第１の発明（請求項１記載の発明）に係る廃液飛散防止用蛇腹装置では、左側垂直シート部と右側垂直シート部とのそれぞれの伸縮方向の一方端側から他方端側までの全域において、廃液トレー内の液面から上方へ飛散する廃液の飛沫を左側遮断部材と右側遮断部材とのそれぞれの下面により受け止めて遮断するとともに、廃液トレー内へ滴下させて回収することができるので、加工装置のボールネジ等の駆動系に廃液の飛沫が付着しないことにより、ボールネジ等が腐食せず加工精度が低下しないとともに、廃液の侵入により加工装置を停止させる必要がない。このことにより、加工装置の加工精度を維持することができるとともに、生産性の向上を図ることができる。

また、この発明では、左側遮断部材及び右側遮断部材は、それぞれ遮断部側山部及び遮断部側谷部が形成されてなることから、不規則な位置で伸縮することなく、蛇腹シートの伸縮動作に伴い常に規則正しく伸縮することとなるとともに、剛性も増され、上方に移動しようとする液体の圧力により変形することもなく、さらには、蛇腹シートが最も縮小された際における蛇腹シート全体の長さに関しても大きく変更されることがない。したがって、廃液飛散防止用蛇腹装置の品質の向上及び加工装置の高速化を図ることができる。特に、この発明では、上記左側遮断部と右側遮断部には、それぞれ前記蛇腹シートに形成された山部に対応した位置に形成された遮断部側山部と該蛇腹シートに形成された谷部に対応した位置に形成された遮断部側谷部とが交互に形成されてなることから、蛇腹シートの伸縮方向のいかなる位置において廃液トレー内の廃液が跳ね上げられても、その飛沫を遮断できる。

また、第２の発明（請求項２記載の発明）では、廃液トレーの液面から上方へ飛散する廃液の飛沫が左側遮断部材又は右側遮断部材の下面に付着した場合に、先端側にかけて徐々に低くなるよう傾斜した左傾斜折曲部及び右傾斜折曲部が形成されているので、付着した廃液の飛沫は左側遮断部材又は右側遮断部材の下面に留まることなく、左傾斜折曲部及び右傾斜折曲部の下面から速やかに滴下され、また、蛇腹シートの伸縮速度が早くなっても、廃液の飛沫を上記左側遮断部材と右側遮断部材とにより遮断することができることから、加工装置の高速化に十分対応することができる。

以下、本発明を実施するための最良の形態に係る廃液飛散防止用蛇腹装置について図面を参照しながら詳細に説明する。

この廃液飛散防止用蛇腹装置１は第１の蛇腹装置２０と第２の蛇腹装置２１とから構成され、図１に示すように、加工装置２にそれぞれ配置されるものである。そこで、先ず、この加工装置２について簡単に説明した後に、廃液飛散防止用蛇腹装置１について詳細に説明する。この加工装置２は、加工テーブル３と、この加工テーブル３を左右に駆動する駆動装置１２が構成要素とされている。

上記加工テーブル３は、円盤状に成形されてなるものであり、上方に開口を有するボックス４内に固定され、このボックス４の一側面には、後述する廃液飛散防止用蛇腹装置１の第１の蛇腹装置２０を固定するための一方の固定金具５が固定され、他側面には、第２の蛇腹装置２１を固定するための他方の固定金具６が固定されている。また、このボックス４は、円柱状に成形された支軸７を介してスライド部材８に支持されている。なお、このスライド部材８の下面には、後述する一方及び他方のスライドガイド部材１５，１６が挿通されるガイド溝（符号は省略する。）が形成されている。

また、上記加工装置２は、図示しないノズルから上記加工テーブル３上に供給され、切削の際に該加工テーブル３上から流れた切削液の廃液が収容される廃液トレー１０が構成要素となされている。この廃液トレー１０は、略長方形状に成形されてなるものであり、中央には開口１０ａが形成され、外周には外側起立部１０ｂが形成され、内周には、内側起立部１０ｃが形成されている。なお、この廃液トレー１０を構成する底板部１０ｄには、ドレン管１１に接続された排出口１０ｅが形成され、外側起立部１０ｂ、内側起立部１０ｃ及び底板部１０ｄからなる廃液収容部（符号は省略する）内に流入した廃液は、上記排出口１０ｅを経てドレン管１１から排出される。

