JP2016017605A - 蛇腹 - Google Patents

Abstract

【課題】蛇腹本体の最大伸長長さや最大縮小長さに大きく悪影響を与えることがない状態で該蛇腹本体を異物から保護することができる。
【解決手段】山部２５ａと谷部２５ｂとが交互に形成されてなる蛇腹本体２５の裏面に固定され、該蛇腹本体２５に形成された谷部２５ｂから一方の山部２５ａ側に幅を有する一方のガード板部６１ｇと、上記蛇腹本体２５の裏面に固定され、該蛇腹本体２５に形成された谷部２５ｂから上記一方の山部２５ａに隣り合う他方の山部２５ａ側に幅を有する他方のガード板部６１ｉと、を備え、上記蛇腹本体２５の伸縮動作に伴い弾性変形するとともに該蛇腹本体２５の素材よりも硬質の素材からなるインナーガード部材６１と、を備えてなる。

【選択図】 図８

Description

本発明は、例えば、マシニングセンタやダイシングマシン、或いは、研削機等或いはレーザ加工機や溶接機等の工作機械に取り付けられる蛇腹に関するものである。

研削機により金属を研削する場合、研削屑やクーラント液が飛散する場合が多く、また、ダイシングマシンでは、半導体ウェハの破片が飛散し、それらの機械や装置に装着された蛇腹にそれらが付着した場合には、該蛇腹に穴が開いてしまったり溶融してしまったりする場合がある。そこで、本願出願人は、こうした研削屑等の飛散により蛇腹本体に穴が開く等の不都合を解消するために、伸縮する蛇腹本体の上部に、もう一つの保護用の蛇腹を取り付けるとともに、上記保護用の蛇腹が蛇腹本体と一体的に伸縮動作を繰り返すとともに、該保護用の蛇腹の傾斜面（山部と谷部との間）に保護板を固定したものを提案した（特許文献１参照）。すなわち、この特許文献１に開示された蛇腹は、第１のシート体を折曲し本体側山部と本体側谷部とが交互に形成されてなる蛇腹本体と、第２のシート体からなり上記蛇腹本体の正面側に固定され上記蛇腹本体の伸縮動作に伴って伸縮される保護部材（上記もう一つの保護用の蛇腹）と、を備えてなり、上記保護部材は、上記蛇腹本体に形成された各本体側山部に固定されることにより形成された保護部材側山部と、この保護部材側山部と保護部材側山部との間に形成され縮小時には本体側谷部方向に移動する保護部材側谷部と、から構成され上記各保護部材側山部から各保護部材側谷部までの長さは、上記本体側山部から本体側谷部までの長さよりも短い長さとなされてなるとともに、該保護部材側山部と保護部材側谷部との間には、金属板又は熱可塑性樹脂からなる保護板が固定されてなるものである。

したがって、上記蛇腹では、蛇腹本体の正面側に保護部材が形成され、この保護部材には保護板が固定されてなることから、該蛇腹本体が溶融金属等により損傷することを十分防止することができ、該蛇腹の耐久性を十分向上させることができる。また、この蛇腹では、各保護部材側山部から各保護部材側谷部までの長さは、上記本体側山部から本体側谷部までの長さよりも短い長さとなされてなることから、保護部材が最も伸長された場合でも蛇腹本体は完全に伸長されることはないので、該蛇腹本体に形成された本体側谷部が、伸長された際に谷部として再び折り曲げられず形が崩れてしまう（型崩れの）危険性も有効に防止することができる。