そして、上記廃液トレー１０に形成された上記開口１０ａの下方には、上記駆動装置１２が配置されている。この駆動装置１２は、外周にネジ（符号は省略する。）が螺刻されたボールネジ１３と、このボールネジ１３を時計正転方向及び逆転方向に回転駆動させるモータ１４とから構成されている。また、上記ボールネジ１３の左右両側には、一方のスライドガイド部材１５と、他方のスライドガイド部材１６が互いに面対向した状態で配置されている。したがって、上記駆動装置１２を構成するモータ１４が駆動し、ボールネジ１３が正転又は逆転させられると、上記加工テーブル３は、上記一方及び他方のスライドガイド部材１５，１６にガイドされながら、該一方及び他方のスライドガイド部材１５，１６の長さ方向（ボールネジ１３の長さ方向）に往復駆動される。

また、上記廃液トレー１０を構成する上記内側起立部１０ｃには、上記一方の固定金具５に対向する位置に一方の外側固定金具１８が固定され、上記他方の固定金具６に対向する位置には、他方の外側固定金具１９が固定されている。そして、上記一方の固定金具５と一方の外側固定金具１８との間には、第１の蛇腹装置２０が固定され、上記他方の固定金具６と他方の外側固定金具１９との間には、第２の蛇腹装置２１が固定されている。なお、これら第１及び第２の蛇腹装置２０，２１の基本構成はそれぞれ同一であることから、以下、上記第１の蛇腹装置２０について詳細に説明する。

この第１の蛇腹装置（以下、蛇腹装置という）２０は、図２又は図３に示すように、上記加工テーブル３上から切削屑とともに流れ落ちる切削液の廃液を遮断する伸縮自在な蛇腹シート３０と、上記廃液トレー１０内の廃液の飛沫が上方へ飛散しないように遮断する伸縮自在な左側遮断部材３５と、上記廃液トレー１０内の廃液の飛沫が上方へ飛散しないように遮断する伸縮自在な右側遮断部材３６と、蛇腹シート３０を支持するための２個の補強板４１，４１と、蛇腹シート３０が最も伸長される際の隣接する各シート部の間隔及び蛇腹装置２０の全体の長さを規定する左右の制限テープ４６，４７とを備え、正面側には、上記一方の外側固定金具１８に固定される一方の固定板２２が固定され、背面側には、上記一方の固定金具５に固定される他方の固定板２３が固定されている。

先ず、上記蛇腹シート３０は、図示しない複数のシートが貼付されてなるとともに折曲されてなるものであって、下端側が図４に示す左側の廃液トレー１０Ｌ内の廃液Ｗｌ中に潜入される左側垂直シート部３２と、下端側が右側の廃液トレー１０Ｒ内の廃液Ｗｒ中に潜入される右側垂直シート部３３と、左側は左側垂直シート部３２と連続し右側は右側垂直シート部３３と連続してなる水平シート部３１とを有して構成されている。そして、水平シート部３１には、山部３１ａと谷部３１ｂとが伸縮方向に交互に形成され、左側垂直シート部３２には、山部３２ａと谷部３２ｂとが伸縮方向に交互に形成され、右側垂直シート部３３には、山部３３ａと谷部３３ｂとが伸縮方向に交互に形成されている。

次に、左側遮断部材３５及び右側遮断部材３６は、図３に示すように、左側遮断部材３５が、一方の固定板２２側から他方の固定板２３側までの間の左側垂直シート部３２の内側に配置され、右側遮断部材３６が、一方の固定板２２側から他方の固定板２３側までの間の右側垂直シート部３３の内側に前記左側遮断部材３５と対向して配置されている。これら左側遮断部材３５と右側遮断部材３６とは、蛇腹シート３０の伸縮方向の中心線に対して対称であるとともに、基本構成はそれぞれ同一であることから、以下、図３に示す右側遮断部材３６について詳細に説明する。

この右側遮断部材３６は、一方の固定板２２側から他方の固定板２３側までの間に亘って、単一であるとともに長尺シート状の樹脂を素材として後述する山部と谷部とが交互に形成され、図３に示す右側垂直シート部３３の山部３３ａ及び谷部３３ｂの各内側に貼付されており、図５は、この右側遮断部材３６に山部及び谷部が折曲される前の平板シートの形態を示す平面図、図６は、山部及び谷部が折曲された形態を示す下面側からの斜視図、図７は、右側垂直シート部３３に貼付された形態を示す下面側からの斜視図である。なお、図５に示す輪郭以外の各線は折曲される山部又は谷部のケガキ線を示し、図５、図６に示す格子模様部は貼付のためにのり付けされる貼付部であって実線部は紙面の表側、破線部は紙面の裏側であることを示す。

この図５に示す右側遮断部材３６の図示上側（図３に示す右側垂直シート部３３側）には、右側垂直シート部３３の山部３３ａに貼付される右山側貼付部３６ａ，３６ｂと、この右山側貼付部３６ａ，３６ｂよりも左側垂直シート部３２側に切り込まれ谷部３３ｂに貼付される右谷側貼付部３６ｃ，３６ｄとが形成されている。これらの右山側貼付部３６ａ，３６ｂの左側垂直シート部３２側（図５の下側）には、右側垂直シート部３３の右山側貼付部３６ａ，３６ｂから突出される右山側遮断部３６ｆ，３６ｇが形成され、右谷側貼付部３６ｃ，３６ｄの前方側には、右側垂直シート部３３の右谷側貼付部３６ｃ，３６ｄから突出される右谷側遮断部３６ｈ，３６ｉが形成されている。

そして、右山側遮断部３６ｆと３６ｇとの中央部には、右側垂直シート部３３の山部３３ａに対応した位置に突設される図６又は図７に示す遮断部側山部３６ｋを折曲するためのケガキ線３６Ｋが罫書きされるとともに、このケガキ線３６Ｋを挟む先端側の両側には、先端側にかけて徐々に低くなるよう傾斜した図６又は図７に示す右傾斜折曲部３６ｍ，３６ｎを折曲するためのケガキ線３６Ｍ，３６Ｎが罫書きされている。また、右谷側遮断部３６ｈと３６ｉとの中央部には、右側垂直シート部３３の谷部３３ｂに対応した位置に突設される図６又は図７に示す遮断部側谷部３６ｐを折曲するためのケガキ線３６Ｐが罫書きされるとともに、このケガキ線３６Ｐを挟む両側には、図６又は図７に示す斜面３６ｑ，３６ｒを折曲するためのケガキ線３６Ｑ，３６Ｒが罫書きされている。

また、上記のほか、右山側遮断部３６ｆと右谷側遮断部３６ｉとの間の谷部３６ｔを折曲するためのケガキ線３６Ｔ、右山側遮断部３６ｇと右谷側遮断部３６ｈとの間の谷部３６ｕを折曲するためのケガキ線３６Ｕ、右山側貼付部３６ａ，３６ｂを折曲するためのケガキ線３６Ｖ，３６Ｗ、右谷側貼付部３６ｃ，３６ｄを折り返すためのケガキ線３６Ｘ，３６Ｙが罫書きされている。そして、このように罫書きされたシート状の右側遮断部材３６の図５に示す左側又は右側から、各ケガキ線を順に折曲することにより図６又は図７に示す右側遮断部材３６を形成する。以下は左側から右側へ折曲する手順により説明する。

先ず、図５に示すシート状の右側遮断部材３６の左側にあるケガキ線３６Ｋを折曲して、図６に示す遮断部側山部３６ｋを紙面の裏側（右側遮断部材３６の上面側であって、以下、上面側という）へ突出した山形に形成するとともに、右山側遮断部３６ｆ，３６ｇを前記遮断部側山部３６ｋから紙面の表側（右側遮断部材３６の下面側であって、以下、下面側という）へ傾斜させて形成する。

また、図５に示すケガキ線３６Ｍ，３６Ｎを折曲して、図６に示す谷部３６ｓを前記遮断部側山部３６ｋの反対側の下面側へ突出した谷形に形成するとともに、右傾斜折曲部３６ｍ，３６ｎを前記遮断部側山部３６ｋと谷部３６ｓとの交差点（符号は省略する）から先端側にかけて徐々に下面側へ低くなるよう傾斜させて形成する。これらの右山側遮断部３６ｆ，３６ｇ、遮断部側山部３６ｋ、右傾斜折曲部３６ｍ，３６ｎ及び谷部３６ｓは、図３又は図７に示す右側垂直シート部３３の山部３３ａの内側に形成される。