特許第４２０５２４９号公報

しかしながら、上述した蛇腹では、上記保護用の蛇腹や該保護用の蛇腹に固定された保護板により、蛇腹本体が溶融金属等により損傷することを十分防止することはできるものの、該蛇腹本体と保護用の蛇腹との間には隙間が形成されていることから、以下に説明する課題が発生している。先ず、上記蛇腹本体と保護用の蛇腹との間の隙間から、該蛇腹本体と保護用の蛇腹との間に研削屑や半導体ウェハの破片等の異物が侵入する場合がある。これは各種の機械器具や装置に対する蛇腹の配置方法（方向）によって様々ではあるが、蛇腹本体に形成された山部や谷部の長さ方向が鉛直方向と同じである場合には、言うまでもなく上記隙間から異物が侵入する危険性は最も高く、侵入した異物が（例えばクーラント液とともに）蛇腹本体の途中で残置されると、蛇腹本体が損傷することは避けられない。また、蛇腹本体に形成された山部や谷部の長さ方向が水平方向となるように配置された場合には、上述した頻度は少ないとしても、飛散した異物が他の部材に衝突して上記隙間に侵入することは稀ではない。したがって、上記特許文献１に開示された蛇腹では、蛇腹本体と保護用の蛇腹との間に隙間が形成されてしまうことを原因に、やはり蛇腹本体が損傷してしまうことを避けられない。また、蛇腹では、各保護部材側山部から各保護部材側谷部までの長さは、上記本体側山部から本体側谷部までの長さよりも短い長さとなされてなることから、保護部材が最も伸長された場合でも蛇腹本体は完全に伸長されることはないことから、型崩れの危険性は解消されるものの、最大伸長長さや最大縮小長さは、上記保護用の蛇腹が存在する限り大きく制約される。

そこで、本発明は、上述した従来の蛇腹が有する課題を解決するために提案されたものであって、蛇腹本体に対して上述した隙間が発生することがないとともに、蛇腹本体の最大伸長長さや最大縮小長さに大きく悪影響を与えることがない状態で該蛇腹本体を前述した異物から保護することができる新規な蛇腹を提供することを目的とするものである。

本発明は、上記課題を解決するために提案されたものであって、第１の発明（請求項１記載の発明）は、シート体が折曲され山部と谷部とが交互に形成されてなる蛇腹本体と、この蛇腹本体の裏面に固定され、該蛇腹本体に形成された谷部から一方の山部側に幅を有する一方のガード板部と、上記蛇腹本体の裏面に固定され、該蛇腹本体に形成された谷部から上記一方の山部に隣り合う他方の山部側に幅を有する他方のガード板部と、を備え、上記蛇腹本体の伸縮動作に伴い弾性変形するとともに該蛇腹本体の素材よりも硬質の素材からなるインナーガード部材と、を備えてなることを特徴とするものである。

この第１の発明に係る蛇腹を構成するインナーガード部材は、上記蛇腹本体の素材よりも硬質の素材からなることから、該蛇腹本体に穴が開いてしまう危険性を回避できるばかりではなく、該蛇腹本体に微細な穴が開いてしまった場合であっても、該異物や切削液等がこの蛇腹により覆われている機械器具にまで及ぶことはなく、したがって、この第１の発明によれば、機械器具や装置の駆動系に上記異物や切削油等が付着することにより正確な位置決めに支障を来すことを有効に回避することができる。

また、この第１の発明を構成するインナーガード部材は、蛇腹本体に形成された谷部から山部側に幅を有する一方及び他方のガード板部が、上記蛇腹本体の伸縮動作に伴い弾性変形するものであることから、蛇腹本体の伸縮動作に悪影響を与えるものではない。

なお、上記インナーガード部材の素材は、上述した通り、少なくとも、蛇腹本体の素材よりも硬質の素材からなるものであれば良く、例えば、硬質樹脂として一般的に使用されている素材や鉄，銅，ステンレススチール等の金属を挙げることができる。但し、このインナーガード部材は、上述した通り、蛇腹本体の伸縮動作に伴い弾性変形する必要性があることから、選択する素材にもよるが、その肉厚は約１．５〜０．１ｍｍとすることが望ましい。また、上記インナーガード部材と蛇腹本体との固定方法は、リベットやカシメ材を用いて行う方法もあるが、接着剤により接着する方法や、両面接着テープを介して行う方法を採用することが好ましい。また、上記蛇腹本体の形状は、山部と谷部とが交互に形成された主伸縮部と、この主伸縮部の両端から該主伸縮部の長さ方向と直交する方向に折曲された一端側伸縮部と他端側伸縮部とからなる門型の蛇腹以外に、上記主伸縮部（一方の主伸縮部）と平行となされた他方の主伸縮部が形成され、上記一端側伸縮部と他端側伸縮部とは、上記一方の主伸縮部と他方の主伸縮部との双方に連続してなる筒状の蛇腹であっても良い。