次に、図５に示す右山側遮断部３６ｇの右方のケガキ線３６Ｕを折曲して、図６に示す谷部ｕを下面側へ突出した谷形に形成するとともに、右谷側遮断部３６ｈを前記谷部ｕから上面側へ傾斜させて形成する。また、図５に示すケガキ線３６Ｐ，３６Ｑ，３６Ｒ及びケガキ線ケガキ線３６Ｘ，３６Ｙをそれぞれ折曲して、図６に示す遮断部側谷部３６ｐを下面側へ突出した谷形に形成するとともに、斜面３６ｑ，３６ｒを前記遮断部側谷部３６ｐから上面側へ傾斜させて形成し、かつ、折曲部３６ｊを上面側へ起立させるとともに、右側垂直シート部３３の谷部３３ｂに貼付する右谷側貼付部３６ｃ，３６ｄを形成する。

また、図５に示す右谷側遮断部３６ｉの右方のケガキ線３６Ｔを折曲して、図６に示す谷部ｔを下面側へ突出した谷形に形成するとともに、右山側遮断部３６ｆを前記谷部ｔから上面側へ傾斜させて形成する。これらの右谷側遮断部３６ｈ，３６ｉ、遮断部側谷部３６ｐ及び斜面３６ｑ，３６ｒは、図３又は図７に示す右側垂直シート部３３の谷部３３ｂの内側に形成される。そして、上記遮断部側山部３６ｋと遮断部側谷部３６ｐとが、谷部３６ｔ又は谷部ｕを挟んで交互に形成される。なお、図６に示す折曲部３６ｖ，３６ｗは、右山側貼付部３６ａ，３６ｂが右側垂直シート部３３の山部３３ａの内側に貼付された状態で自在に屈伸する為のものである。

上記のように各部が折曲された右側遮断部材３６の右山側貼付部３６ａ，３６ｂ及び右谷側貼付部３６ｃ，３６ｄは、図７に仮想線で示す右側垂直シート部３３（図７には右側垂直シート部３３の下端側のみが図示されている）の内側に貼付される。この貼付に際して、図６に示す右山側貼付部３６ａ，３６ｂの上面側と右谷側貼付部３６ｃ，３６ｄの上面側とには予め接着材を塗布しておき以下の手順により貼付する。

すなわち、図７に示すように、右側垂直シート部３３の山部３３ａの内側に、右山側貼付部３６ａ，３６ｂを貼付するとともに、右山側遮断部３６ｆ，３６ｇを、この右山側貼付部３６ａ，３６ｂから図３に示す左側垂直シート部３２側（図７の左下側）に突出させる。そして、この右山側貼付部３６ａ，３６ｂの貼付により、右山側遮断部３６ｆ，３６ｇ、遮断部側山部３６ｋ、右傾斜折曲部３６ｍ，３６ｎ及び谷部３６ｓは、図３又は図７に示す右側垂直シート部３３の山部３３ａの内側に形成されている。

また、右側垂直シート部３３の谷部３３ｂの内側に、右谷側貼付部３６ｃ，３６ｄを貼付するとともに、右谷側遮断部３６ｈ，３６ｉを、この右谷側貼付部３６ｃ，３６ｄから図３に示す左側垂直シート部３２側（図７の左下側）に突出させる。そして、この右谷側貼付部３６ｃ，３６ｄの貼付により、右谷側遮断部３６ｈ，３６ｉ、遮断部側谷部３６ｐ及び斜面３６ｑ，３６ｒは、図３又は図７に示す右側垂直シート部３３の谷部３３ｂの内側に形成されている。

次に、図３に示す２個の補強板４１，４１は、水平シート部３１の山部３１ａの内側にそれぞれ挟持され、これら補強板４１，４１の下端側には図４に示す支持部材４２，４３が、左側遮断部材３５及び右側遮断部材３６よりも上方位置の左側垂直シート部３２及び右側垂直シート部３３の各谷部３２ｂ，３３ｂよりも内側にそれぞれ固定されている。この支持部材４２，４３は、廃液トレー１０Ｌ，１０Ｒのそれぞれの上面に形成された支持面（符号は省略する）上を蛇腹シート３０の伸縮方向に摺動自在となされているので、蛇腹シート３０の伸縮にしたがい摺動し該蛇腹シート３０を支持する。

そして、支持部材４２，４３が、左側遮断部材３５及び右側遮断部材３６よりも上方位置の左側垂直シート部３２及び右側垂直シート部３３の各谷部３２ｂ，３３ｂよりも内側に固定されていることから、図３に示す左側遮断部材３５と右側遮断部材３６とは、一方の固定板２２から他方の固定板２３の間に亘って、蛇腹シート３０の伸縮方向の一方端側（一方の固定板２２側）から他方端側（他方の固定板２３側）の間に亘って、連続して形成することができる。

また、左右の制限テープ４６，４７は、図３に示すように、薄肉軟質の樹脂を素材とした帯状に形成され、一方の固定板２２と他方の固定板２３との間の水平シート部１３１のそれぞれの山部１３１ａに固定されてなり、蛇腹シート３０を構成する水平シート部３１、左側垂直シート部３２及び右側垂直シート部３３が、最も伸長される際の隣接する各シート部の間隔及び蛇腹装置２０の全体の長さを規定するものである。

次に、上記のように構成された廃液飛散防止用蛇腹装置１の作用について、図４及び図８を参照しながら説明する。図８は図４のＨ矢視図であって、右側垂直シート部３３の山部３３ａの内側（図８紙面の表側）には、右山側遮断部３６ｆ，３６ｇと、これらの先端側（左側垂直シート部３２側）で連続する右傾斜折曲部３６ｍ，３６ｎとが左側垂直シート部３２側に突設されるとともに、右側垂直シート部３３の谷部３３ｂの内側には、右谷側遮断部３６ｈ，３６ｉと、これらと連続する斜面３６ｑ，３６ｒとが左側垂直シート部３２側に突設されている。

すなわち、これらにより構成される右側遮断部材３６は、図３に示す蛇腹シート３０の伸縮方向の一方端側（一方の固定板２２側）から他方端側（他方の固定板２３側）にまで連続してなることから（すなわち、廃液を遮断できない空隙が形成されないことから）、右側垂直シート部３３の伸縮方向の一方端側から他方端側までの全域において、図４に示す廃液トレー１０Ｒ内の液面から上方へ飛散する廃液Ｗｒの飛沫を右側遮断部材３６の下面により受け止めて遮断するとともに、廃液トレー１０Ｒ内へ滴下させて回収することができる。また、この作用は、図３に示す左側垂直シート部３２の内側に突設された左側遮断部材３５も同じである。

また、右側遮断部材３６は、図７又は図８に示す遮断部側山部３６ｋ、遮断部側谷部３６ｐ、谷部３６ｓ、谷部３６ｔ、谷部ｕ等が形成されてなることから、不規則な位置で伸縮することなく、蛇腹シートの伸縮動作に伴い常に規則正しく伸縮することとなるとともに、剛性も増され、上方に移動しようとする液体の圧力により変形することもなく、さらには、蛇腹シート３０が最も縮小された際における蛇腹装置全体の長さに関しても大きく変更されることがない。

また、右側遮断部材３６には、図７に示すように、先端側にかけて徐々に低くなるよう傾斜した右傾斜折曲部３６ｍ，３６ｎが形成されてなることから、図４に示す廃液トレー１０Ｒの液面から上方へ飛散する廃液Ｗｒの飛沫が右側遮断部材３６の下面に付着した場合に、先端側にかけて徐々に低くなるよう傾斜した右傾斜折曲部３６ｍ，３６ｎにより、付着した廃液Ｗｒの飛沫は右側遮断部材３６の下面に留まることなく、右傾斜折曲部３６ｍ，３６ｎの下面から速やかに滴下される。

したがって、図４に示す廃液トレー１０Ｌ又は１０Ｒ内の廃液Ｗｌ又はＷｒがこれらの液面から飛沫として上方へ飛散しても、左側遮断部材３５又は右側遮断部材３６の下面によりそれぞれ受け止めて遮断するとともに、廃液トレー１０Ｌ又は１０Ｒ内へ滴下させて回収することができる。すなわち、廃液Ｗｌ又はＷｒの飛沫は、ボールネジ１３の直動装置などの駆動系に付着しないから腐食することがないとともに、廃液Ｗｌ又はＷｒの侵入を検出するセンサ１７Ｌ又は１７Ｒに付着しないから加工装置が停止されることもない。また、左側遮断部材３５及び右側遮断部材３６には、先端側にかけて徐々に低くなるよう傾斜した左傾斜折曲部３５ｍ，３５ｎ及び右傾斜折曲部３６ｍ，３６ｎがそれぞれ形成されてなることから、それぞれの下面に付着した廃液Ｗｌ又はＷｒの飛沫は速やかに滴下され、加工装置の高速化を図ることができる。