また、第２の発明（請求項２記載の発明）は、上記第１の発明において、前記蛇腹本体を構成する上記山部と谷部との間に形成された各傾斜面部のそれぞれには該蛇腹本体の素材よりも硬質の素材からなる保護板が固定されてなるとともに、前記一方及び他方のガード板部の各先端と、上記保護板の谷部側の一側とは、互いに同じ位置関係とされてなることを特徴とするものである。

この第２の発明に係る蛇腹によれば、各保護板とインナーガード部材を構成する一方及び他方のガード板部とが間に蛇腹本体を介して重なることがないので、蛇腹本体が最も縮小した場合であっても、このインナーガード部材を固定したことが原因となって、蛇腹全体の最大縮小時における長さが長くなってしまうことを回避することができる。

また、第３の発明（請求項３記載の発明）は、上記第１又は第２の発明において、前記インナーガード部材は、前記谷部の裏面から離間してなる底部と、この底部の両側から谷部側に接近する方向にそれぞれ幅を備えてなる一方及び他方の弾性板部と、を備え、前記一方のガード板部はこの一方の弾性板部から一方の折曲部を介して延在されてなり、前記他方のガード板部は上記他方の弾性板部の端部から他方の折曲部を介して延在され、該一方及び他方のガード板部がそれぞれ前記蛇腹本体の裏面に固定されてなることを特徴とするものである。

この第３の発明では、蛇腹本体の谷部から離間した上記底部，一方及び他方の弾性板部，一方及び他方のガード板部をそれぞれ備えてなることから、該一方及び他方のガード板部が、上記一方及び他方の折曲部や上記底部を起点として弾性変形され易くなり、この結果、蛇腹本体の伸縮動作に対して極めて効果的に追随した動作を保証することができる。

なお、上記インナーガード部材を構成する底部の形状は、Ｖ字状や円弧状に折曲されてなるものであっても良いし、長方形状の板状に成形されたものであっても良い。このように、長方形状の板状に上記底部を成形した場合には、該底部の左右両側からそれぞれ折曲部を介して上記一方及び他方の弾性板部が連続することとなり、これらの折曲部（上記一方及び他方の折曲部を含めたそれぞれの折曲部）を起点として、一方及び他方のガード板部が弾性変形することとなる。

上記第１の発明（請求項１記載の発明）に係る蛇腹では、上記一方及び他方のガード板部を備えたインナーガード部材が蛇腹本体の裏面に固定されていることから、蛇腹本体の最大伸長長さや最大縮小長さに大きく悪影響を与えることがない状態で該蛇腹本体を前述した異物から保護することができる。すなわち、この第１の発明に係る蛇腹によれば、異物が蛇腹本体に形成された山部と谷部との間に侵入した場合であっても、該蛇腹本体に穴が開いてしまう危険性を回避できるばかりではなく、該蛇腹本体に微細な穴が開いてしまった場合であっても、該異物や切削油等がこの蛇腹により覆われている機械器具にまで及ぶことはなく、したがって、機械器具や装置の駆動系に上記異物や切削油等が付着することにより正確な位置決めに支障を来すことを有効に回避することができる。

また、第２の発明（請求項２記載の発明）では、前記一方及び他方のガード板部の各先端と、前記保護板の蛇腹本体に形成された谷部側の一側とは、互いに同じ位置関係とされてなることから、該第２の発明に係る蛇腹によれば、各保護板とインナーガード部材を構成する一方及び他方のガード板部とが間に蛇腹本体を介して重なることがなく、蛇腹本体が最も縮小した場合であっても、このインナーガード部材を固定したことが原因となって、蛇腹全体の最大縮小時における長さが長くなってしまうことを回避することができる。

また、第３の発明（請求項３記載の発明）では、上記蛇腹本体の谷部から離間した底部，一方及び他方の弾性板部，一方及び他方のガード板部を備えてなることから、該一方及び他方のガード板部が、上記一方及び他方の折曲部や上記底部を起点として弾性変形され易くなり、この結果、蛇腹本体の伸縮動作に対して極めて効果的に追随した動作を保証することができる。