なお、廃液飛散防止用蛇腹装置１に係る上記構成及び作用は、第１の蛇腹装置２０の右側垂直シート部３３の内側に配置された右側遮断部材３６について説明したが、左側垂直シート部３２の内側に配置された左側遮断部材３５についても同じ構成であるとともに同じ作用をする。また、第２の蛇腹装置２１に配置される図示しない左側遮断部材及び右側遮断部材についても同じ構成であるとともに同じ作用をする。

本発明に係る廃液飛散防止用蛇腹装置の一使用例であって、加工装置から分離した状態における斜視図である。 廃液飛散防止用蛇腹装置の上面側からの斜視図である。 廃液飛散防止用蛇腹装置の下面側からの斜視図である。 図２に示す廃液飛散防止用蛇腹装置のＧ−Ｇ矢視断面図である。 図３に示す遮断部材の折曲前の展開説明図である。 図５に示す遮断部材の折曲後の説明図である。 図６に示す遮断部材の貼着の説明図である。 図４に示すＨ矢視図である。 背景技術に係る廃液飛散防止用蛇腹装置の上面側からの斜視図である。 背景技術に係る廃液飛散防止用蛇腹装置の下面側からの斜視図である。 図９に示すＪ−Ｊ矢視断面図である。 図１１に示すＫ矢視図である。

符号の説明

１ 廃液飛散防止用蛇腹装置
１０Ｌ，１０Ｒ 廃液トレー
２０ 第１の蛇腹装置
２１ 第２の蛇腹装置
３０ 蛇腹シート
３１ 水平シート部
３１ａ，３２ａ，３３ａ 山部
３１ｂ，３２ｂ，３３ｂ 谷部
３２ 左側垂直シート部
３３ 右側垂直シート部
３５ 左側遮断部材
３６ 右側遮断部材
３６ａ，３６ｂ 右山側貼付部
３６ｃ，３６ｄ 右谷側貼付部
３６ｆ，３６ｇ 右山側遮断部
３６ｈ，３６ｉ 右谷側遮断部
３６ｋ 遮断部側山部
３６ｍ，３６ｎ 右傾斜折曲部
３６ｐ 遮断部側谷部
Ｗｌ，Ｗｒ 廃液

Claims (2)

1. 下端側が廃液トレー内の左側の廃液中に潜入される左側垂直シート部と、下端側が廃液トレー内の右側の廃液中に潜入される右側垂直シート部と、左側は上記左側垂直シート部と連続し右側は上記右側垂直シート部と連続してなる水平シート部と、を有してなるとともに上記左側垂直シート部，右側垂直シート部並びに水平シート部には山部と谷部とが伸縮方向に交互に形成されてなる蛇腹シートと、
   上記蛇腹シートを構成する左側垂直シート部の内側に固定され上記廃液トレー内の廃液の飛沫が上方へ飛散しないように遮断する遮断部を有してなる左側遮断部材と、上記右側垂直シート部の内側に固定され上記廃液トレー内の廃液の飛沫が上方へ飛散しないように遮断する遮断部を有してなる右側遮断部材と、を備えてなる廃液飛散防止用蛇腹装置であって、
   上記左側遮断部材は、左側垂直シート部の内側に貼付された左側貼付部と、この左側貼付部から上記右側垂直シート部側に突出してなる左側遮断部とを有してなるとともに該左側遮断部は上記蛇腹シートの伸縮方向の一方端側から他方端側にまで連続して突出してなり、上記右側遮断部材は、上記右側垂直シート部の内側に貼付された右側貼付部と、この右側貼付部から上記左側垂直シート部側に突出してなる右側遮断部とを有してなるとともに該右側遮断部は上記蛇腹シートの伸縮方向の一方端側から他方端側にまで連続して突出してなり、上記左側遮断部と右側遮断部には、それぞれ前記蛇腹シートに形成された山部に対応した位置に形成された遮断部側山部と該蛇腹シートに形成された谷部に対応した位置に形成された遮断部側谷部とが交互に形成され、該蛇腹シートの伸縮動作に対応して、これら左側遮断部材及び右側遮断部材も伸縮されるよう構成されてなること特徴とする廃液飛散防止用蛇腹装置。
2. 前記左側遮断部材を構成する左側遮断部の右側垂直シート部側には、先端側にかけて徐々に低くなるよう傾斜した左傾斜折曲部が形成され、
   前記右側遮断部材を構成する右側遮断部の左側垂直シート部側には、先端側にかけて徐々に低くなるよう傾斜した右傾斜折曲部が形成されてなることを特徴とする請求項１記載の廃液飛散防止用蛇腹装置。