ダイシングマシンから蛇腹を分解した状態を示す斜視図である。 図１に示す蛇腹から保護板の一部を分解した状態を示す斜視図である。 第２の実施の形態に係る蛇腹を一部分解してして示す斜視図である。 図３に示す蛇腹の側断面を拡大するとともにワークチップが侵入した状態を示す側断面図である。 インナーガード部材を示す斜視図である。 蛇腹本体が最も伸長された状態を示す側断面図である。 蛇腹本体が最も縮小された状態を示す側断面図である。 第３の実施の形態に係る蛇腹を示す側断面図である。

以下、本発明を実施するための最良の形態に係る蛇腹について図面を参照しながら詳細に説明する。先ず、第１の実施の形態に係る蛇腹について説明する。なお、この実施の形態に係る蛇腹は、図１に示すように、ダイシングマシン２（半導体ウェハの加工装置）に装着される蛇腹に、本発明を適用したものである。そこで、先ず、上記ダイシングマシン２について簡単に説明し、その後に実施の形態に係る蛇腹について詳細に説明する。

このダイシングマシン２は、図１に示すように、加工テーブル３と、この加工テーブル３を左右（又は前後）に駆動する駆動装置１２が構成要素とされている。上記加工テーブル３は、円盤状に成形されてなるものであり、上方に開口を有するボックス４内に固定され、このボックス４の一側面には、後述する第１の蛇腹２０を固定するための一方の固定金具５が固定され、他側面には、後述する第２の蛇腹２１を固定するための他方の固定金具６が固定されている。また、このボックス４は、円柱状に成形された支軸７を介してスライド部材８に支持されている。なお、このスライド部材８の下面には、後述する一方及び他方のスライドガイド部材１５，１６が挿通されるガイド溝（符号は省略する。）が形成されている。また、上記ダイシングマシン２は、図示しないノズルから上記加工テーブル３上に供給され、切削の際に該加工テーブル３上から流れた切削液の廃液が収容される廃液トレー１０が構成要素となされている。この廃液トレー１０は、略長方形状に成形されてなるものであり、中央には開口１０ａが形成され、外周には外側起立部１０ｂが形成され、内周には、内側起立部１０ｃが形成されている。なお、この廃液トレー１０を構成する底板部１０ｄには、ドレン管１１に接続された排出口１０ｅが形成され、外側起立部１０ｂ、内側起立部１０ｃ及び底板部１０ｄからなる廃液収容部（符号は省略する）内に流入した廃液は、上記排出口１０ｅを経てドレン管１１から排出される。

そして、上記廃液トレー１０に形成された上記開口１０ａの下方には、上記駆動装置１２が配置されている。この駆動装置１２は、外周にネジ（符号は省略する。）が螺刻されたボールネジ１３と、このボールネジ１３を時計正転方向及び逆転方向に回転駆動させるモータ１４とから構成されている。また、上記ボールネジ１３の左右（又は前後）両側には、一方のスライドガイド部材１５と、他方のスライドガイド部材１６が互いに面対向した状態で配置されている。したがって、上記駆動装置１２を構成するモータ１４が駆動し、ボールネジ１３が正転又は逆転させられると、上記加工テーブル３は、上記一方及び他方のスライドガイド部材１５，１６にガイドされながら、該一方及び他方のスライドガイド部材１５，１６の長さ方向（ボールネジ１３の長さ方向）に往復駆動される。

また、上記廃液トレー１０を構成する上記内側起立部１０ｃには、上記一方の固定金具５に対向する位置に一方の外側固定金具１８が固定され、上記他方の固定金具６に対向する位置には、他方の外側固定金具１９が固定されている。そして、上記一方の固定金具５と一方の外側固定金具１８との間には、第１の蛇腹２０が固定され、上記他方の固定金具６と他方の外側固定金具１９との間には、第２の蛇腹２１が固定されている。なお、これら第１及び第２の蛇腹２０，２１の基本構成はそれぞれ同一であることから、以下、上記第１の蛇腹２０について詳細に説明する。

上記第１の蛇腹２０は、先に説明したように、水平方向に伸縮動作するように配置されてなるものであって、蛇腹本体２５と、この蛇腹本体２５に固定された保護板２６とを備えている。上記蛇腹本体２５は、合成皮革等の樹脂製シートを折曲することにより、図２に示すように、山部２５ａと谷部２５ｂとが交互に形成されてなるものであり、これら山部２５ａ及び谷部２５ｂがそれぞれ水平方向に長さを有するように形成された主伸縮部２５ｃと、この主伸縮部２５ｃの左側に形成され縦方向に山部２５ａ及び谷部２５ｂが形成された左側脚部２５ｄと、上記主伸縮部２５ｃの右側に形成され縦方向に山部２５ａ及び谷部２５ｂが形成された右側脚部２５ｅとから構成されている。そして、この実施の形態に係る蛇腹２０では、上記主伸縮部２５ｃに形成された山部２５ａと谷部２５ｂとの間に形成された傾斜面部２５ｆの全てに、両面接着テープ２７を介して上記保護板２６が固定されている。これらの保護板２６は、ステンレススチールを素材とするとともにバネ加工されてなる（圧延処理されたバネ鋼からなる）ものであり、その肉厚は０．１ｍｍとされている。

したがって、上述した蛇腹２０によれば、上記ダイシングマシン２の上述した動作に伴って伸縮されている間に、上記加工テーブル３上で切断加工された図示しない半導体ウェハのワークチップが飛び散った場合であっても、該ワークチップにより蛇腹本体２５が破損し穴が開くことはない。

なお、上記実施の形態に係る蛇腹２０に固定した保護板２６の厚みは０．１ｍｍとしたが、この保護板２６の厚みは上記厚みに限定されないことは言うまでもない。但し、上記蛇腹２０が最も縮小した場合における（伸縮方向における）全長を可能な限り短いものとする観点からは、厚い場合でも２．００ｍｍとすべきであり、最も薄い場合は、０．０５ｍｍ程度とすることが好ましい。また、上述したダイシングマシン２に装着することを前提とする場合には、保護板２６の肉厚は、半導体ウェハの硬度との関係で、約１．００〜０．１０ｍｍの肉厚とすることが望ましい。なお、上記蛇腹本体２５の裏面には、本発明を構成するインナーガード部材５１が固定されているが、このインナーガード部材５０に関しては、後述する。

また、上記実施の形態に係る蛇腹２０では、蛇腹本体２５に形成された傾斜面部２５ｆに保護板２６を固定し、該保護板２６を露出させたものを図示して説明したが、以下に説明する第２の実施の形態に係る蛇腹３０のように、接着シート３１で被覆したものであっても良い。すなわち、この第２の実施の形態に係る蛇腹３０は、図３又は図４に示すように、蛇腹本体２５を構成する上記主伸縮部２５ｃの表面に上記接着シート３１が貼付され、本発明を構成する上記保護板２６の全ては、上記蛇腹本体２５と接着シート３１との間に配置されている。

すなわち、この第２の実施の形態に係る蛇腹３０は、蛇腹本体２５となる樹脂製シートを折曲する前段階において、所定の位置に上記各保護板２６を載置し、これらの保護板２６上から上記接着シート３１を貼付し、その上で上記山部２５ａと谷部２５ｂとが交互に形成されるように該接着シート３１も含めて折曲することにより、製造される。

したがって、この第２の実施の形態に係る蛇腹３０によれば、より一層蛇腹本体２５を保護することができるばかりではなく、一つ一つに保護板２６を蛇腹本体２５に貼付・固定する作業は不要であることから、製造工程も簡素化することができる。また、（先に説明した実施の形態に係る蛇腹２０も同様であるが）上記蛇腹３０では、ダイシングマシン２に装着された場合、上記各保護板２６はワークチップＣが、図４に示すように、蛇腹３０上に乗り、その後に蛇腹３０が縮小されることにより両側の保護板２６，２６により圧縮されると、該ワークチップＣはこれらの保護板２６，２６により細かく破砕され、上記切削液と共に廃液トレー１０に流れ落ちる。この結果、蛇腹３０が縮小された場合、その縮小された際の全長が上記ワークチップＣの存在により長くなってしまったり、蛇腹３０全体が縮小されることにより蛇腹本体２５が損傷し穴が開いてしまったりする等の問題も解消することができる。

そして、この第２の実施の形態に係る蛇腹３０（及び先に説明した第１の実施の形態に係る蛇腹２０）には、図４に示すように、本発明を構成するインナーガード部材５１が固定されている。このインナーガード部材５１は、ステンレススチールを素材とし、図示しない１枚の長方形状の板材を適宜個所で折曲することにより成形してなるものであり、図５に示すように、長方形状に成形された底板部５１ａと、この底板部材５１ａの左側から第１の折曲部５１ｂを介して折曲されてなる一方の弾性板部５１ｃと、上記底板部材５１ａの右側から第２の折曲部５１ｄを介して折曲されてなるとともに上記一方の弾性板部５１ｃと互いに平行とされ対向してなる他方の弾性板部５１ｅと、上記一方の弾性板部５１ｃの上端から第３の折曲部５１ｆを介して連続されてなる一方のガード板部５１ｇと、上記他方の弾性板部５１ｅの上端から第４の折曲部５１ｈを介して連続されてなる他方のガード板部５１ｉと、から構成されている。すなわち、この実施の形態に係る蛇腹３０（及び先に説明した第１の実施の形態に係る蛇腹２０）に固定されたインナーガード部材５１は、上記底板部５１ａの中央を中心にして左右対称形状に成形されている。なお、このインナーガード部材５１の肉厚は、０．５ｍｍとされている。

そして、上記インナーガード部材５１の長さは、上記蛇腹本体２５に形成された谷部２５ｂの長さと略同じ長さとされ、該蛇腹本体２０の裏面に図示しない両面接着テープにより固定されている。この接着テープが貼付されている位置は、上記一方及び他方のガード板部５１ｇ，５１ｉである。したがって、図４に示すように、上記蛇腹本体２５に形成された谷部２５ｂの下方には、上記底板部５１ａが位置している。また、上記一方及び他方のガード板部５１ｇ，５１ｉの先端は、上記保護板２６の谷部２５ｂ側の一側に対応した位置とされている。

したがって、上述したインナーガード部材５１が固定された蛇腹３０（及び先に説明した第１の実施の形態に係る蛇腹２０）によれば、図６に示すように、蛇腹本体２５が最も伸長した場合であっても、また、図７に示すように、該蛇腹本体２５が最も縮小された場合であっても、該蛇腹本体２５の伸縮動作に追従して上記一方及び他方のガード板部５１ｇ，５１ｉが弾性変位して開閉するとともに、上記保護板２６が配置されていない蛇腹本体２５の谷部２５ｂやその近傍にワークチップＣが侵入した場合であっても、蛇腹本体２５に穴が開くことを回避することができ、また、穴が開いた場合であっても、この蛇腹３０，２０の内側にワークチップＣや図示しない切削液等が侵入し、図１に示すボールネジ１３の周面に付着する危険性も回避することができる。

なお、上記各実施の形態に係る蛇腹２０，３０は、何れも保護板２６を構成要素としたものであるが、本発明は、必ずしも上記保護板２６が必須の構成要素ではない。すなわち、図８に示す（第３の実施の形態に係る蛇腹６０の）ように、蛇腹本体２５の裏面に、図４に示す一方及び他方のガード板部５１ｇ，５１ｉよりも長尺な幅を備えたインナーガード部材６１が固定されているものであっても良い。

すなわち、この第３の実施の形態に係る蛇腹６０を構成するインナーガード部材６１は、長方形状に成形され上記蛇腹本体２５の谷部２５ｂとやや離間してなる底板部６１ａと、この底板部６１ａの左側から第１の折曲部６１ｂを介して折曲されてなる一方の弾性板６１ｃと、上記底板部材６１ａの右側から第２の折曲部６１ｄを介して折曲されてなるとともに上記一方の弾性板部６１ｃと互いに平行とされ対向してなる他方の弾性板部６１ｅと、上記一方の弾性板部６１ｃの上端から第３の折曲部６１ｆを介して連続されてなる一方のガード板部６１ｇと、上記他方の弾性板部６１ｅの上端から第４の折曲部６１ｈを介して連続されてなる他方のガード板部６１ｉと、から構成されている。そして、上記一方のガード板部６１ｇの幅は、上記蛇腹本体２５に形成された谷部２５ｂから特定の山部２５ａまでの幅に略等しい幅とされ、上記他方のガード板部６１ｉは、上記谷部２５ｂから上記特定の山部２５ａに隣り合う他の山部２５ａまでの幅に等しい幅とされている。

そして、上記一方のガード部材６１ｇと他方のガード板部６１ｉとは、それぞれ図示しない両面接着テープにより上記蛇腹本体２５の裏面に固定されている。

したがって、上述したインナーガード部材６１が固定された蛇腹６０による場合であっても、上記蛇腹本体２５の伸縮動作に追従して上記一方及び他方のガード板部６１ｇ，６１ｉが弾性変位して開閉するとともに、蛇腹本体２５の山部２５ａと谷部２５ｂとの間にワークチップＣが侵入した場合であっても、蛇腹本体２５に穴が開くことを回避することができ、また、穴が開いた場合であっても、この蛇腹６０の内側にワークチップＣや図示しない切削液等が侵入し、図１に示すボールネジ１３の周面に付着する危険性も回避することができる。特に、この第３の実施の形態に係る蛇腹６０では、上記保護板２６が構成要素とされていないことから、製造原価や製造コストを低減することができるとともに、既存の蛇腹に対して、上記インナーガード部材６１を固定することができるため、蛇腹の使用用途や使用状況に合わせて該蛇腹を事後的に補強することも可能となる。

２ ダイシングマシン
２０ 蛇腹
２５ 蛇腹本体
２５ａ 山部
２５ｂ 谷部
２６ 保護板
３０ 蛇腹
３１ 接着シート
５１ インナーガード部材
５１ａ 底板部
５１ｃ 一方の弾性板部
５１ｅ 他方の弾性板部
５１ｇ 一方のガード板部
５１ｉ 他方のガード板部
５１ インナーガード部材
６０ 蛇腹
６１ａ 底板部
６１ｃ 一方の弾性板部
６１ｅ 他方の弾性板部
６１ｇ 一方のガード板部
６１ｉ 他方のガード板部
Ｃ ワークチップ

Claims (3)

1. シート体が折曲され山部と谷部とが交互に形成されてなる蛇腹本体と、
   この蛇腹本体の裏面に固定され、該蛇腹本体に形成された谷部から一方の山部側に幅を有する一方のガード板部と、上記蛇腹本体の裏面に固定され、該蛇腹本体に形成された谷部から上記一方の山部に隣り合う他方の山部側に幅を有する他方のガード板部と、を備え、上記蛇腹本体の伸縮動作に伴い弾性変形するとともに該蛇腹本体の素材よりも硬質の素材からなるインナーガード部材と、
   を備えてなることを特徴とする蛇腹。
2. 前記蛇腹本体を構成する上記山部と谷部との間に形成された各傾斜面部のそれぞれには該蛇腹本体の素材よりも硬質の素材からなる保護板が固定されてなるとともに、前記一方及び他方のガード板部の各先端と、上記保護板の谷部側の一側とは、互いに同じ位置関係とされてなることを特徴とする請求項１記載の蛇腹。
3. 前記インナーガード部材は、前記谷部の裏面から離間してなる底部と、この底部の両側から谷部側に接近する方向にそれぞれ幅を備えてなる一方及び他方の弾性板部と、を備え、前記一方のガード板部はこの一方の弾性板部から一方の折曲部を介して延在されてなり、前記他方のガード板部は上記他方の弾性板部の端部から他方の折曲部を介して延在され、該一方及び他方のガード板部がそれぞれ前記蛇腹本体の裏面に固定されてなることを特徴とする請求項１又は２記載の何れかの蛇腹。